JP4890024B2 - 塗布針固定方法と、それを用いた液状材料塗布機構および欠陥修正装置 - Google Patents

Description

この発明は塗布針固定方法、液状材料塗布機構および欠陥修正装置に関し、特に、基板上の微細領域に液状材料を塗布する塗布針を駆動装置の駆動軸に固定する塗布針固定方法と、それを用いた液状材料塗布機構および欠陥修正装置とに関する。

近年、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の大型化、高精細化に伴い画素数も増大し、ＬＣＤを無欠陥で製造することは困難となり、欠陥の発生確率も増加してきている。このような状況下において歩留まり向上のために、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を修正する欠陥修正装置が生産ラインに不可欠となってきている。

図８（ａ）〜（ｃ）は、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を示す図である。図８（ａ）〜（ｃ）において、カラーフィルタは、透明基板と、その表面に形成されたブラックマトリクス１００と呼ばれる格子状のパターンと、複数組のＲ（赤色）画素１０１、Ｇ（緑色）画素１０２、およびＢ（青色）画素１０３とを含む。カラーフィルタの製造工程においては、図８（ａ）に示すように画素やブラックマトリクス１００の色が抜けてしまった白欠陥１０４や、図８（ｂ）に示すように隣の画素と色が混色したり、ブラックマトリクス１００が画素にはみ出してしまった黒欠陥１０５や、図８（ｃ）に示すように画素に異物が付着した異物欠陥１０６などが発生する。

白欠陥１０４を修正する方法としては、インク塗布機構により、白欠陥１０４が存在する画素と同色のインクを塗布針の先端部に付着させ、塗布針の先端部に付着したインクを白欠陥１０４に塗布して修正する方法がある（たとえば特許文献１参照）。また、黒欠陥１０５や異物欠陥１０６を修正する方法としては、欠陥部分をレーザカットして矩形の白欠陥１０４を形成した後、インク塗布機構により、塗布針の先端部に付着したインクをその白欠陥１０４に塗布して修正する方法がある（たとえば特許文献２参照）。
特開平９−２３６９３３号公報 特開平９−２６２５２０号公報

上記インク塗布機構においては、塗布針が塗布針ホルダに固定されるとともに、駆動シリンダの駆動軸の先端部に固定ベースが設けられ、塗布針ホルダが固定ベースに固定ネジで取り付けられる。また、塗布針交換時における塗布針位置の再現性を確保するため、塗布針ホルダの端面を固定ベースの基準端面に押し付けた状態で塗布針ホルダを固定ベースに固定する。塗布針ホルダの取り付け後には、インクの塗布位置を決めるため、塗布針の先端位置を予め確認する必要がある。この時、塗布針ホルダ固定時に塗布針先端位置が大きくずれると、塗布針の先端位置の確認に非常に時間を要してしまうことになる。

また、一般的にカラーフィルタの生産は、塵（異物）による欠陥の発生を防止するためクリーンルーム内で行われる。クリーンルーム内では極力発塵を抑えるため、クリーンウエアの着用、マスクの装着、薄手のゴム手袋の装着が作業者に義務付けられている。

このような作業スタイルにおいて、小さな塗布針ホルダを固定ベースの基準端面に押し付けながら小さな固定ネジを用いて取り付ける作業は容易でなく、不慣れな作業者の場合、塗布針ホルダの固定位置がずれてしまう場合がある。また、塗布針ホルダを落下させて塗布針を損傷させてしまう可能性もある。

それゆえに、この発明の主たる目的は、塗布針を駆動装置の駆動軸に容易に再現性良く取り付けることが可能な塗布針固定方法と、それを用いた液状材料塗布機構および欠陥修正装置を提供することである。

この発明に係る塗布針固定方法は、基板上の微細領域に液状材料を塗布する塗布針を駆動装置の駆動軸に固定する塗布針固定方法であって、塗布針の基端部を塗布針ホルダに固定し、第１および第２の基準面を有する固定ベースを駆動軸の先端部に設け、塗布針ホルダおよび固定ベースにそれぞれ第１および第２のマグネットを設け、第１および第２のマグネット間の磁気吸引力によって塗布針ホルダを第１の基準面に吸着させて塗布針の水平方向および垂直方向のうちの一方方向の位置を固定するとともに、第１の基準面に平行な方向の第１および第２のマグネットの位置ずれにより生じる第１および第２のマグネット間の求心力によって塗布針ホルダの端面を第２の基準面に押し付けて塗布針の水平方向および垂直方向のうちの他方方向の位置を固定することを特徴とする。

また、この発明に係る液状材料塗布機構は、塗布針の先端部に付着した液状材料を基板上の微細領域に塗布する液状材料塗布機構であって、塗布針を駆動させる駆動軸を有する駆動装置と、塗布針の基端部が固定された塗布針ホルダと、第１および第２の基準面を有し、駆動軸の先端部に設けられた固定ベースと、それぞれ塗布針ホルダおよび固定ベースに設けられた第１および第２のマグネットとを備え、第１および第２のマグネット間の磁気吸引力によって塗布針ホルダを第１の基準面に吸着させて塗布針の水平方向および垂直方向のうちの一方方向の位置を固定するとともに、第１の基準面に平行な方向の第１および第２のマグネットの位置ずれにより生じる第１および第２のマグネット間の求心力によって塗布針ホルダの端面を第２の基準面に押し付けて塗布針の水平方向および垂直方向のうちの他方方向の位置を固定することを特徴とする。

好ましくは、固定ベースはさらに第３の基準面を有し、第１および第２のマグネットは、求心力によって塗布針ホルダの２つの端面をそれぞれ第２および第３の基準面に押し付けて塗布針の水平方向および垂直方向のうちの他方方向の位置を固定する。

また好ましくは、塗布針ホルダおよび固定ベースは非磁性材料で形成されている。
また、この発明に係る欠陥修正装置は、基板上の微細領域は、基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、液状材料は欠陥部を修正するための修正液であり、上記液状材料塗布機構および欠陥部を観察するための観察用光学系を含む修正ヘッドと、基板と修正ヘッドを相対的に移動させて位置決めを行う位置決め機構とを備えることを特徴とする。

この発明に係る塗布針固定方法と、それを用いた液状材料塗布機構および欠陥修正装置では、塗布針の基端部を塗布針ホルダに固定し、第１および第２の基準面を有する固定ベースを駆動軸の先端部に設け、塗布針ホルダおよび固定ベースにそれぞれ第１および第２のマグネットを設け、第１および第２のマグネット間の磁気吸引力によって塗布針ホルダを第１の基準面に吸着させて塗布針の水平方向および垂直方向のうちの一方方向の位置を固定するとともに、第１の基準面に平行な方向の第１および第２のマグネットの位置ずれにより生じる第１および第２のマグネット間の求心力によって塗布針ホルダの端面を第２の基準面に押し付けて塗布針の水平方向および垂直方向のうちの他方方向の位置を固定する。したがって、塗布針ホルダを固定ベースの基準端面に押し付けながら小さな固定ネジを用いて取り付けていた従来に比べ、塗布針を駆動装置の駆動軸に容易に再現性良く取り付けることができる。

図１は、この発明の一実施の形態による欠陥修正装置の全体構成を示す図である。図１において、この欠陥修正装置は、大きく分類すると、観察光学系１、ＣＣＤカメラ２、レーザ３、インク塗布機構４、およびインク硬化用照明５から構成される欠陥修正ヘッド部と、この欠陥修正ヘッド部を修正対象のカラーフィルタ基板６に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸テーブル７と、Ｚ軸テーブル７を搭載してＸ軸方向に移動させるためのＸ軸テーブル８と、カラーフィルタ基板６を搭載してＹ軸方向に移動させるためのＹ軸テーブル９と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ１０と、制御用コンピュータ１０に作業者からの指令を入力するための操作パネル１１から構成される。

観察光学系１は、カラーフィルタ基板６の表面状態や、インク塗布機構４でインク塗布した状態を観察するためのものである。観察光学系１によって観察される画像は、ＣＣＤカメラ２により電気信号に変換され、制御用コンピュータ１０のモニタ画面に表示される。インク塗布機構４は、カラーフィルタ基板６表面の白欠陥にインクを塗布して修正する。インク硬化用照明５は、インク塗布機構４で塗布されたインクを硬化させるための光を照射する。インクが紫外線硬化タイプの場合は、紫外線照明がインク硬化用照明５として選択されて装置に搭載される。インクが熱硬化タイプの場合は、ハロゲン照明がインク硬化用照明５として選択されて装置に搭載される。レーザ３は、黒欠陥や異物欠陥を除去して白欠陥にするために用いられる。本装置構成により、カラーフィルタに発生した白欠陥、黒欠陥、異物欠陥の修正が可能である。

図２は、インク塗布機構４の構成を示す一部省略した斜視図である。図２において、このインク塗布機構４は、インク塗布用の塗布針２１と、塗布針２１を垂直駆動させるための塗布針駆動シリンダ２２とを含む。塗布針２１は、塗布針ホルダ２４および固定ベース２５を介して塗布針駆動シリンダ２２の駆動軸２３の先端部に設けられる。

また、このインク塗布機構４は、水平に設けられた回転テーブル２６を含み、回転テーブル２６上には円周方向に複数のインクタンク２７〜３０が順次配置され、さらに、回転テーブル２６上には洗浄装置３１とエアパージ装置３２とが設けられる。回転テーブル２６の中心には回転軸３３が立設されている。また、回転テーブル２６には、インク塗布時に塗布針２１を通過させるための切欠部３４が形成されている。インクタンク２７〜３０には、それぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）および黒の各色のインクが適宜注入されている。洗浄装置３１は、塗布針２１に付着したインクを除去するためのものであり、エアパージ装置３２は塗布針２１に付着した洗浄液を吹き飛ばすためのものである。

さらに、このインク塗布機構４は、回転テーブル２６の回転軸３３を回転させるためのインデックス用モータ３５を含み、さらに回転軸３３とともに回転するインデックス板３６と、インデックス板３６を介して回転テーブル２６の回転位置を検出するためのインデックス用センサ３７と、インデックス板３６を介して回転テーブル２６の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ３８とが設けられる。モータ３５はセンサ３７，３８の出力に基づいて制御され、回転テーブル２６を回転させて切欠部３４、インクタンク２７〜３０、洗浄装置３１およびエアパージ装置３２のうちいずれかを塗布針２１の下方に位置させる。

なお、塗布針駆動シリンダ２２とモータ３５はＺ軸テーブル７に固定され、Ｚ軸テーブル７と欠陥修正の対象となるカラーフィルタ基板６とは、Ｘ軸テーブル８およびＹ軸テーブル９によって相対的に位置決めされる。

次に、このインク塗布機構４の動作について説明する。まず、Ｘ軸テーブル８、Ｙ軸テーブル９およびＺ軸テーブル７が駆動され、カラーフィルタ基板６の欠陥部の上方の所定位置に塗布針２１の先端が位置決めされる。次いで、モータ３５によって回転テーブル２６が回転され、所望のインクタンク（たとえば２７）が塗布針２１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ２２によって塗布針２１が上下に駆動され、塗布針２１の先端部にインクが付着される。

次いで、モータ３５によって回転テーブル２６が回転され、切欠部３４が塗布針２１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ２２によって塗布針２１が上下に駆動され、塗布針２１の先端部に付着したインクがカラーフィルタ基板６の欠陥部に塗布される。

塗布針２１の洗浄時は、モータ３５によって回転テーブル２６が回転され、洗浄装置３１が塗布針２１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ２２によって塗布針２１が上下に駆動され、塗布針２１に付着したインクが洗浄される。次いで、モータ３５によって回転テーブル２６が回転され、エアパージ装置３２が塗布針２１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ２２によって塗布針２１が上下に駆動され、塗布針２１に付着した洗浄液が吹き飛ばされる。

図３（ａ）（ｂ）は、この欠陥修正装置の特徴となる塗布針固定方法を示す図である。図３（ａ）（ｂ）において、塗布針ホルダ２４は長方形の平板状に形成されている。塗布針２１は、塗布針ホルダ２４の長辺と同じ向きに向けられて、その基端部が塗布針ホルダ２４の一方の短辺に固定されている。塗布針ホルダ２４の他方の短辺側の端面Ｅ１と、一方の長辺側の端面Ｅ２とは、塗布針２１の位置合わせに使用される。端面Ｅ１とＥ２が交差する角は削られている。塗布針ホルダ２４表面の所定位置にマグネット（永久磁石）Ｍ１が埋め込まれている。

また、固定ベース２５は、長方形の厚板の一角部を塗布針ホルダ２４の大きさ分だけ削り取った形状をしており、その長辺を垂直に向けて駆動軸２３の先端部に固定されている。固定ベース２５は、塗布針ホルダ２４の裏面が密着される基準面Ｆと、塗布針ホルダ２４の端面Ｅ１，Ｅ２がそれぞれ押し付けられる基準端面Ｅ３，Ｅ４とを含む。基準面Ｆは、固定ベース２５の図中左斜め下部に位置しており、垂直に設けられている。基準端面Ｅ３は基準面Ｆの図中上側の短辺に沿って配置され、基準端面Ｅ４は基準面Ｆの図中右側の長辺に沿って配置されている。基準面Ｆの所定位置にマグネットＭ２が埋め込まれている。

塗布針ホルダ２４の裏面と固定ベース２５の基準面Ｆとの間に磁気吸引力が働くように、マグネットＭ１のＮ極（またはＳ極）が塗布針ホルダ２４の裏面と同じ方向に向くようにマグネットＭ１が塗布針ホルダ２４に組み込まれ、マグネットＭ２のＳ極（またはＮ極）が固定ベース２５の基準面Ｆと同じ方向に向くようにマグネットＭ２が固定ベース２５に組み込まれる。したがって、塗布針２１の先端を下にして塗布針ホルダ２４の裏面を固定ベース２５の基準面Ｆに近付けると、マグネットＭ１，Ｍ２間の磁気吸引力によって塗布針ホルダ２４の裏面が固定ベース２５の基準面Ｆに吸着される。

また、基準面Ｆに平行な方向のマグネットＭ１，Ｍ２の位置ずれにより生じるマグネットＭ１，Ｍ２間の求心力によって塗布針ホルダ２４の端面Ｅ１，Ｅ２が固定ベース２５の基準端面Ｅ３，Ｅ４に押し付けられるように、マグネットＭ１，Ｍ２が配置される。

すなわち図４(a)に示すように、マグネットＭ１のＳ極とマグネットＭ２のＮ極が磁気吸引力によって引き合う程度の距離までマグネットＭ１とＭ２を近付けると、マグネットＭ２のＮ極から出た磁束はマグネットＭ１のＳ極に真っ直ぐに向かう。また、引き伸ばしたゴム糸に縮まろうとする力があるように、磁束にも縮まろうとする力が働く。この力により、図４(b)に示すように、互いに中心がずれたマグネットＭ１，Ｍ２は、互いの中心が一致する位置に移動しようとする。この力は、求心力と呼ばれる。

図５は、塗布針ホルダ２４が固定ベース２５に密着したときのマグネットＭ１とＭ２の位置関係を示す図である。図５において、塗布針ホルダ２４が固定ベース２５に密着したとき、マグネットＭ１はマグネットＭ２の左斜め下に配置されている。すなわち、マグネットＭ１は、マグネットＭ２よりもΔＺだけ下側に配置され、マグネットＭ２よりもΔＸだけ左側に配置されている。これにより、図４（ａ）（ｂ）で説明したマグネットＭ１，Ｍ２の位置ずれによる求心力が図中矢印Ａの方向に発生し、塗布針ホルダ２４の端面Ｅ１，Ｅ２が固定ベース２５の基準端面Ｅ３，Ｅ４に押し付けられた形で固定される。

なお、マグネットＭ１，Ｍ２間の求心力をより効果的に発生させるため、塗布針ホルダ２４と固定ベース２５を非磁性材料で形成することがより望ましい。これは、塗布針ホルダ２４と固定ベース２５を磁性材料で形成した場合、マグネットＭ１，Ｍ２の外周の磁性材料部分にマグネットＭ１，Ｍ２から出た磁束が広がり、求心力が弱まってしまうためである。

この実施の形態では、塗布針ホルダ２４および固定ベース２５にそれぞれマグネットＭ１，Ｍ２を設け、マグネットＭ１，Ｍ２間の磁気吸引力によって塗布針ホルダ２４の裏面を固定ベース２５の基準面Ｆに吸着させるとともに、基準面Ｆに平行な方向のマグネットＭ１，Ｍ２の位置ずれにより生じるマグネットＭ１，Ｍ２間の求心力によって塗布針ホルダ２４の端面Ｅ１，Ｅ２を固定ベース２５の基準端面Ｅ３，Ｅ４に押し付ける。したがって、クリーンルーム内においてクリーンウエア、マスク、ゴム手袋を装着した作業者でも、塗布針ホルダ２４を固定ベース２５に容易に再現性良く取り付けることができる。

図６（ａ）（ｂ）は、この実施の形態の比較例を示す図であって、図３（ａ）（ｂ）と対比される図である。図６（ａ）（ｂ）において、この比較例が図３（ａ）（ｂ）の塗布針固定方法と異なる点は、塗布針ホルダ２４にマグネットＭ１を組み込む代わりに切欠部４０を形成し、固定ベース２５にマグネットＭ２を組み込む代わりにネジ穴４１を形成し、塗布針ホルダ２４を固定ベース２５に固定ネジ４２に固定する点である。

この比較例では、クリーンウエア、マスク、ゴム手袋を装着した作業者が塗布針ホルダ２４の端面Ｅ１，Ｅ２を固定ベース２５の基準端面Ｅ３，Ｅ４に押し付けながら、固定ネジ４２を締め付ける必要があり、塗布針ホルダ２４を固定ベース２５に再現性良く取り付けることは容易でなかった。端面Ｅ１とＥ３の間や端面Ｅ２とＥ４の間に隙間ができて、塗布針２４の交換前後における塗布針２４の先端位置の再現性が悪くなったり、塗布針ホルダ２４を落として塗布針２１を破損する問題があった。

これに対して本願発明では、固定ネジ４２を締め付ける必要が無く、作業性が向上する。また、塗布針ホルダ２４の端面Ｅ１，Ｅ２を固定ベース２５の基準端面Ｅ３，Ｅ４に押し付けながら固定する必要がなくなり、不慣れな作業者でも確実に塗布針ホルダ２４を固定することが可能となる。また、塗布針ホルダ２４を固定ベース２５に近づけると、マグネットＭ１，Ｍ２の磁気吸引力で塗布針ホルダ２４が固定ベース２５に吸着されるため、塗布針ホルダ２４を落下させて塗布針２１を損傷させてしまう可能性も低くなる。また、塗布針ホルダ２４を取り外すときも、固定ベース２５から抜き取るだけでよく、非常に作業性が向上する。

また、図７（ａ）〜（ｄ）は、この実施の形態の変更例を示す図であって、図３（ａ）（ｂ）と対比される図である。図７（ａ）〜（ｄ）において、この変更例が図３の塗布針固定方法と異なる点は、塗布針ホルダ２４および固定ベース２５がそれぞれ塗布針ホルダ５０および固定ベース５１で置換されている点である。塗布針ホルダ５０は、長方形の平板状に形成されている。塗布針２１は、塗布針ホルダ５０の裏面に垂直な向きに向けられて、その基端部が裏面の一方の短辺側に固定されている。塗布針ホルダ５０の他方の短辺側の端面Ｅ１と、一方の長辺側の端面Ｅ２とは、塗布針２１の位置合わせに使用される。端面Ｅ１とＥ２が交差する角は削られている。塗布針ホルダ５０裏面の所定位置にマグネットＭ１が埋め込まれている。

また、固定ベース５１は、座椅子状のブロックの水平部の表面の一角部を塗布針ホルダ５０の裏面の大きさ分だけ削り取った形状をしており、その垂直部の背面が駆動軸２３の先端部に固定されている。固定ベース５１は、塗布針ホルダ５０の裏面が密着される基準面Ｆと、塗布針ホルダ５０の端面Ｅ１，Ｅ２がそれぞれ押し付けられる基準端面Ｅ３，Ｅ４とを含む。基準面Ｆは、水平に設けられている。基準面Ｆの所定位置にマグネットＭ２が埋め込まれている。

塗布針ホルダ５０の裏面と固定ベース５１の基準面Ｆとの間に磁気吸引力が働くように、マグネットＭ１のＮ極（またはＳ極）が塗布針ホルダ５０の裏面と同じ方向に向くようにマグネットＭ１が塗布針ホルダ５０に組み込まれ、マグネットＭ２のＳ極（またはＮ極）が固定ベース５１の基準面Ｆと同じ方向に向くようにマグネットＭ２が固定ベース５１に組み込まれる。したがって、塗布針２１の先端を下にして塗布針ホルダ５０の裏面を固定ベース５１の基準面Ｆに近付けると、マグネットＭ１，Ｍ２間の磁気吸引力によって塗布針ホルダ５０の裏面が固定ベース５１の基準面Ｆに吸着される。

また、基準面Ｆに平行な方向のマグネットＭ１，Ｍ２の位置ずれにより生じるマグネットＭ１，Ｍ２間の求心力によって塗布針ホルダ５０の端面Ｅ１，Ｅ２が固定ベース５１の基準端面Ｅ３，Ｅ４に押し付けられるように、マグネットＭ１，Ｍ２が配置される。求心力は、図４および図５で説明した通りである。この変更例でも、実施の形態と同じ効果が得られる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

この発明の一実施の形態による欠陥修正装置の全体構成を示す図である。 図１に示したインク塗布機構の構成を示す図である。 図２に示した塗布針ホルダおよび固定ベースの構成および固定方法を示す図である。 図３に示した２つのマグネット間の求心力を説明するための図である。 図３に示した２つのマグネットの位置関係を示す図である。 実施の形態の比較例を示す図である。 実施の形態の変更例を示す図である。 カラーフィルタに発生する欠陥を示す図である。

符号の説明

１ 観察光学系、２ ＣＣＤカメラ、３ レーザ、４ インク塗布機構、５ インク硬化用照明、６ カラーフィルタ基板、７ Ｚ軸テーブル、８ Ｘ軸テーブル、９ Ｙ軸テーブル、１０ 制御用コンピュータ、１１ 操作パネル、２１ 塗布針、２２ 塗布針駆動シリンダ、２３ 駆動軸、２４，５０ 塗布針ホルダ、２５，５１ 固定ベース、２６ 回転テーブル、２７〜３０ インクタンク、３１ 洗浄装置、３２ エアパージ装置、３３ 回転軸、３４，４０ 切欠部、３５ モータ、３６ インデックス板、３７ インデックス用センサ、３８ 原点復帰用センサ、Ｍ１，Ｍ２ マグネット、Ｅ１，Ｅ２ 端面、Ｅ３，Ｅ４ 基準端面、Ｆ 基準面、４１ ネジ穴、４２ 固定ネジ、１００ ブラックマトリクス、１０１ Ｒ画素、１０２ Ｇ画素、１０３ Ｂ画素、１０４ 白欠陥、１０５ 黒欠陥、１０６ 異物欠陥。

Claims (5)

1. 基板上の微細領域に液状材料を塗布する塗布針を駆動装置の駆動軸に固定する塗布針固定方法であって、
   前記塗布針の基端部を塗布針ホルダに固定し、
   第１および第２の基準面を有する固定ベースを前記駆動軸の先端部に設け、
   前記塗布針ホルダおよび前記固定ベースにそれぞれ第１および第２のマグネットを設け、
   前記第１および第２のマグネット間の磁気吸引力によって前記塗布針ホルダを前記第１の基準面に吸着させて前記塗布針の水平方向および垂直方向のうちの一方方向の位置を固定するとともに、前記第１の基準面に平行な方向の前記第１および第２のマグネットの位置ずれにより生じる前記第１および第２のマグネット間の求心力によって前記塗布針ホルダの端面を前記第２の基準面に押し付けて前記塗布針の水平方向および垂直方向のうちの他方方向の位置を固定することを特徴とする、塗布針固定方法。
2. 塗布針の先端部に付着した液状材料を基板上の微細領域に塗布する液状材料塗布機構であって、
   前記塗布針を駆動させる駆動軸を有する駆動装置と、
   前記塗布針の基端部が固定された塗布針ホルダと、
   第１および第２の基準面を有し、前記駆動軸の先端部に設けられた固定ベースと、
   それぞれ前記塗布針ホルダおよび前記固定ベースに設けられた第１および第２のマグネットとを備え、
   前記第１および第２のマグネット間の磁気吸引力によって前記塗布針ホルダを前記第１の基準面に吸着させて前記塗布針の水平方向および垂直方向のうちの一方方向の位置を固定するとともに、前記第１の基準面に平行な方向の前記第１および第２のマグネットの位置ずれにより生じる前記第１および第２のマグネット間の求心力によって前記塗布針ホルダの端面を前記第２の基準面に押し付けて前記塗布針の水平方向および垂直方向のうちの他方方向の位置を固定することを特徴とする、液状材料塗布機構。
3. 前記固定ベースはさらに第３の基準面を有し、
   前記第１および第２のマグネットは、前記求心力によって前記塗布針ホルダの２つの端面をそれぞれ前記第２および第３の基準面に押し付けて前記塗布針の水平方向および垂直方向のうちの他方方向の位置を固定することを特徴とする、請求項２に記載の液状材料塗布機構。
4. 前記塗布針ホルダおよび前記固定ベースは非磁性材料で形成されていることを特徴とする、請求項２または請求項３に記載の液状材料塗布機構。
5. 前記基板上の微細領域は、前記基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、
   前記液状材料は前記欠陥部を修正するための修正液であり、
   請求項２から請求項４までのいずれかに記載の液状材料塗布機構および前記欠陥部を観察するための観察用光学系を含む修正ヘッドと、
   前記基板と前記修正ヘッドを相対的に移動させて位置決めを行う位置決め機構とを備えることを特徴とする、欠陥修正装置。

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