JP5766420B2 - ダイボンディング装置とボンディング方法 - Google Patents
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Description
更には、前感圧素子はピエゾ素子であり、前記ピエゾ素子は、2乃至4個のいずれかであることが好ましい。
Claims (7)
- 先端に半導体チップを吸着及び保持するコレットを含むボンディングヘッドと、
前記ボンディングヘッドを保持して水平方向に移動する水平移動機構と、
前記コレットを上下方向に移動する垂直移動機構と、
前記ボンディングヘッドと前記コレットとの間の一部に、複数個の感圧素子を備えた着地及び傾斜検出部と、
前記傾斜を検出した場合にエラーを表示する表示部と、
を有することを特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項1に記載したダイボンディング装置において、
前記着地及び傾斜検出部は、前記コレットから伸びたシャフトを二つに分離してその当接部に対向するように形成した一対の鍔部を有し、前記感圧素子が前記一対の鍔部の間に、前記シャフトの中心に対して均等に配置して構成されていることを特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項2に記載したダイボンディング装置において、前記感圧素子はピエゾ素子であることを特徴とするダイボンディング装置。
- 請求項3に記載したダイボンディング装置において、前記ピエゾ素子は、2乃至4個のいずれかであることを特徴とするダイボンディング装置。
- 請求項1に記載したダイボンディング装置において、さらに複数個の感圧素子と接続された処理回路を有し、前記感圧素子から得られた合計信号が所定の値を超えた場合に着地を検出することを特徴とするダイボンディング装置。
- 請求項5に記載したダイボンディング装置において、前記感圧素子から得られた信号の差異により傾斜を検出することを特徴とするダイボンディング装置。
- コレットから伸びたシャフトを二つに分離してその当接部に対向するように形成した一対の鍔部の間に、複数の感圧素子を、前記シャフトの中心に対して均等に配置し、
前記複数の感圧素子からの圧力検出信号の合計に基づいて、前記コレットの着地を検出し、
前記複数の感圧素子からの圧力検出信号の間の差異に基づいて、前記コレットの先端に吸着した半導体チップを含めた傾斜を検出し、
前記傾斜を検出した場合にエラーを表示することを特徴とするボンディング方法。
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