DE10045202A1 - Kassette für flache Werkstücke - Google Patents

Abstract

Kassette zur Aufnahme flacher Werkstücke (12), beispielsweise Wafer, mit einem Gehäuse (1) mit Seiten (4, 5, 6, 7); einer Öffnung (7) an einer der Gehäuseseiten; Führungen (8), vorzugsweise Führungsschienen, zur Aufnahme und Separation der flachen Werkstücke in einem Stapel; einer Verriegelungsvorrichtung (9) zum Zurückhalten der flachen Werkstücke im Gehäuse (1); einem Kupplungsmechanismus (10), vorzugsweise eine kinematische Kupplung, zur Ankopplung der Kassette an eine Kassettenaufnahme; und einem Signalgeber (11) zur Identifizierung der Kassette.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kassette zur Aufnahme flacher Werkstücke, beispielsweise für Aufbewahrung, Transport und Handling von Wafern.

Für die Halbleiterherstellung verwendete Wafer werden übli­ cherweise in sogenannten Kassetten transportiert beziehungs­ weise aufbewahrt. Eine solche Kassette bietet üblicherweise Platz für einen Stapel von parallel zueinander in die Kasset­ te eingelegten Wafern. Die Wafer liegen beispielsweise auf Führungsschienen oder Haltepunkten auf und können, zumeist durch Automaten, an einer geöffneten Seite der Kassette ent­ nommen und zugeführt werden. Bislang wurden bei den verschie­ denen Phasen der Halbleiterherstellung die Wafer in jeweils unterschiedlichen, zum verwendeten Equipment passenden Kas­ setten transportiert. Es stand keine Kassette für Aufbewah­ rung, Transport und Handling von Wafern im Wafer-Frame- Verbund für die Prozesse Wafer-Mounting, Wafer-Dicing und Diebonden resp. Sorten zur Verfügung. Die Inkompatibilität verschiedener Kassettensysteme führte zu zeitlichen Verzöge­ rungen und der Notwendigkeit manuellen Umladens.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Kassette bereitzustellen, welche alle notwendigen Eigen­ schaften für eine durchgehende Verwendung bei der Herstellung von Wafern ermöglicht. Es versteht sich, daß die erfindungs­ gemäße Kassette auch für die Halterung anderer flacher Werk­ stücke geeignet ist.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Bereitstel­ lung einer Kassette zur Aufnahme flacher Werkstücke gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1. Weitere vorteilhafte Ausge­ staltungen, Aspekte und Details der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den bei­ gefügten Zeichnungen.

Die Erfindung ist gerichtet auf eine Kassette zur Aufnahme flacher Werkstücke mit einem Gehäuse mit Seiten, einer Öff­ nung an einer der Gehäuseseiten, Führungen zur Aufnahme und Separation der flachen Werkstücke in einem Stapel, einer Ver­ riegelungsvorrichtung zum Zurückhalten der flachen Werkstücke im Gehäuse, einem Kupplungsmechanismus zur Ankopplung der Kassette an eine Kassettenaufnahme, und einem Signalgeber zur Identifizierung der Kassette.

Die Seiten umgeben das viereckige Gehäuse an allen vier sich ergebenden Seitenflächen, wobei eine der Seiten als Öffnung ausgestaltet ist. Die flachen Werkstücke, die gegebenenfalls noch zusätzlich in einer stabilisierenden Halterung bzw. ei­ nem Rahmen liegen können, werden stapelförmig übereinander gestapelt und werden voneinander beabstandet gehaltert. Die Verriegelungsvorrichtung dient dem Zurückhalten der flachen Werkstücke im Gehäuse. Unter Zurückhalten ist hierbei zu ver­ stehen, daß, ungeachtet eines Spiels, welches die flachen Werkstücke haben können, in der Kassette befindliche Werk­ stücke (bzw. die Rahmen) jedenfalls daran gehindert werden, über einen bestimmten Punkt hinaus durch die Öffnung in der Kassette aus derselben herauszuwandern.

Um die erfindungsgemäße Kassette auch zum Versand geeignet zu machen, wird es weiterhin bevorzugt, daß sie komplett ver­ schließbar ist. Dies wird beispielsweise dadurch erreicht, daß an der Öffnung eine automatische Schließvorrichtung ange­ ordnet ist, welche die Öffnung verschließen kann. Genauso vorstellbar sind jedoch auch manuelle Schließvorrichtungen oder einfache Deckel, die mit entsprechenden Anschlüssen an der Öffnung befestigt werden können.

Die Führungen können beispielsweise gestapelt angeordnete Führungsschienen sein, auf denen die flachen Werkstücke an zumindest zwei gegenüberliegenden Bereichen zumindest mit ih­ ren Rändern auf Führungsebenen dieser Führungsschienen auf­ liegen. Die flachen Werkstücke werden nur an ihren Rändern unterstützt und bleiben mit ihrem Hauptteil frei schwebend. Handelt es sich um kreisförmige Werkstücke, wie beispielswei­ se Wafer, so findet die Unterstützung nur an einem kleine Be­ reich des Rands statt.

Die Führungsebenen der Schienen sind Ebenen, die in direktem Kontakt mit der Seite der flachen Werkstücke stehen, die auf den Schienen aufliegt. Befinden sich keine Hindernisse wie die Verriegelungsvorrichtung in diesen Ebenen, kann das Werk­ stück bzw. der es aufnehmende Rahmen, frei aus der Kassette heraus bzw. in diese hinein gleiten.

Die Stapel von Führungsschienen sind vorzugsweise an zwei Seitenwänden der Kassette angeordnet, welche an die Öffnung angrenzen. Die Verriegelungsvorrichtung der Kassette ist vor­ zugsweise so gestaltet, daß alle Führungen durch die Verrie­ gelungsvorrichtung gleichzeitig verriegelbar sind. Auf diese Weise ist die Verriegelungsvorrichtung besonders einfach be­ dienbar.

Die Verriegelungsvorrichtung umfaßt vorzugsweise Verriege­ lungselemente, welche Teile der Führungsschienen sind, die hin- und herbewegbar sind zwischen einer Freigabeposition zum Entnehmen und Zuführen von Werkstücken, bei der sich die Ver­ riegelungselemente in der Führungsebene befinden, und einer Verriegelungsposition zum Verhindern eines Gleitens der fla­ chen Werkstücke über die Verriegelungsvorrichtung hinaus, bei der die Verriegelungselemente sich im Gleitweg der Werkstücke befinden.

Die Verriegelung erfolgt also dadurch, daß die als Verriege­ lungselemente bezeichneten Teile der Führungsschienen in den Gleitweg verbracht werden und diese Verriegelungselemente da­ durch ein Gleiten über sie hinweg verhindern können. Die Hin- und Herbewegung kann beispielsweise eine Verschiebung in la­ teraler Richtung sein oder eine Verdrehung, im ersten Fall befinden sich die Verriegelungselemente immer noch parallel zu dem Rest der Führungsschienen, während bei einer Verkip­ pung beispielsweise die Verkippachse auf der Führungsebene verbleibt, während auf der gekippten Seite des Verriegelungs­ elements die Führungsebene blockiert und ein Gleiten der Werkstücke nicht mehr möglich ist.

Die Kassette weist üblicherweise einen Boden auf, wobei es bevorzugt wird, daß am Boden ein Mechanismus angebracht ist, der mit der Verriegelungsvorrichtung interagieren kann, um die Werkstücke beim Anheben der Kassette vor einem Untergrund zu verriegeln. Auf diese Weise wird erreicht, daß beim Trans­ port der Kassette die Verriegelung jedenfalls aktiviert wird und darin untergebrachte Werkstücke nicht herausgleiten kön­ nen.

Dieser Mechanismus läßt sich beispielsweise dadurch implemen­ tieren, daß die Verriegelungsvorrichtung eine Halteplatte für die Verriegelungselemente aufweist, welche außen an den Sei­ tenwänden angeordnet sind, einen Federmechanismus, welcher die Halteplatte so verschieben kann, daß die Verriegelungs­ elemente in Richtung auf die Verriegelungsposition bewegt werden, und einen Stift unter der Bodenplatte, welcher beim Aufsetzen der Kassette auf einen Untergrund die Halteplatte so gegen die Kraft des Federmechanismus verschieben kann, daß die Verriegelungselemente in Richtung auf die Freigabepositi­ on bewegt werden. Der Stift wirkt also gegen den Federmecha­ nismus, so daß die beiden als Antagonisten betrachtet werden können. Während der Federmechanismus versucht, die Verriege­ lungsvorrichtung in eine Verriegelungsposition zu bringen und dies auch schafft, sofern die Kassetten nicht auf einen Un­ tergrund aufgesetzt wird, bewegt der Stift beim Aufsetzen der Kassette auf den Untergrund den Verriegelungsmechanismus in eine Freigabeposition, bei der Werkstücke (bzw. deren Rahmen) zugeführt oder/und entnommen werden können.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Ausgestaltung des Verriegelungselements kann sich dieses Verriegelungselement für ein bestimmtes flaches Werkstück aus einer Position, wel­ che auf derselben Führungsebene für dieses Werkstück liegt, beim Verriegeln in eine Position bewegen, die zwischen der Führungsschiene für dieses Werkstück und der benachbarten Führungsschiene liegt, so daß es im wesentlichen neben dem flachen Werkstück liegt und dessen Gleiten auf der Führungs­ schiene durch seine Anwesenheit verhindert.

Die Öffnung kann so ausgelegt sein, daß sie an ein Gegenstück einer standardisierten Bearbeitungsvorrichtung für die fla­ chen Werkstücke ankoppelbar ist. Diese Ankopplung geschieht vorzugsweise mit sogenannten Equipment Load Ports, welche ebenfalls eine Konstruktion der erfindungsgemäßen Kassette in geschlossener Bauform bedingen, die mit einer automatischen Schließvorrichtung ausgerüstet sein sollte.

Ein weiteres wichtiges Merkmal der erfindungsgemäßen Kassette ist der Signalgeber zur Identifizierung der Kassette. Diese ermöglicht eine Kennzeichnung der Kassette entweder nach ih­ rem Typus oder/und nach einer eindeutigen Identifikationsnum­ mer und/oder nach einem Inhalt. Der Signalgeber enthält somit eine entsprechende Information in geeignet kodierter Weise, die er auf Anforderung beziehungsweise Abfrage an ein Gerät, welches die Information benötigt, abgeben kann. Der Signalge­ ber kann mechanisch, optisch, elektronisch etc. funktionie­ ren; mit oder ohne eine direkte Verbindung zum abfragenden Gerät. Bevorzugterweise ist der Signalgeber ein elektroni­ scher Signalgeber.

Weiterhin wird es bevorzugt, daß der Signalgeber ein kontakt­ los arbeitender Signalgeber ist. Die Informationsübertragung kann dabei beispielsweise auf optischem Wege erfolgen, zum Beispiel durch Leuchtdionen oder einen Barcode; oder durch die Abgabe elektromagnetischer Strahlung. Insbesondere wird es bevorzugt, daß der Signalgeber eine Spule aufweist, deren elektrische Charakteristika zur Kennzeichnung der Kassette dienen. Unter elektrischen Charakteristika ist hierbei auch das Sendeverhalten einer Nachricht zu verstehen, welche von der Spule abgegeben werden kann. Besonders bevorzugt ist hierbei die Anwendung sogenannter Transponder, welche auch im Warenhaltungs- und Verkaufsbereich eingesetzt werden sollen. Das System ist vorzugsweise so ausgestattet, daß es auch auf die gleiche Weise in seinen Daten manipuliert werden kann.

Weiterhin wird es bevorzugt, daß zumindest zwei Kassetten aufeinander stapelbar sind. Unter stapelbar ist hierbei zu­ nächst zu verstehen, daß die Ober- und Unterseiten der Kas­ setten so ausgelegt sind, daß sie zueinander komplementär kompatibel sind und mithin eine Aufeinanderstapelung von Kas­ setten möglich ist. In der einfachsten Ausführungsform hat die erfindungsgemäße Kassette lediglich glatte Ober- und Un­ terseiten, welche ein Stapeln in einfacher Weise ermöglichen.

In einer bevorzugten Ausführungsform, bei der die Kassette einen Boden und eine dem Boden gegenüberliegende Oberseite aufweist, sind an Boden und Oberseite zueinander komplementä­ re Halteelemente angeordnet, mit denen die Kassetten aufein­ ander stapelbar sind und wobei die seitliche Beweglichkeit der Kassetten gegeneinander durch die Halteelemente ausge­ schlossen ist.

Zusätzlich können die Halteelemente aufeinander gestapelte Kassetten in vertikaler Richtung miteinander verriegelbar ma­ chen, so daß mehrere Kassetten gemeinsam anhebbar sind, wenn die oberste Kassette des Stapels angehoben wird. Dies kann beispielsweise durch eine Zapfen-Lochkonstruktion oder bajo­ nettverschlußähnliche Ausführungsformen erreicht werden. Auch schwenkbare Haken, welche entsprechende Aufnahmevorrichtungen eingreifen, sind hierbei vorstellbar.

Bei Kombination eines Mechanismus zum Stapeln und Verriegeln von Kassetten übereinander mit einer Ausführungsform, bei der durch Anheben vom Untergrund der Verriegelungsmechanismus der flachen Werkstücke aktiviert wird (siehe oben), werden die Kassetten sinnvollerweise so gestaltet, daß beim Aufsetzen einer Kassette auf eine andere Kassette die Verriegelungsvor­ richtung nicht in Richtung auf ihre Freigabeposition bewegt wird. Bei Verwendung eines Stifts kann dies beispielsweise durch eine entsprechende Öffnung an der Oberseite der Kasset­ te erreicht werden, in die der Stift eingeführt wird, so daß er nicht den Mechanismus in Richtung Freigabeposition betäti­ gen kann.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform beinhaltet der Kupplungsmechanismus zugleich die oben angesprochenen Haltee­ lemente am Boden.

Der Kupplungsmechanismus kann hierbei grundsätzlich zur Auf­ nahme in Standardkassettenaufnahmen ausgelegt sein, bei­ spielsweise solche, die dem SEMI-Standard entsprechen. Durch eine solche Standardisierung läßt sich erreichen, daß die er­ findungsgemäße Kassette in existierenden, ebenfalls dem Stan­ dard genügenden Aufnahmen und damit Einrichtungen verwendet werden kann.

Um eine Verwendung der erfindungsgemäßen Kassette in ver­ schiedenen Geräten ermöglichen zu können, wird es weiterhin bevorzugt, daß der Kupplungsmechanismus eine sogenannte kine­ matische Kupplung ist, welche in der Lage ist, sich verschie­ denen Kupplungsmechanismen, die sich beispielsweise bezüglich ihrer Dimensionierung unterscheiden, anzupassen.

Vorzugsweise weist die Kassette weiterhin zumindest einen Griffbereich auf, wobei üblicherweise zwei Griffbereiche ver­ wendet werden, um ein beidhändiges Heben der Kassette bezie­ hungsweise des Stapels von Kassetten zu ermöglichen.

Der zumindest eine Griffbereich kann hierbei innerhalb der äußeren Abmessungen der Kassette angeordnet sein. Hierunter ist zu verstehen, daß die äußersten Ecken der Kassette äußere Abmessungen in Form ihrer Verbindungslinien zueinander defi­ nieren und daß der oder die Griffbereiche nicht über diese äußeren Abmessungen hinausragen. Der Griffbereich kann somit beispielsweise versenkbar ausgestaltet sein oder in Öffnungen bestehen, in die man eingreifen kann. Vorzugsweise besteht der mindestens eine Griffbereich in anklappbaren Handgriffen auf einer Oberseite der Kassette.

Alternativ oder zusätzlich dazu kann die Kassette weiterhin eine Aufnahmevorrichtung für ein automatisches Greifsystem aufweisen. Auf diese Weise ist es möglich, die Kassette von beispielsweise einem Greifroboter transportieren zu lassen und nicht nur von einem menschlichen Operator.

Besonders wird es bevorzugt, daß die flachen Werkstücke Wafer sind. Die Kassette ist insbesondere im Hinblick auf neuere Entwicklungen bei Wafern entwickelt worden, welche immer grö­ ßer werden und in der aktuellen Generation einen Durchmesser von 300 mm (12 Zoll) erreicht haben. Daher wird es bevorzugt, daß die Kassette zur Aufnahme solcher 300 mm-Wafer geeignet ist. Es versteht sich jedoch, daß die erfindungsgemäße Kas­ sette auch für andere Wafer, beispielsweise solche von 5, 6 oder 8 Zoll Durchmessern verwendbar sind. Die oben vorge­ stellte erfindungsgemäße Kassette wurde im Hinblick auf die Anforderungen entwickelt, die an die Aufbewahrung, den Trans­ port und das Handling von 12 Zoll-Wafern im Wafer-Frame- Verbund gestellt werden. Die Kassette kann über unterschied­ liche Anzahl von Führungsebenen (Slots) verfügen, beispiels­ weise über 10 bis 30 Slots. Übliche Kassetten verfügen über 13 Slots, wobei Kassetten mit 25 Slots ebenfalls möglich sind. Es sind ebenso angepasste Kassetten mit einer kleineren oder noch größeren Zahl von Slots herstellbar.

Unter flachen Werkstücken im Sinne der vorliegenden Erfindung sind hierbei nicht nur die unmittelbar verwendeten Werkstüc­ ke, welche bearbeitet sollen, zu verstehen, sondern gegebe­ nenfalls auch Kombinationen des eigentlichen Werkstücks mit einem Halterahmen, wie es beispielsweise bei Wafern üblich ist. Ein Werkstück im Sinne der vorliegenden Erfindung ist mithin auch ein Rahmen plus dem eingelegten flachen Werk­ stück. Diese Ausführungsform wird vielfach bevorzugt, um eine Stabilisierung des eigentlichen Werkstücks, beispielsweise ein ansonsten durchhängendes Werkstück, zu erreichen.

Mit der erfindungsgemäßen Kassette ist auch ein Versand von gesägten Wafern möglich, sofern die Kassette in einer ge­ schlossenen Bauform bereitgestellt wird. Material und Bauform der Kassette können unter Beibehaltung der erfindungsgemäßen Funktionalität variieren und so unterschiedlichen Equipments und Transportsystemen angepaßt werden.

Im folgenden soll die Erfindung anhand eines konkreten Aus­ führungsbeispiels näher erläutert werden, wobei auf die bei­ gefügten Zeichnungen Bezug genommen wird, in denen folgendes dargestellt ist:

Fig. 1 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform einer Kassette gemäß der Erfindung;

Fig. 2 zeigt dieselbe Ausführungsform einer erfindungsgemä­ ßen Kassette bei Sicht von vorne; und

Fig. 3 zeigt die gleiche Ausführungsform wie die Fig. 1 und 2 bei Untersicht auf die Kassette.

In Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Kassette dargestellt. Diese umfaßt ein Gehäuse 1, welches aus einer Oberseite 2, einem Boden 3 sowie Seiten 4, 5, 6 und 7 besteht. Die Seite 4 ist hierbei eine Rückwand während die Seitenwände 5 und 6 die Öffnung 7, welche als Front bezeichnet werden kann, einrah­ men.

An den Seitenwänden 5 und 6 sind Führungen 8 angeordnet, wel­ che der Aufnahme der flachen Werkstücke oder der Halterung von solchen Werkstücken bzw. den Halterahmen der Werkstücke dienen. Beispielsweise können die Führungen Führungsschienen 15 sein, welche parallel zueinander längs der Seitenwände verlaufen und mit ihren Führungsebenen 16 (Fig. 2) der Auf­ nahme der flachen Werkstücke 12 dienen. Diese Werkstücke 12 liegen mit ihren Rändern 13, 14 auf den Führungsebenen 16 der Führungsschienen 15 auf. Ein Teil der Führungsschienen 15 ist als Verriegelungselement 17 ausgeführt, welche an den Halte­ platten 18 der Verriegelungsvorrichtung 9 in geeigneter Wei­ se, beispielsweise durch Anschweißen oder Anschrauben, ange­ bracht sind.

Wie am besten aus Fig. 3 ersichtlich, ist an der Unterseite der Verriegelungsvorrichtung 9 ein Stift 19 angebracht, wel­ cher die Verriegelungsvorrichtung nach oben wegdrücken kann und gegen einen Federmechanismus (nicht dargestellt) bewegt. Die erfindungsgemäße Kassette weist weiterhin einen Signalge­ ber 11, der beispielsweise in das Gehäuse integriert sein kann, auf. Handgriffe 21 dienen dem Transport der Kassette. Am Boden 3 der Kassette sind im vorliegenden Beispiel drei Kupplungen 10 vorgesehen, welche als kinematische Kupplungen der Ankupplung an Standard Equipment sowie gleichzeitig der Kupplung an weitere Kassetten in einem Kassettenstapel die­ nen. Hierzu greifen an der Oberseite zwei der erfindungsgemä­ ßen Kassette angeordnete Zapfen 20 in die Kupplungsmechanis­ men 10 ein. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Zap­ fen 20 auf Streben 22 angeordnet, welche die Seitenwände 5, 6 stabilisierend miteinander verbinden. In Freigabeposition können durch die Öffnung 7 die flachen Werkstücke zugeführt und entnommen werden.

Die Kassette weist einen Boden 3 mit Öffnungen auf. Es ist jedoch auch möglich, eine komplett geschlossene Kassette be­ reitzustellen.

Bezugszeichenliste

1

Gehäuse

2

Oberseite

3

Boden

4

Rückwand

5

Seitenwand

6

Seitenwand

7

Öffnung

8

Führungen

9

Verriegelungsvorrichtung

10

Kupplungsmechanismus

11

Signalgeber

12

Werkstück

13

,

14

Werkstückränder

15

Führungsschienen

16

Führungsebenen der Führungsschienen

17

Verriegelungselemente

18

Halteplatte

19

Stift

20

Halteelement/Zapfen

21

Griffbereich

22

Streben

Claims (25)

1. Kassette zur Aufnahme flacher Werkstücke (12) mit
einem Gehäuse (1) mit Seiten (4, 5, 6, 7);
einer Öffnung (7) an einer der Gehäuseseiten;
Führungen (8) zur Aufnahme und Separation der flachen Werk­ stücke in einem Stapel;
einer Verriegelungsvorrichtung (9) zum Zurückhallten der fla­ chen Werkstücke im Gehäuse (1);
einem Kupplungsmechanismus (10) zur Ankopplung der Kassette an eine Kassettenaufnahme; und
einem Signalgeber (11) zur Identifizierung der Kassette.

2. Kassette nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an der Öffnung eine automatische Schließvorrichtung angeordnet ist, welche die Öffnung verschliessen kann.

3. Kassette nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungen (8)! gestapelt angeordnete Führungsschienen (15) sind, auf denen die flachen Werkstücke (12) an zumindest zwei gegenüberliegenden Bereichen zumindest mit ihren Rändern (13, 14) auf Führungsebenen der Führungsschienen aufliegen.

4. Kassette nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Stapel von Führungsschienen (15) an zwei Seitenwänden (5, 6) der Kassette angeordnet sind, welche an die Öffnung (7) an­ grenzen.

5. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß alle Führungen durch die Verriegelungsvor­ richtung (9) gleichzeitig verriegelbar sind.

6. Kassette nach einem der Anspruch 3 bis 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Verriegelungsvorrichtung (9) Verriegelungs­ elemente (27) umfasst, die Teile der Führungschienen (15) sind, welche hin- und herbewegbar sind zwischen einer Freiga­ beposition zum Entnehmen und Zuführen von Werkstücken, bei der sich die Verriegelungselemente (17) auf der Führungsebene (16) befinden, und einer Verriegelungsposition zum Verhindern eines Gleitens der flachen Werkstücke (12) über die Verriege­ lungsvorrrichtung (9) hinaus, bei der die Verriegelungsele­ mente (17) sich im Gleitweg der Werkstücke (12) befinden.

7. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Kassette einen Boden (3) aufweist und daß am Boden (3) ein Mechanismus angebracht ist, der mit der Ver­ riegelungsvorichtung (9) interagieren kann, um die Werkstücke beim Anheben der Kassette von einem Untergrund zu verriegeln.

8. Kassette nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verriegelungsvorrichtung (9) aufweist eine Halteplatte (18) für die Verriegelungselemente (17), welche aussen an den Sei­ tenwänden (5, 6) angeordnet sind, einen Federmechanismus, welcher die Halteplatte (18) so verschieben kann, daß die Verriegelungselemente (17) in Richtung auf die Verriegelungs­ position bewegt werden, und einen Stift (19) unter der Boden­ platte (3), welcher beim Aufsetzen der Kassette auf einen Un­ tergrund die Halteplatte (18) so gegen die Kraft des Federme­ chanismus verschieben kann, daß die Verriegelungselemente (17) in Richtung auf die Freigabeposition bewegt werden.

9. Kassette nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Verriegelungselement (17) für ein bestimmtes flaches Werkstück (12) aus einer Position, welche auf derselben Füh­ rungsebene für dieses Werkstück liegt, beim Verriegeln in ei­ ne Position bewegen kann, die zwischen der Führungsschiene für dieses Werkstück und der benachbarten Führungsschiene liegt, so daß es im wesentlichen neben dem flachen Werkstück liegt und dessen Gleiten auf der Führungsschiene durch seine Anwesenheit verhindert.

10. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Öffnung (7) so ausgelegt ist, daß sie an Eingänge standardisierter Bearbeitungsvorrichtungen für die flachen Werkstücke (12) ankoppelbar ist.

11. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Signalgeber (11) ein elektronischer Si­ gnalgeber ist.

12. Kassette nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der elektronische Signalgeber ein kontaktlos arbeitender Si­ gnalgeber ist.

13. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Signalgeber (11) eine Spule aufweist, deren elektrische Charakteristika zur Kennzeichnung der Kas­ sette dienen.

14. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zumindest zwei Kassetten aufeinander sta­ pelbar sind.

15. Kassette nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Boden (3) und eine dem Boden (3) gegenüberliegende Oberseite (2) aufweist und an Boden (3) und Oberseite (2) zu­ einander komplementäre Halteelemente (10, 20) angeordnet sind, mit denen Kassetten aufeinander stapelbar sind, deren seitliche Beweglichkeit gegeneinander durch die Halteelemente (10, 20) ausgeschlossen ist.

16. Kassette nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (10, 20) aufeinander gestapelte Kassetten zusätzlich in vertikaler Richtung miteinander verriegelbar machen, so daß mehrere Kassetten gemeinsam anhebbar sind, wenn die oberste Kassette des Stapels angehoben wird.

17. Kassette nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeich­ net, daß der Kupplungsmechanismus (10) zugleich die Halteele­ mente am Boden (3) beinhaltet.

18. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Kupplungsmechanismus (10) zur Aufnahme in Standardkassettenaufnahmen ausgelegt ist.

19. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Kupplungsmechanismus (10) eine kinema­ tische Kupplung ist.

20. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch ge­ kennzeichnet, daß sie zumindest einen Griffbereich (21) auf­ weist.

21. Kassette nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der zumindest eine Griffbereich (21) innerhalb der äusseren Abmessungen der Kassette angeordnet ist.

22. Kassette nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeich­ net, daß der zumindest eine Griffbereich (21) anklappbare Handgriffe auf einer (2) Oberseite der Kassette sind.

23. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Kassette zumindest eine Aufnahmevor­ richtung für ein automatisches Greifsystem aufweist.

24. Kassette nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die flachen Werkstücke (12) Wafer sind.

25. Kassette nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß sie zur Aufnahme von Wafern eines Durchmessers von ca. 300 mm geeignet ist.