JP2011104726A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 切削装置であって、切削ブレードに供給された切削液が切削ブレードの回転に伴って飛散する側に配設された吸引口と、一端が該吸引口に接続されて吸引口を介して吸引された切削液が流動する流入路と、該流入路の他端が接続される第1開口部と、該第1開口部より上方に開口された第2開口部と、該第1開口部と同一高さ又は該第1開口部より低位置に形成され、該第1開口部を介して流入した切削液を排出する第3開口部とを有する流体分離機構本体と、該流体分離機構本体の該第2開口部に接続された吸引源と、一端が該第3開口部に接続されて他端に該第1開口部と同一高さ又は該第1開口部より低位置に形成された排出口を有し、該流体分離機構本体の液体を排出させる排出路とを具備し、該排出路は、該排出口を常時液体で満たして外気の流入を防止する液体溜部を有することを特徴とする。
【選択図】図6
Description
24 切削手段(切削ユニット)
28 切削ブレード
56 プール液供給手段
58 ブレードカバー
74,74A,74B 廃液回収手段
76 流入路
78,78A,78B 流体分離機構
80 吸引源
82 タンク(流体分離機構本体)
86 液体溜部
88 液溜容器
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードを回転させるスピンドルとを含む切削手段と、該切削ブレードに切削液を供給する切削液供給手段と、を備えた切削装置であって、
該切削ブレードに供給された該切削液が該切削ブレードの回転に伴って飛散する側に配設された吸引口と、
一端が該吸引口に接続されて該吸引口を介して吸引された該切削液が流動する流入路と、
該流入路の他端が接続される第1開口部と、該第1開口部より上方に開口された第2開口部と、該第2開口部より低位置であり且つ該第1開口部と同一高さ又は該第1開口部より低位置に形成され、該第1開口部を介して流入した該切削液を排出する第3開口部とを有する流体分離機構本体と、
該流体分離機構本体の該第2開口部に接続された吸引源と、
一端が該第3開口部に接続されて他端に該第1開口部と同一高さ又は該第1開口部より低位置に形成された排出口を有し、該流体分離機構本体内の該切削液を排出させる排出路とを具備し、
該排出路は、該排出口を常時液体で満たして外気の流入を防止する液体溜部を有することを特徴とする切削装置。
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