JP3338285B2 - 欠陥修正装置 - Google Patents
欠陥修正装置Info
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- JP3338285B2 JP3338285B2 JP7606296A JP7606296A JP3338285B2 JP 3338285 B2 JP3338285 B2 JP 3338285B2 JP 7606296 A JP7606296 A JP 7606296A JP 7606296 A JP7606296 A JP 7606296A JP 3338285 B2 JP3338285 B2 JP 3338285B2
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Description
し、特に、カラーフィルタの色抜け部分などの欠陥を修
正するような欠陥修正装置に関する。
と称する）のカラー化がめざましく、ＬＣＤのカラー化
に欠かせない部材としてのカラーフィルタの需要も急速
に高まってきている。このカラーフィルタの基板には、
ブラックマトリックスと呼ばれる格子状のパターンやＲ
ＧＢ（赤，緑，青）に着色されたカラー層（以下、カラ
ーフィルタ部と称する）が形成されている。これらが形
成される工程において、ブラックマトリックス部がカラ
ーフィルタ部にはみ出したり、隣り合う色が混じり合っ
たり、ブラックマトリックス部あるいはカラーフィルタ
部の色が抜けたりするさまざまな欠陥が発生することが
ある。
ザにより上記欠陥を除去した後、塗布針を用いて、この
部分に微小量のインクを塗布する方法などが提案されて
いる。
欠陥を修正する方法を説明するための図である。図５
（ａ）に示すように、カラーフィルタ部３１やブラック
マトリックス３２の形状は、通常矩形あるいは矩形を組
合せた形状であるため、レーザ光による除去形状３３も
矩形とすることが多い。この除去部にインクを塗布する
場合には、従来は円形の塗布針を用い、破線３４のよう
に修正していた。しかしながら、除去部周辺のカラーフ
ィルタ面にもインクが重なるため、カラーフィルタ面よ
りも高い部分を作ってしまうことになり、後工程に悪影
響を与える。これを防ぐには、破線３５のように、除去
部内側に塗布することが望ましい。この場合には図５
（ｂ）に示すように、除去形状が正方形の場合には四隅
が、また長方形の場合には四隅の他に塗布の重ね合わせ
の不足した部分にも未着色領域３６ができてしまう不具
合がある。
陥部にインクを塗布する最適な針形状を備えた欠陥修正
装置を提供することである。
に付着させ、これを基板上に形成されたパターンの欠陥
部に塗布して修正する欠陥修正装置において、針の先端
部が平坦でありかつその断面が矩形であり、軸方向に沿
って漸次その断面が拡大するテーパ状に形成され、さら
に軸方向に沿う後端部断面形状が円形を成していて、針
にインクを付着させたとき、表面張力によりテーパ部上
部にインキ溜まりを生じさせ、針先端部が露出したこと
に応じて該針先端部をパターン欠陥部に接触させて修正
を行うことを特徴とする。
修正装置のインク塗布機構の構成を示す一部省略した斜
視図である。図１を参照して、インク塗布機構は、イン
ク塗布用の針１と、針１を垂直方向に駆動させるための
位置決め用アクチュエータ２とを含む。針１は保持部材
４を介してアクチュエータ２の駆動軸３の先端部に設け
られる。
テーブル１０を含み、回転テーブル１０上には円周方向
に複数のインクタンク１３〜１６が順次配置され、さら
に、回転テーブル１０上には洗浄装置１７とエアーパー
ジ装置１８とが設けられる。回転テーブル１０の中心に
は回転軸１１が立設されている。また、回転テーブル１
０には、インク塗布時に針１を通過させるための切欠部
１２が形成されている。インクタンク１３〜１６には、
それぞれＲＧＢおよび黒の各色のインクやインクの固着
を防ぐための溶剤が適宜注入されている。
去するためのものであり、エアーパージ装置１８は針に
付着していた洗浄液を吹き飛ばすものである。
１０の回転軸１１を回転させるためのインデックス用モ
ータ２１を含み、さらに回転軸１１とともに回転するイ
ンデックス板２２と、インデックス板２２を介して回転
テーブル１０の回転位置を検出するためのインデックス
用センサ２３と、インデックス板２２を介して回転テー
ブル１０の回転位置が原点に復帰したことを検出するた
めの原点復帰用センサ２４とが設けられる。モータ２１
はセンサ２３，２４の出力に基づいて制御され、回転テ
ーブル１０を回転させて切欠部１２，インクタンク１３
〜１６，洗浄装置１７およびエアーパージ装置１８のう
ちのいずれかを針１の下方に位置させる。
インデックス用モータ２１は図示しないＺ軸テーブルに
固定され、欠陥修正の対象となるカラーフィルタは針１
の下方の図示しないＸＹテーブル上に載置される。
の先端形状を示す図であり、図３は図２に示した針でイ
ンクを塗布した例を示す図であり、図４は図１に示した
針と従来の針にインクを付着させた状態を示す図であ
る。
における針１の先端部は、インクの表面張力に影響を受
けない長さのテーパ状となるように形成される。すなわ
ち、針１の先端はフラット、その断面は図２のＡに示す
ように矩形であり、なおかつ針の軸方向に沿って漸次そ
の断面が拡大していく形状をしており、図２のＢの断面
はＡの断面よりも大きく、図２のＣの断面は円形をなし
ている。より具体的な数値で示すと、テーパ状部の角度
αは約３０°，長さは１〜２ｍｍ，先端部の一辺の長さ
が２０μｍ程度に選ばれる。
つ矩形にすることによって、図３に示すように塗布形状
もほぼ矩形に近くなるため、図５（ｂ）に示した未着色
領域３６ができることがなく、効率的な塗布を行なうこ
とができる。また、断面を徐々に増大させるようにした
ので、針１をインク容器に浸漬した後、針１を引上げる
と、その表面にはインクが付着するが、表面張力により
図４（ａ）に示したようなインク溜まり３０が発生す
る。針１にテーパ部がある場合は、インク溜まり３０は
テーパ部上部に発生し、針１の先端が露出する。これに
対して、テーパ部のない場合、たとえば図４（ｂ）に示
すように直線状の針ではインク溜まり３０が針先端部に
発生するため、塗布量も多くなってしまい、かつ先端形
状とは異なる塗布となってしまう。
ているものは、感光性樹脂、非感光性樹脂の他金属ペー
ストなども含む。
先端部が平坦でありかつその断面が矩形であり、軸方向
に沿って漸次その断面が拡大するテーパ状に形成され、
さらに軸方向に沿う後端部断面形状が円形を成してい
て、針にインクを付着させたとき、表面張力によりテー
パ部上部にインキ溜まりを生じさせ、針先端部が露出し
たことに応じて該針先端部をパターン欠陥部に接触させ
て修正を行うようにしたので、未着色領域の無い修正が
可能となり、重ね塗りの少ない効率のよい塗布が可能と
なる。
ンク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図である。
示す図である。
である。
た状態を示す図である。
塗布する方法を説明するための図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 インクを針に付着させ、これを基板上に
形成されたパターンの欠陥部に塗布して修正する欠陥修
正装置において、前記針は、その先端部が平坦でありかつその断面が矩形
であり、軸方向に沿って漸次その断面が拡大するテーパ
状に形成され、さらに軸方向に沿う後端部断面形状が円
形を成していて、 前記針に前記インクを付着させたとき、表面張力により
前記テーパ部上部にインキ溜まりを生じさせ、針先端部
が露出したことに応じて該針先端部を前記パターン欠陥
部に接触させて修正を行う ことを特徴とする、欠陥修正
装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7606296A JP3338285B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 欠陥修正装置 |
| TW085114535A TW333631B (en) | 1996-02-29 | 1996-11-25 | Modification method and apparatus of defects |
| KR1019960064061A KR100399673B1 (ko) | 1996-02-29 | 1996-12-11 | 결함수정방법및그장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7606296A JP3338285B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 欠陥修正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09262520A JPH09262520A (ja) | 1997-10-07 |
| JP3338285B2 true JP3338285B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=13594293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7606296A Expired - Lifetime JP3338285B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-03-29 | 欠陥修正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3338285B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4521741B2 (ja) * | 1999-06-25 | 2010-08-11 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
| JP2006119371A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Ntn Corp | 塗布針およびそれを用いた微細パターン修正装置 |
| JP4925644B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2012-05-09 | Ｎｔｎ株式会社 | 塗布機構、欠陥修正装置、塗布方法、および液晶表示パネル用カラーフィルタの欠陥修正方法 |
| JP4861794B2 (ja) * | 2006-11-02 | 2012-01-25 | 高園産業株式会社 | 回転体の回転位置検出装置及び水薬供給装置 |
| JP6465124B2 (ja) | 2015-02-02 | 2019-02-13 | 日産自動車株式会社 | 触媒層修正方法、及び触媒層修正装置 |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP7606296A patent/JP3338285B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09262520A (ja) | 1997-10-07 |
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