KR101413936B1 - 도어 구조 및 기판 저장 용기 - Google Patents

도어 구조 및 기판 저장 용기 Download PDF

Info

Publication number
KR101413936B1
KR101413936B1 KR1020097005092A KR20097005092A KR101413936B1 KR 101413936 B1 KR101413936 B1 KR 101413936B1 KR 1020097005092 A KR1020097005092 A KR 1020097005092A KR 20097005092 A KR20097005092 A KR 20097005092A KR 101413936 B1 KR101413936 B1 KR 101413936B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
door structure
casing
container body
opening
pair
Prior art date
Application number
KR1020097005092A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090075663A (ko
Inventor
아키히로 하세가와
준야 토다
Original Assignee
신에츠 폴리머 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 filed Critical 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
Publication of KR20090075663A publication Critical patent/KR20090075663A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101413936B1 publication Critical patent/KR101413936B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D55/00—Accessories for container closures not otherwise provided for
    • B65D55/02—Locking devices; Means for discouraging or indicating unauthorised opening or removal of closure
    • B65D55/14—Applications of locks, e.g. of permutation or key-controlled locks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/38—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2585/00—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials
    • B65D2585/68—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form
    • B65D2585/86—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form for electrical components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)

Abstract

수동으로 개폐하는 경우에도 부품이나 부속품 등을 분실할 우려가 적고, 반송시의 진동이나 충격 등에서도 파티클이 발생하기 어렵고, 또한 세정 후의 건조 작업에 장시간을 요하지 않는 도어 구조 및 기판 저장 용기를 제공한다. 기판을 저장하는 용기 본체(1)와, 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 도어 구조(10)를 구비한다. 도어 구조(10)는, 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 케이싱과, 케이싱의 표면에 배치되고, 회전 플레이트(15)의 회전에 기초하여 케이싱의 둘레벽으로부터 출몰 가능하게 돌출시킨 걸림 발톱을 용기 본체(1)의 개구 정면부(2) 내주에 걺으로써 케이싱을 잠그는 잠금 기구(14)와, 케이싱의 표면에 장착되어 잠금 기구를 덮는 커버 플레이트(22)와, 커버 플레이트(22)에 형성되어 회전 플레이트(15)에 부분적으로 대향하는 조작창(30)으로 구성되고, 잠금 기구(14)의 회전 플레이트(15)의 조작창(30)과의 대향부에는 수동 조작 수단을 구비한다.
도어 구조, 기판 저장 용기, 잠금 기구, 커버 플레이트, 조작창

Description

도어 구조 및 기판 저장 용기{DOOR STRUCTURE AND SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}
본 발명은 반도체 웨이퍼(wafer) 등으로 이루어지는 기판을 저장하는 용기 본체의 도어 구조(door structure) 및 기판 저장 용기에 관한 것이다.
종래의 기판 저장 용기는, 도시하지 않지만, 반도체 웨이퍼로 이루어지는 복수 매의 기판을 정렬 저장하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구 정면부에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 도어 구조를 구비하여 구성되어 있다. 이 기판 저장 용기는 반도체 부품의 양산 공정에서 반도체 웨이퍼의 가공 장치에 세트(set)되고, 클린(clean)화의 요구를 감안하여, 도어 구조가 가공 장치의 도어 구조 개폐 장치에 의해 자동적으로 개폐된다(특허문헌 1, 2 참조).
그런데, 기판 저장 용기는 기본적으로는 가공 장치의 도어 구조 개폐 장치에 의해 도어 구조가 자동적으로 개폐되지만, 트러블(trouble)의 발생시나 시험시에는 작업자에 의해 도어 구조가 수동으로 개폐된다. 이 경우, 작업자는 전용의 작은 도구를 사용하여 용기 본체로부터 도어 구조를 분리하거나, 혹은 도어 구조의 표면에 미리 축 지지시켜 둔 수동 조작용의 개폐 핸들(handle)을 요동 조작하여 용기 본체로부터 도어 구조를 분리하고 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 1999-91864호 공보
특허문헌 2: 일본 특허공개 2003-174081호 공보
<발명이 해결하고자 하는 과제>
종래에 있어서의 기판 저장 용기는 이상과 같이 구성되고, 전용의 작은 도구나 수동 조작용의 개폐 핸들을 사용하여 용기 본체로부터 도어 구조(door structure)가 수동에 의해 분리되지만, 전용의 도구를 사용하는 경우에는, 각 공정에 도구를 준비해 둘 필요가 있고, 소형이어서 분실될 우려가 있다. 또, 개폐 핸들을 사용하는 경우에는, 도어 구조의 표면에 개폐 핸들을 미리 축 지지시켜 둘 필요가 있으므로, 작업에 품이 들고, 또한 구성이 번잡하다고 하는 문제가 있다.
또, 개폐 핸들이 움직일 수 있으므로, 반송시의 진동이나 충격으로 슬라이딩부(sliding portion)에 파티클(particle)이 발생하기 쉽다고 하는 문제도 있다. 또한, 도어 구조의 세정시에 개폐 핸들의 축 지지부나 조작용의 공극부에 세정수가 잔류하기 쉽기 때문에, 세정 후의 건조 작업에 장시간을 요할 우려가 적지 않다.
본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 수동으로 개폐하는 경우에도 부품이나 부속품 등을 분실할 우려가 적고, 반송시의 진동이나 충격 등에도 파티클이 발생하기 어렵고, 또한 세정 후의 건조 작업에 장시간을 요하지 않는 도어 구조 및 기판 저장 용기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
본 발명에 있어서는 상기 과제를 해결하기 위하여, 기판을 저장하는 용기 본체의 개구부에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 도어 구조로서, 용기 본체의 개구부에 끼워넣어지는 케이싱(casing)과, 이 케이싱에 배치되고, 외부 조작용의 조작 구멍이 형성된 회전체의 회전에 기초하여 케이싱의 둘레벽으로부터 출몰 가능하게 돌출시킨 걸림체를 용기 본체의 개구부 내주에 간섭시킴으로써 케이싱을 잠그는 한 쌍의 잠금 기구와, 케이싱의 표면에 장착되어 한 쌍의 잠금 기구를 각각 덮는 한 쌍의 커버(cover)와, 각 커버에 직사각형으로 형성되어 잠금 기구의 회전체의 조작 구멍에 대향하고, 회전체를 외부로부터 조작하기 위한 한 쌍의 조작구와, 각 커버의 중앙부에 형성되어 잠금 기구의 회전체에 대향하는 복수의 조작창과, 각 잠금 기구의 회전체의 조작창의 대향부에 설치되는 한 쌍의 수동 조작 수단을 포함하고, 각 조작창을 정면 원호형으로 형성하고, 각 수동 조작 수단을 조작창에 대향하는 회전체의 대향부에 180°의 간격으로 정면 부채꼴로 천공되는 한 쌍의 손가락 삽입공과 각 손가락 삽입공의 주연부의 일부분에 돌출 형성되는 손가락 걸어맞춤 리브로 구성한 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 잠금 기구는 도어 구조(door structure)의 케이싱에 회전 가능하게 지지되어 외부로부터 조작되는 회전체와, 케이싱에 지지되고, 회전체의 회전에 수반하여 케이싱의 내외 방향으로 왕복 운동하는 복수의 연결체와, 각 연결체에 연결되고, 이 연결체의 왕복 운동에 의해 케이싱의 둘레벽의 관통구로부터 출몰하는 복수의 걸림체를 포함하면 좋다.
또, 잠금 기구의 회전체의 조작창과의 대향부에 수동 조작 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
또, 수동 조작 수단을, 잠금 기구의 회전체에 설치되는 손가락 삽입공으로 할 수가 있다.
또, 회전체의 손가락 삽입공의 주위에 손가락 걸어맞춤 리브를 형성할 수가 있다.
또, 수동 조작 수단을, 잠금 기구의 회전체에 설치되어 조작창으로부터 노출되는 조작바(operational bar)로 할 수도 있다.
또, 수동 조작 수단을, 잠금 기구의 회전체에 형성되는 널링(knurling)으로 하는 것도 가능하다.
또, 본 발명에 있어서는 상기 과제를 해결하기 위하여, 기판을 저장하는 용기 본체의 개구부에 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 도어 구조를 착탈이 자유롭게 끼워넣는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 용기 본체의 개구부의 내주연(內周緣)에, 잠금 기구의 걸림체에 간섭되는 복수의 걸림 구멍을 형성할 수가 있다.
여기서, 특허 청구의 범위에 있어서의 기판에는, 적어도 구경 200mm, 300mm, 450mm의 반도체 웨이퍼(wafer), 재생 웨이퍼, 유리 웨이퍼 등이 단수 복수 포함된다. 용기 본체나 기판 저장 용기는 투명, 불투명, 반투명의 탑 오픈 박스 타입(top open box type), 프론트 오픈 박스 타입(front open box type), 바텀 오픈 박스 타입(bottom open box type), 공정내(in-house)용, 수송용 등을 특히 따지는 것은 아니다.
잠금 기구는 단수 복수나 착탈을 특히 따지는 것은 아니다. 이 잠금 기구의 걸림체에는 발톱(claw)이나 롤러(roller) 등이 포함된다. 조작창은 단수 복수나 형상을 따지는 것은 아니다. 예를 들면, 조작창을 원호형, 원형, 직사각형, 다각형, 혹은 타원형 등으로 할 수가 있다. 또한, 수동 조작 수단의 손가락 삽입공(바닥의 유무를 따지지 않는다), 손가락 걸어맞춤편, 조작바(레버(lever) 등을 포함한다)는 단수 복수나 형상을 따지는 것은 아니다.
본 발명에 의하면, 기판을 저장하는 용기 본체의 도어 구조를 수동에 의해 개폐하는 경우에는, 커버의 조작창에 손가락이나 봉 등을 삽입하고, 잠금 기구의 회전체를 돌리면, 잠금 기구가 작동하여 도어 구조를 수동에 의해 개폐할 수가 있다.
<발명의 효과>
본 발명에 의하면, 가령 도어 구조를 수동으로 개폐하는 경우에도 부품, 부속품, 전용품 등이 분실될 우려가 적고, 반송시의 진동이나 충격 등에도 도어 구조에 파티클(particle)이 발생하는 것을 억제 혹은 방지할 수 있다고 하는 효과가 있다. 또, 세정한 도어 구조의 건조 작업의 신속화를 도모할 수가 있다.
또, 수동 조작 수단으로서 손가락 삽입공을 사용하면, 잠금 기구의 회전체에 적절히 손가락 등을 걸 수가 있으므로, 수동 조작이 용이하게 된다.
또, 수동 조작 수단인 손가락 삽입공에 손가락 걸어맞춤편을 형성하면, 잠금 기구의 회전체에 손가락 등의 조작력을 확실히 전달하는 것이 가능하게 된다.
또한, 수동 조작 수단을, 잠금 기구의 회전체에 형성되는 널링(knurling)으로 하면, 잠금 기구의 회전체를 조작할 때, 간이한 구성으로 손가락 등이 미끄러지는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명에 관계되는 도어 구조(door structure) 및 기판 저장 용기의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 전체 사시 설명도이다.
도 2는 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 실시 형태에 있어서의 도어 구조를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 3은 도 2의 도어 구조로부터 커버(cover)를 분리한 도어 구조를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 4는 도 3의 회전 플레이트(rotary plate)가 90о 회전한 상태를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 5는 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 실시 형태에 있어서의 잠금 기구의 회전 플레이트를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 6은 도 5의 회전 플레이트가 회전한 상태를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 7은 도 6의 회전 플레이트가 회전한 상태를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 8은 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 실시 형태에 있어서의 커버를 모식적으로 나타내는 정면 설명도이다.
도 9는 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 제2의 실시 형태에 있어서의 잠금 기구의 회전 플레이트를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 10은 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 제2의 실시 형태에 있어서의 잠금 기구를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 11은 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 제3의 실시 형태에 있어서의 잠금 기구의 회전 플레이트를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 12는 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 제3의 실시 형태에 있어서의 잠금 기구를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 13은 본 발명에 관계되는 도어 구조 및 기판 저장 용기의 제4의 실시 형태에 있어서의 잠금 기구를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
<부호의 설명>
1　　　 용기 본체
2　　　 개구 정면부(개구부)
10　　　도어 구조(door structure)
11　　　케이싱(casing)
14　　　잠금 기구
15　　　회전 플레이트(rotary plate)(회전체)
16　　　조작 구멍
19　　　연결 플레이트
21　　　걸림 발톱(걸림체)
22　　　커버 플레이트(cover plate)(커버)
24　　　조작구
30　　　조작창
40　　　수동 조작 수단
41　　　손가락 삽입공
42　　　손가락 걸어맞춤 리브(rib)
43　　　조작바(operational bar)
43A　　 조작바
44　　　널링(knurling)
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시의 형태를 설명하면, 본 실시 형태에 있어서의 기판 저장 용기는, 도 1 내지 도 8에 나타내듯이, 복수 매의 기판을 저장하는 용기 본체(1)와, 이 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)에 씰(seal) 상태로 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 도어 구조(door structure)(10)를 구비하고, 이 도어 구조(10)는, 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 케이싱(casing)(11)과, 이 케이싱(11)의 표면에 배치되고, 각 회전 플레이트(rotary plate)(15)의 회전에 기초하여 케이싱(11)의 둘레벽으로부터 출몰 가능하게 돌출시킨 복수의 걸림 발톱(21)을 용기 본체(1)의 개구 정면부(2) 내주에 걺으로써 케이싱(11)을 잠금 폐쇄하는 복수의 잠금 기구(14)와, 케이싱(11)의 표면에 장착되어 각 잠금 기구(14)를 덮는 복수의 커버 플레이트(cover plate)(22)와, 각 커버 플레이트(22)에 형성되어 각 회전 플레이트(15)에 부분적으로 대향하는 복수의 조작창(30)으로 구성되고, 각 잠금 기구(14)의 회전 플레이트(15)의 조작창(30)과의 대향부에는 수동 조작 수단(40)을 구비하도록 하고 있다.
기판은, 도시하지 않지만, 예를 들면 구경 300mm의 얇고 둥근 반도체 웨이퍼(wafer)(Si 웨이퍼 등)로 이루어지고, 반도체 웨이퍼의 결정 방위의 판별이나 위치 맞춤을 위하여, 주연부(周緣部)의 일부가 선택적으로 또한 직선적으로 절결(切缺)되어 오리엔테이션 플랫(orientation flat)으로 되거나, 혹은 주연부의 일부가 대략 가는 홈형으로 절결되어 노치(notch)로 되어 있고, 용기 본체(1) 내에 1∼25매 또는 1∼26매 정렬 저장된다.
용기 본체(1)는, 도 1에 나타내듯이, 소정의 성형 재료를 사용하여 정면이 개구한 프론트 오픈 박스 타입(front open box type)으로 사출 성형된다. 이 용기 본체(1)의 성형 재료로서는, 예를 들면 폴리카보네이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리에테르에테르케톤 등의 열가소성 수지를 들 수 있고, 이 열가소성 수지에는 도전성 카본(carbon), 도전 섬유, 금속 섬유, 도전성 고분자 등으로 이루어지는 도전제, 각종의 대전 방지제, 자외선 흡수제 등이 적당히 첨가된다.
용기 본체(1)는 그 내부 배면에, 기판의 후부 주연(周緣)을 수평으로 끼워맞춰 보지(保持)하는 좌우 한 쌍의 리어 리테이너(rear retainer)가 돌출 형성되고, 이 한 쌍의 리어 리테이너가 소정의 간격을 두어 상하 방향으로 병설된다. 또, 용기 본체(1)의 내부 양측에는, 기판의 측부 주연을 수평으로 지지하는 좌우 한 쌍의 티쓰(teeth)가 돌출 형성되고, 이 서로 대향하는 좌우 한 쌍의 티쓰가 소정의 간격을 두어 상하 방향으로 병설된다.
용기 본체(1)의 저면에는, 평면 대략 Y자형, 다각형, 혹은 삼각형 등의 바텀 플레이트(bottom plate)가 착탈이 자유롭게 장착되고, 이 바텀 플레이트에는, 도시하지 않는 가공 장치에 대한 단면 대략 V자형의 복수의 위치 결정 도구가 배열, 장착되어 있고, 용기 본체(1)의 천장 중앙부에는, 반송 로봇에 파지되는 평면 대략 직사각형의 플랜지(flange)가 착탈이 자유롭게 장착된다. 또, 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)는, 도 1이나 도 2에 나타내듯이, 바깥 방향으로 뻗어나가도록 단차를 붙여 굴곡 형성되고, 이 단차의 평탄한 단차면이 도어 구조(10)용의 씰(seal) 형성면으로서 기능한다.
용기 본체(1)의 개구 정면부(2)의 내주연 상하에는, 잠금 기구(14)의 걸림 발톱(21)에 끼워맞춰지는 좌우 한 쌍의 걸림 구멍이 소정의 간격을 두고 오목하게 형성되고, 용기 본체(1)의 좌우 양측부의 외면 중앙부에는, 작업자에게 쥐어지는 매뉴얼 핸들(manual handle)이 각각 착탈이 자유롭게 장착된다.
도어 구조(10)의 케이싱(11), 복수의 잠금 기구(14), 복수의 커버 플레이트(22), 및 수동 조작 수단(40)은 용기 본체(1)와 마찬가지의 성형 재료를 사용하여 성형된다. 케이싱(11)은, 도 1 내지 도 4에 나타내듯이, 기본적으로는 단면 대략 접시형을 나타내는, 정면에서 보아 가로로 긴 장방형으로 형성되고, 중앙부(12)가 표면측(정면측)으로 대략 직사각형으로 융기함으로써 좌우의 양측부가 상대적으로 오목하게 형성됨과 아울러, 이 오목한 좌우의 양측부 내에는 잠금 기구(14)가 각각 설치되어 있고, 둘레벽의 상하 양측에는 직사각형의 관통구가 각각 천공된다.
케이싱(11)의 중앙부(12)는, 동 도에 나타내듯이, 표면의 상하 양측에, 가공 장치의 도어 구조 개폐 장치에 흡착되는 원형의 흡착 영역(13)이 병설되고, 오목한 이면에는, 기판의 전부(前部) 주연을 수평으로 끼워맞춰 보지하는 탄성의 프론트 리테이너(front retainer)가 착탈이 자유롭게 장착된다. 또, 케이싱(11)의 이면의 주연부에는, 단면 대략 U자형의 끼워맞춤 보지홈이 엔들리스(endless)의 프레임(frame)형으로 형성되고, 이 끼워맞춤 보지홈에는, 용기 본체(1)의 씰 형성면에 압접(壓接)하는 탄성 변형 가능한 씰 개스킷(seal gasket)이 끼워넣어진다. 이 씰 개스킷은, 예를 들면 실리콘 고무나 불소 고무 등을 사용하여 엔들리스(endless)로 성형된다.
각 잠금 기구(14)는, 도 3 내지 도 7에 나타내듯이, 케이싱(11)의 표면에 회전 가능하게 축 지지되고, 도어 구조(10)의 외부로부터 가공 장치의 도어 구조 개폐 장치에 의해 회전 조작되는 회전 플레이트(15)와, 케이싱(11)의 표면에 복수의 가이드 핀(guide pin)이나 가이드를 통하여 슬라이드(slide) 가능하게 지지되고, 회전 플레이트(15)의 회전에 수반하여 케이싱(11)의 상하 내외 방향으로 슬라이드(slide)하는 한 쌍의 연결 플레이트(19)와, 케이싱(11)의 둘레벽의 관통구 부근에 축 지지됨과 아울러, 각 연결 플레이트(19)의 선단부에 연결 축 지지되고, 연결 플레이트(19)의 슬라이드에 의해 케이싱(11)의 둘레벽의 관통구로부터 출몰하는 한 쌍의 걸림 발톱(21)을 구비하여 구성된다.
각 회전 플레이트(15)는 단면 대략 “凸”자형으로 형성되고, 표면측으로 돌출한 원형의 중심부에는 외부 조작용의 조작 구멍(16)이 정면 직사각형으로 오목하게 형성된다. 이 회전 플레이트(15)는 그 외주부에 대략 180о의 간격을 두고 한 쌍의 원호홈(17)이 각각 천공되고, 주연부에는 가요성(flexibility)을 가지는 한 쌍의 만곡편(18)이 대략 180о의 간격을 두고 부설된다.
각 연결 플레이트(19)는 연결체로서 장방형의 평판으로 형성되고, 그 표면 말단부의 원기둥형의 연결핀(20)이 회전 플레이트(15)의 원호홈(17)에 끼워넣어져 연결된다. 이러한 연결 플레이트(19)는 회전 플레이트(15)가 일 방향으로 회전하면, 케이싱(11)의 상하 바깥 방향으로 슬라이드(slide)하여 둘레벽의 관통구로부터 용기 본체(1)의 걸림 구멍에 끼워맞춰지는 걸림 발톱(21)을 돌출시키고, 회전 플레이트(15)가 타 방향으로 회전하면, 케이싱(11)의 상하 안 방향으로 슬라이드하여 걸림 발톱(21)을 원래의 위치로 복귀시킨다.
각 커버 플레이트(22)는, 도 1, 도 2, 도 8에 나타내듯이, 케이싱(11)의 각 측부에 대응하도록 세로로 길게 형성되고, 중앙부 상방이나 측부에는, 케이싱(11)이나 그 중앙부 측면에 착탈이 자유롭게 걸어맞춰지는 가요성의 걸어맞춤편(23)이 복수 돌출 형성된다. 이 커버 플레이트(22)에는, 회전 플레이트(15)의 조작 구멍(16)에 대향하여 연통하는 정면 직사각형의 조작구(24)가 천공되고, 이 조작구(24)를 관통한 도어 구조 개폐 장치의 조작키(operating key)가 회전 플레이트(15)의 조작 구멍(16)에 삽입되어 회전함으로써, 각 잠금 기구(14)가 외부로부터 조작된다.
복수의 조작창(30)은, 도 1, 도 2, 도 8에 나타내듯이, 각 커버 플레이트(22)의 대략 중앙부에 형성되어 조작구(24)의 좌우에 나란히 한 쌍 배열되고, 각 조작창(30)이 정면 대략 원호형으로 천공되어 있고, 회전 플레이트(15)의 표면에 부분적으로 대향하여 외부로부터의 수동 조작을 허용하도록 기능한다.
수동 조작 수단(40)은, 도 5 내지 도 7에 나타내듯이, 조작창(30)에 대향하는 회전 플레이트(15)의 대향부에 180о의 간격으로 정면 대략 부채꼴로 천공되는 한 쌍의 손가락 삽입공(41)과, 각 손가락 삽입공(41)의 주연부의 일부분에 돌출 형성되는 손가락 걸어맞춤 리브(rib)(42)를 구비하여 형성된다. 이 수동 조작 수 단(40)은 용기 본체(1)와 마찬가지의 성형 재료를 사용하여 성형된다.
또한, 조작창(30)과 손가락 삽입공(41)은, 예를 들면 SEMI 규격 S8(반도체 제조 장치의 인간 공학 엔지니어링)에 준거하는 치수로 형성되는 것이 바람직하다.
상기에 있어서, 용기 본체(1)로부터 도어 구조(10)를 수동에 의해 분리하는 경우에는, 각 커버 플레이트(22)의 조작창(30) 내에 손가락을 삽입함과 아울러, 수동 조작 수단(40)의 손가락 삽입공(41) 내에 손가락을 삽입하여 손가락 걸어맞춤 리브(42)에 걸어맞추고, 회전 플레이트(15)를 임의의 방향으로 돌리면, 잠금 기구(14)가 작동하여 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)에 끼워맞춰진 도어 구조(10)를 수동에 의해 분리할 수가 있다.
상기에 의하면, 전용의 작은 도구를 사용하지 않아도, 수동 조작 수단(40)의 손가락 삽입공(41)과 손가락 걸어맞춤 리브(42)를 사용하면, 용기 본체(1)로부터 도어 구조(10)를 수동에 의해 간단히 분리할 수가 있으므로, 각 공정에 도구를 미리 준비해 둘 필요가 전혀 없고, 또한 도구 분실의 우려도 없다. 또, 도어 구조(10)의 표면에 개폐 핸들(handle)을 미리 축 지지시켜 둘 필요도 없기 때문에, 도어 구조(10)의 개폐 작업의 원활화, 간이화, 신속화, 용이화를 도모할 수가 있는 외에, 도어 구조(10)의 구성을 간소하게 할 수가 있다. 또, 개폐 핸들을 생략할 수가 있으므로, 반송시의 진동이나 충격으로 슬라이딩부(sliding portion)에 파티클(particle)이 발생하는 일이 없다.
또, 개폐 핸들의 생략에 수반하여, 개폐 핸들의 축 지지부나 조작용의 공극부에 세정수가 잔류하는 일이 없기 때문에, 세정 후의 건조 작업의 신속화를 도모 하는 것이 가능하게 된다. 또, 조작창(30)에 대향하는 회전 플레이트(15)의 대향부에 손가락 삽입공(41)과 손가락 걸어맞춤 리브(rib)(42)를 배치하므로, 손가락의 삽입이 용이하게 되고, 수동 조작에 지장을 초래하는 일이 적다. 또, 수동 조작 수단(40)의 손가락 삽입공(41)을 사용하면, 적절히 손가락을 걸 수가 있으므로, 수동 조작이 용이하게 된다. 또한, 손가락 걸어맞춤 리브(42)를 사용하면, 회전 플레이트(15)에 손가락의 조작력을 확실히 전달하는 것이 가능하게 된다.
다음에, 도 9, 도 10은 본 발명의 제2의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 수동 조작 수단(40)을, 각 회전 플레이트(15)의 표면에 돌출 형성되고, 각 커버 플레이트(22)의 조작창(30)으로부터 노출되는 한 쌍의 조작바(operational bar)(43)로 하도록 하고 있다.
각 조작바(43)는 직선적이고 짧은 장방형편 혹은 정방형편으로 형성되어 각 원호홈(17)의 단부에 근접 배치되고, 작업자의 손가락의 간섭에 의해 회전 플레이트(15)를 회전시킨다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 커버 플레이트(22)의 각 조작창(30)으로부터 조작바(43)가 돌출하므로, 수동 조작시에 손가락의 삽입량을 감소시킬 수가 있다는 것은 분명하다. 또, 수동 조작 수단(40)의 형상이나 구조의 다양화를 도모할 수가 있다.
다음에, 도 11, 도 12는 본 발명의 제3의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 수동 조작 수단(40)을, 각 회전 플레이트(15)의 표면 중심부에 180о의 간격을 두어 형성되고, 각 커버 플레이트(22)의 원형을 나타내는 조작창(30)으로부터 노출되는 한 쌍의 조작바(43A)로 하도록 하고 있다.
각 조작바(43A)는 조작바(43)보다도 크고 긴 대략 “く”자형으로 굴곡 형성되고, 각 회전 플레이트(15)의 표면 중심부로부터 반경 바깥 방향으로 신장 형성되어 있고, 작업자의 손가락의 간섭에 의해 회전 플레이트(15)를 회전시킨다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 각 조작바(43A)가 조작바(43)보다 크고 길기 때문에, 조작성이 더 향상된다는 것은 명백하다.
다음에, 도 13은 본 발명의 제4의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 수동 조작 수단(40)을, 각 회전 플레이트(15)의 둘레면에 횡으로 또는 비스듬하게 복수 나란히 새겨서 만들어지고, 각 커버 플레이트(22)의 직사각형을 나타내는 복수의 조작창(30)으로부터 각각 노출되는 미끄럼 방지용의 널링(knurling)(44)으로 하도록 하고 있다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.
상기에 있어서, 용기 본체(1)로부터 도어 구조(10)를 수동에 의해 분리하는 경우에, 각 커버 플레이트(22)의 조작창(30) 내에 손가락을 삽입하고, 수동 조작 수단(40)의 깔쭉깔쭉한 널링(knurling)(44)에 손가락을 대고, 회전 플레이트(15)를 임의의 방향으로 돌리면, 회전 플레이트(15)가 미끄러지는 일 없이 원활하게 회전한다.
본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 회전 플레이트(15)에 복수의 조작바(43)를 새로이 설치할 필요성이 전혀 없기 때문에, 회전 플레이트(15)의 구성의 간소화를 도모할 수가 있다.

Claims (7)

  1. 기판을 저장하는 용기 본체의 개구부에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 도어 구조로서,
    용기 본체의 개구부에 끼워넣어지는 케이싱과, 이 케이싱에 배치되고, 외부 조작용의 조작 구멍이 형성된 회전체의 회전에 기초하여 케이싱의 둘레벽으로부터 출몰 가능하게 돌출시킨 걸림체를 용기 본체의 개구부 내주에 간섭시킴으로써 케이싱을 잠그는 한 쌍의 잠금 기구와, 케이싱의 표면에 장착되어 한 쌍의 잠금 기구를 각각 덮는 한 쌍의 커버와, 각 커버에 직사각형으로 형성되어 잠금 기구의 회전체의 조작 구멍에 대향하고, 회전체를 외부로부터 조작하기 위한 한 쌍의 조작구와, 각 커버의 중앙부에 형성되어 잠금 기구의 회전체에 대향하는 복수의 조작창과, 각 잠금 기구의 회전체의 조작창의 대향부에 설치되는 한 쌍의 수동 조작 수단을 포함하고,
    각 조작창을 정면 원호형으로 형성하고,
    각 수동 조작 수단을 조작창에 대향하는 회전체의 대향부에 180°의 간격으로 정면 부채꼴로 천공되는 한 쌍의 손가락 삽입공과, 각 손가락 삽입공의 주연부의 일부분에 돌출 형성되는 손가락 걸어맞춤 리브로 구성한 것을 특징으로 하는 도어 구조.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 기판을 저장하는 용기 본체의 개구부에 제1항에 기재된 도어 구조를 착탈이 자유롭게 끼워넣는 것을 특징으로 하는 기판 저장 용기.
KR1020097005092A 2006-10-06 2007-09-28 도어 구조 및 기판 저장 용기 KR101413936B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2006-275248 2006-10-06
JP2006275248A JP4841383B2 (ja) 2006-10-06 2006-10-06 蓋体及び基板収納容器
PCT/JP2007/069015 WO2008044495A1 (fr) 2006-10-06 2007-09-28 Corps de couvercle et récipient recevant des substrats

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090075663A KR20090075663A (ko) 2009-07-08
KR101413936B1 true KR101413936B1 (ko) 2014-06-30

Family

ID=39282705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097005092A KR101413936B1 (ko) 2006-10-06 2007-09-28 도어 구조 및 기판 저장 용기

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8091710B2 (ko)
EP (1) EP2068357B1 (ko)
JP (1) JP4841383B2 (ko)
KR (1) KR101413936B1 (ko)
CN (1) CN101523589B (ko)
TW (1) TW200834786A (ko)
WO (1) WO2008044495A1 (ko)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5286142B2 (ja) * 2009-04-10 2013-09-11 株式会社ディスコ 加工装置
US9767474B1 (en) 2010-03-23 2017-09-19 Amazon Technologies, Inc. Transaction tracking and incentives
CN102237289B (zh) * 2010-05-07 2013-07-24 家登精密工业股份有限公司 一种具有椭圆门闩结构的前开式圆片盒
CN102263046A (zh) * 2010-05-26 2011-11-30 家登精密工业股份有限公司 一种具有椭圆门闩结构的前开式圆片盒
TWM410441U (en) * 2011-02-23 2011-08-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Fixing structure of removable electronic device
US9965768B1 (en) 2011-05-19 2018-05-08 Amazon Technologies, Inc. Location-based mobile advertising
KR200465979Y1 (ko) * 2011-06-08 2013-03-20 삼성중공업 주식회사 도어
JP5715898B2 (ja) 2011-07-06 2015-05-13 ミライアル株式会社 基板収納容器
CN103035559B (zh) * 2011-09-29 2015-04-22 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 弹性固定轮及包含其的晶圆适配器
TWM425502U (en) * 2011-10-31 2012-03-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Removable electronic device
EP2863423B1 (en) * 2012-06-14 2019-09-11 Murata Machinery, Ltd. Lid opening/closing device
JP6030758B2 (ja) * 2013-05-29 2016-11-24 ミライアル株式会社 基板収納容器
US8857619B1 (en) * 2013-09-30 2014-10-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Mechanisms for wafer pod and pod door
US9184077B2 (en) 2013-09-30 2015-11-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Wafer pod and wafer positioning mechanism thereof
JP6591297B2 (ja) * 2016-01-20 2019-10-16 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
CN109997217B (zh) * 2016-12-16 2023-10-31 恩特格里斯公司 配备具有两个凸轮轮廓的闩锁机构的衬底容器
TWI746045B (zh) * 2020-07-07 2021-11-11 家登精密工業股份有限公司 基板載具鎖扣結構

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040072727A (ko) * 2002-01-15 2004-08-18 엔테그리스, 아이엔씨. 웨이퍼 캐리어 도어 및 모래 시계 형상의 키 슬롯을 갖는래칭 기구
KR100546482B1 (ko) * 1997-07-11 2006-05-04 엔테그리스, 아이엔씨. 잠그는도어가있는운송모듈

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1362647A (en) * 1916-05-13 1920-12-21 American Hardware Corp Door and lock therefor
US2565669A (en) * 1950-03-07 1951-08-28 Emma R Dawson Room occupancy indicator
US4490999A (en) * 1982-09-27 1985-01-01 Castle Nial K Door lock with indicator
US5711427A (en) 1996-07-12 1998-01-27 Fluoroware, Inc. Wafer carrier with door
US6010008A (en) 1997-07-11 2000-01-04 Fluoroware, Inc. Transport module
JP3556480B2 (ja) * 1998-08-17 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
TW433258U (en) * 2000-06-23 2001-05-01 Ind Tech Res Inst Improved door body structure for a pod
WO2002049079A2 (en) * 2000-12-13 2002-06-20 Entegris Cayman Ltd. System for preventing improper insertion of foup door into foup
US6457598B1 (en) * 2001-03-20 2002-10-01 Prosys Technology Integration, Inc. Module cover assembly with door latch transmission mechanism for wafer transport module
CN100374358C (zh) * 2001-11-27 2008-03-12 诚实公司 通过门形成接地线路的前开口式晶片容器
JP4073206B2 (ja) 2001-12-05 2008-04-09 信越ポリマー株式会社 収納容器の蓋体
US6880718B2 (en) * 2002-01-15 2005-04-19 Entegris, Inc. Wafer carrier door and spring biased latching mechanism
US6749067B2 (en) * 2002-01-16 2004-06-15 Entegris, Inc. Wafer carrier door with form fitting mechanism cover
TW534165U (en) * 2002-09-04 2003-05-21 Ind Tech Res Inst Latch locking mechanism used in doors of wafer boxes
WO2004102655A1 (ja) * 2003-05-15 2004-11-25 Tdk Corporation クリーンボックス開閉装置を備えるクリーン装置
TWI276580B (en) 2003-12-18 2007-03-21 Miraial Co Ltd Lid unit for thin-plate supporting container
JP4573566B2 (ja) 2004-04-20 2010-11-04 信越ポリマー株式会社 収納容器
US7913437B2 (en) * 2007-12-06 2011-03-29 Caroline Simmen Domenig Room occupancy indicator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100546482B1 (ko) * 1997-07-11 2006-05-04 엔테그리스, 아이엔씨. 잠그는도어가있는운송모듈
KR20040072727A (ko) * 2002-01-15 2004-08-18 엔테그리스, 아이엔씨. 웨이퍼 캐리어 도어 및 모래 시계 형상의 키 슬롯을 갖는래칭 기구

Also Published As

Publication number Publication date
TW200834786A (en) 2008-08-16
CN101523589B (zh) 2012-05-16
WO2008044495A1 (fr) 2008-04-17
CN101523589A (zh) 2009-09-02
EP2068357A1 (en) 2009-06-10
US20100032339A1 (en) 2010-02-11
JP2008098236A (ja) 2008-04-24
US8091710B2 (en) 2012-01-10
EP2068357B1 (en) 2018-07-18
JP4841383B2 (ja) 2011-12-21
KR20090075663A (ko) 2009-07-08
EP2068357A4 (en) 2011-12-28
TWI371816B (ko) 2012-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101413936B1 (ko) 도어 구조 및 기판 저장 용기
JP4441111B2 (ja) ドア付きウェハー容器
JP4668179B2 (ja) 基板収納容器
KR101213373B1 (ko) 수납 용기
JP3556480B2 (ja) 精密基板収納容器
KR101451477B1 (ko) 래치 구조물을 갖는 전방 개방 통합 포드
US9387960B2 (en) Substrate storing container
JP4851445B2 (ja) 薄板搬送容器の開閉構造
JPH1070184A (ja) ウェハー容器及びそのためのドア
JP2005306411A (ja) 収納容器
KR20090094658A (ko) 공기조화기 실내기의 흡입그릴
JP2007142189A (ja) ウエハ等精密基板収納容器
JP3593122B2 (ja) 精密基板収納容器
JP5546430B2 (ja) 収納容器
JP2003174081A (ja) 収納容器の蓋体
JP5268860B2 (ja) 基板収納容器
JP4891853B2 (ja) 基板収納容器
JP2009021371A (ja) 基板収納容器
JP2010182948A (ja) 基板収納容器
JP4891939B2 (ja) 基板収納容器
JP5207781B2 (ja) 基板収納容器
JP2010182949A (ja) 基板収納容器及び基板の取り出し方法
WO2023162529A1 (ja) 基板収納容器
JP2012190928A (ja) 薄板収納容器
KR20110046037A (ko) 도어 잠금 장치를 구비한 웨이퍼 운송 용기

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170601

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180529

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190530

Year of fee payment: 6