JP5984565B2 - 加工装置の排気ダクトアセンブリ - Google Patents
加工装置の排気ダクトアセンブリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5984565B2 JP5984565B2 JP2012175317A JP2012175317A JP5984565B2 JP 5984565 B2 JP5984565 B2 JP 5984565B2 JP 2012175317 A JP2012175317 A JP 2012175317A JP 2012175317 A JP2012175317 A JP 2012175317A JP 5984565 B2 JP5984565 B2 JP 5984565B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- exhaust
- processing
- waste liquid
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 79
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 66
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 21
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 41
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 14
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 7
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
24 切削ユニット
28 切削ブレード
30 筐体
31 加工室
44 排気路
45 ファン
46 排気管(第2ダクト)
48 分離手段
50 下チャンバー
52 上チャンバー
54 分離チャンバー
60 隔壁
68,68A 排気ダクトアセンブリ
70 第1ダクト
74 漏斗部
80 液体排出手段
82 廃液受け容器
84 第2の液体排出手段
90 第3ダクト
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工液を供給しながら加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを囲繞する加工室と、該加工室に連通され加工屑及び廃液を含んだ該加工室内の雰囲気を排気する排気路と、該排気路の途中に配設されたファンと、該ファンと該加工室との間の該排気路に配設された排気を気体と液体とに分離する分離手段と、を有する加工装置の該排気路に該ファンの下流側で接続される排気ダクトアセンブリであって、
上端が雰囲気を吸引する排気吸引源に連通し、下端に液体排出手段を有する実質上垂直に伸長する第1ダクトと、
一端が加工装置の該排気路に連通し、他端が該液体排出手段より上方で該第1ダクトに連結される第2ダクトと、を備え、
該第1ダクトの断面積が該第2ダクトの断面積の1.5倍以上であることを特徴とする加工装置の排気ダクトアセンブリ。 - 前記第2ダクトとの連結部より上方の第1ダクト内に配設された逆円錐形状の漏斗部を更に備え、
該漏斗部により前記雰囲気中の廃液が該第1ダクトの内壁を伝わって上昇し前記排気吸引源に侵入することを抑制する請求項1記載の加工装置の排気ダクトアセンブリ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012175317A JP5984565B2 (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 加工装置の排気ダクトアセンブリ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012175317A JP5984565B2 (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 加工装置の排気ダクトアセンブリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014034069A JP2014034069A (ja) | 2014-02-24 |
JP5984565B2 true JP5984565B2 (ja) | 2016-09-06 |
Family
ID=50283384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012175317A Active JP5984565B2 (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 加工装置の排気ダクトアセンブリ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5984565B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019028951A1 (zh) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | 南通耀龙金属制造有限公司 | 一种管道抛光设备用通风除尘装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105328573A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-02-17 | 陈美青 | 全方位吸尘打磨工作台 |
JP7034543B2 (ja) * | 2017-10-13 | 2022-03-14 | 株式会社ディスコ | バイト切削装置 |
JP7333749B2 (ja) * | 2019-12-13 | 2023-08-25 | 株式会社ディスコ | 吸引力の測定方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS549067A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-23 | Nippon Steel Corp | Air-liquid separtor |
JPH05322383A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Daikin Ind Ltd | 気液分離器 |
JP4170428B2 (ja) * | 1997-12-25 | 2008-10-22 | 株式会社ディスコ | 排気装置 |
JP4326200B2 (ja) * | 2002-09-25 | 2009-09-02 | 三菱重工業株式会社 | ブローダウンタンク |
JP4695215B1 (ja) * | 2010-03-05 | 2011-06-08 | 独立行政法人石油天然ガス・金属鉱物資源機構 | 気液分離器及び流量計測装置 |
-
2012
- 2012-08-07 JP JP2012175317A patent/JP5984565B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019028951A1 (zh) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | 南通耀龙金属制造有限公司 | 一种管道抛光设备用通风除尘装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014034069A (ja) | 2014-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6101140B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5511325B2 (ja) | 切削装置 | |
TWI630976B (zh) | 切削裝置 | |
JP2012223855A (ja) | 加工装置 | |
JP5415184B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5984565B2 (ja) | 加工装置の排気ダクトアセンブリ | |
JP2007216377A (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
JP2011031374A (ja) | 切削装置 | |
JP2013022712A (ja) | 加工装置 | |
JP7071783B2 (ja) | 切削装置 | |
TWI397955B (zh) | The cutting device of the workpiece | |
WO2008004365A1 (fr) | Appareil et procédé de découpage en dés | |
TW201805108A (zh) | 切削裝置 | |
JP5800666B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5839887B2 (ja) | 加工装置 | |
JP7139051B2 (ja) | 処理装置 | |
JP2014034068A (ja) | 加工装置 | |
JP5968185B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5660903B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6887722B2 (ja) | ウェーハの加工方法及び切削装置 | |
JP2015193054A (ja) | 気液分離器、及び、基板処理装置 | |
TWI766110B (zh) | 切削刀具切削裝置 | |
JP7416600B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2024093530A (ja) | 加工装置 | |
CN114654366A (zh) | 切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150722 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160517 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160802 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5984565 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |