JP5263861B2 - 欠陥修正装置 - Google Patents
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- 液晶表示装置用のTFT電極基板の欠陥部に液状材料を塗布して前記欠陥部を修正する欠陥修正装置において、
その先端に平坦面が形成され、その先端から軸方向に沿って漸次その断面が拡大するテーパ部が先端部に形成された塗布針と、
前記塗布針の先端部に前記液状材料を付着させて前記塗布針の先端を前記欠陥部に接触させ、前記塗布針を前記TFT電極基板に対して平行移動させて前記液状材料を塗布する駆動手段とを備え、
前記欠陥部では、前記TFT電極基板の最上層である配向膜層が正常に成膜されずにTFT電極層が露出しており、
前記塗布針の少なくとも先端部の表面は、前記塗布針の先端部と前記TFT電極層との間で静電気の放電を抑制するために絶縁材料で形成されており、
前記塗布針の前記テーパ部に平坦面が形成されていないことを特徴とする、欠陥修正装置。 - 前記絶縁材料はセラミックであることを特徴とする、請求項1に記載の欠陥修正装置。
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