JP2738779B2 - 単一のウェハー用のロボット用パッケージ - Google Patents

単一のウェハー用のロボット用パッケージ

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JP2738779B2
JP2738779B2 JP4506699A JP50669992A JP2738779B2 JP 2738779 B2 JP2738779 B2 JP 2738779B2 JP 4506699 A JP4506699 A JP 4506699A JP 50669992 A JP50669992 A JP 50669992A JP 2738779 B2 JP2738779 B2 JP 2738779B2
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は一枚の径の大きなシリコンウェハーを収容
するためのコンテナあるいはパッケージであって、ロボ
ットによって扱われるようになったコンテナあるいはパ
ッケージに関する。
〔発明の背景〕
シリコンウェハーを回路素子に加工するとき、加工さ
れるウェハーの厚みを従来のままにしてウェハーの径を
大きくすることで大きな効率の得られることがわかって
いる。例えば、直径が300mmのウェハーを使用すること
ができる。直径が500mmのウェハーでもよく、直径がお
よそ200mmのウェハーに対してもウェハーを扱う同じ技
術が適用され得る。これらのウェハーは厚みが2mmほど
である。従って、脆くなりやすいシリコンウェハーは前
述したような大きなサイズでは注意深く取り扱わなくて
はならないことはすぐに理解できよう。
〔発明の概要〕
この発明の目的は、径の大きなシリコンウェハーをこ
れらシリコンウェハーを回路素子へ加工するときにたや
すく取り扱えうことのできるコンテナあるいはパッケー
ジを提供することである。
この発明の特徴は、径の大きなウェハーをその周辺部
で支持するような形状を有するウェハーコンテナであ
る。このウェハーコンテナは、ウェハーとパッケージと
の間をウェハーの面と平行な方向に移動することによっ
てウェハーをパッケージへ装着したりパッケージから取
り出したりできるような形状を有する。
この発明の別の特徴は、ロボットのクランプあるいは
アームによってパッケージを掴んで操作するためのピッ
クアップ装置と、パッケージとウェハーを移動している
ときに側部が開口されたパッケージの中でウェハーをロ
ックするためのロック用装置とを備えたウェハーパッケ
ージを提供していることである。
この発明の別の特徴は、ウェハーがパッケージに貯蔵
されているときやパッケージに入れて運搬されるとき
に、パッケージ内のウェハーの周辺上の離間した部分を
クランプすることによってウェハーをできる限り動かな
いようにするためのロック用装置を提供していることで
ある。
この発明のさらに別の特徴は、できる限り損傷を受け
ないように保護するために主要な回路側が上を向くよう
に維持されていることから、ウェハーの底部側へアクセ
スできるようにするためにパッケージの底部が開口され
ていることである。また、こうしたパッケージを同じよ
うなパッケージの上へ積み上げることができるし、また
そのパッケージの上に別のパッケージを積むこともでき
る。これとは違って、主要な回路サイドを下方へ向けて
収容し、ウェハーの上に粒子ができる限り堆積しないよ
うにしたり、目で検査して確認できるようにしてもよ
い。
径の大きいウェハーを支持するパッケージにおいて
は、ウェハーが損傷に対して保護される。また、一方で
はウェハーを周辺で適切に支持することによって、ウェ
ハーをパッケージに対して挿入したり取り出したりする
ときに粒子の発生を最小限に抑えることができ、その結
果、使用時にウェハーを清浄に保つことができるという
利点がある。
〔図面の簡単な説明〕
図１は単一ウェハー用のロボット用パッケージの平面
図である。
図２は単一ウェハー用のロボット用パッケージの端面
図である。
図３は単一ウェハー用のロボット用パッケージの側面
図である。
図４は図１の４−４線詳細断面図である。
図５は図４と同様の断面図であるが、この発明の別の
側面の別の位置を示している。
図６は図１の６−６線拡大詳細断面図である。
図７は図１の７−７線拡大詳細断面図である。
図８は図５の８−８線拡大詳細断面図である。
図９は図８の９−９線拡大詳細断面図である。
図10は図９と類似した詳細断面図であるが、装置のあ
る部分をシフトした状態を示している。
図11は図１の11-11線拡大詳細断面図である。
図12はこの装置の拡大詳細平面図である。
図13は図12の13-13線拡大詳細断面図である。
〔詳細な説明〕
以下でこの発明の一実施例を説明する。
ウェハーのパッケージは参照番号10で表されている。
パッケージ10は径の大きなウェハーＷを収容してこれを
貯蔵・運搬するために使用される。このパッケージ10は
ウェハーの、コーティングが施されていて多数の回路素
子へ加工される主要な回路側（primary circuit side）
Ｇ（ときには「グリーン（green）」側と呼ばれること
がある）を特に保護するようになっている。ウェハーＷ
はシリコンから形成されているのが最も一般的である
が、ガリウムひ素など他の材料から形成されていてもよ
い。しかし、シリコンウェハーといった場合には、それ
はガリウムひ素など様々な種類のウェハーを含んでいる
ものとする。ウェハーＷは一般に直径が約300mmであ
り、その厚みはウェハーの材料や利用する目的に応じて
さまざまである。一般的には厚みは約0.030インチすな
わち0.76mmである。もちろん、このタイプのパッケージ
には上述したものよりも大きなウェハーを使用すること
もできるし、また間違いなく使用されるであろう。
パッケージ10はエンクロージャ11を有する。エンクロ
ージャ11は一般にウェハー形状を有するコンパートメン
ト12を形成している。コンパートメント12はほぼ半円形
の形状を有する閉じた側部13と開口した側部14とを有す
る。ウェハーは側部14を介して挿入・取り出しが行われ
る。ウェハーのコンパートメント12は開口した底部15を
有する。この開口した底部15を介してウェハーへアクセ
スすることができ、開口した側部14を介してウェハーを
挿入したり取り出したりすることができるようになって
いる。コンパートメントは閉じた上部16も有する。上部
16は上部パネル17によって閉じられている。エンクロー
ジャ11は主に上部パネル17とＵ字形のフレーム18からな
っている。エンクロージャ11は、損傷に対して強くまた
操作するときに粒子を発生しにくいようなプラスチック
を利用してプラスチック成形されている。パッケージの
使われ方やパッケージがおかれる環境に応じて、ポリカ
ーボネートやABS、ポリプロピレン、PFAフルオロポリマ
などのプラスチックを使用することができる。
フレーム18は半円形の側部19と端部20を有する。端部
20は一般に互いに平行に延びているが若干広がってお
り、ウェハーをコンパートメント12の中へ容易にアクセ
スできるようになっている。フレーム18は傾斜したレッ
ジ（ledge）21を形成している。レッジ21はフレーム全
体にわたって延びていてウェハーをその周辺部で支持し
ている。また、レッジはウェハーをコンパートメント12
の中へ挿入したりコンパートメント12から取り出したり
するときにウェハーをガイドする。図10に示されている
ように、ウェハーＷの周辺の端部Ｅはほぼ直角のかどを
有している。ウェハーを支持するレッジ21は傾斜してい
るため、すなわちテーパ状になっているため、レッジと
実際に係合するウェハーの表面部分の大きさは極力小さ
くなっている。ウェハーＷとレッジ21との間の実際の係
合は、本質的にはウェハーの端部Ｅの周辺部と、フレー
ムの側部19のまわりを延びるレッジ21の半円形部に沿っ
たラインの部分だけである フレーム18の半円形の側部19に沿って半円形に延びて
いるレッジの部分23とは対照的に、フレーム18の端部20
においてはレッジ21の端部22はほぼまっすぐに延びてい
る。フレーム18は上部パネル17と一体に成形されている
ことがわかろう。多くの場合、上部パネル17は透明であ
って即座にウェハーを検査できるようになっていること
が好ましい。
パッケージ10を同じような別のパッケージの上に積む
ことによって、多数のウェハーを一つの場所に貯蔵でき
るようになっている。フレーム18には垂直方向に延びる
一対のリブ24が設けられている。リブ24は、フレーム18
の部分円からなる側部19に沿って部分円形状に延びてい
る。リブ24はフレームの上面25から上方へ若干突き出て
いる。フレーム18は垂直方向に延びる別のリブ26の対も
有する。リブ26はフレームの直線状の端部20に沿って直
線的に延びている。リブ26もフレームの上面25から上方
へ若干突き出ている。
フレーム18は曲線状の一対のリセス27と直線状の一対
のリセス28も有する。これらのリセスはそれぞれリブ2
4,26の真下に配置されていて、図に示されているように
このパッケージに積まれる隣接するパッケージのリブと
係合するようになっている。図５には別のパッケージ10
が点線で描かれており、パッケージを次々に積むときの
積み方を示している。
上部パネル17は、フレーム18の曲線状の側部19の曲線
に対応した形状の側部29を有することがわかる。コンパ
ートメントの開口した側部14に隣接している上部パネル
のもう一方の側部30は、ウェハーの形状に対応した曲線
形状を有する。側部30はウェハーの端部よりも先へ延び
ていて、ウェハーを上方から保護しており、ウェハーの
幅全体に広がっている。
ウェハーに対するフック形状のリテイナ31が隆起した
プラットホーム33の上へピン32によって回転可能に取り
付けられている。プラットホーム33は上部パネル17と一
体に形成されている。リテイナ31は上部パネル17の上面
から上へ若干突き出ている。上部パネル17はスロット34
を有することがわかろう。リテイナ31はスロット34の中
に配置されていて回転可能になっている。上部のプラッ
トホーム33もスロット35を有する。スロット35の中には
リテイナ31の上部が取り付けられている。
リテイナ31が有する下側のフック形状部は、特にその
開口した側部14において、コンパートメント12の厚みよ
りも大きく延びており、ウェハーの端部と対向していて
ウェハーが外側方向に移動しないようにしている。ウェ
ハーがコンパートメント12の中で適切な位置に配置され
支持用のレッジ21の上に載っているときは、リテイナ31
はウェハーの端部と係合しないことが好ましい。しか
し、パッケージ10が傾けられたときは、リテイナ31はウ
ェハーがコンパートメント12から出ないようにしてい
る。
リテイナは図５及び図13に示されている防止位置（ob
structing position）と図４に示されている後退位置
（retracted position）との間を回転可能になってい
る。リテイナが後退位置にあるとき、ウェハーをコンパ
ートメント12へ挿入したりコンパートメント12から取り
出したりできる。プラットホーム33はスロット34をまた
ぐブリッジ部36を有する。ブリッジ部36は図４に示され
ているように、リテイナ31の上方への回転を制限してい
る。ロボットハンドル37は摺動可能な操作ロッド（oper
ating rod）42の端部を摺動可能に取り付けている。操
作ロッド42はウェハーがコンパートメント12から出ない
ようにしているリテイナ31へ連結されている。操作ロッ
ド42は、ロボットハンドル37に設けられた溝あるいは開
口部44の中に摺動可能に取り付けられた一つの端部43を
有する。操作ロッド42は操作ロッドの端部43へ当接する
スプリング45も有する。スプリング45は操作ロッドを開
口部44の外側方向へ絶えず付勢している。操作ロッドの
他方の端部46は上部パネル17に設けられた溝47の中に位
置する。端部46の終端部48は回転可能なリテイナ31へピ
ン49によって連結されていて、リテイナ31を図５及び図
13に示されている防止位置から図４に示されている後退
位置へ移動させるようになっている。図11からわかるよ
うに、操作ロッド42はロボットハンドル37のテーパ状の
側部あるいは傾斜した側部41を横切って延びている（tr
averse）。従って、ロボットアーム38がロボットハンド
ル37と係合しこれを把持すると、ロボットアーム38は操
作ロッド42とも係合しこれを移動させる。通常、スプリ
ング45が端部45を開口部44の外側方向へ付勢しており、
操作ロッド42全体を移動させてリテイナ31を図４に示さ
れている後退位置へ回転させる。しかし、ロボットアー
ムがロボットハンドル37を把持し操作ロッド42とも係合
したとき、操作ロッド42は長手方向に開口部44の中の方
へ向けて付勢され、端部46を後退させる。その結果、リ
テイナ31は図５及び図13に示されている防止位置まで回
転する。
コンパートメント12内のウェハーＷの動きを最小限に
抑えるために、パッケージ10には三つのクランプ用装置
50が設けられている。クランプ用装置50はウェハーをフ
レーム18のレッジ21の上にクランプしており、パッケー
ジ10を移動したり運搬したりするときにウェハーが上へ
移動してレッジ21から離れることがないようにしてい
る。図１に示されているように、クランプ用装置50はフ
レーム18の部分円形状の側部19のまわりにおいて互いに
離間されており、ウェハーの大きく離間した部分とその
端部Ｅの近くで係合する。
クランプ用装置50はすべて同じであり、それらの一つ
の詳細が図８〜図10に描かれている。クランプ用装置50
はクランプバー51を有する。クランプバー51はテーパ状
の端面あるいは傾斜した端面52を有する。端面52はレッ
ジ21の隣接する部分と対向しており、図９に示されてい
るように、ウェハーの端部をクランプするときにレッジ
21と協働する。クランプバー51はフレーム18に形成され
たリセス53の中に収容されている。リセス53はレッジ21
の近くにおいてフレーム18の周辺壁面54を貫いて開口し
ている。図９及び図10からわかるように、リセス53の部
分53.1が上部パネル17に形成されており、クランプバー
を図10に示されているように上方へ後退させられるよう
になっている。クランプバー51は上方へ延びるガイドピ
ン55を有する。ガイドピン55はフレーム18に設けられた
開口部56を貫いて延びており、クランプバーの上方及び
下方への運動においてクランプバーをガイドするように
なっている。コイル状のスプリング57がピン55の周囲を
囲んでおり、スプリング57の端部はフレームの隣接する
部分とクランプバー51へ当接していて、通常はクランプ
バーを図９に示されている下側のウェハークランプ位置
の方へ付勢している。
クランプバー51はそれへ取り付けられた下方に延びる
ペグ（peg）58あるいはロッドも有する。ペグ58は開口
部59を貫いて延びており、クランプバー及びペグ58が上
方及び下方に運動するときにフレーム18によってガイド
される。フレーム18はクランプバー51の下に開口部59と
近接してリセス60を有しており、クランプバーが下側の
クランプ位置に移動したときその中にペグ58を受容す
る。リセス60はフィックスチャ（fixture）61を受容す
るためのものである。フィックスチャ61は、その上にパ
ッケージ10が置かれているテーブル62から上方へ延びて
おり、図10に示されているようにフィックスチャ61はペ
グ58と係合し、ペグをクランプバー51とともにクランプ
バーの上側位置まで持ち上げる。そこではクランプバー
はウェハーＷを解放してしまっている。従って、パッケ
ージ10がテーブル62から持ち上げられると、フィックス
チャ61はリセス60から引き抜かれ、ペグ58との係合から
外れる。その結果、スプリング57はクランプバー51をウ
ェハー上のクランプ位置へ再び移動させられるようにな
る。従って、ロボットがパッケージをテーブルから持ち
上げるとウェハーは幾つかのクランプ用装置50によって
クランプされ、運搬が行われるときウェハーはコンパー
トメント12の中で傾いたり動いたりしないようになる。
図７及び図８に示されているように、上部パネル17の
高さよりも下方においてフレーム18にはフレーム18の幅
全体にわたって少なくとも一つのアクセス用のスロット
63が設けられている。スロット63は隣接する傾斜したウ
ェハー支持用のレッジ21及びフレームの周辺壁面54全体
を延びている。スロット63はロボットフィンガ64あるい
はアームがウェハーＷの端部へアクセスしてウェハーを
レッジ21から持ち上げられるようにするためのものであ
る。ウェハーＷを持ち上げるために、別のロボットフィ
ンガ64を図１に示されているようにフレームの端部20に
隣接した位置でウェハー端部へアクセスさせるようにで
きる。従って、ロボットフィンガ64はウェハーＷをその
周辺の三つの位置で持ち上げて、ウェハーをコンパート
メント12の中に挿入したりコンパートメント12から出し
たりする。他のフィックスチャあるいは装置でもパッケ
ージ10を保持できること、また、ウェハーをコンパート
メント12に挿入したりコンパートメント12から取り出し
たりするときにウェハーあるいはパッケージのどちらか
が移動することがわかろう。
図11に示されているように、ノブあるいはロボットハ
ンドルブ37は堅固なパネル37.1によって被われ、開口部
44を閉じ、その中に操作ロッド42の端部43を閉じ込めて
いる。
通常、パッケージ10を使用するときにはウェハーＷの
端部は半円形形状のレッジ21の上に載っている。パッケ
ージが単にウェハーＷを貯蔵するために使用されている
場合には、パッケージは平たい棚あるいは支持用テーブ
ルの上に載せられる。この状態においてはクランプバー
51は図９に示されているようにウェハーの端部とクラン
プ係合している。図に示されている他の同じようなパッ
ケージがパッケージ10の上に積まれるか、あるいはパッ
ケージ10が他の同じようなパッケージの上に積まれる。
ウェハーを処理するためにパッケージ10を移動するとき
には、ロボットアーム38がロボットハンドル37を把持し
パッケージを持ち上げて運搬する。ロボットアームがロ
ボットハンドル37を把持するとき、操作ロッドもロボッ
トによって係合され、ロッドは図５に示されている位置
まで後退して、リテイナ31をコンパートメントの開口し
た側部14に近接するウェハーの端部Ｅと対向する位置ま
で回転する。開口した側部14はそこを介してウェハーＷ
をパッケージから取り出すための開口部を形成してい
る。
従って、パッケージを移動するとき、ウェハーはリテ
イナ31とクランプバー51の両方によってコンパートメン
トの中に完全に保持されている。
数少ないが、パッケージは水平方向よりも垂直方向に
置かれる場合がある。この場合にはパッケージはフレー
ム18と一体に形成された足63によって支持される。
通常は、ウェハーを処理するためにロボットがパッケ
ージをその貯蔵位置から移動するとき、パッケージは図
10に示されているようにテーブル62の上に置かれ、フィ
ックスチャ61がペグ58を持ち上げてクランプバー51にウ
ェハーＷを解放させる。ロボットがパッケージをテーブ
ル62の上へ置くと、ロボットはハンドルを解放し、操作
ロッドを解放して、スプリング45が操作ロッドを図４に
示されている位置へ移動させる。そこでは、リテイナ31
は後退位置にあり、コンパートメントの開口した側部14
を開いている。
適当な構造を有する支持用のテーブル62あるいは構造
物の中においてロボットフィンガ64がウェハーＷの端部
の下で突き出てウェハーをレッジ21から持ち上げ、ウェ
ハーを端部方向に（edgeways）移動してコンパートメン
ト12から出す。ロボットフィンガ64は処理の行われるコ
ーティング面を持たないウェハーの底部とのみ係合し、
ウェハーの主要回路サイドあるいはコーティングされた
上側のサイドには触れず、これに損傷を与えない。
引き続いて、そのウェハーあるいは別のウェハーＷを
端部方向にウェハーのどの部分もフレームあるいはパッ
ケージのどの部分にも触れないように、ウェハーが適切
な位置に配置されその端部Ｅが傾斜したレッジ21の真上
へ来るまでコンパートメント12の中へ移動する。ここで
ロボットフィンガが下降してウェハーをレッジの上へ降
ろす。
前述したように、ロボットがウェハーを再び取り上げ
たとき、リテイナ31が回転してコンパートメントの開口
した側部14に対する防止位置へ移動する。また、クラン
プバー51が下降してウェハーの隣接する端部をクランプ
する。
次にこのパッケージが同じような別のパッケージの上
へ積まれると、その上にパッケージ10が載っているパッ
ケージのリブ24,26はリセス27あるいは溝の中に挿入さ
れ、パッケージは確実な状態で積まれるようになる。下
のパッケージのロボットハンドル37はコンパートメント
12の開口した底部15の中に若干突き出ていているが、ウ
ェハーの底部サイドへ係合あるいは当接するほどには突
き出ていない。フレーム18の上面の上におけるロボット
ハンドル37の高さは、フレームの底面とレッジ21上のウ
ェハーとの間におけるコンパートメントの開口した底部
15の深さよりも小さい。
この発明は直径が約300mmである単一の大きなシリコ
ンウェハを貯蔵・運搬するパッケージを提供しているこ
とがわかろう。このパッケージではウェハーはレッジの
上に載り、レッジはウェハーの底部サイドのみと係合す
る。ウェハーのコーティングされたサイドあるいはその
主要回路サイドはパッケージのどの部分によってもいか
なるときにも係合されることはない。ウェハーがパッケ
ージの中にあるときには、パッケージが運搬されるとき
ウェハーはクランプバーによってクランプされ、別のリ
テイナ31がコンパートメントの開口したサイドからウェ
ハーが外へ出ることがないようにしている。
この発明はその精神及び本質から逸脱することなく別
の形で実現することができる。従って、上述した実施例
は単に説明のためのものであって、発明を制限すること
はない。この発明の範囲に関しては上述した説明よりも
添付の請求の範囲を参照すべきである。

Claims (19)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】単一のシリコンウェハーを貯蔵するための
    パッケージであって、 エンクロージャ部材を有し、前記エンクロージャ部材が
    ウェハーの形状に対応したウェハーコンパートメントを
    有し、前記コンパートメントがウェハーの厚みよりも大
    きな厚みを有していてコンパートメント内においてウェ
    ハーの制限された動きを可能にしており、 前記エンクロージャ部材がウェハーの幅のほぼ全体を収
    容するような幅を有し、 前記エンクロージャ部材が前記幅を挟んで対向する第１
    及び第２の側部を有し、この第１の側部がコンパートメ
    ント内においてウェハーを支持するレッジ部を有し、 前記第２の側部がそこを通してウェハーをコンパートメ
    ント内へ挿入したりウェハーをコンパートメントから取
    り出したりするためのアクセス用開口部を有するような
    パッケージ。
  2. 【請求項２】前記エンクロージャ部材が閉じた上部を有
    し、この上部が前記レッジ部と対向している請求の範囲
    第１項記載のパッケージ。
  3. 【請求項３】前記エンクロージャ部材が前記レッジ部に
    隣接して開口した底部を有する請求の範囲第１項記載の
    パッケージ。
  4. 【請求項４】前記閉じた上部がパルス部を有する請求の
    範囲第２項記載のパッケージ。
  5. 【請求項５】前記パネル部が前記レッジ部とほぼ平行
    に、かつこれと離間して配置されている請求の範囲第４
    項記載のパッケージ。
  6. 【請求項６】前記エンクロージャ部材が前記開口部を横
    切って延びるリテイナ部を有し、このリテイナ部が開口
    部を介してウェハーが動くことがないように保持してい
    る請求の範囲第１項記載のパッケージ。
  7. 【請求項７】前記エンクロージャ部材がリテイナ部を有
    し、このリテイナ部が回転可能になっていて開口部を遮
    ったり開口部を開けたりし、コンパートメント内におい
    てウェハーを解放可能に保持している請求の範囲第１項
    記載のパッケージ。
  8. 【請求項８】前記エンクロージャ部材が外側方向へ延び
    るハンドル部を有し、ロボットがこのハンドル部を把持
    してパッケージを移動するようになっている請求の範囲
    第１項記載のパッケージ。
  9. 【請求項９】前記エンクロージャ部材が解放可能なリテ
    イナ部と、その上に操作部を備えたハンドル部とを有
    し、前記リテイナ部がアクセス用開口部を遮ったりアク
    セス用開口部を開いたりする位置へ移動してウェハーを
    コンパートメント内で保持したり解放したりすることが
    でき、前記ハンドル部が前記リテイナ部へ連結されてい
    て、遮る位置や開く位置へ前記リテイナ部を移動させる
    請求の範囲第１項記載のパッケージ。
  10. 【請求項１０】前記エンクロージャ部が前記レッジ部と
    対向するウェハークランプ部を有し、このウェハークラ
    ンプ部がウェハーの動きを制限している請求の範囲第１
    項記載のパッケージ。
  11. 【請求項１１】前記ウェハークランプ部がレッジ部の方
    へ近づいたりレッジ部から離れたりすることができ、ス
    プリングによって前記クランプ部がレッジ部の方へ付勢
    されている請求の範囲第10項記載のパッケージ。
  12. 【請求項１２】前記クランプ部がレッジ部へ近づいたり
    レッジ部から離れたりすることができ、前記クランプ部
    が可動式の操作ペグ部を有し、このペグ部がレッジ部か
    ら下方へ延びていてレッジ部の下から操作できるように
    なっている請求の範囲第10項記載のパッケージ。
  13. 【請求項１３】前記エンクロージャ部材がコンパートメ
    ントの一部のまわりを延びる周辺フレーム部を有し、こ
    のフレーム部が前記レッジ部を有する請求の範囲第１項
    記載のパッケージ。
  14. 【請求項１４】前記エンクロージャ部材が前記コンパー
    トメントの一部を囲む一般にＵ字形のフレーム部を有す
    る請求の範囲第１項記載のパッケージ。
  15. 【請求項１５】前記Ｕ字形のフレーム部がレッジ部を有
    し、またこのフレーム部が前記アクセス用開口部を形成
    する開口した側部を有する請求の範囲第14項記載のパッ
    ケージ。
  16. 【請求項１６】前記エンクロージャ部材がＵ字形のフレ
    ーム部を横切って延びるパネル部を有する請求の範囲第
    14項記載のパッケージ。
  17. 【請求項１７】前記Ｕ字形のフレーム部がレッジ部を貫
    いて下方に開口するアクセス用のスロット部を有してい
    て、レッジ部の上に載っているウェハーの端部にアクセ
    スしてウェハーを移動できるようになっている請求の範
    囲第14項記載のパッケージ。
  18. 【請求項１８】前記エンクロージャ部材がレッジ部へ離
    間した状態で重なるパネル部をフレーム部上に有し、前
    記エンクロージャ部がフレーム部の上方へ突き出たロボ
    ットハンドルをパネル部上に有し、前記エンクロージャ
    部が開口した底部をレッジ部の下方に有し、前記フレー
    ム部はロボットハンドルがフレーム部の上へ突き出てい
    る寸法よりも小さな寸法の厚みをレッジ部の下方におい
    て有する請求の範囲第14項記載のパッケージ。
  19. 【請求項１９】単一のシリコンウェハーを貯蔵するため
    のパッケージであって、 エンクロージャ部材を有し、 前記エンクロージャ部材が一般にＵ字形を有するフレー
    ム部を有し、このフレーム部が部分円形状のウェハーを
    囲む側部とそこを通してウェハーを挿入したり取り出し
    たりする開口した側部とを有し、 前記エンクロージャ部材がフレーム部上に上部パネル部
    を有し、この上部パネル部が部分円形状の側部と開口し
    た側部とを横切って延びており、 前記フレーム部とパネル部が単一のウェハー形状のコン
    パートメントを形成しており、 前記エンクロージャ部材がフレーム部の両方の側部と隣
    接して開口した底部を有していてコンパートメントの中
    やその中に収容されているウェハーへアクセスすること
    ができ、 フレーム部の部分円形状の側部がウェハー支持用のレッ
    ジ部を有し、このレッジ部がパネル部と離間した状態で
    対向していてレッジ部とパネル部との間でウェハーの制
    限された動きを可能にしており、 前記開口した側部に隣接してパネル部上にウェハーリテ
    イナ部が設けられており、このリテイナ部が前記コンパ
    ートメントを横切って延びていてコンパートメントの中
    へのウェハーの動きやコンパートメントからのウェハー
    の動きを遮っており、 フレーム部上に互いに離間した状態で複数の解放可能な
    ウェハークランプ部が設けられ、このクランプ部がレッ
    ジ部と対向しており、 パネル部上にロボットハンドル部が設けられ、このハン
    ドル部がロボットによって把持されてパッケージが移動
    され、 ハンドル部に隣接してエンクロージャ部材にリテイナ操
    作部が設けられ、この操作部がロボットによって操作さ
    れるパッケージ。
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