DE3628104A1 - Kontaktelement fuer pruefkarten - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Kontaktelement für Prüfkarten gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Solche Prüfkarten sind bekannt (KULLEN "Waferprüfung - ein mikrotechnisches Problem", Jahrbuch der Deutschen Gesellschaft für Chronometrie, Nr. 36/1985, S. 85-92b). Sie werden an Prüfköpfen von Waferprobern oder sonstigen Prüfvorrichtungen zum Prüfen von elektrischen oder elektronischen Prüflingen, wie Chips, Chips auf Wafers, Leiterplatten oder dgl., angeordnet und weisen im allgemeinen dem elektrischen Anschluß der Kontaktelemente dienende Leiterbahnen auf, wobei die Schäfte der Kontaktelemente an die Leiterbahnen elektrisch angeschlossen werden. Die langgestreckten, dünnen Kontaktelemente durchdringen ein mittiges Loch der Prüfkarte und ihre Nadeln enden in geringen Abständen voneinander, wobei die Spitzen der Nadeln eine Anordnung haben, die der Anordnung von durch sie zu kontaktierenden Kontaktstellen, wie Pads eines Chips oder dgl. entspricht. Solche Prüfkarten bezeichnet man auch als Leiterkarten, Nadelkarten, Nadelträger oder Ringkarten.

Ein bekanntes, von der Anmelderin hergestelltes und vertriebenes metallisches Kontaktelement 10 für Prüfkarten ist in Fig. 1 und 2 dargestellt. Es weist einen langen, rechtwinkligen Schaft 11 auf, dessen langer Schenkel 12 Sollbruchstellen 25 zu seinem Kürzen aufweist und welcher lange Schenkel 12 an einer Leiterbahn 13 einer eine mehr oder weniger große Anzahl solcher Kontaktelemente 10 tragenden, strichpunktiert angedeuteten Prüfkarte 14 befestigt ist und durch ein mittiges Loch 15 dieser Prüfkarte 14 mit seinem kurzen, um 90° zum langen Schenkel 12 abgewinkelten Schenkel 16 hindurchragt, der über eine 90°-Krümmung 18 in eine eine Blattfeder bildende Biegefeder 17 übergeht, die einstückig mit dem Schaft 11 ist. An diese Biegefeder 17 ist untenseitig eine sehr dünne Nadel 21 angelötet, deren kurzer abgewinkelter freier Endbereich 22 schräg zum geraden längeren Bereich 20 der Nadel 21 geneigt ist, der parallel zum Schenkel 12 des Schaftes 11 verläuft. Die Nadel 21 ist auf dem gesamten Längsbereich, an dem sie an der Biegefeder 17 anliegt, an diese angelötet, d.h. fast über die ganze Länge der Biegefeder 17 auch bis unter eine Justierschraube 23, die in einen Vorsprung 24 des kurzen Schaftschenkels 16 eingeschraubt ist und an den langen Schenkel 20 der Feder 17 zur Höhenjustierung der Nadelspitze angedrückt ist.

Die Nadel 21 besteht in der Regel aus Wolfram, aus Kupfer-Beryllium oder auch aus einer Edelmetall- Legierung und ist an die Biegefeder angelötet. Bei Beschädigung der sehr empfindlichen Nadel muß diese abgelötet und durch eine neue Nadel ersetzt werden, wobei insbesondere die exakte Justierung schwierig ist. Und zwar sind an einer Prüfkarte oft sehr große Anzahlen solcher Kontaktelemente mit den langen Schenkeln 12 ihrer Schäfte 11 an den dort befindlichen Leiterbahnen befestigt, bspw. angelötet und die Spitzen der Nadeln haben nur sehr geringen Abstand voneinander, der bei der Prüfung von Wafers dem Mittenabstand benachbarter Pads der zu prüfenden Chips entspricht. Die Anzahl der Nadeln entspricht normalerweise der Anzahl der Pads eines Chips des betreffenden Wafers. Der Abstand benachbarter Nadelspitzen voneinander beträgt bspw. oft 0,15 bis 0,2 mm, in manchen Fällen auch etwas mehr oder noch weniger. Infolge dieser dichten Anordnung der Nadeln ist es schwierig und erfordert hohes Geschick, eine einzelne beschädigte Nadel auszuwechseln. Insbesondere bei Nadeln aus Wolfram macht das Verlöten zusätzliche Schwierigkeiten. Da ferner der Schaft 11 und die Biegefeder 17 ein einstückiges Teil bilden, das wegen der erforderlichen sehr guten federelastischen Eigenschaften der Biegefeder 17, die oft Millionen von starken Lastwechseln trotz ihrer Kleinheit aushalten muß, und der insgesamt erforderlichen guten elektrischen Leitfähigkeit aus hochwertigem und lötfähigem Werkstoff bestehen muß, wie bspw. Phosphorbronze, Kupfer-Beryllium hergestellt sein muß, der entsprechend relativ hohe Materialkosten verursacht und dessen Bearbeitung auch schwierig und sehr kostenaufwendig ist. Die Kosten eines solchen Kontaktelementes sind also entsprechend hoch und ein Auswechseln beschädigter Nadeln ist schwierig und zeitraubend.

Es ist deshalb eine Aufgabe der Erfindung, ein Kontaktelement gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 zu schaffen, das in der Herstellung kostengünstiger ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Kontaktelement gemäß Anspruch 1 gelöst.

Die Erfindung ermöglicht wesentlich kostengünstigere Herstellung des Kontaktelementes als die des vorbekannten Kontaktelementes 10 nach den Fig. 1 und 2. So kann der Schaft bei dem erfindungsgemäßen Kontaktelement aus kostengünstigem, leicht zu bearbeitendem metallischem Werkstoff hergestellt werden, der nicht mehr federelastisch sein muß. Vorzugsweise kann dieser Schaft aus kostengünstigen Metallen oder Metallegierungen wie Zinn-Bronze, kohlenstoffarmes Eisen, z.B. Weißblech, leicht zu bearbeitendem Messing, Nickel, Zink oder dgl. hergestellt sein.

Die Biegefeder und Nadel sind kostengünstig aus hochwertigen, federelastischen, metallischen Werkstoffen herstellbar, weil der Materialbedarf nur gering ist und sie keine komplizierten Gestaltungen benötigen. Die Biegefeder kann vorzugsweise eine gerade Biegefeder sein. Sie kann bspw. aus einem sehr dünnen Rohr hergestellt sein, in das die Nadel eingesetzt wird und das im Abstand von dem rückwärtigen Ende der Nadel durch Prägen abgeflacht ist. Oder die Biegefeder kann auch massiv hergestellt und in sie eine Bohrung für die Nadel eingebohrt sein.

Die Biegefeder kann bspw. zweckmäßig aus Kupfer-Beryllium, Federstahl, Phosphorbronze, Nickel-Beryllium hergestellt sein.

Die Nadel kann bspw. zweckmäßig aus Kupfer-Beryllium, Wolfram oder Edelmetallegierungen bestehen.

Bevorzugt kann die Biegefeder auswechselbar am Schaft gehalten sein. Es ist dann ein leichtes und rasches Auswechseln einer beschädigten Nadel gegen eine neue Nadel möglich, indem eine neue Nadel zusammen mit der sie haltenden Biegefeder gegen die bisherige Biegefeder mit der beschädigten Nadel ausgewechselt wird.

Es kann jedoch in manchen Fällen auch auf die Auswechselbarkeit der Biegefeder mit Nadel verzichtet werden, wenn eine Beschädigung der Nadel nicht zu erwarten ist, bspw. die Nadel nur geringe Standzeit zu haben braucht bei welcher mit einer Beschädigung noch nicht zu rechnen ist. In diesem Fall kann dann die Biegefeder nicht lösbar mit dem Schaft verbunden werden, vorzugsweise mit ihm durch Löten oder Schweißen verbunden werden.

In den Fig. 3-11 sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt.

Es zeigen:

Fig. 3 eine Seitenansicht eines Kontaktelementes gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 4 eine Draufsicht aus das Kontaktelement nach Fig. 3,

Fig. 5A eine schaubildliche Schrägansicht der Biegefeder des Kontaktelementes nach den Fig. 3 und 4 in vergrößerter Darstellung,

Fig. 5B einen gebrochenen Teilschnitt durch Fig. 5A, gesehen entlang der Schnittlinie 5B-5B,

Fig. 6-9 ausschnittsweise und teilweise geschnittene Seitenansichten von Kontaktelementen gemäß weiteren Ausführungsbeispielen der Erfindung,

Fig. 10 einen Teilschnitt durch Fig. 9, gesehen entlang der Schnittlinie 10-10,

Fig. 11 eine Variante der Fig. 10.

Das in den Fig. 3-5 dargestellte Kontaktelement 30 besteht aus einem Schaft 31, einer Biegefeder 32, einer in eine Bohrung der Biegefeder 32 koaxial zu ihr fest angeordneten Nadel 40, einer Justierschraube 33 und einer Madenschraube 34.

Der L-förmig abgewinkelte Schaft 31 weist einen langen Schenkel 35 auf, der an eine Leiterbahn 36 einer strichpunktiert angedeuteten Prüfkarte 37 angelötet ist, so daß guter elektrischer Kontakt dieser Leiterbahn 36 mit diesem vollständig aus Metall bestehenden Kontaktelement 30 vorliegt und eine stromleitende Verbindung geringen elektrischen Widerstandes zwischen der Leiterbahn 36 und der Spitze 39 der Nadel 40 besteht.

Diese Nadel 40 dient beim Prüfen eines Chips 52 jeweils dem Kontaktieren eines Pads 53, wie es strichpunktiert angedeutet ist. Ein Wafer weist eine Vielzahl von in Reihen und Spalten angeordneten Chips auf, die nacheinander unter Mitwirkung der Prüfkarte 37 geprüft werden. Die Prüfkarte 37 weist eine Vielzahl solcher vorzugsweise ungefähr radial angeordneten Kontaktelemente 30 auf.

Der lange Schenkel 35 des Schaftes 31 weist wie der des Schaftes 11 nach den Fig. 1 und 2 Einkerbungen 41 auf, die Sollbruchstellen zum Kürzen des Schaftes bilden.

Der rechteckförmige Querschnitte aufweisende Schaft 31 hat geringe Dicke und weist an seinem vorderen abgewinkelten blockförmigen Bereich 43 einen zum langen Schenkel 35 parallelen Schlitz 42 konstanter Breite und Tiefe auf, der im Abstand von der rückwärtigen Hochseite 44 dieses Bereiches 43 endet und mit Ausnahme seiner Rückwand an den übrigen drei Seiten offen ist. In ihn ist die aus federelastischem Material bestehende Biegefeder 32 mit ihrem rückwärtigen, abgeflachten Bereich 45 eingesteckt und durch die in ein Gewinde des Schaftbereiches 43 eingeschraubte Madenschraube 34 gehalten. Es können auch andere Befestigungsmöglichkeiten bestehen, zum Beispiel Einschieben mit nur reibungsschlüssigem Sitz, wie Haftsitz oder dgl.

In ein Gewinde eines Vorsprunges 46 des Schaftbereiches 43 ist die Justierschraube 33 eingeschraubt, die in erheblichem Abstand vom Schlitz 42 in eine Sackbohrung 47 im abgeflachten Bereich 45 der Biegefeder 32 zu deren Zentrierung mit einem kegelförmig geformten vorderen Ende 49 eingreift, so daß diese kegelförmige Spitze 49 am Rand der Zentrierbohrung 47 zur genauen Zentrierung dieser Stelle der Biegefeder 32 angreift. Ein anderer Punkt der Biegefeder 32 ist durch die Madenschraube 34 geklemmt, und hier ist in die Biegefeder 32, d.h. in ihren abgeflachten Bereich 45 eine Zentrierbohrung 47′ gebohrt, in die die Madenschraube 34 mit ihrer kegelförmigen Spitze 49′ zur Zentrierung dieser Stelle der Biegefeder 32 eingreift, so daß damit die Biegefeder 32 an zwei in ihrer Längsrichtung im Abstand voneinander angeordneten Stellen genau zentriert und damit durch die Schrauben 33, 34 exakt ausgerichtet und gehalten ist.

Die Nadel 40 besteht wie die Biegefeder 32 aus federelastischem Metall. Diese Nadel 40 kann vorzugsweise aus Wolfram, Kupfer-Beryllium oder einer Edelmetall-Legierung bestehen. Auch die Biegefeder 32 kann aus solchen Materialien oder anderen federelastischen, geeigneten Materialien bestehen, bspw. auch aus rostfreiem Federstahl.

Diese Nadel 40 weist kreisrunden Querschnitt und einen langen, geraden, zylindrischen Hauptbereich 50 auf, an den ein abgewinkelter, sich verjüngender gerader, spitz zulaufender Endbereich 51 anschließt, dessen Spitze 39 dem Kontaktieren der Pads von zu prüfenden Chips oder dgl. dient.

Diese Nadel 40 ist in einen rohrförmigen, kreiszylindrischen Bereich 54 der geraden Biegefeder 32 eingesetzt. In geringem Abstand hinter dem rückwärtigen Ende der Nadel 40 ist dann dieser Rohrbereich dieser Biegefeder 32 zu dem ebenen, abgeflachten Bereich 45 verformt. Diese gerade Biegefeder 32 kann vorzugsweise aus einem kreiszylindrischen, geraden, sehr dünnen Röhrchen hergestellt sein, dessen rückwärtiger Bereich 45 durch Prägen abgeflacht wurde. In diesem Bereich 45 werden dann die beiden in der Längsmitte der Biegefeder 32 im Abstand voneinander anzuordnenden Zentrierbohrungen 47, 47′ genau gebohrt, so daß diese Biegefeder 32 dann mit der in sie eingesetzten, zu ihr koaxial angeordneten Nadel 40 in stets genau derselben Lage in den Schlitz 42 einsetzbar ist und durch die beiden Schrauben 33, 34 genau ausgerichtet wird.

Wenn die hochempfindliche Nadel 40 beschädigt wird, kann sie einfach dadurch ausgewechselt werden, indem sie zusammen mit der Biegefeder 32 nach Lösen der Schrauben 33, 34 aus dem Schlitz 42 herausgezogen und in den Schlitz 42 eine neue Biegefeder 32 mit Nadel 40 eingesetzt wird und dann die beiden Schrauben 33, 34 wieder in die Zentrierbohrungen 47, 47′ eingebracht werden, so daß dann diese neue Biegefeder 32 mit Nadel 40 wieder genau ausgerichtet ist, ohne daß es hierzu aufwendiger Justierung bedarf.

Die Zentrierbohrungen können, falls erwünscht, auch Durchgangsbohrungen sein, falls die damit verbundene Schwächung der Biegefeder nicht stört. Anstelle der Kegelspitzen 49, 49′ können die Schrauben 33, 34 ggf. auch andere Gestalten aufweisen, bspw. halbkugelig ausgebildet sein.

Die Höheneinstellung der Spitze 39 der Nadel 40 erfolgt mittels der Justierschraube 33, was ebenfalls einfach auszuführen ist da hierbei dann nur auf die Höheneinstellung der Spitze 39 und nicht mehr auf die Ausrichtung der Biegefeder 32 zu achten ist.

Die Nadel 40 kann in der Biegefeder 32 auf irgend­ eine geeignete Weise befestigt werden, bspw. durch einen Haft-, Fest-, Preßsitz, oder sie kann nach dem Einsetzen in die Bohrung durch Zusammendrücken des Rohrs an einer oder mehreren Stellen in das Rohr eingeklemmt werden oder sie kann auch eingelötet oder durch mindestens einen Schweißpunkt bspw. mittels Laserschweißen befestigt werden.

Da die Federung der Nadel 40 durch ihre Eigenfederung und die Biegefeder 32 erfolgt, kann der Schaft 31 aus kostengünstigem Material bestehen, das keine federelastischen Eigenschaften haben muß. Bspw. kann er aus Messing, Bronze, kohlenstoffarmen Eisen, leicht bearbeitbarem Nickel, Zink oder sonstigen ausreichend steifen metallischen Werkstoffen bestehen, die also ggf. auch unelastisch sein können. Vorzugsweise besteht er aus lötfähigem Metall, damit er an die betreffende Leiterbahn 36 einer Prüfkarte 37 angelötet werden kann.

Der Schaft 31 kann besonders einfach durch Stanzen oder Funkenerodieren in seiner Grundgestalt hergestellt und dann in ihn die Gewindebohrungen und der Schlitz 42 eingearbeitet werden. Es ist also eine sowohl vom Material als auch von der Bearbeitungsmöglichkeit her kostengünstige Herstellung dieses Schaftes möglich. Auch die Biegefeder 32 und die Nadel 40 können kostengünstig hergestellt werden, da sie einfache Formen aufweisen und wegen ihrer Kleinheit der Materialverbrauch gering ist, so daß die Kosten selbst sehr hochwertiger Materialien für diese beiden Bauteile entsprechend gering sind.

In den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 6-9 ist vom jeweiligen langen Schenkel 35 des Schaftes 31 jeweils nur ein kurzer Bereich dargestellt. Für diese Schäfte 31 gilt im Prinzip dasselbe wie vorstehend zu dem Schaft 31 nach den Fig. 3 und 4 ausgeführt ist.

Bei dem Kontaktelement 30 nach Fig. 6 kann die Biegefeder 32 mit Nadel 40 wie bei dem Kontaktelement 30 nach den Fig. 3-5B ausgebildet sein. Abweichend hiervon ist jedoch der Schlitz 42 des Schaftes 31, in den der rückwärtige Bereich des ebenen flachen Bereiches 45 der Biegefeder 32 formschlüssig eingesetzt ist, in Bezug auf die Längsachse des langen Schaftschenkels 35 in schräg abwärts führender Richtung, wie dargestellt, geneigt, was in machen Fällen vorteilhaft ist.

Ferner ist dieser rückwärtige Bereich des flachen Bereiches 45 der Biegefeder 32 hier in dem Schlitz nur reibungsschlüssig gehalten. Es ist also hier keine Madenschraube vorhanden. Die Justierschraube 33 drückt wiederum wie auch im Ausführungsbeispiel nach den Fig. 3-4 im Längsabstand vom im Schlitz 42 befindlichen Abschnitt des abgeflachten Bereiches 45 auf diesen abgeflachten Bereich zur Höheneinstellung der Spitze 39 der in einem rohrförmigen Bereich der Biegefeder koaxial zu dieser angeordneten Nadel 40. Auch hier kann in dem abgeflachten Biegefederbereich 45 eine Zentrierbohrung für die Zentrierschraube 33 zur Zentrierung der Biegefeder 32 an dieser Stelle angeordnet sein. Der im Schlitz 42 befindliche Bereich der Biegefeder 32 kann exakt die Breite dieses Schlitzes aufweisen und er kann so problemlos hier auch genau zentriert werden, indem man ihn hier so anordnet, daß er über den Schlitz 42 seitlich nicht übersteht.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 7 hat die Biegefeder 32 zwar wieder einen im Querschnitt kreisrunden Bereich 54, in den die Nadel 40 koaxial fest eingesetzt ist und einen daran anschließenden abgeflachten Bereich 45, der jedoch nicht gerade, sondern am rückwärtigen Endbereich rechtwinklig nach oben abgewinkelt und mit diesem abgewinkelten Endbereich 55 in einen Schlitz 42 des Schaftbereiches 43 dieses Kontaktelementes 30 eingesetzt ist, welcher Schlitz 42 rechtwinklig zur Längsachse des langen Schenkels 35 des Schaftes 31 verläuft. Eine in ein Gewinde des Schaftbereiches 43 eingeschraubte Madenschraube 34 dient dem Halten dieses in den Schlitz 42 eingesetzten Endbereiches 55 und auch der Ausrichtung dieser Biegefeder 32 zusammen mit der Justierschraube 33, die im Abstand von dem abgewinkelten Endbereich 55 auf einen flachen, sich parallel zum langen Schaftschenkel 35 erstreckenden Abschnitt des abgeflachten Biegefederbereiches 45 zur Höheneinstellung der Nadelspitze 39 und zur genauen Ausrichtung der Biegefeder 32 und der Nadel 40 drückt. Diese Justierschraube 33 greift wiederum in eine Zentrierausnehmung dieses flachen Bereiches 45 ein. Entsprechendes gilt auch für die Madenschraube 34. Auch hier läßt sich also wieder die Biegefeder 32 mit Nadel 40 leicht gegen eine neue Biegefeder 32 mit Nadel 40 auswechseln und es ergibt sich dann wieder durch die Schrauben 33, 34 von selbst eine genaue Ausrichtung der Biegefeder 32 und damit der Nadel 40. Mit der Justierschraube 33 kann man zusätzlich auch die Höheneinstellung der Nadelspitze 39 genau justieren.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 8 ist die Biegefeder 32 wieder eine gerade Biegefeder, die hier jedoch mit einer geringen Ausnahme durchgehend kreiszylindrischen Querschnitt aufweist und die ferner eine Bohrung 42′ aufweist, in die die Nadel 40 eingesetzt ist. Die Ausnahme von der kreiszylindrischen Gestalt der Biegefeder 32 betrifft eine kurze Eindrehung 56 gegenüber der Justierschraube 33, in die die Justierschraube 33 zur Sicherung der axialen Stellung der Biegefeder 32 und damit der Nadel 40 eingreift. Einer Seitenausrichtung der Biegefeder bedarf es hier nicht, weil sie in die exakte kreiszylindrische Bohrung 42′ des Bereiches 43 des Schaftes 31 mit ihrem rückwärtigen Endbereich formschlüssig und hierdurch genau ausgerichtet eingesetzt ist. Sie kann hier in einem Reibungssitz gehalten sein, so daß auch hier leichtes Auswechseln dieser Biegefeder 32 mit Nadel 40 gegen eine neue Biegefeder 32 mit Nadel 40 möglich ist, indem man zuerst die Justierschraube 33 etwas zurückdreht und dann die Biegefeder 32 aus der Bohrung herauszieht und die neue Biegefeder, die ebenfalls eine Nadel trägt, in diese Bohrung 42′ einsetzt und dann die Justierschraube 33 wieder anzieht und eine genaue Höheneinstellung der Nadelspitze 39 mit ihr vornimmt.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 9 und 10 ist wiederum eine gerade Biegefeder 32 vorhanden, in die die Nadel 40 axial eingesetzt ist. Die Biegefeder 32 weist hier wiederum einen kreiszylindrischen Bereich 54 auf, in den die Nadel 40 eingesetzt ist und einen daran anschließenden ebenen, abgeflachten Bereich 45, der in einen Schlitz 42 des Schaftes 31 - wie dargestellt - eingesetzt ist. Dieser Schlitz 42 ist wie die Schlitze 42 bei den vorangegangenen Ausführungsbeispielen an beiden Seitenwänden des Bereichs 43 und in Richtung auf die Justierschraube 33 zu offen. In seine rückwärtige ebene Wand mündet jedoch eine Bohrung 60, die von der Rückseite des Bereiches 43 des Schaftes 31 aus koaxial zur Längsmittelachse des abgeflachten Biegefederbereiches 45 verläuft und offen in den Schlitz 42 ausmündet. Der abgeflachte Bereich 45 der Biegefeder 32 ist am rückwärtigen Ende 57 dreieckförmig angespitzt, und zwar in Draufsicht gesehen, und hierdurch wird dieses rückwärtige Ende 57 der Biegefeder 32 in der Bohrung 60 exakt zentriert. Die Justierschraube 33 greift mit ihrer Spitze wiederum in eine Zentrierausnehmung 47 des abgeflachten Bereiches 45 der Biegefeder im Abstand von dem Schlitz 42 ein, so daß hier ein weiterer Zentrierpunkt dieser Biegefeder 32 vorliegt und sie so durch diese beiden zentrierten Stellen, die in Längsrichtung der Biegefeder 32 im Abstand voneinander vorgesehen sind, exakt ausgerichtet ist. Es braucht dann nur noch die Höhenjustierung der Nadelspitze 39 mittels der Justierschraube 33 vorgenommen zu werden.

Auch diese Biegefeder 32 mit Nadel 40 ist jederzeit leicht und rasch ohne Ausricht- und Justierprobleme auszuwechseln, indem man nach Lockern der Schraube 33 die Biegefeder 32 mit Nadel 40 aus dem Schlitz 42 herauszieht und eine neue Biegefeder 32 mit Nadel 40 einsetzt, bis ihr rückwärtiger dreieckförmiger Bereich 57 an der Mündung der Bohrung 60 unter Zentrierung anliegt. Die restliche Ausrichtung läßt sich dann durch die Justierschraube 33 bewirken und ebenfalls die Höheneinstellung der Nadelspitze 39.

Anstatt das rückwärtige Ende 57 der Biegefeder 32 gemäß Fig. 10 dreieckförmig auszubilden, kann es zu dieser Zentrierung in der Bohrung 60 auch andere geeignete Ausbildungen aufweisen, vorzugsweise ein kurzer, zapfenartiger, gerader Bereich 59 an die Biegefeder 32 einstückig mit angeformt sein oder dieser Zapfen 59 kann ein gesondertes, angesetztes Teil sein. Die Breite oder der Durchmesser dieses Zapfens 59 entspricht dem Durchmesser der Bohrung 60, in die er zur exakten Zentrierung des rückwärtigen Endbereiches der Biegefeder 32 formschlüssig eingreift. Im übrigen gelten die Ausführungen zu den Fig. 9 und 10 auch zur Fig. 11.

Bei allen Ausführungsbeispielen ist die Biegefeder 32 lösbar am Schaft 31 gehalten. Die Biegefeder 32 mit Nadel 40 ist hierdurch leicht und rasch gegen eine neue Biegefeder 32 mit Nadel 40 auswechselbar, wobei die Ausrichtung und Justierung der Biegefeder 32 mit Nadel 40 äußerst rasch und einfach vorzunehmen ist. Auch sind keine Lötarbeiten erforderlich.

In manchen Fällen kann jedoch auch vorgesehen sein, daß die Biegefeder 32 in der betreffenden Ausnehmung des Schaftes nicht lösbar befestigt wird, bspw. durch Löten oder Punktschweißen. Man hat dann immer noch den Vorteil, daß die Herstellung dieses Kontaktelementes wegen der sehr kostengünstigen Herstellung des Schaftes immer noch wesentlich kostengünstiger ist, als die des vorbekannten Kontaktelementes nach den Fig. 1 und 2.

Die Teile der Kontaktelemente 30 können, wenn erwünscht, selbstverständlich irgendwelchen Oberflächenbehandlungen unterzogen sein, bspw. mit galvanischen oder chemisch aufgebrachten Überzügen versehen sein.

Claims (14)

1. Kontaktelement für Prüfkarten von der Prüfung von elektrischen oder elektronischen Prüflingen, wie Chips, Chips auf Wafers, Leiterplatten oder dgl., dienenden Prüfvorrichtungen, welches Kontaktelement metallische elektrische Leitfähigkeit aufweist und einen an der Prüfkarte zu befestigenden metallischen Schaft mit einer Justierschraube und einer metallischen Biegefeder und eine an der Biegefeder fest angeordnete metallische Nadel, deren freies Ende dem Inkontaktkommen mit den Prüflingen dient, aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) als gesondertes Teil ausgebildet ist, das in eine Ausnehmung (42; 42′) des Schaftes (31) eingesteckt ist und das eine Bohrung aufweist, in die die Nadel (40) fest eingesetzt ist, und daß die Justierschraube (33) an der Biegefeder (32) im Abstand von der die Biegefeder (32) aufnehmenden Ausnehmung (42; 42′) des Schaftes (31) angreift.

2. Kontaktelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) einen im Querschnitt runden, die Nadel aufnehmenden Bereich (54) und einen an ihn anschließenden, abgeflachten Bereich (45) aufweist, der vorzugsweise bis zu ihrem rückwärtigen Ende reicht.

3. Kontaktelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) eine gerade Biegefeder ist.

4. Kontaktelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) einen abgewinkelten Endbereich (55) aufweist, mit dem sie in die Ausnehmung (42) des Schaftes (31) eingesetzt ist.

5. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder durchgehend oder im wesentlichen runden Querschnitt aufweist.

6. Kontaktelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder aus einem Rohr gebildet ist.

7. Kontaktelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) am Schaft (31) lösbar gehalten ist.

8. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder durch Löten oder Schweißen mit dem Schaft (31) unlösbar verbunden ist.

9. Kontaktelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) an ihrem rückwärtigen Endbereich einen Zapfen (59) oder einen sich stetig verjüngenden, vorzugsweise dreieckförmigen Bereich (57) aufweist, mit welchem Zapfen oder sich verjüngenden Bereich die zu dessen Zentrierung in eine Bohrung (60) des Schaftes (31) eingreift.

10. Kontaktelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) mindestens eine Zentrierausnehmung (47; 47′) aufweist, in die das sich vorzugsweise verjüngende vordere Ende einer Schraube (33, 34) zur Zentrierung der Biegefeder eingreift.

11. Kontaktelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefeder (32) zwei im Abstand voneinander angeordnete Zentrierausnehmungen (47; 47′) aufweist.

12. Kontaktelement nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Justierschraube (33) in eine Zentrierausnehmung (47) der Biegefeder (32) eingreift.

13. Kontaktelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der die Nadel aufnehmende Bereich der Biegefeder (32) parallel zu dem auf der Prüfkarte (37) zu befestigenden Schenkel (35) des Schaftes (31) ist.

14. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der die Nadel (40) aufnehmende Bereich der Biegefeder (32) schräg zur Längsachse des auf der Prüfkarte zu befestigenden Schenkels (35) des Schaftes (31) geneigt ist.