JP2010212644A - 蓋体開閉システム、蓋体開閉装置、搬送容器及び蓋体開放方法 - Google Patents

蓋体開閉システム、蓋体開閉装置、搬送容器及び蓋体開放方法 Download PDF

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Teruo Asakawa
輝雄 浅川
Kenjiro Nawa
健二郎 名和
Shinji Wakabayashi
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Abstract

【課題】被処理体を収容する容器本体と、その開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉する、簡単な構成の蓋体開閉システムを提供すること。
【解決手段】蓋体を容器本体から取り外して保持する保持部材と、前記蓋体と容器本体とが結合されかつ蓋体と保持部材とが結合されていない状態とする一方の位置と、蓋体と保持部材とが結合されかつ蓋体と容器本体とが結合されていない状態とする他方の位置との間で蓋体と平行にかつ直線的に移動可能に設けられた作動部材と、作動部材を移動させる動作機構と、を備えたシステムに用いられ、少なくとも前記動作機構と保持部材と搬送容器を保持するための保持部とを備えるようにシステムを構成する。それら結合の形成及び解除によって容器本体、保持部材が夫々蓋体を保持することができるため、蓋体を保持するための真空吸着機構を蓋体開閉システムに設ける必要が無くなる。
【選択図】図５

Description

本発明は、被処理体を収容する容器本体と、この容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉する蓋体開閉システム、蓋体開閉装置、そのシステムに用いられる搬送容器及び蓋体開放方法に関する。
半導体デバイスの製造工程においては、基板である半導体ウエハ（以下、ウエハという）をＦＯＵＰと呼ばれる密閉型のキャリアに収納して搬送する。このキャリアは複数枚のウエハを収容し、その前面に開口部が設けられた容器本体であるキャリアフレームと、その開口部を開閉するための着脱自在な蓋体であるキャリアドアとを備えている。キャリアの搬送時にはキャリアドアはキャリアフレームに対して固定手段により固定されている。
また、このキャリアが搬送される半導体製造装置は、例えばウエハにエッチング処理や成膜処理などの各種の処理を真空状態で行うための処理モジュールと、その処理モジュールにキャリアからのウエハを搬送する搬送室と、搬送室と処理モジュールとの間でウエハを搬送するための搬送手段と、を備えており、搬送室、処理モジュールは夫々区画壁により区画されている。
その搬送室の側壁は、当該搬送室へウエハを搬入する開口部を備えたロードポートフレームとして構成され、このロードポートフレームと、搬送室の外側でキャリアが載置される載置台と、その開口部を塞ぐように位置するロードポートドアとにより、前記キャリアドアを開閉するためのロードポートが構成されている。前記ロードポートドアは半導体製造装置へ供給される用力を利用し、キャリアドアを真空吸着して保持する真空吸着機構を備えている。
キャリアが前記ロードポートの載置台に載置されると、キャリアドアとロードポートドアとが対向すると共にロードポートフレームがキャリアフレームに密着するようにキャリアが配置される。そして、キャリアドアはロードポートドアに真空吸着されることにより密着し、続いてキャリアドアフレームとキャリアドアとの固定が解除される。然る後ロードポートドアは、その真空吸着によりキャリアドアを保持した状態で移動して、キャリアドアが開かれ、キャリア内と搬送室内とが連絡し、例えば前記搬送手段によりウエハが順次半導体製造装置内へと搬送される。このようにウエハの搬送を行うことで、装置の外部雰囲気が搬送室を介して処理モジュール内の雰囲気に影響を与えることを抑えている。キャリアドアによりキャリアの開口部を閉じる場合にはこのように開口部を開くときと逆の動作が行われる。
しかし、このようにロードポートに真空吸着機構を設けてキャリアドアの開閉を行うことは、半導体製造装置を構成する部品の数が多くなるし、その開閉のための動作工程数が多いのでスループットの向上の妨げになるおそれがある。また、半導体製造装置への用力の供給が停止してしまうと、ロードポートドアはキャリアドアを保持できず、キャリアドアが当該ロードポートドアから落下して破損してしまうおそれがある。
特許文献１には上記のようなロードポートを備えた半導体製造装置及び前記キャリアについて記載されているが、このような問題を解決する手段については記載されていない。
特開２０００−１５０６１３
本発明はこのような事情に基づいて行われたものであり、その目的は被処理体を収容する容器本体と、その前面に設けられた開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉することができる、簡単な構成の蓋体開閉システム、蓋体開閉装置、前記システムに用いられる搬送容器及び蓋体開放方法を提供することである。
本発明の搬送容器の蓋体開閉システムは、被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉するシステムであって、
前記蓋体を容器本体から取り外して保持するための保持部材と、
前記蓋体と容器本体とが結合されかつ蓋体と保持部材とが結合されていない状態とするための一方の位置と、蓋体と保持部材とが結合されかつ蓋体と容器本体とが結合されていない状態とするための他方の位置と、の間で前記蓋体と平行にかつ直線的に移動可能に設けられた作動部材と、
この作動部材を前記一方の位置と前記他方の位置との間で移動させるための動作機構と、を備えたことを特徴とする。このシステムにおいて例えば前記作動部材は、少なくとも前記搬送容器に設けられ、
前記容器本体及び蓋体の一方には、前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に作動部材が他方の位置に置かれているときに当該結合が解除された状態にある結合部が設けられ、
前記蓋体及び保持部材の一方には、前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に前記作動部材が一方の位置にあるときには当該結合が解除されている状態にある結合部が設けられている。
前記作動部材は前記蓋体に設けられ、
前記容器本体には、前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
前記保持部材には、前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される第２の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられていてもよい。またこの場合、例えば前記、第１の結合部は、作動部材により駆動される第１の被結合部と結合するときには当該第１の被結合部よりも保持部材側に位置し、また第２の結合部は作動部材により駆動される第２の被結合部と結合するときには当該第２の被結合部よりも容器本体側に位置し、
前記作動部材は、移動方向に伸びる軸の回りに回動自在に構成され、
前記作動部材により駆動される第１の被結合部及び第２の被結合部が夫々容器本体の第１の結合部及び保持部材の第２の結合部を押圧する方向に作動部材を回動させるように付勢された付勢手段と、
前記動作機構により作動部材を直線的に移動させる前に、当該作動部材を前記付勢手段の付勢力に抗して回動させるための回動機構と、が設けられている。
前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
前記蓋体には、前記第一作動部材が前記第１の位置に置かれるときに当該第一作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記第一作動部材が前記第２の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
前記蓋体には、前記第二作動部材が前記第４の位置に置かれるときに当該第二作動部材により駆動される第２の被結合部に機械的または磁気的に結合すると共に前記第二作動部材が前記第３の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられ、
前記動作機構は、前記第一作動部材を第１の位置と第２の位置との間で直線的に移動させると共に前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させるためのものであり、
前記第一作動部材及び第二作動部材が同時に移動するように構成されていてもよく、この場合例えば、前記第一作動部材及び第二作動部材は互いに連動して移動するように構成されていてもよい。また、搬送容器の蓋体における前面には透孔部が形成され、
この透孔部は、第二作動部材により駆動される第２の被結合部が挿入されるための挿入領域と、この挿入領域に挿入された部分を前記第４の位置に対応する終端領域に案内する案内領域と、を備えていてもよい。
また、前記案内領域は、前記挿入領域に挿入された部分を終端領域に呼び込むために、前記挿入領域から終端領域に向かうにつれて孔の幅が狭くなっていてもよく、また、前記透孔部は例えばＴ字形状である。前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように蓋体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
前記容器本体には、前記第一作動部材が前記第１の位置に置かれるときに当該第一作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記第一作動部材が前記第２の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
前記蓋体には、前記第二作動部材が前記第４の位置に置かれるときに当該第二作動部材により駆動される第２の被結合部に機械的または磁気的に結合すると共に前記第二作動部材が前記第３の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられ、
前記動作機構は、前記第一作動部材を第１の位置と第２の位置との間で直線的に移動させると共に前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させるためのものであり、
前記第一作動部材及び第二作動部材が同時に移動するように構成されていてもよい。その場合、例えば前記動作機構は、前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させ、
前記第二作動部材が第３の位置から第４の位置に移動させられるときには、前記第一作動部材が第１の位置から前記第２の位置に移動させられるように連動し、また前記第二作動部材が第４の位置から第３の位置に移動させられるときには、前記第一作動部材が第２の位置から前記第１の位置に移動させられるように連動するように構成されていてもよい。
また、搬送容器の蓋体における前面には透孔部が形成され、
この透孔部は、第二作動部材により駆動される第２の被結合部が挿入されるための挿入領域と、この挿入領域に挿入された部分を前記第４の位置に対応する終端領域に案内する案内領域と、を備えていてもよく、このとき例えば前記案内領域は、前記挿入領域に挿入された部分を終端領域に呼び込むために、前記挿入領域から終端領域に向かうにつれて孔の幅が狭くなっており、例えば前記透孔部はＴ字形状である。
また、前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記蓋体に設けられた第二作動部材と、を備え、
前記蓋体には、前記第一作動部材が前記第１の位置に置かれるときに当該第一作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記第一作動部材が前記第２の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
前記保持部材には、前記第二作動部材が前記第４の位置に置かれるときに当該第二作動部材により駆動される第２の被結合部に機械的または磁気的に結合すると共に前記第二作動部材が前記第３の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられ、
前記動作機構は、前記第一作動部材を第１の位置と第２の位置との間で直線的に移動させると共に前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させるためのものであり、
前記第一作動部材及び第二作動部材が同時に移動するように構成されていてもよく、例えば前記第一作動部材及び第二作動部材は互いに連動して移動するように構成されている。
また、例えば第一作動部材及び第二作動部材の組が２組設けられ、一方の組と他方の組とは、互いに同時に逆方向に直線移動し、前記一方の組と他方の組とは、互いに同一直線上を移動してもよい。
前記結合部と被結合部とが相対的に押し付け合うように付勢作用が働く付勢手段を備えたことを特徴とする請求項２ないし１８のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開閉システム。さらに、前記結合部及び被結合部の少なくとも一方には、押圧子が含まれていてもよく、その場合、システムは例えば前記押圧子を作動部材の移動方向に沿って結合部または被結合部に案内するための案内路を備えており、また、前記結合部及び被結合部の少なくとも一方には押圧子が係合する凹部が形成されていてもよい。そして、前記結合部と被結合部との結合に加えて、この結合時に作動部材を保持部材、蓋体及び容器本体のいずれかの部材に保持させるための保持力を発生する手段を備えていてもよく、その場合、前記作動部材を前記部材に保持させるための保持力を発生する手段は、
前記部材及び作動部材側の部位のうちの一方及び他方に夫々凹部とこの凹部に係合する突起部とを、対応する位置に設けて構成され、
前記突起部は、飛び出す方向に付勢されてその付勢力により凹部に係合するように構成されている。
前記作動部材を前記部材に保持させるための保持力を発生する手段は、蓋体側の部位及び作動部材側の部位との間に磁気的な引力を発生する手段であってもよく、前記作動部材を一方の位置にて前記部材に保持させるための保持力を発生する手段と、作動部材を他方の位置にて前記部材に保持させるための保持力を発生する手段とは、作動部材が前記部材の中を貫通している領域に設けられ、
これら手段に対して作動部材の移動方向の両側には、作動部材の移動空間を気密にシールして当該手段からの発塵を抑えるためのシール部材が設けられていてもよい。
また、前記保持部材は、蓋体の開閉時に蓋体を容器本体に押圧するように構成されていてもよく、その場合、例えば前記保持部材は、本体部と、この本体部における搬送容器の支持領域側に本体部用の付勢手段を介して設けられた押圧部材と、を備え、前記付勢手段は、前記押圧部材が搬送容器の蓋体の前面に当接してから前記本体部が更に搬送容器側に相対的に接近したときに、前記押圧部材が当該蓋体を容器本体側に押圧するように付勢されるものである。前記作動部材は例えば上下方向または横方向に移動し、前記作動部材は、例えばその長さ方向に移動する棒状体である。
前記動作機構及び作動部材の組が２組設けられ、一方の組の作動部材と他方の組の作動部材とは、互いに同時に逆方向に直線移動してもよく、このとき例えば前記一方の組の作動部材と他方の組の作動部材とは、互いに同一直線上を移動する。
また、本発明の他の搬送容器の蓋体開閉システムは、
被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉するシステムであって、
前記蓋体と平行な軸の周りに第１の向きと第２の向きとの間で回動できるように当該蓋体に設けられた作動部材と、
この作動部材を第１の向きと第２の向きとの間で回動させるための動作機構と、
前記容器本体に設けられ、前記作動部材が第１の向きに置かれているときには当該作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が第２の向きに置かれているときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部と、
前記蓋体を容器本体から取り外して保持するための保持部材と、
この保持部材に設けられ、前記作動部材が第２の向きに置かれているときには当該作動部材により駆動される第２の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が第１の向きに置かれているときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部と、を備えたことを特徴とする。
本発明の搬送容器は、上記の蓋体開閉システムに用いられ、前記容器本体と前記蓋体とを備えたことを特徴とする。本発明の蓋体開閉装置は、上記の搬送容器の蓋体開閉システムに用いられ、少なくとも前記動作機構と、前記保持部材と、前記搬送容器を支持するための支持部と、を備えたことを特徴とする。
本発明の搬送容器の蓋体開放方法は、被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開放する方法であって、
前記搬送容器を支持部に支持し、前記蓋体と保持部材とを互いに接近させる工程と、
次いで作動部材を、前記蓋体と容器本体とが結合されかつ蓋体と保持部材とが結合されていない状態とするための一方の位置から、蓋体と保持部材とが結合されかつ蓋体と容器本体とが結合されていない状態とするための他方の位置に、動作機構により前記蓋体と平行にかつ直線的に移動させる工程と、
その後、保持部材と搬送容器とを互いに離す工程と、を備えたことを特徴とする。
例えば、前記作動部材は、少なくとも前記搬送容器に設けられ、
前記容器本体及び蓋体の一方には、前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に作動部材が他方の位置に置かれているときに当該結合が解除された状態にある結合部が設けられ、
前記蓋体及び保持部材の一方には、前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に前記作動部材が一方の位置にあるときには当該結合が解除されている状態にある結合部が設けられていてもよく、
また、前記作動部材は前記蓋体に設けられ、
前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときには、当該作動部材により駆動される第１の被結合部と前記容器本体に設けられた第１の結合部とが機械的または磁気的に結合しかつ当該作動部材により駆動される第２の被結合部と前記保持部材に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態にあり、
前記作動部材が前記他方の位置に置かれているときには、前記第２の被結合部と前記保持部材に設けられた第２の結合部とが機械的または磁気的に結合されかつ前記第１の被結合部と前記容器本体に設けられた第１の結合部とが結合されていない状態にあってもよい。
また、前記第１の結合部は、作動部材により駆動される第１の被結合部と結合するときには当該第１の被結合部よりも保持部材側に位置し、また第２の結合部は作動部材により駆動される第２の被結合部と結合するときには当該第２の被結合部よりも容器本体側に位置し、
前記作動部材は、移動方向に伸びる軸の回りに回動自在に構成され、
前記作動部材は、第１の被結合部及び第２の被結合部が夫々容器本体の第１の結合部及び保持部材の第２の結合部を押圧する方向に回動するように付勢手段により付勢されており、
前記動作機構により作動部材を直線的に移動させる前に、当該作動部材を前記付勢手段の付勢力に抗して回動させる工程を含んでいてもよい。
例えば前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
前記動作機構により、前記第一作動部材を前記第１の位置から第２の位置に移動させると同時に前記第二作動部材を第３の位置から第４の位置へ移動させ、これにより第一作動部材により駆動される第１の被結合部と蓋体に形成された第１の結合部とが機械的または磁気的に結合されている状態から当該結合が解除される状態になると共に、第二作動部材により駆動される第２の被結合部と蓋体に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程を含んでいてもよい。その場合、例えば前記第一作動部材及び第二作動部材は互いに連動して移動する。
また、前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように蓋体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
前記動作機構により、前記第一作動部材を前記第１の位置から第２の位置に移動させると同時に前記第二作動部材を第３の位置から第４の位置へ移動させ、これにより第一作動部材により駆動される第１の被結合部と容器本体に形成された第１の結合部とが機械的または磁気的に結合されている状態から当該結合が解除される状態になると共に、第二作動部材により駆動される第２の被結合部と蓋体に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程を含んでいてもよい。
また、前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記蓋体に設けられた第二作動部材と、を備え、
前記動作機構により、前記第一作動部材を前記第１の位置から第２の位置に移動させると同時に前記第二作動部材を第３の位置から第４の位置へ移動させ、これにより第一作動部材により駆動される第１の被結合部と蓋体に形成された第１の結合部とが機械的または磁気的に結合されている状態から当該結合が解除される状態になると共に、第二作動部材により駆動される第２の被結合部と保持部材に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程を含んでいてもよい。
また、本発明の他の搬送容器の蓋体開放方法は、被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開放する方法であって、
前記搬送容器を支持部に支持し、前記蓋体と保持部材とを互いに接近させる工程と、
前記蓋体に設けられた作動部材を動作機構により前記蓋体と平行な軸の周りに第１の向きから第２の向きに回動させることにより、作動部材により駆動される第１の被結合部と容器本体に設けられた第１の結合部とが機械的または磁気的に結合した状態から当該結合を解除した状態になりかつ当該作動部材により駆動される第２の被結合部と保持部材に設けられた第２の結合部とが結合していない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程と、
その後、保持部材と搬送容器とを互いに離す工程と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明の蓋体開放方法については、上記の本発明の蓋体開閉システムの構成を適宜適用することができる。
本発明は、前記搬送容器の蓋体を容器本体から取り外して保持するための保持部材と、搬送容器を保持するための保持部と、前記蓋体と平行にかつ直線的に移動可能に設けられた作動部材を一方の位置と他方の位置との間で移動させるための動作機構と、を備えており、前記作動部材が一方の位置にあるときには前記蓋体と容器本体とが結合されかつ蓋体と保持部材とが結合されていない状態とされ、作動部材が他方の位置にあるときには蓋体と保持部材とが結合されかつ蓋体と容器本体とが結合されていない状態とされる。従って、それらの結合の形成及び解除によって容器本体、保持部材が夫々蓋体を保持することができ、容器本体と保持部材との間で蓋体を受け渡すことができるため、保持部材が蓋体を保持するための真空吸着機構を蓋体開閉システムに設ける必要が無くなる。その結果として、蓋体開閉システムの構成部品の点数を抑えて装置を簡単な構成とすることができるし、システムによる蓋体の開閉動作の工程数の簡素化を図ることができ、スループットの向上を図ることができる。また、蓋体を保持しているときに当該蓋体開閉システムに供給される用力が停止しても、その用力の停止による蓋体の落下及び破損を防ぐことができる。
また、本発明の他の構成によれば、搬送容器を保持するための保持部と、搬送容器の蓋体を容器本体から取り外して保持するための保持部材と、前記蓋体に設けられた作動部材を第１の向きと第２の向きとの間で回動させるための動作機構と、前記蓋体を容器本体から取り外して保持するための保持部材と、前記作動部材が第２の向きに置かれているときには当該作動部材に設けられた第２の被結合部と機械的または磁気的に結合する第２の結合部と、を備え、作動部材が当該作動部材に設けられた第１の被結合部と容器本体に設けられた第１の結合部と機械的または磁力的に結合するための第１の向きに置かれているときには、その第２の結合部と第２の被結合部との結合が解除された状態となる。従って、この構成においても真空吸着機構を用いずに蓋体を容器本体、保持部材が夫々保持し、これら容器本体、保持部材の間で蓋体の受け渡しを行うことができる。
本発明に係る第１の実施形態のロードポートを含んだ半導体製造装置の平面図である。 前記ロードポートの斜視図である。 前記ロードポートを構成するロードポートドアの正面図である。 前記ロードポートドアの背面側とキャリアの正面側とを示した斜視図である。 前記ロードポート及びキャリアの縦断側面図である。 前記ロードポート及びキャリアの横断平面図である。 キャリアドアを外した前記キャリアの正面側斜視図である。 前記キャリアドアの縦断平面図である。 前記キャリアドアのロッド下降時において、キャリアのフックと当該ロッドのスライダとが係合する様子を示した斜視図である。 前記キャリアドアのロッド上昇時において、前記ロッドのスライダとロードポートドアのピンとが係合する様子を示した斜視図である。 前記キャリアドアがキャリアのキャリアフレームから前記ロードポートドアに受け渡される様子を示した工程図である。 前記キャリアドアがキャリアのキャリアフレームから前記ロードポートドアに受け渡される様子を示した工程図である。 前記キャリアドアが前記キャリアフレームから前記ロードポートドアに受け渡される様子を示した工程図である。 前記キャリアドアが前記キャリアフレームから前記ロードポートドアに受け渡される様子を示した工程図である。 前記キャリアドアが前記キャリアのキャリアフレームから前記ロードポートドアに受け渡される様子を示した工程図である。 キャリアのフック及びロッドのスライダの構成の他の例を示した説明図である。 前記ピンの切り欠きとスライダの構成の他の例を示した説明図である。 第２の実施形態に係るロードポートドアの背面側とキャリアの正面側とを示した斜視図である。 前記ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 前記ロードポート及びキャリアの横断平面図である。 前記キャリアに設けられたキャリアドアの縦断平面図である。 ロードポートドアのフック、キャリアフレームのフック夫々に前記キャリアドアのスライダが係合する様子を示した斜視図である。 第３の実施形態に係るロードポートドアの背面側とキャリアの正面側とを示した斜視図である。 前記ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 前記ロードポート及びキャリアの横断平面図である。 前記キャリアドアの縦断平面図である。 ロードポートドアのフック、キャリアフレームのフック夫々にスライダが係合する様子を示した斜視図である。 第４の実施形態のロードポート及びキャリアの側面図である。 前記キャリアのロッドのスライダを示した説明図である。 前記スライダがキャリアフレームのフックから外れてロードポートドアのフックに係合する様子を示した説明図である。 第５の実施形態のロードポート及びキャリアの縦断側面図である。 前記キャリアの正面図である 第５の実施形態の変形例であるキャリアの正面図である。 第６の実施形態のロードポートドアの背面側とキャリアの正面側とを示した斜視図である。 前記ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 前記ロードポート及びキャリアの横断平面図である。 前記キャリアドアのスライダが、キャリアフレームのフック、ロードポートドアのフック夫々に係合する様子を示した説明図である。 キャリアドアを保持したロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 第６の実施形態のロードポートとキャリアの縦断側面図である。 前記キャリアの正面図である。 前記キャリアに設けられたロッドの斜視図である 前記ロッドのフックが前記キャリアにおけるキャリアフレームのスライダから外れて、ロードポートドアのスライダに係合する様子を示した説明図である。 前記キャリアドアがキャリアフレームから外れる様子を示した説明図である。 第７の実施形態のロードポートドアとキャリアの縦断側面図である。 前記キャリアの正面図である 第７の実施形態の変形例であるキャリアの正面図である。 第９の実施形態のロードポートドアの背面側とキャリアの正面側とを示した斜視図である。 前記ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 前記ロードポート及びキャリアの横断平面図である。 前記ロードポートドアのローラの斜視図である。 前記キャリアの正面図である。 前記キャリアのキャリアドアの縦断平面図である。 前記キャリアドアのローラの斜視図である。 各ローラが移動する様子を示した説明図である。 ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 第１０の実施形態のロードポートドアの背面側とキャリアの正面側とを示した斜視図である。 前記ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 前記ロードポート及びキャリアの横断平面図である。 キャリアフレーム及びロードポートドアに設けられたローラの斜視図である。 前記キャリアの正面図である。 各ローラが移動する様子を示した説明図である。 ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 第１１の実施形態のロードポートドアの正面側とキャリアの正面側とを示した斜視図である。 前記ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 前記ロードポート及びキャリアの横断平面図である。 前記キャリアの分解斜視図である。 前記キャリアの縦断平面図である。 前記ロードポートドア及びキャリアの縦断側面図である。 キャリアドアに設けられた孔の構成図である 各実施形態及びその他の構成例を示す概念図である。
（第１の実施形態）
本発明の蓋体開閉システムを構成する半導体製造装置１について図１の平面図を用いて説明する。図１中１１は、不図示の搬送手段により当該装置１に搬送される搬送容器であるキャリア３を載置して保持する保持部をなす載置台である。キャリア３は、被処理体であるウエハＷをその内部の収容空間３２に収容する搬送容器であり、容器本体である方形のキャリアフレーム３１と、そのキャリアフレーム３１の前面に設けられた、その収容空間３２に連なる開口部３２ａを開閉するための蓋体であるキャリアドア４と、を備えている。キャリア３については後により詳しく説明する。
図１中１２は搬送アーム１３が配置された大気搬送室であり、１４及び１５は大気雰囲気と真空雰囲気との間で雰囲気が切り替え可能なロードロック室（予備真空室）、１６は２基の搬送アーム１７が配置された真空搬送室である。そして１８はウエハＷに成膜やエッチングなど、真空状態で所定の処理を行う処理モジュールであり、１９はウエハＷの向きを調整するアライメント室である。処理モジュール１８と真空搬送室１６との間、真空搬送室１６とロードロック室１４、１５との間、ロードロック室１４，１５と大気搬送室１２との間は、夫々開閉自在なゲートバルブＧにより仕切られている。
この半導体製造装置１の動作について簡単に説明すると、先ず搬送アーム１３によりキャリア３内からウエハＷが取り出され、アライメント室１９にてその向きが制御された後、ロードロック室１４（１５）内に搬入される。当該ロードロック室１４（１５）内が大気雰囲気から真空雰囲気に切り替えられ、その後搬送アーム１７によりウエハＷがロードロック室１４（１５）内から取り出されて処理モジュール１８に搬入され、所定の処理を受ける。その後ウエハＷは搬送アーム１７により例えば処理モジュール１８間を所定の順序で搬送されて処理を受けた後、搬送アーム１７，１３により、ロードロック室１４（１５）、大気搬送室１２をこの順に介してキャリア３に戻される。
載置台１１及び大気搬送室１２における当該載置台１１に向かう側の側壁をなすロードポートフレーム２１は、キャリア３からウエハＷを大気搬送室１２へ搬入するために、前記キャリアドア４を開閉する蓋体開閉装置をなすロードポート２を構成している。このロードポート２についてその斜視図、載置台１１側から見た平面図である図２、図３を夫々参照しながら説明する。載置台１１はその表面にキャリア３を支持するための例えば３本の支持ピン１１ａを備えており、前記キャリアドア４がロードポートフレーム２１に向かうようにキャリア３を支持した状態で、ロードポートフレーム２１に対して前後に移動する。
ロードポートフレーム２１はその厚さ方向に開口した角形の開口部２２を備えている。開口部２２の側壁は当該開口部２２の周方向に沿って形成された段差２３を備え、その段差２３により載置台１１側が大気搬送室１２側に比べて大きく開口している。
前記段差２３より載置台１１側における開口部２２の上下の周壁には互いに対となる動作機構である例えば円形のアクチュエータ２４，２５が左右に夫々設けられている。アクチュエータ２４、２５は、図２及び図３に示す開口部２２の上側、下側の側壁に埋没した位置から夫々下降、上昇する。また、これらアクチュエータ２４，２５は鉛直軸周りに回動する。アクチュエータ２４の下側表面、アクチュエータ２５の上側表面には後述のロッド５１に嵌合する溝２４ａ，２５ａが夫々形成されている。
また、ロードポート２は角板状に形成されたロードポートドア２０を備えている。ロードポートドア２０はキャリアドア４の保持部材をなし、図４の斜視図、図５の縦断側面図、図６の横断平面図に夫々示されるように本体板２６ａと、この本体板２６ａの載置台１１側に付勢手段であるバネ２６ｃを介して当該本体板２６ａに重なるように設けられた押圧板２６ｂとを備えている。
本体板２６ａは不図示の駆動機構に接続されており、その駆動機構により載置台１１から見て開口部２２の奥側から図５及び図６に示す開口部２２を塞ぐ位置に前後移動できると共に昇降することができ、開口部２２を開閉する。バネ２６ｃは、キャリアドア４の開閉時において後述するように押圧板２６ｂを介して当該キャリアドア４をキャリアフレーム３１に押圧する。
本体板２６ａの高さ中央部の左右から互いに対となるピン２７，２７が横方向に伸び、押圧板２６ｂの厚さ方向に穿孔された孔２６ｄを介して載置台１１側に突出している。載置台１１から見て左側に設けられたピン２７には左側側周から、右側に設けられたピン２７には右側側周から当該ピン２７の夫々中央部に向かって切り欠き２８，２８が形成されている。図中２７ａは、ピン２７において切り欠き２８よりも先端側の第２の被結合部をなす先端部である。
続いてキャリア３について、キャリアドア４を外した状態の斜視図である図７も参照しながらより詳しく説明する。キャリア３を構成するキャリアフレーム３１の前記収容空間３２では例えば２５枚のウエハＷ（図７では便宜状６枚のみ示している）が上下方向に配列され、不図示の支持部により支持された状態で収納される。
キャリアフレーム３１の開口部２２が形成された前面において、その開口部２２の周縁部３３には、当該開口部２２を囲むようにリング状の溝３４（図６参照）が形成されており、この溝３４内にはＯリング３５が設けられている。キャリアドア４により開口部３２ａが閉じられるときは、このＯリング３５がキャリアドア４の裏面に密着し、収容空間３２が気密に構成される。また、周縁部３３において前記溝３４の左右の外側には、上下に計４つのフック３６が設けられている。このフック３６はキャリアフレーム３１の開口方向に向けて伸びており、その先端は上側に向かい、第１の結合部をなす起立部３６ａを形成している。
また、その周縁部３３において各フック３６及び溝３４を囲むように開口方向に向かって突出する突縁部３７が形成されており、ロードポートドア２０とキャリアフレーム３１との間でキャリアドア４を受け渡すときには、この突縁部３７がロードポートフレーム２１における前記開口部２２の周縁部２３ａに密着する（図６参照）。また、キャリアフレーム３１の下側には前記載置台１１の支持ピン１１ａに対応して形成された凹部３１ａが設けられており、凹部３１ａに支持ピン１１ａが嵌合して、載置台１１上におけるキャリアフレーム３１の位置が固定される（図５参照）。
続いてキャリアドア４について、その縦断平面を示した図８も参照しながら説明する。キャリアドア４はその内部に空間４１を備えた矩形板状に形成されており、その表面には前記ピン２７に対応する位置に当該ピン２７が差し込まれる孔４２が穿孔されている。また、キャリアドア４の左右の側壁の上側、下側には夫々内部空間４１に連通する溝４３が形成されている。
前記内部空間４１にはその左右に互いに対となる、キャリアドア４と平行するように上下方向に伸びた、昇降及び回動自在な棒状の作動部材をなすロッド５１が設けられており、各ロッド５１の上部及び下部はキャリアドア４から突出している。
このロッド５１及びその周辺の各部の構成について、後述するようにキャリアフレーム３１によるキャリアドア４の保持が行われる下降位置（第１の位置）、ロードポートドア２０によるキャリアドア４の保持が行われる上昇位置（第２の位置）に夫々ロッド５１が位置したときの斜視図である図９、図１０も参照しながら説明する。ロッド５１の上端、下端には横方向に伸びた突起５２ａ，５２ｂが夫々形成されており、これら突起５２ａ，５２ｂはアクチュエータ２４，２５の溝２４ａ，２５ａに夫々嵌合し、そのように嵌合したときには、アクチュエータ２４，２５の回動に応じてロッド５１がその軸周りに回動する。
ロッド５１は例えばキャリアフレーム３１側に向けて突出した、金属により構成される保持用突起５３を備えている。そして、この保持用突起５３を上下に挟むように磁石からなる保持部材４４，４５が内部空間４１に固定されて設けられており、保持用突起５３が保持部材４４，４５に吸着されることにより、キャリアドア４に対して前記上昇位置、前記下降位置に夫々ロッド５１が保持される。後述するように下降位置ではフック用スライダ５５がフック３６を押圧し、上昇位置ではピン用スライダ５６がピン２７を押圧するので、これらの押圧力のみによってもロッド５１を、その押圧する高さ位置に保持することができるが、これら押圧力に加えて、保持部材４４，４５と保持用突起５３との間の磁気的な引力を利用することで、より確実にロッド５１の保持を行い、その位置ずれを防いでいる。
ロッド５１は、保持部材４４，４５の上側、下側に夫々設けられたＯリング４６、４６に挿通されている。そして、Ｏリング４６、４６に挟まれるロッド５１が移動する空間４７を囲むように区画壁４８が形成されている（図８参照）。Ｏリング４６，４６はその区画壁４８に密着し、前記空間４７を気密にシールしており、保持部材４４，４５への保持用突起５３の当接及び摺動によりパーティクルが発生しても、このパーティクルを区画空間４７に閉じ込めることで、当該パーティクルがキャリアドア４の外に放出されることを抑えている。
ロッド５１において上側、下側のＯリング４６が夫々設けられる位置よりも上方、下方位置から夫々、前記溝４３を介してキャリアドア４の外側に向けて夫々支持部５４，５４が横方向に伸びている。これらの支持部５４，５４の先端には例えば角形のブロック状に形成された第１の被結合部をなすフック用スライダ５５が設けられている。支持部５４，５４においてキャリアフレーム３１側には付勢手段であるバネ５４ａ，５４ａの一端が接続されている。そして、バネ５４ａの他端はキャリアドア４の厚さ方向に向かって伸びると共に、当該キャリアドア４の内壁面をロッド５１の昇降動作に応じて昇降するように構成されている。
また、各ロッド５１の中央部で例えば前記Ｏリング４６が設けられる位置の上方には、キャリアドア４の中央側へ横方向に突出した第２の被結合部である立て板状のピン用スライダ５６が設けられており、ピン用スライダ５６のロードポートドア２０側には付勢手段であるバネ５６ａの一端が接続され、バネ５６ａの他端はキャリアドア４の厚さ方向に向かって伸びると共に、当該キャリアドア４の内壁面をロッド５１の昇降動作に応じて昇降するように構成されている。つまり、ロッド５１を回動軸として、バネ５４ａ及びバネ５６ａによりフック用スライダ５５はロードポートドア２０側に、ピン用スライダ５６はキャリアフレーム３１側に向けて常時付勢されている。
図９に示すようにロッド５１が下降したときには、フック３６の起立部３６ａはフック用スライダ５５よりもロードポートドア２０側に位置している。このときに前記バネ５４ａ及び５６ａによる付勢力が働くことで、フック用スライダ５５は起立部３６ａに係合し、その起立部３６ａをロードポートドア２０側に向けて押圧する。そして、その押圧力によりＯリング３５を介してキャリアフレーム３１がキャリアドア４に押し付けられて密着し、ウエハＷの収容空間３２が気密状態に保たれる。
また、図１０に示すようにロッド５１が上昇したときには、ピン用スライダ５６がロードポートドア２１のピン２７に形成された切り欠き２８内に進入する。このときに前記バネ５４ａ及び５６ａによる付勢力が働くことで、ピン用スライダ５６がピン２７においてその切り欠き２８よりも先端側の先端部２７ａと係合し、この先端部２７ａをキャリアフレーム３１側に向けて押圧して、ロードポートドア２０表面にキャリアドア４の表面が押し付けられる。
フック用スライダ５５とフック３６とが係合しているときには、切り欠き２８とピン用スライダ５６との係合が解除され、逆に切り欠き２８とピン用スライダ５４とが係合しているときにはフック用スライダ５５とフック３６との係合が解除される高さ位置になるように、これら各フック３６及びスライダ５４，５６が設けられている。
続いて、図１１〜図１４の工程図を参照しながら、ロードポート２にてキャリアドア４が開かれる工程を説明する。先ず、不図示の搬送手段によりキャリア３が載置台１１に搬送され、載置台１１上の支持ピン１１ａがキャリアフレーム３１の凹部３１ａに嵌合し、キャリアドア４がロードポート２の開口部２２に向かうように載置台１１上にキャリア３が固定される（図１１（ａ））。このときロードポートドア２０はロードポートフレーム２１の開口部２２の奥側に位置している。また、キャリア３ではロッド５１が既述の下降位置にあり、図１４（ａ）の横断平面図に示すようにキャリアドア４のフック用スライダ５５がキャリアフレーム３１のフック３６をロードポートドア２０側へ押圧し、キャリアドア４がキャリアフレーム３１のＯリング３５に密着して、当該キャリアフレーム３１に保持されている。
その後、載置台１１がロードポートフレーム２１に向けて前進し、キャリアドア４が開口部２２に収まり、キャリアフレーム３１の突縁部３７が開口部２２の周縁部に密着し、外側から開口部２２が塞がれて載置台１１が停止する（図１１（ｂ））。然る後、ロードポートドア２０がキャリアドア４に向けて前進して、ピン２７がキャリアドア４の孔４２に進入し、ロードポートドア２０の押圧板２６ｂがキャリアドア４の表面に当接した後、さらにキャリアフレーム３１側へと接近し、バネ２６ｃの付勢力により押圧板２６ｂがキャリアドア４をキャリアフレーム３１側に押圧し、ロードポートドア２０の移動が停止する（図１２（ｃ））。
その後、開口部２２の下側のアクチュエータ２５が上昇し、その溝２５ａがロッド５１の下端の突起５２ｂに嵌合する。そして、アクチュエータ２５がピン用スライダ５６、支持部５４を夫々付勢しているバネ５６ａ、５４ａの付勢力に抗してロッド５１を回動させ、図１４（ｂ）に示すようにフック用スライダ５５とフック３６の起立部３６ａとの係合を解除する。このとき、キャリアドア４はロードポートドア２０によりキャリアフレーム３１側へ押圧されていることにより、当該キャリアフレーム３１に保持されている。
そして、アクチュエータ２５がさらに上昇し、このアクチュエータ２５によりロッド５１に加えられる機械的な力が、保持部材４５がロッド５１の保持用突起５３を吸引する磁力に打ち勝って、ロッド５１はアクチュエータ２５の上昇に従って上昇し、ピン用スライダ５４がピン２７の切り欠き２８に進入する。
保持用突起５３が保持部材４４に当接し、磁力により吸着されてロッド５１の高さ位置が固定されると共にアクチュエータ２５の上昇が停止する（図１２（ｄ））。そして、アクチュエータ２５がバネ５４ａ，５６ａによる付勢力の働く順方向に回動し、ピン用スライダ５６がピン２７の先端部２７ａに係合して、その先端部２７ａがキャリアフレーム３１側に押圧される。その後、アクチュエータ２５が下降し、ロッド５１と当該アクチュエータ２５との嵌合が外れるが、ピン用スライダ５６はバネ５４ａ，５６ａの付勢力により、引き続き前記先端部２７ａに係合し、ピン２７をキャリアフレーム３１側に押圧する。
そして、ロードポートドア２０が開口部２２の奥側へと移動する。このとき、ピン２７がピン用スライダ５６によりキャリアフレーム３１側に押圧されているため、図１４（ｃ）に示すようにキャリアドア４はその表面がロードポートドア２０に押し付けられた状態で保持され、ロードポートドア２０と共に奥側に移動した後、図１３（ｅ）に矢印で示すように下降してキャリア３のウエハＷの収容空間３２が開口部２２を介して大気搬送室１２内に開放される。その後、既述の経路でウエハＷは半導体製造装置１内を搬送されて処理される。
続いてキャリアドア４が閉じられる工程について、図１３〜図１５を参照しながら説明する。搬出されたウエハＷが処理を終えてキャリアフレーム３１の収容空間３２に戻されると、ロードポートドア２０がキャリアドア４を保持した状態で開口部２２の下側から、図１３（ｅ）に示す開口部２２へ面する位置へ上昇した後、その開口部２２を塞ぐように前進し、図１５（ａ）に示すようにバネ２６ｃの付勢力により押圧板２６ｂがキャリアドア４の裏面をキャリアフレーム３１に押圧する位置に移動する。
その後、開口部２２の上側に設けられたアクチュエータ２４が下降し、その溝２４ａがロッド５１の上端の突起５２ａに嵌合する。そして、アクチュエータ２５がピン用スライダ５６、支持部５４を夫々付勢しているバネ５６ａ、５４ａの付勢力に抗してロッド５１を回動させて、図１４（ｂ）に示すようにピン２７の先端部２７ａとピン用スライダ５４との係合が解除される。このとき、キャリアドア４はロードポートドア２０によりキャリアフレーム３１へ押圧されていることにより、当該キャリアフレーム３１に保持されている。
そして、アクチュエータ２４がさらに下降し、このアクチュエータ２４によりロッド５１に加えられる機械的な力が、保持部材４４がロッド５１の保持用突起５３を吸引する磁力に打ち勝って、ロッド５１はこのアクチュエータ２４の動作及び重力に従って下降し、ピン用スライダ５４が切り欠き２８から抜け出る。
保持用突起５３が保持部材４５に当接し、磁力によって吸着されることによりロッド５１の高さ位置が固定されると共にアクチュエータ２４の下降が停止する（図１５（ｂ））。そして、アクチュエータ２４がロッド５１をバネ５４ａ，５５ａによる付勢力の働く順方向に回動させて、フック用スライダ５５がキャリアフレーム３１のフック３６の起立部３６ａに係合し、当該起立部３６ａをロードポートドア２０側へと押圧する。然る後、アクチュエータ２４は上昇し、ロッド５１と当該アクチュエータ２４との嵌合が外れるが、フック用スライダ５５はバネ５４ａ，５６ａの付勢力により引き続きフック３６をロードポートドア２０側に押圧し、キャリアフレーム３１にキャリアドア４が保持される。以降はロードポート２への搬入時とは逆の動作でロードポート２からキャリア３が搬出される。
この第１の実施形態によれば、半導体製造装置１に供給される用力を利用した、キャリアドア４を保持するための真空吸着機構をロードポート２に設けなくても、キャリアドア４とロードポートドア２０との間でキャリアドア４の受け渡しを行うことができる。従ってロードポート２を構成する部品点数を減らして、ロードポート２を簡素な構成とすることができ、その製造コストを低下させることができる。また、ロッド５１の昇降及び回動によってキャリアドア４をロードポートドア２０とキャリアフレーム３１との間で受け渡すことができるので、前記真空吸着機構による真空吸着を利用してキャリアドア４を受け渡す場合よりも、その受け渡しに要する工程数を減らすことができる。その結果としてスループットの向上を図ることができる。さらに、その真空吸着機構を用いずに前記受け渡しを行えることから、ロードポートドア２０がキャリアドア４を保持しているときに半導体製造装置１に供給される用力が停止しても、その保持が行われなくなることにより当該キャリアドア４がロードポートドア２０から落下して破損することを防ぐことができる。
ところで、既述の例ではスライダ５５，５６のフック３６の起立部３６ａ、ピン２７の先端部２７ａに対する夫々の押圧力と、保持部材４４，４５の保持用突起５３に対する磁力と、によってロッド５１の高さ位置が固定されているが、そのロッド５１の高さ位置を固定するために、保持部材４４，４５及び保持用突起５３を設ける代わりに、例えば図１６及び図１７に示すように各部を構成してもよい。図１６（ａ）、（ｂ）に示すようにフック用スライダ５５にはバネ５４ａにより付勢される方向に突出した突起５５ａが設けられ、またフック３６の起立部３６ａにおいてキャリアフレーム３１側に向かう側面には、この突起５５ａに対応する凹部３６ａが設けられている。そして、フック用スライダ５５が起立部３６ａに係合し、当該起立部３６ａを押圧するときには、図１６（ｃ）に示すように突起５５ａが凹部３６ａに嵌入し、ロッド５１が下降位置で固定されるようになっている。
また、図１７（ａ）に示すようにピン用スライダ５６にもバネ５６ａにより付勢される方向に突出した突起５６ｂが設けられており、ピン２７の先端部２７ａにおいてこのピン用スライダ５６に向かう側面にはこの突起５６ｂに対応する凹部２７ｂが形成されている。そして、ピン用スライダ５６が先端部２７ａに係合し、当該先端部２７ａを押圧するときには、図１７（ｂ）に示すように突起５６ｂが凹部２７ｂに嵌入し、ロッド５１が上昇位置で固定されるようになっている。
（第２の実施形態）
続いて第２の実施形態のロードポート２及びキャリア３について第１の実施形態との差異点を中心に説明する。図１８、図１９、図２０はこの第２の実施形態のロードポート２のロードポートドア２０及びキャリア３の斜視図、縦断側面図、横断平面図である。これらの図に示すようにロードポートドア２０の本体板２６ａ表面には、その上下左右に計４つのフック６１が、押圧板２６ｂの孔２６ｄを介して載置台１１側へ向かって伸びるように形成されており、各フック６１の先端は下側へ向かって屈曲されて、第２の結合部をなす下降部６１ａを形成している。
また、この第２の実施形態におけるキャリア３のキャリアドア４の表面には、各フック６１に対応する位置にフック６１が当該キャリアドア４の内部空間４１に進入するための孔６２が設けられている。キャリアドア４の縦断平面を示した図２１も参照しながら説明を続ける。ロッド５１において例えば各支持部５４が設けられた高さ位置からキャリアドア４の中心側へ向けて支持部６３，６３が横方向に伸び出しており、各支持部６３の先端には例えば角形のブロック状に形成された第２の被結合部をなすフック用スライダ６４が設けられている。
さらに、その支持部６３においてキャリアフレーム３１側には付勢手段であるバネ６３ａの一端が接続されており、バネ６３ａの他端はキャリアドア４の厚さ方向に向かって伸びると共にキャリアドア４の内壁面を、ロッド５１の昇降動作に応じて昇降するように構成されている。つまり、フック用スライダ６４は、ロッド５１を回動軸として常時キャリアフレーム３１側に向けて付勢されている。
この第２の実施形態のキャリアドア４が開閉される手順について、キャリアフレーム３１によるキャリアドア４の保持が行われる下降位置、ロードポートドア２０によるキャリアドア４の保持が行われる上昇位置に夫々ロッド５１が位置しているときの当該ロッド５１の様子を示した図２２（ａ）、図２２（ｂ）も参照しながら説明する。ロッド５１が下降位置にあるときは、図２２（ａ）に示すように第１の実施形態と同様にフック用スライダ５５がキャリアフレーム３１のフック３６の起立部３６ａをロードポートドア２０側に押圧して、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に押圧されて固定されている。
第１の実施形態と同様の手順でキャリア３がロードポート２に搬送され、既述のキャリアドア４の受け渡しを行う位置に移動すると、ロードポートドア２０がキャリアドア４に向かって移動し、フック６１が孔６２に進入して、さらに図１９及び図２０に示すように、ロードポートドア２０が第１の実施形態と同様にキャリアドア４を押圧する。
その後、第１の実施形態と同様にアクチュエータ２５がロッド５１に嵌合し、然る後に回動してフック用スライダ５５とフック３６との係合が解除され、さらにロッド５１を押し上げ、ロードポートドア２０のフック６１とフック用スライダ６４との高さ位置が揃う。その後、アクチュエータ２５が回動し、図２２（ｂ）に示すように前記フック６１の下降部６１ａとフック用スライダ６４とが係合する。アクチュエータ２５とロッド５１との嵌合が外れても、バネ６３ａ、５４ａの付勢力によりフック用スライダ６４がフック６１をキャリアフレーム３１側へ押圧し、キャリアドア４がロードポートドア２０に保持される。
また、キャリアドア４が閉じられる際には、第１の実施形態と同様にロードポートドア２０が当該キャリアドア４を保持したまま、キャリアドア４をキャリアフレーム３に押圧し、アクチュエータ２４がロッド５１に嵌合した後、回動して、フック用スライダ６４とフック６１との係合が解除された後、さらにアクチュエータ２４が下降してロッド５１を押し下げ、フック用スライダ５５とキャリアフレーム３１のフック３６との高さ位置が揃う。然る後アクチュエータ２４が回動し、前記フック３６の起立部３６ａとフック用スライダ５５とが再び係合する。アクチュエータ２４が上昇して、ロッド５１との嵌合が外れても、バネ６３ａ、５４ａの付勢力によりフック用スライダ５５がフック３６をロードポートドア２０側へ押圧し、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に保持される。この第２の実施形態においても第１の実施形態と同様の効果が得られる。
（第３の実施形態）
続いて第３の実施形態について第１及び第２の実施形態との差異点を中心に説明する。図２３、図２４、図２５は、この第３の実施形態のロードポートドア２０及びキャリア３の夫々斜視図、縦断側面図、横断平面図である。また、図２５（ａ）ではロッド５１が下降位置にあり、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に保持されたときの様子、図２５（ｂ）ではロッド５１が上昇位置にあり、キャリアドア４がロードポートドア２０に保持されたときの様子を夫々示している。この第３の実施形態のロードポートドア２０は第２の実施形態と同様の４つのフック６１を備えているが、ロードポートドア２０とキャリアフレーム３との間でキャリアドア４が受け渡されるときに、図２４に示すように各フック６１はキャリアドア４の外側のフック３６上に位置するように形成されている。
キャリアドア４の縦断平面を示した図２６及びロッド５１が下降位置、上昇位置夫々にあるときのフック３６，６１及びスライダ５５との位置関係を夫々示した図２７（ａ）、（ｂ）も参照しながら説明する。この第３の実施形態では支持部５４に接続されたバネ５４ａが設けられる代わりに、ロッド５１の高さに応じて、各支持部５４を夫々異なる方向に付勢するためのバネ６５，６６が設けられている。
バネ６５の一端はキャリアドア４のキャリアフレーム３１側の内壁面に対して固定されている。そして、その他端はキャリアドア４の厚さ方向に伸びるが、内壁面に対して固定されておらず、ロッド５１が下降位置にあるときには、支持部５４がこのバネ６５の他端とキャリアドア４の内壁面との間に進入し、当該バネ６５によりロードポートドア２０側に向かって付勢される。このバネ６５上に前記バネ６６が設けられており、その一端はキャリアドア４のロードポートドア２０側の内壁面に対して固定されている。そして、その他端はキャリアドア４の厚さ方向に伸びるが、内壁面に対して固定されておらず、ロッド５１が上昇位置にあるときには、支持部５４がこのバネ６６の他端とキャリアドア４の内壁面との間に進入し、当該バネ６６によりキャリアフレーム３１側に向かって付勢される。
バネ６６とキャリアドア４の内壁面との間に支持部５４が進入することができるように、当該支持部５４にはその上端からロードポートドア２０側に向かって下降した傾斜面６７が設けられている。そして、バネ６５とキャリアドア４の内壁面との間に支持部５４が進入することができるように、当該支持部５４にはその下端からキャリアフレーム３１側に向かって上昇する傾斜面６８が設けられている。
この第３の実施の形態では第２の実施形態と異なり、ロッド５１が昇降する際にアクチュエータ２４、２５による回動動作が行われないことを除いて、第２の実施形態と同様の手順でロッド５１が昇降する。下降位置にあるロッド５１がアクチュエータ２５に押し上げられて、支持部５４がバネ６５の高さ位置からずれて、フック用スライダ５５にロードポートドア２０側への付勢力が働かなくなり、フック用スライダ５５とフック３６の起立部３６ａとの係合が解除される。そして、支持部５４はバネ６６とキャリアドア４の内壁面との間に進入し、支持部５４がそのバネ６６によりキャリアフレーム３１側に付勢されて、フック用スライダ５５がフック６１の下降部６１ａに係合して、ロードポートドア２０にキャリアドア４が保持される。
そして、そのように上昇位置に移動したロッド５１が、アクチュエータ２４に押し下げられると、支持部５４がバネ６６の高さ位置からずれて、係合部６６にキャリアフレーム３１側への付勢力が働かなくなり、フック用スライダ５５とフック６１ノズル下降部６１ａとの係合が解除される。その後、支持部５４がバネ６５とキャリアドア４の内壁面との間に進入し、フック用スライダ５５が再びロードポートドア２０側に付勢されてフック３６の起立部３６ａに係合して、再びキャリアドア４がキャリアフレーム３１に保持される。なお、このように支持部５４がロッド５１の上下位置が変わったときに、夫々異なるバネにより押圧されて付勢される方向が変化することを明確に示すために、図２５（ａ）ではバネ６６の図示を、図２５（ｂ）ではバネ６５の図示を夫々省略している。この第３の実施形態においても第１及び第２の実施形態と同様の効果が得られる。また、この第３の実施形態ではアクチュエータ２４，２５によるロッド５１の回動動作が不要なので、キャリアドア４の開閉動作に要する時間が短くて済む。
なお、この第３の実施形態において、支持部５４のバネ６５、６６とキャリアドア４の内壁面との間への進入を容易にするために、バネ６５のロードポートドア２０側の端部、バネ６６のキャリアフレーム３１側の端部は夫々キャップに覆われていてもよいし、またバネ６５，６６として、図２５（ａ）、（ｂ）に示したコイル状のものを使う代わりに板バネを用いてもよい。
（第４の実施形態）
続いて、第４の実施形態について図２８（ａ）、（ｂ）を参照しながら既述の各実施形態との差異点を中心に説明する。この第４の実施形態のロードポートドア２０は第３の実施形態と同様のフック６１を備えているが、押圧板２６ｂ及びバネ２６ｃを備えていない。また、この第４の実施形態では載置台１１が昇降できるように構成されており、図２８（ａ）に矢印で示すようにキャリア３をロードポートフレーム２１に向けて前進させ、さらにロードポートドア２０がキャリアドア３に重ね合わされるように移動した後、図２８（ｂ）に示すように載置台１１が上昇し、そして図２９（ａ）に示すようにフック３６の起立部３６ａにおける後述の傾斜面７７ａと、フック６１の下降部６１ａの後述の傾斜面７７ｂとの高さが揃うように位置して、キャリアドア４の受け渡しが行われる。
この第４の実施形態のキャリアドア４には、図２９（ａ）、（ｂ）に示すように既述の各実施形態のフック用スライダ５５の代わりに方形のブロック状のフック用スライダ７１が、ロッド５１に支持部５４を介して設けられている。このフック用スライダ７１の第１の被結合部をなすロードポートドア２０に向かう側面、第２の被結合部をなすキャリアフレーム３１に向かう側面にはフック用スライダ７１の中央部に向けて凹部７２ａ，７２ｂが形成されており、この凹部７２ａ，７２ｂ内から凹部７２ａ，７２ｂの外側へ夫々の端部が向かうようにバネ７３ａ，７３ｂが夫々接続されている。そして、これらバネ７３ａ，７３ｂの端部には支持部７４ａ，７４ｂを介して水平軸周りに転動するローラ７５ａ，７５ｂが接続されている。
また、この第４の実施形態ではフック３６の起立部３６ａにおけるキャリアフレーム３１側の側面には前記ローラ７５ａが係合する凹部７６ａが設けられている。さらに、その側面において凹部７６ａの上方は、上に向かうにつれてロードポートドア２０側へ向かうように傾斜した傾斜面７７ａとして形成されている。そして、ロードポートドア２０のフック６１の下降部６１ａのロードポートドア２０側の側面には前記ローラ７５ｂが係合する凹部７６ｂが設けられている。さらに、その側面において凹部７６ｂの下方は、下に向かうにつれてキャリアフレーム３１側へ向かうように傾斜した傾斜面７７ｂとして形成されている。
傾斜面７７ａ、７７ｂは夫々起立部３６ａの上端、下降部７６ａの下端から凹部７６ａ，７６ｂへとローラ７５ａ，７５ｂを案内する案内路として構成されており、凹部７６ａ，７６ｂはローラ７５ａ，７５ｂに夫々係合することで、第１〜第３の実施形態の保持用突起５３及び保持部材４４，４５と同様に下降位置、上昇位置で夫々ロッド５１をより確実に固定するために設けられている。そして、ロッド５１が下降位置にあるときには、図２９（ａ）、（ｂ）に示すように凹部７６ａに係合したローラ７５ａがバネ７２ａによりフック３６の起立部３６ａをロードポートドア２０側に付勢することで、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に密着して保持されている。また、この第４の実施形態においてもアクチュエータ２４，２５はロッド５１を昇降させる際に回動動作を行わない。
この第４の実施形態においてキャリアドア４を開く手順について説明する。既述のようにキャリアフレーム３１のフック３６の傾斜面７７ｂと、ロードポートドア２０のフック６１の傾斜面７７ａとの高さが揃った受け渡し位置にキャリア３とロードポートドア２０とが移動した後、アクチュエータ２５によりロッド５１が押し上げられて上昇すると、図３０（ａ）に示すようにローラ７６ａはバネ７３ａの弾性により凹部７６ａから傾斜面７７ａに乗り上げ、このバネ７３ａの付勢力によりこの傾斜面７７ａをロードポートドア２０側に付勢しながらロッド５１の上昇に応じて上方向に転動すると共に、ローラ７５ｂが傾斜面７７ｂへ乗り上げて、この傾斜面７７ｂをバネ７３ｂの付勢力によりキャリアフレーム３１側に付勢しながらロッド５１の上昇に応じて上方向に転動する。つまり、ローラ７５ａが傾斜面７７ａをその上端へと案内される状態とローラ７５ｂが傾斜面７７ｂを凹部７６ｂに案内される状態とが重なり、このようにローラ７５ａ，７５ｂが傾斜面７７ａ，７７ｂを夫々付勢しながら転動することで、キャリアドア４がキャリアフレーム３１及びロードポートドア２０の両方に対して保持される。
さらにロッド５１が上昇して、図３０（ｂ）に示すようにローラ７５ａが傾斜面７７ａを登り切って当該傾斜面７７ａから外れて、ローラ７５ａのフック３６への付勢が解除されると同時にローラ７５ｂが凹部７６ｂに係合し、ロッド５１の高さ位置が固定されると共にキャリアドア４の表面はローラ７５ｂの凹部７６ｂへの付勢によりロードポートドア２０の表面に密着して保持される。然る後、アクチュエータ２５が下降して開口部２２の側壁内に戻った後、フック３６がロードポートドア２０の移動へ干渉することを避けるために載置台１１が下降する。その後、ロードポートドア２０がキャリアドア４を保持したまま、第１の実施形態と同様に移動して、キャリア３の開口部２２ａが開かれる。
キャリアドア４がキャリアフレーム３１に受け渡されるときには、上記のようにキャリアドア４を開いたときの位置にあるキャリアフレーム３１に対して、ロードポートドア２０が接近し、キャリアドア４を受け取った位置に移動する。そして、載置台１１が上昇して、前記受け渡し位置にキャリアフレーム３１が移動する。つまり、再び図３０（ｂ）に示すようにフック用スライダ７１及び各フック３６，６１が位置する。そして、アクチュエータ２４によりロッド５１が押し下げられて、ローラ７５ａ，７５ｂが、キャリアフレーム３１からロードポートドア２０にキャリアドア４が受け渡されるときとは逆に動き、傾斜面７７ａ，７７ｂを夫々付勢しながら転動して、キャリアドア４がキャリアフレーム３１及びロードポートドア２０の両方に対して保持される。
その後、ローラ７５ｂが傾斜面７７ｂを下り切って当該傾斜面７７ｂから外れ、ローラ７５ｂのフック６１への付勢が解除されると同時にローラ７５ａが凹部７６ａに係合して、ロッド５１の高さ位置が固定されると共にキャリアドア４の裏面がキャリアフレーム３１のＯリング３５に密着する。この第４の実施形態においても、既述の各実施形態と同様の効果が得られる。
（第５の実施形態）
続いて第５の実施形態について、ロードポートドア２０とキャリア３の縦断側面を示した図３１と、前記キャリア３の正面を示した図３２とを参照しながら説明する。この第５の実施形態のロードポートドア２０の本体板２０ａの表面にはその上下左右に磁石８１が設けられている。そして、キャリアフレーム３１の前面の周縁部３３にもその上下左右に磁石８２が設けられている。また、各ロッド５１にはその上下に磁石８３が設けられており、ロッド５１が下降位置にあるときにはこの磁石８３と磁石８２との間に磁気的結合が形成され、キャリアドア４はキャリアフレーム３１に付勢されて保持される。なお、図３２ではキャリアドア４の受け渡しが行われる際に、キャリアドア４とロードポートドア２０とが対向し、且つロッド５１が下降位置にあるときの磁石８１と磁石８３との位置関係を示しており、磁石８２はこのように正面からキャリア３を見たときに磁石８１と重なる位置に設けられている。
そして、既述のようにキャリア３がロードポート２に搬送され、図３１に示すように押圧板２６ｂにキャリアドア４が押圧された状態でアクチュエータ２５によりロッド５１が下降位置から押し上げられると、磁石８３が磁石８２から遠ざかり、磁石８３の磁石８２との磁気的結合が解除され、その代わりに磁石８３が磁石８１に近づき、磁石８１と磁石８３との間に磁気的結合が形成される。この磁石８１，８３間の磁気的結合によってキャリアドア４はロードポートドア２０へと付勢され、そして当該ロードポートドア２０はキャリアドア４を保持した状態で移動して、キャリアドア４を開くことができる。
キャリアドア４が閉じられるときには、アクチュエータ２４により前記磁気的結合が形成された上昇位置からロッド５１が押し下げられて、磁石８３が磁石８１から遠ざかり、磁石８３の磁石８１との磁気的結合が解除され、その代わりに磁石８３が磁石８２に近づき、磁石８２と磁石８３との磁気的結合が再び形成される。この第５の実施形態においても既述の各実施形態と同様の効果が得られる。
ところで、この第５の実施形態ではロッド５１には保持用突起５３が設けられる代わりに、その中央部に保持ブロック８４が介在している。この保持ブロック８４は、キャリアドア４側、キャリアフレーム３１側に夫々突出した突起８５，８５を備え、各突起８５はバネ８６によりその突出方向に区画壁４８を常時付勢している。そして、前記区画壁４８には、夫々異なる高さ位置に、この突起８５に対応して横方向に向かう凹部８７，８８が設けられている。
これら凹部８８，８７に夫々突起８５が係合して付勢することで、既述の各磁気的結合が形成されるロッド５１の下降位置、上昇位置で夫々ロッド５１がキャリアドア４に対して保持されるようになっており、ロッド５１が昇降する際には突起８５はバネ８６の弾性により凹部８７，８８から抜け出て、それら係合が外れるようになっている。他の保持用突起５３及びそれに対応する保持部材４４，４５が設けられる実施形態についても、それら保持用突起５３及び保持部材４４，４５の代わりにこの保持ブロック８４及び凹部８７，８８を設けてロッド５１の保持を行ってもよい。
（第５の実施形態の変形例）
図３３は上記の第５の実施形態の変形例を示しており、この例ではロッド５１はキャリアドア４と平行し、横方向に伸びるように設けられている。第５の実施形態と同様にキャリアフレーム３１の磁石８２とロッド５１の磁石８３との磁気的結合が形成されているときには、磁石８３とロードポートドア２０の磁石８１との磁気的結合が解除され、逆に磁石８３と磁石８１との磁気的結合が形成されているときには磁石８３と磁石８２との磁気的結合が解除されるように、ロッド５１はその長さ方向に移動する。図中８９ａ、８９ｂはアクチュエータであり、既述のようにキャリア３がキャリアドア４の受け渡し位置に移動したときに、開口部２２の左右の側壁にロッド５１を挟むように配置され、そして、図の位置から左右に夫々移動してロッド５１を移動させる。図３３では図３２と同様の受け渡し位置において、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に保持されているときの磁石８１と磁石８３との位置関係を示しており、磁石８２は磁石８３と重なるように設けられている。
（第６の実施形態）
続いて第６の実施形態のロードポートドア２０及びキャリア３について、それらの斜視図、縦断側面図、横断平面図である夫々図３４、３５、３６を参照しながら既述の各実施形態との差異点を中心に説明する。また、図３６（ａ）はロードポート２に搬送されたときのキャリア３及びロードポートドア２０を示し、図３５及び図３６（ｂ）はキャリアドア４の受け渡し位置に移動したキャリア３及びロードポートドア２０を示している。この第６の実施形態のロードポートドア２０の本体板２６ａは内部空間９１を備え、その内部空間９１において本体板２６ａの左右には当該本体板２６ａと平行に上下に伸びる昇降自在な第二作動部材である２本のロッド９２が設けられている。この内部空間９１はロッド９２の移動路として構成されている。
本体板２６ａの載置台１１側表面の上下左右には計４つの開口部９３が設けられ、各ロッド９２の上下から、その開口部９３を介して当該載置台１１側へフック９４が伸び、フック９４の先端は下側に屈曲して下降部９４ａを形成している。また、図中９５ａ，９５ｂはロードポートフレーム２１側から載置台１１側へと伸びた棒状の昇降自在なアクチュエータであり、ロードポートフレーム２１の開口部２２の上下に設けられている。キャリアドア４の受け渡しを行うときに、これらのアクチュエータ９５ａ，９５ｂによりロッド９２が押圧されて昇降できるように、本体板２６ａの上下には溝９６ａ，９６ｂが設けられている。
キャリアフレーム３１の左右には縦方向に伸びる内部空間９７が形成されており、その内部空間９７にはロッド５１と同様に上下に伸びる昇降自在な第一作動部材をなす２本のロッド９８が設けられている。この内部空間９７はロッド９８の移動路として構成されている。各ロッド９８からはキャリアフレーム３１の開口部２２の周縁部３３に設けられた溝３４の外側領域にて上下に夫々開口した開口部９９を介してロードポートドア２０側へ向けてフック９０が伸び、フック９０の先端は上側に屈曲して起立部９０ａを形成している。また、キャリアフレーム３１の左右において、突縁部３７の上下には夫々内部空間９７に連通する開口部１０１ａ，１０１ｂが設けられており、これら開口部１０１ａ，１０１ｂにはアクチュエータ９５ａ、９５ｂが夫々進入する。
また、第１の実施形態のキャリアドア４のロッド５１と同様にロッド９２、９８は保持用突起５３を備え、保持部材４４，４５によりロードポートドア２０、キャリアフレーム３１に対して夫々異なる高さ位置で保持される。さらに、それらの保持用突起５３及び保持部材４４，４５が設けられる空間４７はロッド９２,９８が夫々挿通されるＯリング４６，４６によりシールされた気密空間となっている。
キャリアドア４の側面には角型の保持ブロック１０２が設けられている。この保持ブロック１０２は、キャリアドア４に固定されていることを除いては第４の実施形態のフック用スライダ７１と同様に構成されており、図３７（ａ）〜（ｃ）にその保持ブロック１０２の各部を、そのフック用スライダ７１で用いた符号と同符号を付して示している。また、これらの図３７（ａ）〜（ｃ）に示すようにフック９０の起立部９０ａは、第４の実施形態と同様の傾斜面７７ａ及び凹部７６ａを、フック９４の下降部９４ａは第４の実施形態と同様の傾斜面７７ｂ及び凹部７６ｂを夫々備えている。
そして、キャリア３がロードポート２に搬送されるときには、ロッド９２、９８は夫々図３５に示す上昇位置（第１の位置、第３の位置）にあり、このとき図３７（ａ）に示すように凹部７６ａに係合したローラ７５ａがバネ７３ａによりフック９０の起立部９０ａをロードポートドア２０側に付勢することで、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に密着して保持されている。
キャリアドア４が開かれる工程について説明する。ロードポートフレーム２１に向けてキャリア３が載置された載置台１１が前進し、アクチュエータ９５ａ，９５ｂがキャリアフレーム３１の開口部１０１ａ，１０１ｂ内に夫々進入する。そして、第１の実施形態と同様にロードポートドア２０が、押圧板２６ｂによりキャリアドア４をキャリアフレーム３１に押圧するようにキャリアフレーム３１側へと移動し、図３５及び図３７（ａ）に示すようにフック９４の下降部９４ａが保持ブロック１０２よりもキャリアフレーム３１側に位置すると、その移動が停止する。
アクチュエータ９５ａが下降して、ロッド９２，９８が押し下げられ、保持ブロック１０２に対してフック９０，９４が下降し、ローラ７５ａがフック９０の起立部９０ａから外れて当該ローラ７５ａによるフック９０の付勢が解除される。然る後、ローラ７５ｂが下降した傾斜面７７ｂに乗り上げて、バネ７３ｂにより保持ブロック１０２に対してフック９４の下降部９４ａがキャリアフレーム３１側に付勢され、ローラ７５ｂが凹部７６ｂに係合すると共にロッド９２，９８の保持用突起５３が保持部材４５に当接し、これらロッド９２，９８の下降が停止する（図３７（ｃ）参照）。
その後、ロードポートドア２０がロードポートフレーム２１の奥側へ移動するが、このとき、ローラ７５ｂにより保持ブロック１０２に対してフック９４の下降部９４ａがキャリアフレーム３１側に付勢されているので、キャリアドア４の表面はロードポートドア２０へ押圧されて、図３８に示すようにキャリアドア４はロードポートドア２０に保持された状態でロードポートドア２０と共に移動する。
キャリアドア２０が閉じられるときは、既述の各実施形態と同様にキャリアドア４を保持したロードポートドア２０が、キャリアドア４の受け渡し位置に移動し、押圧板２６ｂがキャリアドア４の裏面をキャリアフレーム３１に押圧する。その後、アクチュエータ９５ｂが上昇して、ロッド９２，９８を押し上げ、保持ブロック１０２に対してフック９０，９４が上昇し、ローラ７５ｂがフック９４の下降部９４ａから外れて当該ローラ７５ｂによるフック９４の付勢が解除される。然る後、ローラ７５ａが上昇した傾斜面７７ａに乗り上げて、バネ７３ａによりフック９０の起立部９０ａが保持ブロック１０２に対してロードポートドア２０側に付勢され、ローラ７５ａが凹部７６ａに係合すると共に保持用突起５３が保持部材４４に当接し、ロッド５１の上昇が停止する。その後は搬入時と逆の動作でキャリア３がロードポート２から搬出される。
この第６の実施形態においても既述の各実施形態と同様の効果が得られる。なお、ロードポートドア２０に押圧板２６ｂを設ける代わりに、第４の実施形態と同様に載置台１１が昇降し、各フックの傾斜面７７ａ，７７ｂの高さ位置が揃い、ローラ７５ａが傾斜面７７ａを転動する状態とローラ７５ｂが傾斜面７７ｂを転動する状態とが重なるようにして、ロッド９２，９８の昇降中においてキャリアドア４がキャリアフレーム３１及びロードポートドア２０に保持されるようにしてもよい。
（第７の実施形態）
続いて第７の実施形態のロードポートドア２０とキャリア３とについてその縦断側面を示した図３９と、当該キャリア３の正面を示した図４０とを参照しながら説明する。このキャリア３のキャリアドア４の左右には当該キャリアドア４の高さ方向に伸び、その軸まわりに回動自在な回動ロッド１１１が設けられている。回動ロッド１１１の上端は、キャリアドア４の外側上部に設けられた、当該回動ロッド１１１を支持するための円形の支持部１１２に接続されている。図４１に示すように支持部１１２は、横方向に伸びる突起１１３を備え、この突起１１３がアクチュエータ２４の溝２４ａに嵌合する。
キャリアドア４の内部空間４１において、回動ロッド１１１はその上下にフランジ部１１４を備え、そのフランジ部１１４には、当該フランジ部１１４の周からその先端が横方向に伸び、さらに弧を描くように二股に分かれたフック１１５が設けられている（図４１参照）。キャリア３の横断平面を示した図４２（ａ）も参照しながら説明を続ける。キャリアフレーム３１の周縁部３３の溝３４の外側領域には、凹部１１６が形成され、この凹部１１６には、フック１１５と係合する起立した棒状の係合部１１７が設けられており、このフック１１５と係合部１１７との係合によってキャリアドア４の裏面がＯリング３５に押し付けられた状態でキャリアフレーム３１に保持されている。
キャリアドア４の左右の側壁の上下には当該キャリアドア４の中央部へ向かう切り欠き１１８が形成されており、この切り欠き１１８を介してフック１１５はキャリアフレーム３１側からロードポートドア２０側へ、その向きを変えることができる。ロードポートドア２０の表面には凹部１１９が設けられており、この凹部１１９には係合部１１７と同様の係合部１１０が設けられている。
キャリアドア４が開かれる工程について説明する。図４２（ｂ）に示すようにキャリアドア４の受け渡し位置で押圧板２６ｂによりキャリアドア４が押圧されると、ロードポートドア２０の開口部２２からアクチュエータ２４が下降し、突起１１３に嵌合した後に回動し、フック１１５が係合部１１７から外れ、ロードポートドア２０側に向き、図４２（ｃ）及び図４３（ａ）に示すように係合部１１０に係合する。アクチュエータ２４が上昇し、前記開口部２２へと戻った後、図４３（ｂ）に示すようにロードポートドア２０がキャリアドア４を保持した状態で移動する。キャリアドア４が閉じるときは、開くときと同様にアクチュエータ２４によりフック１１５が回動してその向きが変わり、係合部１１０から外れる代わりに係合部１１７に係合する。この第７の実施形態においても既述の各実施形態と同様の効果が得られる。
（第８の実施形態）
第８の実施形態について第７の実施形態との差異点を中心に、ロードポートドア２０及びキャリア３の縦断側面図である図４４及び前記キャリア３の正面図である図４５を参照しながら説明する。この第８の実施形態の回動ロッド１１１の上下には、当該回動ロッド１１１から横方向に伸び出した磁石１２１が設けられており、磁石１２１は回動ロッド１１１の回動によりその向きを変える。この例の回動ロッド１１１の上端にはロッド５１と同様の突起５２ａが設けられ、アクチュエータ２４と嵌合する。内部空間４１において回動ロッド１１１はフランジ１２２を備え、このフランジ１２２により回動ロッド１１１がキャリアドア４に支持されている。
キャリアフレーム３１の周縁部３３において、Ｏリング３５の外側領域には、磁石１２３が設けられている。前記回動ロッド１１１の磁石１２１がキャリアフレーム３１側を向いているときには、磁石１２１、１２３との間に磁気的結合が形成され、キャリアドア４はキャリアフレーム３１に保持される。また、ロードポートドア２０の本体板２６ａは磁石１２４を備えている。
図４４に示すようにキャリア３がロードポート２に搬送され、キャリアドア４が押圧板２６ａに押圧された後にアクチュエータ２４により回動ロッド１１１が回動し、磁石１２１がロードポートドア２０側を向くと、磁石１２１と磁石１２３との間の磁気的結合が解除されると共に磁石１２１と磁石１２４との間に磁気的結合が形成され、キャリアドア４はロードポートドア２０に保持されて、キャリアドア４が開かれる。キャリアドア４が閉じられるときには、アクチュエータ２４により回動ロッド１１１が回動して、磁石１２１がキャリアフレーム３１側を向き、磁石１２１と磁石１２４との間の磁気的結合が解除されると共に磁石１２１と磁石１２３との間に磁気的結合が形成され、キャリアドア４はキャリアフレーム３１に保持される。この第８の実施形態においても既述の各実施形態と同様の効果が得られる。
（第８の実施形態の変形例）
第５の実施形態の変形例と同様に回動ロッド１１１は横方向に伸びるように設けられていてもよい。図４６はそのような回動ロッド１１１を備えたキャリア３の正面図である。この例でアクチュエータ２４はロードポートフレーム２１の開口部２２の側壁に設けられており、回動ロッド１１１を回動させるときには横方向に移動して、当該回動ロッド１１１の突起５２ａに嵌合する。
（第９の実施形態）
続いて第９の実施形態のロードポートドア２０及びキャリア３について、それらの斜視図、縦断側面図、横断平面図である夫々図４７、４８、４９を参照しながら既述の各実施形態との差異点を中心に説明する。この第９の実施形態のロードポートドア２０の本体板２６ａは、第６の実施形態の本体板２６ａと同様に内部空間１３１を備えている。また、本体板２６ａの載置台１１側の高さ中央部には内部空間１３１に連通する開口部１３２が設けられている。
内部空間１３１には本体板２６ａの高さ方向に沿って伸びた第二作動部材である昇降板１３３が設けられている。昇降板１３３の構成を示した図５０も参照しながら説明する。昇降板１３３は、コ字型に形成された溝１３４を備え、溝１３４に囲まれる領域１３５は、昇降板１３３の厚さ方向に弾性を有する板バネとして構成されている。そして、前記領域１３５から開口部１３２及び押圧板２６ｂの孔２６ｄを介して棒状の支持部１３６が載置台１１側へと伸びている。支持部１３６の先端側には球状部１３７が設けられ、球状部１３７の左右両側には水平軸周りに回動する第２の被結合部をなすローラ１３８が設けられている。
この第９の実施形態ではロードポートフレーム２１にアクチュエータが設けられる代りにロードポートドア２０の内部空間１３１に直動ソレノイドからなるアクチュエータ１３９が設けられており、このアクチュエータ１３９により内部空間１３１を昇降板１３３が昇降する。図４８に示すように、第６の実施形態のロッド９２と同様に昇降板１３３は保持用突起５３を備え、保持部材４４，４５により夫々異なる高さ位置で保持される。また、それらの保持用突起５３及び保持部材４４，４５が設けられる空間４７は昇降板１３３が夫々挿通されるＯリング４６，４６によりシールされた気密空間となっている。
キャリアドア４の前面には逆Ｔ字型の透孔部１４１が設けられている。説明の便宜上、透孔部１４１の幅が狭い上側を上側透孔部１４１ａ、幅が広い下側を下側透孔部１４１ｂとする。図５１（ａ）に示すように下側透孔部１４１ｂを介して前記球状部１３７及びローラ１３８がキャリアドア４の内部空間４１に進入することができる。そして、その進入後、上側透孔部１４１ａを介して支持部１３６が上昇することができ、それによって図５１（ｂ）に示すように内部空間４１の球状部１３７及びローラ１２７が上昇することができる。
図４８及び図４９（ａ）、（ｂ）に示すようにキャリアドア４において、上側透孔部１４１ａの左右の第２の結合部をなす内壁面１４２は、ローラ１３８が上昇したときに当該ローラ１３８に係合する凹部１４３を備えている。また、前記内壁面１４２において前記凹部１４３の下方側は、図４８に示すようにロードポートドア２０側に向かって下降する傾斜面１４４として形成されており、昇降板１３３が昇降するときにローラ１３８がこの傾斜面１４４を転動する。ローラ１３８が傾斜面１４４を転動するとき及びローラ１３８が凹部１４３に係合しているときにおいて、既述のように昇降板１３３の領域１３５が板バネとして機能することにより、ローラ１３８はこれら傾斜面１４４及び凹部１４３をロードポートドア２０に向けて付勢し、それによってキャリアドア４がロードポートドア２０に保持される。また、凹部１４３は、ローラ１３３に係合することで、保持部材４４と保持用突起５３との結合と合わせて昇降板１３３を上昇位置で、より確実に保持する役割を有する。
キャリアドア４の縦断平面図である図５２も参照しながら説明する。キャリアドア４には、第１の実施形態と同様に上下に昇降自在の第一作動部材であるロッド５１が設けられており、ロッド５１からはキャリアドア４の中央部側に向けて横方向に２本の水平部材１５１が、下側透孔部１４１ｂに重なる領域を挟むように伸びている。また、この第９の実施形態のロッド５１は、既述の実施形態の各ロッドと異なりキャリアドア４の上側及び下側に突き抜けておらず、その上端及び下端からは支持部１５２が、キャリアドア４の外側に向けて横方向に伸び出している。水平部材１５１は、昇降板１３３の位置が上昇位置と下降位置との間で移動するときに、その移動に応じてロッド５１を上昇位置と下降位置との間で移動させるために、昇降板１３３とロッド５１とを結合させ、連動させて動作させるための連動部を構成する。
支持部１５２の先端はキャリアドア４の側壁に形成された溝４３を介してキャリアドア４の外部に突き抜けて、その幅が狭くなった弾性部１５３を形成している。この弾性部１５３はその厚さ方向に弾性を有する板バネとして構成されている。図５３に示すように、弾性部１５３には基部１５４が設けられ、この基部１５４を介して、支持部１５２の伸長方向側に水平軸周りに回動する第１の被結合部をなすローラ１５５が設けられている。
この第９の実施形態のキャリアフレーム３１の突縁部３７の上下左右には、キャリアフレーム３１の正面に向かって開口した開口部１５６が設けられており、この開口部１５６は、下方へ向かって形成されたローラ１５５の移動空間１５７に連通している。図４８に示すようにこの移動空間１５７を構成するロードポートドア２０側の第１の結合部を構成する壁面１５８は、ローラ１５５が係合する凹部１５９を備えている。また、壁面１５８の凹部１５９の上側においてはロードポートドア２０側に向かって斜めに上昇する傾斜面１６０として形成されており、後述のようにローラ１５５がこの傾斜面１６０を転動する。ローラ１５５が傾斜面１６０を転動するとき及びローラ１５５が凹部１５９に係合しているときに、既述のように弾性部１５３が板バネとして機能することにより、当該ローラ１５５は、これらの傾斜面１６０及び凹部１５９をキャリアドア４に向けて付勢し、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に保持される。凹部１５９は、ローラ１５５に係合することで、ロッド５１を下降位置で確実に保持する役割を有する。
続いて、キャリアドア４が、キャリアフレーム３１からロードポートドア２０に受け渡される手順について説明する。既述の各実施形態と同様にキャリア３が載置された載置台１１が移動し、図４９（ａ）に示すようにキャリアフレーム３１がロードポートフレーム２１に密着すると、ロードポートドア２０が、キャリアフレーム３１側へと移動し、押圧板２６ｂがキャリアドア４をキャリアフレーム３１に向けて押圧すると共に図４９（ｂ）に示すように球状部１３７及びローラ１３８が下側透孔部１４１ｂに進入する。このとき図４８に示すようにロッド５１、昇降板１３３は下降位置（第１、第３の位置）に置かれ、ローラ１５５により凹部１５９がロードポートドア２０側に付勢され、キャリアドア４はキャリアフレーム３１に保持されている。
図５４は、右側に所定の時点でのキャリアドア４内に進入したローラ１３８の位置を、左側に右側と同じ時点におけるキャリアドア４のローラ１５５の位置を夫々示しており、この図５４も参照しながら説明を続ける。図５４（ａ）に示すようにローラ１３８が下側透孔部１４１ｂに進入すると、アクチュエータ１３９により昇降板１３３が図４８に示す下降位置から上昇し、それによって球状部１３７及びローラ１３８が上昇する。図５４（ｂ）に示すようにローラ１３８は傾斜面１４４に乗り上げ、傾斜面１４４を転動すると共に当該傾斜面１４４をロードポートドア２０側に付勢しながら上昇する。また、球状部１３７が水平部材１５１を介してロッド５１を図４８に示す下降位置から押し上げ、ローラ１５５が凹部１５９から外れて傾斜面１６０に乗り上げ、傾斜面１６０を転動すると共に当該傾斜面１６０をロードポートドア２０側に押圧しながら上昇する。
続けてローラ１３８、１４５が上昇し、図５４（ｃ）に示すようにローラ１５５が傾斜面１６０を登り切って当該傾斜面１６０から外れて、キャリアドア４のキャリアフレーム３１側への付勢が解除されると共にローラ１３８が凹部１４３に係合し、ロッド５１の高さ位置が固定される。ローラ１５５の凹部１５９への付勢により、引き続きキャリアドア４はロードポートドア２０に密着して保持される。そして、アクチュエータ１３９による昇降板１３３の上昇が図５５に示す上昇位置（第４の位置）で停止し、それによってロッド５１の上昇も図５５に示す上昇位置（第３の位置）で停止する。然る後、図５６に示すようにロードポートドア２０がキャリアドア４を保持したまま移動し、ローラ１５５がキャリアフレーム３１の開口部１５６を介してキャリアフレーム３１から出て、キャリア３の開口部２２ａが開かれる。
キャリアドア４がキャリアフレーム３１に受け渡されるときには、上記のようにキャリアドア４を開いたときの位置にあるキャリアフレーム３１にロードポートドア２０が接近し、ローラ１５５が開口部１５６に進入し、ロードポートドア２０がキャリアドア４を受け取った位置に移動する。そして、アクチュエータ１３９により昇降板１３３が下降し、ローラ１３８が下降して傾斜面１４４に乗り上げる一方で、球状部１３７により水平部材１５１を介してロッド５１が押し下げられ、ローラ１５５が、下降して傾斜面１６０に乗り上げる。ローラ１３８，１４５が、キャリアフレーム３１からロードポートドア２０にキャリアドア４が受け渡されるときとは逆に動き、傾斜面１４４，１５０を夫々付勢しながら転動して、キャリアドア４がキャリアフレーム３１及びロードポートドア２０の両方に対して保持される。
そして、ローラ１３８が傾斜面１４４を下り切って当該傾斜面１４４から外れて、ロードポートドア２０側へのキャリアドア４の付勢が解除される。また、ローラ１５５が凹部１５９に係合し、ロッド５１の高さ位置が固定されると共に引き続きキャリアドア４がキャリアフレーム３１に向けて付勢される。そして、昇降板１３３及びロッド５１が図４８に示す下降位置で停止し、載置台１１がロードポートフレーム２１から離れるように移動する。
この第９の実施形態においても既述の各実施形態と同様の効果が得られる。さらに、この第９の実施形態によれば、キャリアドア４の上方にロッド５１が突出していないため、ロッド５１とキャリアドア４の隙間を介してキャリアドア４内に上方から落下したパーティクルが進入することが防がれるので、キャリア３及び当該キャリア３に収納されるウエハＷの汚染を抑えることができる。また、ロッド５１がキャリア３から突出していないので、キャリア３を洗浄するにあたり、そのロッド５１の突出部分が邪魔になることがないため、その洗浄作業が容易になる。
また、第９の実施形態ではアクチュエータ１３９がロードポートドア２０内に設けられ、当該アクチュエータ１３９により駆動し、キャリアドア４のロッド５１を駆動させるための支持部１３６が載置台１１側へと伸びているので、第６の実施形態のようにロードポートドア２０のロッド９２及びキャリアフレーム３１のロッド９８を昇降させる場合に比べて、アクチュエータを載置台１１側に突出させるように設ける必要がなくなる。キャリア３を例えばロードポートドア２０の上方領域から載置台１１に搬送する場合、そのようにアクチュエータが突出していれば、そのアクチュエータとの干渉を抑えるようにキャリア３の搬送経路を構成することが必要になり、その分載置台１１をロードポートフレーム２１から遠くに移動させる必要があるので、アクチュエータの載置台１１側への突出が抑えられた第９の実施形態には、ロードポート２を含む装置の占有床面積を抑えることができるという好ましい効果がある。
さらに、この第９の実施形態においては、アクチュエータ１３９により作動部材である昇降板１３３が昇降し、その昇降板１３３に連動して作動部材であるロッド５１が間接的に昇降する。つまり、これら昇降板１３３及びロッド５１に動力を伝達するための構造がロードポートドア２０に集中されて設けられている。従って、これら昇降板１３３及びロッド５１の両方をアクチュエータが同時に動かすように構成する場合に比べて、ロードポート２の構造の簡素化を図れるし、その簡素化によって動作精度の向上を図ることができる。また、ロードポート２の小型化及びロードポート２を構成する部品点数の削減を図ることもできる。ただし、上記例のようにロッド５１と昇降板１３３とが連動して動作するのではなく、ロッド５１と昇降板１３３とを夫々別々のアクチュエータにより駆動させてもよい。
（第１０の実施形態）
続いて第１０の実施形態のロードポートドア２０及びキャリア３について、それらの斜視図、縦断側面図、横断平面図である夫々図５７、５８、５９を参照しながら既述の各実施形態との差異点を中心に説明する。この第１０の実施形態のロードポートドア２０についてもその内部空間１３１に既述の第二作動部材である昇降板１３３が設けられている。そして、昇降板１３３の上下には既述の溝１３４に囲まれた、板バネとして構成される領域１３５が設けられ、前記領域１３５からは支持部１３６が載置台１１側へと伸びている。
図６０に示すように支持部１３６の先端には横方向に伸びた概ね円柱状のスライダ１７１が設けられており、スライダ１７１においてキャリアドア４の中央側には水平軸周りに回動する第２の被結合部をなすローラ１７２が設けられている。図中１７３は、スライダ１７１が後述のスライダ１７７と係合したときに当該スライダ１７７のローラ１７８が進入し、その回動を妨げないようにするための切り欠きである。
キャリアフレーム３１は、第６の実施形態と同様にその左右に縦方向に伸びる内部空間９７を備えている。そして、その内部空間９７には、昇降板１３３と同様に構成された第一作動部材である昇降板１７４が設けられており、昇降板１７４の上下に既述の溝１３４に囲まれる領域１３５が設けられている。各領域１３５から支持部１７５が、図５９（ａ）（ｂ）に示すようにキャリアフレーム３１の開口部３２ａの周縁部３３に設けられた溝１７６を介して突縁部３７とキャリアドア４の側壁との間をロードポートドア２０側へ向けて伸びている。支持部１７５の先端にはスライダ１７７が設けられている。スライダ１７７は概ね２つの水平に伸びた円柱が上下に連なった形状を有しており、スライダ１７１と係合するように構成されている。また、スライダ１７７のキャリアドア４の中央側には第１の被結合部をなすローラ１７８が設けられている。スライダ１７１、１７７は、昇降板１３３、１７４を結合して、これらの昇降板１３３，１７４を連動させて動作させるための連動部を構成する。
また、昇降板１７４はロードポートドア２０側の昇降板１３３と同様に保持用突起５３を備え、保持部材４４，４５によりロードポートドア２０、キャリアフレーム３１に対して夫々異なる高さ位置で保持される。さらに、それらの保持用突起５３及び保持部材４４，４５が設けられる空間４７は昇降板１３３が夫々挿通されるＯリング４６，４６によりシールされた気密空間となっている。
キャリアドア４の側壁には、前記スライダ１７７及びローラ１７８が進入し、移動するための移動空間１８１が設けられている。図５８に示すように移動空間１８１はキャリアドア４の高さ方向に沿って形成されており、キャリアフレーム３１側に向かって開口した開口部１８２に連通している。開口部１８２の下方において、移動空間１８１を構成するキャリアドア４におけるキャリアフレーム３１側の壁面１８３にはローラ１７８が係合する凹部１８４が設けられており、第１の結合部をなす壁面１８３において凹部１８４の上側はキャリアフレーム３１側に向かって傾斜した傾斜面１８５として構成されている。
図５８に示す昇降板１７４が下降位置にあるときに、前記板バネとして構成された昇降板１７４の領域１３５により、ローラ１７８は凹部１８４に係合し、キャリアドア４をキャリアフレーム３１に向けて付勢し、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に保持される。また、後述のようにローラ１７８が傾斜面１８５上に位置しているときにも当該ローラ１７８は傾斜面１８５をキャリアフレーム３１側に付勢して、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に保持される。
図６１に示すようにキャリアドア４の正面には移動空間１８１に連通する開口部１８６が設けられており、この開口部１８６を介してスライダ１７１及びローラ１７２が前記移動空間１８１に進入することができる。また、開口部１８６の上方において、移動空間１８１を構成するキャリアドア４のロードポートドア２０側の壁面１８７にはローラ１７１が係合する凹部１８８が設けられている。この第２の結合部をなす壁面１８７において凹部１８８の下方側はロードポートドア２０側に向かって下降する傾斜面１８９として構成されている。
昇降板１３３が上昇位置にあるときに、前記板バネとして構成された昇降板１３４の領域１３５により、ローラ１７１は凹部１８８に係合し、キャリアドア４をロードポートドア２０に向けて付勢し、キャリアドア４をロードポートドア２０に密着される。また、後述のようにローラ１７８が傾斜面１８９上に位置しているときにも当該ローラ１７１は傾斜面１８９をロードポートドア２０側に付勢して、キャリアドア４がロードポートドア２０に密着される。
続いて、キャリアドア４が、キャリアフレーム３１からロードポートドア２０に受け渡される手順について説明する。既述の実施形態と同様にキャリア３が載置された載置台１１が移動し、キャリアフレーム３１がロードポートフレーム２１に密着すると、ロードポートドア２０が、キャリアフレーム３１側へと移動し、押圧板２６ｂがキャリアドア４をキャリアフレーム３１に向けて押圧する。そして、開口部１８６を介してスライダ１７１が移動空間１８１に進入し、スライダ１７７に係合する。図６２（ａ）はこのように互いに係合したときのスライダ１７１、１７７を示している。
その後、アクチュエータ１３９により昇降板１３３が図５８に示す下降位置（第３の位置）から上昇し、係合したスライダ１７１、１７７を介して昇降板１７４も図５８に示す下降位置（第１の位置）から上昇する。スライダ１７７のローラ１７８が凹部１８４から傾斜面１８５に乗り上げ、傾斜面１８５をキャリアフレーム３１側に付勢し、キャリアドア４がキャリアフレーム３１側に押圧されながら各昇降板１３３、１７４が上昇する。そして、ローラ１７８が傾斜面１８５を登り切り、傾斜面１８５の付勢が解除されるとローラ１７２が傾斜面１８９に乗り上げ、傾斜面１８９を押圧し、キャリアドア４がロードポートドア２０側に押圧されながら各昇降板１３３、１７４が上昇する。
図６２（ｂ）に示すようにローラ１７８が凹部１８８に係合すると、昇降板１３３，１７４が図６３に示す上昇位置（第４の位置、第３の位置）にて停止する。図６２（ｂ）においてローラ１７８が凹部１８８に係合したときには、スライダ１７７がキャリアフレーム３１に向けて付勢されているため、スライダ１７１、１７７同士の係合は解除される。然る後、図６４に示すようにロードポートドア２０がキャリアドア４を保持した状態でキャリアフレーム３１から遠ざかり、開口部１８２を介してスライダ１７７はキャリアドア４の外に出る。
キャリアドア４がロードポートドア２０からキャリアフレーム３１に受け渡される場合には、他の実施形態と同様にキャリアドア４がキャリアフレーム３１からロードポートドア２０に受け渡される場合と逆の動作が行われ、キャリアドア４を保持したロードポートドア２０が、キャリアフレーム３１へ向けて移動し、スライダ１７１とスライダ１７７とが係合した後、アクチュエータ１３９により、昇降板１３３が下降し、それに応じて昇降板１７４が下降する。そして、ローラ１７２が傾斜面１８９を転動し、ローラ１７２が傾斜面１８９から外れキャリアドア４のロードポートドア２０側への付勢が解除されると共にローラ１７８が傾斜面１８５に乗り上げ、キャリアドア４がキャリアフレーム３１側に付勢される。然る後ローラ１７８が凹部１８４に係合し、昇降板１３３、１７４の下降が停止する。その後、載置台１１が移動し、キャリア３がロードポートフレーム２１から遠ざかる。
この第１０の実施形態においても第９の実施形態と同様の効果が得られる。なお、第１０の実施形態においても第９の実施形態と同様にローラ１７８が傾斜面１８５を転動する状態と、ローラ１７２が傾斜面１８９を転動する状態とが重なり、昇降板１２３の移動中は、キャリアドア４がロードポートドア２０及びキャリアフレーム３１の両方に保持されるように各ローラの位置や各傾斜面の大きさなどを設定してもよい。また、第９、第１０の実施形態においても各昇降板の高さ位置の保持は、保持部材４４，４５と保持用突起５３との間の磁力による代わりに、第５の実施形態で説明した保持ブロック８４及び凹部８７，８８との機械的な係合により行ってもよい。
（第１１の実施形態）
続いて第１１の実施形態のロードポートドア２０及びキャリア３について、それらの正面側斜視図、縦断側面図、横断平面図である夫々図６５、６６、６７を参照しながら既述の各実施形態との差異点を中心に説明する。図６７に示すようにこの第１１の実施形態のロードポートドア２０については横方向に伸びる内部空間２００が形成されており、内部空間２００には横方向に沿って伸びる第二作動部材であるロッド２０１，２０１が設けられている。
ロッド２０１からは支持部１３６が、本体板２６ａの開口部１３２及び押圧板２６ｂの孔２６ｄを介して載置台１１側へと伸びている。支持部１３６の先端側にはスライダ２０２が設けられている。図６７に示すようにスライダ２０２は平面視、載置台１１側、ロードポートドア２０側の夫々が円弧状に構成されたブロックとして構成されており、このように構成されることで後述する支持板２２２の凹部２２３に係合する際にその凹部２２３内にガイドされると共に板バネ２３５の凹部２３６との係合及びその係合の解除が容易にできるようになっている。また、ロードポートドア２０にはロッド２０１、２０１を夫々横方向に駆動させるように既述のアクチュエータ１３９、１３９が設けられている。
続いて、この実施形態のキャリア３について、その分解斜視図である図６８及び縦断平面図である図６９も参照しながら説明する。キャリアフレーム３１の突縁部３７において、内側の左右の側壁の上下には横方向に向けて凹部２１１が形成されている。図６７に示すように凹部２１１において、キャリア３の前方側の側面は第１の結合部をなす傾斜面２１２として形成され、凹部２１１は入り口側に向かうほど大きく開口している。この傾斜面２１２は、後述する水平部２２３がキャリアドア４から突出したときに当該水平部２２３を凹部２１１の奥側へとガイドし、キャリアドア４がキャリアフレーム３１に確実に保持されるようにする役割を有する。
キャリアドア４の前面の左右には、内部空間４１に連通する透孔部２２１が形成されている。透孔部２２１は９０°回転したＴ字型に構成されており、透孔部２２１の縦方向の幅について、キャリアドア４の外側が内側よりも広くなっている。説明の便宜上、透孔部２２１について、その縦方向の幅の広い外側を外側透孔部２２１ａ、縦方向の幅の狭い外側を内側透孔部２２１ｂとする。外側透孔部２２１ａを介して前記スライダ２０２がキャリアドア４の内部空間４１に進入することができる。そして、その進入後、内側透孔部２２１ｂを介してスライダ２０２は横方向に移動することができる。
キャリアドア４の内部空間４１の左右には、上下に伸びる第一作動部材である支持板２２２が設けられている。そして、支持板２２２の上端及び下端からはキャリアドア４の外方に向けて横方向に第１の被結合部をなす水平部２２３が伸びており、水平部２２３の先端はキャリアドア４の外側に突出し、前記凹部２１１に係合している。
支持板２２２にはその厚さ方向に凹部２２４が形成されており、透孔部２２１ａを介して内部空間４１に進入したスライダ２０２は、この凹部２２４に係合する。凹部２２４とスライダ２０２の凹部２２４に向かう側とは、支持板２２２とロッド２０１とを結合し、これら支持板２２２及びロッド２０１を連動させて動作させるための連動部を構成する。図６７の点線の枠内に示すように凹部２２４の入り口の左右の側壁２２５は、凹部２２４の内部から外部に向かうにつれてカーブを描くように横方向に広がるように形成されており、スライダ２０２を凹部２２４の奥側へとガイドするように構成されている。また、支持板２２２にはその上下にキャリア３の後部側に向かう突起２２６が設けられている。
水平部２２３には、その長さ方向に伸びるスリット２２７が当該水平部２２３の厚さ方向に形成されている。そして、キャリアドア４の厚さ方向に向かうように設けられたピン２２８，２２８が、このスリット２２７を貫通している。後述するようにスライダ２０２が移動するときにピン２２８及びスリット２２７により当該水平部２２７がガイドされ、スライダ２０２の横方向の移動に応じてその移動経路と平行に移動する。
また、キャリアドア４においてキャリアフレーム３１側の内壁面を２３１、ロードポートドア２０側の内壁面を２３２とすると、内壁面２３１には板バネ２３３が設けられている。板バネ２３３は図６７に示すように支持板２２２、ロッド２０１が夫々外側位置（第１の位置、第３の位置）にあり、水平部２２３が凹部２１１に収まっているときに、支持板２２２をロードポートドア２０側へ向けて付勢する。これによって、水平部２２３は傾斜面２１２に向けて付勢されて水平部２２３が凹部２１１に係合すると共にキャリアドア４の裏面はキャリアフレーム３１に向けて付勢され、キャリアドア４はキャリアフレーム３１に保持される。板バネ２３３には凹部２３４が形成されており、支持板２２２の前記突起２２６がこの凹部２３４に係合することで、支持板２２２の水平方向の位置が固定される。
また、内壁面２３２には各透孔部２２１ｂを上下に挟むように第２の結合部をなす板バネ２３５が設けられている。板バネ２３５は、後述するように支持板２２２、ロッド２０１が内側位置（第２の位置、第４の位置）に移動したときに、透孔部２２１ａから進入してキャリアドア４の内側方向へと移動したスライダ２０２をキャリアフレーム３１側へ向けて付勢する。その付勢によってキャリアドア４の表面はキャリアフレーム３１に向けて付勢され、キャリアドア４がロードポートドア２０に対して保持される。また、板バネ２３５には凹部２３６が形成されており、第２の被結合部をなすスライダ２０２のロードポートドア２０側に向かう面が、この凹部２３６に係合し、スライダ２０２の横方向の位置が固定される。
続いて、この第１１の実施形態においてキャリアドア４が、キャリアフレーム３１からロードポートドア２０に受け渡される手順について説明する。既述の実施形態と同様にキャリア３が載置された載置台１１が移動し、キャリアフレーム３１がロードポートフレーム２１に密着すると、ロードポートドア２０が、キャリアフレーム３１側へと移動し、押圧板２６ｂがキャリアドア４をキャリアフレーム３１に向けて押圧する。そして、外側透孔部２２１ａを介してスライダ２０２が支持板２２２の凹部２２４に進入し、図６６及び図６７に示すようにスライダ２０２に係合する。
その後、アクチュエータ１３９によりスライダ２０２及び支持板２２２がキャリアドア４の内側へと向かって移動して、支持板２２２の突起２２６が板バネ２３３の凹部２３４から外れる。支持板２２２が移動を続けて、板バネ２３３から外れて当該板バネ２３３による当該支持板２２２のロードポートドア２０側への付勢が解除される。そして、スライダ２０２が板バネ２３５に乗り上げ、スライダ２０２がキャリアフレーム３１側に付勢され、それによってキャリアドア４がロードポートドア２０側に付勢されて、キャリアドア４がロードポートドア２０に受け渡される。そして、凹部２１１から水平部２２３が抜け出て、スライダ２０２が凹部２３６に係合し、アクチュエータ１３９によるスライダ２０２の移動が停止する。図７０（ａ）はこのようにスライダ２０２の移動が停止したときの状態を示している。然る後、図７０（ｂ）に示すようにロードポートドア２０がキャリアドア４を保持した状態でキャリアフレーム３１から遠ざかる。
キャリアドア４がロードポートドア２０からキャリアフレーム３１に受け渡される場合には、他の実施形態と同様にキャリアドア４がキャリアフレーム３１からロードポートドア２０に受け渡される場合と逆の動作が行われる。先ず、キャリアドア４を保持したロードポートドア２０が、キャリアフレーム３１へ向けて移動し、図７０（ａ）に示すキャリアドア４を受け取った位置に移動した後、アクチュエータ１３９によりスライダ２０２及びスライダ２０２に係合した支持板２２２がキャリアドア４の外側へと向かって移動し、スライダ２０２が板バネ２３５の凹部２３６から外れる。
水平部２２３が凹部２１１に進入し、板バネ２３５からスライダ２０２が外れて、板バネ２３５によるスライダ２０２のキャリアフレーム３１側への付勢が解除される。そして、支持板２２２が板バネ２３３に乗り上げ、支持板２２２がロードポートドア２０側に付勢され、それによって水平部２２３が凹部２１１の傾斜面２１２に付勢されると共にキャリアドア４がキャリアフレーム３１側に付勢されて、キャリアドア４がロードポートドア２０に受け渡される。さらに支持板２２２が移動を続けて、突起２２６が板バネ２３３の凹部２３４に係合し、アクチュエータ１３９による支持板２２２の移動が停止する。その後、ロードポートドア２０がキャリア３から遠ざかり、スライダ２０２が支持板２２２の凹部２２４から外れ、さらに透孔部２２１ａを介してキャリアドア４から抜け出て、然る後キャリア３が載置された載置台１１がロードポートフレーム２１から遠ざかる。
この第１１の実施形態においても第９、第１０の実施形態と同様の効果がある。さらに、この第１１の実施形態においては、アクチュエータ１３９により駆動するロッド２０１と、支持板２２２との組が２組設けられており、これらの組が互いに同時に逆方向に同一直線上を移動するので、これらの移動によるキャリアフレーム３１やキャリアドア４にかかる力が相殺される。このように力が相殺されることによりキャリアフレーム３１及びキャリアドア４の位置ずれを抑え、より安定して確実にキャリアドア４の受け渡しを行うことができる。なお、この第１１の実施形態においては、第一作動部材及び第二作動部材の組が２組設けられている例であるが、動作機構により動作する作動部材の組が２つ設けられ、一方の作動部材と他方の作動部材とが、互いに同時に逆方向に直線移動する場合にも同様にこれら作動部材による力が相殺されるので、安定してキャリアドア４の受け渡しを行うことができるので、既述の各実施形態を適宜、そのように変形して構成してもよい。
ところで、図７１には第１１の実施形態においてキャリアドア４の前面に形成される開口部の変形例を示している。図７１（ａ）に示す透孔部２４１は、透孔部２２１と同様にＴ字形状に形成され、スライダ２０２が挿入される挿入領域２４１ａと、スライダ２０２が板バネ２３５の凹部２３６に係合する位置に対応する領域である終端領域２４１ｃと、これら挿入領域２４１ａと終端領域２４１ｃとの間を結ぶ案内領域２４１ｂとを備えており、この案内領域２４１ｂが挿入領域２４１ａから終端領域２４１ｃに向かうにつれてその幅が狭くなっている。このように開口部を構成することで、スライダ２０２を支持する支持部１３６の動きにがたつきがあっても、その支持部１３６が確実に終端領域２４１ｃへとガイドされて、スライダ２０２を凹部２３６に係合させることができる。
また、第１１の実施形態においてキャリアドア４の前面に形成される開口部としては、Ｔ字型に限られず、図７１（ｂ）に示すようにＬ字型であってもよい。また、例えば支持部１３６とスライダ２０２との間にバネなどの弾性体２４２を介在させることで、例えば図７１（ｃ）に示すように案内領域２４１ｂをロッド２０１の移動方向と平行に形成しなくてもよい。第１１の実施形態において説明してきたが、この図７１に示す各構成を第９の実施形態の透孔部１４１に適用してもよい。
また、第１１の実施形態においてもロッド２０１、支持板２２２について、保持部材４４，４５と保持用突起５３とを設けたり、保持ブロック８４及び凹部８７，８８を設けて、これらロッド２０１及び支持板２２２の各水平位置が固定されるようにしてもよいし、Ｏリング４６を利用して、これらが設けられる空間を閉空間にしてもよい。
ところで、第６、第９、第１０、第１１の実施形態では、１つの動作機構（アクチュエータ）によりキャリアドア４、キャリアフレーム３１またはロードポートドア２０の各部材に設けられた２つの作動部材（ロッド、昇降板、支持板）が動作する。そして、各作動部材がある一方の位置に位置するときにはロードポートドア２０とキャリアドア４との結合が成立するが、キャリアドア４とキャリアフレーム３１との結合が成立しなくなり、一方の位置とは異なる他方の位置に位置するときには、キャリアドア４とキャリアフレーム３１との結合が成立するが、ロードポートドア２０とキャリアドア４との結合が成立しなくなる。実施の形態では、具体的な例として上記の３つの例のみ示したが、そのような概念に基づいた各構成例を図７２に示している。
図６５について説明すると、１９１、１９２は作動部材である。１９３、１９４はキャリアドア４、キャリアフレーム３１、ロードポートドア２０の各部材に設けられた夫々結合部、被結合部であり、図７２では結合部１９３、被結合部１９４の高さが揃うと、高さが揃った結合部と被結合部とを備える部材間の結合が成立するものとして示している。また、図中１９５は作動部材が動作する際に当該作動部材１９１、１９２を結合して動作させるための連動部である。
図７２（ａ）はキャリアドア４に作動部材１９１、１９２が設けられた例を示している。なお、この例においては、同じ部材に設けられた作動部材１９１、１９２が連結されていることから、作動部材を一つと見ることもでき、そのように見ると、第１〜第５の実施形態についてはこの図７２（ａ）の構成に含まれる。図７２（ｂ）はロードポートドア２０、キャリアフレーム３１に夫々作動部材１９１、１９２が設けられた例を示しており、第６の実施形態、第１０の実施形態はこの構成に含まれる。第６の実施形態ではアクチュエータ９５ａ，９５ｂが動作機構と共に連動部１９５の役割を兼ねている。図７２（ｃ）はロードポートドア２０、キャリアドア４に夫々作動部材１９１、１９２が設けられた例を示しており、第９の実施形態及び第１１の実施形態は、この構成に含まれる。図７２（ｄ）はキャリアドア４及びキャリアフレーム３１に夫々作動部材１９１、１９２が設けられた例を示している。既述の第６、第９、第１０及び第１１の実施形態は、適宜変更してこの図７２（ａ）（ｄ）に示す各構成に転用することができる。また、各図の構成において動作機構は連結された作動部材１９１、１９２のうち、どちらを駆動させてもよい。
また、上記図７２（ｂ）の構成をとったときに、第９，第１１の実施の形態と同様にキャリアドア４の前面に孔（透孔部）を設けて、ロードポートドア２０からキャリアドア４に向けて突出した被結合部が前記孔に入ったときに作動部材を駆動させて、キャリアドア４に設けられた結合部と前記被結合部とを結合させてもよい。このように孔を形成する場合、孔の形状としては第９の実施形態と同様のＴ字形状にしたり、図７１（ａ）〜（ｃ）に示す各形状にしてもよい。そして、前記孔をＴ字形状やＬ字状にした場合は、既述の各例と同様にその孔の幅の狭い方と幅の広い方との間で被結合部を駆動させ、結合部と被結合部との結合及び結合の解除を行う。
また、図７２（ａ）の構成をとったときにはキャリアドア４の前面に孔を設けて作動部材により駆動される結合部をその孔を介してロードポートドア２０に向けて突出させる。そして、結合部を駆動させてロードポートドア２０に設けられた被結合部とその結合部との結合及びその解除を行うようにしてもよい。その場合も前記孔としては、図７２（ｂ）の構成をとったときと同様にＴ字形状や図７１（ａ）〜（ｃ）に示す各形状を適用することができ、孔をＴ字形状やＬ字形状にした場合は、その孔の幅の狭い方と幅の広い方との間で前記結合部を駆動させ、前記結合の形成及びその結合の解除を行う。なお、図７２（ｄ）の構成をとったときには、図７２（ａ）の構成をとったときと同様にキャリアドア４の前面に孔を形成し、前記結合部を駆動させ、ロードポートドア２０の被結合部との結合の形成及びその結合の解除を行うことができる。
また、本発明においては被結合部をなす部材は、ロッドなどの作動部材に形成されている場合に限定されるものではなく、例えば作動部材の動作に応じて作動部材と別体の被結合部をなす部材が駆動する場合も本発明の権利範囲に含まれ、その場合、被結合部をなす部材は、作動部材の移動方向に移動することに限られない。例えば第１の実施の形態ではアクチュエータ２４，２５により動作する作動部材であるロッド５１に被結合部を構成するフック３６が形成されているが、ロッド５１とフック３６とが分離しており、アクチュエータ２４，２５によりロッド５１が動作すると、ロッド５１とフック３６とを連結する連結部材を介してフック３６が駆動する場合も本発明の権利範囲に含まれる。
Ｗ ウエハ
１ 半導体製造装置
１１ 載置台
２ ロードポート
２０ ロードポートドア
２１ ロードポートフレーム
２２ 開口部
２４，２５ アクチュエータ
２６ａ 本体板
２６ｂ 押圧板
２７ ピン
２７ａ 先端部
３ キャリア
３１ キャリアフレーム
３２ａ 開口部
３６ フック
３６ａ 起立部
４ キャリアドア
５１ ロッド
５５ フック用スライダ
５６ ピン用スライダ
６１ フック
６１ａ 下降部
６４ フック用スライダ
１３３ 昇降板
１３８ ローラ
１３９ アクチュエータ
１４１ 透孔部
１５５ ローラ
２４１ 透孔部

Claims (68)

  1. 被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉するシステムであって、
    前記蓋体を容器本体から取り外して保持するための保持部材と、
    前記蓋体と容器本体とが結合されかつ蓋体と保持部材とが結合されていない状態とするための一方の位置と、蓋体と保持部材とが結合されかつ蓋体と容器本体とが結合されていない状態とするための他方の位置と、の間で前記蓋体と平行にかつ直線的に移動可能に設けられた作動部材と、
    この作動部材を前記一方の位置と前記他方の位置との間で移動させるための動作機構と、を備えた搬送容器の蓋体開閉システム。
  2. 前記作動部材は、少なくとも前記搬送容器に設けられ、
    前記容器本体及び蓋体の一方には、前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に作動部材が他方の位置に置かれているときに当該結合が解除された状態にある結合部が設けられ、
    前記蓋体及び保持部材の一方には、前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に前記作動部材が一方の位置にあるときには当該結合が解除されている状態にある結合部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  3. 前記作動部材は前記蓋体に設けられ、
    前記容器本体には、前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
    前記保持部材には、前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される第２の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられたことを特徴とする請求項１または２記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  4. 前記第１の結合部は、作動部材により駆動される第１の被結合部と結合するときには当該第１の被結合部よりも保持部材側に位置し、また第２の結合部は作動部材により駆動される第２の被結合部と結合するときには当該第２の被結合部よりも容器本体側に位置し、
    前記作動部材は、移動方向に伸びる軸の回りに回動自在に構成され、
    前記作動部材により駆動される第１の被結合部及び第２の被結合部が夫々容器本体の第１の結合部及び保持部材の第２の結合部を押圧する方向に作動部材を回動させるように付勢された付勢手段と、
    前記動作機構により作動部材を直線的に移動させる前に、当該作動部材を前記付勢手段の付勢力に抗して回動させるための回動機構と、を設けたことを特徴とする請求項３に記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  5. 前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
    前記蓋体には、前記第一作動部材が前記第１の位置に置かれるときに当該第一作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記第一作動部材が前記第２の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
    前記蓋体には、前記第二作動部材が前記第４の位置に置かれるときに当該第二作動部材により駆動される第２の被結合部に機械的または磁気的に結合すると共に前記第二作動部材が前記第３の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられ、
    前記動作機構は、前記第一作動部材を第１の位置と第２の位置との間で直線的に移動させると共に前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させるためのものであり、
    前記第一作動部材及び第二作動部材が同時に移動するように構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  6. 前記第一作動部材及び第二作動部材は互いに連動して移動するように構成されたことを特徴とする請求項５記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  7. 搬送容器の蓋体における前面には透孔部が形成され、
    この透孔部は、第二作動部材により駆動される第２の被結合部が挿入されるための挿入領域と、この挿入領域に挿入された部分を前記第４の位置に対応する終端領域に案内する案内領域と、を備えたことを特徴とする請求項５または６記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  8. 前記案内領域は、前記挿入領域に挿入された部分を終端領域に呼び込むために、前記挿入領域から終端領域に向かうにつれて孔の幅が狭くなっていることを特徴とする請求項７記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  9. 前記透孔部はＴ字形状であることを特徴とする請求項８記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  10. 前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように蓋体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
    前記容器本体には、前記第一作動部材が前記第１の位置に置かれるときに当該第一作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記第一作動部材が前記第２の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
    前記蓋体には、前記第二作動部材が前記第４の位置に置かれるときに当該第二作動部材により駆動される第２の被結合部に機械的または磁気的に結合すると共に前記第二作動部材が前記第３の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられ、
    前記動作機構は、前記第一作動部材を第１の位置と第２の位置との間で直線的に移動させると共に前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させるためのものであり、
    前記第一作動部材及び第二作動部材が同時に移動するように構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  11. 前記動作機構は、前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させ、
    前記第二作動部材が第３の位置から第４の位置に移動させられるときには、前記第一作動部材が第１の位置から前記第２の位置に移動させられるように連動し、また前記第二作動部材が第４の位置から第３の位置に移動させられるときには、前記第一作動部材が第２の位置から前記第１の位置に移動させられるように連動するように構成されたことを特徴とする請求項１０記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  12. 搬送容器の蓋体における前面には透孔部が形成され、
    この透孔部は、第二作動部材により駆動される第２の被結合部が挿入されるための挿入領域と、この挿入領域に挿入された部分を前記第４の位置に対応する終端領域に案内する案内領域と、を備えたことを特徴とする請求項１０または１１記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  13. 前記案内領域は、前記挿入領域に挿入された部分を終端領域に呼び込むために、前記挿入領域から終端領域に向かうにつれて孔の幅が狭くなっていることを特徴とする請求項１２記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  14. 前記透孔部はＴ字形状であることを特徴とする請求項１３記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  15. 前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記蓋体に設けられた第二作動部材と、を備え、
    前記蓋体には、前記第一作動部材が前記第１の位置に置かれるときに当該第一作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記第一作動部材が前記第２の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部が設けられ、
    前記保持部材には、前記第二作動部材が前記第４の位置に置かれるときに当該第二作動部材により駆動される第２の被結合部に機械的または磁気的に結合すると共に前記第二作動部材が前記第３の位置に置かれるときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部が設けられ、
    前記動作機構は、前記第一作動部材を第１の位置と第２の位置との間で直線的に移動させると共に前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させるためのものであり、
    前記第一作動部材及び第二作動部材が同時に移動するように構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  16. 前記第一作動部材及び第二作動部材は互いに連動して移動するように構成されたことを特徴とする請求項１５記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  17. 第一作動部材及び第二作動部材の組が２組設けられ、一方の組と他方の組とは、互いに同時に逆方向に直線移動することを特徴とする請求項５ないし１６のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  18. 前記一方の組と他方の組とは、互いに同一直線上を移動することを特徴とする請求項１７に記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  19. 前記結合部と被結合部とが相対的に押し付け合うように付勢作用が働く付勢手段を備えたことを特徴とする請求項２ないし１８のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  20. 前記結合部及び被結合部の少なくとも一方には、押圧子が含まれていることを特徴とする請求項２ないし１９のいずれか一項に記載の蓋体開閉システム。
  21. 前記押圧子を作動部材の移動方向に沿って結合部または被結合部に案内するための案内路を備えていることを特徴とする請求項２０記載の蓋体開閉システム。
  22. 前記結合部及び被結合部の少なくとも一方には押圧子が係合する凹部が形成されていることを特徴とする請求項２０または２１記載の蓋体開閉システム。
  23. 前記結合部と被結合部との結合に加えて、この結合時に作動部材を保持部材、蓋体及び容器本体のいずれかの部材に保持させるための保持力を発生する手段を備えたことを特徴とする請求項２ないし２１のいずれか一項に記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  24. 前記作動部材を前記部材に保持させるための保持力を発生する手段は、
    前記部材及び作動部材側の部位のうちの一方及び他方に夫々凹部とこの凹部に係合する突起部とを、対応する位置に設けて構成され、
    前記突起部は、飛び出す方向に付勢されてその付勢力により凹部に係合するように構成されていることを特徴とする請求項２３記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  25. 前記作動部材を前記部材に保持させるための保持力を発生する手段は、蓋体側の部位及び作動部材側の部位との間に磁気的な引力を発生する手段であることを特徴とする請求項２３記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  26. 前記作動部材を一方の位置にて前記部材に保持させるための保持力を発生する手段と、作動部材を他方の位置にて前記部材に保持させるための保持力を発生する手段とは、作動部材が前記部材の中を貫通している領域に設けられ、
    これら手段に対して作動部材の移動方向の両側には、作動部材の移動空間を気密にシールして当該手段からの発塵を抑えるためのシール部材が設けられていることを特徴とする請求項２３ないし２５のいずれか一項に記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  27. 前記保持部材は、蓋体の開閉時に蓋体を容器本体に押圧するように構成されていることを特徴とする請求項１ないし２６のいずれか一項に記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  28. 前記保持部材は、本体部と、この本体部における搬送容器の支持領域側に本体部用の付勢手段を介して設けられた押圧部材と、を備え、前記付勢手段は、前記押圧部材が搬送容器の蓋体の前面に当接してから前記本体部が更に搬送容器側に相対的に接近したときに、前記押圧部材が当該蓋体を容器本体側に押圧するように付勢されるものであることを特徴とする請求項２７記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  29. 前記作動部材は上下方向または横方向に移動することを特徴とする請求項１ないし２８のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  30. 前記作動部材は、その長さ方向に移動する棒状体であることを特徴とする請求項１ないし２９のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  31. 前記動作機構及び作動部材の組が２組設けられ、一方の組の作動部材と他方の組の作動部材とは、互いに同時に逆方向に直線移動することを特徴とする請求項１ないし３０のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  32. 前記一方の組の作動部材と他方の組の作動部材とは、互いに同一直線上を移動することを特徴とする請求項３１に記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  33. 被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉するシステムであって、
    前記蓋体と平行な軸の周りに第１の向きと第２の向きとの間で回動できるように当該蓋体に設けられた作動部材と、
    この作動部材を第１の向きと第２の向きとの間で回動させるための動作機構と、
    前記容器本体に設けられ、前記作動部材が第１の向きに置かれているときには当該作動部材により駆動される第１の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が第２の向きに置かれているときには当該結合が解除された状態にある第１の結合部と、
    前記蓋体を容器本体から取り外して保持するための保持部材と、
    この保持部材に設けられ、前記作動部材が第２の向きに置かれているときには当該作動部材により駆動される第２の被結合部と機械的または磁気的に結合すると共に前記作動部材が第１の向きに置かれているときには当該結合が解除された状態にある第２の結合部と、を備えたことを特徴とする搬送容器の蓋体開閉システム。
  34. 請求項１ないし３３のいずれか一つに記載された搬送容器の蓋体開閉システムに用いられ、前記容器本体と前記蓋体とを備えたことを特徴とする搬送容器。
  35. 請求項１ないし３３のいずれか一つに記載された搬送容器の蓋体開閉システムに用いられ、少なくとも前記動作機構と、前記保持部材と、前記搬送容器を支持するための支持部と、を備えたことを特徴とする搬送容器の蓋体開閉装置。
  36. 被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開放する方法であって、
    前記搬送容器を支持部に支持し、前記蓋体と保持部材とを互いに接近させる工程と、
    次いで作動部材を、前記蓋体と容器本体とが結合されかつ蓋体と保持部材とが結合されていない状態とするための一方の位置から、蓋体と保持部材とが結合されかつ蓋体と容器本体とが結合されていない状態とするための他方の位置に、動作機構により前記蓋体と平行にかつ直線的に移動させる工程と、
    その後、保持部材と搬送容器とを互いに離す工程と、を備えたことを特徴とする搬送容器の蓋体開放方法。
  37. 前記作動部材は、少なくとも前記搬送容器に設けられ、
    前記容器本体及び蓋体の一方には、前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に作動部材が他方の位置に置かれているときに当該結合が解除された状態にある結合部が設けられ、
    前記蓋体及び保持部材の一方には、前記作動部材が他方の位置に置かれているときに当該作動部材により駆動される被結合部と結合すると共に前記作動部材が一方の位置にあるときには当該結合が解除されている状態にある結合部が設けられていることを特徴とする請求項３６記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  38. 前記作動部材は前記蓋体に設けられ、
    前記作動部材が前記一方の位置に置かれているときには、当該作動部材により駆動される第１の被結合部と前記容器本体に設けられた第１の結合部とが機械的または磁気的に結合しかつ当該作動部材により駆動される第２の被結合部と前記保持部材に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態にあり、
    前記作動部材が前記他方の位置に置かれているときには、前記第２の被結合部と前記保持部材に設けられた第２の結合部とが機械的または磁気的に結合されかつ前記第１の被結合部と前記容器本体に設けられた第１の結合部とが結合されていない状態にあることを特徴とする請求項３６または３７に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  39. 前記第１の結合部は、作動部材により駆動される第１の被結合部と結合するときには当該第１の被結合部よりも保持部材側に位置し、また第２の結合部は作動部材により駆動される第２の被結合部と結合するときには当該第２の被結合部よりも容器本体側に位置し、
    前記作動部材は、移動方向に伸びる軸の回りに回動自在に構成され、
    前記作動部材は、第１の被結合部及び第２の被結合部が夫々容器本体の第１の結合部及び保持部材の第２の結合部を押圧する方向に回動するように付勢手段により付勢されており、
    前記動作機構により作動部材を直線的に移動させる前に、当該作動部材を前記付勢手段の付勢力に抗して回動させる工程を含むことを特徴とする請求項３８に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  40. 前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
    前記動作機構により、前記第一作動部材を前記第１の位置から第２の位置に移動させると同時に前記第二作動部材を第３の位置から第４の位置へ移動させ、これにより第一作動部材により駆動される第１の被結合部と蓋体に形成された第１の結合部とが機械的または磁気的に結合されている状態から当該結合が解除される状態になると共に、第二作動部材により駆動される第２の被結合部と蓋体に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程を含むことを特徴とする請求項３６または３７記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  41. 前記第一作動部材及び第二作動部材は互いに連動して移動することを特徴とする請求項４０に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  42. 搬送容器の蓋体における前面には透孔部が形成され、
    この透孔部は、第二作動部材により駆動される第２の被結合部が挿入されるための挿入領域と、この挿入領域に挿入された部分を前記第４の位置に対応する終端領域に案内する案内領域と、を備えたことを特徴とする請求項４０または４１記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  43. 前記案内領域は、前記挿入領域に挿入された部分を終端領域に呼び込むために、前記挿入領域から終端領域に向かうにつれて孔の幅が狭くなっていることを特徴とする請求項４２記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  44. 前記透孔部はＴ字形状であることを特徴とする請求項４３記載の搬送容器の蓋体開閉システム。
  45. 前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように蓋体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記保持部材に設けられた第二作動部材と、を備え、
    前記動作機構により、前記第一作動部材を前記第１の位置から第２の位置に移動させると同時に前記第二作動部材を第３の位置から第４の位置へ移動させ、これにより第一作動部材により駆動される第１の被結合部と容器本体に形成された第１の結合部とが機械的または磁気的に結合されている状態から当該結合が解除される状態になると共に、第二作動部材により駆動される第２の被結合部と蓋体に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程を含むことを特徴とする請求項３６または３７記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  46. 前記動作機構は、前記第二作動部材を第３の位置と第４の位置との間で直線的に移動させ、
    前記第二作動部材が第３の位置から第４の位置に移動させられるときには、前記第一作動部材が第１の位置から前記第２の位置に移動させられるように連動し、また前記第二作動部材が第４の位置から第３の位置に移動させられるときには、前記第一作動部材が第２の位置から前記第１の位置に移動させられるように連動することを特徴とする請求項４５記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  47. 搬送容器の蓋体における前面には透孔部が形成され、
    この透孔部は、第二作動部材により駆動される第２の被結合部が挿入されるための挿入領域と、この挿入領域に挿入された部分を前記第４の位置に対応する終端領域に案内する案内領域と、を備えたことを特徴とする請求項４５または４６記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  48. 前記案内領域は、前記挿入領域に挿入された部分を終端領域に呼び込むために、前記挿入領域から終端領域に向かうにつれて孔の幅が狭くなっていることを特徴とする請求項３６記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  49. 前記透孔部はＴ字形状であることを特徴とする請求項４８に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  50. 前記作動部材は、前記蓋体と平行にかつ直線的に第１の位置と第２の位置との間で案内されるように容器本体に設けられた第一作動部材と、この第一作動部材の移動路と平行にかつ直線的に第３の位置と第４の位置との間で案内されるように前記蓋体に設けられた第二作動部材と、を備え、
    前記動作機構により、前記第一作動部材を前記第１の位置から第２の位置に移動させると同時に前記第二作動部材を第３の位置から第４の位置へ移動させ、これにより第一作動部材により駆動される第１の被結合部と蓋体に形成された第１の結合部とが機械的または磁気的に結合されている状態から当該結合が解除される状態になると共に、第二作動部材により駆動される第２の被結合部と保持部材に設けられた第２の結合部とが結合されていない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程を含むことを特徴とする請求項３６または３７記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  51. 前記第一作動部材及び第二作動部材は互いに連動して移動することを特徴とする請求項５０に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  52. 第一作動部材及び第二作動部材の組が２組設けられ、一方の組と他方の組とは、互いに同時に逆方向に直線移動することを特徴とする請求項４０ないし５１のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  53. 前記一方の組と他方の組とは、互いに同一直線上を移動することを特徴とする請求項５２に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  54. 前記結合部と被結合部とが相対的に押し付け合うように付勢作用が働いていることを特徴とする請求項３７ないし５３のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  55. 前記結合部及び被結合部の少なくとも一方には、押圧子が含まれていることを特徴とする請求項３７ないし５４のいずれか一項に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  56. 前記押圧子を作動部材の移動方向に沿って結合部または被結合部に案内するための案内路を備えていることを特徴とする請求項５５記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  57. 前記結合部及び被結合部の少なくとも一方には押圧子が係合する凹部が形成されていることを特徴とする請求項５５または５６記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  58. 前記結合部と被結合部との結合に加えて、この結合時に作動部材を保持部材、蓋体及び容器本体のいずれかの部材に保持させるための保持力を発生する手段を備えたことを特徴とする請求項３７ないし５７のいずれか一項に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  59. 前記作動部材を前記部材に保持させるための保持力を発生する手段は、
    前記部材及び作動部材側の部位のうちの一方及び他方に夫々凹部とこの凹部に係合する突起部とを、対応する位置に設けて構成され、
    前記突起部は、飛び出す方向に付勢されてその付勢力により凹部に係合するように構成されていることを特徴とする請求項５８記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  60. 前記作動部材を前記部材に保持させるための保持力を発生する手段は、蓋体側の部位及び作動部材側の部位との間に磁気的な引力を発生する手段であることを特徴とする請求項５８記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  61. 前記作動部材を一方の位置にて前記部材に保持させるための保持力を発生する手段と、作動部材を他方の位置にて前記部材に保持させるための保持力を発生する手段とは、作動部材が前記部材の中を貫通している領域に設けられ、
    これら手段に対して作動部材の移動方向の両側には、作動部材の移動空間を気密にシールして当該手段からの発塵を抑えるためのシール部材が設けられていることを特徴とする請求項５８ないし６０のいずれか一項に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  62. 前記保持部材は、蓋体の開閉時に蓋体を容器本体に押圧するように構成されていることを特徴とする請求項３６ないし６１のいずれか一項に記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  63. 前記保持部材は、本体部と、この本体部における搬送容器の支持領域側に本体部用の付勢手段を介して設けられた押圧部材と、を備え、前記付勢手段は、前記押圧部材が搬送容器の蓋体の前面に当接してから前記本体部が更に搬送容器側に相対的に接近したときに、前記押圧部材が当該蓋体を容器本体側に押圧するように付勢されるものであることを特徴とする請求項６２記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  64. 前記作動部材は上下方向または横方向に移動することを特徴とする請求項３６ないし６３のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  65. 前記作動部材は、その長さ方向に移動する棒状体であることを特徴とする請求項３６ないし６４のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  66. 前記動作機構及び作動部材の組が２組設けられ、一方の組の作動部材と他方の組の作動部材とは、互いに同時に逆方向に直線移動することを特徴とする請求項３６ないし６５のいずれか一つに記載の搬送容器の蓋体開放方法。
  67. 前記一方の組の作動部材と他方の組の作動部材とは、互いに同一直線上を移動することを特徴とする請求項６６に記載の搬送容器の蓋体開放方法
  68. 被処理体を収容する容器本体とこの容器本体の前面の開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開放する方法であって、
    前記搬送容器を支持部に支持し、前記蓋体と保持部材とを互いに接近させる工程と、
    前記蓋体に設けられた作動部材を動作機構により前記蓋体と平行な軸の周りに第１の向きから第２の向きに回動させることにより、作動部材により駆動される第１の被結合部と容器本体に設けられた第１の結合部とが機械的または磁気的に結合した状態から当該結合を解除した状態になりかつ当該作動部材により駆動される第２の被結合部と保持部材に設けられた第２の結合部とが結合していない状態から機械的または磁気的に結合する状態になる工程と、
    その後、保持部材と搬送容器とを互いに離す工程と、を備えたことを特徴とする搬送容器の蓋体開放方法。
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CN113906548A (zh) * 2019-05-20 2022-01-07 应用材料公司 处理套组外壳系统

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