JP2007069280A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の切削装置は,被加工物12を切削する切削ブレード22と;被加工物12の加工点に切削液を供給する切削液供給手段26と;供給された切削液が切削により生じた切削屑を含んだ排液となり,切削屑が被加工物表面12aに付着する前に被加工物表面12aから排出されるべく,切削ブレード22の回転に起因して排液が飛散する側に,切削ブレード22と被加工物12とに隣接して排液回収先端部64が位置づけられ,排液が飛散する力によって排液を被加工物表面12aから排出させる排液ガイド部62を有する支持部材40と;相互に対面する被加工物表面12aと支持部材底面40aとの隙間Sに切削ブレード22側に向けて液体を噴射して液体を満たし,当該隙間Sに排液が進入することを阻止する液体噴射手段70と;を備える。
【選択図】図4
Description
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる切削装置の一例であるダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
12 被加工物
12a 被加工物の表面
20 切削ユニット
22 切削ブレード
24 スピンドル
26 切削液供給ノズル
28 ブレードカバー
30 切削液供給路
32,34 液体供給路
40 支持部材
40a 支持部材の底面
50 排出部材
52 排出補助部材
54 連結部材
56 吸引手段
60 排液排出口
62 排液ガイド部
64 排液回収先端部
70 液体噴射口
D 排液
W 噴射された液体
S 支持部材の底面と被加工物の表面との隙間
Claims (4)
- 被加工物を保持する保持手段と;スピンドルの先端部に装着され,前記被加工物を切削する切削ブレードと;前記切削ブレードの外周を覆うように配設されたブレードカバーと;前記被加工物の加工点に切削液を供給する切削液供給手段と;前記切削液供給手段から供給された切削液が,前記切削ブレードによる前記被加工物の切削により生じた切削屑を含んだ排液となり,前記切削屑が前記被加工物の表面を浮遊して付着する前に前記被加工物の表面から排出されるべく,前記切削ブレードの回転に起因して前記排液が飛散する側に,前記切削ブレードと前記被加工物とに隣接して排液回収先端部が位置づけられ,前記排液が飛散する力によって前記排液を前記被加工物の表面から排出させる排液ガイド部を有する支持部材と;を備えた切削装置において:
前記被加工物の表面と対面する前記支持部材の底面と,前記被加工物の表面との隙間に,前記切削ブレード側に向けて液体を噴射して,前記隙間に前記液体を満たすことによって,前記隙間に前記排液が進入することを阻止する液体噴射手段を備えることを特徴とする,切削装置。 - 前記支持部材と前記液体噴射手段は一体構成されており,
前記液体噴射手段の液体噴射口は,前記支持部材の底面に配設されることを特徴とする,請求項1に記載の切削装置。 - 前記液体噴射手段の液体噴射口は,前記支持部材の底面において前記スピンドルの軸方向に延びる直線状のスリットであることを特徴とする,請求項2に記載の切削装置。
- 前記支持部材は,前記切削ブレードの両側に配置される一対の前記切削液供給手段を支持しており,
前記支持部材の内部には,前記切削液を前記切削液供給手段に供給するための切削液供給路と,前記切削液と同一の液体を前記液体噴射手段に供給するために前記切削液供給路から分岐された液体供給路と,が形成されていることを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の切削装置。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009099940A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-05-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
JP2010062487A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 切削加工装置及び切削加工方法 |
JP2010110858A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保持テーブルおよび切削装置 |
JP2011016170A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011104726A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2015100909A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-04 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN108312369A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-07-24 | 深圳赛意法微电子有限公司 | 晶圆切割设备及晶圆切割方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58163615A (ja) * | 1982-03-24 | 1983-09-28 | 富士通株式会社 | ウエ−ハ切削方法 |
JPS621911A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-07 | 石川島播磨重工業株式会社 | 橋梁等の補修用作業車及びその架設方法 |
JPS6480506A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Hitachi Ltd | Dicer |
JPH01209104A (ja) * | 1988-02-17 | 1989-08-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JPH07115075A (ja) * | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Sony Corp | ウェーハのダイシング装置 |
JPH0817765A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Sony Corp | 半導体ウエハ用ダイシング装置 |
JP2003142431A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削水ノズル |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS621911U (ja) * | 1985-06-21 | 1987-01-08 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58163615A (ja) * | 1982-03-24 | 1983-09-28 | 富士通株式会社 | ウエ−ハ切削方法 |
JPS621911A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-07 | 石川島播磨重工業株式会社 | 橋梁等の補修用作業車及びその架設方法 |
JPS6480506A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Hitachi Ltd | Dicer |
JPH01209104A (ja) * | 1988-02-17 | 1989-08-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JPH07115075A (ja) * | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Sony Corp | ウェーハのダイシング装置 |
JPH0817765A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Sony Corp | 半導体ウエハ用ダイシング装置 |
JP2003142431A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削水ノズル |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009099940A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-05-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
JP2016122854A (ja) * | 2007-09-25 | 2016-07-07 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
JP2010062487A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 切削加工装置及び切削加工方法 |
JP2010110858A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保持テーブルおよび切削装置 |
JP2011016170A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011104726A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
TWI500473B (zh) * | 2009-11-18 | 2015-09-21 | Disco Corp | 切削裝置 |
JP2015100909A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-04 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN108312369A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-07-24 | 深圳赛意法微电子有限公司 | 晶圆切割设备及晶圆切割方法 |
CN108312369B (zh) * | 2018-03-28 | 2024-05-07 | 深圳赛意法微电子有限公司 | 晶圆切割设备及晶圆切割方法 |
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