JP2016149403A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持する被加工物保持手段と、被加工物保持手段に保持された被加工物を切削する回転可能に構成された切削ブレードを備えた切削手段と、切削手段の切削ブレードによる切削加工部に切削水を供給する切削水供給機構とを具備する切削装置であって、切削手段の切削ブレードによる切削加工部に供給された切削水を受け止める切削水受け止め手段と、切削水受け止め手段によって受け止められた切削水に混入されている屑を除去する屑除去手段と、屑除去手段によって屑が除去された切削水を該切削水供給機構に送るポンプを備えている。
【選択図】図2
Description
該切削手段の該切削ブレードによる切削加工部に供給された切削水を受け止める切削水受け止め手段と、該切削水受け止め手段によって受け止められた切削水に混入されている屑を除去する屑除去手段と、該屑除去手段によって屑が除去された切削水を該切削水供給機構に送るポンプを備えている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
カセット載置テーブル9上に載置されたカセット11の所定位置に収容されている半導体ウエーハW(環状のフレームFにダイシングテープTを介して支持されている状態)は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル9が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段13が進退作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハWを仮置きテーブル12上に搬出する。仮置きテーブル12に搬出された半導体ウエーハWは、第1の搬送手段14の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。
上記切削工程を最初に実施する際には、切削水供給機構5の切削水貯留タンク521には切削水が貯留されていないので、純水供給手段53の純水送給ポンプ532を作動して純水貯留タンク531に貯留されている純水を切削水として切削ブレード43の環状の切刃432による切削加工部に供給する。このようにして切削ブレード43の環状の切刃432による切削加工部に供給された切削水は、切削水受け止め手段54によって受け止められる。切削水受け止め手段54によって受け止められた切削水は、第1の循環ポンプ55の作動により屑除去手段56に導入される。屑除去手段56に導入された切削水は、電動モーター563を作動して回転羽562を回転することにより上述したように混入されている屑が遠心分離され屑収容室561cに収容される。このようにして屑が分離され除去された切削水は、第2の循環ポンプ57の作動により切り替え手段59を介して切削水貯留タンク521に送られる。そして、切削水貯留タンク521に送られた切削水の貯水量が循環可能な量に達したら、純水供給手段53の純水送給ポンプ532の作動を停止する。このようにして、切削水貯留タンク521の貯水量が循環可能な量に達し純水供給手段53の純水送給ポンプ532の作動を停止したならば、切削水送給手段52の切削水送給ポンプ522を作動して切削水貯留タンク521に貯留された切削水を切削水として切削ブレード43の環状の切刃432による切削加工部に供給する。なお、必要に応じて例えば循環する切削水の汚れが増した場合、切り替え手段59を切り替えて第2の循環ポンプ57によって送られる切削水を純水生成手段58に送る。純水生成手段58に送られた切削水は、濾過フィルター581と紫外線照射器582およびイオン交換樹脂583を通ることにより純水に生成されて切削水貯留タンク521に送られる。また、定期的に屑除去手段56の電磁開閉弁565を開路することにより、屑収容室561cに収容された屑を切削水とともに排出する。
そして、蒸発等によって循環する切削水が減少した場合は、純水供給手段53の純水送給ポンプ532を作動して純水貯留タンク531に貯留されている純水を切削水循環経路570に導入する。
3:チャックテーブル+
4:スピンドルユニット
43:切削ブレード
44:ブレードカバー
5:切削水供給機構
52:切削水送給手段
521:切削水貯留タンク
522:切削水送給ポンプ
53:純水供給手段
531:純水貯留タンク
532:純水送給ポンプ
54:切削水受け止め手段
55:第1の循環ポンプ
56:屑除去手段
57:第2の循環ポンプ
58:純水生成手段
59:切り替え手段
7:撮像手段
11:カセット
12:仮置きテーブル
13:搬出・搬入手段
14:第1の搬送手段
15:洗浄手段
16:第2の搬送手段
W:半導体ウエーハ
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
Claims (2)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を切削する回転可能に構成された切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段の切削ブレードによる切削加工部に切削水を供給する切削水供給機構と、を具備する切削装置であって、
該切削手段の該切削ブレードによる切削加工部に供給された切削水を受け止める切削水受け止め手段と、該切削水受け止め手段によって受け止められた切削水に混入されている屑を除去する屑除去手段と、該屑除去手段によって屑が除去された切削水を該切削水供給機構に送るポンプを備えている、
ことを特徴とする切削装置。 - 該屑除去手段は、切削水を渦状に回転させ遠心力によって屑と水とを分離する遠心分離機からなっている、請求項1記載の切削装置。
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