CN105936049B - 保持吸嘴、保持单元及运送装置 - Google Patents

Abstract

一种保持吸嘴，所述保持吸嘴由负压吸附保持工件，其中，具备在一方侧设置了吸附前述工件的吸附部的吸附部件；与负压产生源连接，具备收容前述吸附部件的另一方侧的收容部，进退移动自由地支承前述吸附部件的支承部件；和将前述吸附部件向前述进退移动的前进方向侧加载的加载部件，前述支承部件在前述收容部分别具备规定前述吸附部件的前述进退移动的前进界限及后退界限的第一及第二停止部。

Description

保持吸嘴、保持单元及运送装置

技术领域

本发明涉及保持吸嘴。

背景技术

作为在运送工件时保持工件的保持吸嘴有利用负压吸附工件的吸嘴(日本实愿平4-16366号(日本实开平5-67485号)的CD-ROM)。另外，因为在运送工件时由照相机等对工件的姿势进行摄影，所以有将保持吸嘴固定以便工件的姿势不变的专利(日本专利第3610168号)。

在运送工件时，最好是保持吸嘴与工件抵接时的冲击小。在日本实开平5-67485号记载的技术中，由被推压到工件上收缩了的保持吸嘴内的弹簧的反作用力，使保持吸嘴内产生负压，由此负压吸附工件。因此，在日本实开平5-67485号记载的技术中，在保持吸嘴与工件抵接时需要使弹簧压缩的力，此时的冲击不是小的冲击。另外，在日本专利第3610168号记载的技术中，因为固定保持吸嘴的钩及其工作机构露出，所以存在从钩、工作机构产生的尘埃等向工件附着的情况。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种减小保持吸嘴向工件抵接时的冲击并且降低在将保持吸嘴固定时向周围产生尘埃的技术。

本发明是一种保持吸嘴，所述保持吸嘴由负压吸附保持工件，其特征在于，具备在一方侧设置了吸附前述工件的吸附部的吸附部件；与负压产生源连接，具备收容前述吸附部件的另一方侧的收容部，进退移动自由地支承前述吸附部件的支承部件；和将前述吸附部件向前述进退移动的前进方向侧加载的加载部件，前述支承部件在前述收容部分别具备规定前述吸附部件的前述进退移动的前进界限及后退界限的第一及第二停止部。

本发明的更多的特征将从下述的典型的实施方式(同时参照附图)的描述中明确。

附图说明

图1是使用了本发明的第一实施方式中的运送装置的系统的说明图。

图2是运送装置中的保持单元及移载单元的放大立体图。

图3是保持单元的放大立体图。

图4是保持吸嘴和吸嘴支承部件的分解立体图。

图5是驱动控制单元的框图。

图6A是表示在第一实施方式的保持吸嘴中没有产生负压时的剖视图，图6B是表示产生负压时的剖视图。

图7A是表示在第二实施方式的保持吸嘴中没有产生负压时的剖视图，图7B是表示产生负压时的剖视图。

图8A是表示在第三实施方式的保持吸嘴中没有产生负压时的剖视图，图8B是表示产生负压时的剖视图。

图9A是表示在第四实施方式的保持吸嘴中没有产生负压时的剖视图，图9B是表示产生负压时的剖视图。

图10是第五实施方式中的保持吸嘴。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明的例示的实施方式进行说明。另外，在各图中，相同的参照符号表示同样的要素，将相对于纸面的上下左右方向作为本实施方式中的装置或部件的上下左右方向，在本文中的说明时使用。

图1是包括有关本发明的第一实施方式的运送装置A在内的系统的说明图。在图1中，箭头X及Y是水平方向，表示相互正交的2个方向，箭头Z表示垂直方向。系统具备运送装置A、作业工作台P和测定单元MU。运送装置A是将被载置在作业工作台P上的工件保持托盘T内的工件W向同样被载置在作业工作台P上的机器D1、D2、D3、D4运送而搭载的装置。测定单元MU虽然例示了在中央具备用于测定的照相机等光学机器MU1，并在其外周配置了照明装置MU2的测定单元，但不是限定于此方式的测定单元。

作业工作台P具备进行从作业工作台P的外部移送来的工件保持托盘T及机器D1、D2、D3、D4在作业工作台P上的定位的机构(省略图示)。另外，被配置在作业工作台P的下方的测定单元MU测定被保持在运送装置A上的工件W的水平方向位置及与水平方向平行的面方向的姿势。为此，载置工件保持托盘T及机器D1、D2、D3、D4的作业工作台P具备开口OP，以便被配置在作业工作台P的下方的测定单元MU能够从下方测定位于作业工作台P的上方的工件W。

<运送装置A>

运送装置A具备保持工件W的四个保持单元10；使保持单元10绕垂直轴旋转的旋转机构20；使保持单元10在作为Z方向的垂直方向升降的升降机构30；和使保持单元10在与垂直方向正交的作为X及Y方向的水平方向移动的移动机构40。移载单元包括旋转机构20、升降机构30及移动机构40。进而，运送装置A具备根据由测定单元MU测定的工件W的姿势及保持位置数据和运送工件W的运送目的地的位置信息，控制旋转机构20、升降机构30、移动机构40及后述的负压产生源50的至少任意一个的驱动的驱动控制单元60(参照图5)。

图2表示用于说明保持单元10、旋转机构20及升降机构30的详细情况的放大图。在本实施方式中，运送装置A具备四个保持一个工件W的保持单元10。将其中邻接的二个保持单元10、10作为一组，二个第一支承部件11分别将二个保持单元10、10相互连结。而且，二个第一支承部件11分别与第二支承部件12连接。因此，四个保持单元10被安装在第二支承部件12上。

另外，第二支承部件12与旋转机构20的旋转体21连接，可由旋转机构20绕在图2中由箭头W1所示的垂直轴旋转。因此，四个保持单元10分别可在与第二支承部件12连接的状态下由旋转机构20移动，以便描绘以垂直轴为中心的圆弧。旋转机构20的旋转体21与具备旋转驱动源的旋转驱动部22连接。作为旋转驱动源，例如，能够列举出马达等驱动源。旋转驱动部22与从侧面看被形成为L字型的升降机构30的升降体31的在水平方向延伸的底板31a的底面连接。

升降体31与构成在具备升降驱动源的升降驱动部32的内部的螺母部件(未图示)连接。作为升降驱动源，能够列举出马达等驱动源和被构成在升降驱动部32的内部的滚珠丝杠机构的组合。从侧面看被形成为L字型的升降体31具备在水平方向延伸的底板31a和在垂直方向延伸的侧板31b。在升降体31的侧板31b的侧面(升降驱动部侧的面)上配置二个导向部件31c、31c。

另外，在与升降体31相向的升降驱动部32的侧面上，在垂直方向并列地配置与二个导向部件31c、31c对应的二个轨道部件32a、32a。进而，在升降驱动部32的下端配置驱动滚珠丝杠部的驱动马达32b。因此，通过升降驱动部32的升降驱动源进行驱动，升降体31的内置的螺母沿滚珠丝杠移动，由此，升降体31在图2中在由箭头Z1所示的垂直方向升降。另外，作为升降驱动源，不限定于上述的滚珠丝杠机构，例如，能够列举出马达等驱动源和齿条小齿轮机构等机构的组合。

在升降体31的底板31a的上面上，例如，载置使保持单元10的后述的保持吸嘴100内产生负压的负压产生源50。作为负压产生源50，能够列举出真空泵等，但是不限定于此，若为公知的负压产生装置，则也可以采用任意的结构。另外，也可以从已经设置在工厂的负压设备连接配管等，作为保持吸嘴100的负压源来灵活使用。从负压产生源50配置朝向四个保持单元10的每一个延伸的四根空气软管51、51、51、51。空气软管51，其一端与负压产生源50连接，另一端与保持单元10连接。

再次参照图1，支承保持单元10、旋转机构20和负压产生源50的升降机构30，与包括在移动机构40中的第一水平移动机构41连接，可沿第一水平移动机构41在作为水平方向的一方向的图1中箭头Y1方向往复移动。而且，第一水平移动机构41以可在作业工作台P上的工件保持托盘T和多个机器D1、D2、D3、D4之间移动的方式与包括在移动机构40中的向作业工作台P的长度方向延伸的第二水平移动机构42连接，可沿第二水平移动机构42在作为水平方向的另一方向的图1中箭头X1方向往复移动。另外，作为使升降机构30在图1中箭头Y1方向移动的第一水平移动机构41、使第一水平移动机构41在图1中箭头X1方向移动的第二水平移动机构42，例如，能够列举出马达等驱动源和滚珠丝杠机构或齿条小齿轮机构等机构的组合。

<保持单元10>

图3表示保持单元10的放大图。保持单元10具备四个保持吸嘴100、100、100、100、安装保持吸嘴100的吸嘴支承部件13、与吸嘴支承部件13连接的升降体14和对升降体14进行升降的吸嘴升降部15。另外，吸嘴升降机构包括升降体14及吸嘴升降部15。在本实施方式中，四个保持吸嘴100分别被配置在矩形状的四角，在工件W为矩形的情况下，分别保持矩形状的工件W的四角，由此，保持单元10能够稳定地保持工件W。

吸嘴支承部件13与从侧面看为L字型的升降体14的向水平方向延伸的底板14a连接。另外，升降体14的向垂直方向延伸的侧板14b与吸嘴升降部15连接。此时，从吸嘴升降部15的下面延伸的杆15a与升降体14的底板14a的上面连接。作为升降体14和吸嘴升降部15的吸嘴升降机构，例如能够列举出由马达等驱动源和利用了滚珠丝杠机构或流体的动作执行器等机构的组合构成的滑动导向器。

通过吸嘴升降部15使杆15a在作为垂直方向的图3中Z2方向移动，追随它的底板14a和侧板14b一起移动，升降体14可在垂直方向移动。因此，升降体14及与吸嘴支承部件13连接的保持吸嘴100可由吸嘴升降部15在垂直方向(在图3中为箭头Z2方向)移动。另外，在吸嘴支承部件13的侧面上连接与负压产生源50连接的空气软管51。

图4表示四个保持吸嘴100和吸嘴支承部件13的分解立体图。保持吸嘴100具备在一方侧设置了与工件W抵接地进行吸附的吸附部110的吸附部件120；收容吸附部件120的筒体130；连接筒体130和吸嘴支承部件13的头140。头140具备朝向吸嘴支承部件13突出，并在外周面上形成螺纹牙(外螺纹)的螺纹部141。保持吸嘴100被安装于在吸嘴支承部件13的下面开口的吸嘴安装部13a。在吸嘴安装部13a内形成了螺纹槽(内螺纹)，通过将螺纹部141螺纹连接在吸嘴安装部13a的螺纹槽上，保持吸嘴100被安装在吸嘴支承部件13上。另外，保持吸嘴100的相对于吸嘴支承部件13的安装方法不限定于上述的方法，例如，也可以不设置螺纹槽，而是通过将头140的突出部分压入吸嘴安装部13a来安装。

在吸嘴支承部件13的侧部形成连接从负压产生源50延伸的空气软管51的流体连接部13b。流体连接部13b与未图示的形成在吸嘴支承部件13内部的连通路连接。形成在吸嘴支承部件13内部的未图示的连通路连通形成在吸嘴支承部件13下面上的四个吸嘴安装部13a、13a、13a、13a和流体连接部13b。换言之，连通路的空气软管51侧的开口被做成流体连接部13b，另外，连通路的保持吸嘴100侧的开口被做成吸嘴安装部13a。另外，例如可以列举出将从流体连接部13b到各吸嘴安装部13a的连通路的长度做成相同的长度，以便均等地从流体连接部13b向各吸嘴安装部13a进行流体的供排气。

<驱动控制单元60>

图5是进行本实施方式的系统的控制的驱动控制单元60的框图。驱动控制单元60具备处理部61、存储部62和接口部63，它们相互由未图示的总线连接。处理部61执行被存储在存储部62的程序。处理部61例如是CPU。存储部62例如是RAM、ROM、硬盘等。接口部63被设置在处理部61和外部设备(主计算机64、传感器(输入设备)65、动作执行器(输出设备)66)之间，例如是通信接口、I/O接口等。

作为传感器65，例如包括检测安装了吸嘴支承部件13的升降体14、旋转体21、升降机构30的升降体31、由第一水平移动机构41移动的升降机构30、由第二水平移动机构42移动的第一水平移动机构41等的位置的传感器、测定单元MU的照相机的摄影元件等。作为动作执行器66，包括旋转机构20、升降机构30、移动机构40、负压产生源50的驱动源等。驱动控制单元60由主计算机64的指示控制运送装置A。下面，对控制例进行说明。

<运送装置A的动作>

参照图1，对运送装置A的动作进行说明。作业工作台P沿第二水平移动机构42配置，在其一方端部侧(在图1中为左方向端部侧)配置保持多个未搭载的工件W的工件保持托盘T，以从工件保持托盘T离开的方式朝向另一方端部侧(在图1中为右方向端部侧)配置多个机器D1、D2、D3、D4(在本实施方式中为四个机器)。

在运送装置A将工件W从工件保持托盘T向机器D1、D2、D3、D4移载时，首先，驱动控制单元60使用升降机构30及移动机构40，使保持单元10(在图1中由双点划线所示的保持单元10、旋转机构20、升降机构30及负压产生源50)向工件保持托盘T的上方移动。而且，驱动控制单元60使用升降机构30及吸嘴升降机构，使保持单元10下降地相对于被载置在工件保持托盘T上的工件W的一部分接近，由后述的保持吸嘴100的吸附动作使保持单元10吸附成为对象的工件W。吸附了工件W的保持单元10由吸嘴升降机构及升降机构30上升。

接着，驱动控制单元60对移动机构40进行驱动控制，使保持了工件W的保持单元10向测定单元MU的上方移动。在工件W到达测定单元MU的上方后，驱动控制单元60使测定单元MU从下方对工件W进行摄影。驱动控制单元60由测定单元MU的摄影元件取得工件W的水平旋转方向的姿势及X-Y方向的位置信息。另外，作为测定单元MU，也可以采用能够检测可见光线、红外线、紫外线等的光学传感器，作为摄影元件，也可以使用由CCD、CMOS传感器等构成的摄影元件。

而且，驱动控制单元60使旋转机构20、升降机构30及移动机构40将保持由测定单元MU结束了测定的工件W的保持单元10移送到作为目标的规定的机器D1。例如，在将工件W向机器D1的规定部位载置的情况下，如在图1中由实线所示的那样，驱动控制单元60使保持了工件W的保持单元10向机器D1的上方移动。此时，驱动控制单元60基于由测定单元MU测定的工件W的数据和运送工件W的运送目的地的位置信息，控制旋转机构20、升降机构30及移动机构40的驱动。通过这样做，能够将工件W以精度好且正确的姿势确实地置于移载目的地。

接着，驱动控制单元60使保持单元10将工件W向规定的机器D1移载。此时，驱动控制单元60使保持单元10进行与从工件保持托盘T吸附保持工件W的步骤相反的步骤。此后，驱动控制单元60相对于其它的机器D2、D3、D4也同样地进行此作业。驱动控制单元60在结束了将四个保持单元10保持的四个工件W相对于作业工作台P上的四个机器D1、D2、D3、D4的每一个移载的作业后，使保持单元10再次向工件保持托盘T上移动。

接着，驱动控制单元60使保持单元10吸附保持新的工件W。此时，处于作业工作台P上的搭载完工件W的机器D1、D2、D3、D4与未搭载工件W的机器交换，未搭载此工件W的机器直到吸附保持了新的工件W的保持单元10到达位置待机。而且，与上述同样，驱动控制单元60使保持单元10向重新被配置在作业工作台P上的机器移动，使各个机器搭载工件W。

<保持吸嘴100>

接着，参照图6A及图6B，对保持吸嘴100的详细情况进行说明。另外，参照图7A到图10，对其它的实施方式中的保持吸嘴的详细情况进行说明。另外，在图6A到图9B中共通地在各个图的A中表示未吸附工件时的保持吸嘴的剖视图，在各个图的B中表示吸附工件W时的保持吸嘴的剖视图。图6A及图6B表示第一实施方式中的保持吸嘴100的剖视图。图7A及图7B表示第二实施方式中的保持吸嘴200的剖视图。图8A及图8B表示第三实施方式中的保持吸嘴300的剖视图。图9A及图9B表示第四实施方式中的保持吸嘴400的剖视图。图10表示第五实施方式中的保持吸嘴500的剖视图。

<第一实施方式>

图6A及图6B所示的保持吸嘴100具备由负压吸附工件W的吸附部110、吸附部件120、支承部件101和加载部件150。支承部件101具备在内部滑动自由(进退移动自由)地收容吸附部件120的筒体130；和被设置在筒体130的一方部，具备经吸嘴支承部件13及空气软管51与负压产生源50连接的连接通路145的头140。

<吸附部110>

吸附部(吸嘴前端部件)110具备筒体部111；倾斜部112；和作为平坦面的接触部113，筒体部111具备与吸附部件120连接的内部开口111a；倾斜部112从筒体部111缩径，向吸附部110的前端延伸；接触部113在作为倾斜部的端部的吸附部110的前端与工件W接触。另外，吸附部110在端部(即后端侧，在图6A及图6B中为上端侧)具备作为平坦面的落座部115。进而，在吸附部110的内部形成在保持吸嘴100的长度方向延伸的第一流体通路114。另外，吸附部110，为了与工件W直接接触，由不损伤工件W的材质例如橡胶等树脂形成。

<吸附部件120>

在吸附部件120的一方侧(即前端侧，在图6A及图6B中为下端侧)设置前述的吸附部110。另外，吸附部件120的另一方侧(即后端侧，在图6A及图6B中为上端侧)被收容在形成于筒体130的内部的滑动部131及收容部134。吸附部件120相对于筒体130进退移动自由地被支承。在吸附部件120的内部形成第二流体通路125。此第二流体通路125与前述的吸附部110的第一流体通路114连通，由此，收容部134与吸附部110的前端周边的外部环境气体连通。

另外，吸附部件120由筒状部件构成，具备连接吸附部110的小径筒部120a；与小径筒部120a相比为大径，且一部分被收容在筒体130的滑动部131的第一大径筒部120b；和与第一大径筒部120b相比为大径，且具备后述的第一及第二抵接部121、122的第二大径筒部120c。第二大径筒部120c被收容在收容部134。小径筒部120a具备与第一筒部120b相比为小径的外周面，小径筒部120a被插入筒体部111的内部开口111a。此时，小径筒部120a和第一大径筒部120b的阶梯差部126落座在吸附部110的落座部115，由此，规定吸附部110和吸附部件120的在轴方向的相对位置。作为此插入的样态，例如，可列举出压入、嵌入，另外，此时，也可以进行由粘接剂进行的固定。

筒部120b(的外周面)与筒体130的内周面(滑动部131)滑动自由地连接。在吸附部件120的外周和筒体130的内周之间，设置了吸附部件120可滑动的程度的间隙。另外，在后述的保持吸嘴100动作时，由于与从此间隙流入流出的空气的流量相比，由负压产生源50吸引并流过第一流体通路114、第二流体通路125的空气的流量或将吸引保持解除(吹)时的空气的流量大，所以对由此间隙进行的吸附保持、解除的影响少。另外，吸附部件120的进退方向与垂直轴平行。

第二大径筒部120c具备与第一大径筒部120b相比为大径的外周面，在成为与第一大径筒部120b的连接部位的阶梯部具有第一抵接部121，在与第一抵接部121在轴方向相反侧的端部具有第二抵接部122。第一抵接部121及第二抵接部122分别与后述的第一及第二停止部132、142抵接。另外，在第二大径筒部120c的内部形成收容后述的加载部件150的作为有底的凹陷的第一收容部(收容部的一方部分)124。另外，第二大径筒部120c具备周壁部122a，所述周壁部122a具备从吸附部件120的第一大径筒部120b的端部向头140侧延伸并形成第一收容部124的周壁的第二抵接部122，由成为第一收容部124的圆形的底部的端面123和周壁部122a形成收容加载部件150的一方的端部的空间。另外，通过将成为第一收容部124的圆形的底部的端部123的直径做成与加载部件150的直径相同的程度，第一收容部124的底部能够稳定地保持加载部件150。

第二流体通路125面向第一收容部124的底部开口，将收容部134和吸附部110的第一流体通路114连通。因此，第二流体通路125从一方的端部遍及另一方的端部地贯通地设置在吸附部件120的内部，换言之，从小径筒部120a贯通第一大径筒部120b及第二大径筒部120c的一部分的内部地形成。

<筒体130>

构成支承部件101的筒体130，在其内部具备内径呈阶梯差状地扩径的贯通孔部，从前端侧(在图6A及图6B中为下端侧)依次具备形成在内部收容吸附部件120的第一空间的滑动部131、与滑动部131相比为大径的形成第二空间的内周壁134a；和与内周壁134a相比为大径的形成第三空间的被连接部133。收容部134由被筒体130的内周壁134a和头140(的内周壁)包围了的区域形成。另外，被收容在收容部134的加载部件150将吸附部件120向进退移动的前进方向侧加载。由滑动部131、内周壁134a和被连接部133分别形成的内部空间相互连通，形成贯通筒体130的通路。另外，在作为滑动部131和内周壁134a的连接部位的阶梯部形成第一停止部132。例示第一停止部132沿内周壁134a的周方向连续地配置成圆环状的样态、沿内周壁134a的周方向非连续地配置的样态。另外，第一停止部132沿周方向非连续地配置，包括通过第一停止部132的周方向的一部分向轴方向的前端侧(在图6A及图6B中为下端侧)凹陷，第一停止部132的上端面沿周方向非连续地配置的样态。

筒体130，在其外周面的一部分例如从滑动部131的中途部遍及筒体130的端部(在图6A及图6B中为下端部)的部分上具备渐渐缩径的锥部。在筒体130的被连接部133连接后述的头140的连接部146。另外，在筒体130的被连接部133，与被连接部133连续地形成规定头140的安装位置的规定部133a’。

<头140>

构成支承部件101的头140，其在轴方向的一端部(即后端部，在图6A及图6B中为上端部)与吸嘴支承部件13连接，在轴方向的另一端部(即前端部，在图6A及图6B中为下端部)与筒体130连接。在头140的轴方向的一端部，形成与吸嘴支承部件13的吸嘴安装部13a连接的螺纹部141。在本实施方式中，如上所述，通过将螺纹部141的螺纹槽螺纹连接在吸嘴支承部件13的吸嘴安装部13a内，将头140安装在吸嘴支承部件13上。另外，在螺纹部141的另一端部侧，形成以头140的轴为中心在放射方向延伸的延伸设置面141a’，进而，具备从延伸设置端部向另一端部侧延伸并与螺纹部141相比为大径的外周部141a。在外周部141a，形成与筒体130的规定部133a’抵接的抵接部140a’，并从抵接部140a’具备与外周部141a相比为小径的后述的连接部146。

在头140的轴方向的另一端部(在图6A及图6B中为下侧端部)，形成收容加载部件150的作为有盖的凹陷的第二收容部(收容部的另一方的部分)144。也就是说，头140从与吸附部件120的另一方侧的端部相向的内侧缘部向吸附部件120侧延伸，具备连接部146以及第二停止部142，并设置形成第二收容部144的周壁的周壁部142a，由成为第二收容部144的圆形的盖部的内方端面143和周壁部142a形成收容加载部件150的另一方的端部的空间。另外，通过将成为第二收容部144的圆形的盖部的内方端面143的直径做成与加载部件150的直径相同的程度，第二收容部144的盖部能够稳定地保持加载部件150。

另外，在头140的外周，在头140的吸附部件120侧的端部形成与作为筒体130的一方部的被连接部133连接的连接部146。在本实施方式中，连接部146被压入被连接部133，筒体130和头140被一体化。在将筒体130和头140连接并一体化时，通过抵接部140a’和规定部133a’抵接，规定相互的轴方向的位置，并规定吸附部件120在筒体130的收容部134中移动的距离C2以及收容部134的轴方向的空间。另外，通过抵接部140a’和规定部133a’抵接，形成在连接部的密封状态(紧密接触状态)。另外，筒体130和头140的连接也可以是在连接部146及被连接部133形成螺纹槽，使它们相互螺纹结合来连接。在连接部146的吸附部件120侧端面上形成第二停止部142。第二停止部142与第二抵接部122相向地配置，以便吸附部件120的第二抵接部122能够抵接。

另外，头140具备面向第二收容部144开口的连接通路145。通过将保持吸嘴100中的头140安装在吸嘴支承部件13上，此连接通路145与吸嘴支承部件13的连通路连通。如以上的那样，包括筒体130和头140在内的支承部件101分别具备规定吸附部件120的进退移动的前进界限及后退界限的第一停止部132及第二停止部142。筒体130在筒体130的内部具备第一停止部132，头140在位于筒体130的内部的前端部具备第二停止部142。

<加载部件150>

加载部件150是一方的端部被收容在吸附部件120的第一收容部124，另一方的端部被收容在头140的第二收容部144的螺旋弹簧。另外，此时，加载部件150的一方的端面与吸附部件120的另一方侧的端部的端面123抵接，另一方的端面与头140的内方端部的内方端面143抵接。在本实施方式中，作为加载部件150，例示了螺旋弹簧，但是不限定于此，例如，也可以采用海绵状并在内部具有多孔质部，由在压缩后可复原的树脂材料形成的加载部件。

<吸附动作>

参照图6A及图6B，对保持吸嘴100的吸附保持工件W时的动作进行说明。图6A表示在非吸附工件W时没有在保持吸嘴100内产生负压的状态。在非吸附工件W时，保持吸嘴100的第一停止部132和第一抵接部121相互抵接，但第二停止部142和第二抵接部122不相互抵接。此时，加载部件150的长度(全长)C1成为作为第一收容部124的底部的端面123和作为第二收容部144的盖部的内方端面143之间的距离。另外，在吸附时，吸附部件120相对于筒体130移动的距离C2成为在此未吸附时的第二抵接部122和第二停止部142之间的分离距离。在这里，将保持吸嘴100设计成移动距离C2和全长C1的比变得非常小，例如为1/5～1/10。

图6B表示在吸附工件W时在保持吸嘴100内产生负压的状态。为了从图6A所示的非吸附工件W的状态向图6B所示的吸附的状态转移，上述的驱动控制单元60使保持单元10相对于工件W接近，使保持吸嘴100和吸附部110的接触部113抵接工件W的表面。

接着，驱动控制单元60使负压产生源50驱动，在图6B的流体通路内如箭头F1所示，将保持吸嘴100内部的空气经头140的连接通路145向保持吸嘴100的外部排出。此时，由于工件W与吸附部110的接触部113抵接，第一流体通路114的一方的开口成为由工件W堵塞的状态，所以包括加载部件150在内的收容部134成为负压。于是，由保持吸嘴100内的负压抵抗加载部件150的加载力，使吸附部件120向头140侧移动。

此时，由于吸附部件120的向头140侧的移动通过第二抵接部122与第二停止部142抵接来停止，所以规定与工件W抵接时的吸附部110中的接触部113的轴方向的位置。因此，吸附保持了工件W时的吸附部110的保持位置的精度提高。因为作为在轴方向将吸附部件120固定的机构，在支承部件101的收容空间134中设置了第二抵接部122及第二停止部142，所以能够将此机构收容在保持吸嘴100内部，不存在保持吸嘴100在动作时产生的尘埃对周围特别是工件W造成影响的危险。另外，此时，如上所述，第一大径筒部120b和吸附部件120的滑动部分的间隙被设定得小到不影响保持吸嘴100内的负压的程度。

因此，若保持吸嘴100的内部成为负压，则吸附部件120移动，并且成为第一停止部132和第一抵接部121相互离开，第二停止部142和第二抵接部122相互抵接的状态，保持吸嘴100成为图6B所示的吸附的状态。另外，通过将第一及第二抵接部121、122和第一及第二停止部132、142配置在保持吸嘴100的内部，不存在保持吸嘴100在动作时产生的尘埃对周围特别是工件W造成影响的危险。

如以上的那样，在吸附部件120移动后，通过第二抵接部122与第二停止部142抵接，规定吸附部件120的轴方向位置，吸附了工件W时的由测定单元MU例如照相机对工件W的摄影位置(摄影深度)精度良好，通常被维持为一定。另外，若将负压产生源50停止，空气流入保持吸嘴100内，则保持吸嘴100的内部空间的负压降低，吸附部件120由加载部件150的加载力向下方移动。此时，也是保持吸嘴100的第一停止部132和第一抵接部121相互抵接，能够规定非吸附时的吸附部件120的轴方向位置。

进而，上述保持吸嘴100遍及全长C1地收容加载部件150，且使在吸附工件W时使吸附部件120移动的距离C2与全长C1相比变得非常小。为此，在吸附工件W时，因为使加载部件150相对于其全长C1压缩的比例变小，所以不论加载部件150的制造误差如何，都能够赋予均质的加载力。也就是说，使加载部件150的伸长时和收缩时的加载力差在一定的范围内。为此，能够使由保持吸嘴100进行的工件W的取出以及在载置工件W时产生的保持吸嘴100的接触部113和工件W的冲击(赋予工件W的压力)变小。

<第二实施方式>

图7A及图7B表示有关第二实施方式的保持吸嘴200。本实施方式与上述的有关第一实施方式的保持吸嘴100，在吸附部件120的第一收容部124及第二抵接部122、头140的第二收容部144、连接部146、第二停止部142不同的方面相互不同。另外，对在其它的结构中采用了同样的要素的部件，在图7A及图7B中，附加了与在第一实施方式中使用的参照符号相同的参照符号。

本实施方式的保持吸嘴200，替代第一实施方式的形成第一收容部124的第二大径筒部120c的一部分(周壁部122a)，采用了具备第二抵接部202并在周方向以120度的等间隔配置的三个第一棒状部件201、201、201。三个第一棒状部件201、201、201被直立设置在吸附部件120的端面123上，被配置成以吸附部件120的轴为中心的放射状，在由三个第一棒状部件201、201、201包围的内部收容加载部件150(的一部分，即端部)。由三个第一棒状部件201、201、201形成的圆的直径与加载部件150的端部的直径大致相等。另外，将第一棒状部件201的头140侧端部做成第二抵接部202。

另外，本实施方式的保持吸嘴200，替代第一实施方式的形成第二收容部144的连接部146的周壁部142a，具备向吸附部件120侧延伸地形成的周壁的高度低的周壁部142a’。另外，替代第二停止部142，采用了具备第二停止部204并在周方向以120度的等间隔配置的三个第二棒状部件203、203、203。三个第二棒状部件203、203、203被直立设置在头140上，被配置成放射状，在由三个第二棒状部件203、203、203包围的内部收容加载部件150。由三个第二棒状部件203、203、203形成的圆的直径与加载部件150的端部的直径大致相等。另外，将第二棒状部件203的吸附部件120侧端部做成第二停止部204。

保持吸嘴200的吸附动作与上述的有关第一实施方式的保持吸嘴100的吸附动作同样。如图7B所示，在工件W的吸附保持结束了的状态下，第一棒状部件201的第二抵接部202和第二棒状部件203的第二停止部204抵接，规定吸附部件120的保持位置。

根据本实施方式，能够减少被配置在保持吸嘴200的内部的零件的质量，能够使保持吸嘴200成为轻量。另外，由于不存在在吸附部件120及头140上形成第一收容部124及第二收容部144的情况，所以能够减少加工各零件的工时。另外，第一棒状部件201及第二棒状部件203是使设置于构成各自的端面123及内方端面143上的螺纹槽螺纹结合而构成。或者，也可以在端面123及内方端面143上形成孔，使第一棒状部件201及第二棒状部件203的各自的一方端部压入而构成。

<第三实施方式>

图8A及图8B表示有关第三实施方式的保持吸嘴300。本实施方式与上述的有关第一实施方式的保持吸嘴100，在将流体通路的延长部通过追加配置在吸附部件120的第一收容部124、头140的第二收容部144内的方面相互不同。另外，对在其它的结构中采用了同样的要素的部件，在图8A及图8B中，附加与在第一实施方式中使用的参照符号相同的参照符号。

本实施方式的保持吸嘴300，在第一收容部124的端面123上形成将第二流体通路125在轴方向延长的第一延长部301。第一延长部301，被形成为与第二大径筒部120c的形成在头140侧端面上的第二抵接部122相比在轴方向止于吸附部件120的内方的长度。也就是说，不存在第一延长部301越过第二抵接部122钻出到吸附部件120的外方的情况。另外，加载部件150在第一收容部124内，被配置在第一延长部301的外周面侧。通过这样做，能够将加载部件150更稳定地保持在第一收容部124内。

另外，本实施方式的保持吸嘴300，在第二收容部144的端面143上形成将连接通路145在轴方向延长的第二延长部302。第二延长部302，被形成为与头140的连接部146的形成在吸附部件120侧端面上的第二停止部142相比在轴方向止于头140的内方的长度。也就是说，不存在第二延长部302越过第二停止部142钻出到头140部件的外方的情况。另外，加载部件150在第二收容部144内，被配置在第二延长部302的外周面侧。通过这样做，能够将加载部件150更稳定地保持在第二收容部144内。

保持吸嘴300的吸附动作与上述的有关第一实施方式的保持吸嘴100的吸附动作同样。如图8B所示，在工件W的吸附保持结束了的状态下，第二抵接部和第二停止部142抵接，规定吸附部件120的保持位置。

根据本实施方式，通过在收容加载部件150的第一收容部124及第二收容部144形成通路部分，能够使保持吸嘴300(收容部134)的内部空间的容积变小。通过这样做，能够减少在吸附动作时从保持吸嘴内排出的空气的量，能够迅速地进行吸附动作。

<第四实施方式>

图9A及图9B表示有关第四实施方式的保持吸嘴400。本实施方式与上述的有关第一实施方式的保持吸嘴100，在吸附部件120的第一收容部124及第二抵接部122、头140的第二收容部144、连接部146、第二停止部142不同的方面相互不同。另外，对在其它的结构中采用了同样的要素的部件，在图9A及图9B中，附加与在第一实施方式中使用的参照符号相同的参照符号。

本实施方式的保持吸嘴400，替代第一实施方式的形成第一收容部124的第二大径筒部120c的一部分(周壁122a)，具备直立设置在第二大径筒部120c的端面123上，将第二流体通路125在轴方向延长的第三延长部401。另外，在第三延长部401的头140侧端面上，形成第二抵接部402。因此，第三延长部401的轴方向长度被设定得与第一实施方式中的第一收容部124的凹陷的深度(周壁部122a的高度)相等。加载部件150被配置在以与加载部件150的端部内径大致相等的外径形成的第三延长部401的外周面侧。通过这样做，能够稳定地将加载部件150保持在吸附部件120上。

另外，本实施方式的保持吸嘴400，替代第一实施方式的形成第二收容部144的连接部146的周壁部142a及第二停止部142，具备向吸附部件120侧延伸地形成的周壁的高度低的周壁部142a’。另外，具备直立设置在头140的内方端面143上，将连接通路145在轴方向延长的第四延长部403。另外，在第四延长部403的吸附部件120侧端面上，形成第二停止部404。因此，第四延长部403的轴方向长度被设定得与第一实施方式中的第二收容部144的凹陷的深度(周壁部142a的高度)相等。加载部件150被配置在以与加载部件150的端部内径大致相等的外径形成的第四延长部403的外周面侧。通过这样做，能够将加载部件150稳定地保持在头140上。

保持吸嘴400的吸附动作，与上述的有关第一实施方式的保持吸嘴100的吸附动作同样。如图9B所示，在工件W的吸附保持结束了的状态下，第三延长部401的第二抵接部402和第四延长部403的第二停止部404抵接，规定吸附部件120的保持位置。

根据本实施方式，由于第三延长部401和第四延长部403在吸附动作时被连接，迅速地将第二流体通路125和连接通路145连结，所以能够迅速地进行吸附动作。另外，通过第三延长部401和第四延长部403具有保持加载部件150的功能，能够不会使零件数量增加地有助于轻量化，并且能够迅速地进行吸附动作。

<第五实施方式>

图10表示有关第五实施方式的保持吸嘴500。图10表示在未吸附工件W时没有在保持吸嘴500产生负压的状态。本实施方式与上述的有关第一实施方式的保持吸嘴100，在筒体130的外周面形状不同的方面相互不同。另外，对在其它的结构中采用了同样的要素的部件，在图10中附加与在第一实施方式中使用的参照符号相同的参照符号。

本实施方式的保持吸嘴500，在筒部120b的与滑动部131对应的外周面，成为吸附部110侧的外周面在剖视图中看为描绘平缓的圆弧的形状的弯曲面501。通过这样做，在上述的测定单元MU使照明等从吸附部110侧(在图10中为下侧)照射保持吸嘴500时，能够使投射到弯曲部501的外周面上的光的反射扩散。通过这样做，能够使测定单元MU计测的工件W的图像的轮廓清楚，减少计测误差。

另外，作为从上述第二实施方式到第五实施方式来表示的保持吸嘴适用于在第一实施方式中说明了的运送装置A。另外，在本实施方式中，例示了相对于一个保持单元10具备4个保持吸嘴的结构，但保持吸嘴的数量及/或配置不限定于上述的数量及/或配置，可适宜地设定。例如，通过将3个保持吸嘴配置成三角形状，以便保持工件W的任意三个部位，能够以少的数量稳定地保持工件W。另外，若工件W的尺寸是比接触部113稍大一些的尺寸，则也可以由一个保持吸嘴进行工件W的保持。另外，若为长条的工件W，则能够配置二个保持吸嘴，以便保持工件W两端部。另外，也可以将在第二实施方式中使用的吸附部件120和第一实施方式的吸附部件120相互置换来采用。

本发明就典型的实施方式进行了说明，应该理解本发明不限于所公开的典型的实施方式。本发明的权利要求的范围应该以包含所有的变更及等同的结构和功能的方式与最宽泛的解释一致。

Claims (8)

1.一种保持吸嘴，所述保持吸嘴由负压吸附保持工件，其特征在于，具备:

设置了吸附部的吸附部件，该吸附部吸附前述工件；

与负压产生源连接，具备收容前述吸附部件的收容部，进退移动自由地支承前述吸附部件的支承部件；和

将前述吸附部件向前述进退移动的前进方向侧加载的加载部件，

在前述吸附部件的一方侧设置有前述吸附部，

前述收容部收容前述吸附部件的另一方侧，

前述支承部件在前述收容部分别具备规定前述吸附部件的前述进退移动的前进界限及后退界限的第一停止部及第二停止部，

前述吸附部件在前述另一方侧分别具备与前述第一停止部及第二停止部抵接的第一抵接部及第二抵接部，

前述支承部件具备：

在内部滑动自由地收容前述吸附部件的筒体；和

被设置在该筒体的一方部，具备与前述负压产生源连接的连接通路的头，

由前述筒体的内部和前述头包围的区域构成前述收容部，

前述筒体在前述筒体的内部具备前述第一停止部，

前述头在位于前述筒体的内部的内方端部具备前述第二停止部，

前述加载部件的一方的端部与前述吸附部件的前述另一方侧的端部抵接，另一方的端部与前述头的前述内方端部抵接，

前述吸附部件在前述吸附部件的前述另一方侧具备收容前述加载部件的一方的端部的第一收容部，

前述头具备第二收容部，所述第二收容部从与前述吸附部件的另一方侧的端部相向的内侧缘部向前述吸附部件侧延伸，收容前述加载部件的另一方的端部，

前述第一收容部由向前述头侧延伸的周壁部形成，

与前述第二停止部抵接的前述第二抵接部由前述周壁部的前述头侧的端部形成。

2.如权利要求1所述的保持吸嘴，其特征在于，

前述筒体在其内部具备将内径呈阶梯差状地扩径的贯通孔部，

前述贯通孔部至少具备前述吸附部件滑动的滑动部；和与前述滑动部相比为大径的内周壁，

前述第一停止部被形成在作为前述滑动部和前述内周壁的连接部位的阶梯部。

3.如权利要求1所述的保持吸嘴，其特征在于，

前述头具备：

与前述负压产生源连接的连接通路；

收容前述加载部件的另一方的端部的前述第二收容部；和

与前述筒体的一方部连接的连接部，

前述筒体具备与前述连接部连接的被连接部。

4.如权利要求1所述的保持吸嘴，其特征在于，前述吸附部件在前述吸附部件的内部具备将前述收容部和前述吸附部连通的流体通路。

5.一种保持单元，所述保持单元具备至少一个权利要求1所述的保持吸嘴，其特征在于，具备：

安装前述保持吸嘴的吸嘴支承部件；和

升降该吸嘴支承部件的吸嘴升降机构。

6.如权利要求5所述的保持单元，其特征在于，

具备多个保持吸嘴，

前述吸嘴支承部件具备：

具有分别安装前述保持吸嘴的开口的吸嘴安装部；和

与前述负压产生源连接，具有与各个前述吸嘴安装部连接的连通路的流体连接部。

7.一种运送装置，所述运送装置具备权利要求5所述的保持单元，其特征在于，具备：

使前述保持单元绕与前述吸附部件的进退方向平行的垂直轴移动的旋转机构；

使前述保持单元升降的升降机构；和

使前述保持单元在与前述垂直轴正交的水平方向移动的移动机构。

8.如权利要求7所述的运送装置，其特征在于，具备：

测定被保持在前述保持单元上的前述工件的水平方向位置及与前述水平方向平行的面方向的姿势的测定单元；和

以由该测定单元测定的数据和前述工件被运送的运送目的地的位置信息为基础，控制前述旋转机构及前述移动机构的驱动的驱动控制单元。