JPS6350693U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6350693U JPS6350693U JP14412186U JP14412186U JPS6350693U JP S6350693 U JPS6350693 U JP S6350693U JP 14412186 U JP14412186 U JP 14412186U JP 14412186 U JP14412186 U JP 14412186U JP S6350693 U JPS6350693 U JP S6350693U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- cover
- fixed support
- support part
- branch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
図は本考案に係わるクリーンロボツトの一実施
例を示す断面図である。 １……クリーンロボツト、２……基台、３……
第１アーム、４……第２アーム、２６……作業軸
、８５，８６，８７，８８，８９，９０，９１…
…カバー、９２，９３，１００，１０１……小空
間、９４，９５……ダクト、９５ａ……分岐部、
９８……吸引管、９９……真空ポンプ。
例を示す断面図である。 １……クリーンロボツト、２……基台、３……
第１アーム、４……第２アーム、２６……作業軸
、８５，８６，８７，８８，８９，９０，９１…
…カバー、９２，９３，１００，１０１……小空
間、９４，９５……ダクト、９５ａ……分岐部、
９８……吸引管、９９……真空ポンプ。
Claims (1)
- 水平多関節ロボツトの固定支持部、旋回アーム
部を、回転軸部のみ小空間を残してカバーにより
外気と遮断し、各カバー間をダクトで通気接続し
、このダクト内にアーム間等の配線、配管を通し
、固定支持部上のダクトを分岐して吸気源と接続
させるように構成したことを特徴とするクリーン
ロボツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986144121U JPH0440873Y2 (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986144121U JPH0440873Y2 (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350693U true JPS6350693U (ja) | 1988-04-06 |
| JPH0440873Y2 JPH0440873Y2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=31054437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986144121U Expired JPH0440873Y2 (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0440873Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08288358A (ja) * | 1995-04-20 | 1996-11-01 | Rohm Co Ltd | 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 |
| JP2008307637A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Yamaha Motor Co Ltd | ロボット |
| JP2016078221A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | 株式会社アイエイアイ | 水平多関節ロボット |
| JP2018051682A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 株式会社デンソーウェーブ | 水平多関節型ロボット |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6094494U (ja) * | 1983-12-01 | 1985-06-27 | 三菱電機株式会社 | 産業用ロボツトの配線取付装置 |
| JPS60259397A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-21 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP1986144121U patent/JPH0440873Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6094494U (ja) * | 1983-12-01 | 1985-06-27 | 三菱電機株式会社 | 産業用ロボツトの配線取付装置 |
| JPS60259397A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-21 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08288358A (ja) * | 1995-04-20 | 1996-11-01 | Rohm Co Ltd | 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 |
| JP2008307637A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Yamaha Motor Co Ltd | ロボット |
| JP2016078221A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | 株式会社アイエイアイ | 水平多関節ロボット |
| JP2018051682A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 株式会社デンソーウェーブ | 水平多関節型ロボット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0440873Y2 (ja) | 1992-09-25 |