JP2014179562A - ダイボンダ及びそのボンドヘッド装置、並びに、コレット位置調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 内部に真空を導くホルダ41hと、ホルダの先端に着脱可能に取り付けられたシャンク41sとコレット41cを備えたボンドヘッド装置におけるコレットの交換後のコレットの位置調整を行うため、コレットの交換の前に、当該コレットの裏面を、ボンドヘッド装置の下方に配置され、非テレセントリックレンズにより光学系が構成された裏面撮像カメラ42により撮像し、コレットの交換の後において、交換したコレットの裏面を裏面撮像カメラにより撮像し、交換前後のコレットの画像が一致するように、コレットの位置を補正するコレット位置調整方法、ボンドヘッド装置、ダイボンダ。
【選択図】 図2
Description
Claims (3)
- 少なくとも、内部に吸着のための真空を導くホルダと、当該ホルダの先端に着脱可能に取り付けられたコレットを備えたボンドヘッド装置における前記コレットの交換後のコレットの位置調整を行うコレット位置調整方法において、
前記コレットの交換の前に、当該コレットの裏面を、前記ボンドヘッド装置の下方に配置され、非テレセントリックレンズにより光学系が構成された裏面撮像手段により撮像し、
前記コレットの交換の後において、交換したコレットの裏面を前記裏面撮像手段により撮像し、
前記非テレセントリックレンズにより光学系が構成された裏面撮像手段により撮像した交換前後のコレットの画像が一致するように、前記コレットの位置を補正することを特徴とするコレット位置調整方法。 - 少なくとも、内部に吸着のための真空を導くホルダと、
当該ホルダの先端に着脱可能に取り付けられたコレットを備えたボンドヘッド装置であって、更に、前記ボンドヘッド装置の下方には、当該コレットの裏面を撮像するための裏面撮像手段を備えていることを特徴とするボンドヘッド装置。 - 基板上の所定の位置にダイを搭載するダイボンダであって、
先端にダイを吸着保持し、ステージ上に載置された前記基板上の所定の位置に移動して当該ダイを搭載するボンドヘッド装置と、
前記ボンドヘッド装置を移動するための移動機構と、
少なくとも前記ボンドヘッド装置と、前記移動機構との各々動作を制御することにより、前記基板上の所定の位置に前記ダイを搭載する制御装置とを備えたダイボンダにおいて、更に、
前記搭載手段によりダイの搭載が行われる前後において、当該ダイ又は/及び当該基板を含む測定対象を位置決めする撮像手段を備え、
前記ボンドヘッド装置は、内部に吸着のための真空を導くホルダと、当該ホルダの先端に着脱可能に取り付けられたコレットを備えており、かつ、前記ボンドヘッド装置の下方には、当該コレットの裏面を撮像するための裏面撮像手段が配置され、
前記裏面撮像手段は、光学系として非テレセントリックレンズを含むレンズシステムにより構成されていることを特徴とするダイボンダ。
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