TW200834786A - Cover body and substrate receiving container - Google Patents
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Description
200834786 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於,用來將由半導體晶圓等所構成 予以收容的容器主體的蓋體及基板收納容器。 【先前技術】 以往的基板收納容器,雖然沒有圖示,而是具 將由半導體晶圓所構成的複數枚基板整排收納的 體、以及可自由裝卸地嵌入到該容器主體的開口正 蓋體。該基扳收納容器,是在半導體零件的量產步 於半導體晶圓的加工裝置,有鑒於潔淨化的要求, 加工裝置的蓋體開閉裝置而讓蓋體自動開閉(參考 獻 1、2 )。 基板收納容器,雖然基本上是藉由加工裝置的 閉裝置來讓蓋體自動開閉,而當產生事故或試驗時 業者以手動方式來將蓋體開閉。在該情況,作業者 門的小夾具,來將蓋體從容器主體卸下,或將:jg & 於蓋體的表面的手動操作用的開閉把手擺動操{乍, 體從容器主體卸下。 [專利文獻1 ] 曰本特開平1 1 — 91 864號公報 [專利文獻2] 的基板 備有: 容器主 面部的 驟設置 是藉由 專利文 蓋體開 ,是作 使用專 軸支承 而將蓋 -4- 200834786 曰本特開2003 — 174081號公報 【發明內容】 [發明欲解決的課題] 以往的基板收納容器,其構成方式如上述,使用專門 的小夾具或手勤操作用的開閉把手,藉由手動方式將蓋體 從容器主體卸下,在使用專門夾具的情況,在各個步驟都 需要準備夾具,因爲很小所以有遺失的可能性。而在使用 開閉把手的情況,需要預先將開閉把手軸支承在蓋體的表 面,所以作業方式很麻煩,並且,有構造很複雜的問題。 由於開閉把手是可動的,所以也有因爲搬運時的震動 或衝擊而讓滑動部容易產生粒子這樣的問題。並且,當清 洗蓋體時,清洗用水容易殘留於開閉把手的軸支承部或操 作用的空隙部,所以清洗後的乾燥作業也需要蠻長的時 本發明鑒於上述情形,要提供一種蓋體及基板收納容 器,在以手動方式開閉時也能減少遺失零件或附屬物品等 的可能性,即使搬運時產生振動或衝撞也不易產生粒子, 在清洗後不需要長時間的乾燥作業。 [用以解決課題的手段] 在本發明,爲了解決上述課題,是可自由裝卸地嵌入 到,用來收納基板的容器主體的開口部, 是包含有·欲入到容器主體的開口部的箇體、及配設 -5- 200834786 於該筐體,並藉由讓根據旋轉體的旋轉而從筐體的周壁可 出沒地突出的卡止體,干涉在容器主體的開口部內周,來 將筐體上鎖的上鎖機構、及覆蓋該上鎖機構的外罩、以及 形成於該外罩而與旋轉體相對向的操作窗。 上鎖機構,也可包含有:可旋轉地爲蓋體的筐體所支 承,而從外部操作的旋轉體、支承於筐體,伴隨著旋轉體 的旋轉而朝筐體的內外方向往復移動的複數的連結體、以 及連結於各連結體,藉由該連結體的往復移動,而從筐體 的周壁的貫穿口出沒的複數的卡止體。 在上鎖機構的旋轉體之與操作窗相對向的部分,具備 有手動操作手段較佳。 手動操作手段,可作成設置於上鎖機構的旋轉體的手 指插入孔。 可在旋轉體的手指插入孔的周圍形成手指卡合片。 手動操作手段,可作成設置在上鎖機構的旋轉體,並 從操作窗露出的操作桿。 手動操作手段,可作成形成在上鎖機構的旋轉體的滾 花。 在本發明爲了解決上述課題,在用來收納基板的容器 主體的開口部,自由裝卸地嵌入有第1〜6發明的蓋體。 在容器主體的開口部的內周緣,形成有與上鎖機構的 卡止體卡止的複數的卡止孔。 申請專利範圍所記載的基板,至少包含單複數的口徑 200 mm、3 00 mm、450 mm的半導體晶圚、再生晶圓、玻 200834786 璃晶圓等。而容器主體或基板收納容器,並不限定可爲: 透明、不透明、半透明的頂開箱型、前開箱型、底開箱 型、製程內用、輸送用等。 上鎖機構’並不限定單數複數或裝卸。在該上鎖機構 的卡止體’包含有爪部或滾子等。操作窗,並不限定單數 複數或形狀。例如,可將操作窗作成圓弧形、圓形、矩 形、多角形、或橢圓形等。並且,手動操作手段的手指插 入孔(不限定有無底部)、手指卡合片、操作桿(包含槓 桿等),不限定單數複數或形狀。 藉由本發明,當藉由手動方式來將收納基板的容器主 體的蓋體予以開閉時,將手指或棒子等插入到外罩的操作 窗’將上鎖機構的旋轉體轉動,則能讓上鎖機構作動,而 能以手動方式將蓋體開閉。 [發明效果] 藉由本發明,即使在例如以手動方式將蓋體開閉時, 也能減少零件、附屬用品、專門用品等遺失的可能性,且 即使搬運時的震動或衝擊,也有能抑制或防止在蓋體產生 粒子的情形的效果。而能讓已潔淨的蓋體的乾燥作業更迅 速完成。 藉由使用手指插入孔來作爲手動操作手段,則能適當 地以手指等來鉤住上鎖機構的旋轉體,所以容易進行手動 操作。 藉由在手動操作手段也就是手指插入孔形成手指卡合 -7-
200834786 片,則能將手指等的操作力確實地傳達到上鎖機構的 體。 並且,藉由將手動操作手段作成’於上鎖機構的 體所形成的旋輪線的話,則當操作上鎖機構的旋轉體 則能以簡易的構造防止手指等滑動。 【實施方式】 以下,參考圖面來說明本發明的較佳實施方式, 施方式的基板收納容器,如第1圖〜第8圖所示, 有:用來收納複數枚基板的容器主體1、以及以密封 可自由裝卸地嵌入到該容器主體1的開口正面部2的 10;該蓋體10,是由:可自由裝卸地嵌入到容器主體 開口正面部2的筐體1 1、配設於該筐體i〗的表面, 使根據旋轉板1 5的旋轉而可出沒地從筐體丨i的周壁 的複數的卡止爪2 1,卡止在容器主體1的開口正面部 周’來將筐體1 1上鎖閉鎖的複數的上鎖機構1 4、戔 筐體1 1的表面來覆蓋各上鎖機構1 4的複數的外罩板 以及形成於各外罩板22而局部與各旋轉板15相對向 數的操作窗3 0所構成;在各上鎖機構1 4的旋轉板 與操作窗3 0相封向的部分,具備有手動操作手段4 〇 基板,雖然沒有圖示,而是由例如口徑3 0 0 mm 圓半導體晶圓(S i晶圓等)所構成,爲了判斷半導儀 的結晶方位或定位,其周緣部的局部是選擇性或直辐 作成缺口而作成定向切割面,或將周緣部的局部作居 旋轉 旋轉 時, 本實 具備 狀態 蓋體 1的 藉由 突出 2內 裝在 22、 的複 15的 〇 的薄 ί晶圓 :性地 :約細 -8- 200834786 溝形的缺口,而在容器主體1內排列收納有1〜25枚或1 〜2 6枚。 容器主體1,如第1圖所示,是使用預定的成形材 料’射出成形爲正面開口的前開箱型。該容器主體1的成 形材料,例如有聚碳酸酯、環烯聚合物、聚醚亞胺、聚醚 礪、聚醚醚酮等的熱可塑性樹脂,在該熱可塑性樹脂,適 當添加有··由導電性碳、導電纖維、金屬纖維、導電性高 分子等所構成的導電劑、各種帶電防止劑、紫外線吸收劑 等。 容器主體1,在其內部背面,突出形成有··將基板的 後部周緣嵌合保持爲水平的左右的一對後保持部,該一對 後保持部隔著預定間隔而於上下方向並排設置。在容器主 體1的內部兩側,突出形成有··將基板的側部周緣水平地 支承著的左右的一對齒部,該相對向的左右的一對齒部, 隔著預定間隔而並排設置於上下方向。 在容器主體1的底面,可自由裝卸地安裝著:俯視觀 察爲約 γ字型、多角形、或三角形等的底板,排列安裝 有:對於沒有圖示的加工裝置而剖面爲約V字型的複數的 定位構件,在容器主體1的頂棚中央部,可自由裝卸地安 裝著:爲搬運機械手臂所握持的俯視觀察爲約矩形的凸緣 部。而容器主體1的開口正面部2,如第1圖或第2圖所 示,朝外伸出而彎曲形成爲具有階段部,該階段部的平坦 的階段面,具有作爲蓋體1 0用的密封形成面的功能。 在容器主體1的開口正面部2的內周緣上下,隔著預 -9- 200834786 定間隔’凹入形成有:與上鎖機構14的卡止爪21嵌合的 左右的一對卡止孔,在容器主體〗的左右兩側部的外面中 央部’分別可自由裝卸地安裝著讓作業者握持的手動把 手。 蓋體1 0的筐體1 1、複數的上鎖機構1 4、複數的外罩 板22、及手動操作手段4〇,是使用與容器主體1同樣的 成形材料來成形。筐體n,如第丨圖〜第4圖所示,基本 上形成爲剖面呈約盤狀的正面橫長的長方形,藉由讓中央 部12朝表面側(正面側)約矩形地隆起,而讓左右的兩 側部相對地凹下形成,並且在該凹下的左右兩側部內,分 別設置有上鎖機構1 4,在周壁的上下兩側,分別穿設有矩 形的貫穿口。 筐體11的中央部12,如同圖所示,在表面的上下兩 側’並排設置著圓形的吸附區域1 3,該吸附區域1 3吸附 於加工裝置的蓋體的開閉裝置,在凹入的背面部,可自由 裝卸地安裝著:將基板的前部周緣水平地嵌合保持的彈性 的前保持部。而在筐體1 1的背面的周緣部,形成有:剖 面爲約U字型的環狀的框形的嵌合保持溝,在該嵌合保持 溝,嵌入有用來與容器主體1的密封形成面壓接的可彈性 變形的密封墊圈。該密封墊圈,例如使用矽氧橡膠、氟化 橡膠等成形爲環形。 各上鎖機構14,如第3圖〜第7圖所示,具備有:可 旋轉地被筐體1 1的表面所軸支承,利用加工裝置的蓋體 開閉裝置從蓋體1 0的外部進行旋轉操作的旋轉板1 5、隔 -10- 200834786 介著複數的導引銷或導引部而可滑動地被支承在筐體11 的表面,隨著旋轉板1 5的旋轉而朝筐體1 1的上下內外方 向滑動的一對連結板1 9、以及軸支承於筐體1 1的周壁的 貫穿口附近,連結軸支承於各連結板1 9的前端部,藉由 連結板1 9的滑動而從筐體1 1的周壁的貫穿口出沒的一對 卡止爪21。 各旋轉板1 5 ^形成爲剖面約凸字型,在突出於表面側 的圓形的中心部,凹入形成有正面爲矩形的外部操作用的 操作孔16。該旋轉板15,在其外周部隔著約 180°的間 隔,分別穿設有一對圓弧溝1 7,在周緣部,隔著約180° 的間隔,設置有具有可撓性的一對彎曲片1 8。 各連結板1 9,作爲連結體而形成爲長方形的平板,其 表面末端部的圓柱狀的連結銷20,嵌入到旋轉板1 5的圓 弧溝1 7而連結。該連結板1 9,當旋轉板1 5朝一方向旋轉 時,會朝筐體11的上下外方向滑動,使從周壁的貫穿口 嵌合於容器主體1的卡止孔的卡止爪2 1突出,當旋轉板 15朝另一方向旋轉時,會朝筐體11的上下內方向滑動, 使卡止爪2 1回到原來位置。 各外罩板22,如第1圖、第2圖、第8圖所示,以對 應於筐體1 1的各側部的方式,形成爲縱長狀,在中央部 上方或側方,突出形成有:與筐體1 1或其中央部側面可 自由裝卸地卡合的可撓性的複數的卡合片2 3。在該外罩板 22,穿設有:與旋轉板1 5的操作孔1 6相對向連通的正面 矩形的操作口 24,藉由將貫穿該操作口 24的蓋體開閉裝 •11 - 200834786 置的操作鍵,插入到旋轉板1 5的操作孔1 6而旋轉’來從 外部操作各上鎖機構1 4。 複數的操作窗30,如第1圖、第2圖、第8圖所示, 形成在各外罩板2 2的約中央部而一對排列於操作口 2 4的 左右,各操作窗3 0穿設爲正面觀察爲約圓弧形’是局部 相對向於旋轉板1 5的表面,而其功能爲允許來自於外部 的手動操作。 手動操作手段40,如第5圖〜第7圖所示,具備有: 在與操作窗3 0相對向的旋轉板1 5的相對向部,以1 8 0 °的 間隔穿設成正面觀察約扇形的一對手指插入孔4 1、以及於 各手指插入孔4 1的周緣部的局部所突出形成的手指卡合 肋部42。該手動操作手段40,是使用與容器主體1同樣 的成形材料所成形。 操作窗 3 0與手指插入孔 41,最好形成爲合乎例如 SEMI規格S8(半導體製造裝置的人體工學工程)的尺 寸。 在上述,當藉由手動方式將蓋體10從容器主體1卸 下時,將手指插入到各外罩板22的操作窗30內,並且將 手指插入到手動操作手段40的手指插入孔41內,卡合於 手指卡合肋部42,將旋轉板1 5朝任意的方向旋轉,則上 鎖機構1 4作動,而能藉由手動方式將嵌合於容器主體1 的開口正面部2的蓋體1 0卸下。 藉由上述方式,即使不使用專門的小夾具,只要使用 手動操作手段4 0的手指插入孔4 1與手指卡合肋部4 2的 -12- 200834786 話,則能以手動方式簡單地將蓋體1 〇從容器主體1卸 下,在各製程不用預先準備夾具,並且夾具也沒有遺失的 可能性。也不需要使開閉把手預先軸支承於蓋體1 〇的表 面,所以除了可讓蓋體1 0的開閉作業順暢化、簡易化、 迅速化 '容易化之外,還能簡化蓋體1 〇的構造。且又能 省略開閉把手,所以不會因爲搬運時的震動或衝撞,而在 滑動部產生粒子。 φ 伴隨著省略開閉把手,則清洗用水不會殘留在開閉把 手的軸支承部或操作用的空隙部,而可讓清洗後的乾燥作 業更快完成。由於在與操作窗3 0相對向的旋轉板1 5的相 對向部,配設手指插入孔4 1與手指卡合肋部4 2 .,所以手 指容易插入,對於手動操作不會造成影響。而只要使用手 動操作手段40的手指插入孔4 1的話,則能適當地卡止手 指,而容易進行手動操作。而使用手指卡合肋部42的 話,則能將手指的操作力確實地傳達到旋轉板1 5。 φ 接著,第9圖、第1 0圖顯示了本發明的第二實施方 式’在該情況,手動操作手段40突出形成於各旋轉板15 的表面,作爲從各外罩板22的操作窗30露出的一對操作 桿43。 ‘各操作桿43,形成爲較短的長方形片或正方形片而接 近配置在各圓弧溝17的端部,藉由作業者的手指碰觸來 使旋轉板1 5旋轉。針對其他部分,由於與上述實施方式 相同所以省略明。 在本實施方式,能期待與上述實施方式同樣的作用效 -13- 200834786 果,並且由於操作桿43從外罩板22的各操作窗3 0突 出,所以當手動操作時可減少手指的插入量。能讓手動操 作手段4 0的形狀或構造多樣化。 接著,第11圖、第12圖顯示本發明的第三實施方 式,在該情況,手動操作手段4〇,是隔著180°的間隔而 形成在各旋轉板1 5的表面中心部,作爲從各外罩板22的 呈圓形的操作窗30露出的一對操作桿43Α。 各操作桿43 A,彎曲形成爲較操作桿43更大且更長 的約〈字型,從各旋轉板1 5的表面中心部朝半徑外方向 伸長形成,藉由作業者的手指的碰觸而使旋轉板1 5旋 轉。針對其他部分,與上述實施方式相同所以省略說明。 針對本實施方式,可期待有與上述實施方式同樣的作 用效果,並且由於各操作桿43A較操作桿43更大更長, 所以可更提昇操作性。 接著,第13圖顯示本發明的第四實施方式,在該情 況,手動操作手段40,是橫向或斜向地複數刻設在各旋轉 板1 5的周面,從各外罩板22的呈矩形的複數的操作窗3 0 分別露出的防滑用的滾花44。針對其他部分,與上述實施 方式相同所以省略說明。 在上述方式,當藉由手動方式將蓋體10從容器主體1 卸下時’將手指插入到各外罩板2 2的操作窗3 0內,將手 指貼緊手動操作手段4 0的鋸齒紋的滾花4 4,將旋轉板1 5 朝任意方向轉動,則讓旋轉板1 5不會滑動地順暢轉動。 在本實施方式能期待與上述實施方式同樣的作用效 -14- 200834786 果,並且,完全不需要在旋轉板15設置新的操作桿4 3, 所以能將旋轉板1 5的構造予以簡化。 【圖式簡單說明】 第1圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容器 的實施方式的全體立體說明圖。 第2圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容器 的實施方式的蓋體的正面說明圖。 第3圖是示意性地顯示從第2圖的蓋體卸下了外罩的 蓋體的正面說明圖。 第4圖是示意性地顯示第3圖的旋轉板旋轉90°的狀 態的正面說明圖。 第5圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容器 的實施方式的上鎖機構的旋轉板的正面說明圖。 第6圖是示意性地顯示第5圖的旋轉板旋轉的狀態的 正面說明圖。 第7圖是示意性地顯示第6圖的旋轉板旋轉的狀態的 正面說明圖。 第8圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容器 的實施方式的外罩的正面說明圖。 第9圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容器 的第二實施方式的上鎖機構的旋轉板的立體說明圖。 第1 0圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容 器的第二實施方式的上鎖機構的立體說明圖。 -15- 200834786 第1 1圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容 器的第三實施方式的上鎖機構的旋轉板的立體說明圖。 第1 2圖是示意性地顯示本發明的蓋體及基板收納容 器的第三實施方式的上鎖機構的立體說明圖。 第1 3圖是示意性地韜示太获_ ^明的蓋體及基板收納容 器的第四實施方式的上鎖機構的立體說明圖。 【主要元件符號說明】 1 :容器主體 2 :開口正面部(開口部) 10 :蓋體 11 :筐體 1 4 :上鎖機構 1 5 :旋轉板(旋轉體) 1 6 :操作孔 1 9 :連結板 21 :卡止爪(卡止體) 22 :外罩板(外罩) 24 :操作口 3 〇 :操作窗 4〇 :手動操作手段 4 1 :手指插入孔 42 :手指卡合肋部 43 :操作桿 -16- 200834786 43A :操作桿 44 :滾花
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Claims (1)
- 200834786 _____________________________ 十、申請專利範圍 1 · 一種蓋體,是可自由裝卸地嵌入到,用來收納基板 的容器主體的開口部,其特徵爲: 是包含有:嵌入到容器主體的開D部的筐體、及配設 於該筐體,並藉由讓根據旋轉體的旋轉而從筐體的周壁可 、 出沒地突出的卡止體,干涉在容器主體的開口部內周,來 將筐體上鎖的上鎖機構、及覆蓋該上鎖機構的外罩、以及 φ 形成於該外罩而與旋轉體相對向的操作窗。 2.如申請專利範圍第〗項的蓋體,其中在上鎖機構的 旋轉體之與操作窗相對向的部分,具備有手動操作手段。 3 ·如申請專利範圍第2項的蓋體,其中手動操作手 段,作成設置於上鎖機構的旋轉體的手指插入孔。 4. 如申請專利範圍第3項的蓋體,其中在旋轉體的手 指插入孔的周圍形成手指卡合片。 5. 如申請專利範圍第2項的蓋體,其中手動操作手 φ 段’作成設置在上鎖機構的旋轉體,並從操作窗露出的操 作桿。 6 ·如申請專利範圍第2項的蓋體,其中手動操作手 段,作成形成在上鎖機構的旋轉體的滾花。 ' 7 . —種基板收納容器,其特徵爲: 在用來收納基板的谷益主體的開口部,自由裝卸地嵌 入有申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項的蓋體。 -18-
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