TWI574896B - 基板收納容器、裝載埠裝置及基板處理裝置 - Google Patents

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Description

基板收納容器、裝載埠裝置及基板處理裝置
本發明係關於收容半導體晶圓、光罩用之玻璃基板、液晶顯示裝置用之玻璃基板、光碟用之基板等(以下，簡稱為「基板」)之基板收納容器、及可應用於此基板收納容器之裝載埠裝置及基板處理裝置。
習知，具有一種以2個支撐態樣支撐基板之基板收納容器。此基板收納容器具備框體、蓋、架及緩衝體。框體係收容複數之基板。蓋裝卸於框體。架及緩衝體設置於框體內部。架係於基板之下面與架接觸之狀態下支撐基板。緩衝體係於基板自架分離之狀態下支撐基板。如此，基板收納容器可以由架支撐基板之態樣、及由緩衝體支撐基板的態樣支撐基板。
於自架之對基板的支撐轉移至緩衝體之對基板的支撐時，藉由使基板沿緩衝體之表面滑動，而使基板上昇。此外，於自緩衝體之對基板的支撐轉移至架之對基板的支撐時，藉由使基板沿緩衝體之表面滑動，而使基板下降。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2007-227941號公報
然而，於具有此種構成之習知例之情況，發明者發現存在有以下之間題。亦即，由於基板與緩衝體相互滑動，容易於緩衝體與基板之間產生粉塵，以致框體內之氣體環境之清潔保持變得困難。
本發明係鑒於上述情況而完成者，其目的在於提供一種可抑制粉塵之產生之基板收納容器、裝載埠裝置及基板處理裝置。
為了達成此種目的，本發明採用如下之構成。亦即，本發明提供一種基板收納容器，其具備：框體，其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；框體用昇降機構，其使上述框體用支撐構件相對於上述框體昇降；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；及蓋用支撐構件，其安裝於上述蓋之背面，支撐基板之端部；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係於基板之下面與上述架構件不接觸之狀態下夾持基板之端部，於自上述架構件之對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移時，藉由上述框體用昇降機構使上述框體用支撐構件上昇，上述框體用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移至上述架構件之對基板的支撐時，藉由上述框體用昇降機構使上述框體用 支撐構件下降，上述框體用支撐構件將基板下移。
[作用．功效]基板收納容器可以2個支撐態樣支撐基板。第1支撐態樣係架構件對基板之支撐。具體而言，第1支撐態樣係於架構件與基板之下面接觸之狀態下，由架構件支撐基板。第2支撐態樣係框體用支撐構件及蓋用支撐構件之對基板之支撐。具體而言，第2支撐態樣係於基板之下面與架構件不接觸之狀態下，由框體用支撐構件及蓋用支撐構件支撐基板。
自第1支撐態樣朝轉移至第2支撐態樣時，框體用昇降機構使框體用支撐構件上昇。藉此，框體用支撐構件於維持對基板支撐之狀態下將基板抬起。換言之，框體用支撐構件與基板不產生滑動而抬起基板W。藉此，可抑制在基板與框體用支撐構件之間產生粉塵。
自第2支撐態樣轉移至第1支撐態樣時，框體用昇降機構使框體用支撐構件下降。藉此，框體用支撐構件於維持對基板支撐之狀態下將基板下移。換言之，框體用支撐構件與基板不產生滑動而將基板W下移。藉此，可抑制在基板與框體用支撐構件之間產生粉塵。
上述發明中較佳為，上述框體用昇降機構係與上述蓋裝卸於上述框體之動作連動，使上述框體用支撐構件昇降。框體用昇降機構利用裝卸於框體之蓋之動作，使框體用支撐構件昇降。藉此，框體用昇降機構不需要具備用以使框體用支撐構件昇降之動力源。此外，可於將蓋裝卸於框體時，轉換基板之支撐態樣。
上述發明中較佳為，上述框體用昇降機構具備可動台，該可動台藉由上述蓋裝卸於上述框體之動作而於上述框體內部 移動，上述框體用支撐構件藉由上述可動台之移動而昇降。裝卸於框體之蓋之動作帶動可動台之移動，可動台之移動帶動框體用支撐構件之昇降。如此，可動台可適宜地使蓋之動作及框體用支撐構件之昇降連動。
上述發明中較佳為，上述框體用昇降機構具備框體用彈性構件，該框體用彈性構件藉由上述框體用支撐構件朝大致水平方向移動而彈性變形，對上述框體用支撐構件作用恢復力。換言之，較佳為，框體用昇降機構具備框體用彈性構件，該框體用彈性構件藉由框體用支撐構件自蓋用支撐構件遠離而彈性變形，將框體用支撐構件朝蓋用支撐構件推壓。由於框體用昇降機構具備框體用彈性構件，因而可容易使框體用支撐構件與蓋用支撐構件之間隔追隨基板之外形尺寸。藉此，框體用支撐構件與蓋用支撐構件可適宜地夾持基板。
上述發明中較佳為，具備導引上述框體用支撐構件之框體用導引機構。框體用支撐構件可藉由框體用導引機構而適宜地移動。
此外，本發明提供一種基板收納容器，其具備：框體，於其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；框體用導引機構，其相對於上述框體可昇降地導引上述框體用支撐構件；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；及蓋用支撐構件，其安裝於上述蓋之背面，保持基板之端部；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係於基板之下面與上述架構件不接觸之狀態下 夾持基板之端部，於自上述架構件之對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐時，藉由上述框體用支撐構件沿上述框體用導引機構上昇，上述框體用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移至上述架構件之對基板的支撐時，藉由上述框體用支撐構件沿上述框體用導引機構下降，上述框體用支撐構件將基板下移。
[作用．功效]基板收納容器可以第1、第2支撐態樣支撐基板。於轉移至第2支撐態樣時，框體用支撐構件藉由框體用導引機構而上昇。藉此，框體用支撐構件於維持對基板支撐之狀態下將基板抬起。於轉移至第1支撐態樣時，框體用支撐構件藉由框體用導引機構而下降。藉此，框體用支撐構件於維持對基板支撐之狀態下將基板下移。如此，於轉移至第1、第2支撐態樣之任一態樣時，基板與框體用支撐構件不相互滑動。藉此，可抑制在基板與框體用支撐構件之間產生粉塵。
上述發明中較佳為，上述框體用支撐構件係與上述蓋裝卸於上述框體之動作連動而昇降。框體用支撐構件利用裝卸於框體之蓋之動作而昇降。藉此，基板收納容器不需要具備用以使框體用支撐構件昇降之動力源。此外，可於將蓋裝卸於框體時，轉換基板之支撐態樣。
上述發明中較佳為，具備框體用彈性構件，該框體用彈性構件藉由上述框體用支撐構件朝大致水平方向移動而彈性變形，對上述框體用支撐構件作用恢復力。換言之，較佳為，基板收納容器具備框體用彈性構件，該框體用彈性構件藉由框體用支撐構件自蓋用支撐構件遠離而彈性變形，將框體用支撐構件朝蓋用支撐 構件推壓。由於基板收納容器具備框體用彈性構件，因而可容易使框體用支撐構件與蓋用支撐構件之間隔追隨基板之外形尺寸。藉此，框體用支撐構件與蓋用支撐構件可適宜地夾持基板。
上述發明中較佳為，上述蓋用支撐構件可相對於上述蓋昇降，上述基板收納容器具備蓋用昇降機構，該蓋用昇降機構可使上述蓋用支撐構件相對於上述蓋昇降，於自上述架構件之對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移至上述架構件之對基板的支撐時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件下降，上述框體用支撐構件將基板下移。於轉移至第1、第2支撐態樣之任一態樣時，基板與蓋用支撐構件不相互滑動，因此，可抑制基板與蓋用支撐構件之間之粉塵之產生。
上述發明中較佳為，上述蓋用支撐構件可相對於上述蓋昇降，上述基板收納容器具備蓋用導引機構，該蓋用導引機構相對於上述蓋可昇降地導引上述蓋用支撐構件，於自上述架構件之對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移至上述架構件之對基板的支撐時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構下降，上述蓋用支撐構件將基板下移。於轉移至第1、第2支撐態樣之任一態樣時，基板與蓋用支撐構件不相互滑動，因此，可抑制基板與蓋用支撐構 件之間之粉塵之產生。
此外，本發明提供一種基板收納容器，其具備：框體，其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；蓋用支撐構件，其可相對於上述蓋昇降地安裝於上述蓋之背面，支撐基板之端部；及蓋用昇降機構，其使上述蓋用支撐構件相對於上述蓋昇降；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係於基板之下面與上述架構件不接觸之狀態下夾持基板之端部，於自上述架構件之對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移至上述架構件之對基板的支撐時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件下降，上述框體用支撐構件將基板下移。
[作用．功效]基板收納容器可以第1、第2支撐態樣支撐基板。於轉移至第2支撐態樣時，蓋用昇降機構使蓋用支撐構件上昇。藉此，蓋用支撐構件與基板不產生滑動而將基板抬起。於轉移至第1支撐態樣時，蓋用昇降機構使蓋用支撐構件下降。藉此，蓋用支撐構件與基板不產生滑動而將基板下移。藉此，於轉移至第1、第2支撐態樣之任一態樣時，可抑制在基板與蓋用支撐構件之間產生粉塵。
上述發明中較佳為，上述蓋用昇降機構係與將上述蓋固定於上述框體之動作及解除上述蓋對上述框體的固定之動作連 動而使上述蓋用支撐構件相對於上述框體昇降。蓋用昇降機構利用固定蓋之動作及解除蓋之固定的動作，使蓋用支撐構件昇降。藉此，蓋用昇降機構不需要具備用以使蓋用支撐構件昇降之動力源。此外，可於進行蓋之對框體之固定及其解除時，轉換基板之支撐態樣。
上述發明中較佳為，具備將上述蓋固定於上述框體之鎖定機構，上述蓋用昇降機構係連動連結於上述鎖定機構，且與上述鎖定機構之動作連動而使上述蓋用支撐構件昇降。蓋用昇降機構可利用鎖定機構之動作使蓋用支撐構件昇降。藉此，可簡化蓋用昇降機構之構造。
上述發明中較佳為，上述蓋用昇降機構係與上述蓋裝卸於上述框體之動作連動而使上述蓋用支撐構件昇降。蓋用昇降機構利用裝卸於框體之蓋之動作，使蓋用支撐構件昇降。藉此，蓋用昇降機構不需要具備用以使蓋用支撐構件昇降之動力源。此外，可於將蓋裝卸於框體時，轉換基板之支撐態樣。
上述發明中較佳為，上述蓋用昇降機構具備固定台，該固定台固定地設於上述框體之內部，上述固定台具有在上述蓋裝卸於上述框體時與上述蓋用支撐構件滑動而使上述蓋用支撐構件昇降之傾斜面。蓋之裝卸於框體之動作，帶動蓋用支撐構件滑動於固定台之傾斜面之動作(即，蓋用支撐構件之昇降)。如此，固定台可適宜地使蓋之動作與蓋用支撐構件之昇降連動。
上述發明中較佳為，上述蓋用昇降機構具備蓋用彈性構件，該蓋用彈性構件藉由上述蓋用支撐構件靠近上述蓋而彈性變形，對上述蓋用支撐構件作用恢復力。換言之，較佳為，蓋用昇降 機構具備蓋用彈性構件，該蓋用彈性構件藉由蓋用支撐構件自框體用支撐構件遠離而彈性變形，將蓋用支撐構件朝框體用支撐構件推壓。由於蓋用昇降機構具備蓋用彈性構件，因而可容易使框體用支撐構件與蓋用支撐構件之間隔追隨基板之外形尺寸。藉此，框體用支撐構件與蓋用支撐構件可適宜地夾持基板。
上述發明中較佳為，具備導引上述蓋用支撐構件之蓋用導引機構。蓋用支撐構件可藉由蓋用導引機構而適宜地移動。
此外，本發明提供一種基板收納容器，其具備：框體，於其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；蓋用支撐構件，其可相對於上述蓋昇降地安裝於上述蓋之背面，支撐基板之端部；及蓋用導引機構，其相對於上述蓋可昇降地導引上述蓋用支撐構件；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係於基板之下面與上述架構件不接觸之狀態下夾持基板之端部，於自上述架構件之對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件之對基板的支撐轉移至上述架構件之對基板的支撐時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構下降，上述蓋用支撐構件將基板下移。
[作用．功效]基板收納容器可以第1、第2支撐態樣支撐基板。於轉移至第2支撐態樣時，蓋用支撐構件藉由蓋用導引 機構而上昇。藉此，蓋用支撐構件與基板不產生滑動而將基板抬起。於自第2支撐態樣轉移至第1支撐態樣時，蓋用支撐構件藉由蓋用導引機構而下降。藉此，蓋用支撐構件與基板不產生滑動而將基板下移。藉此，於轉移至第1、第2支撐態樣之任一態樣時，皆可抑制基板與蓋用支撐構件之間之粉塵之產生。
上述發明中較佳為，上述蓋用支撐構件係與上述蓋裝卸於上述框體之動作連動而昇降。蓋用支撐構件利用裝卸於框體之蓋之動作而昇降。藉此，基板收納容器不需要具備用以使蓋用支撐構件昇降之動力源。此外，可於將蓋裝卸於框體時，轉換基板之支撐態樣。
上述發明中較佳為，具備蓋用彈性構件，該蓋用彈性構件藉由上述蓋用支撐構件靠近上述蓋而彈性變形，對上述蓋用支撐構件作用恢復力。換言之，較佳為，基板收納容器具備蓋用彈性構件，該蓋用彈性構件藉由蓋用支撐構件自框體用支撐構件遠離而彈性變形，將蓋用支撐構件朝框體用支撐構件推壓。由於基板收納容器具備蓋用彈性構件，因而可容易使框體用支撐構件與蓋用支撐構件之間隔追隨基板之外形尺寸。藉此，框體用支撐構件與蓋用支撐構件可適宜地夾持基板。
此外，本發明提供一種裝載埠裝置，其具備：載置台，其可載置上述發明之基板收納容器；及蓋開閉機構，其對載置於上述載置台之上述基板收納容器的上述蓋進行開閉。
[作用．功效]根據本發明之裝載埠裝置，可適宜地載置上述基板收納容器。
此外，本發明提供一種基板處理裝置，其具備：載置 台，其可載置上述發明之基板收納容器；蓋開閉機構，其對載置於上述載置台之上述基板收納容器的上述蓋進行開閉；處理單元，其對基板進行處理；及搬送機構，其自載置於上述載置台之上述基板收納容器搬出基板，且搬入上述處理單元。
[作用．功效]根據本發明之基板處理裝置，可對收容於上述基板收納容器之基板進行處理。
再者，於上述各發明中，框體用支撐構件昇降之方向不限於鉛垂方向。此外，蓋用支撐構件昇降之方向不限於鉛垂方向。例如，於框體用昇降機構使框體用支撐構件昇降時，框體用支撐構件既可於水平方向移動，框體用支撐構件也可不於水平方向移動。換言之，框體用昇降機構使框體用支撐構件昇降之方向，除了上下方向之成分外，既可包含水平方向之成分，也可不包含水平方向之成分。同樣地，框體用導引機構導引框體用支撐構件之方向、蓋用昇降機構使蓋用支撐構件昇降之方向、及蓋用導引機構導引蓋用支撐構件之方向，分別除了上下方向之成分外，既可包含水平方向之成分，也可不包含水平方向之成分。
此外，於框體用支撐構件開始將基板抬起時，基板既可與架構件接觸，基板也可已自架構件分離。換言之，於框體用昇降機構使框體用支撐構件開始上昇時，基板既可以第1支撐態樣被支撐，也可不以第1支撐態樣支撐。同樣地，於蓋用支撐構件開始將基板抬起時，基板既可與架構件接觸，基板也可已自架構件分離。
根據本發明之基板收納容器、裝載埠裝置及基板處理裝置，於轉移至第1支撐態樣時，基板與框體用支撐構件及蓋用支 撐構件之至少任一者不產生滑動。此外，於轉移至第2支撐態樣時，基板與框體用支撐構件及蓋用支撐構件之至少任一者不產生滑動。藉此，可抑制產生粉塵。藉此，可抑制粉塵附著於基板，而可保持基板收納容器內之氣體環境之清潔。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧框體
3‧‧‧蓋
3b‧‧‧背面
4‧‧‧上板部
5‧‧‧底板部
6‧‧‧右側壁部
7‧‧‧左側壁部
8‧‧‧後壁部
11、11a、11b、11c‧‧‧架構件
12‧‧‧右架構件
13‧‧‧左架構件
14‧‧‧框體用支撐塊
15‧‧‧固定臂
16、16a、16b、16c‧‧‧框體用支撐構件
17‧‧‧槽部
17a‧‧‧下傾斜部
17b‧‧‧最深部
17c‧‧‧上傾斜部
21‧‧‧蓋用支撐塊
23、23a、23b、23c‧‧‧蓋用支撐構件
24‧‧‧槽部
24a‧‧‧下傾斜部
24b‧‧‧最深部
24c‧‧‧上傾斜部
31‧‧‧框體用昇降機構
32‧‧‧彈簧
33‧‧‧框體用連結板
34‧‧‧可動台
34a‧‧‧傾斜面
35‧‧‧桿
41‧‧‧基板處理裝置
42‧‧‧裝載埠部
43‧‧‧處理部
44‧‧‧載置台
45‧‧‧蓋開閉機構
45a‧‧‧擋門構件
45b‧‧‧擋門構件用驅動機構
47‧‧‧搬送機構
47a‧‧‧保持臂
47b‧‧‧保持臂用驅動機構
48‧‧‧處理單元
51‧‧‧框體用導引機構
52‧‧‧連結桿
53‧‧‧導引構件
61‧‧‧鎖定機構
62‧‧‧鍵槽
63‧‧‧齒輪
64‧‧‧結合構件
65‧‧‧蓋用昇降機構
66‧‧‧齒輪
67‧‧‧齒條
71‧‧‧蓋用昇降機構
72‧‧‧蓋用連結板
73‧‧‧固定台
73a‧‧‧傾斜面
74‧‧‧彈簧(蓋用彈性構件)
77‧‧‧蓋用導引機構
78‧‧‧連結銷
79‧‧‧導引構件
81‧‧‧蓋用導引機構
82‧‧‧連結銷
83‧‧‧導引構件
91‧‧‧彈簧(框體用彈性構件)
92‧‧‧框體用連結板
93‧‧‧彈簧(框體用彈性構件)
95‧‧‧框體用導引機構
96‧‧‧連結銷
97‧‧‧導引構件
101‧‧‧框體用導引機構
102‧‧‧連結桿
103‧‧‧導引構件
105‧‧‧彈簧(框體用彈性構件)
111‧‧‧彈簧(蓋用彈性構件)
113‧‧‧蓋用導引機構
114‧‧‧連結銷
115‧‧‧導引構件
117‧‧‧彈簧(蓋用彈性構件)
121‧‧‧隔壁
123‧‧‧波紋管
201‧‧‧氣體供給口
202‧‧‧氣體排出口
203‧‧‧連通孔
420、421、422‧‧‧裝載埠裝置
A‧‧‧開口
P1、P2、P3‧‧‧位置
S、S1、S2‧‧‧空間
W‧‧‧基板
圖1(a)為顯示蓋安裝於框體時之基板收納容器的外觀之立體圖，圖1(b)為顯示蓋未被安裝於框體時之基板收納容器的外觀之立體圖。
圖2(a)為顯示框體內部之俯視圖，圖2(b)為顯示框體內部之側視圖，圖2(c)為顯示框體內部之前視圖。
圖3(a)為顯示蓋及蓋用支撐構件之立體圖，圖3(b)為顯示蓋及蓋用支撐構件之側視圖。
圖4(a)為基板處理裝置之俯視圖，圖4(b)為基板處理裝置之側視圖。
圖5(a)至圖5(c)為顯示將蓋裝卸於框體時之基板收納容器內部之圖。
圖6(a)及6(b)分別為顯示實施例2之框體內部之俯視圖及前視圖。
圖7(a)至圖7(c)為顯示將蓋裝卸於框體時之基板收納容器內部之俯視圖。
圖8為顯示實施例3之框體內部之側視圖。
圖9(a)及9(b)為顯示實施例3之蓋之前視圖及側視圖。
圖10(a)至10(c)為顯示將蓋裝卸於框體時之基板收納容器內部 之側視圖。
圖11(a)為實施例4之蓋之後視圖，圖11(b)至圖11(d)為蓋之側視圖。
圖12(a)至圖12(c)為顯示將蓋裝卸於框體時之基板收納容器內部之側視圖。
圖13(a)及13(b)分別為實施例5之蓋之後視圖及側視圖。
圖14(a)至圖14(c)為顯示將蓋裝卸於框體時之基板收納容器內部之側視圖。
圖15為顯示變形實施例之框體內部之側視圖。
圖16為顯示變形實施例之框體內部之俯視圖。
圖17為顯示變形實施例之框體內部之側視圖。
圖18為顯示變形實施例之框體內部之俯視圖。
圖19為顯示變形實施例之框體內部之側視圖。
圖20(a)為彈簧未彈性變形之狀態下之變形實施例的蓋之側視圖，圖20(b)為彈簧彈性變形之狀態下之變形實施例的蓋之側視圖。
圖21(a)為彈簧未彈性變形之狀態下之變形實施例的蓋之側視圖，圖21(b)為彈簧彈性變形之狀態下之變形實施例的蓋之側視圖。
圖22(a)為彈簧未彈性變形之狀態下之變形實施例的蓋之側視圖，圖22(b)為彈簧彈性變形之狀態下之變形實施例的蓋之側視圖。
圖23(a)及23(b)為顯示變形實施例之基板收納容器內部之側視圖。
圖24為顯示變形實施例之框體內部之俯視圖。
圖25為顯示變形實施例之框體內部之俯視圖。
以下，對5個實施例進行說明。實施例1中，例示本發明之框體用昇降機構。實施例2中，例示本發明之框體用導引機構。實施例3中，例示本發明之蓋用昇降機構。實施例4中，例示本發明之蓋用昇降機構及蓋用導引機構。實施例5中，例示本發明之蓋用導引機構。
[實施例1] 1. 基板收納容器之構成
參照圖1(a)、1(b)。基板收納容器1之外形為大致長方體。基板收納容器1可收容複數之基板W。「基板W」例如為半導體晶圓、光罩用之玻璃基板、液晶顯示裝置用之玻璃基板、電漿顯示器用之基板、光碟用之基板、磁碟用之基板，光磁碟用之基板等。
基板收納容器1具備框體2及蓋3。蓋3安裝於框體2之前面。如圖1(b)所示，於框體2之前面形成有開口A。蓋3係開閉開口A。開口A為大致垂直之虛擬面。於蓋3裝卸於框體2時，蓋3維持與開口A對向之狀態而朝與開口A大致正交之前後方向移動。前後方向為大致水平。於框體2之內部形成有用以收容基板W之空間S(參照圖2(a)至圖2(c))。基板收納容器1構成為可收納至少一片基板W。標準上，基板收納容器1收納25片基板W。以下之說明中為了方便，以可收納至3片基板W之基板收納容器1為例進行說明。
除圖1(a)、(b)外並參照圖2(a)至圖2(c)。框體2具有上板部4、底板部5、右側壁部6、左側壁部7及後壁部8。各部4至8係界定上述空間S。圖2(a)中，為了方便圖示，省略上板部4 及底板部5之圖示。圖2(b)中省略右側壁部6及左側壁部7之圖示。圖2(c)中省略後壁部8之圖示。
以下之說明中，將前後方向中之自後壁部8朝開口A之方向適宜地稱為「前方向」，稱與前方向相反之方向為「後方向」。
於框體2之內部設置有架構件11a、11b、11c。架構件11a、11b、11c係於上下方向排列配置。各架構件11a、11b、11c分別各載置1片基板W。各架構件11a、11b、11c係以大致水平姿勢自下方向支撐基板W。各架構件11a、11b、11c與基板W之下面接觸。再者，於本說明書中，「基板W之下面」係指包含基板W之下部周緣之概念。架構件11a、11b、11c上之各基板W排列於上下方向。以下，於未特別區別架構件11a、11b、11c之情況，簡稱為「架構件11」。如後述，設於基板收納容器1外部之保持臂47a，將基板W搬入各架構件11，且自各架構件11搬出基板W。搬入基板W時，保持臂47a進入各架構件11之上方之位置，然後略微下降，藉此將基板W載置於各架構件11上。此外，搬出基板W時，保持臂47a進入各架構件11之下方之位置，然後略微上昇，藉以保持各架構件11上之基板W(參照圖4(a)、4(b))。因此，於各架構件11之上方及下方設置有可供保持臂47a安全地進入(例如，保持臂47a可不與基板W或架構件11碰撞而進入)之間隙。此外，各架構件11之上下方向之間隔，係設定為能使保持臂47a安全地進入。
本實施例中，各架構件11包含右架構件12及左架構件13。右架構件12與左架構件13相互分離。右架構件12自右側壁部6突出，左架構件13自左側壁部7突出。
於框體2之內部進而設置有框體用支撐塊14。於框 體用支撐塊14形成有框體用支撐構件16a、16b、16c。框體用支撐構件16a、16b、16c係於上下方向排列配置。各框體用支撐構件16a、16b、16c係支撐基板W之端部。更詳細地說明，各框體用支撐構件16a、16b、16c係支撐基板W之後部之端部。在此，「基板W之後部」係基板W之靠近後壁部8之部分。再者，將位於框體2內之基板W之靠近開口A的部分適宜地稱為「基板W之前部」。以下，於未特別區別框體用支撐構件16a、16b、16c之情況，簡稱為「框體用支撐構件16」。
框體用支撐構件16之材質，例如為樹脂。於各框體用支撐構件16形成有一個槽部17。如圖2(b)所示，槽部17朝後方向凹陷。槽部17例如在側視時呈橫向之大致「V」字形。
槽部17具有下傾斜部17a、最深部17b及上傾斜部17c。下傾斜部17a與最深部17b之下側鄰接，上傾斜部17c與最深部17b之上側鄰接。
基板收納容器1進而具備框體用昇降機構31。框體用昇降機構31係設於框體2內。框體用昇降機構31係使框體用支撐構件16相對於框體2昇降。框體用昇降機構31具備彈簧32、框體用連結板33、2個可動台34及2根桿35。
彈簧32可相對於框體2昇降地支撐框體用支撐塊14。彈簧32之一端連結於後壁部8，彈簧32之另一端連結於框體用支撐塊14。彈簧32藉由框體用支撐構件16上昇而彎曲變形。於彈簧32彎曲變形之狀態下，彈簧32朝下方推壓框體用支撐構件16。
框體用連結板33連結於框體用支撐塊14(框體用支撐構件16c)之底面。框體用連結板33自框體用支撐塊14朝下方延 伸。框體用連結板33係與框體用支撐構件16一體移動。
可動台34可移動地設置於框體2之內部。可動台34例如可滑動於底板部5上。可動台34具有傾斜面34a(參照圖2(b))。傾斜面34a相對於前後方向傾斜。本實施例中，傾斜面34a係以朝後方向變低之方式傾斜。傾斜面34a係與框體用連結板33可滑動地接觸。
桿35可移動地設置於框體2之內部。桿35例如可於底板部5上朝前後方向滑動。桿35之一端即後端連結於可動台34。可動台34與桿35一體移動。各桿35之軸心係與前後方向平行。各桿35之另一端即前端延伸至開口A之附近。桿35之前端可與蓋3抵接。
框體用連結板33及框體用支撐構件16之上下移動係與可動台34及桿35之前後移動連動。蓋3未與桿35抵接時之框體用支撐構件16之高度，係蓋3與桿35抵接時之框體用支撐構件16之高度之相同高度以下。在此，將蓋3未與桿35抵接時之框體用支撐構件16之位置稱為「下方位置」。圖2(b)明示位於下方位置之框體用支撐構件16。於框體用支撐構件16位於下方位置之狀態下，框體用支撐構件16a、16b、16c之最深部17b之位置，分別設定在與大致水平地載置於架構件11a、11b、11c之基板W的端部大致相同之高度。
參照圖3(a)、3(b)。於蓋3安裝於框體2之狀態下，將與框體2之內部(即空間S)接觸之蓋3的面稱為「背面3b」。於背面3b固定有蓋用支撐塊21。於蓋用支撐塊21形成有蓋用支撐構件23a、23b、23c。蓋用支撐構件23a、23b、23c係於上下方向排列配 置。各蓋用支撐構件23a、23b、23c係支撐基板W之端部。更詳細地說明，各蓋用支撐構件23a、23b、23c係支撐基板W之前部之端部。如此，較佳為，蓋用支撐構件23a、23b、23c支撐之基板W之端部，係與框體用支撐構件16支撐之基板W之端部，隔著基板W之中心而對向。
蓋用支撐構件23之材質，例如為樹脂。更佳為，蓋用支撐構件23之材質為具有彈性之樹脂。蓋用支撐構件23具有與框體用支撐構件16同樣之形狀。亦即，於各蓋用支撐構件23形成有槽部24。各槽部24具有下傾斜部24a、最深部24b及上傾斜部24c。
參照圖5(a)至圖5(c)。於蓋3與開口A對向時，蓋用支撐構件23a、23b、23c之最深部24b之位置，分別設定在與載置於架構件11a、11b、11c之基板W的端部大致相同之高度。以下，於未特別區別蓋用支撐構件23a、23b、23c之情況，簡稱為「蓋用支撐構件23」。
2. 裝載埠裝置及基板處理裝置之構成
參照圖4(a)、4(b)，對使用基板收納容器1之基板處理裝置41進行說明。基板處理裝置41具備裝載埠部42及處理部43。裝載埠部42具有複數之裝載埠420、421、422。各裝載埠420、421、422分別具備載置台44及蓋開閉機構45。載置台44載置基板收納容器1。蓋開閉機構45開閉載置於載置台44之基板收納容器1。蓋開閉機構45具備擋門構件45a及擋門構件用驅動機構45b。擋門構件45a係裝卸載置台44上之基板收納容器1的蓋3並保持自基板收納容器1取下之蓋3。於蓋開閉機構45取下蓋3時，擋門 構件用驅動機構45b使擋門構件45a依位置P1、P2、P3之順序移動(參照圖4(b))。擋門構件45a在位置P1與位置P2之間移動時，擋門構件45a可維持蓋3與開口A對向之狀態，而使蓋3沿前後方向移動。裝載埠裝置420、421、422係本發明之裝載埠裝置之例子。
處理部43具備搬送機構47及處理單元48。搬送機構47搬送基板W。搬送機構47進出於載置在載置台44之基板收納容器1。並且，搬送機構47進出於處理單元48。搬送機構47具備用以保持基板W之保持臂47a、及用以使保持臂47a移動之保持臂用驅動機構47b。處理單元48對基板W進行洗淨處理等之處理。
3. 動作例
其次，對實施例1之基板收納容器1之動作例進行說明。以下，首先對蓋3自框體2取下之狀態進行說明。接著，對將蓋3安裝於框體2時之動作例、及自框體2取下蓋3時之動作例進行說明。最後，對自基板收納容器1搬出基板W之動作例簡單地進行說明。
3.1. 蓋3自框體2取下之狀態
參照圖4(a)、4(b)。於載置台44上載置有基板收納容器1。蓋3被自框體2取下，基板收納容器1係開放。基板收納容器1之蓋3，例如於位置P2或位置P3被保持於擋門構件45a。桿35與蓋3不接觸。
參照圖5(a)，更詳細地說明。圖5(a)顯示蓋3自框體2取下之狀態。各基板W被以第1支撐態樣支撐。在此，「第1支撐態樣」係指架構件11對基板W之支撐。更詳細而言，第1支撐態樣係指於架構件11與基板W之下面接觸之狀態下，由架構件11 支撐基板W。
框體用支撐構件16位於下方位置。框體用支撐構件16支撐基板W之端部。更具體地說明，框體用支撐構件16之最深部17b，與基板W之後部之端部接觸。如此，於基板W被以第1支撐態樣支撐時，基板W也可進而被框體用支撐構件16支撐。框體用連結板33與可動台34之傾斜面34a接觸。
3.2. 將蓋3安裝於框體2時之動作例
參照圖4(b)。擋門構件45a保持蓋3，自位置P2朝位置P1移動。藉此，將蓋3安裝於框體2。參照圖5(a)至圖5(c)，對擋門構件45a之對蓋3之安裝過程詳細地進行說明。再者，圖5(b)顯示蓋3裝卸於框體2之動作之途中的場面。圖5(c)顯示蓋3安裝於框體2之狀態。
蓋3維持與開口A對向之狀態，自圖5(a)所示之位置朝後方向移動。若蓋3到達圖5(b)所示之位置，則蓋3之背面3b與桿35之前端接觸。
若蓋3自圖5(b)所示之位置進而朝後方向移動，則蓋3朝後方向推壓桿35及可動台34。桿35及可動台34開始於框體2之底板部5上朝後方向移動。藉由可動台34之後退，與傾斜面34a接觸之框體用連結板33被朝上方推昇。亦即，框體用連結板33沿傾斜面34a上昇。藉由框體用連結板33之上昇，框體用支撐構件16抵抗彈簧32之作用而自下方位置上昇。藉由框體用支撐構件16之上昇，彈簧32發生彈性變形。框體用支撐構件16維持對各基板W之後部端部支撐之狀態，將基板W抬起。藉此，基板W之後部上昇，開始自架構件11上浮。在此，於框體用支撐構件16抬起基 板W時，基板W之端部維持與最深部17b接觸之狀態。亦即，於框體用支撐構件16將基板W抬起之動作中，基板W與框體用支撐構件16不相互滑動。因此，可抑制在基板W與框體用支撐構件16之間產生粉塵。
其次，參照圖5(c)。蓋3進而朝後方向移動，藉此蓋3到達開口A，被安裝於框體2。蓋用支撐構件23與蓋3一體朝後方向移動，蓋用支撐構件23之最深部24b與基板W之前部端部接觸。藉此，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23，以最深部17b、24b夾入基板W之端部而進行支撐(以下，適宜地稱為「夾持」)。蓋用支撐構件23與基板W開始接觸之時間，既可與蓋3之安裝完成時為同時，亦可較蓋3之安裝完成時提前。
若依此方式將蓋3安裝於框體2，則基板W被以第2支撐態樣支撐。「第2支撐態樣」係指框體用支撐構件16及蓋用支撐構件23對基板W之支撐。更詳細地說明，第2支撐態樣係於架構件11與基板W之下面不接觸之狀態下，由框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23支撐基板W。本實施例中，基板W被以第2支撐態樣支撐時，基板W朝前下方傾斜。
如圖5(c)所示，稱蓋3安裝於框體2之狀態下之框體用支撐構件16的位置為「上方位置」。於基板W被以第2支撐態樣支撐時，框體用支撐構件16位於上方位置。框體用支撐構件16之上方位置(參照圖5(a))與下方位置(參照圖5(c))之高低差，係較在上下方向鄰接之架構件11彼此之間隔小。在此，具體而言，架構件11彼此之間隔，係架構件11a、11b之上下方向的距離、或架構件11b、11c之上下方向的距離，以下，適宜地稱為「架構件11之 間距」。
3.3. 自框體2取下蓋3(脫離)時之動作例
參照圖4(b)。擋門構件45a朝位置P1移動，保持安裝於框體2之蓋3。擋門構件45a於維持對蓋3保持之狀態下，自位置P1朝位置P2移動。藉此，蓋3被自框體2取下。以下，具體地進行說明。
參照圖5(c)、5(b)。若蓋3自開口A朝前方向移動，則框體用昇降機構31使框體用支撐構件16下降。具體而言，若蓋3朝前方向移動，則允許可動台34及桿35朝前方向移動。在此，作用於框體用支撐構件16及框體用連結板33之重力與彈簧32之恢復力，朝下方向推壓框體用連結板33，而朝下方向推壓框體用連結板33之力的一部分，將可動台34與桿35朝前方向推壓。因此，若蓋3朝前方向移動，則可動台34與桿35被朝前方向推出。藉由可動台34朝前方向移動，框體用支撐構件16與框體用連結板33下降，彈簧32恢復原狀。
藉由框體用支撐構件16之下降，框體用支撐構件16於維持對基板W支撐之狀態下，將基板W下移。換言之，框體用支撐構件16與基板W不滑動而將基板W下移。若框體用支撐構件16下降至下方位置，則框體用支撐構件16將基板W載置於架構件11上。藉此，基板W之支撐態樣自第2支撐態樣轉移至第1支撐態樣。另一方面，蓋用支撐構件23與蓋3一體朝前方向移動。藉由蓋用支撐構件23之前進，蓋用支撐構件23之最深部24b自基板W分離。
若蓋3進而朝前方向移動，如圖5(a)所示，蓋3自桿 35分離。
3.4. 自基板收納容器1搬出基板W之動作例
參照圖4(a)、4(b)。框體2被開放。框體2內之全部基板W被以第1支撐態樣支撐。蓋3與擋門構件45a位於位置P3。保持臂47a進入框體2之內部。具體而言，保持臂47a進入載置有欲搬出之基板W之架構件11的下方之位置。然後，保持臂47a略微上昇，使1片基板W自架構件11上浮並保持。然後，於維持對基板W保持之狀態下，保持臂47a朝框體2之外部退出。如此，搬送機構47將基板收納容器1內之基板W搬出。然後，保持臂47a將此基板W搬送至處理單元48。
4. 實施例1之功效
於自第1支撐態樣朝第2支撐態樣轉移之動作中，框體用昇降機構31使框體用支撐構件16上昇。框體用支撐構件16與基板W不滑動而將基板W抬起。於自第2支撐態樣朝第1支撐態樣轉移之動作中，框體用昇降機構31使框體用支撐構件16下降。框體用支撐構件16與基板W不滑動而將基板W下移。藉此，可抑制在基板W與框體用支撐構件16之間產生粉塵。其結果，可抑制粉塵沾附於基板W。此外，可保持基板收納容器1內之氣體環境之清潔。
框體用昇降機構31與將蓋3裝卸於框體2之動作連動，而使框體用支撐構件16昇降。亦即，框體用昇降機構31利用蓋3之動作，使框體用支撐構件16昇降。藉此，框體用昇降機構31不需要具備用以使框體用支撐構件16昇降之動力源。此外，可於將蓋3裝卸於框體2時，轉換基板W之支撐態樣。
具體而言，框體用昇降機構31與將蓋3安裝於框體2之動作連動而使框體用支撐構件16上昇。其結果，於蓋3被安裝於框體2之狀態下，基板W被以第2支撐態樣支撐。藉此，可於蓋3安裝於框體2之狀態下，一面適宜地保護基板W一面搬送基板收納容器1。此外，框體用昇降機構31與蓋3自框體2脫離之動作連動而使框體用支撐構件16下降。其結果，於蓋3被自框體2取下之狀態下，基板W被以第1支撐態樣支撐。藉此，於自框體2取下蓋3之狀態下，可適宜地自框體2內搬出基板W。
框體用昇降機構31具備可動台34。藉由將蓋3安裝於框體2之動作，可動台34朝後方向移動，藉由可動台34之後退，框體用支撐構件16上昇。此外，藉由自框體2取下蓋3之動作，可動台34朝前方向移動，藉由可動台34之前進，框體用支撐構件16下降。如此，可動台34可適宜地使蓋3之動作與框體用支撐構件16之昇降連動。
由於可動台34具備傾斜面34a，因此可適宜地使蓋3之前後方向的動作及框體用支撐構件16之上下方向的動作連動。例如，於將蓋3安裝於框體2之動作中，可動台34自蓋3接收後方向之力，然後將該力轉換為上方向之力，藉由已轉換之上方向之力而使框體用支撐構件16上昇。此外，於以第2支撐態樣支撐基板W之狀態下，由於框體用支撐構件16之自重被可動台34接住，因而不作用於基板W。亦即，於以第2支撐態樣支撐基板W之狀態下，框體用支撐構件16不會對基板W施加不需要之力。藉此，可更適宜地保護基板W。
由於桿35連結於可動台34，且可與蓋3抵接，因而 可將蓋3之動作傳遞至可動台34。此外，桿35不經由基板W而將蓋3之動作傳遞至可動台34。藉此，於將蓋3裝卸於框體2之動作中，不用擔心會有不需要之力施加於基板W，也不會有損傷基板W之擔憂。
框體用昇降機構31具備彈簧32。彈簧32朝下方向推壓框體用支撐構件16，因此，彈簧32可使框體用支撐構件16之上方向之移動穩定。此外，彈簧32積蓄之恢復力，被利用於促進框體用支撐構件16之下降。藉此，框體用昇降機構31可使框體用支撐構件16圓滑地昇降。換言之，彈簧32可更平滑地使蓋3之動作及框體用支撐構件16之昇降連動。
蓋用支撐構件23與基板W接觸之部位僅為最深部24b，於朝第1、第2支撐態樣之任一態樣轉移時，蓋用支撐構件23皆與基板W不滑動。藉此，於蓋用支撐構件23與基板W之間，亦可抑制粉塵之產生。
於蓋用支撐構件23之材質為具有彈性之樹脂之情況，蓋用支撐構件23可確實地保持基板。
此外，裝載埠裝置420、421、422可適宜地載置基板收納容器1。
基板處理裝置41可對收容於基板收納容器1之基板W進行液處理或熱處理等之處理。
[實施例2]
以下，參照圖式對本發明之實施例2進行說明。以下之說明中，對與實施例1相同之構成，賦予相同之符號並省略詳細之說明。
1. 基板收納容器之構成
參照圖6(a)、6(b)。於圖6(a)、6(b)中，左側之圖為側視圖，右側之圖為前視圖。
基板收納容器1具備框體用導引機構51。框體用導引機構51設於框體2內。框體用導引機構51相對於框體2可昇降地導引框體用支撐構件16。框體用導引機構51具備連結桿52及導引構件53。
連結桿52被固定於框體用支撐塊14(框體用支撐構件16)。連結桿52具有平板形狀(換言之，帶形狀)。導引構件53固定於框體2(後壁部8)。導引構件53具備用以插入連結桿52之孔。孔相對於前後方向傾斜。更詳細而言，孔以越朝後方向越變高之方式傾斜。連結桿52被插入孔內。連結桿52可沿孔平行移動，但連結桿52不能繞其軸心旋轉。藉由連結桿52相對於導引構件53滑動，框體用支撐構件16一面相對於框體2昇降一面前後移動。亦即，框體用導引機構51導引框體用支撐構件16之方向包含上下方向之成分及前後方向之成分。
以下之說明中，將框體用支撐構件16可移動之最低位置稱為「下方位置」，將框體用支撐構件16可移動之最高位置稱為「上方位置」。圖6(a)顯示框體用支撐構件16之下方位置，圖6(b)顯示框體用支撐構件16之上方位置。
參照圖7(a)至圖7(c)，對架構件11、框體用支撐構件16、及蓋用支撐構件23之位置關係進行說明。於框體用支撐構件16位於下方位置之狀態下，框體用支撐構件16a、16b、16c之最深部17b，分別與載置於架構件11a、11b、11c之基板W的端部為大 致相同高度。框體用支撐構件16之下方位置及上方位置之高低差，係較架構件11之間距小。於蓋3與開口A對向之狀態下，框體用支撐構件16係以可使蓋用支撐構件23a、23b、23c之下傾斜部24a分別與載置於架構件11a、11b、11c之基板W之端部接觸之方式配置。
2. 動作例 2.1. 蓋3自框體2取下之狀態
參照圖7(a)。蓋3例如位於圖7(a)所示之位置。基板W被以第1支撐態樣支撐。框體用支撐構件16位於下方位置。框體用支撐構件16之最深部17b與基板W之後部端部接觸。
2.2. 將蓋3安裝於框體2時之動作例
蓋3自例如圖7(a)所示之位置朝後方向移動。若蓋3到達圖7(b)所示之位置，則蓋用支撐構件23之下傾斜部24a與基板W之前部端部接觸。
若蓋3進而朝後方向移動，則蓋用支撐構件23將基板W朝後方向推壓。藉此，基板W之前部端部在蓋用支撐構件23之下傾斜部24a向上滑動，並且基板W朝後方向移動。藉由基板W朝後方向之移動，基板W朝後方向推壓框體用支撐構件16。框體用支撐構件16藉由框體用導引機構51而自下方位置上昇。
藉由框體用支撐構件16之上昇，框體用支撐構件16於維持以最深部17b支撐基板W之狀態下將基板W抬起。基板W之前部的端部在下傾斜部24a向上滑動。
參照圖7(c)。蓋3進而朝後方向移動，將蓋3安裝於框體2。框體用支撐構件16於維持對基板W支撐之狀態下上昇至 上方位置。基板W之前部端部到達最深部24b。如此，若完成將蓋3安裝於框體2之動作，則基板W被以第2支撐態樣支撐。本實施例中，於基板W被以第2支撐態樣支撐之狀態下，基板W為大致水平姿勢。
2.3. 自框體2取下蓋3時之動作例
參照圖7(c)、7(b)。蓋3自開口A(即，圖7(c)所示之位置)朝前方向移動。蓋用支撐構件23與蓋3一體朝前方向移動。藉此，框體用支撐構件16藉由自重一面朝前方向推壓基板W一面下降。具體而言，框體用支撐構件16藉由框體用導引機構51而自上方位置朝下方位置移動。藉由框體用支撐構件16之下降，框體用支撐構件16於維持對基板W支撐之狀態下將基板W下移。此外，基板W之前部端部自蓋用支撐構件23之最深部24b分離，滑落於下傾斜部23a。藉此，基板W被載置於架構件11。亦即，基板W被以第1支撐態樣支撐。
若蓋3進而朝前方向移動，則如圖7(a)所示，蓋用支撐構件23自基板W分離。
3. 實施例2之功效
自第1支撐態樣朝第2支撐態樣轉移時，框體用支撐構件16藉由框體用導引機構51而上昇。藉此，框體用支撐構件16於維持對基板W支撐之狀態下，將基板W抬起。自第2支撐態樣朝第1支撐態樣轉移時，框體用支撐構件16藉由框體用導引機構51而下降。藉此，框體用支撐構件16於維持對基板W支撐之狀態下，將基板W下移。藉此，於朝第1支撐態樣轉移之動作、及朝第2支撐態樣轉移之動作中，基板W與框體用支撐構件16不相互 滑動，因此，可抑制基板W與框體用支撐構件16之間之粉塵之產生。
框體用支撐構件16與蓋3裝卸於框體2之動作連動而進行昇降。亦即，框體用支撐構件16利用蓋3之動作而昇降。藉此，基板收納容器1不需要具備用以使框體用支撐構件16昇降之動力源。此外，可於將蓋3裝卸於框體2時，轉換基板W之支撐態樣。
框體用支撐構件16與將蓋3安裝於框體2之動作連動而上昇，因此，於蓋3安裝於框體2之狀態下，基板W被以第2支撐態樣支撐。藉此，可於基板收納容器1被封閉之狀態下，適宜地搬送基板收納容器1。此外，框體用支撐構件16與蓋3自框體2脫離之動作連動而下降，因此於蓋3自框體2分離之狀態下，基板W被以第1支撐態樣支撐。藉此，於基板收納容器1開放之狀態下，可適宜地自基板收納容器1搬出基板W。
基板W藉由蓋3(蓋用支撐構件23)之動作而移動，框體用支撐構件16藉由基板W之動作而昇降。如此，基板W利用蓋3之動作，使框體用支撐構件16昇降。藉此，基板收納容器1不需要具備類似實施例1之框體用昇降機構31之機構，可簡化基板收納容器1之構造。
由於框體用支撐構件16藉由框體用導引機構51而移動，因此可將框體用支撐構件16之下方位置保持為一定。例如，每當框體用支撐構件16昇降，皆可適宜地防止框體用支撐構件16之下方位置於水平方向發生變動。藉此，於框體用支撐構件16下降時，框體用支撐構件16始終可將基板W下移至相同之位置。藉 此，於朝第1支撐態樣轉移時，始終可將架構件11上之基板W的位置保持一定。亦即，於每次朝第1支撐態樣轉移時，可防止基板W之位置偏移。藉此，可更適宜地自框體2內搬出基板W。
導引構件53具有之孔，相對於前後方向傾斜。藉此，導引構件53可適宜地將蓋3之前後移動轉換為框體用支撐構件16之上下移動。進而，由於連結桿52被插入孔內，因此，可適宜地防止框體用支撐構件16繞連結桿52之軸心旋轉。
框體用導引機構51導引框體用支撐構件16之方向，除了上下方向之成分外，還包含前後方向之成分。如此，框體用支撐構件16係設置為可於水平方向(前後方向)移動。藉此，可使框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23之間隔(嚴密地講，最深部17b與最深部24b之間隔)與基板W之外形尺寸一致。藉此，即使於基板W之外形尺寸產生有偏差或誤差之情況，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23仍可適宜地以第2支撐態樣支撐基板W。
以第2支撐態樣支撐基板W時，框體用支撐構件16藉由其自重，將基板W按壓於蓋用支撐構件23。藉此，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23，可以適度地按壓基板W之狀態來夾持基板W。此外，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23之間隔自然地追蹤變動而與基板W之外形尺寸一致。藉此，可圓滑地轉移至第2支撐態樣。
[實施例3]
以下，參照圖式對本發明之實施例3進行說明。以下之說明中，對與實施例1相同之構成，賦予相同之符號並省略詳細之說明。
1. 基板收納容器之構成
參照圖8。框體用支撐塊14經由固定臂15被固定於框體2。框體用支撐構件16相對於框體2不能移動。框體用支撐構件16係以可使框體用支撐構件16a、16b、16c之下傾斜部17a分別與載置於架構件11a、11b、11c之基板W的端部接觸之方式配置。
參照圖9(a)、9(b)。圖9(a)、9(b)分別顯示蓋3之前視圖及側視圖。基板收納容器1具備鎖定機構61及蓋用昇降機構65。
鎖定機構61將蓋3固定於框體2。鎖定機構61具備鍵槽62、齒輪63及結合構件64。鍵槽62配置於蓋3之表面。於鍵槽62內插入用以操作鎖定機構61之鍵。齒輪63根據鍵之操作朝正反兩方向旋轉。結合構件64連動連結於齒輪63。結合構件64藉由齒輪63之旋轉而於退避位置與突出位置之間移動。於退避位置，結合構件64全部收容於蓋3之內部(參照圖9(a))。於突出位置，結合構件64之一部分突出於蓋3之外部(參照圖9(b))。
蓋開閉機構45使鎖定機構61動作。具體而言，蓋開閉機構45具備鍵(未圖示)，將鍵插入鍵槽62來操作鎖定機構61。框體2具有可與位於突出位置之結合構件64凹凸結合之凹部(未圖示)。若蓋3安裝於框體2時結合構件64朝突出位置移動，則結合構件64與凹部結合，蓋3被固定於框體2。亦即，蓋3變得不能自框體2脫離。若蓋3安裝於框體2時結合構件64朝退避位置移動，則結合構件64自凹部脫離，蓋3解除蓋3相對於框體2之固定。亦即，蓋3變得能自框體2脫離。
蓋用昇降機構65與鎖定機構61之動作連動，使蓋用 支撐構件23相對於蓋3昇降。蓋用昇降機構65具備齒輪66及齒條67。齒輪66與齒輪63嚙合。齒條67與齒輪66連動連結。若齒輪63旋轉，則齒輪66旋轉，齒條67於上下方向移動。如此，蓋用昇降機構65與鎖定機構61連動連結。
於齒條67固定有蓋用支撐塊21。於結合構件64朝突出位置移動時，蓋用支撐構件23上昇。於結合構件64朝退避位置移動時，蓋用支撐構件23下降。在此，將結合構件64位於退避位置時之蓋用支撐構件23之位置稱為「下方位置」。將結合構件64位於突出位置時之蓋用支撐構件23之位置稱為「上方位置」。
參照圖10(a)至圖10(c)。於蓋3與開口A對向且蓋用支撐構件23位於下方位置時，蓋用支撐構件23a、23b、23c之最深部24b，與載置在架構件11a、11b、11c之基板W的端部為大致相同之高度。蓋用支撐構件23之下方位置與上方位置之高低差，係較架構件11之間距小。
2. 動作例 2.1. 蓋3自框體2分離之狀態
參照圖10(a)。蓋3例如位於由實線所示之位置。基板W被以第1支撐態樣支撐。結合構件64位於退避位置，蓋用支撐構件23位於下方位置。框體用支撐構件16於下傾斜部17a上與基板W接觸。
2.2. 將蓋3安裝於框體2時之動作例
參照圖10(a)。蓋3例如自以實線所示之位置朝後方向移動。若蓋3到達以虛線所示之位置，則蓋用支撐構件23之最深部24b與基板W之前部端部接觸。
參照圖10(b)。蓋3朝開口A移動，將蓋3安裝於框體2。蓋用支撐構件23朝後方向推壓基板W。藉此，基板W之後部端部於下傾斜部17a向上滑動且至最深部17b。基板W之前部端部仍維持由蓋用支撐構件23之最深部24b支撐之狀態。
參照圖10(c)。鎖定機構61將蓋3固定於框體2。具體而言，結合構件64自退避位置朝突出位置移動，將蓋3固定於框體2。與此種之鎖定機構61之動作(結合構件64之移動)連動，蓋用昇降機構65使蓋用支撐構件23自下方位置朝上方位置上昇。藉此，蓋用支撐構件23於維持對基板W支撐之狀態下，將基板W抬起。基板W浮起於架構件11之上方，被以第2支撐態樣支撐。
2.3.自框體2取下蓋3時之動作例
蓋3自框體2脫離時，自圖10(c)所示之狀態經由圖10(b)所示之狀態變遷至圖10(a)所示之狀態。以下，簡單地進行說明。
參照圖10(c)、10(b)。結合構件64自突出位置朝退避位置移動，鎖定機構61解除蓋3之固定。蓋用昇降機構65與此種之鎖定機構61之動作(結合構件64之移動)連動，使蓋用支撐構件23下降。藉由蓋用支撐構件23之下降，蓋用支撐構件23於維持對基板W支撐之狀態下將基板W下移。
參照圖10(a)。蓋3自開口A前進至以虛線所示之位置。基板W之後部端部自最深部17b分離，滑落於下傾斜部17a。其結果，基板W被載置於架構件11上。亦即，基板W被以第1支撐態樣支撐。若蓋3自以虛線所示之位置進而朝前方向移動，則蓋用支撐構件23自基板W分離。
3. 實施例3之功效
於轉移至第2支撐態樣時，蓋用昇降機構65使蓋用支撐構件23上昇。藉此，蓋用支撐構件23與基板W不產生滑動而將基板W抬起。於轉移至第1支撐態樣時，蓋用昇降機構65使蓋用支撐構件23下降。藉此，蓋用支撐構件23與基板W不產生滑動，而將基板W下移。藉此，於分別轉移至第1、第2支撐態樣時，可抑制在基板W與蓋用支撐構件23之間之粉塵之產生。
蓋用昇降機構65與將蓋3固定於框體2之動作及解除蓋3對框體2之固定的動作連動，使蓋用支撐構件23相對於框體2昇降。藉此，蓋用昇降機構65不需要具備用以使蓋用支撐構件23昇降之動力源。此外，可於蓋3之對框體2之固定及進行該解除時，轉換基板W之支撐態樣。
具體而言，蓋用昇降機構65與將蓋3固定於框體2之動作連動，使蓋用支撐構件23上昇。藉此，於蓋3被固定於框體2之狀態下，可以第2支撐態樣支撐基板W。此外，蓋用昇降機構65與解除蓋3之對框體2的固定之動作連動，使蓋用支撐構件23下降。藉此，於蓋3不固定於框體2之狀態下，可以第1支撐態樣能支撐基板W。藉此，可於蓋3被固定於框體2之狀態下適宜地搬送基板收納容器1。此外，於蓋3不被固定於框體2之狀態下，只要取下蓋3，即可自基板收納容器1適宜地搬出基板W。
蓋用昇降機構65連動連結於鎖定機構61，利用鎖定機構61之動作，使蓋用支撐構件23昇降。藉此，可簡化且小型化蓋用昇降機構65之構造。
此外，蓋用昇降機構65使蓋用支撐構件23昇降之方 向，不包含水平方向之成分。藉此，於蓋用支撐構件23昇降基板W時，不用擔心基板W之位置朝水平方向偏離。藉此，可將蓋用支撐構件23之下方位置保持為一定。藉此，於朝第1支撐態樣轉移時，始終可將架構件11上之基板W之位置保持一定。
[實施例4]
以下，參照圖式對本發明之實施例4進行說明。以下之說明中，對與實施例1相同之構成，賦予相同之符號並省略詳細之說明。
1. 基板收納容器之構成
參照圖11(a)至圖11(d)。基板收納容器1具備蓋用昇降機構71及蓋用導引機構77。蓋用昇降機構71使蓋用支撐構件23相對於蓋3昇降。蓋用導引機構77導引蓋用支撐構件23。
蓋用昇降機構71具備蓋用連結板72。蓋用連結板72固定於蓋用支撐塊21(蓋用支撐構件23)。蓋用連結板72自蓋用支撐塊21朝下方延伸。蓋用連結板72與蓋用支撐構件23一體移動。
參照圖12(a)。蓋用昇降機構71進而具備固定台73。固定台73固定於框體2之內部。具體而言，固定台73相對於框體2不能移動地被設置在底板部5上。固定台73配置於可與蓋用連結板72接觸位置。固定台73具有與蓋用連結板72接觸而可導引蓋用連結板72之傾斜面73a。傾斜面73a相對於前後方向傾斜。本實施例中，傾斜面73a以越朝後方向越變高之方式傾斜。
實施例4中，框體用支撐構件16直接固定於框體2(後壁部8)。框體用支撐構件16係以可使框體用支撐構件16a、16b、16c之下傾斜部17a分別與載置於架構件11a、11b、11c之基板W 的端部接觸之方式配置。
參照圖11(b)至圖11(d)。蓋用昇降機構71進而具備彈簧74。彈簧74例如為壓縮線圈彈簧。彈簧74之一端固定於蓋3(背面3b)，彈簧74之另一端連結於蓋用支撐塊21(蓋用支撐構件23)。彈簧74追蹤蓋用支撐構件23之移動而伸縮及彎曲。具體而言，藉由蓋用支撐構件23相對於蓋3朝大致水平方向移動，彈簧74進行伸縮。此外，藉由蓋用支撐構件23相對於蓋3朝上下方向移動，彈簧74進行彎曲。其中，大致水平方向例如為前後方向。例如，藉由蓋用支撐構件23靠近蓋3，彈簧74發生彈性變形，對蓋用支撐構件23作用使蓋用支撐構件23自蓋3遠離之方向的恢復力。於蓋3與開口A對向之狀態下，藉由蓋用支撐構件23自蓋3遠離，彈簧74壓縮變形，將蓋用支撐構件23朝框體用支撐構件16推壓。彈簧74係本發明之蓋用彈性構件之例子。
蓋用導引機構77具備連結銷78及導引構件79。連結銷78固定於蓋用支撐塊21(蓋用支撐構件23)。導引構件79固定於蓋3。導引構件79具有用以插入連結銷78之孔。孔係彎曲為大致L字狀。孔之一部分與上下方向平行地延伸，其他部分與前後方向平行地延伸。連結銷78被插入孔內。藉由連結銷78沿導引構件79之孔滑動，蓋用支撐構件23相對於蓋3上下移動及前後移動。
在此，分別將圖11(b)、11(c)、11(d)所示之蓋用支撐構件23之位置稱為「下方位置」、「上方位置」、「收縮位置」。下方位置位於上方位置之正下方，較上方位置低。收縮位置與上方位置為相同之高度。蓋用導引機構77係跨於下方位置與上方位置之間沿上下方向導引蓋用支撐構件23。此外，蓋用導引機構77係跨於 上方位置與收縮位置之間沿前後方向導引蓋用支撐構件23。
參照圖12(a)至圖12(c)。於蓋3與開口A對向且蓋用支撐構件23位於下方位置時，蓋用支撐構件23a、23b、23c之最深部24b，分別與載置於架構件11a、11b、11c之基板W之端部為大致相同之高度。蓋用支撐構件23之下方位置與上方位置之高低差，較架構件11之間距小。
2. 動作例 2.1. 蓋3自框體2取下之狀態
參照圖12(a)。蓋3例如位於以虛線所示之位置。基板W被以第1支撐態樣支撐。蓋用支撐構件23位於下方位置。框體用支撐構件16之下傾斜部17a與基板W之後部端部接觸。
2.2. 將蓋3安裝於框體2時之動作例
若蓋3朝圖12(a)中以實線所示之位置移動，則蓋用支撐構件23之最深部24b與基板W之前部端部接觸，蓋用連結板72與固定台73接觸。
參照圖12(b)。若蓋3進而朝後方向移動，則蓋用連結板72於傾斜面73a向上滑動，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構77而上昇。藉由蓋用支撐構件23之上昇，蓋用支撐構件23將基板W抬起。此外，蓋用支撐構件23還朝後方向推壓基板W。藉此，基板W之後部端部於框體用支撐構件16之下傾斜部17a向上滑動。
若蓋用支撐構件23到達上方位置、且基板W之後部端部到達最深部17b後，則基板W被以第2支撐態樣支撐。
參照圖12(c)。蓋3朝開口A移動，蓋3被安裝於框 體2。蓋用支撐構件23自基板W接受反作用力而朝蓋3靠近，彈簧74壓縮變形。具體而言，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構77而自上方位置朝收縮位置移動。再者，基板W仍為被以第2支撐態樣支撐之狀態。
2.3.自框體2取下蓋3時之動作例
蓋3自框體2脫離時，自圖12(c)所示之狀態經由圖12(b)所示之狀態變遷至圖12(a)所示之狀態。以下，簡單地進行說明。
參照圖12(c)、12(b)。若蓋3自開口A朝前方向移動，彈簧74恢復原狀，蓋用支撐構件23自蓋3遠離。具體而言，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構77而自收縮位置朝上方位置移動。
若蓋3自圖12(b)所示之位置移動至圖12(a)中虛線所示之位置時，則蓋用昇降機構71使蓋用支撐構件23下降。具體而言，蓋用連結板72滑落於傾斜面73a，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構77而自上方位置朝下方位置移動。藉由蓋用支撐構件23之下降，蓋用支撐構件23將基板W下移，而將基板W載置於架構件11。此外，基板W之後部端部，自框體用支撐構件16之最深部17b分離，滑落於下傾斜部17a。其結果，基板W被以第1支撐態樣支撐。
若蓋3朝圖12(a)中以實線所示之位置移動，則蓋用支撐構件23自基板W分離。
3. 實施例4之功效
朝第2支撐態樣轉移時，蓋用昇降機構71使蓋用支撐構件23上昇。蓋用支撐構件23與基板W不滑動而將基板W抬 起。朝第1支撐態樣轉移時，蓋用昇降機構71使蓋用支撐構件23下降。蓋用支撐構件23與基板W不滑動而將基板W下移。藉此，於分別朝第1、第2支撐態樣轉移時，可於基板W與蓋用支撐構件23之間抑制粉塵之產生。
蓋用昇降機構71與將蓋3裝卸於框體2之動作連動，使蓋用支撐構件23昇降。亦即，蓋用昇降機構71利用蓋3之動作，使蓋用支撐構件23昇降。藉此，蓋用昇降機構71不需要具備用以使蓋用支撐構件23昇降之動力源。此外，可於將蓋3裝卸於框體2時，轉換基板W之支撐態樣。
由於蓋用昇降機構71與將蓋3安裝於框體2之動作連動而使蓋用支撐構件23上昇，因此於蓋3被安裝於框體2之狀態下，基板W被以第2支撐態樣支撐。此外，蓋用昇降機構71與蓋3自框體2脫離之動作連動，使蓋用支撐構件23下降，因此於蓋3自框體2分離之狀態，基板W被以第1支撐態樣支撐。藉此，可於蓋3被安裝於框體2之狀態下適宜地搬送基板收納容器1，於蓋3自框體2分離之狀態下，可適宜地自基板收納容器1搬出基板W。
固定台73固定設置於框體2之內部。固定台73之傾斜面73a，在將蓋3裝卸於框體2時與蓋用支撐構件23(間接地)滑動而使蓋用支撐構件23昇降。根據此種固定台73，可相互轉換蓋3之前後移動及蓋用支撐構件23之上下移動。
以第2支撐態樣支撐基板W時，蓋用支撐構件23之自重由固定台73支承，因此不對基板W作用。亦即，以第2支撐態樣支撐基板W時，蓋用支撐構件23不會對基板W施加不必要之 力。藉此，可更適宜地保護基板W。
蓋用支撐構件23係可於水平方向(具體而言為前後方向)移動地設置。藉此，可使框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23之間隔，與基板W之外形尺寸一致。藉此，即使於基板W之外形尺寸有偏差或誤差之情況，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23，仍可以第2支撐態樣適宜地支撐基板W。
於蓋3安裝於框體2之狀態下，彈簧74朝後方向推壓蓋用支撐構件23。蓋用支撐構件23將基板W按壓於框體用支撐構件16。藉此，可根據基板W之外形尺寸，自動地調整框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23之間隔。此外，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23可以適度之強度夾持基板W。
由於蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構77而移動，因此可將蓋用支撐構件23之下方位置保持一定。例如，每當蓋用支撐構件23昇降，皆可適宜地防止蓋用支撐構件23之下方位置於水平方向發生偏離。藉此，於朝第1支撐態樣轉移時，始終可將架構件11上之基板W的位置保持一定。亦即，可防止以第1支撐態樣支撐之基板W之位置偏離。
尤其是，蓋用導引機構77於下方位置與上方位置之間導引蓋用支撐構件23之方向，僅為上下方向之成分，不包含水平方向之成分。藉此，不用擔心蓋用支撐構件23之下方位置會於水平方向偏離。藉此，於朝第1支撐態樣轉移時，始終可更確實地保持架構件11上之基板W之位置。
[實施例5]
以下，參照圖式對本發明之實施例5進行說明。以下 之說明中，對與實施例1、3相同之構成，賦予相同之符號並省略詳細之說明。
1. 基板收納容器之構成
參照圖13(a)、13(b)。圖13(a)、13(b)分別顯示蓋3之前視圖及側視圖。基板收納容器1具備蓋用導引機構81。蓋用導引機構81相對於蓋3可昇降地導引蓋用支撐構件23。蓋用導引機構81具備連結銷82及導引構件83。連結銷82固定於蓋用支撐塊21(蓋用支撐構件23)。導引構件83固定於蓋3。導引構件83具有用以插入連結銷82之孔。孔相對於前後方向傾斜。更詳細而言，孔以越朝前方向變得越高之方式傾斜。連結銷82被插入孔內。藉由連結銷82相對於導引構件83滑動，蓋用支撐構件23一面相對於蓋3昇降一面前後移動。亦即，蓋用導引機構81導引蓋用支撐構件23之方向，包含上下方向之成分及前後方向之成分。
以下，將圖13(a)、(b)所示之蓋用支撐構件23可移動之最低位置稱為「下方位置」，將蓋用支撐構件23可移動之最高位置稱為「上方位置」。圖13(a)顯示蓋用支撐構件23之下方位置，圖13(b)顯示蓋用支撐構件23之上方位置。
參照圖14(a)至圖14(c)。框體用支撐構件16經由固定臂15被固定於框體2。框體用支撐構件16之最深部17b，與載置於架構件11之基板W之端部為大致相同之高度。
於蓋3與開口A對向且蓋用支撐構件23位於下方位置時，蓋用支撐構件23之最深部24b，與載置於架構件11之基板W之端部為大致相同之高度。蓋用支撐構件23之下方位置與上方位置之高低差，係較架構件11之間距小。
2. 動作例 2.1. 蓋3自框體2分離之狀態
參照圖14(a)。蓋3例如位於圖14(a)所示之位置。基板W被以第1支撐態樣支撐。框體用支撐構件16之最深部17b與基板W接觸。蓋用支撐構件23位於下方位置。
2.2. 將蓋3安裝於框體2時之動作例
若蓋3自圖14(a)所示之位置朝圖14(b)所示之位置移動，則蓋用支撐構件23之最深部24b與基板W之前部端部接觸。
若蓋3進而朝後方向移動，則蓋用支撐構件23接收自基板W朝前方向之推壓(反作用力)。藉此，蓋用支撐構件23一面靠近蓋3一面上昇。具體而言，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構81而自下方位置上昇。藉由蓋用支撐構件23之上昇，蓋用支撐構件23於維持以最深部17b支撐基板W之狀態下，將基板W抬起。此時，基板W之後部端部仍維持被支撐於框體用支撐構件16之最深部17b之狀態。
參照圖14(c)。蓋3朝開口A移動，將蓋3安裝於框體2。蓋用支撐構件23到達上方位置。藉此，基板W被以第2支撐態樣支撐。
2.3.自框體2取下蓋3時之動作例
參照圖14(c)、14(b)。若蓋3自開口A朝前方向移動，則蓋用支撐構件23藉由自重下降。具體而言，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構81而自上方位置朝下方位置移動。藉由蓋用支撐構件23之下降，蓋用支撐構件23於維持對基板W支撐之狀態下，將基板W下移，而將基板W載置於架構件11。藉此，基板W被 以第1支撐態樣支撐。
若蓋3進而朝前方向移動，則如圖14(a)所示，蓋用支撐構件23自基板W分離。
3. 實施例5之功效
於自第1態樣朝第2支撐態樣轉移時，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構81而上昇。藉此，蓋用支撐構件23與基板W不滑動而將基板W抬起。於自第2支撐態樣朝第1支撐態樣轉移時，蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構81而下降。藉此，蓋用支撐構件23與基板W不滑動而將基板W下移。藉此，於朝第1、第2支撐態樣之任一態樣轉移時，皆可抑制基板W與蓋用支撐構件23之間之粉塵之產生。
蓋用支撐構件23與將蓋3裝卸於框體2之動作連動而昇降。藉此，可於將蓋3裝卸於框體2時，轉換基板W之支撐態樣。
由於蓋用支撐構件23與將蓋3安裝於框體2之動作連動而上昇，因此於蓋3被安裝於框體2之狀態下，基板W被以第2支撐態樣支撐。此外，由於蓋用支撐構件23與蓋3自框體2脫離之動作連動而下降，因此於蓋3自框體2分離之狀態下，基板W被以第1支撐態樣支撐。
蓋3之動作經由基板W傳遞至蓋用支撐構件23。亦即，基板W係使蓋3之動作及蓋用支撐構件23之動作連動。藉此，可省略實施例3之蓋用昇降機構65，可簡化基板收納容器1之構造。
由於蓋用支撐構件23藉由蓋用導引機構81而移動，因此可將蓋用支撐構件23之下方位置保持一定。例如，每當蓋用 支撐構件23昇降，皆可適宜地防止蓋用支撐構件23之下方位置在水平方向偏離。藉此，於朝第1支撐態樣轉移時，始終可將架構件11上之基板W之位置保持一定。亦即，可防止以第1支撐態樣支撐之基板W的位置偏離。
導引構件83具有之孔，相對於前後方向傾斜。藉此，導引構件83可適宜地將蓋3之前後移動轉換為框體用支撐構件16之上下移動。
蓋用導引機構81導引蓋用支撐構件23之方向，除了上下方向之成分外，還包含前後方向之成分。因此，蓋用支撐構件23可朝靠近及遠離框體用支撐構件16之方向移動。藉此，可使框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23之間隔，與基板W之外形尺寸一致。
以第2支撐態樣支撐基板W時，蓋用支撐構件23藉由其自重，將基板W按壓於框體用支撐構件16。藉此，可容易地使框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23之間隔，與基板W之外形尺寸一致。此外，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23可以適度之強度夾持基板W。
本發明不限上述實施形態，也可如下述變形實施。
(1)於上述實施例1中，例如，也可構成為可朝水平方向移動框體用支撐構件16，並且，框體用昇降機構31進而具備框體用彈性構件。框體用彈性構件藉由框體用支撐構件16朝水平方向移動而彈性變形，對框體用支撐構件16作用恢復力。以下，參照圖式例示2個變形實施例。再者，對與實施例1相同之構成，賦予相同之符號並省略詳細之說明。
參照圖15。於圖15所示之變形實施例中，框體用昇降機構31具備框體用連結板33、可動台34、桿35及彈簧91。彈簧91例如為壓縮線圈彈簧。彈簧91配置於框體2與框體用支撐構件16之間。彈簧91之一端連結於框體2，彈簧91之另一端連結於框體用支撐構件16。若框體用支撐構件16相對於框體2朝後方向移動，則彈簧91壓縮變形，將框體用支撐構件16朝前方向推壓。
參照圖16。圖16所示之變形實施例中，框體用昇降機構31具備可動台34、桿35、框體用連結板92及彈簧93。框體用連結板92可滑動地與可動台34(傾斜面34a)接觸。彈簧93配置於框體用連結板92與框體用支撐構件16之間。彈簧93之一端連結於框體用連結板92，彈簧93之另一端連結於框體用支撐構件16。若框體用支撐構件16相對於框體用連結板92朝後方向移動，則彈簧93彈性變形，將框體用支撐構件16朝前方向推壓。
上述彈簧91、93分別為本發明之框體用彈性構件之例子。
根據該等變形實施例，由於框體用昇降機構31具備彈簧91或彈簧93，因而框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23，可以第2支撐態樣適宜地支撐基板W。
(2)上述實施例1及變形實施例中，基板收納容器1進而可具備導引框體用支撐構件16之框體用導引機構。以下，例示2個變形實施例。
參照圖17。於圖17所示之變形實施例中，基板收納容器1具備框體用導引機構95。框體用導引機構95具備連結銷96及導引構件97。連結銷96固定於框體用支撐塊14(框體用支撐構 件16)。導引構件97固定於框體2。導引構件97具有用以插入連結銷96之孔。孔既可與上下方向平行地延伸，也可相對於前後方向傾斜。圖17中顯示以越朝後方向越變高之方式傾斜之孔。藉由連結銷96相對於導引構件97滑動，框體用支撐構件16相對於框體2朝上下方向及前後方向移動。
根據本變形實施例，框體用導引機構95可將框體用支撐構件16朝規定之方向導引。
參照圖18。圖18所示之變形實施例中，框體用昇降機構31具備可動台34及桿35，進而，具備圖16例示之框體用連結板92及彈簧93。進而，基板收納容器1具備框體用導引機構101。框體用導引機構101具備連結桿102及導引構件103。連結桿102固定於框體用連結板92。導引構件103固定於框體2。導引構件103具有用以插入連結桿102之孔。孔既可與上下方向平行地延伸，也可相對於前後方向傾斜。圖18中顯示與上下方向平行地延伸之孔。連結桿102被插入孔內。連結桿102可沿孔平行移動，但連結桿102不能繞其軸心旋轉。藉由連結桿102相對於導引構件103滑動，框體用連結板92相對於框體2昇降，藉由框體用連結板92之昇降，框體用支撐構件16相對於框體2昇降。如此，框體用導引機構101經由框體用連結板92來導引框體用支撐構件16。
(3)上述實施例1中，也可省略彈簧32。根據本變形實施例，框體用昇降機構31也可利用作用於框體用支撐構件16之重力，使框體用支撐構件16下降。
(4)上述實施例2中，基板收納容器1也可具備框體用彈性構件。
參照圖19。基板收納容器1具備彈簧105。彈簧105配置於框體2與框體用支撐構件16之間。彈簧105之一端連結於框體2，彈簧105之另一端連結於框體用支撐構件16。若框體用支撐構件16相對於框體2朝後方向移動，則彈簧105壓縮變形，將框體用支撐構件16朝前方推壓。換言之，彈簧105藉由框體用支撐構件16自蓋用支撐構件23遠離而彈性變形，將框體用支撐構件16朝蓋用支撐構件23推壓。彈簧105為本發明之框體用彈性構件之例子。
根據此種變形實施例，基板收納容器1具備彈簧105，因此框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23，可以第2支撐態樣適宜地支撐基板W。
(5)上述實施例3中，蓋用昇降機構65也可具備蓋用彈性構件。蓋用彈性構件設置於蓋3與蓋用支撐構件23之間，且藉由蓋用支撐構件23相對於蓋3於水平方向移動而彈性變形，對蓋用支撐構件23作用恢復力。以下，例示變形實施例。
參照圖20(a)、20(b)。蓋用昇降機構65除了齒輪66與齒條67外，還具備彈簧111。彈簧111配置於齒條67與蓋用支撐構件23之間。彈簧111之一端連結於齒條67，彈簧111之另一端連結於蓋用支撐構件23。若蓋用支撐構件23靠近齒條67(蓋3)，則彈簧111壓縮變形，朝自齒條67(蓋3)遠離之方向推壓蓋用支撐構件23。換言之，彈簧111藉由框體用支撐構件23自蓋用支撐構件16遠離而彈性變形，將框體用支撐構件23朝蓋用支撐構件16推壓。彈簧111為本發明之框體用彈性構件之例子。
根據本變形實施例，由於蓋用昇降機構65具備彈簧 111，因此框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23，可以第2支撐態樣適宜地支撐基板W。
(6)上述實施例3及變形實施例中，基板收納容器1也可進而具備導引蓋用支撐構件23之蓋用導引機構。以下，例示變形實施例。
參照圖21(a)、21(b)。蓋用昇降機構65除了齒輪66與齒條67外，還具備圖20(a)、20(b)例示之彈簧111。進而，基板收納容器1具備蓋用導引機構113。蓋用導引機構113具備連結銷114及導引構件115。連結銷113固定於蓋用支撐塊21。導引構件115固定於齒條67。導引構件115具有用以插入連結銷114之孔。孔於前後方向延伸。連結銷114被插入孔內。藉由連結銷114相對於導引構件115滑動，蓋用支撐構件23相對於齒條67(蓋3)朝前後方向移動。根據本變形實施例，蓋用導引機構113可將蓋用支撐構件23朝規定之方向導引。
(7)上述實施例4中，也可省略彈簧74。此情況下，較佳為，導引構件79具有朝相對於前後方向傾斜之方向延伸之孔。根據此變形實施例，也可利用作用於蓋用支撐構件23之重力及蓋用支撐構件23自基板W接受之推壓，使蓋用支撐構件23朝前後方向移動。
此外，上述實施例4中，也可省略蓋用導引機構77。根據此變形實施例，蓋用昇降機構71仍可適宜地使蓋用支撐構件23昇降。
(8)上述實施例5中，基板收納容器1進而可具備蓋用彈性構件。
參照圖22(a)、22(b)。基板收納容器1具備彈簧117。彈簧117配置於蓋3與蓋用支撐構件23之間。彈簧117之一端連結於蓋3，彈簧117之另一端連結於蓋用支撐構件23。彈簧117隨著蓋用支撐構件23靠近蓋3，彈簧117發生彈性變形，而朝自蓋3遠離之方向推壓蓋用支撐構件23。換言之，彈簧117藉由蓋用支撐構件23自框體用支撐構件16遠離而彈性變形，將蓋用支撐構件23朝框體用支撐構件16推壓。彈簧117為本發明之蓋用彈性構件之例子。
根據本變形實施例，由於基板收納容器1具備彈簧117，因此框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23，可以第2支撐態樣適宜地支撐基板W。
(9)基板收納容器1也可具備實施例1、2中說明之框體用昇降機構31及框體用導引機構51之任一者、及實施例3至5中說明之蓋用昇降機構65、71及蓋用導引機構81之任一者。
例如，於圖23(a)所示之變形實施例中，基板收納容器1具備實施例1之框體用昇降機構31及實施例3之蓋用昇降機構65。例如，於圖23(b)所示之變形實施例中，基板收納容器1具備實施例2之框體用導引機構51及實施例5之蓋用導引機構81。根據該等變形實施例，於朝第1、第2支撐態樣之任一者轉移時，框體用支撐構件16與蓋用支撐構件23之雙方與基板W也不滑動。藉此，能有效地抑制粉塵之產生。進而，由於水平地夾持基板W，因此可更穩定地收納基板W。
(10)上述各實施例中，複數之框體用支撐構件16被一體成形，但不限於此。例如，各框體用支撐構件16也可相互分 離。關於蓋用支撐構件23之構造，也可同樣地變更。
(11)上述各實施例中，於蓋3自框體2分離之狀態下，框體用支撐構件16與基板W接觸，但不限於此。即，於蓋3自框體2分離之狀態下，框體用支撐構件16也可不與基板W接觸。
(12)上述各實施例中，也可適宜地變更框體用支撐構件16及蓋用支撐構件23之形狀。例如，於框體用支撐構件16僅以最深部17b與基板W接觸之情況下，也可省略下傾斜部17a或上傾斜部17c。同樣地，於蓋用支撐構件23僅以最深部24b與基板W接觸之情況下，也可省略下傾斜部24a或上傾斜部24c。
(13)上述各實施例中，複數之框體用支撐構件16於上下方向排列成一列而配置，但不限於此。複數之框體用支撐構件16也可於上下方向排列成複數列而配置。複數之框體用支撐構件16也可於上下方向交錯配置。關於蓋用支撐構件23之配置，也可同樣地變更。
(14)上述各實施例中，基板收納容器1也可進而具備用以遮蔽框體2內之氣體環境之遮蔽構件。或者，基板收納容器1還可進而具備用以保持框體2內之基板W周圍之空間的清潔之遮蔽構件。
例如，遮蔽構件也可於支撐有基板W之空間與設置有框體用昇降機構31之至少一部分的空間之間，將氣體環境遮蔽。或者，遮蔽構件也可於支撐有基板W之空間與設置有框體用導引機構51之至少一部分的空間之間，將氣體環境遮蔽。根據該等變形實施例，可防止藉由框體用昇降機構31或框體用導引機構51產生之粉塵進入支撐有基板W之空間。其結果，可適宜地防止粉塵 沾附於基板W。
參照圖24。基板收納容器1具備隔壁121及波紋管123而作為遮蔽構件。隔壁121係將支撐有基板W之空間S1自設置有框體用昇降機構31之空間S2隔離。於隔壁121形成有用以插入框體用支撐構件16之開口。框體用支撐構件16係設置為貫通隔壁121。於框體用支撐構件16安裝有波紋管123。波紋管123之基端部被安裝於隔壁121。波紋管123追蹤框體用支撐構件16之移動而可伸縮或/及彎曲。該等隔壁121及波紋管123係遮斷空間S1與空間S2之氣體環境。
再者，於隔壁121固定於框體2之情況，也可將彈簧32或導引構件53等安裝於隔壁121。
作為其他例子，也可將遮蔽構件安裝於蓋3。藉此，可防止藉由蓋用昇降機構65、71或蓋用導引機構77、81產生之粉塵進入支撐有基板W之空間。
(15)上述各實施例中，基板收納容器1還可進而具備將氣體供給於框體2內之氣體供給口、及排出框體2內之氣體之氣體排出口。氣體供給口及氣體排出口較佳可配置為，使氣體自基板W朝流向框體用昇降機構31或框體用導引機構51之後方向流動。例如，也可將氣體供給口配置於較氣體排出口靠前方向。此外，也可將氣體供給口配置於較氣體排出口靠下方。藉此，可使藉由框體用昇降機構31或框體用導引機構51產生之粉塵，不通過支撐有基板W之空間而朝框體2之外部排出。
圖25為上述變形實施例之基板收納容器1之俯視圖。於底板部5之靠近開口A之位置形成有與空間S1連通之複數 個氣體供給口201。該氣體供給口201連接於氣體供給埠(未圖示)。氣體供給埠可與供給氣體之外部機器連接。此外，於底板部5之靠近後壁部8之位置形成有與空間S2連通之複數個氣體排出口202。於該氣體排出口202配置有氣體排出埠(未圖示)。氣體排出供給埠可與排出氣體之外部機器連接。進而，於隔壁121之後方向之部位，上下方向排列地形成有複數個連通孔203。空間S1與空間S2通過該等連通孔203而連通。
若基板收納容器1被載置於載置台44上，則氣體供給埠與外部機器連接，氣體排出埠與外部機器連接。外部機器通過氣體供給埠朝基板收納容器1供給惰性氣體等之氣體，且通過氣體排出埠自基板收納容器1排出氣體。供給於基板收納容器1之氣體，通過氣體供給口201流入空間S1。空間S2之氣體通過氣體排出口202被排出於基板收納容器1之外部。藉此，於框體2之內部形成有自空間S1通過連通孔203朝向空間S2之氣流。該氣流之方向為大致後方向。其結果，空間S1內之氣體被朝空間S2排出。惟，空間S2內之氣體朝空間S1之流入被抑制。
(16)上述實施例4、5中，導引構件79、83係與蓋3為不同之構成，但不限於此。亦即，蓋3與導引構件79、83也可為一體。例如，也可於蓋3形成供連結銷78、82滑動之槽。例如，也可於蓋3之內部(具體而言，自蓋3之背面3b凹陷之位置)形成槽。進而，也可於蓋3之背面3b形成可收容蓋用支撐構件23之至少一部分之凹部。根據該等變形實施例，可將蓋3及蓋用支撐構件23整體薄型化。
(17)上述各實施例中，裝載埠裝置420、421、422分 別具備1個載置台44，但不限於此。亦即，也可變更為具備複數個載置台之裝載埠裝置。此外，上述實施例中，裝載埠裝置420、421、422分別為載置1個基板收納容器1者，但不限於此。亦即，也可變更為可載置複數之基板收納容器1之裝載埠裝置。
(18)關於上述各實施例1-5及上述(1)至(17)說明之各變形實施例，也可藉由再將各構成與其他實施例之構成或其他變形實施例之構成置換或組合等而適宜地變更。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧框體
3‧‧‧蓋
3b‧‧‧背面
11‧‧‧架構件
16‧‧‧框體用支撐構件
23‧‧‧蓋用支撐構件
31‧‧‧框體用昇降機構
32‧‧‧彈簧
33‧‧‧框體用連結板
34‧‧‧可動台
34a‧‧‧傾斜面
35‧‧‧桿
A‧‧‧開口
S‧‧‧空間
W‧‧‧基板

Claims (22)

  1. 一種基板收納容器，其具備：框體，其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下，以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；框體用昇降機構，其使上述框體用支撐構件相對於上述框體昇降；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；及蓋用支撐構件，其安裝於上述蓋之背面，支撐基板之端部；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係以基板之下面與上述架構件不接觸之狀態夾持基板之端部，於自上述架構件對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐時，藉由上述框體用昇降機構使上述框體用支撐構件上昇，上述框體用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐轉移至上述架構件對基板的支撐時，藉由上述框體用昇降機構使上述框體用支撐構件下降，上述框體用支撐構件將基板下移。
  2. 如請求項1之基板收納容器，其中，上述框體用昇降機構係與上述蓋裝卸於上述框體之動作連動地使上述框體用支撐構件昇降。
  3. 如請求項2之基板收納容器，其中，上述框體用昇降機構具備於將上述蓋裝卸於上述框體時在上述框體內部移動之可動台，藉由將上述可動台之移動轉換為上下方向之移動，而使上述框體用支撐構件昇降。
  4. 如請求項1至3中任一項之基板收納容器，其中，上述框體用昇降機構具備框體用彈性構件，該框體用彈性構件藉由上述框體用支撐構件朝大致水平方向移動而彈性變形，對上述框體用支撐構件作用恢復力。
  5. 如請求項1至3中任一項之基板收納容器，其中，具備導引上述框體用支撐構件之框體用導引機構。
  6. 一種基板收納容器，其具備：框體，於其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下，以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；框體用導引機構，其相對於上述框體可昇降地導引上述框體用支撐構件；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；及蓋用支撐構件，其安裝於上述蓋之背面，保持基板之端部；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係以基板之下面與上述架構件不接觸之狀態夾持基板之端部，於自上述架構件對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐時，藉由上述框體用支撐構件沿上述框體用導引機構上昇，上述框體用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐轉移至上述架構件對基板的支撐時，藉由上述框體用支撐構件沿上述框體用導引機構下降，上述框體用支撐構件將基板下移。
  7. 如請求項6之基板收納容器，其中，上述框體用支撐構件係與 上述蓋裝卸於上述框體之動作連動而昇降。
  8. 如請求項6或7之基板收納容器，其中，具備框體用彈性構件，該框體用彈性構件藉由上述框體用支撐構件朝大致水平方向移動而彈性變形，對上述框體用支撐構件作用恢復力。
  9. 如請求項1至3、6及7中任一項之基板收納容器，其中，上述蓋用支撐構件可相對於上述蓋昇降，上述基板收納容器具備蓋用昇降機構，該蓋用昇降機構係使上述蓋用支撐構件相對於上述蓋昇降，於自上述架構件對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐轉移至上述架構件對基板的支撐時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件下降，上述框體用支撐構件將基板下移。
  10. 如請求項1至3、6及7中任一項之基板收納容器，其中，上述蓋用支撐構件可相對於上述蓋昇降，上述基板收納容器具備蓋用導引機構，該蓋用導引機構相對於上述蓋可昇降地導引上述蓋用支撐構件，於自上述架構件對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐轉移至上述架構件對基板的支撐時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構下降，上述蓋用支撐構件將基板下移。
  11. 一種基板收納容器，其具備：框體，其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下，以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；蓋用支撐構件，其可相對於上述蓋昇降地安裝於上述蓋之背面，支撐基板之端部；及蓋用昇降機構，其使上述蓋用支撐構件相對於上述蓋昇降；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係以基板之下面與上述架構件不接觸之狀態夾持基板之端部，於自上述架構件對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐轉移至上述架構件對基板的支撐時，藉由上述蓋用昇降機構使上述蓋用支撐構件下降，上述框體用支撐構件將基板下移。
  12. 如請求項11之基板收納容器，其中，上述蓋用昇降機構係與將上述蓋固定於上述框體之動作及解除上述蓋對上述框體的固定之動作連動地，使上述蓋用支撐構件相對於上述框體昇降。
  13. 如請求項12之基板收納容器，其中，具備將上述蓋固定於上述框體之鎖定機構，上述蓋用昇降機構係連動連結於上述鎖定機構，與上述鎖定機構之動作連動而使上述蓋用支撐構件昇降。
  14. 如請求項11之基板收納容器，其中，上述蓋用昇降機構係與上述蓋裝卸於上述框體之動作連動地使上述蓋用支撐構件昇降。
  15. 如請求項14之基板收納容器，其中，上述蓋用昇降機構具備固定台，該固定台固定地設於上述框體之內部，上述固定台具有在上述蓋裝卸於上述框體時與上述蓋用支撐構件滑動而使上述蓋用支撐構件昇降之傾斜面。
  16. 如請求項11至15中任一項之基板收納容器，其中，上述蓋用昇降機構具備蓋用彈性構件，該蓋用彈性構件藉由上述蓋用支撐構件靠近上述蓋而彈性變形，對上述蓋用支撐構件作用恢復力。
  17. 如請求項11至15中任一項之基板收納容器，其中，具備導引上述蓋用支撐構件之蓋用導引機構。
  18. 一種基板收納容器，其具備：框體，於其內部可收容基板，且於其前面具有開口；架構件，其設於上述框體之內部，在與基板之下面接觸之狀態下，以大致水平姿勢支撐基板；框體用支撐構件，其設於上述框體之內部，支撐基板之端部；蓋，其裝卸於上述框體，以開閉上述開口；蓋用支撐構件，其可相對於上述蓋昇降地安裝於上述蓋之背面，支撐基板之端部；及蓋用導引機構，其相對於上述蓋可昇降地導引上述蓋用支撐構件；上述框體用支撐構件與上述蓋用支撐構件，係以基板之下面與上述架構件不接觸之狀態，夾持基板之端部，於自上述架構件對基板的支撐轉移至上述框體用支撐構件及上 述蓋用支撐構件對基板的支撐轉移時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構上昇，上述蓋用支撐構件將基板抬起，於自上述框體用支撐構件及上述蓋用支撐構件對基板的支撐轉移至上述架構件對基板的支撐時，藉由上述蓋用支撐構件沿上述蓋用導引機構下降，上述蓋用支撐構件將基板下移。
  19. 如請求項18之基板收納容器，其中，上述蓋用支撐構件係與上述蓋裝卸於上述框體之動作連動而昇降。
  20. 如請求項18或19之基板收納容器，其中，具備蓋用彈性構件，該蓋用彈性構件藉由上述蓋用支撐構件靠近上述蓋而彈性變形，對上述蓋用支撐構件作用恢復力。
  21. 一種裝載埠裝置，其具備：載置台，其可載置請求項1至20中任一項之基板收納容器；及蓋開閉機構，其對載置於上述載置台之上述基板收納容器的上述蓋進行開閉。
  22. 一種基板處理裝置，其具備：載置台，其可載置請求項1至20中任一項之基板收納容器；蓋開閉機構，其對載置於上述載置台之上述基板收納容器的上述蓋進行開閉；處理單元，其對基板進行處理；及搬送機構，其自載置於上述載置台之上述基板收納容器搬出基板，並搬入上述處理單元。
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