TW201328947A - 基板收納容器 - Google Patents

Abstract

本發明係一種基板收納容器，其中，提供排除基板，蓋體，上鎖機構之損傷等，可使上鎖機構的上鎖動作安定而確保蓋體之導引量，謀求上鎖機構之組裝之迅速化同時，防止由旋轉操作體與上鎖桿產生脫落等，而上鎖機構產生解鎖之基板收納容器。具備半導體晶圓收納用之容器主體，和嵌合於容器主體的正面之蓋體(10)，和蓋體(10)上鎖用之上鎖機構(40)，將上鎖機構(40)，由支持於蓋體(10)而從蓋板(30)側加以操作之旋轉操作體(41)，和由旋轉操作體(41)之旋轉而滑動於上下方向，使前端部(65)接離於容器主體之上鎖孔之上鎖桿(64)加以構成，將旋轉操作體(41)分割成第一，第二之旋轉操作體(42‧42A)，於第一，第二之旋轉操作體(42‧42A)，將形成凸輪之第一，第二之凸輪部(51‧60)形成，於第一，第二之凸輪部(51‧60)，夾持搖動於蓋體(10)之厚度方向之上鎖桿(64)的末端部。

Description

基板收納容器

本發明係有關收納、保管、搬送、輸送半導體晶圓，玻璃晶圓，光罩玻璃等所成之基板的基板收納容器，而更詳細係有關嵌合於容器主體之開口部之蓋體用的上鎖機構之改良構成。

背景技術

在以往的基板收納容器係雖未圖示，但具備收納半導體晶圓的容器主體，和開關此容器主體之開口的正面之拆裝自由的蓋體，和將嵌合於容器主體之正面的蓋體上鎖的上鎖機構，於蓋體設置有上鎖機構(參照專利文獻1，2，3，4)。

容器主體係形成於例如使用特定之成形材料，整列收納複數片之半導體晶圓於上下方向之前開盒，於正面內周的上部兩側與下部兩側各設置有上鎖機構用之上鎖孔。

另外，蓋體係依據世界標準規格之SEMI規格而決定厚度等，於周壁的上部兩側與下部兩側，各穿孔有對向於容器主體之上鎖孔的上鎖機構用之出沒孔，於蓋體開關裝置，吸付保持成真空狀態而嵌合於容器主體之開口的正面，以及從正面卸下。

對於上鎖機構係有各種形式，例如專利文獻1所揭示之形式係由經由蓋體開關裝置，從蓋體的外部加以旋轉操作之複數的凸輪板，伴隨著各凸輪板之旋轉而滑動，離接 於容器主體之上鎖孔之複數的閂桿加以構成，此等複數之凸輪板與閂桿則經由特定之成形材料各自加以成形之同時，於凸輪板之表背任一方連結有閂桿，而於凸輪板的表面突出形成有閂桿用之傾斜突起。

專利文獻2所揭示形式之上鎖機構係由從蓋體之外部加以旋轉操作之複數之凸輪板，和藉由端部之凸輪隨動件而連結於各凸輪板，移動離接於容器主體之上鎖孔之複數的閂桿加以構成，此等複數之凸輪板與閂桿則經由特定的成形材料加以各自成形，於凸輪板的表面，突出形成有閂桿用之立體閂之傾斜突起之同時，閂桿之凸輪隨動件則彎曲形成為略S字形。

專利文獻3所示形式之上鎖機構係基本上與上述形式同樣，經由所成形之複數之凸輪板與閂桿之組合加以構成。但於凸輪板之周緣部，形成有閂桿用之隆起嵌接末端，閂桿的端部並非直線形，而分歧成兩股而加以形成。

專利文獻4之形式的上鎖機構係由經由蓋體開關裝置而從蓋體之外部加以旋轉操作之複數之旋轉板，和於貫通於各旋轉板之周緣部而加以作為缺口之圓弧溝，嵌插端部之連結銷而可進退動於上下方向之複數的連結桿，和伴隨各連結桿之進出而搖動，從蓋體之出沒孔離接於容器主體之上鎖孔內之複數的上鎖爪而加以構成，複數之旋轉板，連結桿，及上鎖爪則由特定之成形材料各自加以成形，於蓋體之出沒孔之內部附近與連結桿之前端部，上鎖爪則藉由對於耐久性優越之複數之金屬銷加以軸承。

如此之基板收納容器係於容器主體之開口之正面，經由蓋體開關裝置而淺嵌合蓋體，其正面側則從容器主體的正面稍微突出於外部(至容器主體的上鎖孔，在3mm前方的位置蓋體則停止，未完全加以嵌合之狀態)，上鎖機構則經由蓋體開關裝置加以操作，於容器主體之上鎖孔卡合閂桿之前端部或上鎖爪，經由深導引淺嵌合於容器主體之正面內的蓋體之時，適當地嵌合蓋體於容器主體之正面，且堅固地加以上鎖。

在此蓋體之上鎖時，閂桿之前端部或上鎖爪係在從容器主體之正面，蓋體之正面側稍為突出於外部之階段中，僅接觸於劃分在上鎖孔之正面側壁面，之後，經由擦接於上鎖孔內之同時傾斜加以深插入而卡合之時，呈由充分導引蓋體而略拉平其正面與容器主體之正面地發揮機能。

專利文獻

專利文獻1：日本特開2005-101518號公報

專利文獻2：日本特表2001-512288號公報

專利文獻3：日本特開2003-133405號公報

專利文獻4：日本特表2005-515620號公報

在以往的基板收納容器係如以上，於上鎖機構之凸輪 板，僅單連結閂桿之端部，以及於旋轉板之圓弧溝，單嵌入軸承連結桿之連結銷而停止，此等則比較容易脫落之構成之故，有著例如在掉落等產生對於上鎖機構強力衝擊作用時，上鎖機構則解除而使半導體晶圓造成破損，以及由來自外部的空氣流入而招致半導體晶圓之污染的問題。

另外，上鎖機構之閂桿或上鎖爪則僅接觸於劃分上鎖孔之正面側壁面之後，由深插入於上鎖孔內而導引蓋體之故，有上鎖動作產生不安定化，以及使上鎖孔或上鎖爪損傷之虞，並且，有無法確保蓋體之充分的導引量之情況。

另外，閂桿的前端部或上鎖爪則因擦接於上鎖孔內的同時而傾斜加以插入之故，對於上鎖機構產生過大的上鎖力之作用時，伴隨著擦接而產生有粒子，而有招致閂桿之前端部或上鎖爪的變形之虞。

如此之傾斜同時之插入動作係經由凸輪板之傾斜突起而加以實現，但對於為了實現係凸輪板之傾斜突起與閂桿的連結構造則成為複雜。隨之，高精確度地將凸輪板或閂桿成形之作業成為困難化，以及對於上鎖機構之組裝作業產生延遲或煩雜化。

另外，上鎖機構則經由複數之旋轉板，連結桿，及上鎖爪鎖加以構成之形式的情況，因增加有零件點數之故，產生有無法迅速組裝上鎖機構之問題。另外，於蓋體之出沒孔之內部附近與連結桿之前端部軸承有上鎖爪之關係上，因出沒孔之強度下降之故，在上鎖時出沒孔之開口呈擴大而蓋體產生有變形，以及連結桿同時產生變形之虞。更 且，上鎖爪係經由小的複數之金屬銷而加以軸承，但因各金屬銷必須呈不會脫落地插著之故，有著無法期待迅速之組裝作業之問題。

本發明係有鑑於上述所作為之構成，其目的為提供排除基板，蓋體，上鎖機構之損傷或變形之虞，可使上鎖機構的上鎖動作安定而確保蓋體之充分的導引量，簡單化上鎖機構之構成而謀求組裝之迅速化同時，可防止經由在衝擊等而旋轉操作體與上鎖桿之卡合部脫落等，上鎖機構產生解除之基板收納容器。

在本發明中，為了解決上述課題，係為具備收納基板之容器主體，和嵌合於此容器主體之開口部的蓋體，和將嵌合於容器主體之開口部的蓋體上鎖之上鎖機構之構成，其特徵為上鎖機構係含有從蓋體之外部加以操作之旋轉操作體，和經由此旋轉操作體之旋轉而滑動離接前端部於容器主體之開口部內周之上鎖凹部之上鎖桿，將旋轉操作體分割成第一，第二之旋轉操作體而對於此等相對之對向面係各形成凸輪形成用之第一，第二之凸輪部，於此等第一，第二之凸輪部可搖動地支持上鎖桿，於將蓋體上鎖之情況，作為經由使旋轉操作體旋轉於上鎖方向而使上鎖桿跟隨其第一，第二之凸輪部之時，從蓋體以略非接觸使上鎖桿之前端部突出於容器主體之上鎖凹部內之後，呈使上鎖桿移動於蓋體之厚度方向而使其前端部接觸於形成上鎖凹 部之壁面。

然而，蓋體係含有嵌合於容器主體之開口部的蓋主體，和被覆此蓋主體之開口面的蓋板，於此等蓋主體與蓋板之任一，設置上鎖機構之旋轉操作體用之旋轉規定構件，於蓋主體之周壁可設置對向於容器主體之上鎖凹部的上鎖桿用之出沒孔者。

另外，於蓋體內藏上鎖機構之上鎖桿用之誘導突起，於對向於上鎖桿之誘導突起的對向部形成支點部，將此等誘導突起與支點部之接觸部分作為支點，可將上鎖桿的前端部傾斜於蓋體之厚度方向。

另外，於蓋體之蓋主體，設置支持旋轉操作體之支持構件而對於其周面係形成長度不同之複數之定位突起，將長的定位突起作為與支持構件高度略相同之長度之同時，亦可將短的定位突起作為較支持構件的高度為短者。

另外，第一之旋轉操作體係包含內藏於蓋體之蓋主體而對向於蓋板之圓板，和設置於對向於此圓板之第二之旋轉操作體之對向面的圓筒形構件，於圓板的中心部，設置對向於蓋板之鍵槽之操作孔同時，對於圓板之周緣部附近係形成上鎖桿用之卡合部，將圓筒形構件之內周面作為僅可接觸於複數之定位突起之中長的定位突起，對於圓筒形構件之周壁係設置第一之位置決定部，

第二之旋轉操作體係包含嵌合於第一之旋轉操作體之圓筒形構件之圓筒構件，和從此圓筒構件之突出之外側突緣，於圓筒構件，形成接觸於支持構件之複數之定位突起 的內側突緣，對於此內側突緣係設置嵌合於第一之旋轉操作體之第一之位置決定部的第二之位置決定部，

將上鎖桿的末端部，可搖動地夾持於第一，第二之凸輪部之間，於此上鎖桿之末端部，可設置可滑動地嵌入於第一之旋轉操作體之卡合部的嵌合部。

另外，第一之凸輪部係包含形成於第一之旋轉操作體的圓板對向面而鄰接於卡合部之第一水平凸輪面，和設置於卡合部之周緣側部，隨著從卡合部之一端部朝向於另一端部方向之緩緩變高之第一傾斜凸輪面，和設置於卡合部之周緣另一端部附近而與第一傾斜凸輪面作為一體化之第一卡合凸輪面，使第一傾斜凸輪面之最低之低位部分位置於卡合部之彎曲點附近之同時，使最高的高位部分位置於卡合部之另一端部近旁附近，第一卡合凸輪面作為與第一傾斜凸輪面之高位部分略相同高度，第二之凸輪部係包含形成於第二之旋轉操作體的外側突緣之一端部側之第二水平凸輪面，和連續於此第二水平凸輪面之端部，隨著朝向於圓筒構件之周方向之緩緩高度產生變化之第二傾斜凸輪面，和形成於外側突緣之另一端部側而連續於第二傾斜凸輪面端部的之第二卡合凸輪面，而亦可緩緩縮小隨著從第二傾斜凸輪面朝向第二卡合凸輪面之突出量。

在此，對於在申請專利範圍之基板，係至少含有特定片數之半導體晶圓(例如， 300mm或450mm之矽晶圓等)，玻璃晶圓，光罩玻璃等。另外，容器主體係亦可為正面開口之形式，而上面開口之形式亦可。設置於蓋體之蓋 主體之支持構件係亦可為圓筒形之嵌接末端等，但將圓筒分割成複數之構成亦可。

上鎖機構係以前階段與後階段之兩階段將蓋體上鎖之機構為佳。此上鎖機構之旋轉操作體係未特別要求單數複數之構成。作為在第一，第二之旋轉操作體之第一，第二之位置決定部，係至少符合凹部，缺口，突起，突片等。對於第一之旋轉操作體之卡合部係含有至少彎曲貫通的溝，凹部，各種凸輪構造等。另外，上鎖桿係形成為板形或棒形等，因應旋轉操作體的數量而加以增減，末端部則在側面視為略T字形為佳。此上鎖板的嵌合部係可做為突起或銷，可旋轉地嵌合於突起之滾軸等。

更且，上鎖機構係於將上鎖的蓋體解除之情況，經由使旋轉操作體旋轉於解鎖方向而使上鎖桿隨著其第一，第二之凸輪部之時，從蓋體之蓋板側，使上鎖桿傾斜於蓋主體側，將其前端部，從形成上鎖凹部之開口部側壁面離開之後，可從容器主體之上鎖凹部，以略非接觸使上鎖桿後退於蓋體內者。

如根據本發明，對於嵌入蓋體於容器主體之開口部而上鎖之情況，首先，淺嵌入蓋體於容器主體之開口部，僅使其表面側，從容器主體突出於外部。此時，於在上鎖機構之第一之凸輪部之第一水平凸輪面與第二之凸輪部之第二卡合凸輪面，支持有上鎖桿，上鎖桿之卡合部的末端部則位置於蓋體之表面側，上鎖桿之前端部則位置於與表面側相反側。

在此狀態，上鎖機構之旋轉操作體則從蓋體之外部加以操作，以特定之旋轉角度旋轉於上鎖方向時，上鎖桿則移動在第一，第二之凸輪部之間同時，於第一，第二之凸輪部之傾斜凸輪面間支持有上鎖桿之卡合部的末端部，上鎖桿之前端部則呈從蓋體未接觸於容器主體之上鎖凹部內地突出。

旋轉操作體則以特定之旋轉角度更旋轉於上鎖方向時，於第一之凸輪部之第一卡合凸輪面與第二之凸輪部之第二水平凸輪面，支持有上鎖桿之末端部，上鎖桿之突出的前端部則移動於蓋體之表面側方向，此前端部則接觸於上鎖凹部之開口部側的壁面。經由此接觸，深導引有淺嵌合於容器主體之開口部的蓋體，蓋體則適當且堅固地加以嵌合上鎖。

如根據本發明，有著可排除基板，蓋體，上鎖機構之損傷或變形之虞的效果。另外，因於第一，第二之旋轉操作體夾持上鎖桿之卡合部之故，對於上鎖機構之上鎖時與解鎖時之任一情況，亦有防止旋轉操作部之卡合部與上鎖桿之卡合部之動搖而使上鎖動作或解鎖動作安定，可確保蓋體之充分之導引量的效果。另外，可謀求簡單化上鎖機構之構成而組裝迅速化，更且，因於第一，第二之旋轉操作體夾持上鎖桿之卡合部之故，例如即使產生衝擊等作用，旋轉操作體與上鎖桿亦不易脫落，成為可防止上鎖機構 解鎖之情況。

另外，如根據申請專利範圍第2項記載之發明，經由使旋轉規定構件干擾於旋轉操作體之時，可控制旋轉操作體之旋轉。另外，經由蓋主體之出沒孔，可平順地引導上鎖桿之前端部而突出於蓋體的外部，以及從蓋體的外部無障礙地使上鎖桿之前端部退隱於內部者。

另外，如根據申請專利範圍第3項記載之發明，因可將誘導突起與支點部之接觸部分作為上鎖桿之支點之故，可容易傾斜上鎖桿之前端部於蓋體之蓋板方向或蓋主體方向。

另外，申請專利範圍第4項或第5項記載之發明，因支持構件則支持旋轉操作體之故，未招致動搖或位置偏移之情況，而可使旋轉操作體旋轉於上鎖方向或解鎖方向。另外，因圓筒形構件僅接觸於複數之定位突起中，長的定位突起之故，可使第一之旋轉操作體較上下方向大旋轉於左右方向者。

隨之，例如對於上鎖機構用之操作鍵而言，第一之旋轉操作體之操作孔即使從正規的位置偏移，使操作孔隨著操作鍵而補正其位置，可適當地嵌合操作鍵與操作孔。另外，因第一，第二之位置決定部相互干擾之故，於上鎖機構之上鎖時或解鎖時，可期待並非各自使第一，第二之旋轉操作體旋轉，而是同時旋轉者。

另外，申請專利範圍第6項記載之發明，因第一之凸輪部之第一水平凸輪面與第二之凸輪部之第二卡合凸輪面 在上鎖操作前之階段夾持上鎖桿之末端部之故，可使上鎖桿之前端部位置於蓋體之蓋主體側。另外，因在上鎖操作第一，第二之凸輪部之傾斜凸輪面之前階段中，夾持上鎖桿之終端部之故，可使上鎖桿之前端部位置於蓋體之蓋板側。更且，因第一之凸輪部之第一卡合凸輪面與第二之凸輪部之第二水平凸輪面在上鎖操作之後階段夾持上鎖桿之末端部之故，可使上鎖桿之前端部傾斜於蓋體之蓋板側。

以下，參照圖面而說明本發明之實施形態時，在本實施形態之基板收納容器係如圖1乃至圖24所示，具備例如收納 450mm之矽晶圓所成之半導體晶圓之容器主體1，和拆裝自在地嵌合於此容器主體1之開口的正面之蓋體10，和將嵌合於容器主體1之正面的蓋體10，以二階段之上鎖操作而上鎖之上鎖機構40，呈作為將上鎖機構40之旋轉操作體41分割成第一，第二之旋轉操作體42‧42A而對於此等42‧42A係各複數形成第一，第二之凸輪部51‧60，於第一，第二之凸輪部51‧60之間，使上鎖機構40之上鎖桿64介入存在。

容器主體1，蓋體10，及上鎖機構40係經由含有特定之樹脂之成形材料，各射出成形複數之構件，以此複數之構件的組合加以構成。作為含於此成形材料之樹脂，係可舉出例如聚碳酸酯，環烯烴聚合物，聚醚醯亞胺，聚醚酮，聚醚醚酮，聚對苯二甲酸丁二酯，聚縮醛，液晶聚合物 之熱可塑性樹脂或此等之合金等。

對於此等之樹脂，係對應於必要而添加有碳纖維，碳粉，奈米碳管，導電性聚合物等所成之導電物質，或陰離子，陽離子，非離子系等之各種帶電防止劑。另外，添加苯並三唑系，水楊酸鹽系，氰基丙烯酸酯系，乙二酸苯胺化物系，受阻沈降胺系之紫外線吸收劑，以及亦可選擇性地添加使剛性提升之玻璃纖維或碳纖維等。

容器主體1係如圖1，圖16乃至圖18，圖22乃至圖24所示，正面則形成於開口於橫寬之長方形的前開盒，對於其內部兩側，換言之兩側壁之內面係對設有水平地支持未圖示之半導體晶圓之周緣側部之左右一對之支持片同時，此左右一對之支持片則以特定之間距配列於上下方向，各支持片則於前後方向形成為細長的彎曲板。

對於容器主體1之兩側壁的內面後部係各複數形成位置於未圖示之支持片後方之位置決定支持部，各位置決定支持部則凹下形成於延伸於前後方向之剖面略V字形等的溝。此位置決定支持部係伴隨著蓋體10之嵌合上鎖，接觸於壓入於容器主體1內之背面方向之半導體晶圓的周緣側部而決定位置，呈水平地支持從一對之支持片僅浮起之半導體晶圓地發揮機能。

對於容器主體1之底板下面的前部兩側與後部中央，係於未圖示之半導體加工裝置之位置決定銷，配設有從上方嵌合之位置決定具，對於容器主體1之底板下面係裝置有感測元件或固定用之底板，對於容器主體1之頂中央部 係拆裝自在地裝置有握持於未圖示之搬送機構的機械軸盤2。

容器主體1之開口部的正面係如圖16乃至圖18，圖22乃至圖24所示，彎曲於外方向加以突出形成，於內周面的上部兩側與下部兩側，各凹下形成有上鎖機構40用之上鎖孔3。

各上鎖孔3係於容器主體1之左右方向形成為細長的略長方形，上鎖桿64之前端部65則移動在其正面側壁面4與相反側之背面側壁面之間，具體而言係進行搖動。如此之上鎖桿64之前端部65係接觸卡合於形成上鎖孔3之壁面之至少一方。

蓋體10係如圖1乃至圖4，圖15乃至圖18，圖22乃至圖24所示，具備於開口於容器主體1之橫寬之正面，拆裝自在地加以嵌合之略盤形之蓋主體11，和藉由複數之締結具而螺旋固定於此蓋主體11之開口的正面之蓋板30，於此等蓋主體11與蓋板30之間，組裝有上鎖機構40而加以內藏。

蓋主體11係如圖2或圖3，圖22乃至圖24所示，具備基本上將四角部加以作為圓弧倒角之長方形之墊板，於其墊板之周緣部，一體地周設有略框形之周壁12，於此周壁12之上部兩側與下部兩側，各貫穿有對向於容器主體1之上鎖孔3的矩形之出沒孔13而加以穿孔。

蓋主體11之內部係如圖2或圖3所示，加以三分割而形成為凹凸，中央部為高，左右兩側部則各為低而凹下加以形成，其凹陷的兩側部則各形成上鎖機構40用之設置空間 14之同時，對於各設置空間14係形成有包圍上鎖機構40之包圍嵌接末端15。此包圍嵌接末端15係由形成於設置空間14之中央部的旋轉操作體用嵌接末端16，和縱寬地連結於蓋主體11之出沒孔13與旋轉操作體用嵌接末端16之間的複數之上鎖桿用嵌接末端24所形成，於旋轉操作體用嵌接末端16內之中心部，併設有可旋轉地支持旋轉操作體41之支持嵌接末端19。

旋轉操作用嵌接末端16係以平面視呈描繪成圓環四分割為複數之圓弧嵌接末端17，於此複數之圓弧嵌接末端17之最上端部與最下端部，各連接有上鎖桿用嵌接末端24，包圍旋轉操作體41。複數之圓弧嵌接末端17係劃分形成有空間於鄰接的圓弧嵌接末端17與圓弧嵌接末端17之間。

支持嵌接末端19係以平面視呈描繪成圓環四分割為複數之彎曲嵌接末端20，於此鄰接之彎曲嵌接末端20與彎曲嵌接末端20之間，劃分形成有空間，於各彎曲嵌接末端20之外周面兩端部，一體形成有長度不同之一對的定位突起21，且各定位突起21則形成於延伸於彎曲嵌接末端20之高度方向(蓋板30方向)之剖面略半圓形。

一對之定位突起21係如圖3所示，長的定位突起22則加以形成為與支持嵌接末端19之高度略相同長度，短的定位突起23則加以形成為支持嵌接末端19之高度一半以下之長度，呈個別位置決定第一，第二之旋轉操作體42‧42A而使其旋轉地發揮機能。

各上鎖桿用嵌接末端24係具備拉開間隔作為互相對向 而夾持上鎖桿64之左右一對之直線嵌接末端25，此一對之直線嵌接末端25之前端部則連接於出沒孔13之周緣兩側部附近，一對之直線嵌接末端25之末端部則連接於旋轉操作用嵌接末端16。對於一對之直線嵌接末端25之前端部間係橫一列地並設有貼近於出沒孔13之複數之誘導嵌接末端26，各誘導嵌接末端26則形成於延伸於上鎖桿64之滑動方向之台形等而使上鎖桿64，移動於蓋體10之厚度方向。

對於對向於蓋主體11之半導體晶圓之背面兩側部係各拆裝自在地裝置左右一對之前止動件27，經由各前止動件27之複數之彈性片28則各彎曲同時，以保持溝保持半導體晶圓之周緣前部之時，將複數片之半導體晶圓壓入於容器主體1內之背面方向。

對於蓋主體11之背面周緣部係凹下形成有框形之安裝溝，於此安裝溝壓入加以嵌合有環狀之密封墊圈29。此密封墊圈29係例如使用矽膠或氟素橡膠等而形成可彈性變形的框形，於蓋體10之嵌合上鎖時夾持於容器主體1之正面內周與蓋體10而壓縮變形，可發揮密封機能而防止伴隨與外氣接觸之半導體晶圓的污染。

蓋板30係如圖1或圖2，圖4所示，形成於對應於蓋主體11之開口的正面之略長方形的板，於中央部，呈放射狀地將使洗淨水流通之細長的複數之洗淨孔31加以穿孔。對於蓋板30之左右兩側部的中央係各穿孔有上鎖機構40用之鍵槽32而穿孔呈縱長之長方形，各鍵槽32則可旋轉地貫通於蓋體開關裝置80之操作鍵81。

對於蓋板30之背面兩側部之中央附近係如圖4所示，各周設有對向於包圍嵌接末端15之旋轉操作用嵌接末端16的環狀之對應嵌接末端33，各對應嵌接末端33之一部分則彎曲呈略ㄟ字形而形成旋轉規定構件之一對的旋轉規定片34。另外，對於蓋板30背面之上部兩側與下部兩側係各配設位置於鍵槽32之上下方向之三角凸起35，各三角凸起35則伴隨接近於蓋主體11而緩緩前面變細地傾斜。

上鎖機構40係如圖2，圖5乃至圖12所示，具備可旋轉地嵌合支持於設置空間14之支持嵌接末端19而從其蓋板30側之外部加以旋轉操作之左右一對之旋轉操作體41，和經由各旋轉操作體41之旋轉而滑動於設置空間14之上下方向，使前端部65離接於容器主體1之上鎖孔3之複數之上鎖桿64，於蓋體10之上鎖時旋轉操作體41則旋轉於上鎖方向之情況，從蓋體10之出沒孔13，以非接觸使上鎖桿64之前端部65突出於容器主體1之上鎖孔3內，之後，呈於蓋體10之蓋板30側使上鎖桿64搖動而使其前端部65接觸於上鎖孔3之正面側壁面4地發揮機能。

各旋轉操作體41係如圖2或圖5所示，分割成對向之第一，第二之旋轉操作體42‧42A，對於此等第一，第二之旋轉操作體42‧42A之相互對向之對向面，係各複數形成有形成立體之凸輪的第一，第二之凸輪部51，60，經由第一，第二之凸輪部51，60則藉由略一定之空隙而對向之時，支持上鎖桿64之末端部而防止上鎖桿64簡單地脫落者。

第一之旋轉操作體42係如圖5乃至圖9所示，由包圍於 設置空間14之旋轉操作體用嵌接末端16而對向於蓋板30之圓板43，和立設於對向於此圓板43之第二之旋轉操作體42A之對向面的中央部之圓筒形嵌接末端49所加以形成，對於此圓筒形嵌接末端49之周壁端部附近，係將對向之一對的位置調整缺口50，則以180°之間隔各加以作為缺口，各位置調整缺口50則作為第一之位置決定部而形成為矩形。

圓板43係於其中心部，穿孔有嵌合於貫通鍵槽32之蓋體開關裝置80之操作鍵81之長方形的操作孔44，對於對向於第二之旋轉操作體42A之對向面的中心部附近，係收納貫通操作孔44之操作鍵81之一對的收納嵌接末端45則拉開間隔而加以配列形成，各收納嵌接末端45則彎曲形成為剖面略U字形。

對於圓板43之周緣部附近，係以180°之間隔各貫通有使上鎖桿64滑動之一對之圓弧溝46而加以作為缺口，對於圓板43之周緣部，係以180°之間隔而將鄰接於卡合部之圓弧溝46的一對凹部47加以作為缺口於各內方向之同時，對於圓板43之周緣部與各凹部47之邊界附近，具有可撓性之略鉤形之位置控制片48則突出於周方向而圍繞凹部47，經由此一對之位置控制片48則卡合於蓋板30之旋轉規定片34之時，控制旋轉操作體41之旋轉。

圓筒形嵌接末端49係可旋轉地嵌合於形成支持嵌接末端19之複數之彎曲嵌接末端20，內周面則在複數之定位突起21中，對於短的複數之定位突起23係未接觸，而僅接觸於長的複數之定位突起21。隨之，第一之旋轉操作體42係 成為因較圖12之上下方向為大旋轉於左右方向之故，例如對於蓋體開關裝置80之操作鍵81而言，操作孔44則從正規的位置即使多少有偏移，亦可使操作孔44隨著操作鍵81而使此等嵌合。

各第一之凸輪部51係如圖9等所示，具備形成於圓板43之對向面的第一水平凸輪52，和一部分立設於圓弧溝46之周緣兩側部，隨著從圓弧溝46之一端部朝向另一端部方向緩緩變高之第一傾斜凸輪53，和立設於圓弧溝46之周緣另一端部附近，與第一傾斜凸輪53成為一體之第一卡合凸輪54加以構成。

第一水平凸輪52係平坦地位置於圓弧溝46與凹部47之間，鄰接於圓弧溝46之一端部。另外，第一傾斜凸輪53係形成於從左右夾持圓弧溝46之一對的彎曲之略三角形的壁，最低之低位部分則位置圓弧溝46中央之彎曲點附近，最高之高位部分則位置於圓弧溝46之另一端部前方附近。第一卡合凸輪54係形成於包圍圓弧溝46之另一端部之剖面略U字形的壁，具有與第一傾斜凸輪53之高位部分相同之高度，整合於第一傾斜凸輪53之高位部分而平順地連續者。

第二之旋轉操作體42A係如圖2，圖5乃至圖7，圖10乃至圖12等所示，由從外側嵌合於第一之旋轉操作體42之圓筒形嵌接末端49的圓筒嵌接末端55，和從此圓筒嵌接末端55之外周面突出於半徑外方向之外側突緣58所構成，位置於蓋主體11側，對於圓筒嵌接末端55之外周面，係二分割外側突緣58之一對之分割壁59則拉開180°之間隔加以各 突出形成，分割於此一對之分割壁59之一對之外側突緣58則各形成立體的第二之凸輪部60。

圓筒嵌接末端55係於其開口之一端部之內周面，形成有位置於蓋主體11側之環形之內側突緣56，於此內側突緣56，拉開間隔而複數立設有排列於周方向之一對的位置調整嵌接末端57，一對之位置調整嵌接末端57與一對之位置調整嵌接末端57則相互對向(參照圖10)。

此等複數之位置調整嵌接末端57係作為第二之位置決定部而位置決定嵌合於第一之旋轉操作體42之位置調整缺口50，成同時使第一，第二之旋轉操作體42‧42A旋轉而發揮機能。各位置調整嵌接末端57係如圖11所示，形成為較圓筒嵌接末端55之高度為短的桿而密著於圓筒嵌接末端55之內周面，從內側突緣56伸長至在圓筒嵌接末端55之高度方向的中央部附近。

圓筒嵌接末端55係其內側突緣56則與第一之旋轉操作體42之圓筒形嵌接末端49的周壁端部接觸，但與圓筒形嵌接末端49不同，內側突緣56則接觸於複數之定位突起21，具體而言係接觸於所有長的定位突起22與短的定位突起23，略正圓地控制旋轉。隨之，第二之旋轉操作體42A係與第一之旋轉操作體42不同，均等地規定對於圖12之上下左右方向之旋轉。

各第二之凸輪部60係如圖10或圖11所示，具備水平地形成於外側突緣58之一端部側而連接於一方之分割壁59之一端部的第二水平凸輪61，和連續於此第二水平凸輪61之 端部，隨著朝向於另一方之分割壁59方向緩緩高度產生變化之第二傾斜凸輪62，和形成於外側突緣58之另一端部側而連續於第二傾斜凸輪62之端部與另一方之分割壁59之另一端部之間而位置之第二卡合凸輪63所加以構成。

第二水平凸輪61係在上鎖操作上鎖機構40之後階段中，與第一之凸輪部51之第一卡合凸輪54對向而夾持上鎖桿64之末端部。另外，第二傾斜凸輪62與第二卡合凸輪63係形成為隨著從第二傾斜凸輪62朝向第二卡合凸輪63，突出量緩緩變小的關係。第二傾斜凸輪62之一部分係在上鎖操作上鎖機構40之前階段中，與第一之凸輪部51之第一之傾斜凸輪53之一部分對向而夾持上鎖桿64之末端部。另外，第二卡合凸輪63係在上鎖操作前之階段中，與第一之凸輪部51之第一之水平凸輪52對向而夾持上鎖桿64之末端部。

各上鎖桿64係如圖13乃至圖15，圖22乃至圖24所示，基本上形成為略長方形的板，於設置空間14之上鎖桿用嵌接末端24內，換言之，於一對之直線嵌接末端25間可滑動地加以收納，作為蓋體10之上鎖時呈矩形之前端部65則從蓋體10之出沒孔13突出而嵌入於容器主體1之上鎖孔3之上鎖爪而發揮機能。

對向於上鎖桿64之蓋板30之表面係前端部65則平坦地加以形成，彎曲形成靠前端部，從此靠前端部至末端部係緩緩變薄地加以傾斜形成。對此，對向於上鎖桿64之蓋主體11的背面係從靠前端部至末端部變薄地緩緩加以傾斜形成。如此形狀之上鎖桿64係前端部65則形成為有厚度，靠 前端部則形成為最厚之厚度，從靠前端部至末端部逐漸地變薄。

對於上鎖桿64的表面係延伸於長度方向之複數支之補強嵌接末端66則拉開間隔，橫一列地加以並設，於此複數支之補強嵌接末端66之間，蓋板30之三角突起35則時常係以非接觸加以遊插，此貼近之三角突起35則有效地防止上鎖桿64之動搖或伴隨掉落時之強大衝擊之位置偏移等。另外，對於上鎖桿64之背面之靠前端部係如圖22以下所示，以剖面略台形突出形成有前細之支點部67，此支點部67之前端部則可滑動地接觸於蓋主體11之誘導嵌接末端26。

對於上鎖桿64之末端部中央係一體形成有安裝片68，對於此安裝片68，係形成有於旋轉操作體41，換言之，第一之旋轉操作體42之圓弧溝46，從第二之旋轉操作體42A側可滑動‧可搖動地轉動配合之卡合部，即嵌合銷69則藉由嵌接末端加以立設之同時，形成有對向於圓筒嵌接末端55之外周面之接受部70。

上鎖桿64之末端部，安裝片68，及嵌合銷69係介入存在於第一，第二之凸輪部51‧60之間而可搖動地加以夾持，傳達有從此等第一，第二之凸輪部51‧60對於蓋體10之厚度方向而言之搖動連動。

嵌合銷69係從將與圓弧溝46之接觸作為圓滑之觀點，形成為圓筒形或圓柱形，於蓋體10之上鎖時，移動在第一，第二之凸輪部51‧60之間。

然而，嵌合銷69係二分割安裝片68，但一方之安裝片 68係從容易作為對於圓弧溝46而言之嵌合銷69之轉動配合，且迴避干擾之觀點，形成為較另一方之安裝片68為薄厚度。

在上述構成中，對於組裝上鎖機構40而安裝於蓋體10之情況，係首先於第一，第二之旋轉操作體42‧42A，將一對之上鎖桿64之末端部，藉由第一，第二之凸輪部51‧60而各加以夾持之同時，於第一之旋轉操作體42之各圓弧溝46，插入上鎖桿64之嵌合銷69而組裝上鎖機構40，將此上鎖機構40各嵌合於蓋體10之一對之包圍嵌接末端15，如於各包圍嵌接末端15之支持嵌接末端19，可使旋轉操作體41可旋轉地嵌入支持，可將組裝好之上鎖機構40安裝於蓋體10者。

接著，對於於整列收納複數片之半導體晶圓的容器主體1之開口的正面嵌合蓋體10而上鎖的情況，係首先，於容器主體1之開口的正面，在吸付保持蓋體10於蓋體開關裝置80之狀態加以淺嵌合，蓋體10之蓋板30側則從容器主體1之正面稍微突出於外部(參照圖16，圖22)。

此時，蓋體開關裝置80係雖淺嵌合蓋體10，但因未上鎖操作上鎖機構40之故，於第一之凸輪部51之第一水平凸輪52與第二之凸輪部60之第二卡合凸輪63夾持有上鎖桿64之末端部，此上鎖桿64之末端部則位置於蓋體10之蓋板30側。如此，末端部則經由位置於蓋體10之蓋板30側之時，上鎖桿64係成為前端部65則位置於蓋主體11側，連結前端部65與末端部之假想線則在圖16傾斜向下之狀態。

接著，蓋體開關裝置80之操作鍵81則貫通蓋板30之鍵槽32而嵌入於第一之旋轉操作體42之操作孔44，旋轉操作體41則以45°之旋轉角旋轉於上鎖方向時，轉動配合於圓弧溝46之上鎖桿64之嵌合銷69則移動在第一，第二之凸輪部51‧60之間之同時，於第一之凸輪部51之第一傾斜凸輪53與第二之凸輪部60之第二傾斜凸輪62之途中夾持有上鎖桿64之末端部。

如此，上鎖桿64係使其支點部67摺接於蓋體10之誘導嵌接末端26之同時，滑動於蓋體10之周壁12方向而從出沒孔13使前端部65貫通突出，此突出之前端部65則呈未接觸於容器主體1之上鎖孔3內地較以往為深地嵌入(參照圖17，圖23)。

此時，例如即使操作孔44未適當地對向於操作鍵81，第一之旋轉操作體42則可較上下方向為大旋轉於左右方向之故，操作孔44隨著操作鍵81可容易嵌合，可迴避狀況產生而中斷作業之情況。

另外，上鎖桿64係如對比圖16與圖17可了解到，因末端部則沿著第二之凸輪部60之第二傾斜凸輪62而支持於下方側之故，前端部65則成為僅朝上搖動而位置。如此，經由前端部65僅指向於朝上之時，上鎖桿64係雖連結前端部65與末端部之假想線則為朝下之構成，但成為較圖16緩和之傾斜。

接著，蓋體開關裝置80之操作鍵81則使旋轉操作體41更加地於上鎖方向，以45°之旋轉角旋轉，旋轉操作體41 則合計90°旋轉時，轉動配合於圓弧溝46之上鎖桿64之嵌合銷69則移動在第一，第二之凸輪部51‧60之間之同時，於第一之凸輪部51之第一卡合凸輪54與第二之凸輪部60之第二水平凸輪61夾持有上鎖桿64之末端部。

如此，上鎖桿64係使其支點部67摺接於蓋體10之誘導嵌接末端26之同時，更加地滑動於蓋體10之周壁12方向，將支點部67與誘導嵌接末端26之接觸部分作為支點而搖動於蓋板30側，前端部65則壓接於上鎖孔3之正面側壁面4(參照圖18，圖24)。經由此壓接，深入導引淺嵌合於容器主體1之正面內之蓋體10，適當且堅固地嵌合上鎖蓋體10。

此時，上鎖桿64係將蓋體10之誘導嵌接末端26作為支點，經由第一之凸輪部51之第一卡合凸輪54與第二之凸輪部60之第二水平凸輪61而末端部則變位至蓋主體11側之故，前端部65則成為較圖17之狀態為朝上配置者。如此，經由前端部65指向於朝上之時，上鎖桿64係成為連結前端部65與末端部之假想線為傾斜朝上之狀態。

然而，旋轉操作體41為90°旋轉時，第一之旋轉操作體42之操作孔44則因成為與蓋板30之鍵槽32平行之狀態之故，成為可從操作孔44平順地取出蓋體開關裝置80之操作鍵81。另外，當嵌合上鎖蓋體10時，支持於左右一對之支持片的半導體晶圓係經由前止動件27之壓接保持，壓入於容器主體1內之背面方向。

另外，對於解鎖操作嵌合於容器主體1之正面的蓋體10之上鎖機構40，取出蓋體10之情況，係蓋體開關裝置80 吸付保持蓋體10之後，進行與上述操作相反的操作。此情況，上鎖機構40係當旋轉操作體41旋轉於與上鎖方向相反的解鎖方向時，從蓋體10之蓋板30側，上鎖桿64則搖動於蓋主體11側，將其前端部65，從上鎖孔3之正面側壁面4隔離於背面側壁面方向，之後，從上鎖孔3，以非接觸，上鎖桿64之前端部65則退隱於蓋體10之出沒孔13內者。

如根據上述構成，第一，第二之旋轉操作體42‧42A則將上鎖桿64，藉由第一，第二之凸輪部51‧60而從表背方向夾持之故，可構成上鎖桿64之不易脫落之構造。隨之，例如即使由掉落等對於上鎖機構40造成強大衝擊作用，亦可將由上鎖機構40產生解鎖而使半導體晶圓破損，以及由來自外部之空氣的流入而招致半導體晶圓之污染之事態防範於未然者。

另外，於容器主體1之上鎖孔3內，上鎖桿64之前端部65則較以往為深突出之後，搖動於蓋體10之蓋板30側而接觸於上鎖孔3之正面側壁面4，深引入蓋體10之故，上鎖動作則安定化，完全未有使上鎖桿64之前端部65或上鎖孔3損傷之虞，並且，可確保蓋體10之充分引入量。另外，因呈於容器主體1之上鎖孔3內未接觸有上鎖桿64之前端部65地突出之故，例如對於上鎖機構40產生有過大之上鎖力之作用，亦未有產生有伴隨擦接之粒子，以及招致上鎖桿64之前端部65之變形。

另外，因於第一，第二之旋轉操作體42‧42A之間僅夾持上鎖桿64即可之故，可防止第一，第二之旋轉操作體 42‧42A與上鎖桿64之關係變為複雜之情況。隨之，高精確度地將第一，第二之旋轉操作體42‧42A或上鎖桿64成形之作業則實質上變為容易，對於上鎖機構40之組裝作業未產生有任何上延遲或煩雜化者。另外，對於上鎖機構40因無需上鎖爪之故，可削減零件數而迅速地組裝上鎖機構40。

另外，因可防止伴隨上鎖爪之軸承之出沒孔13的強度降低之故，可排除於上鎖時出沒孔13之開口呈擴大地蓋體10產生變形，以及上鎖桿64同時產生變形之虞者。另外，因可省略上鎖爪或其插著用之金屬銷之故，可非常的期待迅速之組裝作業。

另外，一對之定位突起21則使第一之旋轉操作體42大旋轉於左右方向，使位置偏移於操作鍵81之操作孔44追隨而使此等嵌合之故，可迴避於蓋體10之自動開關時產生狀況而停止之情況，可期待生產性之大幅度的提升。更且，因亦可吸收尺寸誤差之故，亦可防止伴隨操作鍵81與操作孔44之摩擦之粒子的產生者。

然而，對於在上述實施型態之容器主體1之側壁外面，係適宜裝置手動操作用之手把工具或搬送用之側軌等亦可。另外，於蓋主體11或任意的圓弧嵌接末端17之內周面形成必要數之旋轉規定片34亦可，而將與對應嵌接末端33另外個體之旋轉規定片34形成於蓋板30亦可。另外，誘導嵌接末端26係形成於蓋主體11之設置空間14為佳，但如未特別帶來阻礙，可形成於蓋板30之背面。更且，對於各上 鎖桿64之嵌合銷69係從防止磨耗之觀點，可嵌合可旋轉之滾軸。

[產業上之可利用性]

有關本發明之基板收納容器係可在半導體或液晶等之製造領域而使用。

1‧‧‧容器主體

3‧‧‧上鎖孔(上鎖凹部)

4‧‧‧正面側壁面(開口部側的壁面)

10‧‧‧蓋體

11‧‧‧蓋主體

12‧‧‧周壁

13‧‧‧出沒孔

15‧‧‧包圍嵌接末端

16‧‧‧旋轉操作體用嵌接末端

19‧‧‧支持嵌接末端(支持構件)

21‧‧‧定位突起

22‧‧‧長的定位突起

23‧‧‧短的定位突起

24‧‧‧上鎖桿用嵌接末端

25‧‧‧直線嵌接末端

26‧‧‧誘導嵌接末端(誘導突起)

30‧‧‧蓋板

32‧‧‧鍵槽

34‧‧‧旋轉規定片(旋轉規定構件)

35‧‧‧三角突起

40‧‧‧上鎖機構

41‧‧‧旋轉操作體

42‧‧‧第一之旋轉操作體

42A‧‧‧第二之旋轉操作體

43‧‧‧圓板

44‧‧‧操作孔

46‧‧‧圓弧溝(卡合部)

48‧‧‧位置控制片

49‧‧‧圓筒形嵌接末端(圓筒形構件)

50‧‧‧位置調整缺口(第一之位置決定部)

51‧‧‧第一之凸輪部

52‧‧‧第一水平凸輪(第一水平凸輪面)

53‧‧‧第一傾斜凸輪(第一傾斜凸輪面)

54‧‧‧第一卡合凸輪(第一卡合凸輪面)

55‧‧‧圓筒嵌接末端(圓筒構件)

56‧‧‧內側突緣

57‧‧‧位置調整嵌接末端(第二之位置決定部)

58‧‧‧外側突緣

60‧‧‧第二之凸輪部

61‧‧‧第二水平凸輪(第二水平凸輪面)

62‧‧‧第二傾斜凸輪(第二傾斜凸輪面)

63‧‧‧第二卡合凸輪(第二卡合凸輪面)

64‧‧‧上鎖桿

65‧‧‧前端部

66‧‧‧補強嵌接末端

67‧‧‧支點部

69‧‧‧嵌合銷(嵌合部)

80‧‧‧蓋體開關裝置

81‧‧‧操作鍵

圖1係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之全體斜視圖。

圖2係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之蓋體與上鎖機構的分解斜視圖。

圖3係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之蓋主體之斜視說明圖。

圖4係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之蓋板背面側之斜視說明圖。

圖5係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之上鎖機構之分解斜視圖。

圖6係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之旋轉操作體之斜視說明圖。

圖7係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之旋轉操作體之側面說明圖。

圖8係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之第一之旋轉操作體之表面說明圖。

圖9係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之第一之旋轉操作體與第一之凸輪部之斜視說明圖。

圖10係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之第二之旋轉操作體之表面說明圖。

圖11係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之第二之旋轉操作體與第二之凸輪部之斜視說明圖。

圖12係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之第一，第二之旋轉操作體與定位突起之說明圖。

圖13係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之上鎖桿之側面說明圖。

圖14係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之上鎖桿之平面說明圖。

圖15係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之蓋體與上鎖機構的剖面說明圖。

圖16係模式性地顯示於關於本發明之基板收納容器之實施形態之容器主體之開口的正面，淺嵌合蓋體之狀態的部分剖面說明圖。

圖17係模式性地顯示在圖16之上鎖機構之上鎖操作的旋轉操作體旋轉45°於上鎖方向之前階段的部分剖面說明圖。

圖18係模式性地顯示在圖17之上鎖機構之上鎖操作的旋轉操作體旋轉45°於上鎖方向之後階段的部分剖面說明圖。

圖19係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之第一，第二之凸輪部與上鎖桿之關係的說明圖。

圖20係模式性地顯示關於本發明之基板收納容器之實施形態之旋轉操作體旋轉45°於上鎖方向情況之第一，第二之凸輪部與上鎖桿之關係的說明圖。

圖21係模式性地顯示圖20之旋轉操作體旋轉90°於上鎖方向情況之第一，第二之凸輪部與上鎖桿之關係的說明圖。

圖22係模式性地顯示於關於本發明之基板收納容器之實施形態之容器主體之開口的正面，淺嵌合有蓋體情況之上鎖桿狀態的剖面說明圖。

圖23係模式性地顯示在圖22之上鎖機構之上鎖操作之旋轉操作體旋轉45°於上鎖方向情況之上鎖桿的狀態之剖面說明圖。

圖24係模式性地顯示在圖23之上鎖機構之上鎖操作之旋轉操作體旋轉45°於上鎖方向情況之上鎖桿的狀態之剖面說明圖。

10‧‧‧蓋體

11‧‧‧蓋主體

12‧‧‧周壁

13‧‧‧出沒孔

14‧‧‧設置空間

15‧‧‧包圍嵌接末端

16‧‧‧旋轉操作體用嵌接末端

17‧‧‧圓弧嵌接末端

19‧‧‧支持嵌接末端(支持構件)

20‧‧‧彎曲嵌接末端

24‧‧‧上鎖桿用嵌接末端

25‧‧‧直線嵌接末端

26‧‧‧誘導嵌接末端(誘導突起)

27‧‧‧前止動件

28‧‧‧彈性片

29‧‧‧密封墊圈

30‧‧‧蓋板

31‧‧‧洗淨孔

32‧‧‧鍵槽

40‧‧‧上鎖機構

41‧‧‧旋轉操作體

42‧‧‧第一之旋轉操作體

42A‧‧‧第二之旋轉操作體

44‧‧‧操作孔

46‧‧‧圓弧溝(卡合部)

51‧‧‧凸輪部

60‧‧‧第二之凸輪部

64‧‧‧上鎖桿

65‧‧‧前端部

Claims (6)

1. 一種基板收納容器，係具備收納基板之容器主體，和嵌合於此容器主體之開口部的蓋體，和將嵌合於容器主體之開口部的蓋體上鎖之上鎖機構之基板收納容器，其特徵為上鎖機構係含有從蓋體之外部加以操作之旋轉操作體，和經由此旋轉操作體之旋轉而滑動而接離前端部於容器主體之開口部內周之上鎖凹部之上鎖桿，將旋轉操作體分割成第一，第二之旋轉操作體而對於此等相對之對向面係各形成凸輪形成用之第一，第二之凸輪部，於此等第一，第二之凸輪部可搖動地支持上鎖桿，於將蓋體上鎖之情況，作為經由使旋轉操作體旋轉於上鎖方向而使上鎖桿跟隨其第一，第二之凸輪部之時，從蓋體以略非接觸使上鎖桿之前端部突出於容器主體之上鎖凹部內之後，呈使上鎖桿移動於蓋體之厚度方向而使其前端部接觸於形成上鎖凹部之壁面者。
2. 如申請專利範圍第1項記載之基板收納容器，其中，蓋體係含有嵌合於容器主體之開口部的蓋主體，和被覆此蓋主體之開口面的蓋板，於此等蓋主體與蓋板之任一，設置上鎖機構之旋轉操作體用之旋轉規定構件，於蓋主體之周壁設置對向於容器主體之上鎖凹部的上鎖桿用之出沒孔者。
3. 如申請專利範圍第2項記載之基板收納容器，其中，於蓋體內藏上鎖機構之上鎖桿用之誘導突起，於對向 於上鎖桿之誘導突起的對向部形成支點部，將此等誘導突起與支點部之接觸部分作為支點，將上鎖桿的前端部傾斜於蓋體之厚度方向。
4. 如申請專利範圍第2項或第3項記載之基板收納容器，其中，於蓋體之蓋主體，設置支持旋轉操作體之支持構件而對於其周面係形成長度不同之複數之定位突起，將長的定位突起作為與支持構件高度略相同之長度之同時，亦將短的定位突起作為較支持構件的高度為短者。
5. 如申請專利範圍第4項記載之基板收納容器，其中，第一之旋轉操作體係包含內藏於蓋體之蓋主體而對向於蓋板之圓板，和設置於對向於此圓板之第二之旋轉操作體之對向面的圓筒形構件，於圓板的中心部，設置對向於蓋板之鍵槽之操作孔同時，對於圓板之周緣部附近係形成上鎖桿用之卡合部，將圓筒形構件之內周面作為僅可接觸於複數之定位突起之中長的定位突起，對於圓筒形構件之周壁係設置第一之位置決定部，第二之旋轉操作體係包含嵌合於第一之旋轉操作體之圓筒形構件之圓筒構件，和從此圓筒構件突出之外側突緣，於圓筒構件，形成接觸於支持構件之複數之定位突起的內側突緣，對於此內側突緣係設置嵌合於第一之旋轉操作體之第一之位置決定部的第二之位置決定部，將上鎖桿的末端部，可搖動地夾持於第一、第二之凸輪部之間，於此上鎖桿之末端部，設置可滑動地嵌入於第一之旋轉操作體之卡合部的嵌合部。
6. 如申請專利範圍第5項記載之基板收納容器，其中，第一之凸輪部係包含形成於第一之旋轉操作體的圓板對向面而鄰接於卡合部之第一水平凸輪面，和設置於卡合部之周緣側部，隨著從卡合部之一端部朝向於另一端部方向之緩緩變高之第一傾斜凸輪面，和設置於卡合部之周緣另一端部附近而與第一傾斜凸輪面作為一體化之第一卡合凸輪面，使第一傾斜凸輪面之最低之低位部分位置於卡合部之彎曲點附近之同時，使最高的高位部分位置於卡合部之另一端部近旁附近，第一卡合凸輪面作為與第一傾斜凸輪面之高位部分略相同高度，第二之凸輪部係包含形成於第二之旋轉操作體的外側突緣之一端部側之第二水平凸輪面，和連續於此第二水平凸輪面之端部，隨著朝向於圓筒構件之周方向之緩緩高度產生變化之第二傾斜凸輪面，和形成於外側突緣之另一端部側而連續於第二傾斜凸輪面之端部的第二卡合凸輪面，而緩緩縮小隨著從第二傾斜凸輪面朝向第二卡合凸輪面之突出量。