JPH02163677A - プローブカード装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は回路と接触する試験プローブを動かすための装
置をに関する。

発明の背景 最新のマイクロ回路を試験するための一般的な方法は、
回路の選定した試験位置に試験プローブを動かして接触
させることを含む。

プローブは回路の性能を解析するために試験器に結合さ
れる。試験中、一定の回路構成素子を変更することがで
きる。例え　　プローブを回路の適所に置いて、レーザ
トリミング技術を使用して回路のフィルム抵抗器素子の
形状を変化させることができる。

一般には、プローブ先端部がその中に突出しているいる
中央開口を有する剛性プローブカードにプローブを取り
付ける。プローブカードは装置により保持されてる。回
路を装置の近接部に搬送し、プローブ先端部が回路試験
箇所に接触するまで、装置によりプローブカードを回路
の方に動かす。

回路を試験した後、プローブカードを動かして回路から
離す。次いで、試験済回路を他の試験すべき回路と交換
する。

従来技術には、試験装置近傍に位置した回路に対し行き
来するプローブの動きを機械化した機構を使用する試験
装置がある。これらの機構は、米国特許第３．９９６．
５１７号（ファーガソン等）と第３、７８７．７６８号
（クボタ等）に記載の通り、一般にプローブを動かして
回路と接触させる機能を果たす。しかし、今までに存在
する機構は、回路試験の高い処理量をこなすに必要とさ
れる速度、正確さ、および多様性を欠いている。

発明の概要 本発明は、プローブカードを回路に向かって及び回路か
ら　離して動かす装置を措向している。

装置は従来の機構より速い速度、高い正確さ、及び広い
多様性で操作される。

本発明に係る装置は、試験のだめの回路が位置を変え得
る剛性フレームを備えてる。キャリッジの各隅部は親ね
じナツトに結合されていて、そのナツトは親ねじにねじ
込まれている。プローブカードはキャリッジに取り付け
てある。

親ねじは剛性の連続的駆動リンク機構を介して相互に結
合されている。駆動リンク機構は偏心継ぎ手を介して客
観ねじにかつ同様な継ぎ手を介してモーフシャフトに連
結されている。結果として、モータンヤフトの回転は、
駆動リンク機構の往復運動により親ねじに伝達される。

その結果化じる親ねじの同時的回転は、親ねじの回転方
向に応じて、先導ナツトを親ねじに沿って上下に動かす
。

従って、キャリッジ（それに取り付けてあるプローブカ
ードを含めて）は、下方に動いて回路に向かい、又はそ
こから引き込まれて回路から離れる。

キャリッジを回路に向かって下方に動かすとき、プロー
ブカードに保持されているプローブの先端部は回路の試
験箇所に接触する。

はぼ振動を起こさずにプローブカードは回路に向かって
又は回路から離して急速に動く。振動が生じると、プロ
ーブ先端部の振動が消滅するまでに要する遅れ又は″セ
トリングタイム″′を試験操作に加える必要があるので
、処理量が減少する。

本発明に係る他の態様として、剛性駆動リンク機構は親
ねじの確実駆動を行う。その結果、非常に正確なキャリ
ッジ位置の変更が可能である。

本発明に係る他の態様として、駆動リンク機構と親ねじ
とが結合されている継ぎ手は親ねじ回転を動的に釣り合
うカウンターウェイトを有していて、剛性駆動リンク機
構が動いても装置の中で振動は発生しない。

本発明に係る他の態様として、キャリッジは、親ねじナ
ツトに剛に取り付けてある坦体プレートと、坦体プレー
トに可動に取り付けてあるプローブカードプレートで構
成されている。プローブカードプレートはプローブカー
ドを保持する。従って、プローブカード位置を調整する
ことができ、試験すべき回路に対して正確にプローブを
方位付けることができる。この点に関して、プローブカ
ードの回転位置を微細に変化させる手段が備えである。

本発明に係る他の態様として、クランプ組立体がプロー
ブカードを曲げることなくプローブカードプレートにプ
ローブカードを固定するためにクランプ組立体がプロー
ブカードプレートに取り付けてある。プローブカードプ
レートが解放されるとき、プローブカードプレートを落
下させないこと確実にする機構がクランプ組立体に含ま
れている。

本発明に係る他の態様として、装置の速度、正確さ、及
び精密さが、プログラマブルな制御装置により与えられ
る。更に、このような装置は、例えば試験すべき特定の
回路構成素子の高さの点に関し、プログラマブルである
。この装置をプログラムで操作すると、各試験済回路を
未試験回路と交換するとき、プローブの旅程を最小限に
することができる。このような旅程制御は処理量を増大
する。

実施例の詳説 第１図と第２図に示すように、本発明に係るプローブカ
ード装置２０は作業面２２に支持されている。

プローブカード装置２０は、試験位置と負荷／無負荷位
置との間を操縦具２４が往復動じて動く空間を作るよう
に構成されている。操縦具２４の頂部は回路基体２８を
固定する真空チャックを有する。試験すべき回路３０の
構成素子は基体２８の上面に保持されている。数種の回
路を基体保持することができる。

操縦具２４は、回路３０がテストプローブ３２の先端３
１に接近できる試験位置に図面では描かれている。

回路試験後、操縦具２４は負荷／無負荷位置（作業面２
２では位置Ｘとして示しである）に回路を動かす。その
位置はプローブカード装！２０から離れている。負荷／
無負荷位置では、試験済回路３０は試験されてない回路
と交換され、操縦具２４は試験位置に戻る。

試験位置に、又はから回路を搬送る適当な手段を本発明
に係るプローブカード装置２０と共に使用することもで
きる。好適には、オレゴン州ビーバートンのエレクトロ
・サイエンティフィク・インダストリーズにより製作さ
れたモデル４００（ｌ　レーザ　トリミング　装置と共
に人手できるような操縦具２４を使用するのが望ましい
。

プローブカード装置２０は剛性の金属フレーム３４を有
している。金属フレーム３４は２個の前部脚３８と１個
の後部壁３９とにより支持され、水平に配置間 されているベースプレート３６を備えている。ベースプ
レート３６は作業面２２の上に充分な距離離れて支持さ
れていて、操縦具が負荷／無負荷位置と試験位置との間
を動くとき、操縦具２４のための空間を与えている。参
考のため、装置２０の前面は図面で矢印３５で示される
側である。

ベースプレート３６は中央長方形開口３７を備えている
。フレーム３４の一方の側に、ベースプレート３６は開
口３７から外方に突出していて、以下に説明するように
駆動モータが取り付けてある突起部４０が設けである。

ベースプレート３６は平板のプローブカード４４が取り
付けてある可動キャリッジ４２を支持している。

プローブカード４４はプローブ３２と回路試験機（図示
してない）との間に信号を引き渡すために適当な導体パ
ターンとコネクタとを有している。プローブ３２はプロ
ーブカード４４に取り付けてあって、プローブ３２の先
端３１はプローブカード４４の切り抜き４８を貫通して
延びている。キャリッジ４２は、プローブ先端３工が試
験位置に存在する回路３０の試験位置に接触するまで、
下方に動く。

第１図から第４図に示すように、キヤ’１１　ｙジ４２
は坦体プレート５０とプローブカードプレート７６を備
ええている。プローブカードプレート７６は坦体プレー
ト５０の下に取り付けてある。坦体プレート５０は一般
に長方形の平面で、中央長方形開口５２を有している。

坦体プレート５０はその後部両隅部５６に後方に突出し
ている突出片５４を有している。親ねじブラケット６０
は各突出片５４の頂部面に固定しである。親ねじブラケ
ット６０は、開口３７の各隅の近傍にあるフレームベー
スプレート３６の下面に取り付けてある親ねじ組立体６
２に坦体プレート５０の関連後部隅を固定するために使
用されている。親ねじ組立体は以下に充分に説明する。

親ねじブラケット６０は平坦でかつ長方形端部６４（平
面で見て）と対向する環状端部６６とを有している。親
ねじブラケット６０の環状端部６６は中央ねじ山付き孔
６７を有している。客観ねじブラケット６０の長方形端
部６４は、坦体プレート５０の各突出片５４に形成され
た４個のねじ山付き孔と整列している４個の対となる孔
を有している。ねじ山付き固定具７０は坦体プレートの
突出片５４の頂部面に親ねじブラケット６０の長方形端
部６４を固定するために使用されていて、８親ねじブラ
ケット６０の環状端部６６は坦体プレート５０の側から
外方に突出している。親ねじブラケット６０の環状端部
６６は親ねじ組立体６２に係合している。

坦体プレート５０の各前面隅７２は、後部隅５６につい
て述べたのと同じように取り付けてある親ねじブラケッ
ト６０を有している。即ち、８親ねじブラケット６０の
長方形端部６４は固定具で取り付けてあって、環状端部
６６は坦体プレート５０から外方に突出していて、親ね
じ組立体６２と係合している。

親ねじ組立体６２に親ねじブラケット６０を介して取り
付けてある坦体プレート５０の４個の隅全部で、親ねじ
組立体６２は駆動されて、坦体プレート５０を」１方又
は下方に動かす。親ねじ組立体６２と関連の駆動手段の
特長は後に述べる。

プローブカードプレート７６は、角を落とした隅部（平
面で）とそこに形成された長方形中央間ロア９とを有す
る剛性の長方形プレートである。プローブカードプレー
ト７６は坦体プレート５０の下面に取り付けてある。ク
ランプ組立体７８はプローブカードプレート７６により
保持されて、プローブカード４４をプローブカードプレ
ート７６に固定している。

プローブカードプレート７６は調節自在に坦体プレート
５０に取り付けてあって、プローブカードプレート７６
の方位（従って、プローブカード４４とプローブ３２の
方位）は調節されて、プローブカード４４の下に位置す
る回路３０の試験位置の方位に一致することができる。

この点に関して、最新式写真率ばん製作技術により、回
路のある任意のバッチが、例えば基体の中心に対しであ
る任意の方位を有する構成素子で製作される。しかし、
方位を第２バツチの同一の回路の方位に正確に合致させ
ることはできない。従って、本発明に係るプローブカー
ドプレート７６はプローブカード４４の方位を変えるこ
とが可能であるように調整自在に取り付けてあって、プ
ローブ３２は各バッチの回路の試験位置に正確に接触す
る。

前述のことを図示するために、第２図で想像線Ｂ、は任
意のバッチの回路の特性軸を示している。

バッチの各回路は装置のキャリッジ４２の下の試験位置
に操縦具２４により連続的に送出される。線Ｂ。

は、例えば、基体に回路構成素子を装備ために使用され
るマスクの中心軸に一致する線である。従って、その回
路の全ての構成素子の位置はその軸Ｂ、に対して固定さ
れる。

想像線Ｂ２は、第１バツチにほぼ同一である第２バ７チ
の回路の特性軸を示している（即ち、線Ｂ２に対する第
２バッチ回路の構成素子の位置は、線Ｂ、に対する第１
バッチ回路構成素子の位置に合致する）。回路製作工程
における変動のために、特性軸Ｂ２は、第１バツチの回
路特性軸Ｂ、に対しての不整列となる。即ち、軸Ｂ２は
小さな角７７だけ軸Ｂ、からオフセットするく第２図に
では便宜上誇張しである。）。

プローブ３２の方位を調整し、それによりバッチの軸下
整列を補正するために、装置のオペレータは、Ｂ１から
８２への方向に角７７だけその中心の回りにプローブカ
ードプレート７６（従って、プローブカード４４）を僅
かに回転させる。操縦具２４を既知の方法で制御してプ
ローブカードプレート７６の下の回路を位置決めして、
プローブカードプレート７６の方位を調整する前に回路
の中心をプローブカード４４の回転軸と整列する。

第２図、第４図、及び第５図に示すように、プローブカ
ードプレート７６を坦体プレート５０に調整自在に取り
付けてプローブカードプレート７６の回転調整を可能と
する機構は、つまみナラ）８０と植え込みボルト８１を
有している。つまみナツトとボルトは結合して、プロー
ブカードプレート７６の隅部を坦体プレート５０の隅部
に解除自在に取り付ける。キャリッジ４２の後部を先ず
見ると、ねじ山付き孔８４はプローブカードプレート７
６の各後部隅部８２に形成されいる。ベアリング案内孔
８６（以後ベアリング案内８６と呼称する。）はプロー
ブカードプレート７６の孔８４の上の坦体プレート５０
を貫通して形成されている。ベアリング案内８６は平面
で見るとほぼ楕円形で、リングベアリング８８を受容す
る。リングベアリング８８はベアリング案内８Ｇの幅よ
り僅かに小さい直径を有する。

ねじ山付き下部端部９４を有する植え込みボルト８１は
リングベアリング８８の中心を貫通し６て延びている。

植え込みボルト８１の下部端部９４はプローブカードプ
レート７６の孔８４の中に永久的にねじ込まれている。

中間部９５はリングベアリング８８の中心部に存在する
。植え込みボッｔト８１の上部ねじ山付き端部９６はリ
ングベアリング８８の中心部より大きい直径を有してい
る。ボルト８１は締めつけられて、上部端部９６の親ね
じはリングベアリング８Ｂの内側レースに当たって、プ
ローブカードプレート７６に対してベアリングの位置を
固定する。植え込みボルト８１の上部端部９６の残部は
坦体プレート５０の上面９７の上に突出して、つまみナ
ツト８０に係合している。

つまみナツト８０は取り付けてある痛撃ノブ１００を備
える肩部９８を有している。肩１９８はベアリング案内
８６の幅より大きい直径を有している。更に、リングベ
アリング８８は坦体プレート５０より薄い。

従って、つまみナツト９７が締約つけられるき、肩８９
８は坦体プレート５０の上面９７に当たり、プローブカ
ードプレート７６を坦体プレート５０に対して締めつけ
る１、 坦体プレート５０のベアリング案内８６ハ、プローブカ
ードプレー１・７６の孔８４の十に位置して、リンク゛
べ了リンク８）１がべ了リング案内８６の最内側縁部８
７に当たる１、史に、ベアリング案内８６の最内側縁部
８７は湾曲ｔ、てし）で、１；ンクベアリング８８の中
心部は、プローブカードプレート７Ｇが坦体プレート５
０に対して回転するき、坦体プレート５０の開口５２の
中心点１１２から一定の１ｑ子で動く。好適には、ベア
リンク案内８６の寸法は、リングベ”ｒリング８８の中
心部が中心点９２に対して４°の角度で横断できる寸法
とする。

坦体プレート５０の前部隅部７２とプローブカードプレ
ート７６の対応する前部隅部１０４について述べる。坦
体プレート５０の前部隅１７２と関連している、つまみ
ナツト８０と、植え込みボルト８１と、ベアリング案内
８Ｇと、リングベアリング８８とは、坦体プレート５０
の後部隅部５６について述べたのとほぼ同じように形状
され、配置されている。しかし、プローブカードプレー
ト７６の前部隅部１０４は後部隅部８２の孔８４と似て
いない孔１０８を有している。特定して言えば、前部隅
部孔１０８は、全部で４個のリングベアリング８８を備
えるキャリッジ４２の組立体が、坦体プレート５０の関
連のベアリング案内８６の最も内側の面８７で確実に支
えられることが可能であるような形状に特にされている
。そのため、坦体プレート５０の中心点９２とプローブ
カードプレート７６の中心部は、プローブカードプレー
ト７６の如何なる回転位置調整にもかかわらず坦体プレ
ート５０に直交する軸に沿って正確に整列した状態で残
る。

この点に関して、坦体プレート５０の前部隅部７２にあ
るベアリング案内８６の下にある、プローブカードプレ
ート７６の前面の孔１０８は、対となるほぼ楕円形の形
状に構成されている。前部孔１０８は直線状側縁部と主
軸１１０を有している。主軸１１０は、第２図において
プローブカードプレート７６の隅部を貫通している。座
金１１２は孔１０８の対の部分の中に嵌め込まれている
（第５図）。植え込みボルト８１の下部ねし山付き端部
９４は座金１１２を貫通して延びていて、プローブカー
ドプレート７６の下面の別の座金１１４　とナツト１１
６に係合している。

キャリッジ４２を組み立てて、全部で４個のリングベア
リング８８が関連のベアリング案内８６の最内側縁部８
７に当たるようにするために、植え込みボルト８１を介
してプローブカードプレート７６に固定されている後部
隅部５６のリングベアリング８８を備える坦体プレート
５０の下にプローブカードプレート７Ｇを位置する。全
てのつまみボルト８０をルーズに締める。坦体プレート
後部隅部５Ｇのベアリング案内８６のリングベアリング
８Ｂがこれらのベアリング案内８６の最内側縁部８７に
確実に当たるまでプローブカードプレート７６の後部隅
部８２を坦体プレート５０の中心の方に押す。今述べた
ように、縁部８７に対してこれらのリングベアリング８
８により、前部リングベアリング８８がベアリング案内
８６の最内側縁部８７に確実に当たるまで、坦体プレー
ト５０の＝２１ 〜２２ 前部隅部７２で植え込みボルト８１．！ニー、リングベ
アリング８８と、つまみボルト８０（九−ズ）とは７°
Ｄ−ブカードプレート７Ｇの前部孔■ｏ８の軸線１１０
に沿って？Ｗ動する。次いで、ナラ）１１６を締めて、
植え込みポル）８１を前部孔１（）８の中に固定する。

前述の構成で、４個のつまみナラ）８０を緩める時は常
に、プローブカードプレー１・７６は坦体プｌ、・−ト
５０に対して僅かに回転し、＝−・方坦体ブレ・−トの
中心点９２とプローブカードプレート中心部は軸方向に
整列した状態のままである、。

好適には、全てのつまみナラ）８０を不注意に植え込み
ボルト８１から取り外すことがあるときに、プローブカ
ードプレート７６が坦体プレート５ｏがら落下しないこ
とを確実にする機構を使用する。これらの安全機構は４
個の肩部ねじ組立体１１９を備える。肩部ねじ組立体１
１９は坦体プレート５０の中間部にある長方形開口５２
の各側に沿って位置している。

肩部ねじ組立体１１９は肩部ねじ１２０を有している。

肩部ねじ１２０のねじ山付き端部はプローブカドプレー
ト７Ｇのねし山付き孔１２１　に係合している。ねじ１
２Ｇの肩部はプローブカードプレート７６の頂部面１１
７に当たっている。肩部ねじ１２０の中間部１２２は間
隙スロット１２３の中に存在する。尚、間隙スロット１
２３は、プローブカードプレー１・７６が坦体プレート
５０に対して回転したとき、肩部ねじ１２０がプローブ
カードプレー１・７６と共に動くことができるように形
状されている。

肩部ねじ１２０は坦体プレート５０の上面９７の上に延
びていて、商標テフロンの名の下に製造されている摩擦
係数の低い材料で構成された座金１２４に取り囲まれて
いる。低摩擦座金１２４はスロット１２３を横切って延
びていて坦体プレート５０の上面９７に位置している。

金属座金１２５は低摩擦座金１２４の上に載っていて、
ばね座金１２６の下に位置している。ばね座金１２６の
内側縁部は肩部ねじ１２０のフランジの付いた上端部１
２７の下に嵌め合っている。肩部ねじ１２０の寸法は、
肩部ねじ１２０をプローブカードプレート７６に対し締
めつけたとき、ばね座金１２６が＝２３ 坦体プレート５０の上面９７に対し低摩擦座金１２４を
押圧するように曲がり、一方ブローブカードプレート７
６を坦体プレート５０に対し動かす時は常に肩部ねじ１
２０が前記上面９７に沿って摺動することができるよう
な寸法である。

坦体プレート５０に対しプローブカードプレート７６の
位置を調整するために必要とされる回転量は通常非常に
小さい。従って、プローブカードプレート７６の回転位
置の微細調整の機構が本発明において設けである。特定
して述べれば、１対のピン１２８が坦体プレート５０の
中にに押し嵌めされて、上面９７から上方に延びている
。３個の同じ様なピン１３０がプローブカードプレート
７６の中に押し嵌めされて、坦体プレート５０の１対の
ピン１２８の近傍の坦体プレート５０の切り抜き１３２
を貫通して上方に延びている。プローブカードプレート
７６のピン１３０は坦体プレート５０の１対のピン］２
８と坦体ブレー）５０の中心点９２とのの間に位置して
いる。

坦体プレート５０に対しプローブカードプレート７６を
動かすために、レバー１３４がピン１２８の対の間に延
びていて３個のピン１３０の１個に当たっている。ピン
１２８は支点として機能して、４個のつまみナツト８０
が全て緩められた時、レバー１３４が揺れ動いて、プロ
ーブカードプレート７６を摺動させて中心点９２の回り
で回転させる。坦体プレートビン１２８　とプローブカ
ードプレートピン１３０　は、これらのピンと坦体プレ
ート５０の中心点９２との距離に比較して近接した距離
で位置している。従って、レバー１３４を手で制御して
、非常に小さい角増加儀でプローブカードプレー１・７
６を回転させることができる。プローブカードプレート
７６の回転位置を調整した後、つまみナラ）８０の全て
を締めると、プローブカード４４の方位はあるバッチの
回路用に固定される。

プローブカード４４がプローブカードプレート７６の下
面１１８にクランプされる手段を、第３図、第４図及び
第６図を参照して説明する。クランプ組立体７８はプロ
ーブカードプレート７６の下面１１８に取りつけである
。１個のクランプ組立体７８は前部から後部にプローブ
カードプレート７６の一方の側に沿って延び、他方のク
ランプ組立体７８はプローブカードプレート７６の他方
の側に沿って延びている。プローブカード４４はクラン
プ（締めつけられて）されてクランプ組立体７８の間の
空間に位置する。クランプ組立体７８の説明は、他方の
クランプ組立体７８は同一であると言う理解で一方のク
ランプ組立体７８についてのみする。

クランプ組立体７８はプローブカードプレート７６の角
が落としである前部隅部と後部隅部との間を延びている
細長い固定されたクランプ部材１４０を有している。固
定されたクランプ部材１４０は断面がＵ字形の形状をし
ていて、プローブカードプレート７６に固定されていて
る台板１４２と、ブローフカ−ドブレート７６の側縁部
１３８に近接して位置している下方に延びている外側脚
１４４と、外側脚１４４から内側に離隔している（即ち
、プローブカードプレート７６の中心に向かって）下方
に延びる内側脚１４６を有している。

固定されたクランプ部材１４０の台板１４２は６個の離
隔した固定具１４８　によりプローブカードプレート７
６に固定しである。尚、固定具１４８は台板１４２の孔
を貫通して、プローブカードプレート７６のねし山付き
孔にねじ込まれている。固定具１４８の頭部１５０は台
板１４２の下部面１５２に当たっている。

１対の同じ細長い可動クランプ部材１５４は固定された
クランプ部材１４０の中に取り付けてある。

各可動クランプ部材１５４は本体１５６と内側に突出し
ている下部脚１５８とを有している。本体１５６は、内
側脚１４６と外側脚１４４との間で固定されたクランプ
部材１４０の中を上下に摺動するような形状の断面であ
る。本体１５６の頂部面１６０はそれに形成された６個
の凹部１６２を有していて、可動クランプ部材１５４が
下方に引っ張られて固定されたクランプ部材１４０に中
に入るときはいつでも、固定具１４８の頭部１５０のた
めの空間となる。

プローブカード４４に面する可動クランプ部材本体１５
６の側は、可動クランプ部材１５４の長さだけの凹部１
６４を有している。凹部１６４は、以下に述べるように
組立体７８によりクランプされているプアー ０−ブカード４４の縁部１６６を受容するための空間を
提供する。

可動クランプ部材１５４の脚１５８は本体１５６の下部
内側隅部から内側に突出している。脚１８の最外端部は
、脚の残部より比較的厚い（第４図の縦線に沿って測っ
て）先端部１７０を有している。先端部１７０は上部ク
ランプ面１７２を有している。上部クランプ面１７２は
固定されたクランプ部材１４０の内側脚１４６の端部に
形成された水平支持面１７４の下にある。上部クランプ
面１７２と支持面１７４は一緒に引っ張られてプローブ
カード４４の縁部１６６をその間にクランプする。

プローブカード４４をクランプする手段は、各端部近傍
の可動クランプ部材１５４の本体１５６に形成された孔
にねじ込む、１対の固定具、例えばボルト１７６を有し
ている。固定具１７６の頭部１８０はプローブカードプ
レート７６の頂部面１１７に当たり、シャフトはプロー
ブカードプレート７６と固定されたクランプ部材１４０
の台板１４２にある同心孔１８４、１８６をそれぞれ貫
通する。ポル目７６の頭部１８０へは坦体プレート５０
に形成された接近孔１８８により接近することができる
。注意すべきは、坦体プレート５０の接近孔１８８の寸
法は、プローブカードプレート７６の方位を上述のよう
に坦体プレート５０の方位に対し調整するときはいつで
も、ボルト頭部１８０の横方向動きを邪魔しない寸法と
なっている。

プローブカード４４をプローブカードプレート７６にク
ランプするために、プローブカード４４の縁部１６６は
、先ず支持面１７４と対向するクランプ組立体７８のク
ランプ面１７２との間の空間に摺動して入る。固定具１
７６を回転して、プローブカード４４の縁部１６６が支
持面１７４　とクランプ面７２との間でクランプされ固
定されるまで、可動クランプ部材１５４を固定されたク
ランプ部材１４０の方に上方に引っ張る。

各先端部１７０のクランプ面１７２と各固定されたクラ
ンプ部材１４０の支持面１７４　は、プローブカード４
４をその間にクランプするとき、プローブカード４４を
曲げるのを避けるような形状となっており、かつそのよ
うように配置されている。第４図に示すように、固定具
１７６を締めるとき、クランプ力は可動クランプ部材１
５４のクランプ面１７２に沿ってプローブカード４４に
加えられる。

その反作用の力が、固定されたクランプ部材１４０の支
持面１７４に生じる。クランプ面１７２により加えられ
た力の合力が支持面１７４の外側（即ち、第４図の左側
、又は右側）に集中されると、プローブカードを曲げる
原因となる曲げモーメントがプローブカード縁部１６６
に生じることを認識すべきである。このような曲げモー
メントは、例えば（１）クランプ面１７２が支持面１７
４より幅が広い場合、及び（２）クランプ組立体７８が
正確に加工されてなくて、クランプ面１７２と支持面１
７４が平行な面に留まることができない場合に起きる。

本発明では、先端部１７０のクランプ面１７２は支持面
１７４より比較的狭い。結果として、可動クランプ部材
１５４がプローブカード４４の縁部１６６に上方に引っ
張られた時は常に、クランプ面１７２によい加えられた
クランプ力の合力は支持面１７４を貫通し、クランプ面
１７２と支持面１７４　とを平行面に維持するためにを
クランプ組立体７８を正確に加工する必要はない。

クランプ組立体７８にはばねが設けてあって、固定具１
７６が緩められたときは常に、可動クランプ部材１５４
が固定されたクランプ部材１４０から動いて離れること
が保証されている。特定すれば、円筒形チャンバー１９
４が各可動クランプ部材１５４の端部近傍に形成されて
いる。各円筒形チャンツク−１９４の軸方向に整列した
延長部１９６は固定されたクランプ部材１４０の台板１
４２を貫通して形成されている。圧縮ばね１９８は円筒
形チャンバー１９４に収容されていて、固定されたクラ
ンプ部材１４０と可動クランプ部材１５４　とを離ずよ
うに押圧する。

万一、固定具１７６が可動クランプ部材１５４から不注
意で引き出された場合、可動クランプ部材１５４が固定
されたクランプ部材１４０から落下すると、プローブカ
ード４４に費用の係る損傷が生じる。

本発明は、固定具１７６を引き出しても、可動クランプ
部材１５４とプローブカード４４が固定されたりランプ
部材１４０から落下しないことを保証する機構を提供し
ている。特定すれば、２個の離隔した捕捉ビン２００が
可動クランプ部材１５４の本体１５６の孔に延びている
。ピン２００は、可動クランプ部材１５４の底部に設け
である孔２０５にねじ込まれている止めねじ２０３によ
り本体１５６に保持されている。クランプピン２００の
突出端部２０２は固定されたクランプ部材１４０の内側
脚１４５と外側脚１４４に形成された孔２０４に存在す
る。孔２０４の寸法は、可動クランプ部材１５４が固定
されたクランプ部材１４０の中で自由に移動してプロー
ブカード４４をクランプしかつ解除できる寸法である。

しかし、ピン端部２０２は、固定具１７６が引き出され
たとき、可動クランプ部材１５４が固定されたクランプ
部材１４０か下方に予め選定された距離動いた後、孔２
０４の下部縁部で捕捉される。クランプ組立体７８の中
での、プローブカード４４の設置を容易にするた約に、
本発明はプローブカートノーンドル２１０を提供する（
第３図参照）。ハンドル２１０は、把手２１２を備える
ほぼ平坦な部材で、かつその中心と両側から延びる取付
けブラケッｌ−２１４が一体的に形成されている。ハン
ドル２１０はプローブカード４４の前部の頂部面に固定
具２１６により取り付けてある。ハンドル２１０の側の
取付けブラケット２１４は、プローブカード４４が摺動
してプローブカードプレート７６に対し正確な位置に来
た時は常に、固定されたクランプ部材１４０の内側脚１
４６の前部に当接するような形状にされている。プロー
ブカード４４が摺動して適所に来た時、プローブカード
は上述のようにクランプされる。

典型的親ねし組立体６２を示す第４図を参照して、前述
の親ねし組立体６２を装置２０に取り付ける手段の特長
について説明する。既に述べたように、４個の親ねじ組
立体６２が存在する。１個づつキャリッジ４２の各隅部
の近傍に位置している。しかし、単一の親ねし組立体６
２をキャリッジ４２に使い、適当な摺動案内で動きを振
動に対して安定化させることもできる。　典型的親ねじ
組立体６２はフレームベースプレート３６の下面２２４
に固定されている中空円筒形ハウジング２２２を有して
いる。ハウジング２２２はハウジング２２２の開放上部
端部から半径方向外方に延びるフランジ２２６を有して
いる。

フランジ２２６　は、ベースプレート３６の下面２２４
　に形成された対応する形状の凹部の中に着座する。

４個の離隔した固定具２２８はフランジ２２６の対応札
２３０を貫通して上方に延び、かつベースプレート３６
にねじ込まれていてハウジング２２２をそこに固定する
。

親ねじブラケット６０に最も近いハウジング壁の部分は
親ねじブラケット６０がそれを貫通して延びているウィ
ンドウ２３２ををしている。ウィンドウ２３２の寸法は
、装置２０の操作中キャリッジ４２により移動される最
大距離だけブラケットがハウジング２２２の中で上下に
動くことができるような寸法である。

円筒形ベロウチャンパー２３４はハウジング２２２の直
上のベースプレート３６の下面２２４に形成されている
。ベロウチャンパー２３４　はハウジング２２２の内部
より直径で僅かに大きい。

親ねじ組立体６２は親ねじ２３７　と親ねじナツト２３
９を有している。親ねじ２３７の下端部は、単一フラン
ジ付ベアリング２３８を介してハウジング２２２の底部
に回転自在に取り付けてある。親ねじ２３７の下端部は
固定具と座金組立体２４１によりベアリング２３８の内
側レースに永久的に固定しである。親ねじ２３７の上端
部は、別の単一フランジ付ベアリング２４４を介してベ
ロウチャンパー２３４の中心の直上にあるベースプレー
ト３６の部分に回転自在に取り付けてある。親ねじ２３
７の上端部は、駆動機構との結合のためベースプレート
３６の頂部面から上方突出している、ねじ山付きでない
ステム２４Ｇを有している。尚、駆動機構については以
下に説明する。

ベアリング２３８．２４４の間で、親ねじ２３７が親ね
じナツト２３９にねじ込んである。親ねじナツト２３９
　は上部セクション２５０　と連続する下部セクション
２５２とを有している。下部セクション２５２の外面は
ねじ山付きであって、親ねじブラケット６０の環状端部
６６のねじ山付き孔にねじ込んである。

親ねじナツト２３９の上部セクション２５０　は下部セ
クシヨン２５２の外径より大きい外径を有している。

親ねじナツト２３９　は親ねじブラケット６０にねじ込
んであって、上部セクション２５０は親ねじブラケット
６０の頂部面に対し固定されている。

好適には、親ねじ２３７のねじ山を埃又は他の異物から
保護するべきである。従って、親ねじ２３７の露出した
ねじ山は可とう性ベロウ２５４．２５６の中に閉囲され
ている。特に、はぼ平坦な環状ベロウキヤソプ２５８　
はベロウチャンパー２３４の頂部面２６０に取り付けて
ある。親ねじ２３７の上部端部２４２はキャップ２５８
の中心を貫通して延びている。

ベロウキャップ２５８には４個の離隔したピムナットが
取り付けてあって、そのピムナットは、ベロウチャンパ
ー２３４の上のベースプレート３６に形成されている孔
２４に嵌め合っている。各ピムナット２６２はねじ山付
き内部孔を有している。その内部孔はピムナット２６２
が嵌め合っている孔２６４の上部対応部に存在する円い
頭部のねじ２６５のシャフトを受容する。

第２平坦環状ベロウキヤツプ２６６は親ねじナツト２３
９の頂部に固定されている。第２ベロウキャップ２６６
取り付けられた円筒形スリーブ２７０を有している。ス
リーブは親ねじナツト２３９の上部セクション２５０の
上に嵌め合いかつ完全にそれを覆っている。第２ベロウ
キヤツプはスリーブ２７０の壁にねじ込まれている止め
ねじ２７２によりスリーブ２７０に保持されている。フ
レキシブルベロウ２５４の外側端部はベロウキャップ２
５Ｂ　、２６６に接着されている。ベロウ２５４　は親
ねじ２３７の長さに沿って親ねじす７）２３９の動きに
連れて伸張し、かつ収縮する。

最初に記載したベロウキャップ２５８　とほぼ同一な第
３のベロウキャンプ２７６は親ねじブラケ・ント６０の
下側に取り付けてある。４個の離隔したピムナット２７
８は親ねじブラケット６０の環状部６６に形成された孔
２８０の中に嵌め合い、これらの孔２８０の上部対応部
に保持されている頭部の円いねじ２８２により保持され
ている。

第１及び第３ベロウキヤツプ２５８．２７６にほぼ同一
である第４のベロウキャップ２８４はノ＼ウジング２２
２に形成された孔２８８に嵌め合う４個の離隔したピム
ナット２８６でハウジング２２２の底部２４０に固定し
である。ピムナット２８６　は孔２８８の底部を貫通す
る頭が円いねじ２９０のねじ山付き部を受容する。

ベロウ２５６の外側端部は第３と第４のベロウキャップ
２７６．２８４に接着されていて、ベロウ２５６は親ね
じ２３７の長さにわたり親ねじナツト２３９の動きに連
れ伸張し、収縮する。

親ねじ２３７を駆動する機構について説明する。

８親ねじ２３７の上方に延びているステム２４６は偏心
継ぎ手３０２によりステムに結合されている剛性駆動リ
ンク機構３００により駆動される。継ぎ手３０２は親ね
じ２３７のステム２４６を受容するための孔３０４を有
している。座金３０６　は継ぎ手３０２　と親ねじ２３
７の上端部のフランジ付きベアリング２４４の内側レー
スとの間に位置している。ステム２４６に係合するため
に、継ぎ手３０２は、継ぎ手３０２　にねじ込まれてい
る３個のＭ隔した止めねじ３０８によりステムに固定さ
れている。好適には、親ねじ２３７は、止めねじ３０８
を締めたときベアリング２３８．２４４　との間で事前
負荷がかけられて、親ねじ２３７は軸方向に移動しない
。

各継ぎ手３０２は、それと一体的に形成されているほぼ
円筒形の柱３１０を有して、継ぎ手３０２は上面から突
出している。柱３１０の台部には周辺リム３１４が形成
してあり、その台部に単一フランジ付きベアリング３１
６（フランジが下）が載っている。

ベアリング３１６の内側レースは、ねじ固定具と座金の
糾合せ３１８により継ぎ半柱３１０の回りに固定しであ
る。ベアリング３１６の外側レースは剛性駆動リンク機
構３００の孔３２０に押し嵌めされていて、それに接合
されている。

各継ぎ手３０２は、親ねじステム２４６の回転軸３２４
から外方に突出しているカウンターウェイト３２２が一
体的に形成されて有している。カウンターウェイト３２
２の重要性は以下に述べる。第２図に示すとおり、駆動
リンク機構３００は平坦な剛性連続フレームに似た部材
である。駆動リンク機構３００　ハヘースプレート３６
の長方形開口３７０回りに４〇− 延びていて、かつ　駆動リンク機構３００を全部で４個
の親ねじ組立体６２の継ぎ手３０２に取りつけるため各
隅部に上述の円形孔３２０を有している。更に、駆動ｒ
ノンク機構３（１０はほぼ三角形の突起部３２４を有し
ている。この突起部はベースプレート３Ｇの突起部４０
の中心の上に延びていて、駆動リンク機構３００と駆動
モータ３３０のシャフト３３８に取り付けてある駆動モ
ータ継ぎ手３２Ｇとの間を結合している。尚、駆動モー
タ３３０については以下に述べる。

駆動リンク機構３００の形状は図示の例の他に数種の形
状がある。しかし、駆動リンク機構３００は剛性があっ
てかつ軽量であるべきである。この目的のため、複数の
孔３２８が駆動リンク機構３００に形成されていて、駆
動リンク機構３００に駆動力が伝達される方向に駆動リ
ンク機構の剛性を実質的に減少させることなく駆動リン
ク機構３００の重量を最小限にする。尚、方向は第２図
の平面の方向である。

第７図に示すように、駆動モータ３３０は４個の固定具
３２２を介してベースプレート３６の突起部４゜の下側
の空洞３３４の中に取り付けてある。好適には、駆動モ
ータ３３０は米国、カルホルニア州、ロス　アンジエル
スのヤスカワ電気アメリカ、インコーホレーテッド製の
低慣性モータ、モデルＪＯ３がよい。他のモータを使用
することもできる。第７図に示すように、モータ取付け
空洞３３４は１形式のモータ以外のモータを収容する寸
法にすることができる。

ベースプレート３６の上に突出している駆動モータシャ
フト３３８の部分は、駆動モータ継ぎ手３２６による駆
動リンク機構３００に連結されている。駆動モータ継ぎ
手３２６　とそれに駆動リンク機構３００を固定する手
段は前の方で説明した継ぎ手３０２とほぼ同じである。

従って、継ぎ手３２６は前述の継ぎ手３０２の参照番号
と合致する番号が必要に応じ付しである。駆動モータ３
３０を駆動して駆動シャフト３３８を回転させる時は常
に、モータの駆動力は、取り付けてある偏心継ぎ手３２
６により駆動リンク機構３００に伝達され、更に駆動リ
ンク機構３００の往復動を介して、客観ねじステム２４
６の継ぎ手３０２に伝達される。従って、駆動シャフト
３３８の回転は親ねじ２３７の全ての回転に伝達される
。親ねじ２３７の回転方向に依存して、親ねじナツト２
３９は、親ねじが上述のように結合されているキャリッ
ジ４２を保持する関連の親ねじ２３７に支えられて上方
又は下方に動く。

客観ねじステム２４６近傍の駆動リンク機構３００の部
分は関連の親ねじステム２４６の回転軸３２４０回りで
釣り合っていない。この釣り合っていない系に生じる振
動を排除するために、上述のカウンターウェイト３２２
が使用されている。更に詳しく言えば、各継ぎ手３１）
２．３２６のカウンターウェイト３２２は、その重量が
ステム２４６の回転軸３２４０回りの駆動リンク機ａ３
００の隣接部の重量と釣り合うような形状とかつ配置と
なっている。どんな形状のカウンターウェイトを使用す
ることもできる。しかし、図示の円形形状のもの（平面
で）を使用するのが好適である。更に、当初継ぎ手には
必要以上の重量のカウンターウェイトが形成されていて
、その重量を正確な寸法で孔３４０を穿つことにより必
要量まで減少する。

プローブカードを固定しかつ動かす上述の機構は、実質
的に振動を発生しないで、キャリッジ４２の非常に速い
位置変更を操作できる装置２０を提供するために結合す
る。従って、はぼ振動のないキャリッジの動きは、各回
路の試験測定をプローブの振動が消滅する時間遅らせる
必要を排除するので、処理量（即ち、単位時間当たりに
試験した回路の数）が増大する。′″セ）　ＩＪング時
間″′と呼称される、このような遅れは処理量を大幅に
減少する。上述のキャリッジ駆動機構く駆動モータ３３
０、駆動リンク機構３００、親ねじ組立体６２等）は非
常に正確で、敏速で微小の増加量による位置変化を行う
ことができる。それ故、好適には、装置の速度と正確さ
とを充分に引き出す自動的制御装置によりこれらの駆動
機構を制御すべきである。

第８図に示すように、制ａ装置はプログラマブル制御器
３５０を備えている。制御器３５０は２個のソース、即
ちリミットスイッチ３５２とエンコーダ＝４３ ３５４から発出された位置データを受容する適当なイン
ターフェース装置を有する。リミットスイッチ３５２は
定常位置を表示する信号を出す適当なスイッチであれば
よい。定常位置とは、親ねじ組立体６２が駆動してキャ
リッジ４２を充分に引込み回路から離したときは（例え
ば、試験操作が完了して）、常にキャリッジ４２（従っ
て、プローブカード４４）が占める位置を言う。好適に
は、リミットスイッチ３５２は光センサ−３５６と平坦
な指標部材３５８を有している。

例えば米国、テキサス州、キャロルトンのＴＲＸにより
製作されたＯＦ２８２１５７等のセンサー３５６は、固
定ベースプレート３６の下側３３６に取り付けてある。

センサー３５６は上方に突出している指標部材３５８を
受容し、その部材３５８は坦体プレート５０の上面９７
の取り付けてある。指標部材３５８は、キャリッジ４２
が引っ込められた時は常に、センサー３５６により検出
される。指標部材３５６がセンサー３５４に存在するこ
とは、導体３６０を介して制御器３５０に即時に提供さ
れる。

他の位置データは、駆動モータ３３０の底部に取り付け
てあってモータシャフト３３８により駆動される従来型
のエンコーダ３５４により発出される。

適当ナエンコータトシて、レンフ、モデルＲ−８０２が
ある。エンコーダ３５４の出力はモータシャフト３３８
の位置（従って、キャリッジ４２の位置に）に相関し、
かつ導体３６２を介して制御器３５０に伝達される。

制御器３５４をプログラム化してプローブ３２の下の試
験位置にある基体により保持された回路３０の形状に応
じてキャリッジの動きを制御することができる。この点
に関して、制御器３５０は正又負の電圧出力信号を発出
する（電圧信号の極性は駆動モータ３３０が回転する方
向に依存している）。出力信号は導体３６４を介して動
力増幅器３６６に送られ、動力増幅器の出力は駆動モー
タ３３０を駆動する。

好適には、制御器３５０を駆動するプログラムはホスト
コンピュータによって供給され、ホストコンピュータは
種々の回路形状に対応する複数のブログラムをメモリー
に記憶している。この点に関して、任意の回路３０に対
し、試験済回路として損傷を回避するため、プローブ３
２が試験後引き込められねばならない距離は、基体によ
り保持された回路構成素子の最大高さに依存している。

従って、本発明に係る装置により操作される回路の各バ
ッチに対し、制御プログラムを考案して、試験済回路を
未試験回路と交換したとき、プローブが回路構成素子と
接触して損傷を与えるの避けるために必要な、キャリッ
ジの旅程を最小にすることができる。キャリッジの旅程
を最小にすると、試験済回路の処理量を増加できる。

以上、本発明に係る好適実施例を図示し説明したが、当
業者には種々の改変が可能である。特許請求の範囲に含
まれる改変例は本発明の範囲である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る装置の斜視図； 第２図は装置の平面図； 第３図は装置の底面図 第４図は装置に親ねじ組立体とプローブカードを取り付
けるための機構とを示す第２図の線４−４に沿った断面
図； 第５図はプローブカード位置を調整するためのキャリッ
ジの部分を示す第２図の線５−５に沿った側断面図； 第６図は装置のキャリッジにプローブカードを固定する
ために使用するクランプ組立体を示す第４図の線６−６
に沿った断面図 第７図は装置の基板に取り付けた駆動モータを示す第２
図の線７−７に沿った断面図；第８図は装置のキャリッ
ジの動作を制御するためのシステムを示すダイヤグラム
である。 ２０・・・プローブカード装置 ２４・・・操縦具、　　　　　２８・・・回路基体３０
・・・回路、　　　　　　３２・・・プローブ３４・・
フレーム ３６・・台板、　　　　　　４２・・・キャリッジ４４
・・・プローブカード ５０・・・坦体プレート ＝４７− ６０・・・親ねじブラケット ６２・・・親ねじ組立体 ７６・・・プローブカードプレート ７８・・・クランプ組立体 ９２・・・坦体プレートの中心 １４０・・・クランプ部材 １５４・・・可動クランプ部材 ２１０・・・ハンドル ２２２・・・ハウジング ２３７・・・親ねじ、　　　　　２３９・・・親ねじナ
ツト３００・・・駆動リンク機構 ３０２・・・偏心継ぎ手 ３１０・・・柱、　　　　　　　３２２　・・・カウン
ターウェイト３３０・・・駆動モータ ３５０・・・プログラマブル制御器 ３５２　・・・リミットスイッチ ３５４・・・エンコーダ 平成元年１２月１９日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、プローブカードを動かして回路に向かわせ及び前記
   プローブカードを動かして回路から離すためのプローブ
   カード装置であって、 （ａ）フレームと、 （ｂ）前記プローブカードを保持するため のキャリッジと、 （ｃ）親ねじと、 （ｄ）駆動手段とを、 備え、前記親ねじは、前記親ねじの回転がこの親ねじの
   回転方向に応じて２個の対向する方向のいずれかに前記
   キャリッジを動かすように前記フレームに取り付けてあ
   り、かつ前記キャリッジに結合されていて、更に、前記
   駆動手段は対向する方向のいずれかに前記親ねじを回転
   するのを制御できる、ことを特徴とするプローブカード
   装置。 ２、２個以上の親ねじが前記キャリッジを動かすために
   前記フレームに取り付けてあり、 かつ前記キャリッジに結合されていて、並びに前記駆動
   手段はモータと剛性駆動リンク機構を有し、前記モータ
   の回転運動を前記親ねじに伝達するために前記駆動リン
   ク機構は前記親ねじと前記モータとを相互に連結してい
   る、ことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード
   装置。 ３、各親ねじを前記駆動リンク機構に連結するための継
   ぎ手を有し、この継ぎ手は前記親ねじに加えられた回転
   力に釣り合うように形成されかつ配置されたカウンター
   ウェイトを有している、ことを特徴とする請求項２に記
   載のプローブカード装置。 ４、各継ぎ手は柱部材を有し、前記駆動リンク機構は前
   記親ねじの回転軸に対し偏心している軸の回りに回転自
   在であるように前記柱部材に取り付けてある、ことを特
   徴とする請求項３に記載のプローブカード装置。 ５、前記駆動手段に接続されたプログラマブル制御手段
   を有して、前記親ねじの回転の回転量と方向とを制御し
   、親ねじ回転の前記回転量と方向は回路構成素子の構成
   に一致している、ことを特徴とする請求項１に記載のプ
   ローブカード装置。 ６、前記駆動手段はモータと剛性駆動リンク機構とを有
   し、前記モータの回転運動を前記 親ねじに伝達するために、前記駆動リンク機構は前記親
   ねじと前記モータとを相互に結合している、ことを特徴
   とする請求項１に記載のプローブカード装置。 ７、プローブカードに隣接して位置している回路に対し
   、プローブカードを動かすプローブカード装置であって
   、前記回路は特性軸を有し、更に装置は、 （ａ）フレームと （ｂ）前記フレームに取り付けてあって、 プローブカードを保持するためのキ ャリッジと、 （ｃ）前記キャリッジとプローブカードを 動かして前記回路に向かわせ及び離 す往復動をさせるためのキャリッジ 駆動手段とを備え、 前記キャリッジは、前記キャリッジに対し前記回路の前
   記特性軸の方位に一致するように前記プローブカードの
   位置を変化させる調整手段を有する、ことを特徴とする
   プローブカード装置。 ８、前記キャリッジはほぼ平坦な坦体プレートとほぼ平
   坦なプローブカードプレートとを有し、更に前記プロー
   ブカードプレートは前記坦体プレートに可動であるよう
   に取り付けてあり、かつ前記プローブカードプレートに
   前記プローブカードを取り外し自在に取り付けるための
   クランプ手段を有している、ことを特徴とする請求項７
   に記載のプローブカード装置。 ９、前記坦体プレートは中心を有し、並びに前記プロー
   ブカードプレートは中心を有し、更に前記キャリッジは
   前記坦体プレートに前記プローブカードプレートを取り
   付けるための取付け手段を有して、前記坦体プレートと
   前記プローブカードプレートの前記中心は軸に整列し、
   前記プローブカードプレートがその軸の回りに選択的に
   回転自在であるように前記取付け手段は形成されている
   、ことを特徴とする請求項８に記載のプローブカード装
   置。 １０、前記プローブカードプレートの回転が可能である
   ようにして、前記プローブカードプレートを前記坦体プ
   レートに固定する固定手段を有する、ことを特徴とする
   請求項９に記載のプローブカード装置。 １１、前記クランプ手段は固定面と可動面とを有して、
   その間にプローブカードの縁部を締めつけ、前記可動面
   は締めつけ力を前記プローブカードに加え、前記力の合
   力が前記固定面を貫通する方向を向いているように、前
   記クランプ手段は構成されている、ことを特徴とする請
   求項８に記載のプローブカード装置。 １２、プローブカードが前記クランプ手段により形成さ
   れた締めつけ空間の中に位置するときは常に、前記プロ
   ーブカードを前記キャリッジに固定するために、前記キ
   ャリッジに取り付けてあるクランプ手段を有し、前記ク
   ランプ手段は前記プローブカードが前記締めつけ空間か
   ら落下するのを防止する捕捉手段を有する、ことを特徴
   とする請求項７に記載のプローブカード装置。 １３、プローブカードに取り付け自在に取りつけてあっ
   て、かつ前記プローブカードが前記締めつけ空間の中の
   特定の位置に位置するときは常に、前記クランプ組立体
   に当たって接するように構成されているハンドルを有し
   ている、ことを特徴とする請求項１２に記載のプローブ
   カード装置。