JP2008241911A - パターン修正装置およびパターン修正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このパターン修正装置では、フィルム3を固定ローラ19で折り返して上下に配置し、上方フィルム3Aの一部を移動させて下方フィルム3Bの孔3aを露出させ、孔3aの開口部を欠陥部2aに所定の隙間を開けて対峙させ、修正ペースト10が付着した塗布針9先端の平坦面9aで孔3aを閉蓋するようにしてフィルム3を基板1に押圧し、欠陥部2aに修正ペースト10を塗布する。したがって、毛細管現象によって修正ペースト10がフィルム3と基板1の隙間に侵入することを防止できる。
【選択図】図9
Description
Claims (7)
- 基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するパターン修正装置において、
帯状のフィルムを折り返して上下に配置し、前記フィルムを前記基板の上方に供給するフィルム供給手段と、
前記フィルムのうちの上方フィルムの一部を移動させ、下方フィルムに開けられた孔を露出させる移動手段と、
前記孔の開口部を前記欠陥部に所定の隙間を開けて対峙させる位置決め手段と、
前記孔を含む所定範囲で前記下方フィルムを前記基板に押圧するとともに、前記孔を介して前記欠陥部に修正液を塗布する塗布手段とを備えたことを特徴とする、パターン修正装置。 - 前記フィルムのうちの上方フィルムの表面にレーザ光を照射して前記欠陥部に応じた形状の前記孔を開けるレーザ照射手段を備え、
前記フィルム供給手段は、前記孔が前記下方フィルムに位置するように前記フィルムを巻き取ることを特徴とする、請求項1に記載のパターン修正装置。 - 前記上方フィルムと前記下方フィルムの間に上下動可能に設けられた2本のローラと、
前記レーザ照射手段によって前記上方フィルムに前記孔を開ける場合は、前記2本のローラを前記上方フィルムに押し付けて前記上方フィルムを前記基板と略平行に配置し、前記位置決め手段によって前記孔の開口部を前記欠陥部に対峙させる場合は、前記2本のローラを前記下方フィルムに押し付けて前記下方フィルムを前記基板と略平行に配置する第1の駆動手段を備えることを特徴とする、請求項2に記載のパターン修正装置。 - 前記移動手段は、
前記上方フィルムの下において前記上方フィルムの幅方向に移動可能に設けられた平板部材と、
前記平板部材の一方側端部に立設され、前記上方フィルムの一部を引っ掛けるための複数の爪部材と、
前記平板部材を前記上方フィルムの幅方向に移動させる第2の駆動手段とを含むことを特徴とする、請求項2または請求項3に記載のパターン修正装置。 - 前記平板部材は、前記レーザ照射手段によって前記フィルムに前記孔を開けるときに発生する異物を受けるための遮蔽板を兼ねていることを特徴とする、請求項4に記載のパターン修正装置。
- 基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するパターン修正方法において、
帯状のフィルムを折り返して上下に配置し、前記フィルムを前記基板の上方に供給する第1のステップと、
前記フィルムのうちの上方フィルムの一部を移動させ、下方フィルムに開けられた孔を露出させる第2のステップと、
前記孔の開口部を前記欠陥部に所定の隙間を開けて対峙させる第3のステップと、
前記孔を含む所定範囲で前記下方フィルムを前記基板に押圧するとともに、前記孔を介して前記欠陥部に修正液を塗布する第4のステップとを含むことを特徴とする、パターン修正方法。 - 前記第1のステップは、
前記上方フィルムの表面にレーザ光を照射して前記欠陥部に応じた形状の前記孔を開ける第5のステップと、
前記孔が前記下方フィルムに位置するように前記フィルムを巻き取る第6のステップとを含むことを特徴とする、請求項6に記載のパターン修正方法。
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