CN111015959A - 用于陶瓷盘加工的贴片机构及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了用于陶瓷盘加工的贴片机构及其使用方法，包括吸附机构，以及连接于所述吸附机构用于对其位置进行调节的调节机构，还包括连接于所述调节机构用于为其运动提供动力的驱动机构。本发明利用外界的气泵将气管、柔性软管以及吸附头内的空气排出，在吸附头的端部形成负压，使吸附头靠近陶瓷盘实现对其的吸附与抓取，通过调节机构与驱动机构实现对吸附头位置的移动，便于后续对陶瓷盘的进一步加工，提高了工作效率，减轻了工人的劳动强度。

Description

用于陶瓷盘加工的贴片机构及其使用方法

技术领域

本发明涉及陶瓷盘加工技术领域，特别是涉及用于陶瓷盘加工的贴片机构及其使用方法。

背景技术

相较于半导体材料，像硅，锗，碳化硅有着优越的材料特性，如高硬度，高热传导性，高电子迁移率和好的化学稳定性，因此，碳化硅可以作为第三代半导体材料用在电子器件上，在功率器件制作上，表面平坦与零缺陷的衬底晶片是影响外延长晶能否有好的外延层的重要因素，碳化硅晶片的应用要求单晶表面超光滑、无缺陷、无损伤，碳化硅晶片的加工质量和精度的优劣,直接影响到其器件的性能，比如当晶片表面有微小缺陷时,会转移给外延生长膜而成为器件的致命缺陷，但是,由于碳化硅晶片硬度仅次于金刚石,其莫氏硬度为9.2，而且化学稳定性好,常温下几乎不与其它物质反应,故碳化硅晶片的加工成为碳化硅晶片单晶广泛应用所必须解决的重要问题，在半导体材料中第三代最为常见的材料为碳化硅，氮化镓，碳化硅的制作工艺过程复杂，目前,衬底主要经过线切、双面研磨、倒角、高温退火、贴片、单面铜抛、单面CMP等主要加工工序，最终达到超光滑无损伤的表面。

申请号为201721457507.5的中国专利公开了一种陶瓷盘加工的贴片机构，包括支撑架、预热室、加热室、冷却室、传动手臂和电控箱，所述支撑架上方右侧设置有预热室，且预热室内部下方固定有传动带，所述传动带与支撑架上设置有的传动带驱动电机相连接，且传动带下方的支撑架上安装有相匹配的集水箱，所述传动手臂滑动安装在滑动导轨上，且传动手臂上方与传动螺杆滑动螺接在一起。此发明对陶瓷盘采用传动手臂夹紧的方式对其进行抓取，易对陶瓷盘造成损伤，且传动手臂结构复杂，较占用空间，实用性不强，使用效果不好。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供用于陶瓷盘加工的贴片机构及其使用方法。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

用于陶瓷盘加工的贴片机构，包括吸附机构，以及连接于所述吸附机构用于对其位置进行调节的调节机构，还包括连接于所述调节机构用于为其运动提供动力的驱动机构。

优选的：所述驱动机构包括第一固定盘、第一电机，所述第一电机安装在所述第一固定盘的一侧，所述第一固定盘与所述第一电机通过螺栓连接，所述第一电机的输出轴上连接有螺杆，所述螺杆与所述第一电机通过联轴器连接，所述螺杆的另一端设置有第二固定盘，所述第二固定盘与所述螺杆通过轴承连接，所述螺杆的上下方所述第二固定盘与所述第一固定盘之间设置有滑杆，所述滑杆均焊接于所述第二固定盘、所述第一固定盘。

如此设置，所述驱动机构用于为所述调节机构的运动提供动力。

优选的：所述驱动机构包括第一安装板、涡轮，所述涡轮安装在所述第一安装板的一侧，所述涡轮安装在螺杆的一端，所述螺杆与所述涡轮通过键连接，所述涡轮的前方啮合有涡杆，所述涡杆的上下端均安装有固定座，所述固定座与所述涡杆通过轴承连接，所述固定座与所述第一安装板通过螺栓连接，所述涡杆的顶端安装有第一齿轮，所述第一齿轮与所述涡杆通过键连接，所述第一齿轮的一侧啮合有第二齿轮，所述第二齿轮安装在第二电机的输出轴上，所述第二电机与所述第二齿轮通过键连接，所述第二电机与所述第一安装板通过螺栓连接，所述螺杆的另一端安装有第二安装板，所述第二安装板与所述螺杆通过轴承连接，所述螺杆的上下方在所述第二安装板与所述第一安装板之间设置有滑杆。

如此设置，通过所述第二电机运转带动所述第二齿轮转动，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，进而使所述涡杆转动，所述涡杆与所述涡轮相互啮合，使所述螺杆产生转动，从而驱动所述调节机构运动。

优选的：所述调节机构包括第一伸缩气缸、安装座，所述第一伸缩气缸安装在所述安装座的顶端，所述安装座的前端成型有滑道，所述滑道上设置有第一滑板，所述第一滑板通过销轴连接于所述第一伸缩气缸，所述第一滑板的上端设置有第一限位开关，所述第一滑板的前端设置有第二滑板，所述第二滑板与所述第一滑板通过滑动连接，所述安装座的底部设置有第二限位开关，所述第一滑板的上端在所述第一限位开关的一侧设置有固定板，所述固定板上设置有第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的伸缩轴的端部连接有连接板，所述连接板焊接于所述第二滑板。

如此设置，所述调节机构用于对所述吸附机构的位置进行调节。

优选的：所述吸附机构包括气管、柔性软管，所述柔性软管连接于所述气管，所述柔性软管的另一端设置有吸附头，所述吸附头安装在滑块的前端，轨道连接于所述调节机构，所述滑块上安装有调节螺栓，所述调节螺栓的上部在所述轨道的上方设置有调节座，所述调节座通过螺钉连接于所述调节机构。

如此设置，所述吸附机构用于吸附抓取陶瓷盘。

优选的：所述第一伸缩气缸与所述安装座通过螺栓连接，所述第二伸缩气缸与所述固定板通过螺栓连接。

如此设置，通过螺栓连接方便拆装固定。

优选的：所述滑块滑动连接于所述轨道，所述柔性软管与所述吸附头通过连接件连接固定。

如此设置，通过滑动连接便于所述滑块的移动。

用于陶瓷盘加工的贴片机构的使用方法，包括如下步骤：

a、首先，启动第一电机，第一电机运转带动螺杆转动，或者启动第二电机，第二电机带动第二齿轮转动，第二齿轮与第一齿轮相互啮合，进而带动涡杆转动，涡杆与涡轮相互啮合，从而使螺杆转动，螺杆将运动传递给安装座，使其沿着滑杆的长度方向移动，到达合适的位置后使第一电机或者第二电机停止运转；

b、使第一伸缩气缸伸长，带动第一滑板沿着滑道向下滑动，到达合适的位置后停止伸长，启动第二伸缩气缸，第二伸缩气缸伸长带动第二滑板沿着第一滑板的长度方向滑动，到达适当位置后停止伸长，第二限位开关、第一限位开关分别对第一伸缩气缸、第二伸缩气缸的最大行程进行限定；

c、将气管的气嘴连接于外界的气泵，并使气泵运行，将气管以及柔性软管内的空气排出，在吸附头的端部形成负压，将陶瓷盘吸附在吸附头的端部，实现对陶瓷盘的抓取，通过调节调节螺栓可以对吸附头的上下位置进行调节。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

利用外界的气泵将气管、柔性软管以及吸附头内的空气排出，在吸附头的端部形成负压，使吸附头靠近陶瓷盘实现对其的吸附与抓取，通过调节机构与驱动机构实现对吸附头位置的移动，便于后续对陶瓷盘的进一步加工，提高了工作效率，减轻了工人的劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明所述用于陶瓷盘加工的贴片机构实施例一的第一结构示意图；

图2是本发明所述用于陶瓷盘加工的贴片机构实施例一的第二结构示意图；

图3是本发明所述用于陶瓷盘加工的贴片机构实施例二的第一结构示意图；

图4是本发明所述用于陶瓷盘加工的贴片机构实施例二的第二结构示意图；

图5是本发明所述用于陶瓷盘加工的贴片机构A处的局部放大视图。

附图标记说明如下：

1、驱动机构；101、第一固定盘；102、第一电机；103、滑杆；104、螺杆；105、第二固定盘；106、第一安装板；107、涡轮；108、涡杆；109、固定座；110、第一齿轮；111、第二齿轮；112、第二安装板；113、第二电机；2、调节机构；201、第一伸缩气缸；202、安装座；203、滑道；204、第一限位开关；205、第一滑板；206、第二滑板；207、第二限位开关；208、第二伸缩气缸；209、固定板；210、连接板；3、吸附机构；301、气管；302、柔性软管；303、吸附头；304、滑块；305、轨道；306、调节螺栓；307、调节座。

具体实施方式

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、 “底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图对本发明作进一步说明：

实施例1

如图1、2、5所示，用于陶瓷盘加工的贴片机构，包括吸附机构3，以及连接于吸附机构3用于对其位置进行调节的调节机构2，还包括连接于调节机构2用于为其运动提供动力的驱动机构1。

优选的：驱动机构1包括第一固定盘101、第一电机102，第一电机102安装在第一固定盘101的一侧，第一固定盘101与第一电机102通过螺栓连接，第一电机102的输出轴上连接有螺杆104，螺杆104与第一电机102通过联轴器连接，螺杆104的另一端设置有第二固定盘105，第二固定盘105与螺杆104通过轴承连接，螺杆104的上下方第二固定盘105与第一固定盘101之间设置有滑杆103，滑杆103均焊接于第二固定盘105、第一固定盘101，驱动机构1用于为调节机构2的运动提供动力；调节机构2包括第一伸缩气缸201、安装座202，第一伸缩气缸201安装在安装座202的顶端，安装座202的前端成型有滑道203，滑道203上设置有第一滑板205，第一滑板205通过销轴连接于第一伸缩气缸201，第一滑板205的上端设置有第一限位开关204，第一滑板205的前端设置有第二滑板206，第二滑板206与第一滑板205通过滑动连接，安装座202的底部设置有第二限位开关207，第一滑板205的上端在第一限位开关204的一侧设置有固定板209，固定板209上设置有第二伸缩气缸208，第二伸缩气缸208的伸缩轴的端部连接有连接板210，连接板210焊接于第二滑板206，调节机构2用于对吸附机构3的位置进行调节；吸附机构3包括气管301、柔性软管302，柔性软管302连接于气管301，柔性软管302的另一端设置有吸附头303，吸附头303安装在滑块304的前端，轨道305连接于调节机构2，滑块304上安装有调节螺栓306，调节螺栓306的上部在轨道305的上方设置有调节座307，调节座307通过螺钉连接于调节机构2，吸附机构3用于吸附抓取陶瓷盘；第一伸缩气缸201与安装座202通过螺栓连接，第二伸缩气缸208与固定板209通过螺栓连接，通过螺栓连接方便拆装固定；滑块304滑动连接于轨道305，柔性软管302与吸附头303通过连接件连接固定，通过滑动连接便于滑块304的移动。

实施例2

如图3、4、5所示，用于陶瓷盘加工的贴片机构，包括吸附机构3，以及连接于吸附机构3用于对其位置进行调节的调节机构2，还包括连接于调节机构2用于为其运动提供动力的驱动机构1。

优选的：驱动机构1包括第一安装板106、涡轮107，涡轮107安装在第一安装板106的一侧，涡轮107安装在螺杆104的一端，螺杆104与涡轮107通过键连接，涡轮107的前方啮合有涡杆108，涡杆108的上下端均安装有固定座109，固定座109与涡杆108通过轴承连接，固定座109与第一安装板106通过螺栓连接，涡杆108的顶端安装有第一齿轮110，第一齿轮110与涡杆108通过键连接，第一齿轮110的一侧啮合有第二齿轮111，第二齿轮111安装在第二电机113的输出轴上，第二电机113与第二齿轮111通过键连接，第二电机113与第一安装板106通过螺栓连接，螺杆104的另一端安装有第二安装板112，第二安装板112与螺杆104通过轴承连接，螺杆104的上下方在第二安装板112与第一安装板106之间设置有滑杆103，通过第二电机113运转带动第二齿轮111转动，第二齿轮111与第一齿轮110相互啮合，进而使涡杆108转动，涡杆108与涡轮107相互啮合，使螺杆104产生转动，从而驱动调节机构2运动；调节机构2包括第一伸缩气缸201、安装座202，第一伸缩气缸201安装在安装座202的顶端，安装座202的前端成型有滑道203，滑道203上设置有第一滑板205，第一滑板205通过销轴连接于第一伸缩气缸201，第一滑板205的上端设置有第一限位开关204，第一滑板205的前端设置有第二滑板206，第二滑板206与第一滑板205通过滑动连接，安装座202的底部设置有第二限位开关207，第一滑板205的上端在第一限位开关204的一侧设置有固定板209，固定板209上设置有第二伸缩气缸208，第二伸缩气缸208的伸缩轴的端部连接有连接板210，连接板210焊接于第二滑板206，调节机构2用于对吸附机构3的位置进行调节；吸附机构3包括气管301、柔性软管302，柔性软管302连接于气管301，柔性软管302的另一端设置有吸附头303，吸附头303安装在滑块304的前端，轨道305连接于调节机构2，滑块304上安装有调节螺栓306，调节螺栓306的上部在轨道305的上方设置有调节座307，调节座307通过螺钉连接于调节机构2，吸附机构3用于吸附抓取陶瓷盘；第一伸缩气缸201与安装座202通过螺栓连接，第二伸缩气缸208与固定板209通过螺栓连接，通过螺栓连接方便拆装固定；滑块304滑动连接于轨道305，柔性软管302与吸附头303通过连接件连接固定，通过滑动连接便于滑块304的移动。

用于陶瓷盘加工的贴片机构的使用方法，包括如下步骤：

a、首先，启动第一电机102，第一电机102运转带动螺杆104转动，或者启动第二电机113，第二电机113带动第二齿轮111转动，第二齿轮111与第一齿轮110相互啮合，进而带动涡杆108转动，涡杆108与涡轮107相互啮合，从而使螺杆104转动，螺杆104将运动传递给安装座202，使其沿着滑杆103的长度方向移动，到达合适的位置后使第一电机102或者第二电机113停止运转；

b、使第一伸缩气缸201伸长，带动第一滑板205沿着滑道203向下滑动，到达合适的位置后停止伸长，启动第二伸缩气缸208，第二伸缩气缸208伸长带动第二滑板206沿着第一滑板205的长度方向滑动，到达适当位置后停止伸长，第二限位开关207、第一限位开关204分别对第一伸缩气缸201、第二伸缩气缸208的最大行程进行限定；

c、将气管301的气嘴连接于外界的气泵，并使气泵运行，将气管301以及柔性软管302内的空气排出，在吸附头303的端部形成负压，将陶瓷盘吸附在吸附头303的端部，实现对陶瓷盘的抓取，通过调节调节螺栓306可以对吸附头303的上下位置进行调节。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。

Claims (8)

1.用于陶瓷盘加工的贴片机构，包括吸附机构（3），以及连接于所述吸附机构（3）用于对其位置进行调节的调节机构（2），其特征在于：还包括连接于所述调节机构（2）用于为其运动提供动力的驱动机构（1）。

2.根据权利要求1所述的用于陶瓷盘加工的贴片机构，其特征在于：所述驱动机构（1）包括第一固定盘（101）、第一电机（102），所述第一电机（102）安装在所述第一固定盘（101）的一侧，所述第一固定盘（101）与所述第一电机（102）通过螺栓连接，所述第一电机（102）的输出轴上连接有螺杆（104），所述螺杆（104）与所述第一电机（102）通过联轴器连接，所述螺杆（104）的另一端设置有第二固定盘（105），所述第二固定盘（105）与所述螺杆（104）通过轴承连接，所述螺杆（104）的上下方所述第二固定盘（105）与所述第一固定盘（101）之间设置有滑杆（103），所述滑杆（103）均焊接于所述第二固定盘（105）、所述第一固定盘（101）。

3.根据权利要求1所述的用于陶瓷盘加工的贴片机构，其特征在于：所述驱动机构（1）包括第一安装板（106）、涡轮（107），所述涡轮（107）安装在所述第一安装板（106）的一侧，所述涡轮（107）安装在螺杆（104）的一端，所述螺杆（104）与所述涡轮（107）通过键连接，所述涡轮（107）的前方啮合有涡杆（108），所述涡杆（108）的上下端均安装有固定座（109），所述固定座（109）与所述涡杆（108）通过轴承连接，所述固定座（109）与所述第一安装板（106）通过螺栓连接，所述涡杆（108）的顶端安装有第一齿轮（110），所述第一齿轮（110）与所述涡杆（108）通过键连接，所述第一齿轮（110）的一侧啮合有第二齿轮（111），所述第二齿轮（111）安装在第二电机（113）的输出轴上，所述第二电机（113）与所述第二齿轮（111）通过键连接，所述第二电机（113）与所述第一安装板（106）通过螺栓连接，所述螺杆（104）的另一端安装有第二安装板（112），所述第二安装板（112）与所述螺杆（104）通过轴承连接，所述螺杆（104）的上下方在所述第二安装板（112）与所述第一安装板（106）之间设置有滑杆（103）。

4.根据权利要求1所述的用于陶瓷盘加工的贴片机构，其特征在于：所述调节机构（2）包括第一伸缩气缸（201）、安装座（202），所述第一伸缩气缸（201）安装在所述安装座（202）的顶端，所述安装座（202）的前端成型有滑道（203），所述滑道（203）上设置有第一滑板（205），所述第一滑板（205）通过销轴连接于所述第一伸缩气缸（201），所述第一滑板（205）的上端设置有第一限位开关（204），所述第一滑板（205）的前端设置有第二滑板（206），所述第二滑板（206）与所述第一滑板（205）通过滑动连接，所述安装座（202）的底部设置有第二限位开关（207），所述第一滑板（205）的上端在所述第一限位开关（204）的一侧设置有固定板（209），所述固定板（209）上设置有第二伸缩气缸（208），所述第二伸缩气缸（208）的伸缩轴的端部连接有连接板（210），所述连接板（210）焊接于所述第二滑板（206）。

5.根据权利要求1所述的用于陶瓷盘加工的贴片机构，其特征在于：所述吸附机构（3）包括气管（301）、柔性软管（302），所述柔性软管（302）连接于所述气管（301），所述柔性软管（302）的另一端设置有吸附头（303），所述吸附头（303）安装在滑块（304）的前端，轨道（305）连接于所述调节机构（2），所述滑块（304）上安装有调节螺栓（306），所述调节螺栓（306）的上部在所述轨道（305）的上方设置有调节座（307），所述调节座（307）通过螺钉连接于所述调节机构（2）。

6.根据权利要求4所述的用于陶瓷盘加工的贴片机构，其特征在于：所述第一伸缩气缸（201）与所述安装座（202）通过螺栓连接，所述第二伸缩气缸（208）与所述固定板（209）通过螺栓连接。

7.根据权利要求5所述的用于陶瓷盘加工的贴片机构，其特征在于：所述滑块（304）滑动连接于所述轨道（305），所述柔性软管（302）与所述吸附头（303）通过连接件连接固定。

8.用于陶瓷盘加工的贴片机构的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

a、首先，启动第一电机（102），第一电机（102）运转带动螺杆（104）转动，或者启动第二电机（113），第二电机（113）带动第二齿轮（111）转动，第二齿轮（111）与第一齿轮（110）相互啮合，进而带动涡杆（108）转动，涡杆（108）与涡轮（107）相互啮合，从而使螺杆（104）转动，螺杆（104）将运动传递给安装座（202），使其沿着滑杆（103）的长度方向移动，到达合适的位置后使第一电机（102）或者第二电机（113）停止运转；

b、使第一伸缩气缸（201）伸长，带动第一滑板（205）沿着滑道（203）向下滑动，到达合适的位置后停止伸长，启动第二伸缩气缸（208），第二伸缩气缸（208）伸长带动第二滑板（206）沿着第一滑板（205）的长度方向滑动，到达适当位置后停止伸长，第二限位开关（207）、第一限位开关（204）分别对第一伸缩气缸（201）、第二伸缩气缸（208）的最大行程进行限定；

c、将气管（301）的气嘴连接于外界的气泵，并使气泵运行，将气管（301）以及柔性软管（302）内的空气排出，在吸附头（303）的端部形成负压，将陶瓷盘吸附在吸附头（303）的端部，实现对陶瓷盘的抓取，通过调节调节螺栓（306）可以对吸附头（303）的上下位置进行调节。

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