KR20040081126A - 형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어 - Google Patents

형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어 Download PDF

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KR20040081126A KR10-2004-7010947A KR20047010947A KR20040081126A KR 20040081126 A KR20040081126 A KR 20040081126A KR 20047010947 A KR20047010947 A KR 20047010947A KR 20040081126 A KR20040081126 A KR 20040081126A
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Abstract

웨이퍼 용기(10) 및 개선된 도어(26)에 관한 것이다. 웨이퍼 용기 도어는 래치 기구 부품(40, 42)을 보유하고 안내하도록 구성된 래치 기구 커버(44, 46)를 구비한다. 래치 기구 커버는 래치 기구 요소에 끼워진 형태이고 개방 구조를 갖는 커버를 생성하는 개구(106)를 구비할 수 있다. 개방 구조는 기구 커버 아래의 영역을 보다 쉽게 세척 가능하게 하는데 유익하다.

Description

형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어{WAFER CARRIER DOOR WITH FORM FITTING MECHANISM COVER}
완성된 전자 부품으로 반도체 웨이퍼의 프로세싱은 전통적으로 웨이퍼가 취급되고 프로세스되어야 하는 많은 프로세싱 단계를 요구한다. 웨이퍼는 매우 값비싸고, 극도로 정교하고 물리적 및 전기적 쇼크에 의해 쉽게 손상된다. 게다가, 성공적인 청결에 있어서 고수율 프로세싱은 입자 및 다른 오염 물질로부터 최상의 자유를 요구한다. 결과적으로, 특화된 용기 또는 캐리어는 웨이퍼의 프로세싱, 취급 및 운송 도중에 사용하기 위해 개발되어 왔다. 이러한 용기는 웨이퍼를 물리적 및 전기적 위험으로부터 보호하고, 웨이퍼를 오염 물질로부터 보호하기 위해 밀봉 가능하다. 그러한 웨이퍼 캐리어 또는 용기는 통상적으로 내부에 다수의 웨이퍼 고정 선반(wafer holding shelves)을 구비하는 수납부를 포함한다. 용기의 일측은 접근을 위하여 개방되고 도어에 의해 닫힌다. 도어는 래치 기구를 견고하게 보유하고 도어를 제 위치에 밀봉시키도록 래치 기구를 구비한다. 일반적으로, 래치 기구는 손상 및 갑작스러운 작동으로부터 보호하기 위해 수납된다.
웨이퍼 수납부가 청결한 환경에서 사용되었음에도 불구하고, 바람직하지 못한 오염 물질이 시간이 흐르면서 수납부 상에 및 수납부 내에 축적된다. 미립자 오염 물질은 수납부의 부품들 사이에서 마찰 접촉을 통해서와 수납부에 웨이퍼를 적재하거나 하역하는 작업 중에 발생된다. 따라서, 웨이퍼 용기의 중요한 특성은 용기가 프로세스 청정도를 유지된다는 것을 보장하도록 완전하게 세척 가능해야만 한다는 것이다. 세척은 일반적으로 용액(liquid solution)에 의해 완수되고, 그 후에 부품은 압축 공기 또는 다른 가스에 의해 건조된다.
래치 기구 수납부는 웨이퍼 캐리어의 효과적인 세척에 있어서 특정 문제를 보인다. 종래 기술에서, 예컨대, 니세쓰(Nyseth) 및 크람포티크(Krampotich)에게 허여된 미국특허 제5,915,562호 및 미켈센(Mikkelsen) 등에게 허여된 미국특허 제5,957,292호에 보여준 래치 기구 수납부와 같이, 각 특허는 본 명세서에 참조로 완전히 포함되고, 래치 기구는 평평한 패널에 의해 덮인 도어 내의 공동 내에 배치된다. 그러한 수납부가 래치 기구 그 자체로부터 입자 발생을 고립시키고 담도록 도와줌에도 불구하고, 세척 및 건조를 위한 래치 기구 영역으로의 접근은 제한된다. 게다가, 공동과 대응하여 큰 내부 표면적을 갖는 상대적으로 큰 공동이 래치 부품 주위에 형성된다. 큰 표면적 및 체적에 의해 제한된 접근의 조합은 일반적으로 적소에 수납부를 구비한 기구 영역을 효과적으로 세척 및 건조하는데 불가능하게 한다. 또한, 큰 공동은 대응하는 보다 많은 양의 입자 또는 다른 오염 물질을 보유할 수 있다. 결론적으로, 기구 수납부의 적어도 부분적인 분해가 필요하다. 이것은 프로세스 비효율 및 지연을 초래할 수 있는 지루하고 노동 집약적인 프로세스가 될 수 있다. 따라서, 기구 부품으로의 향상된 접근을 허용하고 수납부 내부에 감소된 표면적을 제공하는 기구 수납부(mechanism enclosure)가 바람직하다.
래치 수납부의 내부 표면적을 감소시키는 한 방법은 보호하는 래치 부품에 수납부를 일치시킴으로써 불필요한 영역을 배제하는 것이다. 래치 기구의 윤곽과 보다 근접하게 일치시킨 래치 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어는 PCT 출원 제WO 01/04022호 A1에 개시되었다. 개시된 기구 커버는 전체 래치 공동을 덮는 것이 아니라, 단지 래치 암(latch arm), 동작 이행 기구(motion translation mechanism) 및 손잡이의 일부를 덮는다. 개시된 기구 커버는 단지 래치 암의 한 측부 중 일부에 대한 래치 암의 윤곽과 일치한다. 따라서, 기구 커버 아래에서, 특히 래치 암 및 도어 여유(door margin) 사이에 불필요하게 포함된 중요한 영역들이 있다. 이러한 영역들은 적소에 있는 기구 커버에 의해 세척 및 건조가 어렵게 한다.
게다가, 웨이퍼 캐리어 도어의 제조, 순차적 조립 및 분해는 때때로 래치 기구 및 래치 기구 커버의 종래 설계에 의해 복잡해진다. 일반적으로, 래치 기구 부품은 도어 섀시 내에 형성된 구조물에 의해 보유되고 안내된다. 기구 커버는 단순히 그러한 설계에 있어서 래치 부품을 덮는 역할을 하지만, 일반적으로 부품을 안내하거나 횡방향으로 보유하는 기능을 하지 않는다. 그러한 설계에 있어서, 도어 섀시 그 자체에 래치 부품을 위한 구조물을 안내하고 보유하는 것을 형성하는 것이일반적으로 필요하다. 이러한 구조물은 형성하기가 어려울 수 있고, 도어 섀시에 복잡성을 더하며, 조립 및 분해 프로세스를 복잡하게 할 수 있다.
필요한 것은 종래 기술 설계에 의해 나타난 문제점들을 극복하기 위한 개선된 웨이퍼 용기 및 도어이다.
본 출원은 2002년 1월 16일에 출원된 미국 가출원 제60/349,708호의 35 U.S.C 119(e) 하에서의 이익을 청구한다.
본 발명은 웨이퍼 용기에 관한 것이고, 특히 래치 기구를 구비한 도어를 갖는 밀봉 가능한 웨이퍼 수납부에 관한 것이다.
도1은 웨이퍼 용기 및 도어의 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 웨이퍼 용기 도어의 확대된 사시도이다.
도3은 외부에서 바라본 본 발명의 래치 기구 커버의 사시도이다.
도4는 내부에서 바라본 본 발명의 래치 기구 커버의 사시도이다.
도5는 외부에서 바라본 본 발명의 래치 기구 커버의 다른 실시예의 사시도이다.
도6은 내부에서 바라본 도5의 래치 기구 커버의 사시도이다.
본 발명은 웨이퍼 용기 및 개선된 도어에 관한 것이다. 도어는 래치 기구 부품을 안내하고 보유하는 래치 기구 커버를 구비한다. 래치 기구 커버는 래치 기구의 형상에 끼워져 형성되고, 따라서 기구 커버 아래에 포함된 도어 섀시의 표면적을 최소화하고, 그럼으로써 도어의 구조 내에 보유된 입자 및 다른 오염 물질의 양을 감소시킨다. 래치 기구 커버의 보유 및 안내 기능은 도어 섀시에 안내 및 보유 구조물에 대한 필요를 제거할 수 있고, 그럼으로써 도어의 제조, 조립 및 분해를 단순화할 수 있다. 게다가, 래치 기구 커버는 하부 영역에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구를 구비할 수 있다.
따라서, 본 발명은 일반적으로 웨이퍼 용기 및 도어를 포함한다. 도어는 일반적으로 적어도 하나의 래치 기구를 구비한 도어 섀시를 포함한다. 래치 기구는 적어도 하나의 미끄럼 가능한 래치 암을 구비한다. 래치 기구 커버는 래치 기구 상에 배치되고, 상기 커버는 래치 기구를 대체로 덮고 래치 기구와 마주하는 내부 표면을 갖는 패널부를 포함한다. 한 쌍의 떨어져 이격된 안내부는 래치 암에 인접한 패널부의 내부 표면으로부터 돌출한다. 래치 암은 래치 암을 배치하여 미끄럼 가능하게 안내하도록 구성된 안내부 사이에 종방향으로 미끄럼 가능하도록 배치된다.
본 발명의 목적 및 장점은 래치 기구 부품을 위한 보호를 제공하는 래치 기구 커버이다.
본 발명의 다른 목적 및 장점은 래치 기구 부품을 보유하고 안내하는 래치 기구 커버이다.
본 발명의 다른 목적 및 장점은 커버가 적소에 유지되는 동안 커버 하부의 영역의 세척 및 건조를 허용하는 래치 기구 커버이다.
본 발명의 또 다른 목적 및 장점은 기구 커버 하부에 배치된 도어의 부분들의 세척성을 개선하는 개방 구조 기구 커버를 형성하는 개구를 구비한 래치 기구 커버를 제공하는 것이다.
본 발명의 추가적인 목적, 장점 및 새로운 특징은 하기 설명에서 일부 설명될 것이며, 하기의 고찰에 의해 이 기술분야의 숙련자에 일부 명백할 것이며, 본 발명을 실시함으로써 학습될 수 있다. 본 발명의 목적 및 장점은 특히 동봉된 청구범위에서 지적한 수단 및 조합에 의해 실현되고 달성될 수 있다.
동봉한 도면은 본 발명의 웨이퍼 용기의 실시예와 그 특징 및 요소를 도시한다. 전면 및 배면, 우측 및 좌측, 상부 및 저부, 상부 및 하부, 및 수평 및 수직에 대한 임의의 기준들은 설명의 편리를 위해서이지, 본 발명 또는 그 요소들을 임의의 한 위치상 또는 공간상의 방향으로 제한하기 위한 의도는 아니다. 첨부된 도면 및 본 명세서에서 명기된 임의의 치수는 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않는 본 발명의 실시예의 가능한 설계 및 의도된 사용에 따라 변할 수 있다.
우선 도1을 참조하면, 웨이퍼 용기(10)는 자동 프로세스 장치(12)에 장착되어 도시된다. 웨이퍼 용기(10)는 폴리카보네이트 플라스틱으로 구성되고 상부(16), 바닥부(18), 한 쌍의 대향 측부(20, 22) 및 배면부(24)를 구비하는 수납부(14)를 갖는다. 도어(26)는 수납부(14)의 개방 전면부(28)를 수납하고 도어 오목부(30)에 끼움으로써 수납부를 완성한다. 웨이퍼 지지부(32)는 수납부(14) 내의 반도체 웨이퍼(도시되지 않음)를 지지하도록 제공된다. 수납부 바닥부(18)의 외부 표면에 장착된 키네마틱 커플링(kinematic coupling)(34)은 사용 중에 용기의 자동화된 취급을 용이하게 하기 위해 제공되고, 프로세싱 중에 하우징 내의 웨이퍼를 배치시키기 위한 기준 자료를 제공하기 위한 것이다. 로보틱 리프팅 플랜지(robotic lifting flange)(36)는 수납부 상부(16)의 외부 표면에 장착되고, 사용 중에 용기(10)의 자동화된 취급 및 운반을 용이하게 하도록 제공된다.
도2를 참조하면, 본 발명의 웨이퍼 캐리어 도어(26)가 개시된다. 도어(26)는 일반적으로 도어 섀시(38), 래치 기구(40, 42), 및 래치 기구 커버(44, 46)를 포함한다. 도2는 또한 참조용으로 웨이퍼 캐리어 도어(26)에 적용된 xyz 좌표의 상대적인 방향을 명시한다. 본 명세서에서 x축 방향, y축 방향 또는 z축 방향으로 부품의 이동 및 구속에 대하여 또는 x축, y축 또는 z축에 대하여 회전에 대한 임의의 기준은 이러한 좌표축에 관한 것이다. y축은 용기(10)에 설치된 도어(26) 상에서 상부에서 바닥부로 배향되고, x축은 y축에 수직으로 배향되어 용기(10)에 설치된 도어(26) 상에서 측에서 측으로 배향되고, z축은 x축 및 y축 양 축 모두에 수직이고 용기(10)에 설치된 도어(26)에 의해 형성된 평면과 수직으로 배향된다.
도어 섀시(38)는 폴리카보네이트 플라스틱과 같은 웨이퍼 캐리어용으로 적합한 임의의 재료로 성형될 수 있고, 일반적으로 도어 외부 표면(50)을 형성하는 평면 본체부(48)를 포함한다. 오목부(52, 54)는 래치 기구(40, 42)를 수용하기 위한 도어 섀시(38) 내에 제공될 수 있다.
래치 기구(40, 42)는 각각 일반적으로 작동부(56) 및 하나 이상의 횡방향으로 미끄럼 가능한 래치 암(58)을 포함한다. 작동부(56)가 본 명세서에서 회전하는 캠 부재로 도시되었지만, 선형 미끄럼 운동을 래치 암(58)에 줄 수 있는 임의의 다른 적절한 부재 또는 기구가 역시 사용될 수 있으며, PCT 출원 제WO 01/04022호 A1에 도시된 바와 같은 랙과 피니언 기구를 포함한다. 본 발명과 함께 사용하기 위한 적절한 캠 작동 래치 기구의 부가적인 상세 설명은 공동 계류중인 미국특허출원 제10/307,894호, 제10/317,023호 및 제10/318,374호에 개시되고, 각각은 본 발명의소유자에 의해 공통으로 소유되며, 각각은 본 명세서에 참조로 완전히 포함된다.
도시된 실시예에 있어서, 각 래치 암(58)은 캠부(cam portion)(66)에서 캠 부재(64)의 주연(62)과 결합된 캠 종동부(cam follower portion)(60)를 구비한다. 각각의 래치 암(58)은 캠 종동부(60)에서 대향된 단부에 래치부(68)를 구비한다. 키(도시되지 않음)가 키 슬롯(70) 내로 삽입되어 회전될 때, 캠 종동부(60)는 캠부(66)를 따라 미끄러진다. 캠 부재(64)의 형상으로 인하여, 래치 암(58)은 y축으로 방사상으로 이행되며, 래치 개구(72)를 통해 래치부(68)를 연장시키거나 수축시킨다. 래치부(68)는 웨이퍼 용기(10) 내의 래치 리셉터클(74)에 의해 수용되고, 도어가 적소에 배치되도록 허용한다.
도2 내지 도4를 참조하면, 본 발명의 래치 기구 커버(44)의 실시예가 도시된다. 단순화를 위하여 하기의 설명은 단지 래치 기구 커버(44)만을 참조하지만, 설명은 도2에 도시된 바와 같이 양쪽의 래치 기구 커버(44, 46)에 적용하도록 가정될 수 있다. 도3은 도어(26)의 외부로부터 관찰한 것처럼 래치 기구 커버(44)를 도시하고, 도4는 도어(26)의 내부로부터 관찰한 것처럼 래치 기구 커버(44)를 도시한다. 래치 기구 커버(44)는 일반적으로 패널부(76) 및 돌출 안내부(78)를 포함한다. 래치 기구 커버(44)는 또한 도어 섀시(38)에 커버(44)를 부착시키기 위한 주연 프레임(80)을 포함할 수 있다. 키 개구(82)는 키가 키 슬롯(70)으로 삽입될 수 있도록 제공될 수 있다.
도시된 바와 같이, 패널부(76)는 래치 기구(40)를 덮고 대체로 동시에 연장한다. 본 명세서에서 리브(84)의 형태로 도시된 돌출 안내부(78)는 래치 암(58)에인접하여 하향으로 연장된다. 본 명세서에서 리브(84)로서 도시되었지만, 안내부(78)가 복수의 돌출 기둥 또는 다른 구조를 포함하는 본 발명에 따른 다양한 다른 형태로 제공될 수 있다. 각 돌출 안내부(78)는 래치 암(58)과 미끄럼 가능하게 접촉하여 하나 이상의 베어링 표면(86)을 구비할 수 있다. 이러한 베어링 표면(86)은 래치 암(58)을 안내하고 배치하는 역할을 할 뿐만 아니라 x축 방향으로 래치 암(58)의 횡방향 이동을 구속한다. 패널부(76)의 내부 표면(88)은 래치 암(58)을 구속하고 래치 암(58)과 미끄럼 가능하게 접촉하는 부분을 가질 수 있다. 따라서, 패널부(76)는 z축 방향으로 래치 암(58)의 이동을 유지하고 구속하는 역할을 한다. 패널부(76)의 내부 표면(88)과 함께 돌출 안내부(78)는 각 래치 암(58)을 위한 채널(90)을 형성한다.
패널부(76)는 래치 기구(40)의 작동부(56)를 덮는 중심부(92)를 포함한다. 중심부(92)는 캠 부재(64)를 포함하는 래치 기구(40)의 작동부(56)를 마주하는 내부 표면(94)을 갖는다. 베어링부(96)는 캠 부재(64)와 미끄럼 가능하게 접촉하고, 적소에 캠 부재(64)를 유지시키고 z축 방향으로 이동을 방지한다. 하향 돌출 리브(98)는 작동 기구 수납부(100)를 형성하기 위하여 중심부(92)의 주연에 제공될 수 있다. 채널(90)과 함께 이 작동 래치 수납부(100)는 래치 기구(40)를 위한 사실상 완성 래치 수납부(104)를 형성한다. 이 래치 수납부(104)는 본질적으로 래치 기구(40)의 형상으로 끼워진 형태이다.
물론, 래치 기구(40)가 상기 진술한 바와 같이 변화하는 유형의 작동 기구와 단일 또는 임의의 개수의 래치 암을 포함하는 다양한 대체 형태 및 구성을 취할 수있다. 본 발명의 래치 기구 커버는 임의의 그러한 대체 구성에 응용될 수 있다.
도2 내지 도4를 다시 참조하면, 주연 프레임(80)은 기구 커버(44)를 도어 섀시(38)에 제공될 수 있다. 본 발명의 다른 태양에 있어서, 래치 수납부(104)와 함께 주연 프레임(80)은 복수의 개구(106)를 형성한다. 개구(106)는 래치 기구 커버(44) 뿐만 아니라 래치 기구(40) 자체에 의해 덮인 도어 섀시(38)의 대체로 모든 영역을 세척하기 위한 접근을 제공한다. 래치 기구 커버(44)는 개구(106)를 구비하거나 주연 프레임(80)이 없는 개방 구조를 갖는다. 이러한 개방 구조 설계는 래치 수납부 영역을 개방하고 래치 기구 커버(44) 하부에 배치된 도어(26)의 부분들을 세척하고 건조하기 위해 보다 쉬운 접근을 제공한다. 개구(106)가 래치 기구(40) 위로 사실상 직접적으로 배치되지 않은 래치 기구 커버(44) 하부에 적어도 대부분의 총 면적 중의 총 면적을 갖는다. 양호한 실시예에서, 개구는 면적에 있어서 적어도 2평방 인치 일 수 있다.
도2, 도4 및 도5를 참조하면, 래치 기구 커버(44)의 또 다른 실시예가 개시된다. 이 실시예에서, 래치 수납부(108)는 대체로 래치 기구(40)와 동시에 연장되어 그 위에 끼워진 형태이다. 래치 수납부(108)는 주연 프레임(80) 및 오목부(110)에 의해 형성된다. 오목부(110)는 래치 기구 커버(44)가 도어 섀시(38)에 부착될 때 래치 수납부(108)의 내부 표면(114)보다 도어 섀시(38)에 더 근접하여 배치된 내부 표면(112)을 갖는다. 두드러지게, 오목부(110)는 단단한 재료로 형성되고 이 실시예에서는 개구를 구비하지 않는다. 도시된 바와 같이, 리브(84)는 상기 기술된 바와 같이 래치 기구 요소를 안내하고 보유하도록 제공될 수 있다. 대안으로서, 오목부(110)는 충분히 오목해질 수 있어서 래치 수납부(108)의 측부(116)의 내부 표면은 래치 암(58)을 안내하고 횡방향으로 유지하도록 배치될 수 있다.
상기 설명이 많은 특수성을 포함하고 있지만, 이것은 본 발명의 범위를 제한하는 듯이 해석되어서는 안되며 단순히 본 발명의 양호한 실시예 중의 일부의 설명을 제공하는 것으로 해석되어야 한다. 따라서, 본 발명의 범위는 주어진 예에 의해서라기보다는 동봉된 청구범위 및 그 법적 동등물에 의해 결정되어야 한다.

Claims (21)

  1. 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,
    상기 도어는,
    도어 섀시와,
    상기 도어 섀시 상에 배치된 적어도 하나의 래치 기구와,
    상기 적어도 하나의 래치 기구 상에 배치된 래치 기구 커버를 포함하고,
    상기 래치 기구는 작동부 및 작동식으로 결합된 적어도 하나의 종방향 미끄럼 가능한 신장 래치 암부를 포함하고,
    상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구를 대체로 덮고 상기 래치 기구와 마주하는 내부 표면을 구비하는 패널부를 포함하고, 상기 적어도 하나의 래치 암부에 인접한 상기 내부 표면으로부터 돌출하는 한 쌍의 떨어져 이격된 안내부를 더 포함하며, 상기 적어도 하나의 신장 래치 암부는 상기 안내부 사이에 종방향으로 미끄럼 가능하게 배치되고, 상기 안내부는 상기 래치 암부를 미끄럼 가능하게 안내하여 배치하도록 구성되는 웨이퍼 용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 래치 암부는 상기 패널부 중의 적어도 일부와 미끄럼 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
  3. 제1항에 있어서, 래치 암부는 상기 내부로 돌출된 각각의 안내부 중의 적어도 일부와 미끄럼 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구와 대체로 함께 연장되어 있는 웨이퍼 용기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 도어 섀시는 주연부를 구비한 오목부를 갖고, 상기 래치 기구는 상기 오목부 내에 배치되며, 상기 래치 기구 커버는 상기 주연부에서 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하도록 구성된 프레임부를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
  6. 제5항에 있어서, 상기 프레임부 및 상기 패널부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구가 형성된 웨이퍼 용기.
  7. 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,
    상기 도어는,
    도어 섀시와,
    상기 도어 섀시 상에 배치된 적어도 하나의 제1 래치 기구와,
    상기 제1 래치 기구를 덮는 래치 기구 커버를 포함하고,
    상기 래치 기구는 회전 가능한 캠 및 상기 회전 가능한 캠에 작동식으로 결합된 한 쌍의 종방향 미끄럼 가능한 래치 암부를 포함하고,
    상기 래치 기구 커버는 패널부 및 복수의 돌출 안내 리브를 포함하고, 상기 안내 리브는 상기 래치 암을 수용하는 한 쌍의 채널을 형성하도록 배열되고, 각 상기 쌍의 래치 암은 상기 채널들 중 분리된 채널에 배치되는 웨이퍼 용기.
  8. 제7항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구와 대체로 함께 연장되어 있는 웨이퍼 용기.
  9. 제7항에 있어서, 상기 각 래치 암은 상기 패널부의 적어도 일부와 미끄럼 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
  10. 제7항에 있어서, 상기 각 래치 암은 래치 암이 배치된 채널을 형성하는 각 안내 리브의 적어도 일부와 미끄럼 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
  11. 제7항에 있어서, 상기 도어 섀시는 주연부를 구비한 오목부를 갖고, 상기 래치 기구는 상기 오목부 내에 배치되며, 상기 래치 기구 커버는 상기 주연부에서 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하도록 구성된 프레임부를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
  12. 제11항에 있어서, 상기 프레임부 및 상기 패널부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구가 형성되어 있는 웨이퍼 용기.
  13. 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,
    상기 도어는,
    도어 섀시와,
    상기 도어 섀시 상에 배치된 적어도 하나의 래치 기구와,
    상기 적어도 하나의 래치 기구를 덮는 래치 기구 커버를 포함하고,
    상기 래치 기구는 종방향 미끄럼 가능한 신장 래치 암부를 포함하고,
    상기 래치 기구 커버는 상기 래치 암을 안내하고 횡방향으로 구속하는 수단을 구비하는 웨이퍼 용기.
  14. 제13항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구와 대체로 함께 연장되어 있는 웨이퍼 용기.
  15. 제13항에 있어서, 상기 래치 기구 커버는 상기 래치 기구를 덮는 패널부를 포함하는 웨이퍼 용기.
  16. 제15항에 있어서, 상기 래치 암을 안내하고 횡방향으로 구속하는 상기 수단은 상기 래치 암에 횡방향으로 인접한 상기 래치 기구 커버로부터 돌출한 한 쌍의 안내부를 포함하고, 상기 래치 암은 상기 안내부 사이에 미끄럼 가능하게 배치되는 웨이퍼 용기.
  17. 제15항에 있어서, 상기 래치 암은 상기 패널부의 적어도 일부와 미끄럼 가능하게 접촉하는 웨이퍼 용기.
  18. 제15항에 있어서, 상기 도어 섀시는 주연부를 구비한 오목부를 갖고, 상기 래치 기구는 상기 오목부 내에 배치되며, 상기 래치 기구 커버는 상기 주연부에서 상기 도어에 상기 래치 기구 커버를 부착하도록 구성된 프레임부를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
  19. 제15항에 있어서, 상기 프레임부 및 상기 패널부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구가 형성되어 있는 웨이퍼 용기.
  20. 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,
    상기 도어는,
    도어 섀시와,
    상기 도어 섀시 상에 배치된 적어도 하나의 래치 기구와,
    상기 적어도 하나의 래치 기구와 대체로 함께 연장되어 상기 적어도 하나의 래치 기구를 수납하는 래치 수납부를 포함하는 래치 기구 커버를 포함하고,
    상기 래치 기구는 종방향으로 미끄럼 가능한 신장 래치 암을 포함하고,
    상기 래치 기구 커버는 상기 적어도 하나의 래치 암을 안내하고 횡방향으로 구속하는 수단을 구비하고, 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하기 위한 주연 프레임부를 더 포함하며, 상기 래치 수납부 및 상기 주연 프레인부는 상기 도어 섀시 및 상기 래치 기구에 세척 접근을 제공하기 위한 복수의 개구를 형성하는 웨이퍼 용기.
  21. 적어도 상부, 바닥부, 한 쌍의 대향 측부, 배면부, 개방 전면부, 상기 개방 전면부를 닫기 위한 도어를 구비하는 수납부를 포함하는 웨이퍼 용기이며,
    상기 도어는,
    도어 섀시와,
    상기 도어 섀시 상에 배치된 적어도 하나의 래치 기구와,
    상기 적어도 하나의 래치 기구와 대체로 함께 연장되어 상기 적어도 하나의 래치 기구를 수납하는 래치 수납부를 포함하는 래치 기구 커버를 포함하고,
    상기 래치 기구는 종방향으로 미끄럼 가능한 신장 래치 암을 포함하고,
    상기 래치 기구 커버는 상기 적어도 하나의 래치 암을 안내하고 횡방향으로구속하는 수단을 구비하고, 상기 도어 섀시에 상기 래치 기구 커버를 부착하기 위한 주연 프레임부를 더 포함하며, 상기 래치 수납부 및 상기 주연 프레인부는 래치 수납부보다 도어 섀시에 더 가까이 위치한 오목한 영역과 함께 복수의 오목한 영역을 형성함으로써 형상 끼움 래치 기구 커버를 형성하는 웨이퍼 용기.
KR1020047010947A 2002-01-16 2003-01-16 형상 끼움 기구 커버를 구비한 웨이퍼 캐리어 도어 KR100938317B1 (ko)

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8083272B1 (en) * 1998-06-29 2011-12-27 Industrial Technology Research Institute Mechanically actuated air tight device for wafer carrier
US20070026171A1 (en) * 2002-09-03 2007-02-01 Extrand Charles W High temperature, high strength, colorable materials for use with electronics processing applications
WO2004033103A2 (en) * 2002-10-09 2004-04-22 Entegris, Inc. High temperature, high strength, colorable materials for device processing systems
KR20030036302A (ko) 2003-02-26 2003-05-09 엘지전자 주식회사 공기조화기용 벽 매입형 실외기
US7344030B2 (en) * 2003-11-07 2008-03-18 Entegris, Inc. Wafer carrier with apertured door for cleaning
US7325698B2 (en) * 2004-04-18 2008-02-05 Entegris, Inc. Wafer container door with particulate collecting structure
JP4841383B2 (ja) * 2006-10-06 2011-12-21 信越ポリマー株式会社 蓋体及び基板収納容器
JP5120668B2 (ja) * 2009-06-08 2013-01-16 ゴールド工業株式会社 精密基板収納容器およびその製造方法
US20110068598A1 (en) * 2009-09-22 2011-03-24 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Sliding console with lock assembly
CN112024519B (zh) * 2020-09-01 2021-08-06 孙丹清 一种翻转式清洗机上的硅片盒

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4046410A (en) * 1976-05-27 1977-09-06 Connell Robert I Four way security door
US4718552A (en) 1986-12-11 1988-01-12 Fluoroware, Inc. Disk shipper and transfer tray
US5915562A (en) 1996-07-12 1999-06-29 Fluoroware, Inc. Transport module with latching door
US5957292A (en) 1997-08-01 1999-09-28 Fluoroware, Inc. Wafer enclosure with door
JP3280305B2 (ja) * 1998-04-13 2002-05-13 信越半導体株式会社 精密基板輸送容器
DE10084776T5 (de) 1999-07-08 2005-12-01 Entegris, Inc., Chaska Transportmodul mit verriegelbarer Tür
US6457598B1 (en) * 2001-03-20 2002-10-01 Prosys Technology Integration, Inc. Module cover assembly with door latch transmission mechanism for wafer transport module

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