JP2002299430A - 半導体材料搬送用保管容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送時の自重による変形を防止できる半導体
材料搬送用保管容器を提供すること。 【解決手段】 半導体材料搬送用保管容器１２は、容器
本体１４と蓋体１８からなり、蓋体１８は容器本体１４
の開口部１４０４に装脱される。蓋体１８にはロック爪
２０が設けられ、容器本体１４にはロック孔２２が設け
られる。ロック爪２０は８つ設けられ、２つの取手２０
を同時に回転させることでこれらロック爪２０が連動機
構３０を介して蓋体１８の４辺から出没する。蓋体１８
の上下の辺からそれぞれ突出した係合爪２０がそれぞれ
対応するロック孔２２に係合すると、上下のロック爪２
０は容器本体１４に対して上下に移動不能に結合され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場で
使用される半導体材料搬送用保管容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場では、半導体材料であ
る、例えば、ウェハーが各種の装置間で運搬されてお
り、この運搬の際、塵埃のウェハーへの付着を阻止する
ため半導体材料搬送用保管容器が用いられている。この
種の保管容器４８は、図４（Ａ）に示すように、収容空
間５００２および開口部５００４を有する容器本体５０
と、容器本体５０の上面に設けられた自動搬送用のフラ
ンジ５２（ＳＥＭＩ規格では「トップロボティックハン
ドリングフランジ」と呼ばれている）と、開口部５００
４に開閉可能に取着される蓋体５４と、この蓋体５４に
設けられ蓋体５４で開口部５００４を閉塞した状態で容
器本体５０のロック孔５００６に挿入され開口部５００
の閉塞状態を保持するロック爪５６などを備えている。
そして、この保管容器５０に、多数枚のウェハーが密閉
された状態で収納され、搬送用フランジ５２により吊り
下げられ、各種の装置間で自動搬送されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
保管容器４８では、容器本体５０と蓋体５４が、合成樹
脂製でそれぞれ型により一体成形されており、開口部５
００４を含んだ容器本体５０の側面は、開口部５００４
を有するため他の側面に比べて強度的に弱い。したがっ
て、搬送用フランジ５２により吊り下げられた状態で移
送される搬送時、保管容器４８自体の重量と収容された
多数枚のウェハーの重量により、図４（Ｂ）に示すよう
に、開口部５００８を含んだ容器本体５０の側面が変形
し易い。そして、このような変形が生じると、保管容器
４８のシール機構が機能せず、シール性が悪化したり、
保管容器４８やシール機構自体の早期劣化の原因とな
る。本発明は前記事情に鑑み案出されたものであって、
本発明の目的は、搬送時の自重による変形を防止できる
半導体材料搬送用保管容器を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の半導体材料搬送用保管容器は、収容空間および
開口部を有する容器本体と、前記容器本体の上面に設け
られた搬送用フランジと、前記開口部に開閉可能に取着
される蓋体と、前記蓋体に設けられ蓋体で前記開口部を
閉塞した状態で容器本体のロック孔に挿入され開口部の
閉塞状態を保持するロック爪とを備え、前記ロック爪が
前記蓋体の上下にそれぞれ設けられ、前記ロック爪はロ
ック孔に係合され、かつ、係合された状態で容器本体に
対して蓋体が上下方向に移動不能となるように構成され
ていることを特徴とする。

【０００５】本発明では、開口部を含んだ容器本体の側
面を変形させようとする荷重をロック爪で受け、開口部
を含んだ容器本体の側面の変形を防止する。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は半導体材料搬送用保
管容器の断面側面図、図２は半導体材料搬送用保管容器
の正面図、図３はロック爪およびロック孔部分の拡大図
を示す。半導体材料搬送用保管容器１２は、容器本体１
４と、搬送用フランジ１６と、蓋体１８と、ロック爪２
０、ロック孔２２などにより構成されている。

【０００７】前記容器本体１４は合成樹脂製で内部に半
導体材料の収容空間１４０２を有し、容器本体１４の一
つの側面に半導体材料の出し入れ用の開口部１４０４が
設けられている。前記開口部１４０４は縦横が容器本体
１４よりも大きな寸法で形成された矩形枠状のフランジ
１４０６の内側に矩形に形成されている。このフランジ
１４０６の外側全周には、補強用のリブ１４０８が設け
られている。このリブ１４０８は、金属繊維や高強度繊
維などを含む合成樹脂のような剛性の高い材料で形成さ
れている。このリブ１４０８は容器本体１４とは別の部
材で形成し、ねじや接着剤などでフランジ１４０６に取
り付けてもよく、あるいは、容器本体１４の型成形時に
容器本体１４と一体に形成してもよい。前記搬送用フラ
ンジ１６は容器本体１４の上面に配置され、搬送用フラ
ンジ１６は容器本体１４と一体に形成されている。な
お、図１において符号Ｗは、収容空間１４０２に収容さ
れた多数のウェハーを示し、符号１４２０は、保管容器
１２の位置決め用ガイドを示す。

【０００８】前記ロック孔２２は、図２に示すように、
上下に位置するフランジ１４０６の内面で左右両端寄り
箇所と、左右に位置するフランジ１４０６の内面で上下
両端より箇所にそれぞれ形成されている。前記各ロック
孔２２は、図３に示すように、円弧状に延在する溝部分
２２０２と、この溝部分２２０２の奥部に形成された係
合壁部２２０４とで構成されている。前記係合壁部２２
０４は、上下のフランジ１４０６のロック孔２２では左
右に水平に延在し、左右のフランジ１４０６のロック孔
２２では上下に鉛直に延在している。

【０００９】前記蓋体１８は合成樹脂製で、前記開口部
１４０４に装脱されるように、開口部１４０４よりも僅
かに小さい縦横の寸法で矩形板状に形成されている。蓋
体１８の背面には、蓋体１８で開口部１４０４を閉塞し
た時に前記収容空間１４０２を密閉するためのシール材
２６が取着されている。前記ロック爪２０はロック孔２
２に係合されるように、蓋体１８の内部で蓋体１８の上
下の辺の左右両端寄り箇所と、左右の辺の上下両端より
箇所にそれぞれ配設され、各ロック爪２０の先端に前記
係合壁部２２０４に係合する先端凸部２００２が設けら
れている。

【００１０】前記蓋体１８の前面には、前記８つのロッ
ク爪２０を作動させるための取手２６が設けられてい
る。本実施の形態では、前記取手２６は左右に間隔をお
いて２つ設けられ、これら２つの取手２０を同時に回転
させることで８つのロック爪２０が連動機構３０を介し
て蓋体１８の各辺から出没するように構成され、前記ロ
ック爪２０と連動機構３０は蓋体１８の内部に配設され
ている。前記連動機構３０は、取手２８に取着され取手
２８と一体に回転する回転板３００２と、蓋体１８の上
下の辺に配設された上下のロック爪２０と回転板３００
２とを連結する上下の連結部材３２と、蓋体１８の左右
の辺に配設された左右のロック爪２０と回転板３００２
とを連結する左右の連結部材３４を備えている。

【００１１】前記上下の連結部材３２は、左右方向に延
在する横部材３２０２と、この横部材３２０２から突設
されその先端がそれぞれ左右の回転板３００２に回転可
能にピン結合される縦部材３２０４とから構成され、前
記上下のロック爪２０は前記横部材３２０２の両端にそ
れぞれ取り付けられている。前記左右の連結部材３２
は、上下に延在する縦部材３２１２と、この縦部材３２
１２から突設されそれぞれ左右の回転板３００２に回転
可能にピン結合される横部材３２１４とから構成され、
前記左右のロック爪２０は前記縦部材３２１２の両端に
それぞれ取り付けられている。

【００１２】そして、蓋体１８で開口部１４０４を塞い
で、左右の取手２８を同時に回転させると、連動機構３
０を介して８つの係合爪２０が同時に円弧運動を行な
い、蓋体１８の上下左右の辺からそれぞれ突出し、各係
合爪２０がそれぞれ対応するロック孔２２の溝部分２２
０２を通り、各係合爪２０の先端凸部２００２が係合壁
部２２０４に係合し、これにより上下のロック爪２０
は、容器本体１４に対して上下に移動不能に結合され、
また、左右のロック爪２０は、容器本体１４に対して左
右に移動不能に結合されるように構成されている。ま
た、開口部１４０４が閉塞された状態から蓋体１８を取
り外す場合には、左右の取手２８を同時に前記とは逆向
きに回転させると、前記とは逆向きに係合爪２０が円弧
運動を行ない、係合壁部２２０４に対する先端凸部２０
０２の係合が解除され、ロック孔２２の溝部分２２０２
を通って蓋体１８の内部に没入するように構成されてい
る。なお、保管容器１２の装置間での搬送は、自動搬送
装置により搬送用フランジ１６を介して吊り下げられた
状態で行われ、保管容器１２は各装置の載置部に載置さ
れる。そして、装置側のロボットにより取手２８が回転
され、蓋体１８が着脱され、ウェハーＷの出し入れが行
われる。

【００１３】本実施の形態によれば、搬送用フランジ１
６により吊り下げられた保管容器１２の搬送時、保管容
器１２自体の重量と収容された多数枚のウェハーＷの重
量が容器本体１４に作用し、強度的に弱い開口部１４０
４を含んだ容器本体１４の側面を変形させようとする
が、この容器本体１４の側面を変形させようとする荷重
をロック爪２０でも受けるので、開口部１４０４を含ん
だ容器本体１４の側面の変形を防止する上で極めて有利
となる。この場合、ロック爪２０や回転板３００２を、
伸びの少ない材料で形成しておくとより一層有利とな
る。また、本実施の形態では、蓋体１８の上下の辺のみ
ならず、左右の辺にもロック爪２０を設けたので、開口
部１４０４を含んだ容器本体１４の側面の変形を防止す
る上でより一層有利となる。また、本実施の形態では、
開口部１４０４の周囲のフランジ１４０６に補強リブ１
４０８を設けたので、開口部１４０４を含んだ容器本体
１４の側面の変形を防止する上でより一層有利となる。

【００１４】なお、２つの取手２０のうちの一方は省略
してもよく、また、取手２８によりロック爪２０をロッ
ク孔２２に対して係脱させる機構は、種々考えられ、実
施の形態の連動機構３０に限定されない。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ロ
ック爪とロック孔との係合により、開口部を含んだ容器
本体の側面の変形を防止でき、したがって、保管容器の
シール性を良好な状態に維持でき、保管容器やシール機
構自体の早期劣化を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】半導体材料搬送用保管容器の断面側面図であ
る。

【図２】半導体材料搬送用保管容器の正面図である。

【図３】ロック爪およびロック孔部分の拡大図である。

【図４】（Ａ）、（Ｂ）は従来の半導体材料搬送用保管
容器の説明図である。

【符号の説明】

１２……半導体材料搬送用保管容器、１４……容器本
体、１６……搬送用フランジ、１８……蓋体、２０……
ロック爪、２２……ロック孔。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E096 AA04 BA16 BB03 CA01 CB03 DA08 DA17 DA30 EA02X FA03 FA20 GA07 3J001 FA12 GA06 GB01 HA04 HA08 JD25 JD26 JD27 KA21 KA23 KB06 5F031 CA02 DA08 EA12 EA14 EA20 FA01 FA03 FA09 NA10 PA26 PA30

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 収容空間および開口部を有する容器本体
   と、 前記容器本体の上面に設けられた搬送用フランジと、 前記開口部に開閉可能に取着される蓋体と、 前記蓋体に設けられ蓋体で前記開口部を閉塞した状態で
   容器本体のロック孔に挿入され開口部の閉塞状態を保持
   するロック爪と、 を備えた半導体材料搬送用保管容器において、 前記ロック爪が前記蓋体の上下にそれぞれ設けられ、 前記ロック爪はロック孔に係合され、かつ、係合された
   状態で容器本体に対して蓋体が上下方向に移動不能とな
   るように構成されている、 ことを特徴とする半導体材料搬送用保管容器。
2. 【請求項２】 前記ロック爪は前記蓋体の左右にもそれ
   ぞれ設けられ、この左右のロック爪は、前記容器本体の
   左右のロック孔に係合され、かつ、係合された状態で容
   器本体に対して蓋体が左右方向に移動不能となるように
   構成されていることを特徴とする請求項１記載の半導体
   材料搬送用保管容器。
3. 【請求項３】 前記開口部の周囲に位置する容器本体箇
   所には、補強用のリブが設けられていることを特徴とす
   る請求項１記載の半導体材料搬送用保管容器。
4. 【請求項４】 前記ロック爪はロック孔に対して円弧運
   動し、ロック孔に対して係脱されることを特徴とする請
   求項１記載の半導体材料搬送用保管容器。