KR940016442A - 비반응 가스로 채워지는 밀봉부재를 사용하여 실리콘 증착챔버를 보수하는 방법 및 장치 - Google Patents

비반응 가스로 채워지는 밀봉부재를 사용하여 실리콘 증착챔버를 보수하는 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

진공중착장치의 증착챔버의 내부에 제공된 염화실란 잔류물과 같은 내부의 잔류물을 습기나 산소함유가스에 노출시키지 않은 상태로 이러한 증착챔버를 보수하는 방법 및 장치가 개시되었다. 본 발명의 방법은, 하나 이상의 비반응 가스로 채워질 수 있고 증착챔버의 상부 개방부를 완전히 덮어주기에 충분한 하부 개방부를 갖춘 밀봉부재를, 증착챔버를 포함하고 있는 증착장치의 상부에 설치하는 단계를 포함하고 있다. 그리고나서, 하나 이상의 비반응 가수가 밀봉부재에 유입되어서 습기나 산소함유가스를 밀봉부재로부터 제거시킨다. 밀봉부재가 증착장치에 설치되고 그 내부의 비반응 가스의 유동에 의해서 세척된후에, 증착챔버가 개방되는 동시에 상기 밀봉부재 안으로 비반응 가스의 유동이 계속된다. 보수가 끝난후에, 증착챔버는 다시 밀폐되고 비반응 가스의 유동은 차단되며 밀봉부재가 증착장치로부터 제거된다. 바람직한 일실시예에서, 밀봉부재로 유입되는 비반응 가스의 유동은 밀봉부재의 측벽에 형성된 개구부에 대해서 일정한 각도를 이루며 밀봉부재의 상부로부터 아랫쪽으로 향하도록 배향되어서 진공챔버로 유입되며, 이에 따라서 그러한 개구부를 가로지르는 비반응 가스의 유동이 가스장벽을 제동하여서, 밀봉부재로 유입되는 입자 불순물 뿐만 아니라 습기나 산소함유가스의 유입도 방지된다.

Description

비반응 가스로 채워지는 밀봉부재를 사용하여 실리콘 증착챔버를 보수하는 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 방법의 여러단계들을 나타낸 흐름도.

Claims (13)

  1. 진공증착장치의 증착챔버내의 잔류물을 습기나 산소함유가스에 노출시키지 않은 상태로 이러한 증착챔버를 보수하는 방법에 있어서, (a) 하나 이상의 비반응 가스로 채워지는 밀봉부재로서 상기 증착챔버의 상부 개방부를 완전히 덮어주기에 충분한 하부 개방부를 갖춘 상기 밀봉부재를 상기 증착챔버를 포함하는 상기 증착장치의 상부면상에 설치하는 단계와, (b) 상기 밀봉부재로부터 습기 또는 산소함유가스를 제거시키기 위해서 상기 밀봉부재 안으로 하나 이상의 비반응 가스를 유동시키는 유동단계와, (c) 상기 밀봉부재 안으로 상기 하나 이상의 비반응 가스의 유동을 계속하여 제공하는 동시에 상기 증착챔버를 개방시키는 단계와, (d) 상기 증착챔버를 밀폐시키는 단계와, (e) 상기 밀봉부재 안으로의 상기 비반응 가스의 유동을 중지시키는 단계와, 그리고 (f) 상기 진공증착장치로부터 상기 밀봉부재를 제거시키는 단계를 포함하고 있는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 비반응 가스의 유동을 상기 밀봉부재의 측면에 제공된 하나 이상의 개구부에 대해서 직각을 이루며 상기 밀봉부재의 상부로부터 아랫쪽으로 배향시키는 배향단계를 더 포함하고 있어서, 상기 하나 이상의 개구부를 가로지르는 비반응 가스의 유동을 제공하여 상기 밀봉부재의 내부로 입자 불순물 뿐만 아니라 습기 또는 산소함유가스의 유입을 방지하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 유동단계가 네온, 아르곤, 헬륨, 질소 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹중에서 선택된 하나 이상의 비반응 가스를 유동시키는 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 유동단계가 상기 밀봉부재의 단위체적(ft3)당 20l내지 40l의 유량의 상기 하나 이상의 비반응 가스를 유동시키는 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 증착챔버내의 하나 이상의 부품을 기밀용기 안으로 위치시키고 상기 증착챔버 및 상기 밀봉부재로부터 상기 기밀용기를 제거시키는 단계를 더 포함하여서, 상기 부품의 표면이 습기 및 산소함유가스에 노출되는 것을 방지하는 동시에 상기 부품을 상기 증착챔버 및 상기 밀봉부재로부터 제거시키는 방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 밀봉부재의 하부면을 상기 증착장치의 상기 상부면에 고정시켜서 상기 밀봉부재가 상기 증착장치의 상기 상부면으로부터 이동하는 것을 방지하는 동시에 상기 챔버의 보수가 진행되는 단계를 더 포함하는 방법.
  7. 진공증착장치의 증착챔버내의 잔류물을 습기나 산소함유가스에 노출시키지 않은 상태로 이러한 증착챔버를 보수하기 위한 장치로서, (a) 상기 증착챔버를 포함하는 상기 증착장치의 상부면상에 설치가능한 밀봉부재로서 상기 증착챔버의 상부 개구부보다 큰 하부 개구부를 갖추고 있으며 상기 밀봉부재로부터 습기 또는 산소함유가스를 몰아내도록 하나 이상의 비반응 가스로 채워질 수 있는 밀봉부재와, 그리고 (b) 상기 밀봉부재 안으로 하나 이상의 비반응 가스를 유동시키기 위한 유동수단을 포함하고 있으며, 상기 증착챔버가 개방되는 동시에 밀봉부재가 상기 증착챔버의 개구부를 덮어줄 때에 상기 밀봉부재 내부로의 습기나 산소함유가스의 유입이 방지되어서 이러한 습기나 산소함유가스가 상기 증착챔버내의 잔류물과 접촉하는 것이 방지되는 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 밀봉부재의 하나 이상의 측벽에 형성되어서 상기 증착챔버로의 접근을 허용하는 개구수단을 더 포함하고 있는 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 개구수단이 상기 밀봉부재의 상기 하부 개구부까지 뻗어있는 다수의 수직방향 스트립으로 구성된 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 수직방향 스트립이 상기 밀봉부재의 상기 측벽의 상부 부근의 지점으로부터 상기 밀봉부재의 상기 하부 개구부까지 하향 연장한 장치.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 수직방향의 스트립이 상기 밀봉부재의 상기 측벽의 상부와 상기 밀봉부재의 상기 하부 개구부와의 사이의 중간지점으로부터 상기 밀봉부재의 상기 하부 개구부까지 하향연장한 장치.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 밀봉부재의 적어도 일부가 투명한 재료로 덮어진 장치.
  13. 제 7 항에 있어서, 상기 하나 이상의 비반응 가스를 상기 밀봉부재의 측벽에 제공된 하나 이상의 개구부에 대해서 일정한 각도를 이루면서 상기 밀봉부재의 상기 상부로부터 하향으로 유동시켜서 상기 증착챔버로 배향시킴으로써 상기 하나 이상의 개구부를 가로지르는 비반응 가스의 가스방벽을 제공하여 입자 불순물 뿐만 아니라 습기나 산소함유가스가 상기 밀봉부재 안으로 유입되는 것을 방지하는 수단을 더 포함하고 있는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930025242A 1992-12-11 1993-11-25 비반응가스로채워지는밀봉부재를사용하여실리콘증착챔버를보수하는방법및장치 KR100312241B1 (ko)

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