JP5839887B2 - 加工装置 - Google Patents
加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5839887B2 JP5839887B2 JP2011182342A JP2011182342A JP5839887B2 JP 5839887 B2 JP5839887 B2 JP 5839887B2 JP 2011182342 A JP2011182342 A JP 2011182342A JP 2011182342 A JP2011182342 A JP 2011182342A JP 5839887 B2 JP5839887 B2 JP 5839887B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- processing
- exhaust
- machining
- waste liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 36
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 32
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 27
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 27
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 19
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 39
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 7
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 5
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
Description
24 切削ユニット
28 切削ブレード
30 筐体
31 加工室
44 排気路
45 ファン
46 排気管
48 分離手段
50 下チャンバー
52 上チャンバー
54 分離チャンバー
60 隔壁
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工手段と被加工物とに加工液を供給する加工液供給手段と、該チャックテーブルと該加工手段と該加工液供給手段とを囲繞する加工室と、一端が該加工室に連通すると共に他端がファンに連通して該加工室内の雰囲気を排気する排気路とを備えた加工装置であって、
該加工室と該ファンとの間の該排気路中に配設され、該加工室から該排気路に流入した排気に含まれる異物を含む廃液を気体から分離する分離手段を更に具備し、
該分離手段は、漏斗状の下チャンバーと該下チャンバーの上端から立ち上がる円筒状の上チャンバーとで構成された分離チャンバーと、
該上チャンバーの側面に形成され、該加工室に連通する吸気口と、
該上チャンバーの上端に形成され、該ファンに連通する気体排出口と、
該上チャンバー内部に形成され、該吸気口から吸入された排気が該気体排出口へ直に流入することを防止する隔壁と、
該下チャンバーの下端に形成された廃液排出口と、を有し、
該吸気口から吸入された排気が該隔壁によって該上チャンバーの内周面に沿って流動した後に該下チャンバーの内周面に沿って流動して該分離チャンバー内に渦巻き気流が発生することで、該排気に含まれる異物を含む廃液が該排気から遠心分離作用で分離され該廃液排出口を介して排出されるとともに、該廃液が分離された該排気は該気体排出口を介して排出されることを特徴とする加工装置。 - 該隔壁は、排気の流路が該吸引口側より下流側で狭くなるように該上チャンバー内部に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011182342A JP5839887B2 (ja) | 2011-08-24 | 2011-08-24 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011182342A JP5839887B2 (ja) | 2011-08-24 | 2011-08-24 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013045868A JP2013045868A (ja) | 2013-03-04 |
JP5839887B2 true JP5839887B2 (ja) | 2016-01-06 |
Family
ID=48009547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011182342A Active JP5839887B2 (ja) | 2011-08-24 | 2011-08-24 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5839887B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6441704B2 (ja) * | 2015-02-10 | 2018-12-19 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6985034B2 (ja) * | 2017-06-21 | 2021-12-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000124165A (ja) * | 1998-10-19 | 2000-04-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2004001118A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 粉塵処理装置および粉塵処理装置を装備した加工機 |
-
2011
- 2011-08-24 JP JP2011182342A patent/JP5839887B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013045868A (ja) | 2013-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6101140B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6255238B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2012223855A (ja) | 加工装置 | |
JP5415184B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2007216377A (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
JP2011104726A (ja) | 切削装置 | |
JP5984565B2 (ja) | 加工装置の排気ダクトアセンブリ | |
JP2013022712A (ja) | 加工装置 | |
JP7071783B2 (ja) | 切削装置 | |
WO2008004365A1 (fr) | Appareil et procédé de découpage en dés | |
JP5839887B2 (ja) | 加工装置 | |
TW201805108A (zh) | 切削裝置 | |
JP5800666B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2014034068A (ja) | 加工装置 | |
JP7139051B2 (ja) | 処理装置 | |
JP5968185B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6267977B2 (ja) | 切削方法 | |
JP5660903B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6887722B2 (ja) | ウェーハの加工方法及び切削装置 | |
CN108568915B (zh) | 切削刀具和安装凸缘 | |
KR20160098073A (ko) | 절삭 장치 | |
JP7416600B2 (ja) | 切削装置 | |
JP7292164B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2024093530A (ja) | 加工装置 | |
JP2013198952A (ja) | 切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140718 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150721 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151110 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5839887 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |