JP2010028033A - 電子部品実装装置、およびノズル位置調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品の実装精度および動作の安定性を向上させることができ、小型化および低コスト化が容易な電子部品実装装置、並びにそれを使用したノズル高さ調整方法を提供する。
【解決手段】電子部品実装装置は、電子部品を吸着する吸着ノズル２が先端側に設けられた昇降軸３と、吸着ノズルを、吸着した電子部品を基板に実装する実装位置と退避位置との間で進退させるように、昇降軸を軸方向に移動する軸方向移動機構５、７を備えている。また、軸方向移動機構と昇降軸とを接続する軸状の接続部材と、接続部材と昇降軸とを回動自在に連結する継手を備えている。また、昇降軸を軸回りに回動させる回動機構と、昇降軸を軸方向と略垂直な２軸方向に移動させる吸着ノズル移動機構を備えている。継手に、吸着ノズル２の位置を調整する位置調整手段が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、電子部品実装装置、およびノズル位置調整方法に関し、さらに詳しくは、吸着ノズルにより電子部品を吸着して基板に実装する実装ヘッドを備えた電子部品実装装置、並びにそれを使用したノズル位置調整方法に関する。

電子部品を基板に実装する電子部品実装装置は、パーツフィーダーに置かれた電子部品を実装ヘッドによりピックアップし、それを基板上へ移送し、基板上の定められた位置に電子部品を実装するように構成されている。電子部品をピックアップする方法は、吸着ノズルにより真空吸着する方法が広く用いられている。

このような電子部品実装装置においては、市場の要望に応えるべく、電子部品や回路基板はますます小型化されており、回路基板に電子部品を高密度且つ高精度に実装を行えるようにすることがますます重要になってきている。その一方で、電子回路の製造コストを削減するために、電子部品の回路基板への実装に要する時間を短縮化することが求められている。

回路基板に電子部品を高密度且つ高精度に実装するためには、吸着ノズルの位置や吸着ノズルにより保持された電子部品の姿勢を検出し、それらが適正なものになっているかを確認することが必要である。吸着ノズルにより保持された電子部品の姿勢を検出するための検出方法として、ラインセンサにより鉛直上下方向および水平方向の２方向から電子部品の長さを検出する方法が知られている（特許文献１参照）。
また、１列に並ぶように配設された複数の吸着ノズルを間に挟んで対向するようにラインセンサの投光部と受光部とを配置し、そのラインセンサを列方向にスライドさせて、各吸着ノズルに保持された電子部品の姿勢を検出するようにした部品装着ヘッドが知られている（特許文献２参照）。

さらには、図１８に示すように、列をなすように並ぶ吸着ノズル６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄ、６１Ｅ、６１Ｆの列方向の両側の延長線上に、ラインセンサの投光器６２および受光器６３を配置して、吸着ノズル６１Ａ〜６１Ｆの高さを検出する方法が知られている（特許文献３参照）。ここでは、吸着ノズル６１Ａ〜６１Ｆは、吸着ノズル６１Ｆのみについて詳細を図示するように、アクチュエータ６４により上下方向に駆動される。投光器６２から発せられて受光器６３に到達する光の光路Ｌ１１がいずれかの吸着ノズルにより遮られると（図示例では、吸着ノズル６１Ｆが光路Ｌ１１を遮っている）、受光器６３が受光しなくなるので、これにより吸着ノズルの上下方向の位置が検出される。

また、図１９に示すように、ロードセルを使用して吸着ノズルの位置を検出する方法が知られている（特許文献３参照）。
この検出方法は、吸着ノズル７１の装着されたホルダ７２が先端部に固定されたスプラインシャフト７３をロードセル７４の上方から下降させたときのロードセル７４の出力に基づいて各吸着ノズル７１の上下方向の位置が検出される。

また、図２０に示すように、光学式の変位センサ８１により吸着ノズル８２の位置を検出する方法も知られている（特許文献４参照）。

特開昭６２−２６３４０５号公報 特開２００４−１５８８１９号公報 特開２００６−１０８５４０号公報 特開平０８−００８６００号公報

特許文献１記載の検出方法においては、吸着ノズル毎にラインセンサを設ける必要があることから、実装ヘッドが複数の吸着ノズルを備える多連ノズルヘッドの場合には、吸着ノズルの数だけラインセンサを設ける必要が生じ、装置が大型化・高コスト化してしまう。
また、特許文献２記載の検出方法においては、吸着ノズルが並ぶ列の方向にラインセンサをスライドさせるスライド機構を設ける必要があり、特許文献１の場合と同様に、装置が大型化・高コスト化してしまう。

これに対して、特許文献３記載の検出方法においては、１列の吸着ノズルに対して、一対の投光器および受光器からなる１つのラインセンサを設けるだけで各吸着ノズルの上下方向の位置を検出することができるので、装置の大型化・高コスト化を抑えることができる。しかしながら、特許文献３記載の検出方法により例えば実際のノズル位置と基準位置とのずれを検出し、その検出結果に基づいて吸着ノズルの上下方向の位置を制御する場合には、各吸着ノズルの上下方向の位置を検出しながら吸着ノズルを昇降させる機構が必要となる。そのような機構は、例えばエアシリンダ等の位置検出によらずに吸着ノズルを上下動させる機構よりも高価である。このため、装置は高コスト化する。

さらには、各吸着ノズルの正規の位置とのずれに関するデータを記憶し、それに基づいて各吸着ノズルの上下方向の移動距離を調整するように制御する必要が生じる。このため、制御が複雑となり、より高性能なＣＰＵ（Central Processing Unit：中央処理装置）や、より大きな容量の記憶装置が必要となる。このことは、装置を低コスト化する上での障害となる。また、プログラムも複雑なものとなるために、特定の状況の下で装置が正常に動作しなくなるバグ（bug）の発生する危険性が増大する。したがって、装置の動作の安定性が損なわれる。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、電子部品の実装精度および動作の安定性を向上させることができ、小型化および低コスト化が容易な電子部品実装装置、並びにそれを使用したノズル位置調整方法を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明の電子部品実装装置は、電子部品を吸着する吸着ノズルが先端側に設けられた軸状の電子部品保持部材と、
前記吸着ノズルを、吸着した前記電子部品を基板に実装する実装位置と退避位置との間で進退させるように、前記保持部材を軸方向に移動する軸方向移動機構と、
前記軸方向移動機構と前記保持部材とを接続する軸状の接続部材と、
前記接続部材と前記保持部材とを回動自在に連結する連結部と、
前記保持部材を軸回りに回動させる回動機構と、
前記保持部材を、前記吸着ノズルにより前記電子部品を吸着し、該吸着された電子部品を基板上に実装させるように、前記軸方向とは異なる方向に移動する吸着ノズル移動機構と、を具備した電子部品実装装置であって、
前記連結部に、前記吸着ノズルの前記軸方向の位置を調整する位置調整手段を設けた。

ここで、電子部品実装装置は、前記連結部に、前記位置調整手段により調整された前記吸着ノズルの位置を保持する位置保持機構をさらに設けるのが好ましい。
また、前記保持部材は、前記連結部に軸受を介して回動自在に取り付けられており、
前記接続部材は、前記保持部材との接続端側に第１雄ねじ部が形成されており、
前記位置調整手段は、前記接続部材の第１雄ねじ部が螺合する第１雌ねじ部を前記連結部に設けて構成されているのも好ましい。

また、前記接続部材は、前記連結部に軸受を介して回動自在に取り付けられており、
前記保持部材は、前記接続部材との接続端側に第１雄ねじ部が形成されており、
前記位置調整手段は、前記保持部材の第１雄ねじ部が螺合する第１雌ねじ部を前記連結部に設けて構成されているのも好ましい。
また、前記位置保持機構は、前記第１雄ねじ部の前記第１雌ねじ部に対する回転を阻止して、前記吸着ノズルの位置を保持するのも好ましい。

また、前記位置保持機構は、
前記第１雌ねじ部と軸線が交わるように前記連結部に形成された第２雌ねじ部と、
前記第２雌ねじ部と螺合する第２雄ねじ部を有し、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部と当接させて、前記第１雄ねじ部の前記第１雌ねじ部に対する回転を阻止する軸状部材と、
を含むのも好ましい。

また、前記位置保持機構は、
前記第１雌ねじ部と軸線が交わるように前記連結部に形成された第２雌ねじ部と、
前記保持部材または前記接続部材の第１雄ねじ部と螺合するナットと、
前記第２雌ねじ部と螺合する第２雄ねじ部を有し、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部と螺合したナットと当接させて、前記第１雄ねじ部の前記第１雌ねじ部に対する回転を阻止する軸状部材と、
を含むのも好ましい。

また、複数の前記保持部材が、互いに平行に、列をなすように並べられて実装ヘッドを構成しているのも好ましい。
また、前記軸方向駆動機構が、前記複数の保持部材のそれぞれを個別に前記軸方向に移動させる個別移動機構と、前記複数の保持部材を一括して前記軸方向に移動させる一括移動機構とを含むのも好ましい。
また、前記個別移動機構が、エアシリンダを含むのも好ましい。

また、上記目的を達成するために、本発明のノズル位置調整方法は、上記電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
前記複数の保持部材の１つの保持部材を、前記吸着ノズルを前記実装位置に位置させるように前記軸方向移動機構により移動する工程（ａ）、
前記軸方向移動機構により移動された前記１つの保持部材の前記吸着ノズルを実際に前記実装位置に位置させるように前記位置調整手段により前記吸着ノズルの位置を調整する工程（ｂ）、並びに
前記位置調整手段により位置が調整された前記吸着ノズルの位置を前記位置保持機構により保持させる工程（ｃ）、を含み、
前記複数の保持部材の全てについて前記吸着ノズルの位置を調整するように、前記工程（ａ）〜（ｃ）を繰り返し実行する。

また、上記目的を達成するために、本発明のノズル位置調整方法は、上記電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
前記複数の保持部材を、順次、前記吸着ノズルを前記実装位置に位置させるように前記軸方向移動機構により移動する工程（ａ）、
前記軸方向移動機構により移動された前記複数の保持部材の前記吸着ノズルを順次実際に前記実装位置に位置させるように前記位置調整手段により前記吸着ノズルの位置を調整する工程（ｂ）、並びに
前記位置調整手段により位置が調整された前記吸着ノズルの位置を順次前記位置保持機構により保持させる工程（ｃ）、を含む。

また、上記目的を達成するために、本発明のノズル位置調整方法は、上記電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
前記吸着ノズルが退避位置に位置するように前記軸方向移動機構により前記複数の保持部材を移動させる工程（ａ）、
前記複数の保持部材の前記吸着ノズルが実装位置設定用治具と対向するように、前記実装ヘッドを前記吸着ノズル移動機構により移動させる工程（ｂ）、
前記複数の保持部材の１つの保持部材に対応する前記軸状部材を、前記第２雄ねじ部の先端が前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接しないように回転させるとともに、前記吸着ノズルの位置が前記実装位置よりも若干退避した位置となるように、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｃ）、
前記１つの保持部材を、前記吸着ノズルが前記実装位置に位置すべき位置に前記軸方向移動機構により移動させる工程（ｄ）、
前記１つの保持部材の前記吸着ノズルが前記実装位置設定用治具と当接するように、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｅ）、並びに
前記１つの保持部材に対応する前記軸状部材を、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接させるように回転する工程（ｆ）、を含み、
前記複数の保持部材の全てについて前記吸着ノズルの位置を調整するように、前記工程（ａ）〜（ｆ）を繰り返し実行する。

また、上記目的を達成するために、本発明のノズル位置調整方法は、上記電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
前記吸着ノズルが退避位置に位置するように前記軸方向移動機構により前記複数の保持部材を移動させる工程（ａ）、
前記複数の保持部材の前記吸着ノズルが実装位置設定用治具と対向するように、前記実装ヘッドを前記吸着ノズル移動機構により移動させる工程（ｂ）、
前記複数の保持部材のそれぞれに対応する前記軸状部材を、順次、前記第２雄ねじ部の先端が前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接しないように回転させるとともに、前記吸着ノズルの位置が前記実装位置よりも若干退避した位置となるように、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｃ）、
前記複数の保持部材を、前記吸着ノズルが前記実装位置に位置すべき位置に前記軸方向移動機構により移動させる工程（ｄ）、
前記複数の保持部材の前記吸着ノズルが前記実装位置設定用治具と当接するように、順次、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｅ）、並びに
前記複数の保持部材のそれぞれに対応する前記軸状部材を、順次、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接させるように回転する工程（ｆ）、を含む。

本発明の電子部品実装装置によれば、軸方向駆動機構と電子部品保持部材とを接続する接続部材の、上記保持部材との連結部に、吸着ノズルの位置を調整する位置調整手段が設けられていることから、軸方向駆動機構により保持部材を移動させて電子部品の吸着・実装を行う際に、保持部材の実際の位置を検出して吸着ノズルの位置を制御する必要がなくなる。したがって、吸着ノズルを複数備えた多連ノズルヘッドの場合にも、ノズル毎にリニアモータ等の位置検出可能な高価な移動機構を設ける必要がなくなり、装置をより安価なものとすることができる。

また、吸着ノズルの実際の位置と、実装位置などの基準位置とのずれを検出し、そのずれに関するデータをノズル毎に記憶し、ノズル毎のデータに基づいて保持部材を移動させる等の複雑な制御を行う必要がなくなる。したがって、制御がより単純なものとなるために、より高性能のＣＰＵやより容量の大きい記憶装置を使用する必要がなくなる。したがって、装置を低価格化することが可能となる。また、制御が単純なものとなることからプログラムも簡素化され、特定の条件の下で装置が正常に動作しなくなるバグ（bug）の発生も抑えることができる。したがって、動作の安定性が向上する。

さらには、上記連結部は、接続部材と保持部材とを回動可能に連結するものであり、そのような連結部は、吸着ノズルに吸着された電子部品の姿勢を調節するように保持部材を回動させる回動機構を有する電子部品実装装置においては必須の要素である。本発明の好ましい形態においては、位置調整手段は、連結部材と、接続部材または保持部材とを互いに回転させることにより位置の調整を行えるように構成されている。このため、上記接続部材と保持部材とを回動可能に連結するための機構を、そのまま利用して位置調整手段を構成することができる。

したがって、例えば接続部材または保持部材に雄ねじを設け、連結部にそれに対応する雌ねじを形成するといった簡単な構成で位置調整手段を実現することができ、それによる高コスト化を必要最小限に抑えることができる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
〈実施の形態１〉
図１は、本発明の実施の形態１に係る電子部品実装装置の一部を断面にした斜視図である。図２は、図１の一部を模式化して拡大した側面図である。
電子部品実装装置は、電子部品を吸着する吸着ノズル２が先端に設けられた複数本の昇降軸３を有する実装ヘッド４を備えている。昇降軸３は、互いに平行に、２列に並ぶように設けられている。ここで、１列あたりの昇降軸３の個数は、図示例では８本となっている。

また、電子部品実装装置は、図３に示すように、実装ヘッド４を水平２軸方向に移動するＸ軸直動機構２９ＡおよびＹ軸直動機構２９Ｂを備えている。実装ヘッド４は、パーツフィーダー２６ａを並設してなる部品供給部２６により供給される図示しない電子部品を吸着ノズル２により吸着し、それを基板搬送路２７に載置された基板２８まで搬送して基板２８上の所定位置に実装するように、Ｘ軸直動機構２９ＡおよびＹ軸直動機構２９Ｂにより移動される。

また、昇降軸３は、電子部品を吸着・実装するために、吸着ノズル２を、電子部品を基板に実装する実装位置と退避位置との間で進退させるように、軸方向移動機構（エアシリンダ５、上下駆動機構７）により軸方向（図示例では、鉛直上下方向）に移動される。ここで、実装位置は、昇降軸３が上記軸方向移動機構により最下位まで移動されたときの吸着ノズル２の位置と対応し、退避位置は、昇降軸３が上記軸方向移動機構により最上位まで移動されたときの吸着ノズル２の位置と対応している。

また、上記軸方向移動機構は、昇降軸３を個別に上下動させるエアシリンダ５と、全ての昇降軸３を一括して上下動させる上下駆動機構７とを含んでいる。
エアシリンダ５は、図示しない制御部により制御されて、吸着ノズル２により電子部品を吸着・実装する１または複数の昇降軸３のみを選択して下降させ、それ以外の昇降軸３を上方で保持するように動作する。

上下駆動機構７は、エアシリンダ５により下降された昇降軸３の吸着ノズル２により部品供給部２６において電子部品を吸着し、吸着された電子部品を基板２８に実装させるように、全ての昇降軸３を一括して上下動させるものである。より詳細には、上下駆動機構７は、実装ヘッド４全体を支持する架台１０に設けられたリニアガイド７ａと、全てのエアシリンダ５を支持するシリンダ支持部材６と、シリンダ支持部材６が取り付けられるスライダ７ｂと、スライダ７ｂをリニアガイド７ａに沿って上下方向に駆動する上下駆動モータ３１とから構成される。

また、昇降軸３は、エアシリンダ５の図示しない可動部（ピストン）と接続部材３４を介して接続されている。接続部材３４は、昇降軸３と同軸に配された軸状の部材であり、上端側が上記エアシリンダ５の可動部と直接的に連結され、下端側が継手（連結部）４０により昇降軸３の上端側と回転自在に連結されている。

図４に継手４０の詳細を示す。図４に示すように、継手４０の下端側には、昇降軸３の上端部がラジアル軸受１１Ｅ、１１Ｆを介して回動自在に取り付けられている。また、接続部材３４の下端側には第１雄ねじ部４１Ａが形成されており、これと対応して、継手４０の上端側には、接続部材３４の第１雄ねじ部４１Ａと螺合する第１雌ねじ部４２Ａが形成されている。この構成により、第１雄ねじ部４１Ａを第１雌ねじ部４２Ａと螺合させた状態で継手４０を正逆回転させることにより吸着ノズル２の上下方向、つまり進退方向（軸方向）の位置が調整される。ここで、第１雌ねじ部４２Ａは、上下に２分割されており、各分割体の間には中空部４０ｃが介在している。

中空部４０ｃの側方には、第１雌ねじ部４２Ａと軸線が交わるように第２雌ねじ部４２Ｂが形成されている。そして、第２雌ねじ部４２Ｂには、周面に第２雄ねじ部４１Ｂが形成された短軸状の回転阻止部材３５が螺合される。回転阻止部材３５は、第２雄ねじ部４１Ｂが第２雌ねじ部４２Ｂにねじ込まれることにより、第２雄ねじ部４１Ｂの先端が、第１雌ねじ部４２Ａに螺合した第１雄ねじ部４１Ａと当接して、第１雄ねじ部４１Ａの第１雌ねじ部４２Ａに対する回転を阻止する部材である。この回転阻止部材３５により、継手４０を接続部材３４に対して回転させることにより調節される吸着ノズル２の上下方向（軸方向）の位置が保持される。

ここで、昇降軸３は、架台１０に梁材１０ａにより取り付けられた支持部８により、ボールスプライン９を介して軸方向に移動自在に支持されている。
ボールスプライン９は、図６に示すように、昇降軸３が挿通されるスリーブ９ａを有している。スリーブ９ａは、支持部８に設けられた軸挿通孔８ａに挿通された状態で、ラジアル軸受１１Ａ、１１Ｂにより回転自在に支持されるとともに、回転駆動モータ３２（図１参照）を駆動源とする回転駆動機構により昇降軸３の軸回りに回転される。また、スリーブ９ａの内側には、昇降軸３の周面に形成された図示しないスプライン溝と係合する複数の球体が保持されており、スリーブ９ａが回転されるのに伴って昇降軸３も回転する。これにより、吸着ノズル２に吸着された電子部品の姿勢を調節することができる。

上掲の回転駆動機構は、両側に水平横向きに歯が並ぶように配設されたラック１２ａと、スリーブ９ａに外装されるピニオンギア１２ｂと、ラック１２ａを水平方向に駆動する回転駆動モータ３２とから構成される。

そして、図５に示すように、昇降軸３の吸着ノズル２近傍における内部には吸着ノズル２の作動流体を流通させる流体通路３ｄが形成されている。流体通路３ｄは、一端が吸着ノズル２の先端部において開口するとともに、他端が昇降軸３の周面に開口している。以下、その開口を周面開口部３ｅと称する。

昇降軸３の周面開口部３ｅと対応する部位には、流体通路３ｄと連通する連絡路１３ａを有する回転継手１３が外装されている。回転継手１３は、上下方向に貫通するように設けられた挿通孔１３ｂに昇降軸３が挿通された状態で、ラジアル軸受１１Ｃおよび１１Ｄを介して昇降軸３に取り付けられている。また、回転継手１３は、支持部８に設けられたレール３３と係合して、昇降軸３と連れ回りしないようその回転が阻止され且つ上下の移動がガイドされている。

また、回転継手１３の挿通孔１３ｂの内部には、流体通路３ｄの周面開口部３ｅと対応する位置に円筒状の凹部１３ｃが設けられており、連絡路１３ａの一端は、凹部１３ｃに開口している。つまり、流体通路３ｄと連絡路１３ａとは凹部１３ｃを介して連通している。
また、凹部１３ｃの軸方向の両端部には、凹部１３ｃと外部との気密性を保つように、リング状のパッキン１４Ａ、１４Ｂが嵌装されている。なお、そのようなパッキンとして、横断面がＹ字形、Ｕ字形等の様々なパッキンを使用することができる。

また、連絡路１３ａの他端は、回転継手１３の側面に設けられたチューブ継手１５の中空部１５ａを介して、チューブ継手１５の円筒状の第１嵌合部１５ｂの先端部において開口している。

ここで、第１嵌合部１５ｂは、回転継手１３の側方に突出するように設けられたチューブ継手１５の基部１５ｃから下方、つまり吸着ノズル２を進出させるときの昇降軸３の移動方向と同じ方向に突出するよう形成されている。また、チューブ継手１５の基部１５ｃは、２列に並ぶ各昇降軸３に、列の外側に向かって突出するように回転継手１３の側面に設けられている。なお、第１嵌合部１５ｂは、実施の形態１では、回転継手１３の側方に設けられているが、これに限定するものではなく、吸着ノズル２を進出させるときの昇降軸３の移動方向、すなわち、重力方向もしくは、重力斜め方向に突出するように形成されていれば、第１嵌合部１５ｂは、回転継手１３の下面や上部に設けられていてもよい。

また、支持部８の外側部８ｂには、吸着ノズル２のそれぞれと対応してバルブ８ｉが配置されており、バルブ８ｉと接続された配管１６を介して吸着ノズル２の駆動源である図示しない真空ポンプと接続された中継路８ｃが設けられている。中継路８ｃの途中にはエアフィルタ１７が挿入されるエアフィルタ挿入孔８ｄが設けられている。いずれかの吸着ノズル２により電子部品を吸着する場合には、対応するバルブ８ｉをオンすることで、当該吸着ノズル２により電子部品を吸着把持することができる。

さらに、外側部８ｂの下面には円筒状の第２嵌合部８ｆが鉛直下方、すなわち吸着ノズル２の進出方向との角度が約３０度（度数法）となる方向に突設されている。第２嵌合部８ｆは、第１嵌合部１５ｂよりも上方、つまり吸着ノズル２の退避方向に位置している。また、第２嵌合部８ｆの中心軸と第１嵌合部１５ｂの中心軸は同一平面に位置し、第２嵌合部８ｆは、第１嵌合部１５ｂのほぼ真上の第１嵌合部１５ｂよりも若干、昇降軸３が並ぶ２列の外側に位置するように設けられている。そして、中継路８ｃは、第２嵌合部８ｆの中空部８ｇを介して第２嵌合部８ｆの先端部において開口している。

そして、支持部８の中継路８ｃと回転継手１３の連絡路１３ａとは、チューブ１８を介して連通している。チューブ１８は、吸着ノズル２の進出方向、つまり鉛直下方もしくは略鉛直下方に向かって凸に湾曲する冗長部１８ａを形成するように、第１嵌合部１５ｂに一端部が嵌合され、第２嵌合部８ｆに他端部が嵌合される。冗長部１８ａの大きさ、つまりチューブ１８の長さは、昇降軸３を最下位まで下降させたときにもチューブ１８から回転継手１３に掛かる力が大きくならず、且つ昇降軸３を最上位まで上昇させたときにチューブ１８が横方向に大きく張り出さない範囲で調節される。ここで、第２嵌合部８ｆは、例えば吸着ノズル２の進出方向との角度が６０度以内となる方向に突設されるのが好ましい。なお、実施の形態１では、第２嵌合部８ｆは、外側部８ｂの下面に位置しているがこれに限定するものではなく、外側部８ｂの側方であってもよい。また、第２嵌合部８ｆは鉛直下方、すなわち吸着ノズル２の進出方向との角度が約３０度（度数法）となる方向に突設されているが、これに限定するものではなく、重力方向もしくは、重力斜め方向に突設されていればよい。

次に、エアフィルタを説明する。図６に示すように、エアフィルタ１７は、丸棒状のフィルタ本体１７ａと、その長手方向に延設された把持部１７ｂとから構成されている。フィルタ本体１７ａは、内部に多数の微細な空隙を有する燒結金属などの多孔質材料から構成されており、把持部１７ｂを把持し、フィルタ本体１７ａを先にして、長い丸孔からなるエアフィルタ挿入孔８ｄにエアフィルタ１７を挿入することにより中継路８ｃの途中にエアフィルタ１７が介在される。

また、把持部１７ｂには、環状の凹部１７ｃが設けられており、これと対応する部位のエアフィルタ挿入孔８ｄの隔壁に、止め部材装着孔８ｈが設けられている。止め部材装着孔８ｈには、凹部１７ｃと先端が係合するように図示しない付勢部材に付勢された短釘状の止め部材１９が装着される。エアフィルタ１７がエアフィルタ挿入孔８ｄに装着された場合には、密閉状態を保つことができる。これにより、バルブ８ｉをオンすることで、連通した中継路８ｃ、フィルタ本体１７ａ、中空部８ｇ、チューブ１８、中空部１５ａ、連絡路１３ａ、および流体通路３ｄ等を通して吸着ノズル２の先端に設けられた孔より真空吸引して、電子部品を吸着すべき吸着ノズル２により、電子部品を吸着把持できるようになっている。この構成によれば、止め部材１９のつまみ部１９ａを把持して、止め部材１９を止め部材装着孔８ｈから引き出す方向に引っ張った状態で、エアフィルタ１７をエアフィルタ挿入孔８ｄに対して抜き差しする簡単な操作で、エアフィルタ１７を着脱することができる。したがって、エアフィルタ１７のメンテナンスが非常に容易となる。

ここで、フィルタ本体１７ａの直径は例えば５ｍｍ、長さは例えば３０ｍｍとすることができる。エアフィルタ挿入孔８ｄは、そのフィルタ本体１７ａに対応する丸孔であり、そのような丸孔を支持部８に穿設するだけで、エアフィルタ１７の取り付けスペースを確保することができる。したがって、実装ヘッド４のコンパクト化をさらに容易にすることができる。

次に、係る構成の電子部品実装装置において、吸着ノズル２の上下方向の位置を補正するためのノズル位置調整方法を、図７〜９を参照して説明する。
１）全ての昇降軸３をエアシリンダ５により上方に退避させる。このとき、シリンダ支持部６は、上下駆動機構７により最下位に位置させる。

２）図７に示すように、実装ヘッド４の全ての吸着ノズル２が、実装位置設定用治具３６と対向するように、実装ヘッド４をＸ軸直動機構２９ＡおよびＹ軸直動機構２９Ｂにより移動させる。ここで、実装位置設定用治具３６は、吸着ノズル２の先端が当接する平面３６ａを有する部材である。また、実装位置設定用治具３６は、平面３６ａが水平度を保つよう調製することができるように構成されており、吸着ノズル２の位置を調整する際には、事前に平面３６ａが所望の水平度を有するように調製を行っておく。また、実装位置設定用治具３６は、平面３６ａに吸着ノズル２の先端が当接したときに吸着ノズル２の位置が実装位置と正確に一致するように位置決めされている。この移動が完了すると、安全のために、Ｘ軸直動機構２９Ａ、Ｙ軸直動機構２９Ｂ、エアシリンダ５、および上下駆動機構７は、全て動作しない状態とする。

３）吸着ノズル２の位置を調整する昇降軸３（以下、調整対象の昇降軸３などと表現する）の回転阻止部材３５を、第２雄ねじ部４１Ｂの先端が第１雄ねじ部４１Ａから離れる方向に回転させる。以下、このような操作を、回転阻止部材３５を緩める、などと表現する。
４）エアシリンダ５により調整対象の昇降軸３を最下位まで移動させたときに、吸着ノズル２が実装位置よりも若干上方に位置するように継手４０を接続部材３４に対して回転させる。
５）調整対象の昇降軸３をエアシリンダ５により最下位に移動させる。
６）図８に示すように、調整対象の昇降軸３の吸着ノズル２の先端が実装位置設定用治具３６と当接するように、継手４０を接続部材３４に対して回転させる。これにより、吸着ノズル２が実装位置に正確に位置するように、吸着ノズル２の位置が調整される。なお、図８においては、回転阻止部材３５が緩められていることを分かりやすくするために、回転阻止部材３５を継手４０から取り外した状態が示されている。

７）図９に示すように、第２雄ねじ部４１Ｂの先端を第１雄ねじ部４１Ａと当接させて、第１雄ねじ部４１Ａの第２雌ねじ部４２Ｂに対する回転を阻止するように、調整対象の昇降軸３に対応する回転阻止部材３５を回転させる。これにより、上記手順６において調整された吸着ノズル２の位置が保持される。以下、本手順のような操作を、回転阻止部材３５を締め込む、などと表現する。
８）全ての昇降軸３の吸着ノズル２の位置を調整するように、上記３）〜７）の操作を繰り返し実行する。

以上説明したように、本実施の形態１の電子部品実装装置によれば、昇降軸３と接続部材３４の継手４０に吸着ノズル２の上下方向（進退方向）の位置を調整する位置調整手段（第１雄ねじ部４１Ａ、第１雌ねじ部４２Ａ）を設けたので、エアシリンダ５のような２つの位置の間を往復動するだけの単純な移動機構により昇降軸３を軸方向に移動させる構成においても、吸着ノズル２が正確に実装位置に位置するように昇降軸３を移動させることが可能となる。これにより、リニアモータなどの位置を検出し得る高価な移動機構を採用することなしに、吸着ノズル２が正確に実装位置に位置するように昇降軸３を移動させることができる。したがって、電子部品実装装置が高価格化するのを防止しながら、実装精度を向上させることができる。この価格を抑えられる点についての効果は、複数の吸着ノズル２を有する多連ノズルヘッドを備えた電子部品実装装置においては特に顕著となる。

〈実施の形態２〉
次に、図１０および図１１を参照して本発明の実施の形態２を説明する。本実施の形態２は、実施の形態１の電子部品実装装置におけるノズル位置調整方法を改変したものである。以下、実施の形態１の説明に参照した図面をも参照しながら、本実施の形態２を説明する。

１）全ての昇降軸３をエアシリンダ５により上方に退避させる。このとき、シリンダ支持部６は、上下駆動機構７により最下位に位置させる。
２）図７に示すように、実装ヘッド４の全ての吸着ノズル２が、実装位置設定用治具３６と対向するように、実装ヘッド４をＸ軸直動機構２９ＡおよびＹ軸直動機構２９Ｂにより移動させる。ここで、実装位置設定用治具３６は、吸着ノズル２の先端が当接する平面３６ａを有する部材である。また、実装位置設定用治具３６は、平面３６ａに吸着ノズル２の先端が当接したときに吸着ノズル２の位置が実装位置と正確に一致するように位置決めされている。この移動が完了すると、安全のために、Ｘ軸直動機構２９Ａ、Ｙ軸直動機構２９Ｂ、エアシリンダ５、および上下駆動機構７は、全て動作しない状態とする。

３）全ての昇降軸３の回転阻止部材３５を緩めるように回転させる。
４）エアシリンダ５により昇降軸３を最下位まで移動させたときに、吸着ノズル２が実装位置よりも若干上方に位置するように全ての昇降軸３の継手４０を接続部材３４に対して回転させる。

５）全ての昇降軸３をエアシリンダ５により最下位に移動させる。
６）図１０に示すように、全ての昇降軸３の吸着ノズル２の先端が実装位置設定用治具３６と当接するように、順次、対応する各継手４０を接続部材３４に対して回転させる。これにより、全ての吸着ノズル２が実装位置に正確に位置するように、吸着ノズル２の位置が調整される。なお、図１０においては、回転阻止部材３５が緩められていることを分かりやすくするために、回転阻止部材３５を継手４０から取り外した状態が示されている。
７）図１１に示すように、全ての昇降軸３の回転阻止部材３５を締め込んで、上記手順６において調整された吸着ノズル２の位置を保持する

以上説明したように、本実施の形態２の電子部品実装装置によれば、全ての昇降軸３の吸着ノズル２が正確に実装位置に位置するように一括して調整することが可能となる。これにより、ノズル位置の調整作業を迅速に行うことが可能となる。

〈実施の形態３〉
次に、図１２を参照して本発明の実施の形態３を説明する。本実施の形態３は、実施の形態１を改変したものであり、実施の形態１とは異なる部分のみを説明する。

本実施の形態３においては、図１２に示すように、継手４０Ｇの上端側にラジアル軸受１１Ｈ、１１Ｉを介して接続部材３４Ｇが回動自在に取り付けられている。また、昇降軸３Ｇの上端部に第１雄ねじ部４１Ａが設けられている。これと対応して、継手４０Ｇの下端側に、第１雄ねじ部４１Ａと螺合する第１雌ねじ部４２Ａが設けられている。そして、第１雄ねじ部４１Ａを第１雌ねじ部４２Ａと螺合させた状態で継手４０Ｇを正逆回転することにより吸着ノズル２の上下方向、つまり進退方向（軸方向）の位置が調整される。ここで、第１雌ねじ部４２Ａは、上下に２分割されており、各分割体の間には中空部４０ｃ が介在している。

中空部４０ｃの側方には、第１雌ねじ部４２Ａと軸線が交わるように第２雌ねじ部４２Ｂが形成されている。そして、第２雌ねじ部４２Ｂには、周面に第２雄ねじ部４１Ｂが形成された短軸状の回転阻止部材３５が螺合される。回転阻止部材３５は、第２雄ねじ部４１Ｂが第２雌ねじ部４２Ｂにねじ込まれることにより、第２雄ねじ部４１Ｂの先端が第１雌ねじ部４２Ａに螺合した第１雄ねじ部４１Ａと当接して、第１雄ねじ部４１Ａの第１雌ねじ部４２Ａに対する回転を阻止する部材である。この回転阻止部材３５により、継手４０Ｇを昇降軸３Ｇに対して回転させることにより調節される吸着ノズル２の上下方向（軸方向）の位置が保持される。

以上のように、昇降軸３Ｇに第１雄ねじ部４１Ａを設けた構成においても、実施の形態１および実施の形態２と同様にして、吸着ノズル２の位置を調整することが可能である。

〈実施の形態４〉
次に、図１３を参照して本発明の実施の形態４を説明する。本実施の形態４は、実施の形態１を改変したものであり、実施の形態１とは異なる部分のみを説明する。

本実施の形態４においては、図１３に示すように、継手４０の中空部４０ｃに接続部材３４に設けられた第１雄ねじ部４１Ａと螺合するナット３７が収容されている。そして、接続部材３４の第１雄ねじ部４１Ａを継手４０の第１雌ねじ部４２Ａおよびナット３７と螺合させた状態で、継手４０を正逆回転することにより吸着ノズル２の上下方向、つまり進退方向（軸方向）の位置が調整される。

中空部４０ｃの側方には、第１雌ねじ部４２Ａと軸線が交わるように第２雌ねじ部４２Ｂが形成されている。そして、第２雌ねじ部４２Ｂには、周面に第２雄ねじ部４１Ｂが形成された短軸状の回転阻止部材３５が螺合される。回転阻止部材３５は、第２雄ねじ部４１Ｂが第２雌ねじ部４２Ｂにねじ込まれることにより、第２雄ねじ部４１Ｂの先端がナット３７と当接して、第１雄ねじ部４１Ａの第１雌ねじ部４２Ａに対する回転を阻止する。

以上のように、本実施の形態４においては、第２雄ねじ部４１Ｂの先端を、第１雄ねじ部４１Ａと螺合したナット３７と当接させて、第１雄ねじ部４１Ａの第１雌ねじ部４２Ａに対する回転を阻止するものとしている。これにより、第２雄ねじ部４１Ｂの先端が第１雄ねじ部４１Ａと直接的に圧接して、第１雄ねじ部４１Ａのねじ山が潰れてしまうのを防止することが可能となる。したがって、位置調整手段の耐久性が向上する。

〈実施の形態５〉
次に、図１４を参照して、本発明の実施の形態５を説明する。図１４は本発明の実施の形態５に係る電子部品実装装置の一部を断面にした側面図である。
本実施の形態５は、実施の形態１を改変したものであり、実施の形態１とは異なる部分のみを説明する。

本実施の形態５の電子部品実装装置においては、実施の形態１と同様の継手４０が使用されるが、昇降軸３は、複数列ではなく１列に、互いに平行に並ぶように配設されている。
また、第２嵌合部８ｆは、第１嵌合部１５ｂの真上から、昇降軸３が並ぶ列の片側の方向において所定距離ずれた位置に、第１嵌合部１５ｂの突出方向、つまり吸着ノズル２の進出方向とほぼ同一の方向に突出するように設けられている。

そして、チューブ１８は、吸着ノズル２の進出方向、つまり鉛直下方に向かって凸に湾曲する冗長部１８ａを形成するように、第１嵌合部１５ｂに一端部が嵌合され、第２嵌合部８ｆに他端部が嵌合される。この構成においても、吸着ノズル２の進出方向と略同一の方向に凸に湾曲する必要十分な大きさの冗長部１８ａを形成することで、吸着ノズル２を進退させるように昇降軸３を昇降させても、チューブ１８から第１嵌合部１５ｂに働く力の大きさ、および方向は殆ど変化しない。したがって、昇降軸３を昇降させたときに昇降軸３がチューブ１８から力を受けて撓むなどして、電子部品の実装精度が低下するのを防止することができる。

以上述べたように、本発明は、昇降軸３の列が１列であり、チューブ１８の接続態様が異なる電子部品実装装置に対しても好適に適用することができる。

以上、本発明を実施の形態により説明したが、本発明は、種々改変が可能である。例えば、上記各実施の形態においては、エアシリンダ５の支持部６を、リニアガイド７ａに沿って上下にスライドするスライダ７ｂに取り付けるものとしたが、図１５に示すように、エアシリンダ（図示しない）の支持部６Ｇを、カム機構により上下動させるものとしてもよい。このカム機構は、上下駆動モータ３１Ｇの回転軸２３ａに取り付けられた、偏芯した楕円形のカム板２３、カム板２３の周面と摺接する摺接部材２４、並びに摺接部材２４を支持部６Ｇに固定する固定部材２５から構成されている。支持部６Ｇは図示しない付勢部材により上方に付勢されており、カム板２３の回転に追従して支持部６Ｇが上下動し、これにより、昇降軸３Ｇが一括して上下動するように構成されている。

また、上記各実施の形態においては、昇降軸は、２列または１列に並ぶものとしたが、昇降軸の並び方はこれに限らず、昇降軸が例えば円形に並ぶように配設することもできる。この場合には、チューブの取り付け位置を円の内側および外側のいずれに設定することも可能である。
また、昇降軸３は、吸着ノズル２が先端に一体的に設けられている構成のものに限られない。多種の電子部品の吸着に対応し得るように、昇降軸３を様々な形状の吸着ノズルが脱着可能とされた構成とすることも可能である。

また、第１雄ねじ部４１Ａの回転を阻止する回転阻止機構は、上述した回転阻止部材３５によるものに限らず、図１６および図１７に示すように、第１雌ねじ部４２Ａの径を可変とすることにより第１雄ねじ部４１Ａの第１雌ねじ部４２Ａに対する回転を阻止するようにしてもよい。図１６の例では、継手４３の一対の可撓部４３ｂの根本部分に第１雌ねじ部４２Ａが形成され、可撓部４３ａをねじ４４により締めることにより、第１雌ねじ部４２Ａと螺合する第１雄ねじ部４１Ａの第１雌ねじ部４２Ａに対する回転が阻止される。また、図１７の例では、継手４５の一対の可撓部４５ａの間に第１雌ねじ部４２Ａが形成され、可撓部４５ａを、レバー４６を回動させて締めることにより、第１雄ねじ部４１Ａの第１雌ねじ部４２Ａに対する回転が阻止される。

さらに、実装位置設定用治具は上述した構成のものに限らず、吸着ノズル２の実装位置を正確に設定し得るものであれば、どのような構成であってもよい。例えば、光電管を使用したセンサを使って、吸着ノズル２が実装位置にあることを検出するようにして、吸着ノズル２の進退方向（上下方向）の位置を調整してもよい。
また、ロードセルを使用して、吸着ノズル２が実装位置にあることを検出するようにして、吸着ノズル２の進退方向（上下方向）の位置を調整してもよい。

また、実施形態のエアシリンダ５と上下駆動機構７に代えて、各昇降軸３を独立に上下移動させることができるリニアモータ等の軸方向移動機構を昇降軸３毎に備えるようにした場合においても同様の効果を得ることができる。すなわち、リニアモータ等の個別の上下移動機構により全ての昇降軸３を同じ指令値により移動させて、その時の各吸着ノズル２の位置を上記実施の形態と同様にして調整すれば、各吸着ノズル２の位置は、同じ指令値を使った場合に全て等しい位置となる。したがって、昇降軸３毎の補正データを記憶することなく、全ての吸着ノズル２を正確に実装位置等に移動させることができる。

本発明の電子部品実装装置によれば、吸着ノズルの上下方向の位置を安価な機構により、簡単な操作で基準位置に一致させることができる。

本発明の実施の形態１に係る電子部品実装装置の一部を断面にした斜視図である。 図１の装置の一部を模式化して拡大した断面図である。 図１の装置の全体構成を簡略化して示す平面図である。 図１の装置の継手の詳細を示す縦断面図である。 図２の回転継手の周辺の拡大図である。 図２のボールスプラインの周辺の拡大図である。 図１の装置を使用したノズル位置調整方法の手順の参照図であり、全ての吸着ノズルが最上位にある状態を示している。 図１の装置を使用したノズル位置調整方法の手順の参照図であり、調整対象の吸着ノズルが最下位にある状態を示している。 図１の装置を使用したノズル位置調整方法の手順の参照図であり、調整対象の吸着ノズルの位置の調整を完了した状態を示している。 本発明の実施の形態２に係るノズル位置調整方法の手順の参照図であり、全ての吸着ノズルが最下位にある状態を示している。 本発明の実施の形態２に係るノズル位置調整方法の手順の参照図であり、調整対象の吸着ノズルの位置の調整を完了した状態を示している。 本発明の実施の形態３に係る電子部品実装装置の継手の詳細を示す縦断面図である。 本発明の実施の形態４に係る電子部品実装装置の継手の詳細を示す縦断面図である。 本発明の実施の形態５に係る電子部品実装装置の一部を断面にした側面図である。 本発明の１つの変形例に係る電子部品実装装置の斜視図である。 本発明の別の変形例に係る電子部品実装装置の回転阻止機構の斜視図である。 本発明のさらに別の変形例に係る電子部品実装装置の回転阻止機構の斜視図である。 従来の電子部品実装装置の一例を示す側面図である。 従来の電子部品実装装置の他の一例を示す側面図である。 従来の電子部品実装装置のさらに他の一例を示す側面図である。

符号の説明

２ 吸着ノズル
３ 昇降軸
４ 実装ヘッド
５ エアシリンダ
７ 上下駆動機構
３４ 接続部材
３５ 回転阻止部材
４０ 継手（連結部）
４１Ａ 第１雄ねじ部
４１Ｂ 第２雄ねじ部
４２Ａ 第１雌ねじ部
４２Ｂ 第２雌ねじ部

Claims (14)

1. 電子部品を吸着する吸着ノズルが先端側に設けられた軸状の電子部品保持部材と、
   前記吸着ノズルを、吸着した前記電子部品を基板に実装する実装位置と退避位置との間で進退させるように、前記保持部材を軸方向に移動する軸方向移動機構と、
   前記軸方向移動機構と前記保持部材とを接続する軸状の接続部材と、
   前記接続部材と前記保持部材とを回動自在に連結する連結部と、
   前記保持部材を軸回りに回動させる回動機構と、
   前記保持部材を、前記吸着ノズルにより前記電子部品を吸着し、該吸着された電子部品を基板上に実装させるように、前記軸方向とは異なる方向に移動する吸着ノズル移動機構と、を具備した電子部品実装装置であって、
   前記連結部に、前記吸着ノズルの前記軸方向の位置を調整する位置調整手段を設けた電子部品実装装置。
2. 前記連結部に、前記位置調整手段により調整された前記吸着ノズルの位置を保持する位置保持機構をさらに設けた請求項１記載の電子部品実装装置。
3. 前記保持部材は、前記連結部に軸受を介して回動自在に取り付けられており、
   前記接続部材は、前記保持部材との接続端側に第１雄ねじ部が形成されており、
   前記位置調整手段は、前記接続部材の第１雄ねじ部が螺合する第１雌ねじ部を前記連結部に設けて構成されている請求項１または２記載の電子部品実装装置。
4. 前記接続部材は、前記連結部に軸受を介して回動自在に取り付けられており、
   前記保持部材は、前記接続部材との接続端側に第１雄ねじ部が形成されており、
   前記位置調整手段は、前記保持部材の第１雄ねじ部が螺合する第１雌ねじ部を前記連結部に設けて構成されている請求項１または２記載の電子部品実装装置。
5. 前記位置保持機構は、前記第１雄ねじ部の前記第１雌ねじ部に対する回転を阻止して、前記吸着ノズルの位置を保持する請求項２〜４のいずれかに記載の電子部品実装装置。
6. 前記位置保持機構は、
   前記第１雌ねじ部と軸線が交わるように前記連結部に形成された第２雌ねじ部と、
   前記第２雌ねじ部と螺合する第２雄ねじ部を有し、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部と当接させて、前記第１雄ねじ部の前記第１雌ねじ部に対する回転を阻止する軸状部材と、
   を含む請求項５記載の電子部品実装装置。
7. 前記位置保持機構は、
   前記第１雌ねじ部と軸線が交わるように前記連結部に形成された第２雌ねじ部と、
   前記保持部材または前記接続部材の第１雄ねじ部と螺合するナットと、
   前記第２雌ねじ部と螺合する第２雄ねじ部を有し、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部と螺合したナットと当接させて、前記第１雄ねじ部の前記第１雌ねじ部に対する回転を阻止する軸状部材と、
   を含む請求項５記載の電子部品実装装置。
8. 複数の前記保持部材が、互いに平行に、列をなすように並べられて実装ヘッドを構成している請求項１〜７のいずれかに記載の電子部品実装装置。
9. 前記軸方向駆動機構が、前記複数の保持部材のそれぞれを個別に前記軸方向に移動させる個別移動機構と、前記複数の保持部材を一括して前記軸方向に移動させる一括移動機構とを含む請求項８記載の電子部品実装装置。
10. 前記個別移動機構が、エアシリンダを含む請求項９記載の電子部品実装装置。
11. 請求項８〜１０のいずれかに記載の電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
    前記複数の保持部材の１つの保持部材を、前記吸着ノズルを前記実装位置に位置させるように前記軸方向移動機構により移動する工程（ａ）、
    前記軸方向移動機構により移動された前記１つの保持部材の前記吸着ノズルを実際に前記実装位置に位置させるように前記位置調整手段により前記吸着ノズルの位置を調整する工程（ｂ）、並びに
    前記位置調整手段により位置が調整された前記吸着ノズルの位置を前記位置保持機構により保持させる工程（ｃ）、を含み、
    前記複数の保持部材の全てについて前記吸着ノズルの位置を調整するように、前記工程（ａ）〜（ｃ）を繰り返し実行するノズル位置調整方法。
12. 請求項８〜１０記載の電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
    前記複数の保持部材を、順次、前記吸着ノズルを前記実装位置に位置させるように前記軸方向移動機構により移動する工程（ａ）、
    前記軸方向移動機構により移動された前記複数の保持部材の前記吸着ノズルを順次実際に前記実装位置に位置させるように前記位置調整手段により前記吸着ノズルの位置を調整する工程（ｂ）、並びに
    前記位置調整手段により位置が調整された前記吸着ノズルの位置を順次前記位置保持機構により保持させる工程（ｃ）、を含むノズル位置調整方法。
13. 請求項８〜１０記載の電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
    前記吸着ノズルが退避位置に位置するように前記軸方向移動機構により前記複数の保持部材を移動させる工程（ａ）、
    前記複数の保持部材の前記吸着ノズルが実装位置設定用治具と対向するように、前記実装ヘッドを前記吸着ノズル移動機構により移動させる工程（ｂ）、
    前記複数の保持部材の１つの保持部材に対応する前記軸状部材を、前記第２雄ねじ部の先端が前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接しないように回転させるとともに、前記吸着ノズルの位置が前記実装位置よりも若干退避した位置となるように、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｃ）、
    前記１つの保持部材を、前記吸着ノズルが前記実装位置に位置すべき位置に前記軸方向移動機構により移動させる工程（ｄ）、
    前記１つの保持部材の前記吸着ノズルが前記実装位置設定用治具と当接するように、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｅ）、並びに
    前記１つの保持部材に対応する前記軸状部材を、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接させるように回転する工程（ｆ）、を含み、
    前記複数の保持部材の全てについて前記吸着ノズルの位置を調整するように、前記工程（ａ）〜（ｆ）を繰り返し実行するノズル位置調整方法。
14. 請求項８〜１０記載の電子部品実装装置を使用して前記吸着ノズルの位置を調整するノズル位置調整方法であって、
    前記吸着ノズルが退避位置に位置するように前記軸方向移動機構により前記複数の保持部材を移動させる工程（ａ）、
    前記複数の保持部材の前記吸着ノズルが実装位置設定用治具と対向するように、前記実装ヘッドを前記吸着ノズル移動機構により移動させる工程（ｂ）、
    前記複数の保持部材のそれぞれに対応する前記軸状部材を、順次、前記第２雄ねじ部の先端が前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接しないように回転させるとともに、前記吸着ノズルの位置が前記実装位置よりも若干退避した位置となるように、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｃ）、
    前記複数の保持部材を、前記吸着ノズルが前記実装位置に位置すべき位置に前記軸方向移動機構により移動させる工程（ｄ）、
    前記複数の保持部材の前記吸着ノズルが前記実装位置設定用治具と当接するように、順次、前記連結部を前記接続部材または前記１つの保持部材に対して回転させる工程（ｅ）、並びに
    前記複数の保持部材のそれぞれに対応する前記軸状部材を、順次、前記第２雄ねじ部の先端を前記第１雄ねじ部または前記ナットと当接させるように回転する工程（ｆ）、を含むノズル位置調整方法。

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