WO2014054115A1

WO2014054115A1 - 基板収納容器

Info

Publication number: WO2014054115A1
Application number: PCT/JP2012/075509
Authority: WO
Inventors: 幸一西坂; 忠利井上
Original assignee: ミライアル株式会社
Priority date: 2012-10-02
Filing date: 2012-10-02
Publication date: 2014-04-10

Abstract

　基板収納容器の蓋体３は、蓋体本体３０と、蓋体３によって容器本体開口部が閉塞されているときに、係合凹部２３１Ａに係合する係合位置と係合凹部２３１Ａに対して係合が解除される係合解除位置との間で蓋体本体３０に対して移動可能なラッチ部材５６を備える。また、係合凹部２３１Ａは、容器本体開口部が拡大するように容器本体２が変形することによって開口周縁部２８が蓋体３から離間しようとしたときに、離間する方向に対して交差する方向に延びる交差方向延出空間２３３を有し、ラッチ部材５６は、ラッチ部材５６が係合位置にあるときに、交差方向延出空間２３３に係合する交差方向係合部５６２を有する。

Description

基板収納容器

　本発明は、基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の基板を複数収納した状態で運搬される基板収納容器に関する。

　半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。

　容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。

　容器本体の壁部は、奥壁と、上壁と、下壁と、第１側壁と、第２側壁と、を有している。上壁の中央部は、フランジ部を装着可能なフランジ装着部を有している。ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等の搬送装置により基板収納容器を搬送する際に、これらの機械のフランジ部係合部は、フランジ装着部に装着されたフランジ部に掛けられる。そして、基板収納容器は、フランジ部と一体でフランジ部係合部によって吊り上げられ、搬送される。

　蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。また、蓋体は、本体開口部を閉塞した状態を維持するために蓋体自体を容器本体に固定するための構成を有している（特許文献１参照）。

特開２０１２－４５３０号公報

　基板収納容器は、前述のように吊り上げられて搬送されるため、上壁には、基板収納容器自体の重量及び基板収納容器に収納された複数の基板の重量が作用する。これにより、上壁が弾性変形したり、塑性変形して上壁の形状が変わったりすることがある。この結果、容器本体開口部を閉塞する蓋体と、容器本体開口部を形成する容器本体との間に、隙間が生じることがある。

　本発明は、基板収納容器の搬送時に容器本体を吊り上げたときに容器本体の変形を抑える基板収納容器を提供することを目的とする。

　本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、前記開口周縁部は、前記蓋体に対向して形成された係合凹部を有し、前記蓋体は、蓋体本体と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記係合凹部に係合する係合位置と前記係合凹部に対して係合が解除される係合解除位置との間で前記蓋体本体に対して移動可能なラッチ部材と、を備え、前記係合凹部は、前記容器本体開口部が拡大するように前記容器本体が変形することによって前記開口周縁部が前記蓋体から離間しようとしたときに、前記離間する方向に対して交差する方向に延びる交差方向延出空間を有し、前記ラッチ部材は、前記ラッチ部材が係合位置にあるときに、前記交差方向延出空間に係合する交差方向係合部を有する基板収納容器に関する。

　また、前記係合凹部は、前記離間する方向に延出し前記蓋体に対向する離間方向延出空間を有し、前記交差方向延出空間は、前記離間方向延出空間の延出端部に接続され、前記ラッチ部材は、前記離間する方向に延出する延出基部を有し、前記交差方向係合部は、前記延出基部の延出端部から前記離間する方向に交差する方向に延出することが好ましい。

　また、前記交差方向係合部の先端部は、前記交差方向係合部の延出方向に突出する先端部曲面を有することが好ましい。

　また、前記交差方向延出空間を形成している前記開口周縁部の部分は、前記ラッチ部材が係合位置にあるときに、前記先端部曲面に当接し前記離間する方向に対して交差する方向に平行な係合傾斜面を有することが好ましい。

　また、前記ラッチ部材は、前記交差方向係合部の先端部から前記離間する方向に対して反対の方向に延出する戻りラッチ延出部を有し、前記開口周縁部の部分であって、前記離間方向延出空間と前記交差方向延出空間との接続部を形成している部分は、前記離間する方向に延出する戻り凹部形成延出部を有することが好ましい。

　また、前記ラッチ部材の移動方向は、前記離間する方向に交差する方向に一致し、前記交差方向係合部は、前記ラッチ部材の端部であって前記離間する方向に交差する方向に延出し、前記交差方向延出空間を形成している前記開口周縁部の部分は、前記離間する方向に交差する方向に平行なラッチ平行傾斜面を有することが好ましい。

　本発明によれば、基板収納容器の搬送時に容器本体を吊り上げたときに容器本体の変形を抑える基板収納容器を提供することができる。この結果、シール部材と開口周縁部との間に隙間が生ずることを防止することができ、ウェーハの外気汚染を抑えることができる。また、容器本体の変形を防止することができるため、衝撃等の外力により蓋体が容器本体から外れてしまうことを抑えることができる。さらに、シール部材と、シール部材が当接する開口周縁部の部分との間に擦れが生ずることを防止することができるため、シール部材からのパーティクル発生を抑えることができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３を容器本体２から取り外した状態を示す斜視図である。本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１が搬送装置により搬送されている様子を示す断面図である。本発明の第１実施形態に係る蓋体３を示す部分断面斜視図である。本発明の第１実施形態に係る蓋体３を示す上方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る蓋体３を示す下方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る係止部材４２を示す上方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る係止部材４２を示す下方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る係止部材４２を示す側面断面図である。本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す上方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す下方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す平面図である。本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す底面図である。本発明の第１実施形態に係る保持カバー４５を示す上方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る保持カバー４５を示す下方斜視図である。本発明の第１実施形態に係るカバー押え４６を示す上方斜視図である。本発明の第１実施形態に係るカバー押え４６を示す上方斜視図である。本発明の第１実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６が係合解除位置にある様子を示す拡大概略図である。本発明の第１実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６が係合解除位置から係合位置へ移動する途中の様子を示す拡大概略図である。本発明の第１実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６が係合位置にある様子を示す拡大概略図である。本発明の第２実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ａを示す拡大概略図である。本発明の第３実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ｂを示す拡大概略図である。本発明の第４実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ａを示す拡大概略図である。本発明の第５実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ｃが係合解除位置にある様子を示す拡大概略図である。本発明の第５実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ｃが係合位置にある様子を示す拡大概略図である。

　以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器について、図１～図１９を参照しながら説明する。
　図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３を容器本体２から取り外した状態を示す斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１が搬送装置により搬送されている様子を示す断面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る蓋体３を示す部分断面斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る蓋体３を示す上方斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る蓋体３を示す下方斜視図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る係止部材４２を示す上方斜視図である。図７は、本発明の第１実施形態に係る係止部材４２を示す下方斜視図である。

　図８は、本発明の第１実施形態に係る係止部材４２を示す側面断面図である。図９は、本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す上方斜視図である。図１０は、本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す下方斜視図である。図１１は、本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す平面図である。図１２は、本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材４３を示す底面図である。図１３は、本発明の第１実施形態に係る保持カバー４５を示す上方斜視図である。図１４は、本発明の第１実施形態に係る保持カバー４５を示す下方斜視図である。

　図１５は、本発明の第１実施形態に係るカバー押え４６を示す上方斜視図である。図１６は、本発明の第１実施形態に係るカバー押え４６を示す上方斜視図である。図１７は、本発明の第１実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６が係合解除位置にある様子を示す拡大概略図である。図１８は、本発明の第１実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６が係合解除位置から係合位置へ移動する途中の様子を示す拡大概略図である。図１９は、本発明の第１実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６が係合位置にある様子を示す拡大概略図である。

　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面においては、これらの方向を示す矢印を付して説明する。

　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。

　図１～図２に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、ガスケットにより構成されるシール部材３０１と、基板支持板状部２０１と、フロントリテーナ（図示せず）とを有している。

　図１に示すように、容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成されると共に他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部２０１が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

　基板支持板状部２０１は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部２０１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部２０１の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８に対して着脱可能である。蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、即ち、開口周縁部２８により形成された容器本体開口部２１に嵌り込んだ状態で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。

　フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、第１実施形態における主要な構成について、詳細に説明する。

　図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

　開口周縁部２８は、蓋体３に対向して形成された係合凹部としてのラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを有している。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んでいる。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、同一形状を有しているため、以下、ラッチ係合凹部２３１Ａについてのみ説明する。

　図１７等に示すように、ラッチ係合凹部２３１Ａは、それぞれ離間方向延出空間２３２と、交差方向延出空間２３３とを有している。離間方向延出空間２３２は、蓋体３に対向する。離間方向延出空間２３２は、後述のように容器本体開口部２１が拡大するように容器本体２が変形することによって開口周縁部２８が蓋体３から離間しようとしたときに、当該離間する方向（以下「離間方向」とする）である上方向Ｄ２１に延出している。交差方向延出空間２３３は、離間方向延出空間２３２の大部分を占める上部に、即ち、離間方向延出空間２３２の延出端部である上端部に接続されている。交差方向延出空間２３３は、離間方向延出空間２３２の上端部から、離間方向に直交する方向である前方向Ｄ１１に延びている。

　図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３６及びフランジ固定部２３７（図２参照）が上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３６は、上壁２３の外面から上方向Ｄ２１へ突出し、前後方向Ｄ１へ延びている。フランジ固定部２３７には、トップフランジ２３５が固定される。トップフランジ２３５は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等の搬送装置において基板収納容器１を吊り下げる際に、これらに設けられたフランジ部係合部９０１に把持されることにより掛けられて吊り下げられる部分である。

　図１に示すように、下壁２４の外面には、容器本体脚部２４３が設けられている。容器本体脚部２４３は、下壁２４の左右両端縁に一体成型されており、下壁２４の左右両端縁に沿って前後方向Ｄ１に延びている。容器本体脚部２４３は、下壁２４を下側（下方向Ｄ２２の側）として容器本体２を水平な平坦面上に載置したときに、当該平坦面に当接して、容器本体２を安定して支持する。

　蓋体３は、図３、図４に示すように、本体部３０と、カバー板（図示せず）と、簡易着脱機構３２とから構成されている。
　本体部３０は、全体が薄肉のほぼ四角形状に形成されると共にその周囲に補強用フランジが形成されている。本体部３０は、容器本体２の開口周縁部２８に装着された状態で外部にはみ出さない。

　図５に示すように、本体部３０の後部の周囲にはシール部材受け部３１が取り付けられている。シール部材受け部３１には、ガスケットにより構成されたシール部材３０１が設けられおり、シール部材３０１は、本体部３０が開口周縁部２８に装着された状態で、容器本体２内をシールする。これにより蓋体３によって容器本体開口部２１を気密の状態で閉塞可能である。

　蓋体３の蓋体本体としての本体部３０のうち長手方向両側（図４中における左上、右下方向両側）の端部には、凹部３３がそれぞれ形成されている。凹部３３は、本体部３０の端部において窪んで形成されている。凹部３３には、簡易着脱機構３２が収容される。凹部３３の長手方向両端部（図４における右上、左下方向両端部）には、後述する係止部材４２の先端嵌合部５６が出没する開口３４が設けられている。開口３４は、本体部３０が開口周縁部２８に嵌合された状態で、開口周縁部２８のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに整合する位置に形成されている。凹部３３の底部には、回転支持軸３６と、ストッパ３７と、係止爪３８と、基端後側カム３９と、先端側カム４０とがそれぞれ設けられている。凹部３３には、カバー板（図示せず）が着脱自在に取り付けられている。カバー板は、凹部３３内に設けられる簡易着脱機構３２を洗浄する際に取り外される。

　回転支持軸３６は、後述する繰り出し部材４３を回転可能に支持する。回転支持軸３６は、底部から円柱状に隆起している。回転支持軸３６は、繰り出し部材４３の回転筒部６３に嵌合して、繰り出し部材４３を回転可能に支持する。
　ストッパ３７は、繰り出し部材４３を所定角度に回動した状態で支持するための部材である。ストッパ３７は、回転支持軸３６の周囲２カ所において、底部から立ち上がる板状部材によって構成されている。板状部材が湾曲して受け部３７Ａが形成されている。受け部３７Ａに、繰り出し部材４３の係合片６５の突起部６５Ａが嵌合することで、繰り出し部材４３は所定角度で支持される。

　係止爪３８は、後述するカバー押え４６を凹部３３の底部に固定するための部材である。カバー押え４６は、凹部３３の長手方向両側にそれぞれ取り付けられるため、それに合わせて係止爪３８も、凹部３３の長手方向両側に６個ずつそれぞれ取り付けられている。係止爪３８は、Ｌ字状の部材で構成され、係止爪３８には、カバー押え４６の後側支持板片８８が嵌合する。

　基端後側カム３９と先端側カム４０とは後述するカム機構４４を構成する部材である。また、基端後側カム３９と後述する基端前側カム５３とは、係止部材４２が繰り出される際に係止部材４２の基端側を後方向Ｄ１２へ押し下げる基端側カムを構成している。

　基端後側カム３９は、係止部材４２の繰り出しに伴って、係止部材４２の基端側を、図３における下方へ押し下げるための部材である。基端後側カム３９は、回転支持軸３６の両側にそれぞれ設けられている。基端後側カム３９の側面断面形状はほぼ三角形状である。基端後側カム３９は、係止部材４２の基端側を前後させる斜面３９Ａを備えている。斜面３９Ａには、係止部材４２の基端側摺接面５２との摩擦抵抗を小さくするために、鏡面仕上げが施されている。

　先端側カム４０は、係止部材４２の繰り出しに伴って、係止部材４２の先端嵌合部５６を前方向Ｄ１１へ押し出すための部材である。先端側カム４０は、凹部３３の長手方向両端部に、開口３４を臨む位置関係を有する。先端側カム４０の側面断面形状は、三角形状である。先端側カム４０は、係止部材４２の先端側を前方向Ｄ１１へ持ち上げる斜面４０Ａ（図３参照）を備えている。斜面４０Ａには、係止部材４２の支点部５５の先端側摺接面５５Ａとの摩擦抵抗を小さくするために、鏡面仕上げが施されている。斜面４０Ａの上端部には、嵌合凹部４０Ｂ（図３参照）が設けられている。嵌合凹部４０Ｂには、係止部材４２の支点部５５が嵌合する。

　凹部３３内には簡易着脱機構３２が設けられている。簡易着脱機構３２は、蓋体３を容器本体２に対して容易に着脱できるようにするための装置である。簡易着脱機構３２は、図３に示すように、係止部材４２と、繰り出し部材４３と、カム機構４４と、保持カバー４５と、カバー押え４６とから構成されている。

　係止部材４２は、蓋体３が容器本体２の開口周縁部２８に装着された状態で、本体部３０の開口３４から延出して、開口周縁部２８のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに嵌合するための部材である。係止部材４２は、図３、図６～図８に示すように、連結軸５１と、基端側摺接面５２と、基端前側カム５３と、前側溝部５４と、支点部５５と、先端嵌合部５６と、基端側板部５７と、先端側板部５８とから構成されている。

　連結軸５１は、後述する繰り出し部材４３の長穴部６４に嵌合して、繰り出し部材４３と係止部材４２とを互いに連結するための部材である。連結軸５１は、丸棒状に形成され、係止部材４２の基端部に前側へ向けて設けられている。

　基端側摺接面５２は、基端後側カム３９の斜面３９Ａに摺接して、係止部材４２の基端部を前後動させるための部分である。基端側摺接面５２は、係止部材４２の基端部の後側が斜めに削られて形成されている。基端側摺接面５２には、基端後側カム３９の斜面３９Ａとの摩擦抵抗を小さくするために、鏡面仕上げが施されている。基端側摺接面５２が基端後側カム３９の斜面３９Ａに摺接した状態で、係止部材４２が繰り出されることによって、係止部材４２の基端部は、後方向Ｄ１２へ押し下げられる。また、係止部材４２が引き込まれることによって、係止部材４２の基端部は、前方向Ｄ１１へ押し出される。

　基端前側カム５３は、基端後側カム３９と共に、係止部材４２の基端部を前後動させるための部分である。基端前側カム５３は、てこの原理で力点になる部分である。なお、連結軸５１は、てこの原理の力点とはならず、単に係止部材４２を出没動させる際の長手方向の力を受ける部分である。

　基端前側カム５３は、係止部材４２の基端部の近傍に前側へ向けて設けられている。基端前側カム５３の側面断面形状は、三角形状である。基端前側カム５３は、係止部材４２の基端側を前後させる斜面５３Ａを備えて構成されている。基端前側カム５３の斜面５３Ａは、基端後側カム３９の斜面３９Ａと同様に、鏡面仕上げされ、後述する保持カバー４５側のカム押え突起６９と摺接する。基端前側カム５３の斜面５３Ａは、基端後側カム３９の斜面３９Ａとほぼ平行になるように設定されている。これにより、カム押え突起６９と基端前側カム５３の斜面５３Ａとが摺接した状態で係止部材４２が繰り出されると、カム押え突起６９で基端前側カム５３が押されて、係止部材４２の基端部は、後方向Ｄ１２へ押し下げられる。また、係止部材４２が引き込まれると、基端後側カム３９の斜面３９Ａで基端側摺接面５２が押されて、係止部材４２の基端部は、前方向Ｄ１１へ押し出される。

　支点部５５は、係止部材４２の先端部を支持して回動中心になる部分である。支点部５５は、てこの原理での支点となる部分である。支点部５５は、係止部材４２の先端近傍の後側に、ほぼ直角に角張らせて形成されている。角張った支点部５５の頂点部分には先端側摺接面５５Ａが形成されている。先端側摺接面５５Ａは、先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接して、係止部材４２の先端嵌合部５６を前後動させるための部分である。

　先端側摺接面５５Ａは、支点部５５の頂点部分が斜めに削られて形成されている。先端側摺接面５５Ａには、先端側カム４０の斜面４０Ａとの摩擦抵抗を小さくするために、鏡面仕上げが施されている。先端側摺接面５５Ａが先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接した状態で、係止部材４２が繰り出されることによって、係止部材４２の先端嵌合部５６は、前方向Ｄ１１へ押し下げられる。一方、係止部材４２が引き込まれることによって、係止部材４２の先端部は、後方向Ｄ１２へ戻される。更に、支点部５５は、先端側カム４０の嵌合凹部４０Ｂに嵌合することで、嵌合凹部４０Ｂを中心にして回動する。

　ラッチ部材としての先端嵌合部５６は、凹部３３の開口３４から外部に延出して、開口周縁部２８のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに直接に嵌合する。先端嵌合部５６は、てこの原理の作用点に構成する。先端嵌合部５６は、開口周縁部２８のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに嵌合した状態で十分な力を発揮できるように、支点部５５から僅かな距離を隔てて設けられている。

　先端嵌合部５６は、図１７～図１９に示すように、延出基部５６１と、交差方向係合部５６２とを有している。延出基部５６１は、係止部材４２の支点部５５からラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに向かって、即ち、離間方向である上方向Ｄ２１に向かって延出する。交差方向係合部５６２は、延出基部５６１の延出端部から延出基部５６１の延出方向に直交する方向に延出する。交差方向係合部５６２の延出端部は、矩形を有している。従って、図１７等に示すように、先端嵌合部５６は、側方視でＬ字形状を有している。交差方向係合部５６２は、後述のように先端嵌合部５６が係合位置にあるときに、交差方向延出空間２３３に係合可能である。

　なお、図１７～図１９においては、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに係合する先端嵌合部５６は同一の構成であるため、特に必要がない限り、ラッチ係合凹部２４１Ａ係合する先端嵌合部５６についてのみ説明する。

　基端側板部５７及び先端側板部５８は、係止部材４２を支持して係止部材４２の上下方向Ｄ２への往復動を許容するための部材である。
　繰り出し部材４３は、係止部材４２に連結して係止部材４２を出没動させるための部材である。繰り出し部材４３は、凹部３３の回転支持軸３６に回転可能に支持されている。繰り出し部材４３は、図３、図９～図１２に示すように、天板部６１と、キー溝６２と、回転筒部６３と、長穴部６４と、係合片６５とから構成されている。

　天板部６１は、ほぼ円盤状に形成されている。天板部６１の対向する２カ所には、係合片６５を設けるための切り欠き６６が設けられている。
　キー溝６２は、蓋体着脱装置（図示せず）で蓋体３を自動的に着脱する際に装置のラッチキーが嵌合するための溝である。キー溝６２は、天板部６１の前側面の中心に設けられている。

　回転筒部６３は、繰り出し部材４３を凹部３３の回転支持軸３６に回転可能に取り付けるための部材である。回転筒部６３は、天板部６１の後側面の中央部に設けられている。回転筒部６３の中心に、キー溝６２が位置する。

　長穴部６４は、繰り出し部材４３の回転を係止部材４２の出没動作に変換するための部分である。長穴部６４は、天板部６１の対向する２カ所にそれぞれ設けられている。長穴部６４は、その一端部６４Ａが天板部６１の中心に近く、他端部６４Ｂが遠くなるように、螺旋状を有している。係止部材４２の連結軸５１が長穴部６４の一端部６４Ａで嵌合しているときには、係止部材４２は引き込まれ、係止部材４２の連結軸５１が長穴部６４の他端部６４Ｂで嵌合しているときには、係止部材４２は繰り出される。

　長穴部６４のうち天板部６１の後側面には、なだらかに傾斜した壁面６４Ｃが設けられている。壁面６４Ｃは、長穴部６４の一端部６４Ａで天板部６１の後側面と同じ高さに、他端部に行くに従って次第に高くなるように設定されている。これは、係止部材４２と繰り出し部材４３とを確実に連結するためである。即ち、係止部材４２の連結軸５１が長穴部６４の他端部６４Ｂで嵌合して繰り出されている状態では、係止部材４２の基端部は後方向Ｄ１２へ押し下げられているため、その基端部が押し下げられた状態でも連結軸５１が長穴部６４に確実に嵌合できるようにするためである。

　係合片６５は、繰り出し部材４３を所定角度だけ回動させた状態で支持するための部材である。係合片６５は、天板部６１の周縁の対向する２カ所にそれぞれ設けられている。係合片６５は、天板部６１から周縁に沿って延びた板状部材で構成されている。係合片６５の先端部には、ストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合する突起部６５Ａが設けられている。さらに、係合片６５は、弾性を有し、突起部６５Ａを弾性的に支持している。突起部６５Ａがストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合することで、繰り出し部材４３は、所定角度（係止部材４２を延出させて蓋体３を容器本体２に固定した角度）に回動したところで支持される。

　カム機構４４（図３参照）は、繰り出し部材４３で繰り出された係止部材４２の先端嵌合部５６が開口周縁部２８のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに挿入されたときに、先端嵌合部５６を前方向Ｄ１１へ押し出して先端嵌合部５６を係合位置として、交差方向係合部５６２を交差方向延出空間２３３に係合させるための部材である。カム機構４４によって、係合位置に配置された先端嵌合部５６は、係合位置に維持される。カム機構４４は、基端後側カム３９と、基端前側カム５３と、基端側摺接面５２と、カム押え突起６９と、先端側カム４０と、先端側摺接面５５Ａとから構成されている。なお、基端後側カム３９、基端前側カム５３、基端側摺接面５２、先端側カム４０及び先端側摺接面５５Ａは上述した通りである。

　カム押え突起６９（図３参照）は、基端前側カム５３の斜面５３Ａに当接して、係止部材４２の繰り出しに伴って係止部材４２の基端部を押し下げるための部材である。カム押え突起６９は、保持カバー４５の後側面に設けられている。具体的には、基端後側カム３９の斜面３９Ａに係止部材４２の基端側摺接面５２が摺接した状態で、カム押え突起６９と基端前側カム５３の斜面５３Ａとが隙間なく摺接する位置に、カム押え突起６９は、設けられている。

　保持カバー４５は、係止部材４２と繰り出し部材４３とを保持するための部材である。保持カバー４５は、図１３、図１４に示すように、繰り出し部材保持部７１と、係止部材保持部７２とから構成されている。

　繰り出し部材保持部７１は、繰り出し部材４３をその回転を許容した状態で支持するための部材である。繰り出し部材保持部７１は、周縁板７４と、天板７５とから構成されている。周縁板７４は、繰り出し部材４３の周縁を覆って形成されている。天板７５は、繰り出し部材４３の前側を覆って形成されている。天板７５の中央部には、繰り出し部材４３のキー溝６２と同じ大きさのキー穴７６が設けられている。キー穴７６は、天板７５が繰り出し部材４３を覆った状態で繰り出し部材４３のキー溝６２と整合する。これにより、係止部材４２が引き込まれた状態で、キー溝６２とキー穴７６とが整合する。

　係止部材保持部７２は、係止部材４２をその往復動を許容した状態で支持するための部材である。係止部材保持部７２は、繰り出し部材保持部７１の上下両側にそれぞれ設けられている。各係止部材保持部７２は、側板７８と、天板７９とから構成されている。

　側板７８は、係止部材４２の基端付近をその左右から支持するための部材である。側板７８は、広幅部７８Ａと、狭幅部７８Ｂとから構成されている。広幅部７８Ａは、係止部材４２の基端側板部５７がはめ込まれる部分である。狭幅部７８Ｂは、係止部材４２の基端側板部５７と先端側板部５８との間がはめ込まれる部分である。

　天板７９は、係止部材４２をその前側から支持するための部材である。天板の後側面の基端部には、上述したカム押え突起６９が設けられている。天板７９の後側面の先端部には、係止部材４２の前側溝部５４に嵌合する支持用突起８０が設けられている。天板の先端側には、スリット８１が設けられ、そのスリット８１の先端に隆起部８２が設けられている。隆起部８２は、中央隆起片８２Ａと、左右係止片８２Ｂとから構成され、スリット８１が形成されることにより揺動可能に弾性支持されている。隆起部８２の中央隆起片８２Ａ及び左右係止片８２Ｂが、カバー押え４６の十字状切り欠き８６Ａと嵌合することで、保持カバー４５とカバー押え４６との間の位置決めがなされる。

　カバー押え４６は、図１、図１５、図１６に示すように、保持カバー４５を蓋体３の凹部３３に固定するための部材である。具体的には、２つのカバー押え４６が各係止部材保持部７２をそれぞれ支持して、保持カバー４５を凹部３３に固定する。カバー押え４６は、側板８５と、天板８６と、前側支持板片８７と、後側支持板片８８とから構成されている。

　各側板８５は、係止部材４２の左右を覆って、係止部材４２の往復動を許容する。天板８６は、各側板８５を一体的に支持すると共に、係止部材４２の前側を覆って、係止部材４２の往復動を許容する。前側支持板片８７は、保持カバー４５の係止部材保持部７２の天板７９を、その後側から支持するための部材である。係止部材保持部７２の天板７９は、カバー押え４６の天板８６と前側支持板片８７とで、前後から支持される。

　後側支持板片８８は、カバー押え４６を凹部３３に固定するための部分である。後側支持板片８８は、各側板８５の後端部に３つずつ設けられている。各後側支持板片８８は、凹部３３に設けられた係止爪３８に嵌合することで、カバー押え４６を凹部３３に固定する。各後側支持板片８８には、係止爪３８に嵌合しやすいように、テーパ８８Ａが設けられている。

　上記構成により、係止部材４２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、先端嵌合部５６が開口３４から最も繰り出された状態である係合位置と、係止部材４２が最も開口３４内に引き込まれた状態である係合解除位置との間で移動可能である。係合解除位置では、係止部材４２の先端嵌合部５６の交差方向係合部５６２は、図１７に示すように、交差方向延出空間２３３に対して係合が解除されている。また、係合位置では、交差方向係合部５６２は、図１９に示すように、交差方向延出空間２３３に係合している。

　以上の構成の基板収納容器の蓋体３の先端嵌合部５６は、以下のように動作し、以下のような効果を得ることができる。
　先ず、繰り出し部材４３が回転させられることにより、係止部材４２は、先端嵌合部５６から繰り出し部材４３へ向かう方向へ引き戻される。これにより、先端嵌合部５６は、係合解除位置に配置される。次に、基板Ｗが収納された容器本体２の開口周縁部２８は、蓋体３により閉塞される。この時、先端嵌合部５６は図１７のような状態となる。

　次に、繰り出し部材４３が先ほどとは逆の方向に回転させられることにより、係止部材４２が開口３４から繰り出されてゆく。この際、連結軸５１を有する係止部材４２の基端部は、基端後側カム３９の斜面３９Ａを滑り降りる。一方、先端嵌合部５６を有する係止部材４２の先端部は、先端側カム４０の斜面４０Ａを滑り上がり、前方向Ｄ１１へ押し出される。この時、先端嵌合部５６は図１８のような状態となる。

　そして、先端嵌合部５６が係合位置に至ったときに、図１９に示すように交差方向係合部５６２は、交差方向延出空間２３３に係合する。この状態で、図２に示すように、トップフランジ２３５が搬送装置のフランジ部係合部９０１によって把持され、基板収納容器１が吊り上げられると、容器本体２の上壁２３は、容器本体２及び基板Ｗの重量により、上方向Ｄ２１に向かって凸となるように変形しようとする。しかし、前述のように、先端嵌合部５６が係合位置にあるため、先端嵌合部５６の交差方向係合部５６２が容器本体２の開口周縁部２８に引っかかり、容器本体２の上壁２３は、上方向Ｄ２１に向かって凸となるように変形しようとすることを抑えることができる。

　即ち、係合凹部としてのラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、容器本体開口部が拡大するように容器本体が変形することによって開口周縁部が蓋体から離間しようとしたときに、離間する方向に対して交差する方向に延びる交差方向延出空間を有する。また、ラッチ部材としての先端嵌合部５６は、ラッチ部材（先端嵌合部５６）が係合位置にあるときに、交差方向延出空間２３３に係合する交差方向係合部５６２を有する。

　このため、ラッチ部材としての先端嵌合部５６が係合位置にあることにより、先端嵌合部５６の交差方向係合部５６２が容器本体２の開口周縁部２８に引っかかることができ、容器本体２の上壁２３が上方向Ｄ２１に向かって凸となるように変形しようとすることを、抑えることができる。この結果、シール部材３０１と開口周縁部２８との間に隙間が生ずることを防止することができ、ウェーハの外気汚染を抑えることができる。
　また、容器本体２の変形を防止することができるため、衝撃等の外力により蓋体３が容器本体２から外れてしまうことを抑えることができる。また、シール部材３０１と、シール部材３０１が当接する開口周縁部２８の部分との間に擦れが生ずることを防止することができる。この結果、シール部材３０１からのパーティクル発生を抑えることができる。
　また、蓋体３の４箇所において先端嵌合部５６が蓋体３から突出するように構成されているため、蓋体３が開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係、即ち、開口周縁部２８により形成された容器本体開口部２１に嵌り込んだ位置関係で、蓋体３を容器本体開口部２１の中央部に安定して位置させることができる。この結果、蓋体の開閉性を高めることができる。

　次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について、図２０を参照しながら説明する。図２０は、本発明の第２実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ａを示す拡大概略図である。
　第２実施形態では、先端嵌合部５６Ａの交差方向係合部５６２Ａの形状が、第１実施形態における先端嵌合部５６の交差方向係合部５６２とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の符号については、同一の符号を付して説明する。

　先端嵌合部５６Ａの交差方向係合部５６２Ａの先端部は、交差方向係合部５６２Ａの延出方向である前方向Ｄ１１に突出する先端部曲面５６３Ａを有する。先端部曲面５６３Ａは、半球状を有している。図２０に示すように、先端嵌合部５６Ａが係合位置にあるときには、交差方向係合部５６２Ａが交差方向延出空間２３３に係合するとともに、先端部曲面５６３Ａは、交差方向延出空間２３３を形成している開口周縁部２８の部分に当接する。

　先端嵌合部５６Ａの交差方向係合部５６２Ａの先端部は、交差方向係合部５６２Ａの延出方向である前方向Ｄ１１に突出する先端部曲面５６３Ａを有するため、先端部曲面５６３Ａは、交差方向延出空間２３３を形成している開口周縁部２８の部分に引っかかりにくい。このため、先端嵌合部５６Ａの交差方向係合部５６２Ａの交差方向延出空間２３３への係合を容易とすることができる。

　次に、本発明の第３実施形態による基板収納容器について、図２１を参照しながら説明
する。図２１は、本発明の第３実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ｂを示す拡大概略図である。
　第３実施形態では、延出基部５６１Ｂと交差方向係合部５６２Ｂとを有する先端嵌合部５６Ｂの先端部の形状が、第１実施形態における先端嵌合部５６の交差方向係合部５６２とは異なる。また、交差方向延出空間２３３Ａを形成する開口周縁部２８の一部の形状が、第１実施形態における交差方向延出空間２３３を形成する開口周縁部２８の一部の形状とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の符号については、同一の符号を付して説明する。

　交差方向係合部５６２Ｂの先端部である交差方向係合部５６２Ｂの前端部には、交差方向係合部５６２Ｂから、下方向Ｄ２２へ延出する戻りラッチ延出部５６３Ｂを有する。ここで下方向Ｄ２２とは、離間方向に対する反対の方向である。ラッチ延出部は下方向Ｄ２２に向かう矩形を有している。

　開口周縁部２８の部分であって、離間方向延出空間２３２と交差方向延出空間２３３Ａとの接続部を形成している部分は、戻り凹部形成延出部２８１を有する。戻り凹部形成延出部２８１は、離間方向である上方向Ｄ２１に延出する。戻り凹部形成延出部２８１は、上方向Ｄ２１に向かう矩形を有している。

　このように、先端嵌合部５６Ｂは、戻りラッチ延出部５６３Ｂを有し、開口周縁部２８の部分であって、離間方向延出空間２３２と交差方向延出空間２３３Ａとの接続部を形成している部分は、戻り凹部形成延出部２８１とを有する。このため、戻りラッチ延出部５６３Ｂと戻り凹部形成延出部２８１とが係合し合うことで、より確実に先端嵌合部５６Ｂの交差方向係合部５６２Ｂ及び戻りラッチ延出部５６３Ｂが容器本体２の開口周縁部２８に引っかかることができ、容器本体２の変形を防止することができる。

　次に、本発明の第４実施形態による基板収納容器について、図２２を参照しながら説明
する。図２２は、本発明の第４実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ａを示す拡大概略図である。
　第４実施形態では、交差方向延出空間２３３Ｂを形成する開口周縁部２８の一部の形状が、第２実施形態における交差方向延出空間２３３を形成する開口周縁部２８の一部の形状とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の符号については、同一の符号を付して説明する。

　交差方向延出空間２３３Ｂを形成している開口周縁部２８の部分は、係合傾斜面２８２を有する。係合傾斜面２８２は、離間方向に対して交差する方向に平行な位置関係を有している。具体的には、係合傾斜面は、前方向Ｄ１１且つ上方向Ｄ２１から後方向Ｄ１２且つ下方向Ｄ２２へ延びる傾斜面により構成されており、交差方向延出空間２３３Ｂの延出端部である前端部を形成している。

　このような構成により、係合傾斜面２８２は、先端嵌合部５６Ａが係合位置にあるときに、先端部曲面５６３Ａに当接する。このとき、先端部曲面５６３Ａは、前方向Ｄ１１且つ上方向Ｄ２１から後方向Ｄ１２且つ下方向Ｄ２２へ延びる。このため、開口周縁部２８が蓋体３から上方向Ｄ２１へ離間しようとすると、係合傾斜面２８２と先端部曲面５６３Ａとの当接が、より強い力でなされるようになる。この結果、より確実に、蓋体３が開口周縁部２８から離間することを抑えることができる。

　次に、本発明の第５実施形態による基板収納容器について、図２３～図２４を参照しながら説明する。図２３は、本発明の第５実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ｃが係合解除位置にある様子を示す拡大概略図である。図２４は、本発明の第５実施形態に係る蓋体３の先端嵌合部５６Ｃが係合位置にある様子を示す拡大概略図である。

　第５実施形態では、ラッチ係合凹部２３１Ｃの交差方向延出空間２３３Ｃの形状が、第１実施形態における交差方向延出空間２３３の形状とは異なる。即ち、交差方向延出空間２３３Ｃを形成している開口周縁部２８の部分の形状についても、第１実施形態における交差方向延出空間２３３Ｃを形成している開口周縁部２８の部分の形状とは異なる。また、先端嵌合部５６Ｃの移動方向が、第１実施形態における先端嵌合部５６の移動方向とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の符号については、同一の符号を付して説明する。

　交差方向延出空間２３３Ｃを形成している開口周縁部２８の部分は、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃを有する。ラッチ平行傾斜面２８２Ｃは、離間方向に交差する方向に平行な位置関係を有している。具体的には、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃは、前方向Ｄ１１且つ上方向Ｄ２１から、後方向Ｄ１２且つ下方向Ｄ２２へ向かうように傾斜する。このため、交差方向延出空間２３３Ｃの形状も、第１実施形態における交差方向延出空間２３３の形状とは異なり、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃに沿ってラッチ平行傾斜面２８２Ｃに平行に延びている。

　先端嵌合部５６Ｃの交差方向係合部５６２Ｃは、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃに平行に延出基部５６１Ｃから延びる矩形を有している。

　また、先端嵌合部５６Ｃは、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃに平行に移動可能である。換言すれば、先端嵌合部５６Ｃの移動方向は、離間方向に交差する方向に一致する。即ち、上述した実施形態とは異なり、直線状にのみ先端嵌合部５６Ｃは移動する。

　従って、先端嵌合部５６Ｃが係合解除位置にあるときには、図２３に示すように、先端嵌合部５６Ｃの交差方向係合部５６２Ｃは、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃよりも後方向Ｄ１２且つ下方向Ｄ２２に位置している。先端嵌合部５６Ｃが係合位置にあるときには、図２４に示すように、先端嵌合部５６Ｃの交差方向係合部５６２Ｃの側面は、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃに面で当接している。

　上記構成によれば、先端嵌合部５６Ｃが係合位置にあるときには、図２４に示すように、先端嵌合部５６Ｃの交差方向係合部５６２Ｃの前面は、ラッチ平行傾斜面２８２Ｃに面で当接することができる。このため、面当接による大きな摩擦力により、確実に、先端嵌合部５６Ｃの交差方向係合部５６２Ｃが容器本体２の開口周縁部２８に引っかかり、容器本体２の上壁２３が、上方向Ｄ２１に向かって凸となるように変形しようとすることを抑えることができる。

　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、係合凹部、及びラッチ部材の構成は、上述した実施形態の構成に限定されない。係合凹部は、容器本体開口部２１が拡大するように容器本体２が変形することによって開口周縁部２８が蓋体３から離間しようとしたときに、離間方向に対して交差する方向に延びる交差方向延出空間を有していればよい。また、ラッチ部材は、ラッチ部材が係合位置にあるときに、交差方向延出空間に係合する交差方向係合部を有していればよい。

　また、第１実施形態～第４実施形態では、交差方向延出空間２３３、２３３Ａ、２３３Ｂ、２３３Ｃは、離間方向延出空間２３２、２３２Ａ、２３２Ｂ、２３２Ｃの延出端部から離間方向に直交する方向に延びていたが、交差方向延出空間の延びる方向は、離間方向に直交する方向に限定されない。交差方向延出空間の延びる方向は、離間方向に交差する方向であればよい。同様に、第１実施形態～第４実施形態では、交差方向係合部５６２、５６２Ａ、５６２Ｂ、５６２Ｃは、延出基部５６１、５６１Ａ、５６１Ｂ、５６１Ｃの延出端部から離間方向に直交する方向に延出していたが、交差方向係合部の延出する方向は、離間方向に直交する方向に限定されない。交差方向係合部の延出する方向は、離間方向に交差する方向であればよい。

　また、第２実施形態、第４実施形態では、先端部曲面５６３Ａは、半球状を有していたが、先端部曲面は、半球状に限定されない。交差方向係合部の先端部は、交差方向係合部の延出方向に突出する先端部曲面を有していればよい。

　また、第３実施形態では、交差方向係合部５６２Ｂの先端部である交差方向係合部５６２Ｂの前端部は、交差方向係合部５６２Ｂから、下方向Ｄ２２へ延出する戻りラッチ延出部５６３Ｂを有していたが、戻りラッチ延出部の延出する方向は、下方向Ｄ２２に限定されない。例えば、戻りラッチ延出部の延出する方向は、斜め前方向Ｄ１１且つ下方向Ｄ２２であってもよい。即ち、戻りラッチ延出部は、交差方向係合部の先端部から離間方向に対して反対の方向に延出していればよい。同様に、戻り凹部形成延出部２８１は、当該離間方向である上方向Ｄ２１に延出していたが、戻り凹部形成延出部の延出する方向は、上方向Ｄ２１に限定されない。例えば、戻り凹部形成延出部の延出する方向は、斜め前方向Ｄ１１且つ上方向Ｄ２１であってもよい。即ち、戻り凹部形成延出部は、離間方向に延出していればよい。

　また、第１実施形態においては、係止部材４２の先端嵌合部５６が係合位置に至った後に、係止部材４２を図１７における下方向Ｄ２２へ移動させてもよい。このようにすることで、仮に、先端嵌合部５６が係合位置に至ったときに、交差方向係合部５６２と交差方向延出空間２３３を形成する開口周縁部２８の部分との間に隙間が生じた場合であっても、当該隙間をなくすことができる。この場合、先端嵌合部５６が係合位置に至った後に、先端嵌合部５６を図１７における下方向Ｄ２２へ移動させた後の先端嵌合部５６の位置も、係合位置に含まれる。

　また、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数や、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や枚数や寸法に限定されない。

１　　基板収納容器
２　　容器本体
３　　蓋体
２１　　容器本体開口部
２７　　基板収納空間
２８　　開口周縁部
３０　　本体部（蓋体本体）
５６、５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ　先端嵌合部５６（ラッチ部材）
２３１Ａ、２３１Ｂ、２３１Ｃ、２４１Ａ、２４１Ｂ、２４１Ｃ　係合凹部
２３２、２３２Ａ、２３２Ｂ、２３２Ｃ　離間方向延出空間
２３３、２３３Ａ、２３３Ｂ、２３３Ｃ　交差方向延出空間
２８２Ｃ　ラッチ平行傾斜面
５６１、５６１Ａ、５６１Ｂ、５６１Ｃ　延出基部
５６２、５６２Ａ、５６２Ｂ、５６２Ｃ　交差方向係合部
５６３Ａ　先端部曲面
Ｗ　　基板

Claims

　複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
　前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、
　前記開口周縁部は、前記蓋体に対向して形成された係合凹部を有し、
　前記蓋体は、蓋体本体と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記係合凹部に係合する係合位置と前記係合凹部に対して係合が解除される係合解除位置との間で前記蓋体本体に対して移動可能なラッチ部材と、を備え、
　前記係合凹部は、前記容器本体開口部が拡大するように前記容器本体が変形することによって前記開口周縁部が前記蓋体から離間しようとしたときに、前記離間する方向に対して交差する方向に延びる交差方向延出空間を有し、
　前記ラッチ部材は、前記ラッチ部材が係合位置にあるときに、前記交差方向延出空間に係合する交差方向係合部を有する基板収納容器。
　前記係合凹部は、前記離間する方向に延出し前記蓋体に対向する離間方向延出空間を有し、
　前記交差方向延出空間は、前記離間方向延出空間の延出端部に接続され、
　前記ラッチ部材は、前記離間する方向に延出する延出基部を有し、
　前記交差方向係合部は、前記延出基部の延出端部から前記離間する方向に交差する方向に延出する請求項１記載の基板収納容器。
　前記交差方向係合部の先端部は、前記交差方向係合部の延出方向に突出する先端部曲面を有する請求項２記載の基板収納容器。
　前記交差方向延出空間を形成している前記開口周縁部の部分は、前記ラッチ部材が係合位置にあるときに、前記先端部曲面に当接し前記離間する方向に対して交差する方向に平行な係合傾斜面を有する請求項３記載の基板収納容器。
　前記ラッチ部材は、前記交差方向係合部の先端部から前記離間する方向に対して反対の方向に延出する戻りラッチ延出部を有し、
　前記開口周縁部の部分であって、前記離間方向延出空間と前記交差方向延出空間との接続部を形成している部分は、前記離間する方向に延出する戻り凹部形成延出部を有する請求項２又は請求項３に記載の基板収納容器。
　前記ラッチ部材の移動方向は、前記離間する方向に交差する方向に一致し、
　前記交差方向係合部は、前記ラッチ部材の端部であって前記離間する方向に交差する方向に延出し、
　前記交差方向延出空間を形成している前記開口周縁部の部分は、前記離間する方向に交差する方向に平行なラッチ平行傾斜面を有する請求項１に記載の基板収納容器。