TWI697523B - 基板收納容器 - Google Patents

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加藤勝彥
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Abstract

本發明既維持基板收納容器內之保持部之槽內之基板的順利之上下移動，且亦實現減少基板端面附近之與保持部之擦痕。
本發明係關於一種基板收納容器1，其具備收納基板W之至少一側開口之容器本體2、及能夠開閉自如地裝卸於該容器本體2之開口部5之蓋體3，且於容器本體2之內部，具備附有將基板W之後方部位予以保持之第一保持槽12a之第一保持部12，於蓋體3之內側，具備附有將基板W之前方部位予以保持之第二保持槽25a之第二保持部25，使第一保持部12中之至少第一保持槽12a由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。

Description

基板收納容器
[參照]
本申請案係基於2015年4月10日於日本提出申請之特願2015-080588而主張優先權，該申請案中記載之內容引用於本說明書。又，本案中引用之專利、專利申請案及文獻中記載之內容引用於本說明書。
本發明係關於一種收納半導體晶圓、光罩玻璃、鋁碟片等基板之基板收納容器。
近年來，隨著由半導體晶圓基板、光罩玻璃、鋁碟片等所代表之基板之大口徑化而製造及銷售前開箱式之基板收納容器。該基板收納容器主要包含將複數片基板整齊排列收納之前開型之容器本體、及能夠裝卸於該容器本體之開口正面使之開閉自如之蓋體。收納於基板收納容器內之基板由形成於容器內之保持部逐片地支持。一般而言，容器本體及蓋體係由剛性及自外部觀察之容器內部之視認性均優異、清潔度較高之聚碳酸酯樹脂或聚丙烯樹脂而形成。
但是，基板有因對基板收納容器施加振動或衝擊而於該容器內自轉之情形。若基板於該容器內自轉，則因基板與上述保持部之槽之摩擦而有可能產生磨耗粉，而使基板之污染風險增大。為降低此種風險，使公知之基板收納容器中具備之保持部以相較於容器本體及蓋體摩擦阻力小且滑動性良好之材料構成。作為該材料，使用添加有滑動 材之高耐摩耗性聚碳酸酯樹脂、或聚對苯二甲酸丁二酯樹脂(例如，參照專利文獻1)。進而，亦提出將聚對苯二甲酸丁二酯樹脂被覆於聚碳酸酯樹脂製之保持部之表面(例如，參照專利文獻2)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2003-068839號公報
[專利文獻2]日本專利特開2006-324327號公報
於上述基板收納容器中，在利用蓋體關閉容器本體之開口部時，容器本體之內部之基板於保持部之槽中上滑。另一方面，若自容器本體之開口部卸下蓋體，則基板於保持部之槽中下滑。即，藉由蓋體之開閉而使基板於保持部之槽內上下移動。若使保持部本身或保持部之表面為聚對苯二甲酸丁二酯樹脂製，則基板能夠於保持部之槽內更順利地上下移動。
但是，因裝入有基板之基板收納容器之輸送時之振動等，而可見於基板之端面及其附近殘留有與保持部之擦痕之現象，有該擦痕於半導體晶片生產時或光罩生產時等會引起良率之降低之顧慮。因此，必須進行改善，以一方面維持保持部之槽內之基板之順利之上下移動，且一方面實現減少基板端面附近之擦痕。
本發明係鑒於上述問題而完成者，其目的在於一方面維持基板收納容器內之保持部之槽內之基板之順利之上下移動，且一方面實現減少基板端面附近之與保持部之擦痕。
為達成上述目的，本發明之一實施形態之基板收納容器具備收納基板之至少一側開口之容器本體、及能夠開閉自如地裝卸於該容器 本體之開口部之蓋體，且於容器本體之內部，具備附有將基板之後方部位予以保持之第一保持槽之第一保持部，於蓋體之內側，具備附有將基板之前方部位予以保持之第二保持槽之第二保持部，使第一保持部中之至少第一保持槽由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。
本發明之其他實施形態之基板收納容器亦可進而於合金樹脂中，包含相對於該樹脂成分之質量為大於20質量%且未達80質量%之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。
本發明之其他實施形態之基板收納容器亦可進而於合金樹脂中，包含相對於該樹脂成分之質量為25質量%以上且40質量%以下之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。
本發明之其他實施形態之基板收納容器亦可進而使第二保持部中之至少第二保持槽由合金樹脂構成。
又，本發明之其他實施形態之基板收納容器還可具有如下之構造，即，於容器本體具備支持部，該支持部具有於自該容器本體之開口部觀察之基板之左右兩側之內面分別以固定間隔支持基板之架，於支持部之自開口部觀察時之裏側具備第一保持部，於第一保持部之內側，具備能夠將基板之裏側之端部由架之上表面抬起而支持之傾斜面，於在容器本體之開口部安裝有蓋體時，容器本體內之基板夾持於第一保持槽與第二保持槽之間，且由架抬起保持。
本發明之其他實施形態之基板收納容器亦可進而將支持部設為與容器本體不同之獨立個體，且自容器本體裝卸自如地安裝。
根據本發明，可一方面維持基板收納容器內之保持部之槽內之基板之順利之上下移動，並且一方面實現減少基板端面附近之與保持部之擦痕。
1:基板收納容器
2:容器本體
3:蓋體
4:保持器
5:開口部
6:卡止凹部
7:機械手相關凸緣
8:手動手柄
9:側軌
10:底板
11:支持部
11a:階差
12:齒(第一保持部)
12a:第一保持槽
13:墊片
14:上鎖機構
14a:旋轉體
14b:鎖桿
14c:卡止爪
15:貫通孔
20:後方支持部
23:框體部
24:彈性片
25:前端部(第二保持部)
25a:第二保持槽
30:基板收納容器
31:容器本體
32:支持部
33:齒(第一保持部)
33a:第一保持槽
34後方支持部
W:基板
圖1表示本發明之實施形態之基板收納容器之展開立體圖。
圖2表示將圖1之基板收納容器組裝後之狀態之主要立體圖。
圖3表示將圖2之基板收納容器沿垂直方向(A-A線剖面)切斷後之剖視圖。
圖4表示將圖2之基板收納容器沿水平方向(B-B線剖面)切斷後之剖視圖。
圖5表示圖1之蓋體之背面立體圖。
圖6分別表示於在圖1之基板收納容器內收納有基板時自上方觀察由齒與保持器保持基板之狀況之俯視圖(6A)、自箭頭C之方向觀察齒之前視圖(6B)、及自箭頭D之方向觀察自保持器延出之彈性片之前端部之前視圖(6C)。
圖7表示本發明之第二實施形態之基板收納容器之與圖3相同視角之剖視圖。
圖8表示圖7之基板收納容器之與圖4相同視角之剖視圖。
接下來，一面參照圖式，一面對本發明之基板收納容器之實施形態進行說明。再者，以下說明之實施形態並不限定本發明，又，實施形態中說明之各要素及其組合之全部未必為本發明之解決手段所必須。
<第一實施形態>
圖1表示本發明之第一實施形態之基板收納容器之展開立體圖。圖2表示將圖1之基板收納容器組裝後之狀態之主要立體圖。圖3表示將圖2之基板收納容器沿垂直方向(A-A線剖面)切斷後之剖視圖。圖4表示將圖2之基板收納容器沿水平方向(B-B線剖面)切斷後之剖視圖。圖5表示圖1之蓋體之背面立體圖。
本發明之第一實施形態之基板收納容器1具備收納基板W之至少一側開口之容器本體2、及能夠裝卸於該容器本體2之開口部5使之開閉自如之蓋體3。於本實施形態中，容器本體2及蓋體3由聚碳酸酯樹脂構成。但是，容器本體2及蓋體3亦可由除聚碳酸酯樹脂以外之樹脂、例如聚丙烯樹脂構成。開口部5具有如下形態，即，以自左側壁、右側壁、上表面壁、及下表面壁分別擴展之方式突出形成，且於其內周緣能夠收納蓋體3。開口部5於其內周緣之對向之上下緣，各具備一對用以卡止蓋體3之複數個卡止凹部6。容器本體2於其外壁，具備用以搬送基板收納容器1之機械手相關凸緣7、手動手柄8、及側軌9等搬送零件。又，容器本體2於其底面具備底板10。底板10用於基板收納容器1之定位及感測等。
容器本體2具備支持部11，該支持部11具有在自容器本體2之開口部5觀察之基板W之左右兩側之內面分別以固定間隔支持各基板W的複數個架。形成為架狀之各個支持部11於開口部5側具有用以規制基板W朝開口方向移動之階差11a。又，形成於容器本體2之內部之支持部11在成為與開口部5相反方向之裏側，具備用以規制基板W朝裏側移動之作為第一保持部之齒12。齒12具有將基板W之後方部位予以保持之第一保持槽12a。第一保持槽12a較佳為由2個傾斜面形成為縱截面大致V字或U字狀。支持於支持部11上之基板W由第一保持槽12a之下側傾斜面規制其位置。
蓋體3在與容器本體2相向之面(背面)，具備保持基板W之保持器4。保持器4係能夠與位於開口部5側之基板W之周緣接觸之構成部。如圖5所示，蓋體3於其側壁或背面，具備密封形成用之墊片13。又，蓋體3於其內部，具備一對上鎖機構14。上鎖機構14具備軸止於蓋體3且能夠自外部旋轉操作之旋轉體14a、與此連動而進行上下方向之直線運動之鎖桿14b、及鎖桿14b前端之卡止爪14c。卡止爪14c自位於蓋 體3之側壁之貫通孔15突出而卡止於容器本體2之卡止凹部6，藉此可將蓋體3固定於容器本體2。
保持器4具備大致矩形之框體部23、及自框體部23向內側突出之複數對彈性片24。各彈性片24於其端部或中間部，具有保持基板W之作為第二保持部之前端部25。前端部25自彈性片24朝與基板W相對向之方向突出形成。第二保持槽25a形成於前端部25之容器本體2之內部側之面。第二保持槽25a較佳為由2個傾斜面形成為縱截面大致V字或U字狀。
於容器本體2安裝有蓋體3時，基板W在第二保持槽25a與第一保持槽12a之間被保持。第一保持槽12a係與第二保持槽25a大致水平地配置。較佳為於支持部11之基板支持區域，形成用以減少基板W與支持部11之接觸面積之突起。容器本體2在位於自其開口部5最靠裏側之背面部，具備後方支持部20。後方支持部20於上下具有複數段架，通常可形成與基板W非接觸之狀態。該情形時，後方支持部20之各架形成為與支持部11之各架不同之高度。此種後方支持部20係於基板收納容器1之輸送中被加諸有較大之衝擊時等規制基板W之位置者。於在容器本體2之內部裝入有基板W時，基板W由支持部11、第一保持槽12a之下側傾斜面支持。若將蓋體3固定於容器本體2，則基板W之開口側前端會與第二保持槽25a之下側傾斜面接觸而逐漸被壓向裏側。該結果，基板W與第一保持槽12a之接觸部於第一保持槽12a內之下側傾斜面向上方移動。基板W在第二保持槽25a之最深部與第一保持槽12a之最深部之間，以由支持部11及後方支持部20抬起之狀態保持。於容器本體2安裝且固定有蓋體3時，第一保持槽12a之上側傾斜面規制基板W自第一保持槽12a之最深部朝上方之移動。
如上所述，本實施形態之基板收納容器1係於容器本體2之內部，具備附有將基板W之後方部位予以保持之第一保持槽12a之齒 12，於蓋體3之內側，具備附有將基板W之前方部位予以保持之第二保持槽25a之前端部25。支持部11具有在自容器本體2之開口部5觀察時之基板W之左右兩側之內面分別以固定間隔支持基板W的架。齒12係設置於支持部11之自開口部5觀察時之裏側，且於齒12之內側，具備能夠將基板W之裏側之端部由架之上表面抬起而支持之傾斜面。於在容器本體2之開口部5安裝有蓋體3時，容器本體2內之基板W夾持於第一保持槽12a與第二保持槽25a之間，且由支持部11之架抬起保持。支持部11可與容器本體2一體化，或亦可為與容器本體2不同之獨立個體，且自容器本體2裝卸自如地安裝。
齒12中之至少第一保持槽12a由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。此處，所謂「以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂」可廣義地解釋為，除僅包含聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂之合金樹脂以外，亦含有包含聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂及除其等以外之樹脂成分之合金樹脂。但是，除其等以外之樹脂成分之質量相對於聚碳酸酯樹脂或聚對苯二甲酸丁二酯樹脂之各質量較少。若例示較佳之樹脂作為除其等以外之樹脂成分，則可列舉聚對苯二甲酸乙二酯樹脂。
由於將齒12中之至少第一保持槽12a設為以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂，故既可使齒12整體僅由上述合金樹脂構成，或亦可僅將齒12之第一保持槽12a之部分設為該合金樹脂，且將除該部分以外設為除聚碳酸酯樹脂或聚對苯二甲酸丁二酯樹脂等該合金樹脂以外之樹脂。例如，亦可準備聚碳酸酯樹脂製之齒12，且於其第一保持槽12a之表面塗佈以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂。又，於聚碳酸酯樹脂製之齒12之第一保持槽12a之部位，亦可接著由上述合金樹脂構成之大致U字或大致V字狀之厚度較薄之彎曲構件。
又，前端部25亦可不必由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成，例如，亦可由除聚碳酸酯樹脂、聚對苯二甲酸丁二酯樹脂等上述合金樹脂以外之樹脂構成。另一方面，亦可使保持器4整體或僅第二保持槽25a由上述合金樹脂構成。又，亦可將前端部25、或前端部25與彈性片24由上述合金樹脂構成。該情形時，亦可將構成齒12之至少第一保持槽12a之上述合金樹脂、與構成前端部25之至少第二保持槽25a之上述合金樹脂設為同一成分之合金樹脂、或設為不同成分之合金樹脂。於本實施形態中，無論是否將齒12整體與保持器4整體設為相互相同成分，均較佳為由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。
上述合金樹脂更佳為包含相對於其質量為大於20質量%且未達80質量%之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。例如，可較佳地使用如聚碳酸酯樹脂75質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂25質量%、聚碳酸酯樹脂70質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂30質量%、聚碳酸酯樹脂60質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂40質量%、聚碳酸酯樹脂30質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂70質量%、或聚碳酸酯樹脂25質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂75質量%之由兩種樹脂組成之100質量%之合金樹脂。又，上述合金樹脂更佳為包含相對於其質量為25質量%以上且40質量%以下之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。例如，可更佳地使用如聚碳酸酯樹脂75質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂25質量%、聚碳酸酯樹脂70質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂30質量%、或聚碳酸酯樹脂60質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂40質量%之由兩種樹脂組成之100質量%之合金樹脂。
除上述以外，亦可使用如聚碳酸酯樹脂20質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂80質量%、或聚碳酸酯樹脂80質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂20質量%之由兩種樹脂組成之100質量%之合金樹脂。
後方支持部20可與容器本體2之內部背面部一體化，或亦可自該內部背面部裝卸自如地具備。後方支持部20亦係與基板W接觸之部位，故與齒12之至少第一保持槽12a同樣地，亦可由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂之較佳之質量比率與由上述合金樹脂構成齒12或前端部25之情形相同。
圖6分別表示於在圖1之基板收納容器內收納有基板時自上方觀察由齒與保持器保持基板之狀況之俯視圖(6A)、自箭頭C之方向觀察齒之前視圖(6B)、及自箭頭D之方向觀察自保持器延出之彈性片之前端部之前視圖(6C)。
基板W處於在蓋體3關閉之狀態之基板收納容器1之內部由2個齒12之各第一保持槽12a、與設置於保持器4之各前端部25之第二保持槽25a所夾持之狀態。如圖6(6B)及圖6(6C)所示，於本實施形態中，第一保持槽12a及第二保持槽25a分別自箭頭C(與各第一保持槽12a之正面相向之方向)及箭頭D(與各第二保持槽25a之正面相向之方向)觀察時，最深部大致水平地形成。但是，最深部亦可自水平傾斜地形成而並非大致水平。
<第二實施形態>
接下來，對本發明之第二實施形態之基板收納容器進行說明。於第二實施形態中，對與第一實施形態共通之構件之一部分或全部標註相同符號且省略其說明。
圖7表示本發明之第二實施形態之基板收納容器之與圖3相同視角之剖視圖。圖8表示圖7之基板收納容器之與圖4相同視角之剖視圖。
第二實施形態之基板收納容器30係與第一實施形態之基板收納容器1在保持基板W之後部之位置部分有所不同。以下，主要對基板 收納容器30中之與第一實施形態不同之部分進行說明。
容器本體31具備在自其開口部5觀察之基板W之深度方向之內面分別以固定間隔支持各基板W的後方支持部34。後方支持部34形成為架狀。於上下方向相互相鄰之架之間，形成有第一保持部(齒)33。又，容器本體31於其兩側壁內面且開口部5與齒33之大致中間區域，以架狀具備能夠載置基板W之支持部32。因此，齒33形成於較基板W之支持部32更深方向。又，齒33在由蓋3關閉容器本體31之開口部5時，藉由形成於蓋3之內面之保持器4與齒33而保持基板W，且較佳為形成為使基板W自支持部32之板上離開之高度。因此，保持器4與齒33處於大致水平位置，且較佳為形成於較支持部32高之位置。
齒33具有保持基板W之後方部位之第一保持槽33a。第一保持槽33a較佳為由2個傾斜面形成為縱截面大致V字或U字狀。支持於支持部32上之基板W由第一保持槽33a之下側傾斜面規制其位置。於在容器本體31安裝有蓋體3時，所收納之基板W自被支持部32支持之狀態而被齒33與作為第二保持部之前端部25所夾持，藉此由支持部32抬起保持。即，基板W於前端部25之第二保持槽25a與齒33之第一保持槽33a之間保持。若自該狀態卸下蓋體3，則基板W於第一保持槽33a滑落，而於支持部32上再次被支持。
齒33中之至少第一保持槽33a由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。將齒33中之至少第一保持槽33a設為以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂，故亦可使齒33整體僅由上述合金樹脂構成，或也可僅將齒33中之第一保持槽33a之部分設為該合金樹脂且將除該部分以外設為聚碳酸酯樹脂或聚對苯二甲酸丁二酯樹脂等該合金樹脂以外之樹脂。例如，亦可準備聚碳酸酯樹脂製之齒33，且於其第一保持槽33a之表面塗佈以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂。又，亦可於聚碳 酸酯樹脂製之齒33之第一保持槽33a之部位，接著由上述合金樹脂構成之大致U字或大致V字狀之厚度較薄之彎曲構件。於本實施形態中，無論是否將齒33整體與保持器4整體設為彼此相同成分，較佳為均由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。
上述合金樹脂更佳為包含相對於其質量為大於20質量%且未達80質量%之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。例如，可較佳地使用如聚碳酸酯樹脂75質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂25質量%、聚碳酸酯樹脂70質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂30質量%、聚碳酸酯樹脂60質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂40質量%、聚碳酸酯樹脂30質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂70質量%、或聚碳酸酯樹脂25質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂75質量%之由兩種樹脂組成之100質量%之合金樹脂。又，上述合金樹脂更佳為包含相對於其質量為25質量%以上且40質量%以下之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。例如，可更佳地使用如聚碳酸酯樹脂75質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂25質量%、聚碳酸酯樹脂70質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂30質量%、或聚碳酸酯樹脂60質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂40質量%之由兩種樹脂組成之100質量%之合金樹脂。除上述以外，亦可使用如聚碳酸酯樹脂20質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂80質量%、或聚碳酸酯樹脂80質量%+聚對苯二甲酸丁二酯樹脂20質量%之由兩種樹脂組成之100質量%之合金樹脂。
後方支持部34可與容器本體31之內部背面部一體化，或亦可自該內部背面部裝卸自如地具備。後方支持部34亦係與基板W接觸之部位，故與齒33之至少第一保持槽33a同樣地，亦可由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂之較佳之質量比率與由上述合金樹脂構成齒33或前端部25之情形相同。
<其他實施形態>
以上，對本發明之較佳實施形態進行了說明，但本發明並不限定於上述各實施形態，可如以下般進行各種變化而實施。
容器本體2、31具有一側開口之形態，但亦可具有於2個方向開口之形態。作為第一保持部之齒12、33及作為第二保持部之前端部25較佳為，由包含相對於其質量為大於20質量%且未達80質量%之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂、且以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。但是，亦可使齒12、33及前端部25之至少任一者由包含相對於其質量為20質量%以下或80質量%以上之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂、且以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。
同樣地，齒12、33及前端部25較佳為由包含相對於其質量為25質量%以上且40質量%以下之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂、且以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。但是，亦可使齒12、33及前端部25之至少任一者由包含相對於其質量為未達25質量%或超出40質量%之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂、且以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。
又，於上述各實施形態中，支持部11、32及後方支持部20、34由聚碳酸酯樹脂構成，但亦可與齒12、33同樣地由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成。因此，若使齒12、33之第一保持槽12a、33a至少由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成，則可使齒12、33整體、第一保持槽12a、33a與保持器4整體、第二保持槽25a與齒12、33整體、進而該等中之任意1個與支持部11、32及後方支持部20、34中之至少1個之組合等能夠與基板W接觸之構成部(無論為部分或為整體)由上述合金樹脂構成。
基板W於蓋體3關閉之容器本體2、31之內部，夾持於第一保持槽 12a、33a與第二保持槽25a之間，且由支持部11、32之各架抬起保持，但亦可不必由支持部11、32之各架抬起而保持。進而，該狀況之基板W亦可不必自後方支持部20、34抬起而保持。例如，基板W亦可與支持部11、32之各架及後方支持部20、34之各架中之至少1個接觸。
於上述各實施形態中，顯示例示之保持器4之構造，但自框體部23伸長之彈性片24並不限於懸臂樑構造，亦可為具有於彈性片24之中央部連結、或將自左右之框體部23伸長之彈性片24與設置於中央部之中央框體分別連結的雙臂樑構造。又，第二保持槽25a亦不限定於在各段之彈性片24各形成有2個之情形，亦可於各段之彈性片24僅形成1個或合計形成3個以上。同樣地，於第一實施形態中，並不限定於在左右之齒12分別具備1個第一保持槽12a之情形，例如亦可在支持部11與後方支持部20之各者具備第一保持槽12a。又，於第二實施形態中，亦可在支持部32與後方支持部34之各者具備第一保持槽33a。
又，上述各實施形態之各構成部位亦可於相互組合之範圍內進行相互組合。例如，亦可使齒12、33整體由上述合金樹脂構成，且使保持器4整體由聚對苯二甲酸丁二酯樹脂構成。
[實施例]
接下來，將本發明之實施例與比較例加以比較而說明。再者，下述實施例並非限定本發明。
1.實驗方法
(實施例1)
使容器本體與蓋體由聚碳酸酯樹脂形成，且使支持部及第一保持部(齒)由聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂之合金樹脂形成。該合金樹脂係將聚碳酸酯樹脂75質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂25質量%調配而成。包含作為第二保持部之前端部之保持器僅由聚 對苯二甲酸丁二酯樹脂構成。如此，準備具有上述構成要素且圖1~圖6所示之形狀之基板收納容器。將25片半導體晶圓裝填至該基板收納容器，於振動試驗前，檢查在將蓋體自容器本體之開口部卸除時半導體晶圓是否自齒順利地下滑。其後，利用蓋體關閉容器本體之開口部，實施特定之捆包。於捆包後，進行振動試驗，實施樹脂對半導體晶圓之接觸痕之有無及其程度的確認。再者，接觸痕係於振動試驗前後，在開口側與裏側之半導體晶圓之端部確認其有無及程度。
具體而言，振動試驗以下述條件進行。
．振動頻率：5Hz~50Hz~5Hz~50Hz(往復1次半)
．加速度：±0.75G
．加振時間：單程7min×3次
．固定方法：帶(band)固定
具體而言，接觸痕之確認以下述方法進行。
於半導體晶圓之邊緣檢查裝置中，自水平方向、斜上方向、斜下方向分別觀察振動試驗前後之半導體晶圓之開口側與裏側之各側之端面。其結果，於自任一方向觀察均未見接觸痕之情形時，標註最佳之評估「◎」。又，於存在若干接觸痕、但基本無問題之程度之情形時，標註次於「◎」之較佳之評估「○」。進而，於藉由自至少任一方向觀察而觀察到明確之接觸痕之情形時，標註不合格之評估「×」。
於在振動試驗前後半導體晶圓未旋轉之情形時，標註「無」之評估，於旋轉之情形時標註「有」之評估。
又，於振動試驗前，在收納於容器本體之半導體晶圓自第一保持部之第一保持槽順利地下滑之情形時評估為「◎」，在未順利地下滑之情形時評估為「×」。
(實施例2)
除了將用於實施例1之齒之合金樹脂改變為聚碳酸酯樹脂70質量 %與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂30質量%之組成以外，均採用與實施例1相同之材料、構造，進行與實施例1相同之評估。
(實施例3)
除了將用於實施例1之齒之合金樹脂改變為聚碳酸酯樹脂60質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂40質量%之組成以外，均採用與實施例1相同之材料、構造，進行與實施例1相同之評估。
(實施例4)
除了將用於實施例1之齒之合金樹脂改變為聚碳酸酯樹脂30質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂70質量%之組成以外，均採用與實施例1相同之材料、構造，進行與實施例1相同之評估。
(實施例5)
除了將用於實施例1之齒之合金樹脂改變為聚碳酸酯樹脂25質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂75質量%之組成，進而將用於保持器之材料改變為與上述齒相同之合金樹脂(將聚碳酸酯樹脂25質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂75質量%調配而成之合金樹脂)以外，均採用與實施例1相同之材料、構造，進行與實施例1相同之評估。
(實施例6)
除了將用於實施例1之齒之合金樹脂改變為聚碳酸酯樹脂30質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂70質量%之組成，進而將用於保持器之材料改變為與上述齒相同之合金樹脂(將聚碳酸酯樹脂30質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂70質量%調配而成之合金樹脂)以外，均採用與實施例1相同之材料、構造，進行與實施例1相同之評估。
(實施例7)
為製造圖7及圖8之基板收納容器，使具備支持部之容器本體與蓋體由聚碳酸酯樹脂形成，且使後方支持部及第一保持部(齒)由聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂之合金樹脂形成於與支持部相隔 之位置。該合金樹脂設為將聚碳酸酯樹脂75質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂25質量%調配而成之樹脂。又，將第一保持部設置成其位置高於支持部之位置。於在容器本體安裝有蓋體時，所收納之半導體晶圓自被支持部支持之狀態而由第一保持部與作為第二保持部之前端部夾持，藉此由支持部抬起保持。又，若卸除蓋體，則半導體晶圓W於第一保持槽33a滑落，且於支持部32上再次被支持。包含前端部之保持器由將聚碳酸酯樹脂25質量%與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂75質量%調配而成之合金樹脂所形成。於該構成之基板收納容器(相當於第二實施形態之基板收納容器30)中裝填25片半導體晶圓，於振動試驗前，檢查在將蓋體自容器本體之開口部卸除時半導體晶圓是否自齒順利地下滑。其後，利用蓋體關閉容器本體之開口部，實施特定之捆包。於捆包後，進行振動試驗，實施樹脂對半導體晶圓之接觸痕之有無及其程度的確認。再者，接觸痕係於振動試驗前後，在開口側與裏側之半導體晶圓之端部確認其有無及程度。
(比較例1)
除了將用於實施例1之齒之合金樹脂改變為僅聚對苯二甲酸丁二酯樹脂以外，均採用與實施例1相同之材料、構造，進行與實施例1相同之評估。
2.實驗結果
表1中，將各實施例及比較例之條件及評估結果加以比較而顯示。表中，第一保持部及第二保持部之欄內之顯示係指各樹脂成分之種類與質量%。例如，PC75/PBT25係指包含聚碳酸酯75質量%與聚對苯二甲酸丁二酯25質量%之合金樹脂，PBT100係指聚對苯二甲酸丁二酯樹脂100質量%。第一保持部及第二保持部之欄之其他顯示亦可同樣地解釋。
[表1]
Figure 105107366-A0305-02-0019-2
根據表1，關於振動試驗後之半導體晶圓之旋轉及卸除蓋體後之半導體晶圓之下滑性，於各實施例及比較例之間未見差異。但是，關於接觸痕之評估，雖可見實施例1~3、實施例7、實施例4、實施例5~6之四者間之差異，但均為合格程度。尤其若將形成齒之合金樹脂設為實施例1~3及實施例7之組成，則與實施例4~6之組成相比而為接觸痕較少之更高之評估。相對於此，比較例1係於半導體晶圓之裏側之端面具有明確之接觸痕而為不合格。根據該結果可知，若僅由聚對苯二甲酸丁二酯樹脂形成齒，則於該部分會附有與樹脂之接觸痕。
另一方面，於使保持器僅由聚對苯二甲酸丁二酯樹脂形成之實施例1~4、實施例7及比較例1中，於半導體晶圓之開口部側之端面附有若干接觸痕，與使保持器由合金樹脂形成之實施例5、6相比為較低之評估。但是可知，即便未使保持器由合金樹脂形成，與未將齒設為合金樹脂之情形相比，亦無較大之妨礙，評估為合格程度。
[產業上之可利用性]
本發明可用於收納半導體晶圓或光罩玻璃、鋁碟片等基板之基板收納容器。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器本體
3‧‧‧蓋體
4‧‧‧保持器
5‧‧‧開口部
6‧‧‧卡止凹部
7‧‧‧機械手相關凸緣
8‧‧‧手動手柄
9‧‧‧側軌
10‧‧‧底板
11‧‧‧支持部
13‧‧‧墊片
14‧‧‧上鎖機構
14a‧‧‧旋轉體
14b‧‧‧鎖桿
14c‧‧‧卡止爪
W‧‧‧基板

Claims (5)

  1. 一種基板收納容器，其具備收納基板之至少一側開口之容器本體、及能夠開閉自如地裝卸於該容器本體之開口部之蓋體，且於上述容器本體之內部，具備附有將上述基板之後方部位予以保持之第一保持槽之第一保持部，於上述蓋體之內側，具備附有將上述基板之前方部位予以保持之第二保持槽之第二保持部，使上述第一保持部中之至少上述第一保持槽由以聚碳酸酯樹脂與聚對苯二甲酸丁二酯樹脂為主之合金樹脂構成，上述合金樹脂包含相對於該樹脂成分之質量為大於20質量%且未達80質量%之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。
  2. 如請求項1之基板收納容器，其中上述合金樹脂包含相對於該樹脂成分之質量為25質量%以上且40質量%以下之聚對苯二甲酸丁二酯樹脂。
  3. 如請求項1或2之基板收納容器，其中使上述第二保持部中之至少上述第二保持槽進而由上述合金樹脂構成。
  4. 如請求項1或2之基板收納容器，其中上述容器本體具備支持部，該支持部具有於自該容器本體之開口部觀察之上述基板之左右兩側之內面分別以固定間隔支持上述基板的架，上述第一保持部係設置於上述支持部之自上述開口部觀察時之裏側，上述第一保持部於其內側具備能夠將上述基板之裏側之端部由上述架之上表面抬起而支持之傾斜面，於在上述容器本體之上述開口部安裝有上述蓋體時，上述容器本體內之上述基板夾持於上述第一保持槽與上述第二保持槽 之間，且由上述架抬起保持。
  5. 如請求項4之基板收納容器，其中上述支持部係與上述容器本體不同之獨立個體，且自上述容器本體裝卸自如地安裝。
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