JPH08323570A - パレットのクランプ用流体圧装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 パレットに取付けられたクランプ用の油圧回
路が閉塞された時の圧力油の内部リークを検知して、ク
ランプ力の低下によるトラブルを未然に防止する。 【構成】 工作物を載置して移動するパレット２に設け
られたクランプ用油圧装置１２において、工作物をクラ
ンプ可能なクランプ機構１４を駆動するクランプシリン
ダ装置１５と、このクランプシリンダ装置のピストン１
６で仕切られたシリンダ１７内の第１，第２のシリンダ
室１８，１９にそれぞれ連通し、パレット２の移動中は
閉塞された回路になる第１，第２の油圧回路２０，２１
と、クランプシリンダ装置１５での圧力油の内部リーク
による、第２の油圧回路２１における油圧の変化を検知
するリーク検知装置２２とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、パレット上に設けられ
るワーク取付けのためのクランプ用流体圧装置に係り、
特に、ワーク（工作物）を載置して移動するパレットに
取付けられたクランプ用流体圧装置の作動用圧力流体の
内部リークが検知できるクランプ用流体圧装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ＦＭＳ（フレキシブル生産システム）な
ど加工システムには、自動パレット交換装置（以下、Ａ
ＰＣと記載）を有するマシニングセンタなど工作機械
と、パレットに対してワークの段取り作業を行うための
段取り装置と、この段取り装置で段取り作業の終了した
パレットを一時貯蔵するパレット貯蔵装置と、このパレ
ット貯蔵装置，工作機械及び段取り装置間でパレットを
搬送する搬送装置とを備えたものがある。

【０００３】段取り装置の段取り台上にパレットを載せ
て、パレット上のワーク取付け装置にワーク着脱の段取
り作業をしている時には、クランプ用油圧装置に作動油
が油圧供給回路（油圧供給源）から供給されて、ワーク
がクランプ機構によりクランプされる。ところが、段取
り作業が終了し、ワークのクランプされたパレットが搬
送装置により段取り装置から離れパレット貯蔵装置で待
機している間は、パレットは油圧供給回路から分離され
ることになる。したがって、パレットのクランプ用油圧
装置に設けられた油圧回路は、閉塞された状態になる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】クランプ機構はクラン
プ用シリンダ，ロータリーアクチュエータ等により駆動
されるが、クランプ用シリンダのシリンダとピストンの
摩耗や組付け誤差，又はその摺動部分に介装されたピス
トンパッキンの劣化等によって、作動用の圧力油がシリ
ンダ内でリークする可能性がある。この内部リークが生
じるとクランプ力が低下してワークのクランプ状態が不
安定になるが、従来はこれを検知することができなかっ
た。そのため、工作機械でワークを加工中に切削力によ
りワークが動いてしまって、加工精度の低下又は加工不
良等のトラブルが発生する虞があった。従来は、内部リ
ークの有無を検知していなかったので、前記トラブルの
発生でクランプ力の低下が初めて発覚していた。

【０００５】特開昭６０−６７０４２号公報及び実開平
１−１３８６２９号公報にはクランプ用流体圧装置が開
示されているが、いずれも作動用圧力流体の内部リーク
によるクランプ力の低下に対する配慮はなされていな
い。実開昭５６−１６１５４３号公報には、外部への流
体の漏洩を防止するための流体シリンダの流体漏れ検出
装置が開示されているが、これはシリンダ外部への流体
漏れを防止するものであって、内部リークの対策に関す
るものではない。特開昭６１−１５９１２９号公報に
は、軸シールの油漏洩検知装置が開示されているが、こ
れは油圧ポンプの軸シールでの油漏れに関する技術であ
る。したがって、これは、移動するパレットに設けられ
た逆止め弁付き急速継手（カプラ）等で着脱されて流体
圧回路が閉塞された状態になるクランプ用流体圧装置と
は異なる技術を対象にしている。

【０００６】本発明は、斯かる課題を解決するためにな
されたもので、パレットに取付けられたクランプ用の流
体圧回路が閉塞された時の作動用圧力流体の内部リーク
を検知して、クランプ力の低下によるトラブルを未然に
防止することができるパレットのクランプ用流体圧装置
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明は、工作物を載置して移動するパレットに設
けられたクランプ用流体圧装置において、前記工作物を
クランプ可能なクランプ機構を駆動するクランプシリン
ダ装置と、このクランプシリンダ装置のピストンで仕切
られたシリンダ内の第１，第２のシリンダ室にそれぞれ
連通し、前記パレットの移動中は閉塞された回路になる
第１，第２の流体圧回路と、前記クランプシリンダ装置
での作動用の圧力流体の内部リークによる、前記第１，
第２の流体圧回路のいずれか一方の回路における流体圧
の変化を検知するリーク検知装置とを備えたものであ
る。

【０００８】また、前記リーク検知装置は、前記第１，
第２の流体圧回路のいずれか一方の回路に連通されて前
記流体圧の変化により被検知部材が移動するリーク検知
シリンダ装置と、工作機械の主軸に装着され、接触した
時に接触信号を出力するタッチセンサとからなり、前記
パレットが前記工作機械の所定位置に配設された時に、
前記タッチセンサにより前記被検知部材の移動の有無を
検知するのが好ましい。

【０００９】さらに、別の好ましい態様として、前記リ
ーク検知装置は、前記第１，第２の流体圧回路のいずれ
か一方の回路に連通されて前記流体圧の変化により被検
知部材が移動するリーク検知シリンダ装置と、工作機械
又はパレット交換装置に設けられ、前記パレットがパレ
ット交換位置又は前記工作機械の所定位置に配設された
時に前記パレット上の前記被検知部材の移動の有無を検
知する検知手段とからなっている。

【００１０】

【作用】ワークがクランプされたパレットの移動中は、
第１，第２の流体圧回路は閉塞された回路になる。その
ため、クランプシリンダ装置での作動用圧力流体の内部
リークがあると、第１，第２の流体圧回路における流体
圧が変化する。そして、ピストンをクランプ方向に押圧
する力が低下し、ワークをクランプするクランプ機構に
作用する駆動力が低下して、ワークへのクランプ力が低
下する。したがって、前記流体圧の変化をリーク検知装
置により検知することにより、クランプシリンダ装置で
の作動流体の内部リークの有無を検知している。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３を参
照して説明する。図１は加工システムの一例を示す概略
平面図、図２はクランプ用油圧装置を備えたパレットに
ワーク（工作物）をクランプした状態を示す一部断面正
面図、図３はクランプ用油圧装置の回路図である。

【００１２】図１に示すように、ＦＭＣ（フレキシブル
加工セル）やＦＭＳ等の加工システム１は、パレット２
に載置されたワークを加工するマシニングセンタ（以
下、ＭＣと記載）３など工作機械と、パレット２への段
取り作業を行う段取り台４と、パレット２を搬送するパ
レットローダ，パレット搬送台車など搬送装置８（本実
施例では、パレットローダで説明）と、パレットストッ
カ１０とを備えている。ＭＣ３は１台又は複数台（図１
では４台の場合を示す）設置されており、各ＭＣ３はＡ
ＰＣ７をそれぞれ有している。

【００１３】パレットローダ８は、パレットストッカ１
０と段取り台４と各ＭＣ３のＡＰＣ７とに対してパレッ
ト２を受け渡しするために搬送するものであり、搬送ガ
イド９に従って往復移動するようになっている。パレッ
トストッカ１０は、未加工及び加工済のワーク１１（図
２）が載置された多数のパレット２を貯蔵するために、
搬送ガイド９に沿って長く設置されている。

【００１４】パレットローダ８が搬送ガイド９に沿って
移動することにより、パレットストッカ１０との間で所
望のパレット２が受け渡しされる。パレットローダ８に
よりＭＣ３側に搬送されたパレット２が、ＡＰＣ７によ
りＭＣ３のテーブルに載置されると、パレット２上のワ
ーク１１はＭＣ３の主軸に取付けられた工具により切削
加工される。

【００１５】ワーク１１は、パレット２上のワーク取付
け装置６０（図２）に着脱可能に取付けられる。パレッ
ト２上にワーク１１を着脱する際には、パレット２を段
取り台４上に一時的に載置して、自動又は手動により段
取り作業を行う。図１及び図３に示すように、ワーク１
１を載置して移動するパレット２には、クランプ用流体
圧装置としてのクランプ用油圧装置１２が設けられてい
る。段取り台４には、段取り台４上にあるパレット２の
クランプ用油圧装置１２に、作動用の圧力流体としての
圧力油を供給するための油圧供給回路１３が設けられて
いる。

【００１６】パレット２が段取り台４上に載置され、逆
止め弁付き急速継手（以下、カプラと記載）４０ａ，４
０ｂが接続されて、油圧供給回路１３からクランプ用油
圧装置１２に圧力油が供給されることにより、ワーク１
１へのクランプ，アンクランプ動作が切換弁４５の作動
により実行される。カプラ４０ａ，４０ｂの着脱は、シ
リンダの進退動作や手動レバーによる操作などで行う。
パレット２は、パレットローダ８により搬送されるとと
もにＭＣ３に供給され、必要があればパレットストッカ
１０で待機し、加工完了後はこのパレットストッカ１０
に貯蔵される。このように、パレット２上のワーク１１
は、パレット２のクランプ用油圧装置１２により長時間
にわたってクランプされ続けることになる。かかる構成
の加工システム１の全体を制御装置５６により制御すれ
ば、長時間にわたる無人化運転が可能になる。

【００１７】図２及び図３に示すように、クランプ用油
圧装置１２は、ワーク１１をクランプ可能なクランプ機
構１４を駆動するクランプシリンダ装置１５と、クラン
プシリンダ装置１５のピストン１６で仕切られたシリン
ダ１７内の第１，第２のシリンダ室１８，１９にそれぞ
れ連通し、パレット２の移動中は閉塞された回路になる
流体圧回路としての第１，第２の油圧回路２０，２１
と、クランプシリンダ装置１５での圧力油の内部リーク
（矢印Ｂ）による、第１，第２の油圧回路２０，２１の
いずれか一方の回路における油圧の変化を検知するリー
ク検知装置２２とを備えている。本実施例では、リーク
検知装置２２が第２の油圧回路２１を検知している。

【００１８】パレット２上の取付けベース６０ａの上面
３０に載置されたワーク１１は、図示しない位置決め部
材により位置決めされるとともに、ワーク１１の両側に
それぞれ位置してパレット２に取付けられた複数台（例
えば４台）のクランプ機構１４により、着脱可能にクラ
ンプされている。取付けベース６０ａの上面３０の両側
端部にはそれぞれブロック３１が固定され、クランプシ
リンダ装置１５がブロック３１の内側（即ちワーク１１
側）に位置してパレット上面３０に取付けられている。
クランプシリンダ装置１５のシリンダ１７内には、ピス
トン１６が軸方向に往復移動自在に嵌合し、ピストンパ
ッキン２４によりシールされている。ピストンパッキン
２４としては、例えば、Ｖパッキン，Ｕパッキン，Ｘリ
ング及びＯリング等がある。

【００１９】ピストン１６に連結されたピストンロッド
２３の先端部は、ワーククランプ爪３２にピン３３を介
して相対的に揺動自在に係合している。ワーククランプ
爪３２の後端部３４は、ブロック３１に取付けられて長
さ調節可能な支持部材３５に当接している。ピストン１
６が昇降すると、ピストンロッド２３を介してワークク
ランプ爪３２は支持部材３５を支点にして矢印Ｃに示す
ように揺動する。ピストン１６が下降してワーククラン
プ爪３２がワーク１１の上面部３７を下方に押圧するこ
とにより、ワーク１１はクランプ状態になる。これとは
逆に、ピストン１６が上昇してワーククランプ爪３２が
ワーク上面部３７から離れることにより、ワーク１１は
アンクランプ状態になる。

【００２０】第１，第２の油圧回路２０，２１と油圧供
給回路１３とは、カプラ４０ａ，４０ｂにより接続離脱
自在に連結可能になっている。カプラ４０ａ，４０ｂは
逆止め弁を内蔵したセルフシール式の急速継手であり、
ソケット４１ａとこれに対応するプラグ４２ａ，及びソ
ケット４１ｂとこれに対応するプラグ４２ｂとがそれぞ
れ連結されると、第１，第２の油圧回路２０，２１の各
油路が油圧供給回路１３の各油路にそれぞれ自動的に連
通し、連結が解除されると逆止め弁により瞬時に自動的
に各油路を閉鎖する構造になっている。カプラ４０ａ，
４０ｂは、一体として着脱操作を行っても、各々着脱操
作を行ってもよい。第１の油圧回路２０には、圧力油を
加圧状態で蓄え、ピストンパッキン２４により少量の圧
力油が内部リークしてもすぐにクランプ力低下を生じさ
せないためのアキュムレータ４６が設けられている。

【００２１】圧力油供給源４３から供給された圧力油を
クランプ用油圧装置１２に供給するための油圧供給回路
１３には、圧力変動を緩和するためのアキュムレータ４
４と、第１，第２の油圧回路２０，２１への圧力油の供
給を切り換えるための切換弁４５とが設けられている。
圧力油供給源４３から所定の圧力に加圧された圧力油
が、切換弁４５を介してカプラ４０ａから第１の油圧回
路２０に供給されると、第２の油圧回路２１の作動油は
大気圧となり、切換弁４５を介してタンクに排出され
る。すると、第１のシリンダ室１８が高圧となり、ピス
トン１６と共にピストンロッド２３が下降してワークク
ランプ爪３２を下方に押し下げるので、クランプ状態に
なる（矢印ＣＬ）。一方、切換弁４５を切り換えて、カ
プラ４０ｂと第２の油圧回路２１を介して第２のシリン
ダ室１９に圧力油が供給され、第１の油圧回路２０が大
気圧に開放されると、ピストン１６と共にピストンロッ
ド２３が上昇してワーククランプ爪３２を押し上げるの
で、アンクランプ状態になる（矢印ＵＣＬ）。

【００２２】リーク検知装置２２は、第２の油圧回路２
１に連通されたリーク検知シリンダ装置５１と、パレッ
ト２の移動経路側に取付けられて検知用ロッド５０の移
動の有無を検知するタッチセンサ５２とを備えている。
リーク検知シリンダ装置５１の被検知部材としての検知
用ロッド５０は、流体圧としての油圧の変化により軸方
向に往復移動する。タッチセンサ５２は、ＭＣ３の工具
貯蔵マガジン３ａ（図１）に収納できるように工具と略
同じ形状を有している。リーク検知シリンダ装置５１を
パレット２に取付け、ＭＣ３の主軸には、プローブ先端
が接触した時に信号を出力するタッチセンサ５２を装着
している。なお、タッチセンサ５２は接触信号を赤外線
等の光送信又は磁気結合により出力する。

【００２３】クランプ状態時には、第１のシリンダ室１
８が高圧になり、第２のシリンダ室１９は大気圧になっ
て、第１，第２の油圧回路２０，２１は閉塞された状態
になっている。したがって、本実施例では、リーク検知
装置２２により第２のシリンダ室１９の圧力上昇を検知
することになる。なお、リーク検知装置２２のリーク検
知シリンダ装置５１を第１の油圧回路２０に連通させ
て、第１のシリンダ室１８の圧力の低下を検知するよう
にしてもよい。リーク検知シリンダ装置５１は、検知用
ロッド５０が連結されてシリンダ５３内に進退移動自在
に嵌合するピストン５４と、ピストン５４を常時第２の
油圧回路２１側に付勢するようにシリンダ５３内に装着
された圧縮ばね５５とを有している。

【００２４】パレット２がＡＰＣ７によりＭＣ３に供給
された後、工具貯蔵マガジン３ａを駆動してタッチセン
サ５２を呼び出し、これをＭＣ３の主軸に自動工具交換
装置（図示せず）の工具交換動作により装着する。パレ
ット２がＭＣ３のテーブル上の所定位置に配設された時
に、タッチセンサ５２により検知用ロッド５０の移動状
態を検知する。このようにすれば、ＭＣ３でパレット２
上のワーク１１を工具により加工する直前に、圧力油の
内部リークの有無を確実に検知することができる。

【００２５】検知用ロッド５０とタッチセンサ５２との
相対位置関係としては、タッチセンサ５２を検知用ロッ
ド５０に対して所定の位置に相対移動させた時、内部リ
ークがない場合にはタッチセンサ５２のプローブ先端と
検知用ロッド５０とが当接しない非接触状態とし、内部
リークにより検知用ロッド５０が突出した時のみタッチ
センサ５２に触れるように予め設定してある。

【００２６】次に、本実施例装置の動作について説明す
る。加工システム１で加工すべきワーク１１は、先ず最
初に段取り台４上のパレット２に載置されて、ワーク取
付け装置６０によりクランプされる。この時、パレット
２に設けられたクランプ用油圧装置１２と油圧供給回路
１３とは、カプラ４０ａ，４０ｂを介して連結される。

【００２７】即ち、パレット取付けベース６０ａの上面
３０にワーク１１が載置されると、圧力油供給源４３か
ら供給された圧力油は、切換弁４５を介してカプラ４０
ａ内を流れて第１の油圧回路２０から第１のシリンダ室
１８に供給される。この時、第２のシリンダ室１９，第
２の油圧回路２１は、カプラ４０ｂ及び切換弁４５を介
して大気圧に解放されている。こうして、第１のシリン
ダ室１８に圧力油が供給されることにより、ピストン１
６及びピストンロッド２３は下方に押し下げられる。こ
れにより、ピン３３を介してワーククランプ爪３２はワ
ーク１１の上面部３７を強い力で下方に押し付けること
になり、ワーク１１は安定したクランプ状態になる。

【００２８】この段取り作業が終了すると、カプラ４０
ａ，４０ｂのソケット４１ａ，４１ｂとプラグ４２ａ，
４２ｂとがそれぞれ分離し、各油路は瞬時に自動的に閉
鎖される。ワーク１１を有するパレット１２は、段取り
台４から離れてパレットローダ８により搬送ガイド９に
従って搬送される。

【００２９】パレットローダ８により搬送されるパレッ
ト１２は、パレットストッカ１０で一時的に待機する。
その後、所定のＭＣ３にＡＰＣ７を介して受け渡しさ
れ、ＭＣ３によりワーク１１について所望の切削加工が
行われる。加工の終了したワーク１１のパレット２は、
再びパレットローダ８により搬送されてパレットストッ
カ１０に貯蔵される。その後、段取り台４に搬送されク
ランプ状態が解除されて、ワーク１１がパレット２から
取外される。

【００３０】このように、パレット２が段取り台４から
搬出された後は、パレット２に設けられたクランプ用油
圧装置１２の第１，第２の油圧回路２０，２１は閉塞さ
れた回路になり、圧力油の供給はない。クランプシリン
ダ装置１５のシリンダ１７とピストン１６との摺接部が
完全に密封されていれば、第１のシリンダ室１８内の圧
力油が第２のシリンダ室１９に内部リークすることはな
い。ところが、ピストン１６やシリンダ１７の加工精度
誤差や摩耗，及びピストンパッキン２４の劣化等によ
り、この内部リークが生ずる場合がある。パレット２が
段取り台４を離れたのち所要の加工が終了するまでの時
間が長い場合には、クランプ力の低下の問題が出てく
る。

【００３１】圧力油が内部リークして第１のシリンダ室
１８から第２のシリンダ室１９に流れ込むと、第２のシ
リンダ室１９及び第２の油圧回路２１の油圧が次第に上
昇していく。すると、リーク検知シリンダ装置５１のシ
リンダ室５７内の油圧が上昇して、ピストン５４と検知
用ロッド５０は、圧縮ばね５５の付勢力に抗して矢印Ｄ
に示すように前進移動する。これにより、検知用ロッド
５０がシリンダ５３より外方に突出した状態になる。こ
の状態では、第１のシリンダ室１８側の油圧が低下して
いるので、ピストンロッド２３によりワーククランプ爪
３２を押し下げる力が小さくなり、ワーク１１のクラン
プ状態が不安定なものになっている。

【００３２】かかる圧力油の内部リークが発生したパレ
ット２が、ＭＣ３のテーブル上に到着し、主軸に装着さ
れたタッチセンサ５２を設定位置まで相対移動させる
と、検知用ロッド５０がタッチセンサ５２のプローブを
押圧する。タッチセンサ５２は、検知用ロッド５０が外
方に突出状態にあることを検知して、制御装置５６に接
触信号を出力する。こうして、検知用ロッド５０の変位
の有無をタッチセンサ５２で加工前に検知することによ
り、内部リークの有無を判断している。内部リークがあ
った旨の信号を受けた制御装置５６が、ＭＣ３による加
工作業を中断しアラームを出す制御をすることにより、
クランプ機構１４のクランプ力の低下によるワーク１１
への加工精度の低下や加工不良等のトラブル発生を未然
に防止している。このパレット２は、アラームであるこ
とが登録されるとともに、ＭＣ３より搬出されてパレッ
トストッカ１０に戻される。そして、他のパレット２上
のワーク１１がＭＣ３に搬送され、加工は続行される。

【００３３】なお、この実施例では、所定位置でのタッ
チセンサ５２と検知用ロッド５０との接触の有無で内部
リークを検知しているが、タッチセンサ５２を検知用ロ
ッド５０に当接させるようにしておき、タッチセンサ５
２の接触信号出力時の位置データから検知用ロッド５０
の変化を検知することにより、内部リークの有無を検知
してもよい。

【００３４】図４は本発明の他の実施例を示すクランプ
用油圧装置の回路図である。前記実施例では、主軸に装
着したタッチセンサ５２で内部リークを検知したが、図
４に示すように、工作機械３又はＡＰＣ７の基体に検知
手段７１（例えば、近接スイッチ，リミットスイッチ
等）を設けて検知してもよい。即ち、パレット２がＡＰ
Ｃ７のパレット交換装置又は工作機械３のテーブルに搬
送されてきた時に、近接スイッチ７１により検知用ロッ
ド５０の突出の有無を検知すればよい。近接スイッチ７
１の検知信号は制御装置５６に出力される。さらに、検
知手段７０のロッド７３をシリンダなど駆動体７２で進
退移動可能に設け、検知用ロッド５０に押されて移動す
るロッド７３を、駆動体７２に設けられた近接スイッチ
７１により前進位置で検知し、後退位置を待避位置とし
てもよい。

【００３５】なお、各ＭＣ３で加工する前に常に内部リ
ークの有無の検知をすれば安全であるが、それでは加工
能率が低下する。したがって、タッチセンサ５２や検知
手段７１，７２により検知する頻度としては、有人，無
人等の運転条件の差及び連続運転の時間等を考慮しなが
ら適宜決めてもよい。また、所定の時間間隔で定期的に
行うことも望ましい。

【００３６】このように、パレット２の段取りが終了し
たのち長時間にわたってクランプ状態を維持する必要の
ある加工システム１に、本発明のクランプ用油圧装置１
２を適用すれば、圧力油の内部リークが生じた場合であ
っても、内部リークを確実に検知して、クランプ力の低
下によるトラブルを未然に防止することできる。

【００３７】なお、前記作動用の圧力流体として圧力油
の場合を説明したが、圧縮空気など気体であってもよ
い。なお、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

【００３８】

【発明の効果】本発明は、上述のように構成したので、
パレットに取付けられたクランプ用の流体圧回路が閉塞
された時の作動用圧力流体の内部リークを検知して、ク
ランプ力の低下によるトラブルを未然に防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１乃至図３は本発明の一実施例を示す図で、
図１は加工システムを示す概略平面図である。

【図２】クランプ用油圧装置を備えたパレットにワーク
をクランプした状態を示す一部断面正面図である。

【図３】パレットのクランプ用油圧装置の回路図であ
る。

【図４】本発明の他の実施例を示すパレットのクランプ
用油圧装置の回路図である。

【符号の説明】

２ パレット ３ マシニングセンタ（工作機械） ７ 自動パレット交換装置 １１ 工作物 １２ クランプ用油圧装置（クランプ用流体圧装置） １４ クランプ機構 １５ クランプシリンダ装置 １６ ピストン １７ シリンダ １８ 第１のシリンダ室 １９ 第２のシリンダ室 ２０ 第１の油圧回路（第１の流体圧回路） ２１ 第２の油圧回路（第２の流体圧回路） ２２ リーク検知装置 ５０ 検知用ロッド（被検知部材） ５１ リーク検知シリンダ装置 ５２ タッチセンサ ７０ 検知手段 ７１ 検知手段（近接スイッチ）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 工作物を載置して移動するパレットに設
   けられたクランプ用流体圧装置において、 前記工作物をクランプ可能なクランプ機構を駆動するク
   ランプシリンダ装置と、 このクランプシリンダ装置のピストンで仕切られたシリ
   ンダ内の第１，第２のシリンダ室にそれぞれ連通し、前
   記パレットの移動中は閉塞された回路になる第１，第２
   の流体圧回路と、 前記クランプシリンダ装置での圧力流体の内部リークに
   よる、前記第１，第２の流体圧回路のいずれか一方の回
   路における流体圧の変化を検知するリーク検知装置とを
   備えたことを特徴とするパレットのクランプ用流体圧装
   置。
2. 【請求項２】 前記リーク検知装置は、 前記第１，第２の流体圧回路のいずれか一方の回路に連
   通されて前記流体圧の変化により被検知部材が移動する
   リーク検知シリンダ装置と、 工作機械の主軸に装着され、接触した時に接触信号を出
   力するタッチセンサとからなり、 前記パレットが前記工作機械の所定位置に配設された時
   に、前記タッチセンサにより前記被検知部材の移動の有
   無を検知することを特徴とする請求項１に記載のパレッ
   トのクランプ用流体圧装置。
3. 【請求項３】 前記リーク検知装置は、 前記第１，第２の流体圧回路のいずれか一方の回路に連
   通されて前記流体圧の変化により被検知部材が移動する
   リーク検知シリンダ装置と、 工作機械又はパレット交換装置に設けられ、前記パレッ
   トがパレット交換位置又は前記工作機械の所定位置に配
   設された時に、前記パレット上の前記被検知部材の移動
   の有無を検知する検知手段とからなることを特徴とする
   請求項１に記載のパレットのクランプ用流体圧装置。