KR200414886Y1 - 웨이퍼 보관케이스 - Google Patents

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KR200414886Y1
KR200414886Y1 KR2020060003857U KR20060003857U KR200414886Y1 KR 200414886 Y1 KR200414886 Y1 KR 200414886Y1 KR 2020060003857 U KR2020060003857 U KR 2020060003857U KR 20060003857 U KR20060003857 U KR 20060003857U KR 200414886 Y1 KR200414886 Y1 KR 200414886Y1
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정세영
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주식회사 한야 텍
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

본 고안은 힌지연결부(10)로 절첩가능하게 연결되는 본체(12)와 덮개(14)로 구성되어 웨이퍼(28)를 보관할 수 있도록 한 웨이퍼 보관 케이스에 관한 것이다. 본 고안에 따라서, 본체(12)가 중앙저면(16)과 이로부터 변부측으로 연장된 경사면(18)으로 구성되고, 덮개(14)는 중앙상부면(20)과 변부측으로 연장된 경사면(22)으로 구성되며, 덮개(14)의 내부에 중앙상부면(20)으로부터 거리를 두고 변부측에 평면상 변부면(32)이 형성되어 이에 등간격을 두고 탄성재질로 된 수개의 원호형 협지대(34)가 배치되며, 본체(12)에도 그 중앙저면(16)으로부터 거리를 두고 변부측에 평면상 변부면(40)이 형성되어 이에 덮개(14)의 협지대(34)에 대응하는 수개의 원호형 협지대(44)가 배치되며, 평면상의 변부면(40)에는 협지대(44)에 인접하여 웨이퍼(28)의 주연변부가 벗어나는 것을 방지하지 위한 이탈방지돌기(48)가 수개 입설되어 있다.
웨이퍼 보관케이스, 협지대, 이탈방지돌기.

Description

웨이퍼 보관케이스 {STORAGE CASE FOR WAFER}
도 1은 본 고안의 사시도.
도 2는 본 고안을 전개하여 보인 사시도.
도 3은 본 고안의 단면도.
도 4는 도 3의 부분단면도.
도 5은 본 고안의 부분 평면도.
도 6은 도 5의 VI-VI 선 단면도.
도면의 주요부분에 대한 부호설명
12... 본체 14... 덮개
16... 중앙저면 18... 경사면
20... 중앙상부면 22... 경사면
28... 웨이퍼 32, 40... 평면상 변부면
34, 44... 협지대 48... 이탈방지돌기
본 고안은 웨이퍼 보관케이스에 관한 것으로, 특히 반도체소자의 제조에 사 용되는 웨이퍼를 그 하나만을 보관 또는 보관운반하는데 사용되는 웨이퍼 보관케이스에 관한 것이다.
통상적으로 반도체소자의 제조에 사용되는 웨이퍼는 그 제조과정에서 외부환경으로부터 오염되지 않도록 보호되는 상태에서 다수의 웨이퍼가 전용의 박스에 보관되거나 보관상태에서 운반된다. 종래 이와 같은 상태에서 웨이퍼가 보관되는 웨이퍼 보관박스는 본체와 이러한 본체를 폐쇄하는 뚜껑으로 구성되고 본체내에 저면측으로 웨이퍼의 하측부를 지지하는 크레이들과 웨이퍼의 측부를 지지하는 측부지지대가 수용되며, 측부지지대는 양측으로 수개 또는 다수의 웨이퍼가 서로 접촉됨이 없이 웨이퍼의 측부가 안내삽입되도록 하는 수직안내채널이 형성되어 있고, 웨이퍼의 하측부를 지지하는 크레이들에는 웨이퍼의 하측부가 삽입되는 수평에 가까운 원호형 지지채널이 형성되어있는 웨이퍼 보관박스가 알려진 바 있다. 그러나, 이러한 웨이퍼 보관박스는 다수의 웨이퍼를 보관 또는 운반하는데 유용하나 특별한 경우 하나만의 웨이퍼를 보관 또는 운반하기 위하여 사용되기에는 적합치 않다. 따라서 하나의 웨이퍼를 보관 또는 운반하기 위한 웨이퍼 보관박스의 개발이 필요하다.
본 고안에 있어서는 하나의 웨이퍼를 보관하는데 적합한 웨이퍼 보관케이스를 제공하는데 그 목적이 있다. 통상적으로 웨이퍼는 원형 디스크의 형태이고 주연의 가장자리에서 폭 2 ~ 3 mm 의 변부를 제외하고는 반도체소자가 마스킹되거나 마스킹될 부분이 외부환경으로부터 오염되지 않도록 보호되어야 한다. 본 고안에 있어서는 하나의 웨이퍼를 보관할 수 있도록 하는 보관케이스내에서 웨이퍼의 변부가 협지고정될 수 있도록 한다.
이를 위하여, 본 고안에 있어서는 힌지연결부로 절첩가능하게 연결되는 본체와 덮개로 구성되어 웨이퍼를 보관할 수 있도록 한 웨이퍼 보관 케이스를 제공한다. 본 고안에 따라서, 본체가 중앙저면과 이로부터 변부측으로 연장된 경사면으로 구성되고, 덮개는 중앙상부면과 변부측으로 연장된 경사면으로 구성되며, 덮개의 내부에 중앙상부면으로부터 거리를 두고 변부측에 평면상 변부면이 형성되어 이에 등간격을 두고 탄성재질로 된 수개의 원호형 협지대가 배치되며, 본체에도 그 중앙저면으로부터 거리를 두고 변부측에 평면상 변부면이 형성되어 이에 덮개의 협지대에 대응하는 수개의 원호형 협지대가 배치되며, 평면상의 변부면에는 협지대에 인접하여 웨이퍼의 주연변부가 벗어나는 것을 방지하지 위한 이탈방지돌기가 수개 입설되어 있다.
본 고안을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1과 도 2는 본 고안의 웨이퍼 보관케이스의 전체를 보이고 있다. 본 고안은 일측에서 힌지연결부(10)로 절첩가능하게 연결되는 본체(12)와 덮개(14)로 구성된다. 본체(12)는 깊이가 얕은 형태로 중앙저면(16)과 이러한 중앙저면부에서 변부측으로 연장된 경사면(18)으로 구성된다. 마찬가지로, 덮개(14)는 중앙상부면(20)과 변부측으로 연장된 경사면(22)으로 구성된다. 따라서, 본체(12)에 덮개(14)가 덮이어 폐쇄된 경우 전체적으로 두께가 얇은 용기의 형태를 이룬다.
힌지연결부(10)의 대향측에는 본체(14)의 측부에 걸이턱(24)이 형성되어 있고 이에 대응하는 덮개(14)의 측부에는 본체(10)의 걸이턱(24)에 걸리는 잠금수단으로서 걸이구((26)가 형성되어 있다.
한편, 덮개(14)의 내부에는 변부측에서 경사면(22)측으로 향하여 웨이퍼(28)의 직경 보다 약간 작은 원형턱(30)이 형성되고 이 원형턱(30)의 외측으로 평면상 변부면(32)이 형성되어 있다. 그리고 원형턱(30)에 근접하여 평면상의 변부면(32)에는 등간격을 두고 수개, 예를 들어 도시된 실시형태에서 4개의 원호형 협지대(34)가 배치되어 있다. 이러한 협지대(34)는 탄성재질로 구성되며 평면상의 변부면(32)에 형성된 요구(36)에 삽입고정된다.
또한, 본체(12)에는 그 내부에 변부측에서 경사면(18)측으로 향하여 웨이퍼(28)의 직경 보다 약간 작은 원형턱(38)이 형성되고 이 원형턱(38)의 외측으로 평면상 변부면(40)이 형성되어 있다. 다만, 덮개(14)의 구조와 다른 부분은 이후 상세히 설명되는 바와 같이 웨이퍼(28)의 측부를 손으로 용이하게 집어 올릴 수 있도록 하는 공간을 제공하기 위한 비교적 넓은 절결부(42)가 양측에 형성되어 있는 것이다.
이러한 본체(12)의 경우에 있어서도, 원형턱(38)에 근접하여 평면상의 변부면(40)에는 등간격을 두고 수개의 원호형 협지대(44)가 배치되어 있다. 이러한 협지대(44)는 덮개(14)의 협지대(34)에 대응하여 배치되며 탄성재질로 구성되고 평면상의 변부면(40)에 형성된 요구(46)에 삽입고정된다.
한편, 본체(12)의 평면상의 변부면(40)에는 협지대(44)에 인접하여 웨이퍼 (28)의 주연변부가 벗어나는 것을 방지하지 위한 이탈방지돌기(48)가 수개 입설되어 있다.
끝으로, 본체(12)의 테두리에는 패킹(50)이 삽입되는 요입부(52)가 형성되어 있고 덮개(14)의 테두리에는 이러한 본체(12)의 요입부(52)에 삽입되어 밀폐가 이루어질 수 있도록 하는 돌출부(54)가 형성되어 있다.
이와 같은 본 고안은 도 2에서 보인 바와 같이 본체(12)에 대하여 덮개(14)를 전개하여 개방한 상태에서 웨이퍼(28)를 본체(12)상에 배치한다. 이때, 웨이퍼(28)는 그 변부가 본체(12)의 평면상 변부면(40)에 입설한 이탈방지돌기(48)의 내측범위에 놓이도록 하여 이에 인접하여 있는 탄성재질의 협지대(44)상에 웨이퍼(28)의 변부가 얹히도록 배치한다.
이후에 덮개(14)를 힌지연결부(10)를 중심으로 하여 회전시켜 본체(12)에 대하여 폐쇄하고 걸이구(26)를 본체(12)의 걸이턱(24)에 걸어 잠그면 덮개(14)의 평면상 변부면(32)에 배치되어 있는 협지대(34)가 본체(12)의 협지대(44)와 협동하여 웨이퍼(28)의 변부를 협지하여 고정한다. 따라서, 웨이퍼는 그 변부에서 덮개(12)의 협지대(34)와 본체(12)의 협지대(44)에 의하여서만 고정될 수 있다.
본체(12)는 그 전체구성이 경사면(18)에 의하여 중앙저면(16)이 평면상 변부면(40)으로부터 충분한 간격을 두고 있고, 또한 덮개(14)의 경우에도 그 전체구성이 경사면(22)에 의하여 중앙상부면(20)이 평면상 변부면(32)으로부터 충분한 간격을 두고 있어 본체(12) 또는 덮개(14)의 어떠한 구성부분도 특히 본체(12) 또는 덮개(14)의 각 원형턱(38)(30)의 범위내에서 웨이퍼(28)에 접촉하지 않아 웨이퍼(28) 가 보관 또는 운반중에 훼손되지 않는다.
더욱이, 본체(12)에서는 원형턱(38)에서 양측에 절결부(42)가 형성되어 있어 덮개(14)를 개방후에 웨이퍼(28)를 꺼내는 경우 사용자의 손이 웨이퍼(28)의 변부를 용이하게 잡을 수 있도록 한다.
이와 같이 본 고안은 하나의 웨이퍼를 보관하는데 적합하며 웨이퍼에서 반도체소자가 마스킹되거나 마스킹될 부분이 외부환경으로부터 오염되지 않도록 보호될 수 있는 웨이퍼 보관케이스를 제공한다.

Claims (1)

  1. 힌지연결부(10)로 절첩가능하게 연결되는 본체(12)와 덮개(14)로 구성되어 웨이퍼(28)를 보관할 수 있도록 한 웨이퍼 보관 케이스에 있어서, 본체(12)가 중앙저면(16)과 이로부터 변부측으로 연장된 경사면(18)으로 구성되고, 덮개(14)는 중앙상부면(20)과 변부측으로 연장된 경사면(22)으로 구성되며, 덮개(14)의 내부에 중앙상부면(20)으로부터 거리를 두고 변부측에 평면상 변부면(32)이 형성되어 이에 등간격을 두고 탄성재질로 된 수개의 원호형 협지대(34)가 배치되며, 본체(12)에도 그 중앙저면(16)으로부터 거리를 두고 변부측에 평면상 변부면(40)이 형성되어 이에 덮개(14)의 협지대(34)에 대응하는 수개의 원호형 협지대(44)가 배치되며, 평면상의 변부면(40)에는 협지대(44)에 인접하여 웨이퍼(28)의 주연변부가 벗어나는 것을 방지하지 위한 이탈방지돌기(48)가 수개 입설되어 있음을 특징으로 하는 웨이퍼 보관케이스.
KR2020060003857U 2006-02-11 2006-02-11 웨이퍼 보관케이스 KR200414886Y1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190007276A (ko) * 2017-07-12 2019-01-22 계명대학교 산학협력단 실리콘 웨이퍼 보관케이스

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190007276A (ko) * 2017-07-12 2019-01-22 계명대학교 산학협력단 실리콘 웨이퍼 보관케이스
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