JPH06132357A - ボンディング装置における傾斜調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ボンディングツール及びボンディングプレー
トの相対傾斜角度の調整が迅速になされ、しかも、調整
に伴う人為的な誤りの発生を防止した傾斜調整装置を提
供すること。 【構成】 圧電アクチュエータ等から成る変位手段の作
動によってボンディングツール８とボンディングプレー
ト２の相対傾斜角度の調整が自動的に行われるので、従
来行われていた作業者による傾斜調整作業が不要とな
り、被ボンディング部品の品種変更に伴うボンディング
ツールの交換時間の大幅な短縮及びその簡略化が達成さ
れる他、作業者による誤調整に基づく問題も回避され、
生産性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路（Ｉ
Ｃ）や大規模集積回路（ＬＳＩ）などの半導体部品を被
ボンディング部品としてインナーリードボンディングす
る場合やインナーリードボンディングされた半導体デバ
イスを被ボンディング部品としてアウターリードボンデ
ィングする場合等に用いられるボンディング装置に装備
される傾斜調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のボンディング装置として
図８に示すようなテープボンディング装置がある。図示
のように、当該テープボンディング装置は、被ボンディ
ング部品としての半導体集積回路（以下、ＩＣと称す
る）１が載置される平坦なボンディングプレート２と、
該ボンディングプレート２を担持するベース３とを有
し、該ベース３はＸＹθテーブル４上に搭載されてい
る。ＩＣ１は、該ＩＣの上方に図示せぬ搬送機構によっ
て持ち来されるテープキャリア６に設けられたリード
（図示せず）に対して相対的に位置決めされた後、後述
するように該ＩＣ１のバンプ（電極）が該リードとボン
ディング接続される。ＸＹθテーブル４は、ベース３に
対して水平面内における二次元的座標並びに回転角度の
位置補正を行い、テープキャリア６に設けられたリード
とＩＣ１のバンプとの相対的位置を整合させるものであ
る。

【０００３】一方、ボンディングプレート２の上方に
は、ＩＣ１を押圧するためのボンディングツール８が配
設されている。このボンディングツール８は、ツール上
下機構９に取り付けられており、該ツール上下機構９の
作動によってボンディングプレート２に対して近接及び
離間するように移動される。このツール上下機構９は、
ボンディングツール８が着脱自在に取り付けられるツー
ルホルダ１１と、該ツールホルダ１１を保持してスライ
ダとして作用するホルダ取付ブロック１２と、スライド
ガイド１３と、中間スライダ１４と、スライドガイド１
５とを備えている。

【０００４】ボンディングツール５の更に上方には、該
ボンディングツール８に対して押圧力を付与する加圧機
構１７が配置され、上記ツール上下機構９と共にＸＹテ
ーブル１９に取り付けられている。

【０００５】次に、上記構成よりなる従来の装置の動作
について説明する。

【０００６】まず、ボンディングプレート２上に載置さ
れたＩＣ１の上方にテープキャリア６が所定のピッチで
間欠的に送られてくると、図示せぬ制御手段からの指令
によりＸＹθテーブル４が作動し、テープキャリア６上
のリードとＩＣ１との位置の整合が行なわれる。その
後、ＸＹテーブル１９が作動し、該リード及びＩＣ１の
バンプに対するボンディングツール８の位置決めがなさ
れる。この位置決めが完了すると、ツール上下機構９が
作動し、ボンディングツール８が下降してＩＣ１に当接
する。同時に、加圧機構１７の出力軸１７ａが突出して
ボンディングツール８に押圧力を付与し、ＩＣ１のバン
プとリードとの熱圧着によるボンディング接続が行なわ
れる。なお、ボンディング接続部の加熱は、ボンディン
グツール８に内蔵されたカートリッジヒータ（図示せ
ず）等によりなされる。また、ボンディングツール８の
下降及び上昇は、ツール上下機構９に設けられた変位検
出器２０によって検出される。

【０００７】このボンディング接続が完了すると、上記
とは逆の過程を経て図８に示す状態に復帰する。以後、
続けてボンディング接続が行われるべき多数のＩＣに対
して、上述の一連の動作が繰り返される。

【０００８】ところで、上述したようなボンディング接
続作業を行なう場合、ボンディングプレート２の載置面
２ａに対するボンディングツール８の押圧面８ａの平行
度が重要であり、この平行度が高精度に設定されていな
いとリードの潰れ量が不均一となって接触面積が不足し
て信頼性が低下したり、ＩＣ１に集中荷重が加わってこ
れを損傷する等の不都合が生ずる。

【０００９】そこで、この平行度を得るため、ボンディ
ングプレート２に対するボンディングツール８の傾斜角
度を調整するための傾斜調整装置２２が設けられてい
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置においては、被ボンディング部品であるＩＣ１の種
類変更に伴なうボンディングツール８の交換の度に、上
記傾斜調整装置２２を作業者が手作業にて操作して調整
を行う必要がある。このような調整作業には多大な時間
と労力を費やさなければならず、作業者に煩わしさを感
じさせると共にボンディング作業の高速化並びに能率向
上を図る上で解決されるべき問題となっている。また、
この調整作業において誤調整がなされた場合には、その
後の装置の作動によりＩＣ１の破壊並びに装置自体の故
障等を招来する恐れがあるという欠点がある。

【００１１】そこで、本発明は上記従来技術の欠点に鑑
みてなされたもので、ボンディングツール及びボンディ
ングプレートの相対傾斜角度の調整が迅速になされ、し
かも、調整に伴う人為的な誤りの発生を防止した傾斜調
整装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、ツールホルダ
に傾斜可能に取り付けられて被ボンディング部品を押圧
するためのボンディングツールの傾斜角度を調整するボ
ンディング装置における傾斜調整装置において、前記ツ
ールホルダ及びボンディングツール間に複数の変位手段
を介装するように構成したものである。また、本発明
は、ベース上に傾斜可能に設けられて被ボンディング部
品が載置されるボンディングプレートの傾斜角度を調整
するボンディング装置における傾斜調整装置において、
前記ベース及びボンディングプレート間に複数の変位手
段を介装するように構成したものである。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例としての各種傾斜調整
装置を含むテープボンディング装置の要部について図面
を参照しつつ説明する。なお、これらの傾斜調整装置が
装備されるテープボンディング装置は図８に示した従来
のボンディング装置と同様に構成されている故、ボンデ
ィング装置全体の説明は省略して要部である傾斜調整装
置のみの説明に留める。また、以下の説明において、該
従来の装置の構成部材と同一又は対応する構成部材につ
いては同じ参照符号を用いている。また、２例の実施例
を記載するが、これらのことは該各実施例に関して同様
である。

【００１４】図１及び図２に、本発明の第１実施例とし
ての傾斜調整装置を示す。

【００１５】当該傾斜調整装置は、被ボンディング部品
としてのＩＣ１（図８参照）をボンディングプレート２
に向けて押圧するためのボンディングツール８の傾斜角
度を調整するものであり、下記のように構成されてい
る。

【００１６】図示のように、該傾斜調整装置において
は、ボンディングツール８をツールホルダ１１に対して
傾斜可能に支持する支持手段３１を備えている。、この
支持手段３１は、夫々例えば金属あるいは樹脂等を素材
として円盤状に形成されて下方に向って順に、しかも同
心的に配置された固定部材３３、第１可動部材３４及び
第２可動部材３５を有している。そして、固定部材３３
がツールホルダ１１に固定されており、第２可動部材３
５の下面側にボンディングツール８が装着されている。

【００１７】第１可動部材３４と固定部材３３との間に
は柱状部３４ａが該各部材と同心的に介在せられてお
り、第１可動部材３４は該第１可動部材３４及び柱状部
３４ａの相互結合部が弾性変形することによって該柱状
部３４ａを中心として揺動する。また、該第１可動部材
３４とその下段に配設された第２可動部材３５に関して
も、これら両者間に柱状部３５ａが介装されており、上
記と同様に、第２可動部材３５が第１可動部材３４に対
して揺動可能となっている。

【００１８】なお、本実施例においては、固定部材３
３、第１可動部材３４及び第２可動部材３５並びに両柱
状部３４ａ、３５ａが互いに一体に形成されているが、
これらを別体に形成してもよい。

【００１９】固定部材３３と第１可動部材３４との間並
びに該第１可動部材３４と第２可動部材３５との間に
は、変位手段として、夫々４つずつの圧電アクチュエー
タ４１ａ〜４１ｄ及び４２ａ〜４２ｄがそれらの作動方
向が各柱状部３４ａ、３５ａの軸中心と平行となるよう
に介装されており、かつ、第１可動部材３４及び第２可
動部材３５に対して各々の端部が固着されている。図２
から明らかなように、これらの圧電アクチュエータは、
ボンディングツール８を中心とする仮想円上に等ピッチ
にて配設されており、その２つずつがボンディングツー
ル８に関して対称に位置している。

【００２０】なお、この圧電アクチュエータは、これに
電圧を印加するとその電圧の大きさに応じて素子が伸縮
し、又逆に、伸縮することにより電圧の変化を生じさせ
るものである。

【００２１】上記した８つの圧電アクチュエータのう
ち、第１可動部材３４と第２可動部材３５の間に設けら
れた４つの圧電アクチュエータ４２ａ〜４２ｄについて
はボンディングツール８とボンディングプレート２の相
対傾斜角度を検出する検出手段として作用するもので、
上述の両性質のうち、伸縮量に応じた電圧を生じる性質
を利用する。また、他の４つ、すなわち固定部材３３と
第１可動部材３４との間に介装された圧電アクチュエー
タ４１ａ〜４１ｄに関しては、ボンディングプレート２
の載置面２ａに対してボンディングツール８の押圧面８
ａを平行とすべく傾斜を補正する補正手段として作用す
るもので、印加した電圧に応じて伸縮する性質を利用す
る。

【００２２】図３は、本発明に係る傾斜調整装置の作動
制御系を示すものであるが、該図から明らかなように、
上記した検知手段として作用する各圧電アクチュエータ
４２ａ〜４２ｄの伸縮に起因する電圧は制御回路４４に
より監視される。そして、制御回路４４は、この各電圧
に基づき、演算回路４５をして所定の演算処理を行わ
せ、その演算処理結果に応じた電圧を駆動回路４６によ
り傾斜補正用の各圧電アクチュエータ４１ａ〜４２ｄの
夫々に供給する。

【００２３】次に、上記構成よりなる傾斜調整装置の動
作を説明する。

【００２４】まず、ツール上下機構９（図８参照）の作
動によってボンディングツール８がこれを支えるツール
ホルダ１１と共に下降せられ、該ボンディングツール８
の先端がボンディングプレート２の載置面２ａに対して
所定の押圧力を以て当接する。

【００２５】このとき、図１に示すように、該載置面２
ａとボンディングツール８の押圧面８ａとの平行度が得
られていない場合、下記のように作動する。なお、以下
の説明は、ボンディングツール８が２次元的すなわち平
面内にて傾斜補正される内容であり、該ボンディングツ
ール８を挾んで互いに対称位置に配置された２つずつ、
合計４つの圧電アクチュエータ４２ａ、４２ｃ、４１ａ
及び４１ｃの動作に関する。説明は省略するが、これら
４つの圧電アクチュエータ４２ａ、４２ｃ、４１ａ、４
１ｃの動作と並行して他の４つの圧電アクチュエータ４
２ｂ、４２ｄ、４１ｂ、４１ｄの動作も同様になされ、
上記平面に対して直交する平面内における傾斜補正が行
われ、これにより、上記載置面２ａ及び押圧面８ａは３
次元的に傾斜補正される。

【００２６】上述したように、載置面２ａに対して押圧
面８ａが傾斜した状態であるから、図１において実線に
て示すように、最初に該押圧面８ａの角部が載置面２ａ
に当接する。すると、加えられている押圧力によって、
第２可動部材３５とこれを支えて反力を受ける柱状部３
５ａとの相互結合部が弾性変形を生じ、第２可動部材３
５と共にボンディングツール８が載置面２ａに倣うよう
にして極く僅か（その大きさは図示してはいない）傾
く。但しこのとき、第１可動部材３４はほとんど傾くこ
となく、図において実線にて示す状態を維持する。これ
は、該第１可動部材３４とこれを支える柱状部３４ａと
の相互結合部の剛性が、上記第２可動部材３５及び柱状
部３５ａの相互結合部の剛性に比べて大きく設定されて
いることによる。

【００２７】上記のように第２可動部材３５が僅かに傾
くと、該第２可動部材３５と第１可動部材３４の間に対
称に介装されている２つの圧電アクチュエータ４２ａ及
び４２ｃに関しては、一方の圧電アクチュエータ４２ａ
については圧縮力が加わり、他方の圧電アクチュエータ
４２ｃについては引張力が加わる。よって、引張力を受
けた圧電アクチュエータ４２ｃは伸び、その伸び量に応
じた電圧を発生することとなる。一方、圧縮力を受けた
圧電アクチュエータ４２ａに関してはこれ以上縮み得な
い状態をホームポジションとして設定されているので縮
みを生ずることはないが、その受けた圧縮力に比例した
電圧は発生する。

【００２８】上記２つの圧電アクチュエータ４２ａ及び
４２ｃにより発生する電圧は図３に示す制御回路４４に
より監視されており、該制御回路４４は、これらの電圧
に基づいて演算回路４５による演算処理を行いつつ、こ
の演算処理結果に基づいて駆動回路４６より傾斜補正用
の圧電アクチュエータ４１ｃに対して所要の電圧を供給
し、これを伸長させる。但し、該圧電アクチュエータ４
１ｃと対称に位置する他の傾斜補正用の圧電アクチュエ
ータ４１ａに対しては電圧を供給せず伸縮動作を行わせ
ない。

【００２９】以後、傾斜検出用の圧電アクチュエータ４
２ａ及び４２ｃより発生する電圧が互いに等しくなるま
で、上記した一連のフィードバック制御が続けられる。
かくして、図１において二点鎖線で示すように、第２可
動部材３５及び第１可動部材３４がボンディングプレー
ト２の載置面２ａに対して平行となり、ボンディングツ
ール８の押圧面８ａが該載置面２ａに密接し、該両面は
平行となる。

【００３０】図３に示す演算回路４５は、上記のように
圧電アクチュエータ４１ｃを伸ばすべくこれに加えるべ
き電圧を、圧電アクチュエータ４２ｃが発生する電圧に
補正値を垂じて得るためのものである。また、該補正値
とは、第２可動部材３５及び柱状部３５ａ並びに圧電ア
クチュエータ４２ａ、４２ｃから成る傾斜検出系の剛性
と、第１可動部材３４、柱状部３４ａ、圧電アクチュエ
ータ４１ａ、４１ｃから成る傾斜補正系の剛性との違い
や、同心的に設けられた両柱状部３４ａ、３５ａの中心
からの各圧電アクチュエータの中心までの距離の比を補
正するためのもので、実験等によってこれを求めて設定
する。

【００３１】なお、本実施例においては、ボンディング
プレート２の載置面２ａとボンディングツール８の押圧
面８ａとの３次元的な傾斜補正を行うために傾斜検出側
及び傾斜補正側共に４つの圧電アクチュエータを設けて
いるが、これらを３つずつとしても上記両面の傾斜補正
を行うことができる。

【００３２】図４及び図５に、本発明の第２実施例とし
ての傾斜調整装置を示す。

【００３３】図示のように、当該傾斜調整装置において
は、ボンディングツール８をツールホルダ１１に対して
傾斜可能に支持する支持手段５１が、下記のように構成
されている。

【００３４】該支持手段５１は、例えば円柱状に形成さ
れてツールホルダ１１に固着された固定部材５３と、該
固定部材５３の下部にスライダ５４を介して揺動自在に
取り付けられた第１可動部材５５と、該第１可動部材５
５の下部にスライダ５６を介して揺動自在に設けられて
その下面側にてボンディングツール８を担持した第２可
動部材５７とを有している。なお、これら各部材は金属
あるいは樹脂を素材として形成されている。

【００３５】両スライダ５４及び５６は半円板状に形成
されており、夫々、固定部材５３及び第１可動部材５５
に対して矢印Ｔ及びＵ方向、すなわち円周方向において
摺動自在である。また、これら両方向Ｔ及びＵは互いに
直交する。

【００３６】固定部材５３とスライダ５４との間並びに
第１可動部材５５とスライダ５６との間には、変位手段
として、夫々４つずつの圧電アクチュエータ６１ａ〜６
１ｄ及び６２ａ〜６２ｄが介装されている。詳しくは、
これらの圧電アクチュエータはその２つずつが、ゴムあ
るいは合成樹脂等からなる弾性部材６３ａ〜６３ｄを挟
んで直列に結合されている。そして、固定部材５３、ス
ライダ５４、第１可動部材５５及びスライダ５６に各々
形成された切欠部５３ａ、５４ａ、５５ａ、５６ａ内に
収容され、かつ、該各切欠部の縁部により挟持される状
態にて配置され、該縁部に夫々の端面が固着されてい
る。すなわち、両スライダ５４及び５６が各々固定部材
５３及び第１可動部材５５に対して摺動することによっ
て、上記各圧電アクチュエータと弾性部材６３ａ〜６３
ｄが引張力若しくは圧縮力を受けるように構成されてい
る。

【００３７】上記した各圧電アクチュエータのうち、４
つの圧電アクチュエータ６１ｂ、６１ｃ、６２ｂ及び６
２ｃについては、ボンディングツール８とボンディング
プレート２の相対傾斜角度を検出する検出手段として作
用するもので、その伸縮量に応じた電圧を生じる性質を
利用する。また、他の４つの圧電アクチュエータ６１
ａ、６１ｄ、６２ａ及び６２ｄに関しては、ボンディン
グプレート２の載置面２ａに対してボンディングツール
８の押圧面８ａを平行とすべく傾斜を補正する補正手段
として作用するもので、印加した電圧に応じて伸縮する
性質を利用する。

【００３８】図６は、上記した構成の傾斜調整装置の作
動制御系を示すものであるが、該図から明らかなよう
に、上記した検知手段として作用する各圧電アクチュエ
ータ６１ｂ、６１ｃ、６２ｂ、６２ｃの伸縮に起因する
電圧は制御回路６４により監視される。そして、制御回
路６４は、この各電圧に基づき、演算回路６５をして所
定の演算処理を行わせ、その演算処理結果に応じた電圧
を駆動回路６６により傾斜補正用の各圧電アクチュエー
タ６１ａ、６１ｄ、６２ａ及び６２ｄの夫々に供給す
る。

【００３９】次に、上記構成よりなる傾斜調整装置の動
作を図７をも参照しつつ説明する。

【００４０】まず、ツール上下機構９（図８参照）の作
動によってボンディングツール８がこれを支えるツール
ホルダ１１と共に下降せられ、該ボンディングツール８
の先端がボンディングプレート２の載置面２ａに対して
所定の押圧力を以て当接する。

【００４１】このとき、図４に示すように、該載置面２
ａとボンディングツール８の押圧面８ａとの平行度が得
られていない場合、下記のように作動する。なお、以下
の説明はボンディングツール８が２次元的すなわち矢印
Ｕ方向（図４参照）を含む平面内にて傾斜補正される内
容であり、２つずつを１組として該ボンディングツール
８を挟んで設けられた２組の圧電アクチュエータ６２ａ
〜６２ｄの動作に関する。説明は省略するが、これら４
つの圧電アクチュエータ６２ａ〜６２ｄの動作と並行し
て他の４つの圧電アクチュエータ６１ａ〜６１ｄの動作
も同様に行われ、上記の平面に対して直行する矢印Ｔ
（図５参照）を含む平面内における傾斜補正が行われ
る。これらにより、上記載置面２ａ及び押圧面８ａは３
次元的に傾斜補正される。

【００４２】上述したように、載置面２ａに対して押圧
面８ａが傾斜した状態であるから、図４において実線に
て示すように、最初に該押圧面８ａの角部が載置面２ａ
に当接する。すると、加えられている押圧力によって、
第２可動部材５７とこれを支えているスライダ５６が載
置面２ａに倣うようにして極く僅か（その大きさは図示
してはいない）傾く。

【００４３】上記のように第２可動部材５７と共にスラ
イダ５６が僅かに傾くと、該スライダ５６と第１可動部
材５５の間に介装されている４つの圧電アクチュエータ
６２ａ〜６２ｄに関し、図７の（ａ）に示す状態から同
（ｂ）に示す状態となる。すなわち、スライダ５６の片
側に配置されている２つの圧電アクチュエータ６２ａ及
び６２ｂについては引張力が加わり、他側に配設されて
いる他の２つの圧電アクチュエータ６２ｃ、６２ｄに関
しては圧縮力が加わる。よって、引張力を受けた圧電ア
クチュエータ６２ａ、６２ｂは伸び、その伸び量に応じ
た電圧を発生することとなる。また、これら２つの圧電
アクチュエータ６２ａ、６２ｂ、により挟まれている弾
性部材６３ｃは伸びを生ずる。

【００４４】一方、圧縮力を受けた圧電アクチュエータ
６２ｃ及び６２ｄに関しては、これ以上縮みを生じ得な
い状態をホームポジションとして設定されているので縮
みを生ずることはないが、その受けた圧縮力に比例した
電圧を発生する。また、これらの圧電アクチュエータ６
２ｃ及び６２ｄにより挟まれている弾性部材６３ｃは縮
む。なお、該弾性部材６３ｃが介装されてこれが縮むこ
とにより、スライダ５６（若しくは５４）の摺動動作が
可能となっている。すなわち、仮にこの弾性部材６３ｃ
が設けられていないとすると、第１可動部材５５及びス
ライダ５６に形成された切欠部５５ａ、５６ａの縁部に
より挟まれた状態にある各圧電アクチュエータ６２ｃ、
６２ｄはこれ以上縮み得ないことから、第１可動部材５
５及びスライダ５６は拮抗状態となり、スライダ５６の
摺動は不可能である。

【００４５】上記した傾斜検出用の２つの圧電アクチュ
エータ６２ｂ及び６２ｃにより発生する電圧は図６に示
す制御回路６４により監視されており、該制御回路６４
は、これらの電圧に基づいて演算回路６５による演算処
理を行いつつ、この演算処理結果に基づいて駆動回路６
６より傾斜補正用の圧電アクチュエータ６２ａに対して
所要の電圧を供給し、図７の（ｃ）に示すようにこれを
伸長させる。但し、該圧電アクチュエータ６２ａと対称
に位置する他の傾斜補正用の圧電アクチュエータ６２ｄ
に対しては電圧を供給せず、伸縮動作を行わせない。

【００４６】以後、傾斜検出用の圧電アクチュエータ６
２ｂ及び６２ｃより発生する電圧が互いに等しくなるま
で、上記した一連のフィードバック制御が続けられる。
かくして、図４において二点鎖線で示すように、第２可
動部材５７がボンディングプレート２の載置面２ａに対
して平行となり、ボンディングツール８の押圧面８ａが
該載置面２ａに密接し、該両面は平行となる。

【００４７】図６に示す演算回路６５は、上記のように
圧電アクチュエータ６２ａを伸ばすべくこれに加えるべ
き電圧を、圧電アクチュエータ６２ｂ、６２ｃが発生す
る電圧に補正値を垂じて得るためのものである。また該
補正値とは、第１可動部材５５とスライダ５６との間の
摺動抵抗等を補正するためのもので、実験等によってこ
れを求めて設定する。

【００４８】なお、上述した各実施例においては、ボン
ディングプレート２を固定側としてボンディングツール
８をこれに倣わせるようにして両者の相対傾斜角度の調
整を行う場合を示しているが、上述と同様の構成を用い
て、ボンディングプレート２をベース３上において傾斜
可能とし、該ボンディングプレート２をボンディングツ
ール８に倣うようにして傾斜調整を行う構成とすること
も可能である。

【００４９】また、上記各実施例においては、圧電アク
チュエータを変位手段として採用しているが、他の種々
の変位手段を用いてもよいことは勿論である。

【００５０】

【発明の効果】以上の説明したように、本発明による傾
斜調整装置においては、変位手段の作動によってボンデ
ィングツールとボンディングプレートの相対傾斜角度の
調整が自動的に行われるので、従来行われていた作業者
による傾斜調整作業は不要となり、被ボンディング部品
の品種変更に伴うボンディングツールの交換時間の大幅
な短縮及びその簡略化が達成される他、作業者による誤
調整に基づく問題も回避され、生産性が向上する効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第１実施例としての傾斜調整
装置の一部断面を含む正面図である。

【図２】図２は、図１に関するＡ−Ａ矢視図である。

【図３】図３は、図１及び図２に示した傾斜調整装置の
作動制御系を示すブロック図である。

【図４】図４は、本発明の第２実施例としての傾斜調整
装置の一部断面を含む正面図である。

【図５】図５は、図４に関するＢ−Ｂ矢視図である。

【図６】図６は、図４及び図５に示した傾斜調整装置の
作動制御系を示すブロック図である。

【図７】図７は、図４及び図５に示した傾斜調整装置の
動作説明図である。

【図８】図８は、従来の傾斜調整装置を具備するテープ
ボンディング装置の正面図である。

【符合の説明】

１ ＩＣ ２ ボンディングプレ
ート ２ａ 載置面 ３ ベース ８ ボンディングツー
ル ８ａ 押圧面 １１ ツールホルダ ３１，５１ 支持手段 ３３，５３ 固定部材 ３４，５５ 第１可動部材 ３５，５７ 第２可動部材 ４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄ ６１ａ〜６１ｄ，６２ａ〜６２ｄ 圧電アクチュエータ ４４，６４ 制御回路 ５４，５６ スライダ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ツールホルダに傾斜可能に取り付けられ
   て被ボンディング部品を押圧するためのボンディングツ
   ールの傾斜角度を調整するボンディング装置における傾
   斜調整装置であって、前記ツールホルダ及びボンディン
   グツール間に介装された複数の変位手段を有することを
   特徴とする傾斜調整装置。
2. 【請求項２】 前記変位手段各々は前記ボンディングツ
   ールに関して対称に配置されていることを特徴とする請
   求項１記載の傾斜調整装置。
3. 【請求項３】 前記ボンディングツールを前記ツールホ
   ルダに対して傾斜可能に支持する支持手段を有し、前記
   支持手段は、前記ツールホルダに対して揺動可能な第１
   可動部材と、前記第１可動部材に対して揺動可能にして
   前記ボンディングツールを保持した第２可動部材とを有
   し、前記変位手段は、前記ツールホルダと前記第１可動
   部材との間並びに前記第１可動部材と前記第２可動部材
   の間に介装されていることを特徴とする請求項１又は請
   求項２記載の傾斜調整装置。
4. 【請求項４】 ベース上に傾斜可能に設けられて被ボン
   ディング部品が載置されるボンディングプレートの傾斜
   角度を調整するボンディング装置における傾斜調整装置
   であって、前記ベース及びボンディングプレート間に介
   装された複数の変位手段を有することを特徴とする傾斜
   調整装置。