JP2000106393A - ウエハカセット装置及びウエハの収納方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットケースの中にウエハカセットを挿入
することなく、ウエハを搬送することができるウエハカ
セット装置及びウエハの収納方法を得る。 【解決手段】 水平方向に挿入されるウエハ２２を直角
方向の両側で支持する保持部材１２、ウエハ保持部材１
２の上部及び下部とそれぞれ連結して配置され搬送用腕
が挿脱可能な溝１６．１７が形成された上部材１４及び
下部材１５をウエハカセット１１と、閉塞された一端側
に取手２１を有し開口された他端を介してウエハカセッ
ト１１に被せられるカセットカバー１８と、カセットカ
バー１８の外周部の溝１６，１７の少なくともいずれか
一方と対応した位置に溝１６，１７と直角方向に進退可
能に配置され溝１６，１７を介してウエハカセット１１
と係合する係止部材２０を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハを
ウエハカセットに収納した後、ウエハカセットに手を触
れることなくカセットカバーを被せて固定し、搬送する
ことができるウエハカセット装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】本技術における従来のウエハカセットケ
ースは、半導体生産工場で量産用に用いられている２０
０ｍｍの半導体ウエハを収納するウエハカセットを用い
るものについて説明する。図１３及び図１４は、それぞ
れ従来の半導体ウエハの搬送に用いられるウエハカセッ
トケースを示す斜視図である。

【０００３】図１３において、１は複数枚の半導体ウエ
ハを収容可能に形成されたウエハカセット、２は半導体
ウエハで、ウエハカセット１内の複数のスリットに一枚
ずつ垂直に収容されている。３はウエハカセット１の下
半部を収納する下部ケース、４は下部ケース３と当接し
てウエハカセット１の上半部に被せられた透明な部材よ
りなるカセットケースである。そして、上記３，４でウ
エハカセットケース５が形成される。下部ケース３にウ
エハカセット１を収納する場合には、異物の付着を防止
するために特殊な工具を用いて行われる。そして、この
ウエハカセットケース５の搬送には、下部ケース４を持
って運ばれる。

【０００４】また、図１４において、１は複数枚の半導
体ウエハを収容可能に形成されたウエハカセット、２は
半導体ウエハで、ウエハカセット１内の複数のスリット
に一枚ずつ垂直に収容されている。６はウエハカセット
１の下部を載置するケース底部材、７はウエハカセット
１に被せられケース底部材６と適宜手段で連結された透
明な部材よりなるカセットケース、８は上面に取付けら
れた取手であり、これら６ないし８でウエハカセットケ
ース９が構成される。ケース底部材６上にウエハカセッ
ト１を載せるには、異物の付着を防止するために特殊な
工具を用いて行われる。そして、このウエハカセットケ
ース９の搬送は、取手７を持って運ばれる。

【０００５】なお、図１３及び図１４のいずれの場合で
も、半導体ウエハ２が収容されたウエハカセット１を、
下部ケース３、またはケース底部材６に配置する必要が
あり、ウエハカセット１に異物の付着を防止するため
に、直接手で持たれることはなく、ウエハカセット１の
搬送は、例えば、フォーク状のカセット掴み治具を、ウ
エハカセット１の上部に差し込んで行われている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の直径２００ｍｍ
までの半導体ウエハを搬送するウエハカセットケース
は、以上のように構成されているので、半導体ウエハの
直径が３００ｍｍになるとウエハカセットも大きくな
り、カセット掴み治具によるウエハカセットケースへの
出し入れが困難となり、大型でしかも高価な治具を用意
しなければならないという問題点があった。

【０００７】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、カセットケースの中にウエハカ
セットを収容することなく、ウエハを搬送することがで
きるウエハカセット装置を得ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
わるウエハカセット装置は、水平方向に挿入されるウエ
ハを直角方向の両側で支持するウエハ保持部材、ウエハ
保持部材の上部及び下部とそれぞれ連結して配置され搬
送用腕が挿脱可能な溝が形成された上部材及び下部材を
有するウエハカセットと、閉塞された一端側に取手を有
し開口された他端を介してウエハカセットに被せられる
カセットカバーと、カセットカバーの外周部の溝の少な
くともいずれか一方と対応した位置に溝と直角方向に進
退可能に配置され溝を介してウエハカセットと係合する
係止部材を備えたものである。

【０００９】また、この発明の請求項２に係わるウエハ
カセット装置は、水平方向に挿入されるウエハを直角方
向の両側で支持するウエハ保持部材、ウエハ保持部材の
上部及び下部とそれぞれ連結して配置され搬送用腕が挿
脱可能な溝が形成された上部材及び下部材を有するウエ
ハカセットと、閉塞された一端側に取手を有し開口され
た他端を介してウエハカセットに被せられるカセットカ
バーと、カセットカバーの外周部の溝の少なくともいず
れか一方と対応した位置に溝に沿って進退可能に配置さ
れ溝を介してウエハカセットと係合する係止部材を備え
たものである。

【００１０】また、この発明の請求項３に係わるウエハ
カセット装置は、請求項１または２のいずれかにおい
て、カセットカバーとウエハカセット間にはカセットカ
バーの挿脱を案内する複数の案内部材を備えたものであ
る。

【００１１】また、この発明の請求項４に係わるウエハ
カセット装置は、請求項３において、案内部材はカセッ
トカバーの内周部の上下に沿って延在し先端がウエハカ
セットに当接可能な帯状部材で構成されたものである。

【００１２】また、この発明の請求項５に係わるウエハ
カセット装置は、請求項３において、案内部材はカセッ
トカバーの内周部及びウエハカセットの外周部のそれぞ
れ対応する位置に所定の間隔を介して配置され相互に反
発する磁石部材で構成されたものである。

【００１３】また、この発明の請求項６に係わるウエハ
カセット装置は、請求項１または２のいずれかにおい
て、カセットカバーは外周部のウエハと対向する位置に
上下に延在して形成されウエハと弾性的に接触するウエ
ハ押さえが嵌着される切欠部を備えたものである。

【００１４】また、この発明の請求項７に係わるウエハ
カセット装置は、水平方向に挿入されるウエハを直角方
向の両側で支持するウエハ保持部材、ウエハ保持部材の
上部及び下部とそれぞれ連結して配置され搬送用腕が挿
脱可能な溝が形成された上部材及び下部材を有するウエ
ハカセットと、一端側が閉塞された筒状の各一半を形成
し一端側のいずれか一方に取手を有するとともに一端側
を支点として他端側が開離可能な一対のカバー部材より
なるカセットカバー、各カバー部材の内側の下部材の溝
と対向した位置に配置され溝を介してカセットケースと
係合する係止部材、各カバー部材が対向する下側部に配
置され各カバー部材間を係合する係合部材を備えたもの
である。

【００１５】また、この発明の請求項８に係わるウエハ
の収納方法は、ウエハカセットにウエハを挿入する工
程、ウエハカセットにカセットカバーを被せる工程、係
止部材を介してカセットカバーとウエハカセットとを連
結する工程、カセットカバーの取手を持って搬送する工
程を含むものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下の各実施の形態における説明
においては、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ
Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｉ Ｉｎ
ｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格に定められた形状で、２
５枚の半導体ウエハを収納するウエハカセット装置で、
透明な材質で形成された円筒型の場合について説明す
る。

【００１７】実施の形態１．以下、この発明の実施の形
態を図について説明する。図１はこの発明の実施の形態
１におけるウエハカセット装置の構成を示す斜視図。図
２は図１におけるカセットカバーを外した状態を示す
図、図３は図１における係止部材の装着動作を示す図、
図４は図１とは異なるウエハカセット装置の構成を示す
斜視図である。

【００１８】図１〜図３において、１１はウエハを収納
するウエハカセットで、ウエハが挿入される方向と直角
な両側に複数のウエハを支持可能な一対のウエハ保持部
１２と、両ウエハ保持部１２との間にウエハの収納深さ
を決定するウエハ止め１３と、ウエハ保持部１２とウエ
ハ止め１３の両端部にそれぞれ連結される上部材１４と
下部材１５とにより形成されている。そして、上下各部
材１４，１５には搬送用腕が挿脱可能な溝１６，１７が
それぞれ形成されている。

【００１９】１８は透明な部材でウエハカセット１１に
被せられるように上端部を閉塞して形成されたカセット
カバー、１９はカセットカバー１８の周壁の下部材１５
の溝１７と対応した位置に所定の幅と長さで形成された
一対の切欠部、２０は切欠部１９に挿脱可能に配置され
所定の手段でカセットカバー１８と係合された一対の係
止部材、２１はカセットカバー１８の上端部に取付けら
れた取手、２２はウエハカセット１１に収納された半導
体ウエハ（以下ウエハと略称する）、２３はウエハカセ
ット１１にカッセットカバー１８を被せる方向を示す矢
印、２４は係止部材２０の係止操作方向を示す矢印、２
５は係止部材２０の係止解除方向を示す矢印である。

【００２０】次に動作について説明する。図２に示すよ
うに、ウエハカセット１１にウエハ２２が収納され、次
工程まで人手で搬送する場合、ウエハカセット１１にカ
セットカバー１８が矢印２３の方向に被せられ、係止部
材２０を矢印２４の方向に操作することによって、カセ
ットカバー１８とウエハカセット１１とを連結し、取手
２１を持って搬送される。カセットカバー１８とウエハ
カセット１１との連結は、図１に示すように、係止部材
１９を矢印２４の方向に向かって押圧することによって
行われ、図示はしないが、所定の手段で搬送時の振動に
よって係止部材２０が飛び出すのを防止するようにされ
ている。

【００２１】係止部材２０は図３に示すように、溝１７
に向けて矢印２４の方向に押圧することによって溝１７
と係合し、カセットカバー１８とウエハカセット１１と
が連結される。また、係止部材２０を矢印２５の方向に
引き出すことによって係合が解除されるので、搬送後の
カセットカバー１８の取外しは容易に行うことができ
る。

【００２２】なお、図１〜図３においては、係止部材２
０は溝１７を介して下部材１５と係合する場合について
説明したが、図４に示すように、取手２１を有するカセ
ットカバー２６の溝１６と対向する部分に切欠部２７を
形成し、この切欠部２７に係止部材２０を装着して溝１
６を介して上部材１４と係合させてもよい。

【００２３】以上のように実施の形態１によれば、ウエ
ハカセット１１の上側部と下側部とに形成され搬送用の
腕が挿脱される溝１６，１７のいずれか一方と係合して
カセットカバー１８とウエハカセット１１とを連結する
係合部材２０をカセットカバー１８に設けた構成とした
ので、カセットカバー１８の取手２１を持って、ウエハ
カセット掴み工具を用いることなく搬送することが可能
となる。また、カセットカバー２６はウエハカセット１
１の上部と係合する構成としたので、カセットカバー２
６は係合部のみに強度をもたせるだけで、他の部分は特
に強度を必要とせず、薄い材料で構成することが可能と
なり重量を軽く安価にすることが可能となる。

【００２４】実施の形態２．図５はこの発明の実施の形
態２によるウエハカセット装置の構成を示す図、図６は
図５中の係止部材の装着動作を示す図である。図５及び
図６において、１１〜１７，２１，２２，２６，２７
は、実施の形態１における図４で示したものと同様であ
るため、重複する部分の説明は省略する。なお、図５は
図４とは係止部材のみが異なるものである。

【００２５】図５及び図６において、２８はカセットカ
バー２６の切欠部２７に挿脱可能に装着された一対の係
止部材で、各係止部材２８は図６に示すように、溝１５
に沿って平行に矢印２９の方向に両側から挿入すると、
係止部材２８によって溝１６を介して上部材１４とカセ
ットカバー２６とが連結される。そして、係合の解除は
図６に矢印３０で示す方向に操作することによって行わ
れる。

【００２６】なお、各係止部材２８は図６に示す係合前
の状態でも、脱落しないように適宜の手段でカセットカ
バー２６と係合されており、さらに、溝１６と係合した
状態では搬送時の振動によって脱落しないように対策が
施されている。また、実施の形態２においては、分割さ
れた係止部材２８で上部材１４とカセットケース２６と
を係止するようにしたが、下部材１５とカセットカバー
とを係止することも可能である。

【００２７】以上のように実施の形態２によれば、上部
材１４とカセットカバー２６とを係止する係止部材２８
を長さ方向に分割し、かつ、溝１６と平行に挿脱するよ
うにしたので、実施の形態１における図４に示したもの
と同様の効果を得ることは勿論、溝２７と平行に操作す
るので、配置間隔の狭い場所でもウエハカセット１１と
カセットカバー２６の連結及び開離が可能となる。

【００２８】実施の形態３．図７はこの発明の実施の形
態３によるウエハカセット装置の構成を示す斜視図、図
８は図１のウエハカセット装置の上面図である。図７及
び図８において、１１〜１７，２０，２１，２２，２６
は、実施の形態１における 図４に示したものと同様で
あるため、重複する部分の説明は省略する。なお、図４
とはカセットカバー及びウエハ押さえのみが異なる。

【００２９】各図において、３１はウエハカセット１１
に被せられるカセットケースで、上部に取手２１が取付
けられている。３２は上部材１４の溝１６と対向した位
置に形成され係止部材２０が装着される切欠部、３３は
周壁部と上部にまたがって形成された所定の幅を有する
切欠部で、ウエハ２２が挿入される側に設けられてい
る。３４は切欠部３３に着脱可能に嵌着されたＬ字状の
ウエハ押さえで、挿入されたウエハ２２と対向するよう
に配置されている。３５はウエハ押さえ３４に接着剤等
で固着された弾性部材、３６は弾性部材３５と接着剤等
で固着された接触部材で、ウエハ２２と接触してウエハ
２２の移動を阻止するように形成されている。なお、３
７はウエハ押さえ３４を嵌着する方向、３８は取外し方
向をそれぞれ示す矢印である。

【００３０】次に動作について説明する。ウエハ２２が
挿入されたウエハカセット１１にカセットカバー３１を
被せ、係止部材２０で溝１６を介してカセットケース３
１を上部材１４と連結する。次にウエハ押さえ３４を矢
印３７の方向に挿入し、溝３３に嵌着すると、接触部材
３６は弾性部材３４を介して弾性的にウエハ２２と接触
する。

【００３１】以上のように実施の形態３によれば、ウエ
ハカセット１１とカセットカバー３１とを係止部材２０
で係止するとともに、ウエハ押さえ３４でウエハ２２の
ガタツキを防止するので、実施の形態１及び２と同様の
効果を得ることは勿論、搬送時のウエハ２２の損傷を防
止することが可能となる。

【００３２】実施の形態４．図９はこの発明の実施の形
態４によるウエハカセット装置を示す上面図で、実施の
形態１及び２とはカセットケースのみが異なるものであ
るため、他の部分の説明は省略する。図において、３９
はウエハカセット１１に被せられたカセットカバーで、
図示はしないが、係止部材２０を装着する切欠きが設け
られている。４０はウエハカバー３９の内側に上下に延
在して形成された案内部材で、ウエハカセット１１の上
部材１４と下部材１５との外周部で、カセットカバー３
９との対向距離が大きい所定の個所と対向し、所定の長
さの帯状で複数個所に配置されている。そして、このカ
セットカバー３９をウエハカセット１１に被せる場合、
カセットカバー３９の案内部材４０はウエハカセット１
１の外周と接触しながら被せられる。

【００３３】以上のように実施の形態４によれば、カセ
ットカバー３９は複数の案内部材４０がウエハカセット
１１と接触しながら被せられるので、ウエハ２２とは接
触することなくウエハ２２の損傷を防止することが可能
となる。

【００３４】実施の形態５．図１０はこの発明の実施の
形態５によるウエハカセット装置を示す上面図で、実施
の形態１及び２とは、カセットケースとカセットカバー
との間に反発部材を配置したことのみが異なるので、他
の部分の説明は省略する。図において、４１はウエハカ
セット１１に被せられたカセットカバーで、図示はしな
いが係止部材２０を装着する切欠きが設けられている。
４２はウエハカセット１１のウエハ支持部１２の外周側
に固着して配置された第１の磁石、４３は第１の磁石４
２の両側に間隔を介して上部材１４及び下部材１５の外
周に固着して配置され第１の磁石４２と同一の極性を有
する第２の磁石、４４，４５はそれぞれカセットカバー
の内側に各磁石４２，４３と対向して上下に延在して固
着して配置された第３及び第４の磁石で、各磁石４２，
４３と同一の極性を有し、各磁石４２、４３と反発する
ようにされている。そして、このカセットカバー４１を
ウエハカセット１１に被せるときは、各磁石４２と４３
及び，４４，４５の反発力によって非接触で間隔を形成
して被せられる。

【００３５】以上のように実施の形態５によれば、カセ
ットケース１１の外周に反発部材として複数の第１及び
第２の磁石４２，４３を，カセットカバー４１の内側に
第３及び第４の磁石４４，４５をそれぞれ配置した構成
としたので、ウエハカセット１１にカセットカバー４１
を被せるとき、カセットカバー４１の内側がウエハ２２
と接触するのを各磁石４２，４３，４４，４５の反発力
により防止することができるので、ウエハ２２の損傷を
防止することが可能となる。

【００３６】実施の形態６．図１１はこの発明の実施の
形態６によるウエハカセット装置の構成を示す斜視図。
図１２は図１１のウエハカセットケースのカセットカバ
ー装着状態を示す斜視図である。なお各図において、１
１〜１７，２２は実施の形態１における図１のものと同
様のため重複する部分の説明を省略する。

【００３７】４６は上端が半円形の蓋部材４７で閉塞さ
れウエハカセット１１に対応した所定長さの円筒の一半
を形成するケース部材、４８は内側の下側部に固着され
た係止部材で、下部材１５の溝１７に挿脱可能に配置さ
れている。４９はケース部材４６を傾動可能な円筒状に
連結する接合部材としてのヒンジ、５０は所定の蓋部材
４７に取付けられた取手である。そして、上記４６〜５
０でカセットカバー５１が形成される。５２，５３は両
ケース部材４６の対向する下側部にそれぞれ固着された
係合部材で、両ケース部材４６が当接状態では連結部を
形成し、両ケース部材４６を開離する場合には容易に連
結が解除されるようにされている。なお、５４はカセッ
トケース５１の装着方向を、５５は開離方向をそれぞれ
示す矢印である。

【００３８】次に動作について説明する。カセットカバ
ー５１のケース部材４６の下部を開離させた状態で、例
えば、図１１に示すように片側のケース部材４６をウエ
ハカセット１１に被せ、係止部材４８を溝１５に係止す
る。次に反対側のケース部材４６を矢印５４の方向に操
作してウエハカセット１１に被せ、係止部材４６を溝１
５に係止することにより、カセットカバー５１がカセッ
トケース１１に被せられ、両ケース部材４６が当接する
と係合部材５２，５３によって連結される。なお、カセ
ットカバー５１を取り外す場合は、係合部材５２，５３
の連結を解除し、ケース部材４６を矢印５５の方向に操
作することによって行われる。

【００３９】以上のように実施の形態６によれば、長手
方向に分割された一対のカバー部材４６でカセットカバ
ー５１を形成し、それぞれに溝１７と係合する係止部材
４８を設け、両ケース部材４６間を連結する係合部材５
２，５３を設けたので、両ケース部材４６をウエハカセ
ット１１に容易に被せることができ、同時にウエハカセ
ット１１との係合部が形成されるので、カセットケース
の中にウエハカセット１１を挿入することなく、ウエハ
の搬送が可能となる。

【００４０】実施の形態７．上記実施の形態１〜６にお
いては、カセットケース及びカセットカバーは透明部材
で形成し、内部を目視可能としたが、透明部材に限らず
不透明な樹脂部材や金属部材で形成しても、上記各実施
の形態と同様の効果を得ることは言うまでもない。

【００４１】

【発明の効果】以上のようにこの発明の請求項１によれ
ば、水平方向に挿入されるウエハを直角方向の両側で支
持するウエハ保持部材、ウエハ保持部材の上部及び下部
とそれぞれ連結して配置され搬送用腕が挿脱可能な溝が
形成された上部材及び下部材を有するウエハカセット
と、閉塞された一端側に取手を有し開口された他端を介
してウエハカセットに被せられるカセットカバーと、カ
セットカバーの外周部の溝の少なくともいずれか一方と
対応した位置に溝と直角方向に進退可能に配置され溝を
介してウエハカセットと係合する係止部材を備えた構成
としたので、カセットケースの中にウエハカセットを収
容することなくウエハを搬送することができ、ウエハの
大口径化にも対応可能なウエハカセット装置を提供する
ことができる。

【００４２】また、この発明の請求項２によれば、水平
方向に挿入されるウエハを直角方向の両側で支持するウ
エハ保持部材、ウエハ保持部材の上部及び下部とそれぞ
れ連結して配置され搬送用腕が挿脱可能な溝が形成され
た上部材及び下部材を有するウエハカセットと、閉塞さ
れた一端側に取手を有し開口された他端を介してウエハ
カセットに被せられるカセットカバーと、カセットカバ
ーの外周部の溝の少なくともいずれか一方と対応した位
置に溝に沿って進退可能に配置され溝を介してウエハカ
セットと係合する係止部材を備えた構成としたので、カ
セットケースの中にウエハカセットを収容することなく
ウエハを搬送することができ、ウエハの大口径化にも対
応可能なウエハカセット装置を提供することができる。

【００４３】また、この発明の請求項３によれば、請求
項１または２のいずれかにおいて、カセットカバーとウ
エハカセット間にはカセットカバーの挿脱を案内する複
数の案内部材を備えた構成としたので、ウエハカセット
にカセットカバーを被せるときにウエハの損傷を防止す
るとともに、カセットケースの中にウエハカセットを収
容することなくウエハを搬送することができ、ウエハの
大口径化にも対応可能なウエハカセット装置を提供する
ことができる。

【００４４】また、この発明の請求項４によれば、請求
項３において、案内部材はカセットカバーの内周部の上
下に沿って延在し先端がウエハカセットに当接可能な帯
状部材で構成したことにより、ウエハカセットにカセッ
トカバーを被せるときウエハの損傷を防止するととも
に、カセットケースの中にウエハカセットを収容するこ
となくウエハを搬送することができ、ウエハの大口径化
にも対応可能なウエハカセット装置を提供することがで
きる。

【００４５】また、この発明の請求項５によれば、請求
項３において、案内部材はカセットカバーの内周部及び
ウエハカセットの外周部のそれぞれ対応する位置に所定
の間隔を介して配置され相互に反発する磁石部材で構成
したことにより、ウエハカセットにカセットカバーを被
せるときウエハの損傷を防止するとともに、カセットケ
ースの中にウエハカセットを収容することなくウエハを
搬送することができ、ウエハの大口径化にも対応可能な
ウエハカセット装置を提供することができる。

【００４６】また、この発明の請求項６によれば、請求
項１または２のいずれかにおいて、カセットカバーは外
周部のウエハと対向する位置に上下に延在して形成さ
れ、ウエハと弾性的に接触するウエハ押さえが嵌着され
る切欠部を備えた構成としたので、カセットケースの中
にウエハカセットを収容することなくウエハを搬送する
ことができ、ウエハの大口径化に対応可能であることは
勿論、搬送時におけるウエハのガタツキを防止すること
が可能なウエハカセット装置を提供することができる。

【００４７】また、この発明の請求項７によれば、水平
方向に挿入されるウエハを直角方向の両側で支持するウ
エハ保持部材、ウエハ保持部材の上部及び下部とそれぞ
れ連結して配置され搬送用腕が挿脱可能な溝が形成され
た上部材及び下部材を有するウエハカセットと、一端側
が閉塞された筒状の各一半を形成し一端側のいずれか一
方に取手を有するとともに一端側を支点として他端側が
開離可能な一対のカバー部材よりなるカセットカバー、
各カバー部材の内側の下部材の溝と対向した位置に配置
され溝を介してカセットケースと係合する係止部材、各
カバー部材の対向する下側部に配置され各カバー部材間
を係合する係合部材を備えた構成としたので、カセット
ケースの中にウエハカセットを収容することなくウエハ
を搬送することができ、ウエハの大口径化にも対応可能
なウエハカセット装置を提供することができる。

【００４８】また、この発明の請求項８によれば、ウエ
ハカセットにウエハを挿入する工程、ウエハカセットに
カセットカバーを被せる工程、係止部材を介してカセッ
トカバーとウエハカセットとを連結する工程、カセット
カバーの取手を持って搬送する工程を含むようにしたの
で、カセットケースの中にウエハカセットを収容するこ
となくウエハを搬送することができ、ウエハの大口径化
にも対応可能なウエハの収納方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１によるウエハカセッ
ト装置の構成を示す斜視図である。

【図２】 図１におけるカセットカバーを被せた状態を
示す図である。

【図３】 図１における係止部材の動作を示す図であ
る。

【図４】 図１とは異なる係止部材の装着状態を示す図
である。

【図５】 この発明の実施の形態２によるウエハカセッ
ト装置の構成を示す斜視図である。

【図６】 図５中の係止部材の動作を示す図である。

【図７】 この発明の実施の形態３によるウエハカセッ
ト装置の構成を示す斜視図である。

【図８】 図７のウエハカセット装置の上面図である。

【図９】 この発明の実施の形態４によるウエハカセッ
ト装置の構成を示す上面図である。

【図１０】 この発明の実施の形態５によるウエハカセ
ット装置の構成を示す上面図である。

【図１１】 この発明の実施の形態６によるウエハカセ
ット装置の構成を示す斜視図である。

【図１２】 図１１のウエハカセット装置のカセットカ
バー装着状態を示す斜視図である。

【図１３】 従来のウエハカセット装置を示す斜視図で
ある。

【図１４】 図１３とは異なる従来のウエハカセット装
置を示す斜視図である。

【符号の説明】

１１ ウエハカセット、１２ ウエハ保持部材、１４
上部材、１５ 下部材、１６，１７ 溝、１８ カセッ
トカバー、２０ 係止部材、２２ ウエハ、２６ カセ
ットカバー、２８ 係止部材、３１ カセットカバー、
３３ 切欠部、３４ ウエハ押さえ、３９ カセットカ
バー、４０ 案内部材、４１ カセットカバー、４２，
４３ 第１の磁石部材、４４，４５ 第２の磁石部材、
４６ ケース部材、４８ 係止部材、５１ カセットカ
バー、５２，５３ 係合部材。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA16 BB04 CB01 DA02 DA05 EA02X EA04X EA06X FA01 FA03 FA09 FA19 GA01 GA20 5F031 CA02 DA01 DA19 EA12

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平方向に挿入されるウエハを直角方向
   の両側で支持するウエハ保持部材、上記ウエハ保持部材
   の上部及び下部とそれぞれ連結して配置され搬送用腕が
   挿脱可能な溝または段差が形成された上部材及び下部材
   を有するウエハカセットと、閉塞された一端側に取手を
   有し開口された他端を介して上記ウエハカセットに被せ
   られるカセットカバーと、上記カセットカバーの外周部
   の上記溝の少なくともいずれか一方と対応した位置に上
   記溝と直角方向に進退可能に配置され上記溝を介して上
   記ウエハカセットと係合する係止部材を備えたことを特
   徴とするウエハカセット装置。
2. 【請求項２】 水平方向に挿入されるウエハを直角方向
   の両側で支持するウエハ保持部材、上記ウエハ保持部材
   の上部及び下部とそれぞれ連結して配置され搬送用腕が
   挿脱可能な溝または段差が形成された上部材及び下部材
   を有するウエハカセットと、閉塞された一端側に取手を
   有し開口された他端を介して上記ウエハカセットに被せ
   られるカセットカバーと、上記カセットカバーの外周部
   の上記溝の少なくともいずれか一方と対応した位置に上
   記溝に沿って進退可能に配置され上記溝を介して上記ウ
   エハカセットと係合する係止部材を備えたことを特徴と
   するウエハカセット装置。
3. 【請求項３】 カセットカバーとウエハカセット間には
   上記カセットカバーの挿脱を案内する複数の案内部材を
   備えていることを特徴とする請求項１または２のいずれ
   かに記載のウエハカセットケース。
4. 【請求項４】 案内部材はカセットカバーの内周部の上
   下に沿って延在し先端がウエハカセットに当接可能な帯
   状部材で構成されていることを特徴とする請求項３に記
   載のウエハカセット装置。
5. 【請求項５】 案内部材はカセットカバーの内周部及び
   ウエハカセットの外周部のそれぞれ対応する位置に所定
   の間隔を介して配置され相互に反発する磁石部材で構成
   されていることを特徴とする請求項３に記載のウエハカ
   セット装置。
6. 【請求項６】 カセットカバーは外周部のウエハと対向
   する位置に上下に延在して形成され、上記ウエハと弾性
   的に接触するウエハ押さえが嵌着される切欠部を備えた
   ことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の
   ウエハカセット装置。
7. 【請求項７】 水平方向に挿入されるウエハを直角方向
   の両側で支持するウエハ保持部材、上記ウエハ保持部材
   の上部及び下部とそれぞれ連結して配置され搬送用腕が
   挿脱可能な溝が形成された上部材及び下部材を有するウ
   エハカセットと、一端側が閉塞された筒状の各一半を形
   成し上記一端側のいずれか一方に取手を有するとともに
   上記一端側を支点として他端側が開離可能な一対のカバ
   ー部材よりなるカセットカバー、上記各カバー部材の内
   側の上記下部材の溝と対向した位置に配置され上記溝を
   介して上記カセットケースと係合する係止部材、上記各
   カバー部材が対向する下側部に配置され上記各カバー部
   材間を係合する係合部材を備えたことを特徴とするウエ
   ハカセットケース。
8. 【請求項８】 ウエハカセットにウエハを挿入する工
   程、上記ウエハカセットにカセットカバーを被せる工
   程、係止部材を介して上記カセットカバーと上記ウエハ
   カセットとを連結する工程、上記カセットカバーの取手
   を持って搬送する工程を含むウエハの収納方法。