JP2000138153A

JP2000138153A - マスクブランクス移載装置

Info

Publication number: JP2000138153A
Application number: JP31006198A
Authority: JP
Inventors: Hidesuke Yoshitake; 秀介吉武; Teruaki Yamamoto; 照亮山本; Ryoichi Hirano; 亮一平野; Toru Tojo; 徹東条
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-10-30
Filing date: 1998-10-30
Publication date: 2000-05-16

Abstract

(57)【要約】【課題】人手を介すことなくマスクブランクスを移載
することを可能とし、人手を介す場合においても操作性
良く移し替えることが可能なマスク収納容器の開閉装置
を提供すること。【解決手段】密閉して内部の雰囲気を維持することが
可能で、感光材が塗布された少なくとも一枚以上のマス
クブランクスが収納された第一および第二ののマスクブ
ランクス収納容器を備えている。前記第一および第二の
マスクブランクス収納容器を置くことが可能な第一およ
び第二のテーブルと、周辺環境の雰囲気が入り込まない
ようにして第一のマスクブランクス収納容器から、前記
それぞれのテーブルを介して第二のマスクブランクス収
納容器へ、任意のマスクブランクスを受渡しすることが
可能な搬送手段とを具備している。前記搬送手段にはマ
スクブランクスの反転機構を具備し、前記第一のマスク
ブランクス収納容器から前記第二のマスクブランクス収
納容器の間でマスクブランクスを搬送する際には、感光
材が塗布された面を上に向ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体リソグラフ
ィ技術に使用される所望の半導体装置の回路パターンが
描かれる前の感光剤が塗布された石英基板を異物等を付
着させないように収納しておくためのマスク収納容器の
開閉装置と、マスクブランクスを複数のマスク収納容器
間で受け渡す際に感光材が塗布された面が上となるよう
にして受け渡すためのマスクブランクス移載装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、電子ビー
ム描画装置等で石英基板上に各種パターンが形成された
マスクパターンを、光でウエハ上に転写するリソグラフ
ィ技術が利用されている。電子ビーム描画装置等でマス
クを描画する前、感光剤が塗布されたマスクブランクス
上のビーム露光部に電子ビームの影となる異物等がある
と、そこが未露光部となってパターン欠陥を発生させる
ことになる。

【０００３】なお、異物として考えられるものとして
は、空気中を浮遊する埃や塵等に加え、人間がマスクを
取り扱う際に剥がれ落ちる皮膚等の有機物や装置の摺動
部等から発生する金属粉があげられる。

【０００４】これらのパターン欠陥は描画後に、現像・
エッチングを行ってパターンニングしてから、欠陥検査
装置で欠陥の場所や欠陥の数等を知ることができる。欠
陥検査装置の情報を元に、パターン欠陥部が少ない場合
には修正装置を使ってパターンを修正することも考えら
れるが、多い場合には修正にかかる時間や再度欠陥検査
をする時間がかかるため、不良品マスクとして再度マス
クを製作する場合もある。

【０００５】従って、効果的に歩留まり向上のため、マ
スクとなる種々のサイズの基板上に感光剤を塗布した後
電子ビームで描画されるまでの間に、ダスト等のゴミが
露光部に付着しないようにするための技術や方法が要求
されてきた。

【０００６】近年、ウエハ上０．１５μｍ以下のパター
ンが必要とされている１ＧＤＲＡＭ相当の半導体装置に
おいては、ウエハにマスクパターンを転写する際に４分
の１に縮小されるため、必要となるマスクのパターンサ
イズは０．６μｍ以下となることが予想されている。そ
のため、クラス１０（０．３μｍのダスト１０個／
ｍ ^３）では不十分であり、クラス１（０．１μｍのダス
ト１０個／ｍ^３）からクラス０．１（０．１μｍのダス
ト１個／ｍ^３）程度の環境が必要になる。

【０００７】これを実現させるために、局所クリーン化
技術がある。従来のクリーンルーム全体のクリーン度を
向上するという思想ではなく、対象となる最小限の空間
だけをクリーンに保つという考えで、電力や消耗品など
のランニングコストを考えても非常に有利である。

【０００８】この局所クリーン化技術をもとに、特許出
願番号「ＰＨ１０−０７３８８７」に示されるような基
板処理装置において電子ビーム描画装置等で半導体装置
の回路パターンを描画する前の基板を収納しておくため
のマスク収納容器と、このマスク収納容器から人手を介
することなくマスクを電子ビーム描画装置へ受け渡すた
めのシステムが提案されてきた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】基板メーカから供給さ
れるマスクブランクスには、所定のサイズ・精度になる
よう磨かれた石英基板上に、遮光体となるクロムなどを
蒸着した後に感光剤となるレジストが塗布される。さら
に、複数枚のマスクブランクスを一つの運搬用のケース
に梱包してから出荷される。この時、マスクサイズに応
じて梱包される運搬用ケースの大きさが異なる上、基板
メーカによっても運搬用ケースの外形や大きさが異なっ
ている。

【００１０】これまで上述のように、電子ビーム描画装
置等で半導体装置の回路パターンを描画する前の基板を
収納しておくためのマスク収納容器と、このマスク収納
容器から人手を介することなくマスクを電子ビーム描画
装置へ受け渡すためのシステムが提案されてきた。とこ
ろが、上記システムを効果的に運用して定常的にマスク
を生産するためには、マスク収納容器内のマスクブラン
クスに異物を付着させないようにして移載する必要があ
る。

【００１１】これに対して定常的な生産ではなく、特別
な種類の基板や感光材を使用したりするため、また従来
のように人手による斜光検査が必要となったときに、マ
スク収納容器に納められたマスクブランクスを、直接作
業者が取り扱う要求もある。

【００１２】この運搬用ケースに収められたマスクブラ
ンクスをマスク収納容器内のマスクキャリアへと移し替
える際に、マスク収納容器を開閉するため、（１）収納
容器カバーと、マスクキャリアが載った下板部とを結合
・分離するための会合機構を備えた手動のマスク容器開
閉装置を使って、分離された後カバーを取り去るか、
（２）収納容器の固定装置を備えるテーブル部と、固定
されたカバーとマスクキャリアが載った下板部とを結合
・分離するための会合機構と、固定されたカバーに対し
てマスクキャリアが載った下板部を昇降させるための昇
降機構を備えた半自動のマスク容器開閉装置を使用する
方法が考えられる。

【００１３】ところが、（１）手動のマスク容器開閉装
置を使用する場合には、会合装置を駆動する際に収納容
器を揺すったり、カバーを取り去る際にキャリア内に収
納されたマスク基板とカバーとが過度に接触したりする
ことにより、発塵する恐れがある。（２）半自動のマス
ク容器開閉装置では、３０ｃｍ程度の高さのあるマスク
収納容器からキャリアを取り出すために、マスクキャリ
アが載った下板部を３０ｃｍ程度昇降させる必要があ
る。また、マスク収納容器の重量は最大で５ｋｇ以上と
なり、マスクキャリアと収納されたマスクの重量も最大
で、４ｋｇ程度となる。従って、マスク収納容器を載せ
るテーブル部を操作性を鑑みて設定しても、マスクキャ
リアを受け渡しする高さは３０ｃｍ下になるため操作性
が悪くなることが予想される。即ち、マスク収納容器を
載せるテーブル部の高さを一般成人が立ったまま状態で
物を置くのに容易な１．２ｍ程度と設定すると、マスク
キャリアを受け渡しする高さは９０ｃｍ程度となり、腰
をかがめて作業することになるため操作性が良いとはい
えない。また、逆にマスクキャリアを受け渡しする高さ
を１．２ｍ程度と設定すると、マスク収納容器を載せる
テーブルの高さが１．５ｍ程度なり、５ｋｇ以上の物を
操作するのに適切な高さは言えない。

【００１４】上記の点に鑑み本発明では、感光剤が塗布
された石英基板を基板製造メーカから送られる時に使用
される基板運搬用ケースから、局所クリーン化技術を導
入に伴い、電子ビーム描画装置においても使用されるマ
スク収納容器へマスクを受け渡しする際に、人手を介す
ことなくマスクブランクスを移載することを可能とした
マスクブランクス移載装置と、人手を介す場合において
も操作性良く移し替えることが可能なマスク収納容器の
開閉装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に本発明では、複数枚のマスクブランクスが収納された
第一のマスクブランクス収納容器と、同様に複数枚のマ
スクブランクスを収容可能な第二のマスクブランクス収
納容器と、前記第一のマスクブランクス収納容器を置く
ことが可能な第一のテーブルと、前記第二の収納容器を
置くことが可能な第二のテーブルと、周辺環境の雰囲気
が入り込まないようにして第一のマスクブランクス収納
容器から、前記それぞれのテーブルを介して第二のマス
クブランクス収納容器へ、任意のマスクブランクスを受
渡しすることが可能な搬送手段と、少なくとも前記マス
クブランクスの搬送経路を清浄な雰囲気に維持すること
が可能な局所空間を具備したマスクブランクス移載装置
において、前記搬送手段にマスクブランクスの表裏反転
機構を備えた。

【００１６】なお、第一及び第二のマスクブランクス収
納容器の少なくとも一方を置くためのテーブルを複数設
け、任意のテーブル間でマスクブランクスを搬送可能に
構成しても良く、また前記搬送手段を、複数のサイズの
マスクブランクスに対応可能に構成してもよい。

【００１７】また複数のマスクを収納することが可能な
マスクキャリアを載せた下板部とカバーとを結合・分離
するための会合機構を備えたマスク収納容器を載せるた
めのテーブル部と、マスク収納容器の会合機構を結合・
分離するためのマスク収納容器開閉機構と、分離された
下板部と下板部に載ったマスクキャリアとを昇降させる
ための昇降装置とを備えたマスク収納容器開閉装置にお
いて、マスク収納容器が載ったマスク収納容器開閉装置
全体を昇降させることが可能となるような昇降機構を備
えた。

【００１８】また、マスク収納容器からマスクまたはマ
スクキャリアを受け渡す場合には、所望の高さに設定さ
れたマスク収納容器開閉装置のテーブル部に、マスク収
納容器を置いて固定した後、マスク収納容器開閉機構を
操作して収納容器のカバーと下板部とに分離してから、
マスクキャリアとキャリアが載せられた下板部とを下降
させて所定の位置で停止させてから、マスク収納容器開
閉装置全体を昇降機構によって所望の高さまであげるよ
うにした。

【００１９】さらに、マスク収納容器、収納されたマス
クキャリア及びマスクキャリアに搭載されたマスクのい
ずれかを取り出すための扉を備えたマスク収納容器の開
閉装置において、これらマスク収納容器、収納されたマ
スクキャリア及びマスクキャリアに搭載されたマスクの
いずれかを受け渡しする際には、前記筐体内の駆動機構
部がロックするようにした。

【００２０】上記のごとく本発明のマスクブランクス移
載装置によれば、第一のマスクブランクス収納容器から
第二のマスクブランクス収納容器へマスクブランクスを
搬送する際に、マスクブランクスの向きに合わせて反転
機構を操作して、感光材が塗布されたマスクブランクス
の感光面が上になるように作用する。また本発明のマス
ク収納容器の開閉装置によれば、マスク収納容器を開け
る際に第一の昇降機構により下げられたマスクキャリア
を第二の昇降機構によって上げることが可能となり、作
業性に適した高さにおいて、マスク収納容器とマスクキ
ャリアを取り扱えるように作用する。さらに、マスク収
納容器の開閉装置の昇降装置等が動作していても、マス
ク収納容器またはマスクキャリアを取り扱うために筐体
に設けられた扉を開くと、駆動中の動作が中断するよう
に作用する。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を実施例
を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態を示す
マスクブランクス移載装置の概要構成図である。図１の
気密な搬送室１００を形成する容器１内において、搬送
室１００の上壁には、第１及び第２開口２、３と第１フ
ァンフィルタユニット４が設けられている。このファン
フィルタユニット（ＦＦＵ）は、図示していないＨＥＰ
ＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等からなるフィルタと、
図示していない外部の空気を強制的に取り込むためのフ
ァンとから構成されていて、容器１内に清浄な空気を取
り込みかつ内部を陽圧に保っている。第１及び第２開口
２、３は、搬送室１００内に設けられた第１及び第２エ
レベータ５、６の第１及び第２テーブル７、８により内
側から気密に閉じることができるようになっており、搬
送室１００内は第１ファンフィルタユニット４を通して
供給される清浄な空気などの気体により清浄環境下に置
かれるようになっている。第１テーブル７の上面には、
図示していない駆動源により該上面に沿って１８０°回
転する表裏反転機構としての回転台９が取り付けられて
いる。

【００２２】第１開口２の上方には、供給室１０が容器
１により搬送室１００と一体的に接続配置されている。
供給室１０の側壁には、複数枚のマスクブランクス１１
を抜き差し自在に収納して製造メーカから供給される第
１ケース１２を出し入れするための投入口１３が設けら
れている。投入口１３は、扉１４により気密に閉じられ
るようになっている。供給室１０は、その上壁に設けた
第２ファンフィルタユニット１５により搬送室１００と
は別に清浄環境下に置かれるようになっている。

【００２３】回転台９は、その上に種々のサイズのマス
クブランクス１１に対応した異なるサイズの第１ケース
１２を設置可能に構成されている。第２開口３は、その
周囲上面に第２ケースとしてのマスク収納容器１６のカ
バー１７を気密に取り付けるように構成され、第２テー
ブル８は、マスク収納容器１６の底板１８を着脱可能に
取り付けるようになっている。底板１８には複数枚のマ
スクブランクス１１を抜き差し自在に収納する種々のサ
イズのマスクブランクスに対応したキャリア１９が取り
付けられている。なお、マスク収納容器１６の構成、上
記第２開口３の周囲上面へのカバー１７の着脱機構及び
第２テーブル８への底板１８の着脱機構は、例えば１９
９２年のＳＥＭＩスタンダードＥ１９．４−９２（ｐ
ｐ．２８９−２９２）「２００ｍｍ標準メーカニカルイ
ンターフェース（ＳＭＩＦ）」に示されている公知のも
のと同様であるため、図示省略して詳述を避ける。

【００２４】図１の搬送室１００内の上方よりの位置に
は、第１及び第２エレベータ５、６の間を渡るガイドレ
ール２０が水平に設置されている。ガイドレール２０に
は、軸２１を中心として矢印Ａで示すように９０°など
の所定角度回転されるチャック２２が、矢印Ｂで示すよ
うに水平移動及び所定位置に位置決め可能に取り付けら
れている。チャック２２は、機械的な把持または真空吸
着などの保持手段によりマスクブランクス１１の端部を
着脱可能に保持するようなっている。

【００２５】次いで本装置の作用について説明する。始
動時には、第１及び第２テーブル７、８は第１及び第２
エレベータ５、６により上昇して第１及び第２開口２、
３を内側から気密に閉じ、扉１４も供給室１０の投入口
１３を気密に閉じており、搬送室１００内及び供給室１
０内は第１及び第２ファンフィルタユニット４、１５に
よりごみのない清浄環境下に置かれている。

【００２６】この状態から、まず、扉１４を開き、製造
メーカからマスクブランクス１１を収納して供給された
第１ケース１２の図示しないカバーを外して該第１ケー
ス１２を供給室１０へ投入する。このとき供給室１０の
底部にある第１開口２は、第１テーブル７によって閉じ
られており、搬送室１００内の気密を保持している。供
給室１０へ投入された第１ケース１２は、第１開口２中
に現れている第１テーブル７上の回転台９の上面に設け
られた図示しないケース装着部に設置される。

【００２７】次いで、扉１４を閉じる。扉１４により閉
じられた供給室１０内は、第２ファンフィルタユニット
１５により再びごみのない清浄環境に戻る。

【００２８】上記第１ケース１２の投入と前後して、第
２テーブル８により閉じられている第２開口３に第２ケ
ースとしてのマスク収納容器１６を設置する。マスク収
納容器１６は、そのカバー１７が第２開口３の周囲上面
に気密に取り付けられ、底板１８は、第２開口３を閉じ
ている第２テーブル８の上面に設けられた図示しない底
板装着部に連結保持される。

【００２９】こうして第１ケース１２の投入と第２ケー
スであるマスク収納容器１６の設置が終了したところで
第１及び第２エレベータ５、６を下降させる。第１エレ
ベータ５の下降により、第１テーブル７が下降して第１
ケース１２を搬送室１００内に取り込む。このとき第１
開口２は開くが、扉１４が閉じているため、搬送室１０
０内は供給室１０とともに清浄環境下に置かれる。

【００３０】他方、第２エレベータ６の下降により、第
２テーブル８が下降してマスク収納容器１６の底板１８
及びこれに取り付けられているキャリア１９を搬送室１
００内に取り込む。第２テーブル８の下降により第２開
口３も開くが、第２開口３はマスク収納容器１６のカバ
ー１７により閉じられているため、搬送室１００内は清
浄環境下に置かれる。

【００３１】次いでチャック２２と第１エレベータ５の
動作の組合せにより、すなわち、ガイドレール２０上に
おけるチャック２２の移動及び位置決めと、第１エレベ
ータ５の昇降及び位置決めにより、第１ケース１２内の
マスクブランクス１１を一枚ずつチャック２２により取
り出す。

【００３２】第１ケース１２から取り出されたマスクブ
ランクス１１は、チャック２２を矢印Ａで示すように９
０°回転させることにより水平にされ、チャック２２を
矢印Ｂで示すようにガイドレール２０に沿って移動させ
ることにより、キャリア１９へ移される。なお、キャリ
ア１９は、第２エレベータ６の高さ位置制御によりマス
クブランクス１１を受け入れる位置が、チャック２２に
よって搬送されてくるマスクブランクス１１の高さ位置
になるように順次位置決めされる。

【００３３】ところで上記矢印Ａで示すチャック２２の
９０°回転により、マスクブランクス１１は、第１ケー
ス１２内において左側にある面が上になる。そこで、第
１ケース１２へのマスクブランクス１１の収納方向など
により表裏を反転させたい場合は、回転台９を１８０度
回転させることにより、キャリア１９へ収納されるマス
クブランクス１１の表裏を適宜に選択することができ
る。

【００３４】こうして第１ケース１２内のマスクブラン
クス１１を全てキャリア１９へ移載したならば、第１及
び第２エレベータ５、６を上昇させ、空になった第１ケ
ース１２を供給室１０へ戻すとともに第１テーブル７に
より第１開口２を閉じ、また、キャリア１９をカバー１
７内に入れるとともに底板１８をカバー１７に係合させ
てマスク収納容器１６を閉じ、さらに、第２テーブル８
により第２開口３を閉じる。

【００３５】マスク収納容器１６は、第２テーブル８及
び第２開口３の周囲上面から外されて後処理工程へ搬送
される。また、供給室１０内の空の第１ケース１２は、
扉１４を開いて新たな第１ケース１２と交換される。

【００３６】前述した実施の形態においては、チャック
２２と第１及び第２エレベータ５、６の動作の組み合わ
せにより、第１ケース１２内のマスクブランクス１１を
マスク収納容器１６のキャリア１９へ移載する例を示し
たが、これによらずチャック２２をロボット式とし、表
裏反転動作を含めてチャック２２の動作のみで移載を行
うようにしてもよい。

【００３７】また、前述した実施の形態では、第１及び
第２テーブル７、８をそれぞれ１つずつ設けた例を示し
たが、少なくとも一方のテーブルを複数にして任意のテ
ーブル間でマスクブランクス１１を移載するようにして
もよい。

【００３８】図２は、本発明の別の実施の形態を示すマ
スク収納容器の開閉装置の説明図である。複数枚のマス
ク３０を装填可能なマスクキャリア３１を収納すること
が可能なマスク収納容器は、カバー３２とマスクキャリ
ア３１が載置された下板部３３とを結合している図示さ
れていない会合機構によって結合・密閉することが可能
である。

【００３９】また、マスク収納容器開閉装置３４には、
図示されていないマスク収納容器の会合機構を操作する
ための図示されていない開閉機構を内部に備えているテ
ーブル３５と、マスクキャリア３１が載置された下板部
３３が置かれたテーブル３５を昇降させるための第１の
エレベータ３６と、テーブル３５周辺に配置されたカバ
ー３２のみを固定することが可能な図示していないカバ
ー固定装置を備えている。また、これらマスク収納容器
開閉装置３４を昇降させることが可能な第２のエレベー
タ３７と、マスク収納容器に収納されているマスク３０
またはマスクキャリア３１を取り扱うための扉３８と、
扉３８以外の外周部分を覆っている外壁部３９とを備え
ている。マスク収納容器開閉装置の上下にはクリーンル
ーム内の清浄な空気が上から下へと流すための図示され
ていない開口部が設けられている。

【００４０】なお図示してはいないが、扉３８の外側付
近には、内部のマスク収納容器開閉装置３４と第２のエ
レベータ３７を遠隔操作するための操作パネルが有り、
扉３８の開閉を検知するセンサーが扉内側周辺に設けら
れている。

【００４１】次いで本装置の作用について説明する。始
動時には、第２のエレベータは下がった状態、すなわち
作業者４０が操作しやすい高さにマスク収納容器開閉装
置３４の上面があり、また第１のエレベータ３６は上が
った状態にあってテーブル３５はマスク収納容器開閉装
置３４の上面と同じ高さにある。

【００４２】作業者４０が、扉３８をマスク収納容器開
閉装置３４の上面に、マスク３０が装填されたマスクキ
ャリア３１を収納したマスク収納容器を置いて、扉３８
を閉めた後、図示していない操作パネルを操作すると、
まず図示していないカバー固定装置によってマスク収納
容器開閉装置３４の上面部分にカバー３２のみが固定さ
れる。その後、テーブル３５の中にある図示されていな
い開閉機構により図示されていないマスク収納容器の会
合機構を操作されて、カバー３２と下板部３３は分離す
る。さらに、第１のエレベータ３６が下降することによ
って、テーブル３５に載った下板部３３と下板部３３に
載ったマスクキャリア３１も下がってくる。テーブル３
５が所定の位置まで下げられた後、第２のエレベータ３
７が上昇して、第１のエレベータ３６が下降した高さ分
を上昇し停止する。

【００４３】作業者４０は、第２のエレベータ３７が停
止した後、扉３８を開けることにより、操作しやすい高
さでマスク収納容器に納められていたマスク３０または
マスクキャリア３１を取り扱うことが可能となる。

【００４４】なお、内部のマスク３０、マスクキャリア
３１またはマスク収納容器を取り扱うために、マスク収
納容器開閉装置３４の第１のエレベータ３６や第２のエ
レベータ３７が動作している最中に、作業者４０が扉３
８を開いても、図示していない扉３８の開閉を検知する
センサからの信号によって、第１のエレベータ３６や第
２のエレベータ３７はロックされるため作業者４０は安
全に作業することが可能となる。なお、ここで第１のエ
レベータ３６や第２のエレベータ３７をロックするに
は、図示していない扉３８の開閉を検知するセンサから
の信号によって制御装置の電源をＯＦＦすることなどが
考えられる。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、製造
メーカからケースに収納して供給されたマスクブランク
スを、人手によらず清浄環境下で電子ビーム描画装置等
で使用されるマスク収納容器へ移載することができ、ま
た、特殊な基板と入れ替えたり斜光検査を人手により行
う場合においても、マスク収納容器からマスクブランク
スを取り出す際にごみの付着をほぼ完全になくすことが
できる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示すマスクブランクス移
載装置の概要構成図である。

【図２】本発明の他の実施の形態を示すマスク収納容器
の開閉装置の説明図である。

【符号の説明】

１．容器２．第１開口３．第２開口４．第１ファンフィルタユニット５．第１エレベータ６．第２エレベータ７．第１テーブル８．第２テーブル９．回転台（表裏反転機構）１０．供給室１１．マスクブランクス１２．第１ケース１３．供給口１４．扉１５．第２ファンフィルタユニット１６．マスク収納容器（第２ケース）１７．カバー１８．底板１９．キャリア２０．ガイドレール２１．軸２２．チャック２３．搬送室３０．マスク３１．マスクキャリア３２．カバー３３．下板部３４．マスク収納容器開閉装置３５．テーブル３６．第１のエレベータ３７．第２のエレベータ３８．扉３９．外壁部４０．作業者

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者平野亮一東京都中央区銀座四丁目２番11号東芝機械株式会社内 (72)発明者東条徹東京都中央区銀座四丁目２番11号東芝機械株式会社内Ｆターム(参考） 2H095 BB29 BE11 BE12 5F031 CA07 DA01 FA07 FA09 FA14 FA19 FA21 JA02 MA24 MA27 NA10 NA18 PA26 5F046 AA21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】密閉して内部の雰囲気を維持することが
可能で、感光材が塗布された少なくとも一枚以上のマス
クブランクスが収納された第一のマスクブランクス収納
容器と、同様に密閉して内部の雰囲気を維持することが
可能で、感光材が塗布された少なくとも一枚以上のマス
クブランクスを収容可能な第二のマスクブランクス収納
容器と、前記第一のマスクブランクス収納容器を置くことが可能
な第一のテーブルと、前記第二の収納容器を置くことが
可能な第二のテーブルと、周辺環境の雰囲気が入り込ま
ないようにして第一のマスクブランクス収納容器から、
前記それぞれのテーブルを介して第二のマスクブランク
ス収納容器へ、任意のマスクブランクスを受渡しするこ
とが可能な搬送手段と、少なくとも前記マスクブランク
スの搬送経路を清浄な雰囲気に維持することが可能な局
所空間を具備し、前記搬送手段にはマスクブランクスの反転機構を具備
し、前記第一のマスクブランクス収納容器から前記第二
のマスクブランクス収納容器の間でマスクブランクスを
搬送する際には、感光材が塗布された面を上に向けるこ
とを特徴とするマスクブランクス移載装置。
【請求項２】前記第一のマスク収納容器と前記第二の
マスク収納容器を置くことが可能な該マスクブランクス
の受け渡し用のテーブルを少なくとも二個所以上有し、
任意のテーブル間で該マスクブランクスを受渡し可能に
構成されていることを特徴とする請求項１に記載のマス
クブランクス移載装置。
【請求項３】前記搬送手段が、複数のサイズのマスク
ブランクスに対応可能に構成されていることを特徴とす
る請求項１または２に記載のマスクブランクス移載装
置。
【請求項４】少なくとも一枚以上のマスクを収納する
ことが可能なマスクキャリアと、前記マスクキャリアを
収納することが可能で、かつカバーと下板部とそれらを
結合・分離するための会合機構と、前記会合機構を操作
してカバーと下板部とに分離し、前記カバーに対して下
板部を下降させてから前記マスクまたは前記マスクキャ
リアを取り出すことが可能となるマスク収納容器と、前記マスク収納容器の会合機構を操作するためのマスク
収納容器開閉機構と、分離された下板部と下板部に載っ
た前記マスクキャリアとを昇降させるための第一の昇降
機構とを具備するマスク収納容器開閉装置において、前記マスク収納容器が置かれた前記マスク収納容器開閉
装置全体を、所望の高さに昇降させることが可能な第二
の昇降機構を備えることを特徴とするマスク収納容器の
開閉装置。
【請求項５】少なくとも一枚以上のマスクを収納する
ことが可能なマスクキャリアと、前記マスクキャリアを
収納することが可能で、かつカバーと下板部とそれらを
結合・分離するための会合機構と、前記会合機構を操作
してカバーと下板部とに分離し、前記カバーに対して下
板部を下降させてから前記マスクまたは前記マスクキャ
リアを取り出すことが可能となるマスク収納容器と、前記マスク収納容器の会合機構を操作するためのマスク
収納容器開閉機構と、分離された下板部と下板部に載っ
た前記マスクキャリアとを昇降させるための第一の昇降
機構と前記マスク収納容器が置かれた前記マスク収納容
器開閉装置全体を、所望の高さに昇降させることが可能
な第二の昇降機構を具備するマスク収納容器開閉装置に
おいて、前記マスク収納容器から前記マスクを取り出す場合に
は、所望の高さに設定された前記マスク収納容器開閉装
置のマスク収納容器を載せるための開閉装置テーブル部
に前記マスク収納容器を置いて、前記マスク収納容器の
カバーを前記開閉装置テーブル部に固定した後、前記会
合機構を操作して前記マスク収納容器のカバーと下板部
とに分離してから、前記第一の昇降装置を操作して前記
マスク収納容器のカバーに対して、前記マスクキャリア
とキャリアが載せられた下板部とを下降させて所定の位
置で停止させた後、前記マスク収納容器開閉装置の前記
第二の昇降機構を所望の高さまで上げてから、前記マス
クキャリア及びマスクキャリアに搭載されたマスクを取
り扱えるようにすることを特徴とする特許請求項４に記
載のマスク収納容器の開閉装置。
【請求項６】前記マスク収納容器開閉装置の駆動機構
部は一つの筐体内に収められており、前記マスク収納容
器、前記収納されたマスクキャリア及び前記マスクキャ
リアに搭載されたマスクのいずれかを受け渡しするため
の、前記筐体部には少なくとも一つ以上の扉を具備して
いて、前記マスク収納容器、前記収納されたマスクキャリア及
び前記マスクキャリアに搭載されたマスクのいずれかを
受け渡しする際には、前記筐体内の駆動機構部がロック
されることを特徴とする特許請求項４及び特許請求項５
に記載のマスク収納容器の開閉装置。