JP3816056B2

JP3816056B2 - スパッタパレット装着装置

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Publication number: JP3816056B2
Application number: JP2002573338A
Authority: JP
Inventors: ヨハンエフアダム; エバンエフクロムウェル
Original assignee: トダシトロンテクノロジーズインク
Priority date: 2001-03-16
Filing date: 2002-03-12
Publication date: 2006-08-30
Anticipated expiration: 2022-03-12
Also published as: US20020182016A1; WO2002074668A1; US6682270B2; JP2004536415A; US6461085B1; US20020141831A1

Description

本発明は、磁気および光記録媒体の製造に関し、特に詳しくは、小型ディスクをパレットに装着する方法および装置に関する。

磁気および光記録媒体の製造においては、剛性ディスク基板上にスパッタにより薄膜を形成する。スパッタ工程は、典型的には、固定式または移動式構造のいずれかを使用した大容量多室装置内で行われる。これらのスパッタ装置は、最も一般的には、９５ｍｍ径の製品を製造する様に構成されている。しかしながら、例えば、２７．４ｍｍ径の小型ディスクが益々使用されている。大型ディスクと同様に、小型ディスクの製造においても、スパッタにより小型ディスク基板上に薄膜を形成することが要求される。小型ディスク基板をスパッタ処理する公知の方法としては、例えば、９５ｍｍの大口径パレットであって且つ幾つかのより小さな基板を保持し得るスパッタパレット（通常、ミニパレットと称される）を使用する方法が挙げられる。斯かるミニパレットの使用により、高価で且つ時間のかかるスパッタ装置の改造を必要とせずに、小型基板をスパッタ処理することが可能となる。

ミニパレットの使用に伴う問題としては、当該ミニパレットへの小型ディスク基板の装着が困難であると言う問題が挙げられる。小型ディスクは、スプリングによりミニパレット内に確実に保持される。ミニパレットにディスクを装着するには、スプリングを後退させ、ミニパレット内にディスクを配置し、次いで、ゆっくりとスプリングを解放することにより、損傷させることなく所定位置にディスクを保持する。特に、装着の際に生じるディスクの損傷としては、基板外周縁の欠け又は基板の亀裂が例示される。更に、基板のミニパレット内への設置が重要である。すなわち、ディスクは、約０．００１インチ以内の精度でミニパレットに設置されなければならない。ディスクの装着が不適切であると、スパッタ工程中のディスクの脱落や基板損傷を惹起する。また、ディスクの装着が不適切であると、スパッタリングにおいてディスク表面への薄膜の被覆が不良または不完全となる。

小型ディスクをミニパレットに装着する１つの方法としては、手動操作による装着が挙げられる。手動操作による装着は、少量製造に好適に利用されているが、大量製造にはあまり適合しない。特に、大量製造における手動操作での装着の欠点としては、処理量が低いこと、作業コストが高いこと、ならびに、好ましくないレベルの基板の汚染を度々生じることが挙げられる。

ミニパレットに小型ディスクを装着する他の方法としては、把持・位置決め方式のロボットの使用が挙げられる。斯かる方法では、第１のロボットがスタンドにミニパレットを装着し、第２のロボットが締付けスプリングを操作し、第３のロボットが小型基板を掴んでミニパレット内に配置する。上記のシステムでは、作業コスト及び汚染の問題は解決されるが、幾つかの高精度ロボットアームの使用によるコスト高の問題が生じる。また、要求される複数の操作に起因して処理量が制限されるため、付加的な装着装置が必要となり、一層のコスト高を惹起する。

従って、ミニパレットに小型ディスク基板を着脱する装置であって、正確かつ迅速で信頼性が高く、しかも、ディスク基板の損傷や汚染を生じることのない装置が要望される。

本発明の着脱装置は、複数の装着領域および各装着領域内に張出されたスプリングを有するパレットに対してディスク基板を着脱するために使用される。スプリングは、ディスク基板を装着領域に保持する様に偏って配置される。着脱装置は、パレットを回転させるスピンドルと、スプリングを開くためにスプリングを掛止する可動アームと、ディスク基板移動装置とから成る。ディスク基板移動装置は、例えば、ディスク基板の下にエアークッションを形成するエアートラックであってもよい。ディスクは、例えば、重力により装着領域に前進する。１つの実施態様においては、アームがスプリングを掛止し、スピンドルがパレットを回転させることにより、スプリングが開く。次いで、例えば、ディスク基板の下の空気圧を増加することにより、装着領域にディスク基板を移動させ、スピンドルを反対方向に回転させてスプリングを閉じ、それによって装着領域にディスク基板を固定する。別の実施態様では、スピンドルを回転させずに、パレットを静止した状態に維持する一方、アームを移動させる。例えば、横方向にアームを移動させ、スプリングを開閉してもよい。他の実施態様では、アームは、スプリング及びパレット本体とそれぞれ係合する個別の部材から成る。スプリングは、上記の部材を互いに接近させるか又は離間させることにより開閉する。

本発明の他の要旨によれば、例えば、ディスク基板の下にエアークッションを形成し且つディスク基板を推進させる重力等の力を与えることにより、ディスクをパレットの装着領域付近に移動させ、パレットにディスク基板を装着する。アームは、スプリングを掛止し、次いで、スプリングを開く様に作動する。例えば、スプリングは、アームを静止した状態に維持しながらパレットを回転させるか、または、アームを移動させながらパレットを静止した状態に維持することにより開く様にしてもよい。例えば、ディスク基板の下の空気圧を増加することにより、装着領域にディスク基板を移動する。スプリングは、例えば、パレットを反対方向に回転させるか又はアームを反対方向に移動させることによって閉じる。そして、アームがスプリングを開放する。次いで、パレットを回転させることにより、他の装着領域に別のディスク基板を装着することが出来る。

本発明によれば、装置の簡素化により、コストを低減でき且つディスク汚染の可能性を減少することが出来る。更に、あらゆるロボット装着装置に比べ、より高い処理能力を発揮することが出来る。

図１は、本発明の一実施形態を示す図であり、ディスク１０１として示される小型ディスク基板をミニパレット１０２に自動的に着脱するために使用される着脱装置１００の斜視図である。

図１に示す様に、装置１００は、スピンドル１０４と、その上部に支持されたミニパレット１０２を備えている。ミニパレット１０２の装着領域付近に配置されたエアートラック１０６又は類似装置は、装置１００の装着箇所１０８にディスク１０１を搬送するために使用される。操作アーム１１０は、装着工程において、ミニパレット１０２上でスプリングを開閉するために使用される。スピンドル１０４は、ステップモーター１１２により、例えば、駆動ベルト１１４を介して回転駆動され、クランプアクチュエータ１１６によって正確に位置決めされる。パレットインデックスセンサー１１８は、ミニパレットを適正に位置決めするために設けられる。更に、変位センサー１１９は、装着工程の補助として、装着中のディスク１０１の位置を特定するために使用される。変位センサー１１９は、エアートラック１０６内に配置され、これにより、装着過程においてディスク１０１の下方に位置する。しかしながら、変位センサー１１９は、必要に応じて、装着箇所１０８の上方に設け、装着過程においてディスク１０１の上方に位置する様にしてもよい。マイクロプロッセサー１２０が、操作アーム１１０、ステップモーター１１２、クランプアクチュエータ１１６、パレットインデックスセンサー１１８及び変位センサー１１９と回路的に接続され、これらを制御する。更に、マイクロプロッセサー１２０は、エアートラック１０６内の空気流などのディスク１０１の搬送手段を制御する様にしてもよい。

図２は、スピンドル１０４の上部に取付けられ且つディスク１０１の搬送用のエアートラック１０６の上方に配置されたミニパレット１０２を備えた装置１００の上面図である。ミニパレット１０２は、３．７５インチの径および０．０５インチの厚さを有し、例えば、ステンレス鋼または他の適当な材料によって作製される。ミニパレット１０２は、ミニパレット本体内（パレット盤面）に開口として形成され且つ小型ディスクを保持する４つの装着領域１２２を有する。また、ミニパレット１０２は、開口（装着領域１２２）の内周縁側に偏って配置されたスプリング１２４と、開口の内側に突出する複数、例えば、３つの接点１２６とを有する。一体型スプリング１２４は、グリップ孔１２８を有し、操作アーム１１０（図１に示す）は、前記グリップ孔１２８を掛止することにより一体型スプリング１２４を開く。必要ならば、ミニパレット１０２の本体上であってグリップ孔１２８の反対側に、対向するグリップ孔１３０を設け、これに操作アーム１１０を掛止することにより、スプリングを開閉する様にしてもよい。また、ミニパレット１０２は、多数のインデックスマーク１３２を有する。これらインデックスマーク１３２は、例えば、ミニパレット１０２に設けられた開口であってもよく、パレットインデックスセンサー１１８と共に、装着用ディスク移動装置のミニパレットの上の各装着領域１２２を適切に位置決めするために使用される。

また、図２は、ディスク１０１が搬送されるエアートラック１０６の上面図を示す。エアートラック１０６は、加圧空気を吐出する複数の孔１０７を上面に有する。孔１０７から吐出された空気は、ディスク１０１下にエアークッションを形成し、エアートラック１０６の上面からディスク１０１を浮上させる。エアートラック１０６は、僅かに傾斜させることにより、装着の際に浮上したディスク１０１がミニパレット１０２に向かって重力により前進する様に構成される。エアートラック１０６の上面の側部の何れかに設けられた壁部１３４は、エアートラック１０６からディスクが脱落するのを防止する。エアートラック１０６の詳細に関しては、本願と共に同一譲受人により出願された米国特許出願第０９／８１０，８３４号に記載されている。もし必要なら、所望の装着位置にディスク１０１をスライドさせるため、ディスク１０１に対して他の適当な搬送手段を使用してもよい。

ミニパレット１０２へのディスク１０１の装着操作について図３〜８を参照して説明する。図３〜６は、ミニパレット１０２、操作アーム１１０及びエアートラック１０６を示す側面図であり、ディスク１０１がミニパレット１０２に装着されるまでの状態を示す図である。図７及び８は、ミニパレット１０２の一部及びエアートラック１０６を示す上面図であり、ディスク１０１がミニパレット１０２に装着された状態を示す図である。

ミニパレット１０２は、スピンドル１０４の上部に配置され、そして、回転することにより、エアートラック１０６の上方に装着領域１２２を正確に位置させる。装着領域１２２の位置決めは、例えば、インデックスセンサー１１８及びインデックスマーク１３２により制御される。

図３に示す様に、ディスク１０１は、エアークッションによりエアートラック１０６上に支持され、重力、空気、スプリング又は他の適当な手段により、矢印１５０で示す様にミニパレット１０２に向かって前進する（図では、明確を期すためにミニパレット１０２の一部のみを示す）。操作アーム１１０は、矢印１５２で示す様に、下方に伸びており、例えば、グリップ孔１２８（図２参照）を利用し、一体型スプリング１２４を掛止する。操作アーム１１０が一体型スプリング１２４を掛止すると、矢印１５４で示す様に、スピンドル１０４がミニパレット１０２を僅かに、例えば、０．５度回転させ、これによって一体型スプリング１２４を開いた状態の位置に引き寄せる。他の実施形態では、スピンドル１０４がミニパレット１０２を静止した状態に保持し、一方、操作アーム１１０が破線の矢印１５５で示す方向に移動し、一体型スプリング１２４を開く。この様にして、ディスク１０１は、エアートラック１０６の上方の装着領域１２２の下方に移動する。

図７は、ミニパレット１０２の装着領域１２２内に配置されたディスク１０１の上面図である。図７に示す様に、一体型スプリング１２４は、矢印１５６で示す様なミニパレット１０２の回転によって開いている（明確を期すためここでは操作アーム１１０を図示しない）。他の実施形態では、ミニパレット１０２を回転させていない。図９及び１０で示す様に、操作アーム１４１は、グリップ孔１２８及び対向するグリップ孔１３０に係合するフィンガー状部材１４２及び１４４から成る。上記の部材１４２及び１４４を互いに接近する方向（矢印１４３）及び互いに離れる方向（矢印１４５）に動かすことにより、それぞれ一体型スプリング１２４を開き、一体型スプリング１２４を閉じる。

一体型スプリング１２４を開くと、エアートラック１０６内の空気圧が上昇し、図５の矢印１５８で示す様に、ミニパレット１０２の装着領域１２２内にディスク１０１を持ち上げる。ディスク１０１の一方の側縁がミニパレット１０２に押圧されているため、ディスク１０１は、装着領域１２２で僅かに回動し、その結果、ディスク１０１は、ミニパレット１０２と平行な状態となる。変位センサー１１９は、例えば、ディスク１０１がミニパレット１０２の装着領域１２２内に持ち上げられた際にディスク１０１の位置を検出する光学センサーから成る。また、変位センサー１１９は、例えば、エアートラック１０６内の空気流を制御するマイクロプロセッサー１２０に回路的に接続される。この様にして、装着領域１２２内でのディスク１０１の持ち上げ及び位置決め操作を正確に制御することが出来る。好適な変位センサーとしては、例えば、ＭＴＩインストルメント社（ニューヨーク）製の「モデルＫＤ１５０センサー」が挙げられる。

次いで、ミニパレット１０２は、図６の矢印１６０及び図８の矢印１６２で示す反対方向に回転し、ディスク１０１上で一体型スプリング１２４を閉じる。他の実施形態では、ミニパレット１０２を静止した状態に維持する一方、操作アーム１１０を破線の矢印１６１で示す方向に移動させる。そして、一体型スプリング１２４の偏った配置により、ミニパレット１０２内にディスク１０１を保持する。次いで、図６の矢印１６４で示す様に、一体型スプリング１２４から操作アーム１１０が開放される。その後、図８の矢印１６６で示す様に、ミニパレット１０２を次の装着位置に回転させ、他のディスクを装着してもよい。

上記の工程を逆に行うことにより、装置１００を使用してミニパレット１０２からディスクを脱着することも出来ることは明らかである。この場合、操作アーム１１０により一体型スプリング１２４を保持しながら、ミニパレット１０２を回転させて一体型スプリング１２４を開き、装着ディスクを取り外す。他の実施形態では、操作アーム１１０の移動により、一体型スプリング１２４を開き、装着ディスクを取り外す。上記のディスク１０１は、以下の方法でエアートラック１０６に降下させる。すなわち、エアートラック１０６上のエアークッションにディスク１０１を降下させるか、あるいは、エアートラックからの空気流を増加させてディスク１０１を支持し、次いで、空気供給量を減少させることにより、エアートラック１０６上の所望高さにディスク１０１を降下させる。エアートラック１０６は、傾斜して設けられているため、ディスクは、重力によってミニパレット１０２から外れる。次いで、ミニパレット１０２が回転して一体型スプリング１２４を閉じ、操作アーム１１０がグリップ孔１２８から外れ、ミニパレット１０２が次の位置に回転して次のディスクを開放する。

一体型スプリング１２４の開放は、ミニパレット１０２の回転または操作アーム１１０の移動によって正確に制御されるため、ディスク１０１は、ミニパレット１０２に静かに装着される。更に、装置１００の簡素化により、コストを低減でき且つディスク汚染の可能性を減少することが出来る。更に、装置１００は、あらゆるロボット装着装置に比べ、より高い処理能力を発揮することが出来る。

図１１及び１２は、ミニパレット１０２の装着領域にディスク１０１を持ち上げる別の実施形態を示す。図１１に示す様に、ディスク１０１は、エアートラック２００上をミニパレット１０２の装着領域１２２の下方に向かって移動する。エアートラック２００は、トラックの昇降部２０２を備えている以外はエアートラック１０６と同様の構成である。図１２に示す様に、ディスク１０１が装着領域１２２の下方に位置決めされると、エアートラック２００の昇降部２０２が矢印２０４で示す方向に上昇し、ディスク１０１がミニパレット１０２の装着領域１２２内に収容される。昇降部２０２は、マイクロプロセッサー１２０によって制御される適当なアクチュエータにより持ち上げられる。次いで、ミニパレット１０２が回転し、ディスク１０１に対して一体型スプリング１２４を閉じ、それによってミニパレット１０２内にディスク１０１を固定する。図１１及び１２に示す様に、昇降部２０２は、凹状の上面２０６を有する。上面２０６に設けられた複数の孔は、ディスク１０１を支持するためのエアークッションを形成する。上面２０６の凹状構造により、ミニパレット１０２の装着領域１２２内へディスク１０１が持ち上げられる際、昇降部２０２の側端からディスク１０１が脱落するのを防止する。ディスク１０１を所定位置に保持するため、格納式壁およびガイド等の他の機構を使用することも出来る。更に、ディスク１０１を装着領域１２２内への持ち上げるための他の手段、例えば、内径部持ち上げアームを使用することも出来る。

図１３、１４及び１５は、ミニパレット１０２の装着領域にディスク１０１を持ち上げる他の実施形態を示す。図１３に示す様に、操作アーム２５０は、ディスク１０１が装着領域１２２の下方に位置した際、矢印２５２及び２５４に示す様に、一体型スプリング１２４を下方へ引き降ろす。図１４に示す様に、ミニパレット１０２を（矢印２５６で示す様に）回転するか、または、操作アーム２５０によって一体型スプリング１２４を（破線矢印２５８で示す様に）移動させることにより、ディスク１０１の外周に対して一体型スプリング１２４を閉じる。次いで、操作アーム２５０により（矢印２６０で示す様に）ミニパレット１０２と同一面の偏った位置に一体型スプリング１２４を戻すことにより、装着領域１２２にディスク１０１を持ち上げる。

明示的目的のための特定の実施形態に関して本発明を説明したが、本発明は、斯かる実施形態に限定されものではない。本発明の範囲を逸脱しない限り、種々の改良および変更を行ってもよい。例えば、異なる形態のミニパレットを使用することが出来る。また、例えば、一体型スプリングを備えていない従来のミニパレットを使用することも出来る。更に、操作アーム１１０が一体型スプリング１２４を押圧して開放するのではなく、引き戻すことによって前記のスプリングを開く様にしてもよい。また、異なる形態の操作アーム１１０を使用してもよい。従って、これら全ての変更は、上記の請求の範囲に記載する本発明の権利範囲に包含される。

本発明の一実施形態に係るミニパレット装着装置であって、小型ディスク基板をスパッタパレットに自動的に着脱するために使用する装置の斜視図である。ディスク基板を搬送するエアートラック上に配置され且つスピンドルに取付けられたパレットの上面図である。パレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。パレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。パレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。パレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。パレットにディスク基板を装着する工程のパレットの一部およびエアートラックを備えたパレット装着装置の上面図である。パレットにディスク基板を装着する工程のパレットの一部およびエアートラックを備えたパレット装着装置の上面図である。スプリング開閉用の２つの対向部材を有する操作アームによってパレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。スプリング開閉用の２つの対向部材を有する操作アームによってパレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。エアートラックの昇降部によってパレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。エアートラックの昇降部によってパレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。操作アームを使用し、パレット盤面から外れる方向であって且つディスク基板に向かう方向にパレットのスプリングを曲げ、装着領域にディスク基板を持ち上げることにより、パレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。操作アームを使用し、パレット盤面から外れる方向であって且つディスク基板に向かう方向にパレットのスプリングを曲げ、装着領域にディスク基板を持ち上げることにより、パレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。操作アームを使用し、パレット盤面から外れる方向であって且つディスク基板に向かう方向にパレットのスプリングを曲げ、装着領域にディスク基板を持ち上げることにより、パレットにディスク基板を装着する工程のパレット装着装置の側面図である。

Claims

パレット盤面に開口として形成された複数の装着領域とこれら各装着領域に張出されたスプリングとを備え且つ前記装着領域にディスク基板を保持する様に前記スプリングが装着領域の内周縁側に偏って配置されたパレットに対してディスク基板を着脱する装置であって、上部に前記パレットを支持すると共に、第１の方向および当該第１の方向と反対の第２の方向に前記パレットを回転させるスピンドルと、前記パレット上の装着領域において前記スプリングを掛止可能な操作アームと、前記パレット上の装着領域に近接して配置されたディスク基板移動装置とから成り、前記操作アームは、当該操作アームが移動して前記スプリングを掛止した状態において、前記スピンドルによって第１の方向に前記パレットを回転させた場合に前記スプリングを開き、第２の方向に前記スピンドルを回転させた場合に前記スプリングを閉じる様に構成され、そして、ディスク基板装着の際、前記ディスク基板移動装置が前記装着領域付近にディスク基板を移動させ、前記操作アームが前記スプリングを掛止し、前記スピンドルが前記パレットを第１の方向に回転させることにより前記操作アームが前記スプリングを開き、前記ディスク基板移動装置が前記装着領域に前記ディスク基板を移動させ、前記スピンドルが前記パレットを第２の方向に回転させることにより前記操作アームが前記スプリングを閉じ、次いで、前記操作アームが前記スプリングを開放する様になされていることを特徴とするパレットにディスク基板を着脱する装置。
パレットの位置を検出するパレットインデックスセンサーが備えられている請求項１に記載の装置。
パレットの装着領域付近に配置され、ディスク基板が前記装着領域内に移動した際、ディスク基板の位置を検出する変位センサーが設けられている請求項１に記載の装置。
ディスク基板のリフティング機構が備えられている請求項１に記載の装置。
ディスク基板移動装置は、ディスク基板の下に空気を供給する複数の開孔が設けられたエアートラックから成り、ディスク基板のリフティング機構は、前記エアートラックにおける空気圧を増加させ、ディスク基板を装着領域に移動させる様になされている請求項４に記載の装置。
ディスク基板移動装置は、ディスク基板の下に空気を供給する複数の開孔が設けられたエアートラックから成り、ディスク基板のリフティング機構は、前記エアートラックの昇降部によって構成されている請求項４に記載の装置。
ディスク基板のリフティング機構は、パレットの盤面から外れる方向で且つディスク基板の方向にスプリングを曲折する操作アームによって構成されている請求項４に記載の装置。
パレット盤面に開口として形成された複数の装着領域とこれら各装着領域に張出されたスプリングとを備え且つ前記装着領域にディスク基板を保持する様に前記スプリングが装着領域の内周縁側に偏って配置されたパレットに対してディスク基板を着脱する装置であって、上部に前記パレットを支持するスピンドルと、前記パレット上の装着領域において前記スプリングを掛止可能な操作アームと、前記パレット上の装着領域に近接して配置されたディスク基板移動装置とから成り、前記操作アームは、当該操作アームが移動して前記スプリングを掛止した状態において、第１の方向に移動した場合に前記スプリングを開き、前記第１の方向と反対の第２の方向に移動した場合に前記スプリングを閉じる様に構成され、そして、ディスク基板装着の際、前記ディスク基板移動装置が前記装着領域付近にディスク基板を移動させ、前記操作アームが前記スプリングを掛止して前記スプリングを開き、前記ディスク基板移動装置が前記装着領域に前記ディスク基板を移動させ、次いで、前記操作アームが前記スプリングを閉じて前記スプリングを開放する様になされていることを特徴とするパレットにディスク基板を着脱する装置。
パレットの位置を検出するパレットインデックスセンサーが備えられている請求項８に記載の装置。
パレットの装着領域付近に配置され、ディスク基板が前記装着領域内に移動した際、ディスク基板の位置を検出する変位センサーが設けられている請求項８に記載の装置。
ディスク基板のリフティング機構が備えられている請求項８に記載の装置。
ディスク基板移動装置は、ディスク基板の下に空気を供給する複数の開孔が設けられたエアートラックから成り、ディスク基板のリフティング機構は、前記エアートラックにおける空気圧を増加させ、ディスク基板を装着領域に移動させる様になされている請求項１１に記載の装置。
ディスク基板移動装置は、ディスク基板の下に空気を供給する複数の開孔が設けられたエアートラックから成り、ディスク基板のリフティング機構は、前記エアートラックの昇降部によって構成されている請求項１１に記載の装置。
ディスク基板のリフティング機構は、パレットの盤面から外れる方向で且つディスク基板の方向にスプリングを曲折する操作アームによって構成されている請求項１１に記載の装置。
操作アームは、スプリングを掛止した後に当該スプリングを開く様に、移動可能に構成されている請求項８に記載の装置。
操作アームは、スプリングを掛止する第１の部材と、パレット本体を掛止する第２の部材とから成り、前記第１及び第２の部材は、同時に移動して前記スプリングを開く様になされている請求項１５に記載の装置。
パレット盤面に開口として形成された複数の装着領域とこれら各装着領域に張出されたスプリングとを備え且つ前記装着領域にディスク基板を保持する様に前記スプリングが装着領域の内周縁側に偏って配置されたパレットに対してディスク基板を装着する方法であって、前記パレットの装着領域付近にディスク基板を移動する工程と、操作アームが前記スプリングを掛止する工程と、前記操作アームを使用して前記スプリングを開く工程と、前記装着領域内にディスク基板を移動する工程と、前記スプリングを閉じる工程と、前記操作アームが前記スプリングを開放する工程とから成ることを特徴とするパレットにディスク基板を装着する方法。
パレットの装着領域付近にディスク基板を移動する工程は、ディスク基板の下にエアークッションを形成する工程と、ディスク基板に力を作用させて装着領域の下方にディスク基板を移動させる工程とを含む請求項１７に記載の方法。
ディスク基板に作用させる力が重力である請求項１８に記載の方法。
装着領域内にディスク基板を移動する工程は、ディスク基板の下の空気圧を増加させることによってディスク基板を持ち上げる工程である請求項１７に記載の方法。
ディスクの位置を検出し、装着領域内のディスクを持ち上げる様に空気圧を制御する工程を含む請求項２０に記載の方法。
操作アームを使用してスプリングを開く工程は、前記ア−ムを静止状態に維持しながらパレットを回転させると共に、前記操作アームを前記スプリングに押圧して当該スプリングを開く工程である請求項１７に記載の方法。
パレットを第１の方向に第１の距離だけ回転させてスプリングを開いた後、前記スプリングを閉じる工程は、前記パレットを前記第１の方向と反対の第２の方向に前記第１の距離だけ回転させて前記スプリングを閉じる工程である請求項２２に記載の方法。
操作アームを使用してスプリングを開く工程は、前記操作アームの移動中にパレットを静止状態に維持することにより、前記スプリングを開く工程である請求項１７に記載の方法。
スプリングを開くために操作アームを移動させる工程は、パレット本体を掛止した前記操作アームの第２部材に向け、前記スプリングを掛止した前記操作アームの第１部材を移動させる工程である請求項２４に記載の方法。
パレットの未装着領域に装着するために、前記パレットを割り振る工程を含む請求項１７に記載の方法。