JP3216688U - 半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台 - Google Patents
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Abstract
Description
前記保持台は、底板部と、支持部と、蓋体止め部と、これらに取り付けられる蓋体接触部とを有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台を提供する。
また蓋体の半導体ウェーハ収納容器への取り付けの際は、前記蓋体保持台に蓋体が支持されているため、前述のように作業者はテーブル等から持ち上げる動作が不要となり作業性も向上し、しかも蓋体内側と接触する懸念もない。こうして、蓋体内側との接触によるウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染を抑制できる。
複数の支持部を間隔を空けて設けることで、視認性を向上させ、軽量化を図ることもできる。また、支持部に切りかき孔を設けることにより、作業者の持ち運びやすさを向上させ前記蓋体保持台の軽量化を図ることができる。さらに、底板部の裏面に滑り止めを設けることにより、本考案に係る半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台をテーブル等に置いたときに、滑りにくくさせることができ、特に切りかき孔等を設けることによって蓋体保持台を軽量化した場合には、滑り止めを設ける効果が一層顕著となる。
本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台はクリーンルームにも対応しており、長期間の使用も期待できる。
本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台の更なる特徴として、蓋体保持台を、FOSBを製造する全メーカの、さらに全種類の収納容器に対応させることができる。そのため、複数形状の蓋体保持台を所有する必要がなく、作業エリアの省スペース化にも貢献できる。
前記保持台は、底板部と、支持部と、蓋体止め部と、これらに取り付けられる蓋体接触部とを有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台である。
図1(a)に示すように、本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台10は、底板部1と、支持部2と、蓋体止め部5と、これらに取り付けられる蓋体接触部4とを有するものである。
図1(a)に示すように、底板部1の底面(裏面)両端側に滑り止め6を接着により貼り付けることが好ましい。滑り止め6の材質としてはウレタンが挙げられる。滑り止め6の効果は、テーブル等に置かれた蓋体保持台10を滑りにくくさせることである。
このように、半導体ウェーハ収納容器から外した蓋体7をテーブル等に寝かして置くことなく、簡単かつ確実に立てかけることが可能となり、前述のように作業者が蓋体内側に触れる懸念もないため該蓋体の清浄度を保つことができ、作業性も向上する。
また、蓋体接触部4の材質としては特にフッ素樹脂を用いることが好ましい。これにより、収納容器に収納された半導体ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染も抑制できる。蓋体接触部4の材質はフッ素樹脂としたが、具体的にはPTFE(四フッ化エチレン)を使用してもよい。このPTFEも前記PEEKと同様で半導体の製造部材には一般的であり、PEEK材同様に半導体ウェーハの製造において優れた性質を有している。
また、本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台10の更なる特徴として、蓋体保持台10を、FOSBを製造する全メーカの、さらに全種類の収納容器に対応させている。そのため、複数形状の蓋体保持台を所有する必要がなく、作業エリアの省スペース化にも貢献できる。
5…蓋体止め部、 6…滑り止め、 7…蓋体、 8…傾斜面、 9…開閉部、
10…蓋体保持台、 d1…支持部の幅、 d2…開閉部の間隔。
Claims (6)
- 半導体ウェーハを収納する収納容器の蓋体を保持する樹脂製の保持台であって、
前記保持台は、底板部と、支持部と、蓋体止め部と、これらに取り付けられる蓋体接触部とを有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。 - 前記蓋体接触部がフッ素樹脂から形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
- 前記支持部が、前記底板部上の少なくとも2ヶ所に立設するものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
- 前記支持部が、前記蓋体を立てかけるための傾斜面を有するものであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
- 前記支持部が切りかき孔を有するものであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
- 前記底板部の裏面に滑り止めを有するものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
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