KR100938317B1 - 형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어 - Google Patents
형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100938317B1 KR100938317B1 KR1020047010947A KR20047010947A KR100938317B1 KR 100938317 B1 KR100938317 B1 KR 100938317B1 KR 1020047010947 A KR1020047010947 A KR 1020047010947A KR 20047010947 A KR20047010947 A KR 20047010947A KR 100938317 B1 KR100938317 B1 KR 100938317B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- latch mechanism
- latch
- door
- wafer container
- mechanism cover
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
- B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
Claims (21)
- 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,상기 도어는,도어 섀시와,상기 도어 섀시 상에 배치되고, 작동부 및 작동식으로 결합된 적어도 하나의 종방향으로 활주 가능한 긴 래치 암부를 포함하는 적어도 하나의 래치 기구와,상기 적어도 하나의 래치 기구 상에 배치된 래치 기구 커버를 포함하고,상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구를 덮고 상기 래치 기구와 마주하는 내부 표면을 구비하는 패널부를 포함하고, 상기 적어도 하나의 래치 암부에 인접한 상기 내부 표면으로부터 돌출하는 한 쌍의 이격된 안내부를 더 포함하며,상기 적어도 하나의 긴 래치 암부는, 상기 래치 암부를 활주 가능하게 안내하여 배치하도록 구성된 상기 안내부 사이에 종방향으로 활주 가능하게 배치되는 웨이퍼 용기.
- 제1항에 있어서, 상기 래치 암부는 상기 패널부 중의 적어도 일부와 활주 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
- 제1항에 있어서, 래치 암부는 상기 내부로 돌출된 각각의 안내부 중의 적어도 일부와 활주 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
- 제1항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구와 동일 공간에 배치된 웨이퍼 용기.
- 제1항에 있어서, 상기 도어 섀시는 주연부를 구비한 오목부를 갖고, 상기 래치 기구는 상기 오목부 내에 배치되며, 상기 래치 기구 커버는 상기 주연부에서 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하도록 구성된 프레임부를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
- 제5항에 있어서, 상기 프레임부 및 상기 패널부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구를 형성하는 웨이퍼 용기.
- 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,상기 도어는,도어 섀시와,상기 도어 섀시 상에 배치되고, 회전 가능한 캠 및 상기 회전 가능한 캠에 작동식으로 결합된 한 쌍의 종방향으로 활주 가능한 래치 암부를 포함하는 적어도 하나의 제1 래치 기구와,상기 제1 래치 기구를 덮는 래치 기구 커버를 포함하고,상기 래치 기구 커버는 패널부 및 복수의 돌출 안내 리브를 포함하고, 상기 안내 리브는 상기 래치 암을 수용하는 한 쌍의 채널을 형성하도록 배열되고, 상기 쌍의 래치 암 각각은 상기 채널들 중 개별 채널에 활주 가능하게 배치되는 웨이퍼 용기.
- 제7항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구와 동일 공간에 배치된 웨이퍼 용기.
- 제7항에 있어서, 상기 각 래치 암은 상기 패널부의 적어도 일부와 활주 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
- 제7항에 있어서, 상기 각 래치 암은 래치 암이 배치된 채널을 형성하는 각 안내 리브의 적어도 일부와 활주 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
- 제7항에 있어서, 상기 도어 섀시는 주연부를 구비한 오목부를 갖고, 상기 래치 기구는 상기 오목부 내에 배치되며, 상기 래치 기구 커버는 상기 주연부에서 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하도록 구성된 프레임부를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
- 제11항에 있어서, 상기 프레임부 및 상기 패널부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구를 형성하는 웨이퍼 용기.
- 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,상기 도어는,도어 섀시와,상기 도어 섀시 상에 배치되고, 종방향으로 활주 가능한 긴 래치 암부를 포함하는 적어도 하나의 래치 기구와,상기 적어도 하나의 래치 기구를 덮는 래치 기구 커버를 포함하고,상기 래치 기구 커버는 상기 래치 암을 안내하고 측방향으로 구속하는 수단을 구비하는 웨이퍼 용기.
- 제13항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구와 동일한 공간에 배치된 웨이퍼 용기.
- 제13항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구를 덮는 패널부를 포함하는 웨이퍼 용기.
- 제15항에 있어서, 상기 래치 암을 안내하고 측방향으로 구속하는 상기 수단은 상기 래치 암에 측방향으로 인접한 상기 래치 기구 커버로부터 돌출한 한 쌍의 안내부를 포함하고, 상기 래치 암은 상기 안내부 사이에 활주 가능하게 배치되는 웨이퍼 용기.
- 제15항에 있어서, 상기 래치 암은 상기 패널부의 적어도 일부와 활주 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
- 제15항에 있어서, 상기 도어 섀시는 주연부를 구비한 오목부를 갖고, 상기 래치 기구는 상기 오목부 내에 배치되며, 상기 래치 기구 커버는 상기 주연부에서 상기 도어에 상기 래치 기구 커버를 부착하도록 구성된 프레임부를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
- 제15항에 있어서, 상기 프레임부 및 상기 패널부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구를 형성하는 웨이퍼 용기.
- 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,상기 도어는,도어 섀시와,상기 도어 섀시 상에 배치되고, 적어도 하나의 종방향으로 활주 가능한 긴 래치 암을 포함하는 적어도 하나의 래치 기구와,상기 적어도 하나의 래치 기구와 동일 공간에 배치되고 상기 적어도 하나의 래치 기구를 수납하는 래치 수납부를 포함하는 래치 기구 커버를 포함하고,상기 래치 기구 커버는 상기 적어도 하나의 래치 암을 안내하고 측방향으로 구속하는 수단을 구비하고, 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하기 위한 주연 프레임부를 더 포함하며, 상기 래치 수납부 및 상기 주연 프레임부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구를 형성하는 웨이퍼 용기.
- 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,상기 도어는,도어 섀시와,상기 도어 섀시 상에 배치된 적어도 하나의 래치 기구와,상기 적어도 하나의 래치 기구와 동일 공간에 배치되고 상기 적어도 하나의 래치 기구를 수납하는 래치 수납부를 포함하는 래치 기구 커버를 포함하고,상기 래치 기구는 적어도 하나의 종방향으로 활주 가능한 긴 래치 암을 포함하고,상기 래치 기구 커버는 상기 적어도 하나의 래치 암을 안내하고 측방향으로 구속하는 수단을 구비하고, 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하기 위한 주연 프레임부를 더 포함하며,상기 래치 수납부 및 상기 주연 프레임부는 래치 수납부보다 도어 섀시에 더 가까이 위치한 복수의 오목한 영역을 형성함으로써 형상 끼움 래치 기구 커버를 형성하는 웨이퍼 용기.
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US34970802P | 2002-01-16 | 2002-01-16 | |
US60/349,708 | 2002-01-16 | ||
US10/345,088 | 2003-01-14 | ||
US10/345,088 US6749067B2 (en) | 2002-01-16 | 2003-01-14 | Wafer carrier door with form fitting mechanism cover |
PCT/US2003/001417 WO2003062097A1 (en) | 2002-01-16 | 2003-01-16 | Wafer carrier door with form fitting mechanism cover |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040081126A KR20040081126A (ko) | 2004-09-20 |
KR100938317B1 true KR100938317B1 (ko) | 2010-01-22 |
Family
ID=27616698
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020047010947A KR100938317B1 (ko) | 2002-01-16 | 2003-01-16 | 형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6749067B2 (ko) |
EP (1) | EP1483179A1 (ko) |
JP (1) | JP4266831B2 (ko) |
KR (1) | KR100938317B1 (ko) |
CN (1) | CN1298597C (ko) |
MY (1) | MY130809A (ko) |
TW (1) | TWI270954B (ko) |
WO (1) | WO2003062097A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7269965B2 (en) | 2003-02-26 | 2007-09-18 | Lg Electronics Inc. | Built-in type compressor/condenser unit for air conditioner |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8083272B1 (en) * | 1998-06-29 | 2011-12-27 | Industrial Technology Research Institute | Mechanically actuated air tight device for wafer carrier |
US20070026171A1 (en) * | 2002-09-03 | 2007-02-01 | Extrand Charles W | High temperature, high strength, colorable materials for use with electronics processing applications |
TWI290118B (en) * | 2002-10-09 | 2007-11-21 | Entegris Inc | High temperature, high strength, colorable materials for device processing systems |
US7344030B2 (en) * | 2003-11-07 | 2008-03-18 | Entegris, Inc. | Wafer carrier with apertured door for cleaning |
US7325698B2 (en) * | 2004-04-18 | 2008-02-05 | Entegris, Inc. | Wafer container door with particulate collecting structure |
JP4841383B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2011-12-21 | 信越ポリマー株式会社 | 蓋体及び基板収納容器 |
JP5120668B2 (ja) * | 2009-06-08 | 2013-01-16 | ゴールド工業株式会社 | 精密基板収納容器およびその製造方法 |
US20110068598A1 (en) * | 2009-09-22 | 2011-03-24 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Sliding console with lock assembly |
CN112024519B (zh) * | 2020-09-01 | 2021-08-06 | 孙丹清 | 一种翻转式清洗机上的硅片盒 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4718552A (en) * | 1986-12-11 | 1988-01-12 | Fluoroware, Inc. | Disk shipper and transfer tray |
US5915562A (en) * | 1996-07-12 | 1999-06-29 | Fluoroware, Inc. | Transport module with latching door |
US5957292A (en) * | 1997-08-01 | 1999-09-28 | Fluoroware, Inc. | Wafer enclosure with door |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4046410A (en) * | 1976-05-27 | 1977-09-06 | Connell Robert I | Four way security door |
JP3280305B2 (ja) * | 1998-04-13 | 2002-05-13 | 信越半導体株式会社 | 精密基板輸送容器 |
WO2001004022A1 (en) | 1999-07-08 | 2001-01-18 | Fluoroware, Inc. | Transport module with latching door |
US6457598B1 (en) * | 2001-03-20 | 2002-10-01 | Prosys Technology Integration, Inc. | Module cover assembly with door latch transmission mechanism for wafer transport module |
-
2003
- 2003-01-14 US US10/345,088 patent/US6749067B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-16 WO PCT/US2003/001417 patent/WO2003062097A1/en active Application Filing
- 2003-01-16 TW TW092100908A patent/TWI270954B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-01-16 JP JP2003561996A patent/JP4266831B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-16 EP EP03702156A patent/EP1483179A1/en not_active Withdrawn
- 2003-01-16 MY MYPI20030144A patent/MY130809A/en unknown
- 2003-01-16 KR KR1020047010947A patent/KR100938317B1/ko active IP Right Grant
- 2003-01-16 CN CNB038022087A patent/CN1298597C/zh not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4718552A (en) * | 1986-12-11 | 1988-01-12 | Fluoroware, Inc. | Disk shipper and transfer tray |
US5915562A (en) * | 1996-07-12 | 1999-06-29 | Fluoroware, Inc. | Transport module with latching door |
US5957292A (en) * | 1997-08-01 | 1999-09-28 | Fluoroware, Inc. | Wafer enclosure with door |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7269965B2 (en) | 2003-02-26 | 2007-09-18 | Lg Electronics Inc. | Built-in type compressor/condenser unit for air conditioner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1615256A (zh) | 2005-05-11 |
JP4266831B2 (ja) | 2009-05-20 |
MY130809A (en) | 2007-07-31 |
JP2005515644A (ja) | 2005-05-26 |
CN1298597C (zh) | 2007-02-07 |
TWI270954B (en) | 2007-01-11 |
EP1483179A1 (en) | 2004-12-08 |
US6749067B2 (en) | 2004-06-15 |
WO2003062097A1 (en) | 2003-07-31 |
TW200303066A (en) | 2003-08-16 |
US20030146218A1 (en) | 2003-08-07 |
KR20040081126A (ko) | 2004-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4441111B2 (ja) | ドア付きウェハー容器 | |
KR100938317B1 (ko) | 형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어 | |
JP3280282B2 (ja) | ウェハー容器及びそのためのドア | |
US6581264B2 (en) | Transportation container and method for opening and closing lid thereof | |
US7325698B2 (en) | Wafer container door with particulate collecting structure | |
KR20040016977A (ko) | 수평 카세트 | |
TW200822268A (en) | Wafer cassette | |
US20140076774A1 (en) | Automated Wafer Container with Equipment Interface | |
JP2004515916A (ja) | 積み重ね用アダプタプレートを有するウェハーキャリア | |
US6955382B2 (en) | Wafer carrier door and latching mechanism with c-shaped cam follower | |
JP4549595B2 (ja) | ラッチングドアを備えたウェハーコンテナ | |
US20030029772A1 (en) | Disk carrier | |
TW202243086A (zh) | 具有前後開口之半導體基板攜載容器 | |
TWI358742B (en) | Wafer container door with particulate collecting s | |
CN215527679U (zh) | 一种晶圆打点设备 | |
EP3379569B1 (en) | Apparatus for carrying and shielding wafers | |
TWI719031B (zh) | 具有具一單一本體構造之一門之晶圓載具 | |
JPS6124868Y2 (ko) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121227 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131227 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141229 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151230 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161226 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171226 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190102 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200102 Year of fee payment: 11 |