TWI508789B - A liquid material applying means, and a defect correcting means using the coating means - Google Patents

Description

液狀材料塗敷裝置以及使用該塗敷裝置之缺陷修正裝置

本發明係有關於液狀材料塗敷裝置及使用該塗敷裝置之缺陷修正裝置。尤其係有關於對基板上的微細區域塗敷液狀材料的液狀材料塗敷裝置及使用該塗敷裝置之缺陷修正裝置。更特定而言，本發明係有關於對液晶彩色濾光器基板之白缺陷塗敷修正液而修正的缺陷修正裝置。

近年來，隨著LCD(液晶顯示器)之大型化、高精細化而像素數亦增大，變成難以無缺陷製造LCD，而缺陷的發生機率亦逐漸增加。為了在這種狀況下提高良率，在生產線無法缺少修正在LCD之彩色濾光器的製程所發生之缺陷的缺陷修正裝置。

第15(a)~(c)圖係表示在LCD之彩色濾光器的製程所發生之缺陷的圖。在第15(a)~(c)圖，彩色濾光器包含有：透明基板、形成於其表面的稱為黑陣列51之格子狀的圖案、複數組R(紅色)像素52、G(綠色)像素53以及B(藍色)像素54。在彩色濾光器的製程，發生如第15(a)圖所示，像素或黑陣列51之顏色脫落的白缺陷55、或如第15(b)圖所示，顏色和相鄰的像素混色、或黑陣列51溢出像素的黑缺陷56、或如第15(c)圖所示，異物附著於像素的異物缺陷57等。

作為修正白缺陷55的方法，有利用墨水塗敷機構，而使顏色和白缺陷55的像素一樣之墨水附著於塗敷針的前端部，再將附著於塗敷針之前端部的墨水塗敷於白缺陷55而修正的方法。又，作為修正黑缺陷56或異物缺陷57的方法，有將缺陷部分進行雷射切割而形成矩形的白缺陷55後，利用墨水塗敷機構，將附著於塗敷針之前端部的墨水塗敷於該白缺陷55而修正的方法。

第16圖係表示以往之墨水塗敷機構的構造之省略一部分的立體圖。在第16圖，此墨水塗敷機構包含有：墨水塗敷用的塗敷針61、及用以將塗敷針61進行垂直驅動的塗敷針驅動缸62。塗敷針61經由塗敷針夾具64及固定座65而設置於塗敷針驅動缸62之驅動軸63的前端部。

又，本墨水塗敷機構，包含有水平地設置之旋轉工作台66，於旋轉工作台66上朝向圓周方向依序配置複數個墨水槽67~70，而且於旋轉工作台66上設置洗淨裝置71和空氣沖洗裝置72。還將轉軸73立設於旋轉工作台66的中心。又，在塗敷墨水時於旋轉工作台66上形成用以使塗敷針61通過的缺口部74。於墨水槽67~70，各自適當地注入R(紅)、G(綠)、B(藍)以及黑色的墨水。洗淨裝置71係用以除去附著於塗敷針61的墨水，空氣沖洗裝置72係用以吹掉附著於塗敷針61的清潔液。

此外，本墨水塗敷機構包含有用以使旋轉工作台66之轉軸73轉動的分度用馬達75，還設置：分度板76，係和轉軸73一起轉動；分度用感測器77，係用以經由分度板76而檢測旋轉工作台66的轉動位置；以及原點回位用感測器78，係用以經由分度板76而檢測旋轉工作台66的轉動位置回到原點。根據感測器77、78的輸出而控制馬達75，使旋轉工作台66轉動，並使缺口部74、墨水槽67~70、洗淨裝置71以及空氣沖洗裝置72中之任一個位於塗敷針61的下方。

其次，說明此墨水塗敷機構的動作。首先，利用未圖示的定位裝置，將塗敷針61的前端定位於彩色濾光器基板之缺陷部的上方之既定位置。接著，利用馬達75使旋轉工作台66轉動，而將所要的墨水槽(例如67)移至塗敷針61之下。然後，利用塗敷針驅動缸62驅動塗敷針61進行上下動作，而墨水附著於塗敷針61的前端部。

接著，利用馬達75使旋轉工作台66轉動，而缺口部74移至塗敷針61之下。然後，利用塗敷針驅動缸62驅動塗敷針61進行上下動作，而將塗敷針61之前端部所附著的墨水塗敷於彩色濾光器基板的缺陷部。

在清潔塗敷針61時，利用馬達75使旋轉工作台66轉動，而洗淨裝置71移至塗敷針61之下。接著，利用塗敷針驅動缸62驅動塗敷針61進行上下動作，而將塗敷針61所附著的墨水洗掉。然後，利用馬達75使旋轉工作台66轉動，而空氣沖洗裝置72移至塗敷針61之下。接著，利用塗敷針驅動缸62驅動塗敷針61進行上下動作，而吹掉塗敷針61所附著的清潔液(例如，參照特開平9-236933號公報)。

可是，在以往的墨水塗敷機構，僅設置1支塗敷針61，因為每次改變修正墨水的顏色就清潔塗敷針61，所以具有修正時間變長的問題。

因而，本發明之主要目的在於提供可縮短塗敷時間的液狀材料塗敷裝置及使用該塗敷裝置之缺陷修正裝置。

本發明之液狀材料塗敷裝置，係對基板上的微細區域塗敷液狀材料，其特徵在於包括：觀察鏡筒，係用以觀察微細區域；可動板，係設置成可在基板和觀察鏡筒之間的和基板平行之平面內移動；複數個物鏡，係設置於可動板的下面；複數個塗敷單元，係設置於可動板的下面，各自用以將附著於塗敷針之前端的液狀材料塗敷於微細區域；以及第1驅動手段，係在觀察微細區域的情況，使可動板移動，而將複數個物鏡中之所選擇的物鏡配置於觀察鏡筒之下，而在對微細區域塗敷液狀材料的情況，使可動板移動，而將複數個塗敷單元中之所選擇的塗敷單元配置於觀察鏡筒之下。

可動板係設置於可朝向彼此正交之第1及第2方向移動，而第1驅動手段係使可動板朝向第1及第2方向移動較佳。

最好又包括：檢測手段，係檢測可動板的位置；及記憶手段，係記憶檢測手段的檢測結果；利用該檢測手段檢測藉第1驅動手段使各物鏡的光軸和觀察鏡筒的光軸大致一致時之可動板的第1位置、和使各塗敷單元之塗敷針的前端和觀察鏡筒的光軸大致一致時之可動板的第2位置，並利用記憶手段預先記憶檢測結果。第1驅動手段係根據檢測手段的檢測結果和記憶手段的記憶內容而動作，在觀察微細區域的情況，使可動板移至對應於所選擇之物鏡的第1位置，而在對微細區域塗敷液狀材料的情況，使可動板移至對應於所選擇之塗敷單元的第2位置。

又最好，還包括計算手段，其在觀察鏡筒的觀察範圍內之觀察中心以外的位置有應塗敷液狀材料之其他的微細區域之情況，計算從觀察中心至其他的微細區域之第1及第2方向的距離；第1驅動手段係根據計算手段的計算結果而使可動板移動，使所選擇之塗敷單元的塗敷針之前端從觀察中心移至其他的微細區域之上方。

又最好，可動板係設置成可朝向第1方向移動；複數個物鏡及複數個塗敷單元係朝向第1方向成一列地配置於可動板的下面；第1驅動手段係使可動板朝向第1方向移動。

又最好，還包括：第1檢測手段，係檢測可動板之第1方向的位置；及第1記憶手段，係記憶第1檢測手段的檢測結果；利用第1檢測手段檢測藉第1驅動手段使各物鏡的光軸和觀察鏡筒的光軸之第1方向的位置大致一致時之可動板的第1位置、和使各塗敷單元之塗敷針的前端和觀察鏡筒的光軸之第1方向的位置大致一致時之可動板的第2位置，並利用第1記憶手段預先記憶檢測結果。第1驅動手段係根據第1檢測手段的檢測結果和第1記憶手段的記憶內容而動作，在觀察微細區域的情況，使可動板移至對應於所選擇之物鏡的第1位置，而在對微細區域塗敷液狀材料的情況，使可動板移至對應於所選擇之塗敷單元的第2位置。

又最好，還包括：第2驅動手段，係使觀察鏡筒、可動板以及第1驅動手段在和基板平行之平面內朝向和第1方向正交的第2方向移動；第2檢測手段，係檢測可動板之第2方向的位置；以及第2記憶手段，係記憶第2檢測手段的檢測結果；利用第2檢測手段檢測藉第1驅動手段使各物鏡的光軸和觀察鏡筒的光軸之第1方向的位置大致一致而且藉第2驅動手段使各物鏡的光軸和微細區域之第2方向的位置大致一致時之可動板的第3位置、及藉第1驅動手段使各塗敷單元之塗敷針的前端和觀察鏡筒的光軸之第1方向的位置大致一致而且藉第2驅動手段使塗敷單元之塗敷針的前端和微細區域之第2方向的位置大致一致時之可動板的第4位置，並利用第2記憶手段預先記憶檢測結果。第2驅動手段係根據第2檢測手段的檢測結果和第2記憶手段的記憶內容而動作，在觀察微細區域的情況，使可動板移至對應於所選擇之物鏡的第3位置，而在對微細區域塗敷液狀材料的情況，使可動板移至對應於所選擇之塗敷單元的第4位置。

又最好，還包括計算手段，其在觀察鏡筒的觀察範圍內之觀察中心以外的位置有應塗敷液狀材料之其他的微細區域之情況，計算從觀察中心至其他的微細區域之第1及第2方向的距離；第1及第2驅動手段係根據計算手段的計算結果而使可動板移動，使所選擇之塗敷單元的塗敷針之前端從觀察中心移至其他的微細區域之上方。

又最好，可動板係設置成可轉動；複數個物鏡及複數個塗敷單元係沿著以可動板之轉軸為中心的圓成一列地配置；觀察鏡筒之光軸和可動板的轉軸係平行地配置成僅分開圓的半徑；第1驅動手段係使可動板轉動。

又最好，還包括：第1檢測手段，係檢測可動板之轉動角度；及第1記憶手段，係記憶第1檢測手段的檢測結果；利用第1檢測手段檢測藉第1驅動手段使各物鏡的光軸和觀察鏡筒的光軸大致一致時之可動板的第1轉動角度、和使各塗敷單元之塗敷針的前端和觀察鏡筒的光軸大致一致時之可動板的第2轉動角度，並利用第1記憶手段預先記憶檢測結果。第1驅動手段係根據第1檢測手段的檢測結果和第1記憶手段的記憶內容而動作，在觀察該微細區域的情況，使可動板僅轉動對應於所選擇之物鏡的第1轉動角度，而在對微細區域塗敷液狀材料的情況，使可動板僅轉動對應於所選擇之塗敷單元的第2轉動角度。

又最好，還包括：第2驅動手段，係使觀察鏡筒、可動板以及第1驅動手段朝向和基板平行的方向移動；第2檢測手段，係檢測可動板的位置；以及第2記憶手段，係記憶第2檢測手段的檢測結果；利用第2檢測手段檢測藉第1驅動手段使各物鏡的光軸和觀察鏡筒的光軸大致一致並且藉第2驅動手段使該物鏡的光軸和微細區域大致一致時之可動板的第1位置、和藉第1驅動手段使各塗敷單元之塗敷針的前端和觀察鏡筒的光軸大致一致而且藉第2驅動手段使塗敷單元之塗敷針的前端和微細區域大致一致時之可動板的第2位置，並利用第2記憶手段預先記憶檢測結果。第2驅動手段係根據第2檢測手段的檢測結果和第2記憶手段的記憶內容而動作，在觀察微細區域的情況，使可動板移至對應於所選擇之物鏡的第1位置，而使物鏡的光軸和微細區域大致一致，而在對微細區域塗敷液狀材料的情況，使可動板移至對應於所選擇之塗敷單元的第2位置，而使塗敷單元之塗敷針的前端和微細區域大致一致。

又最好，還包括計算手段，其在觀察鏡筒的觀察範圍內之觀察中心以外的位置有應塗敷液狀材料之其他的微細區域之情況，計算從觀察中心至其他的微細區域之距離及方向；第2驅動手段係根據計算手段的計算結果而使可動板移動，使所選擇之塗敷單元的塗敷針之前端從觀察中心移至其他的微細區域之上方。

又最好，所選擇之塗敷單元係使前端附著有液狀材料的塗敷針向下方突出；又包括第2驅動手段，其使觀察鏡筒、可動板以及第1驅動手段下降，而使塗敷針的前端接觸微細區域。

又，本發明之缺陷修正裝置，其特徵在於：包括該液狀材料塗敷裝置；微細區域係形成於基板上之微細圖案的缺陷部；液狀材料係用以修正缺陷部的修正液。

在本發明之液狀材料塗敷裝置及缺陷修正裝置，係設置可在基板和觀察鏡筒之間的和基板平行之平面內移動的可動板，並將複數個物鏡及複數個塗敷單元設置於可動板的下面，在觀察微細區域情況，使可動板移動，而將所要的物鏡配置於觀察鏡筒之下，而在對微細區域塗敷液狀材料的情況，使可動板移動，而將所要的塗敷單元移至觀察鏡筒之下。因此，藉由使複數個塗敷單元各自塗敷複數種液狀材料，而因為不必每次改變液狀材料的種類就清潔塗敷針，所以可縮短塗敷時間。

在說明本發明的實施形態之前，說明成為本發明之基礎的缺陷修正裝置。第1圖係表示那種缺陷修正裝置之主要部分的圖。在第1圖，此缺陷修正裝置包括觀察光學系統3，其包含有觀察鏡筒1及倍率相異之複數個物鏡2。利用未圖示之旋轉器，可選擇複數個物鏡2中之所要的物鏡2，並使所選擇的物鏡2移至觀察鏡筒1之下。觀察光學系統3係裝載於Z軸工作台4。修正對象之液晶彩色濾光器基板5和物鏡2相對向地裝載於XY工作台(未圖示)。利用XY工作台使基板5朝向XY方向(水平方向)移動，並利用Z軸工作台4使觀察光學系統3朝向Z軸方向(垂直方向)移動，而將物鏡2的焦點對準於基板5表面之任意的位置，並可放大地觀察。

Z軸工作台4亦裝載墨水塗敷機構6。墨水塗敷機構6如第2(a)(b)圖所示，包括R、G、B及黑色用的4台塗敷單元7~10，塗敷單元7~10各自包含有塗敷針11、塗敷針夾具12以及墨水容器13。塗敷單元7、8係裝載於X1工作台14，塗敷單元9、10係裝載於X2工作台15，如第1圖所示，工作台14、15裝載於Z軸工作台16，而Z軸工作台16裝載於Y軸工作台17。

利用Y軸工作台17使為了進行塗敷而選擇之塗敷針11移至和塗敷針11進行塗敷之缺陷位置的Y軸方向位置相同之位置，接著利用Z軸工作台16，使包含有所選擇之塗敷針11的塗敷單元7~10之任一個朝向垂直方向下降至在物鏡2之下插入，又使裝載包含有所選擇之塗敷針11的塗敷單元7~10之任一個的X1工作台14或X2工作台15朝向物鏡2的方向移至和塗敷針11進行塗敷之缺陷位置的X軸方向位置相同之位置，藉此可插入物鏡2和液晶彩色濾光器基板5之間。

塗敷單元7如第2(a)(b)圖所示，包含有2支臂18、19。塗敷針夾具12安裝於臂18的前端，而墨水容器13安裝於臂19的前端，塗敷針11插入墨水容器13。

如第3圖所示，孔13a開口於墨水容器13的底，被注入墨水20。將孔13a設定成墨水20無法流出的小尺寸。保持部21設置於墨水容器13的側部，於保持部21，設置墨水容器固定銷22，其用以將墨水容器13經由磁鐵(未圖示)而固定於臂19的前端部。墨水容器13的開口部被蓋23封閉，而孔23a開口於蓋23。

塗敷針11具有階段形狀，其由前端部11a側的小徑部11b和固接於塗敷針夾具12的大徑部11c所構成，將小徑部11b的直徑設置成比墨水容器13之孔13a的直徑更稍小，而將大徑部11c的直徑設置成比墨水容器13之孔23a的直徑更稍小。

回到第2(a)(b)圖，臂19的基端部係利用滑動機構24支持成於臂18的中央部可上下動，而臂18的基端部係利用滑動機構25支持成於支持座26可上下動。

限制往臂18、19之下方的移動之止動器27設置於支持座26的下端，而使臂18之基端部的下端上下動之缸28裝載於支持座26。

其次，說明此缺陷修正裝置的動作。等待時，利用缸28將臂18保持於上限位置，而臂19變成懸吊於臂18之狀態。此時臂18、19間之上下方向的距離變成最大，如第3圖所示，塗敷針11的前端部11a浸泡於墨水20。

修正時，如第4圖所示，在步驟S1，對監視器畫面(未圖示)所顯示的缺陷，作業員指定塗敷墨水20的位置。在步驟S2，確認現在觀察所使用的物鏡2是否是塗敷針11可插入的物鏡2，即是否是倍率為10倍的物鏡2。在物鏡2的倍率係10倍以外之例如20倍的情況，在步驟S3，使旋轉器轉動，而將物鏡2切換成10倍的物鏡2，在步驟S4，確認藉旋轉器之物鏡2的切換之完成。在完成物鏡2之切換的情況、及在步驟S2物鏡2係10倍的情況，在步驟S5驅動工作台14~17，而使所要的塗敷針11移至缺陷修正位置。

接著，在步驟S6，利用缸28使臂18、19下降至下限位置。此時，臂19比臂18更先接觸止動器27，而臂18、19間之上下方向的距離變成最小，塗敷針11的前端部11a貫穿墨水容器13的孔13a，再從墨水容器13的底突出。墨水20附著於突出之塗敷針11的前端部11a。接著，在步驟S7，利用Z軸工作台4使塗敷針11下降，而使塗敷針11的前端部11a接觸基板5的缺陷部，在步驟S8，將墨水20塗敷於基板5的缺陷部。在步驟S9，利用Z軸工作台4使塗敷針11上昇，在步驟S10，驅動缸28，而將塗敷針11收容於墨水容器13內。在步驟S6~S10，1次之墨水塗敷就結束。

在缺陷部有複數個的情況，因為墨水塗敷位置亦有複數個，所以在步驟S11，確認是否有下一個塗敷位置，在有下一個塗敷位置的情況，在步驟S12，利用XY工作台(未圖示)使基板5移動，再實施步驟S6~S10。藉由重複此動作，而完成對全部之缺陷部分的墨水塗敷。在步驟S11，判別為無下一個塗敷位置的情況，在步驟S13，使塗敷針11從缺陷修正位置退避，而在步驟S14，完成修正。

在本墨水塗敷機構6，因為不必每次改變所塗敷之墨水20的顏色就清潔塗敷針11，所以可將修正週期縮短該洗淨時間量。可是，因為將塗敷針11在物鏡2之正下插入並進行塗敷，所以需要在避免和物鏡2發生干涉的狀態下插入塗敷針11。物鏡2係根據其倍率而工作距離(從修正對象基板5之觀察面至物鏡2的下端之距離)相異，倍率愈高工作距離愈短。

在此墨水塗敷機構6，根據和工作距離的關係，需要物鏡2的倍率係10倍以下，例如，在從使用20倍的物鏡2觀察之狀態進行塗敷的情況，需要將物鏡2切換成10倍者後插入塗敷針11。因為物鏡2的更換係利用在使物鏡2轉動後更換的旋轉器進行，所以在等待時，為了避免物鏡2和塗敷針11發生干涉，而需要將塗敷針11配置於物鏡2的轉動範圍外。從該平常等待位置，等待用以切換物鏡2之旋轉器的轉動完成後，在物鏡2的正下插入塗敷針11，而將墨水20塗敷於缺陷部。

因而，無法將修正週期縮短修正週期縮短物鏡2的切換時間和從和物鏡2之干涉範圍外至物鏡2的正下插入塗敷針11之時間量。換言之，修正週期增加了該時間量。又，第1圖之墨水塗敷機構6的驅動軸數比第16圖所示之墨水塗敷機構的多，亦具有裝置價格變貴的問題。本發明係設法解決此問題。

[第1實施形態]

第5圖係表示本發明之第1實施形態的缺陷修正裝置之整體構造圖。在第5圖，本缺陷修正裝置包括：修正頭部，係由觀察光學系統31、CCD相機32、切割用雷射裝置33、墨水塗敷機構34以及墨水硬化用光源35所構成；Z軸工作台36，係使該修正頭部對修正對象的液晶彩色濾光器基板5朝向垂直方向(Z軸方向)移動；X軸工作台37，係裝載Z軸工作台36並朝向X軸方向移動；Y軸工作台38，係裝載基板5並朝向Y軸方向移動；控制用電腦39，係控制裝置整體的動作；監視器40，係顯示利用CCD相機32所拍攝之影像等；以及操作面板41，係用以向控制用電腦39輸入來自作業員的指令。

觀察光學系統31係用以觀察基板5的表面狀態、或藉墨水塗敷機構34所塗敷之修正墨水20的狀態。利用CCD相機32將觀察光學系統31所觀察之影像轉換成電氣信號，並顯示於監視器40。切割用雷射裝置33係經由觀察光學系統31而對基板5上之不要部分照射雷射光並除去。

墨水塗敷機構34係對基板5所發生的白缺陷55塗敷修正墨水20並修正。墨水硬化用光源35係例如包含有CO₂ 雷射，並對墨水塗敷機構34所塗敷的修正墨水20照射雷射光而使變硬。

此外，本裝置構造係一例，例如，亦可係稱為龍門式之構造，其將裝載觀察光學系統31等之Z軸工作台36裝載於X軸工作台37，再將X軸工作台37裝載於Y軸工作台38，而可使Z軸工作台36朝向XY方向移動，只要係可使裝載觀察光學系統31等之Z軸工作台36對修正對象的基板5朝向XY方向相對地移動之構造都可。

第6圖係表示觀察光學系統31及墨水塗敷機構34的主要部分之立體圖，第7(a)~(c)圖係從第6圖之A方向看主要部分的圖，係表示墨水塗敷動作的圖。在第6圖及第7(a)~(c)圖，此缺陷修正裝置包括：可動板42、倍率相異之複數個(例如5個)物鏡2、以及用以塗敷顏色相異之墨水的複數個(例如5個)塗敷單元43。

可動板42係設置成可在觀察光學系統31之觀察鏡筒31a的下端和基板5之間朝向X軸方向及Y軸方向移動。又，於可動板42形成5個貫穿孔42a，其各自對應於5個物鏡2。5個貫穿孔42a係朝向Y軸方向按照既定之間隔配置。各物鏡2以其光軸和對應之貫穿孔42a的中心線一致之方式固定於可動板42的下面。此外，觀察鏡筒31a之光軸及各物鏡2的光軸係朝向和X軸方向及Y軸方向垂直的Z軸方向配置。

又，5個塗敷單元43係以朝向Y軸方向按照既定之間隔之方式固定於可動板42的下面。5個塗敷單元43係各自配置成和5個物鏡2相鄰。各塗敷單元43係縮短如第1圖~第3圖所示之塗敷單元7的臂18、19之水平方向的長度，而且將缸28配置於臂18、19的上方，而將裝置構造從橫寬型變成縱寬型。這是由於為了迅速地切換物鏡2和塗敷單元43，縱寬型比橫寬型更有利。

可動板42如第8圖所示，係裝載於XY工作台44，而該XY工作台44係裝載於第5圖的Z軸工作台36。XY工作台44係在觀察基板5表面之缺陷的情況，使可動板42移動而使5個物鏡2中之所選擇的物鏡2之光軸和觀察鏡筒31a的光軸一致，而在對缺陷塗敷修正墨水20的情況，使可動板42移動，而使5個塗敷單元43中之所選擇的塗敷針11之塗敷針11的中心軸和觀察鏡筒31a的光軸一致。

此外，因為各物鏡2以位置精度低的螺絲(未圖示)固定於可動板42，所以各物鏡2的位置被固定於從所設計之位置微妙地偏差的位置。在為了修正此物鏡2之微妙的位置偏差，而朝向XY方向驅動可動板42的XY工作台44，裝入檢測該XY座標的尺44a，而可修正各個物鏡2的位置，使得即使切換物鏡2，修正對象基板5的觀察中心位置亦不會偏移。

具體而言，操作操作面板41而將觀察鏡筒31a的光軸配置於修正對象基板5上之預定的位置(例如白缺陷55)後，為了使預定的位置來到觀察範圍的中心，而操作操作面板41，經由可動板42使物鏡2移動，並將預定的位置來到中心時之XY座標記憶於控制用電腦39，作為相對於觀察鏡筒31a之物鏡2的移動位置。從下次，在控制用電腦39指示使物鏡2的光軸和觀察鏡筒31a的光軸一致的情況，控制XY工作台44，以使尺44a所檢測之XY座標和所記憶的XY座標一致。對5個物鏡2之各個進行這種起始設定。

因而，亦不需要將設置於可動板42之物鏡安裝螺絲的位置在機械上高精度地加工及設定，又，亦不必使用機械機構來設置修正物鏡位置的機構。這對塗敷單元43亦一樣，藉由記憶觀察中心位置和塗敷針11的位置一致時之XY座標，而可對觀察中心位置無偏差地塗敷墨水20。因而，對塗敷單元43亦不必在機械上設置修正機構。

在使用塗敷單元43塗敷墨水的情況，如第7(a)圖所示，利用XY工作台44使所要的塗敷針11移至觀察中心位置，再如第7(b)圖所示，利用缸28使臂18、19下降，而使塗敷針11的前端從墨水容器13的底突出，再如第7(c)圖所示，利用Z軸工作台36使可動板42下降，而使塗敷針11的前端接觸修正對象基板5表面的缺陷部後，塗敷墨水20。

如第9圖所示，在監視器40之畫面的觀察範圍內除了觀察中心以外亦存在白缺陷55的情況，計算從觀察中心至白缺陷55之X軸方向的距離及Y軸方向的距離，利用XY工作台44使可動板42朝向XY方向移動該距離量，而使塗敷針11從觀察中心移至白缺陷55的上方後，進行第7(a)~(c)圖所示的塗敷動作。白缺陷55和觀察中心之間的距離之計算，係根據CCD相機32所拍攝之影像，而利用控制用電腦39進行。

第10圖係表示此缺陷修正裝置之墨水塗敷動作的流程圖，係和第4圖對比的圖。在步驟S21，對監視器40之畫面所顯示的缺陷，作業員指定塗敷墨水20的位置。在塗敷位置之指定結束後，在步驟S22，使可動板42移動而使塗敷針11移至塗敷位置，在步驟S23，驅動缸28，而使塗敷針11的前端部11a從墨水容器13的底突出。在步驟S24，使Z軸工作台36下降，而使塗敷針11的前端接觸修正對象基板5，在步驟S25，對修正對象基板5塗敷墨水20。

在步驟S26，使Z軸工作台36上昇，而使塗敷針11移至修正對象基板5的上方，在步驟S27，驅動缸28，而將塗敷針11的前端部11a收容於墨水容器13內。這樣，1次之墨水塗敷結束。然後，在步驟S28，確認是否有下一個塗敷位置，在有下一個塗敷位置的情況，重複步驟S22~S27。在步驟S28，無下一個塗敷位置的情況，墨水塗敷結束。

在本第1實施形態，如第7(a)~(c)圖所示，因為不必在物鏡2的正下插入塗敷針11，所以和現在觀察之物鏡2的倍率無關，而可馬上使塗敷針11移至塗敷位置。因此，不必如第1圖所示之缺陷修正裝置般等待藉旋轉器之物鏡2的轉動結束，而可將修正週期縮短該等待時間。

又，因為物鏡2和塗敷針11無干涉，所以可相對於觀察位置將塗敷針11配置於物鏡2的附近。因而，塗敷針11的移動距離短，又無使塗敷針11移至塗敷位置時之Z軸方向的移動，因為僅XY方向的移動，而可將修正週期縮短Z軸方向的移動時間。

而且，能以可動板42之XY方向的移動來進行在有複數個塗敷位置的情況之塗敷針11的移動(步驟S22)，相對於以裝置本體的大型XY工作台移動之以往的情況，可更縮短修正週期。

如以上所示，若依據本第1實施形態，可實現在第1圖的缺陷修正裝置成為課題之修正週期的縮短。又，如第6圖所示，能以同一驅動機構進行物鏡2的切換和塗敷單元43的移動，因為不需要如第1圖所示之塗敷專用的驅動機構(工作台14~17)，所以亦可降低裝置成本。

[第2實施形態]

第11圖係表示本發明之第2實施形態的缺陷修正裝置之主要部分的圖，係和第6圖對比的圖。在第11圖，此缺陷修正裝置和第6圖之缺陷修正裝置的相異點，係可朝向X軸方向及Y軸方向移動之可動板42被置換成僅可朝向Y軸方向移動的可動板45，且複數個(在第11圖為3個)物鏡2和複數個(在第11圖為3個)塗敷單元43朝向Y軸方向成一列按照既定之間隔配置於可動板45的下面。

可動板45如第12圖所示，利用Y軸工作台46朝向Y軸方向移動，而Y軸工作台46係裝載於第5圖的Z軸工作台36。此Y軸工作台46具有檢測Y座標(可動板45的位置)的尺46a。又，於可動板45，形成各自對應於3個物鏡2的3個貫穿孔45a。3個貫穿孔45a係朝向Y軸方向按照既定之間隔配置。各物鏡2以使其光軸和對應之貫穿孔45a的中心線一致之方式固定於可動板45的下面。

在本缺陷修正裝置，因為無法使可動板45相對於觀察鏡筒31a朝向X軸方向移動，所以無法利用觀察鏡筒31a和可動板45的相對移動而修正物鏡2或塗敷單元43之X軸方向的位置。因此，在將所選擇之物鏡2移至觀察鏡筒31a的位置時，物鏡2之光軸從觀察鏡筒31a的光軸朝向X軸方向偏移，而觀察中心位置就朝向X軸方向偏移。又，即使在塗敷單元43的移動亦朝向X軸方向發生偏差，而對相對於所指示的塗敷位置朝向X軸方向偏移的位置進行塗敷。可是，在此缺陷修正裝置，藉由以裝置本體的X軸工作台37進行X軸方向的位置修正，而可得到和第6圖所示之機構同等的功能。

具體而言，操作操作面板41而將觀察鏡筒31a的光軸配置於修正對象基板5上之預定的位置(例如白缺陷55)後，為了使該預定的位置來到觀察範圍的中心，而操作操作面板41，利用Y軸工作台46而經由可動板45使物鏡2朝向Y軸方向移動，同時利用X軸工作台37而經由可動板45使物鏡2朝向X軸方向移動，在預定的位置來到中心時將Y軸工作台46之尺46a所檢測的Y座標和X軸工作台37之尺37a所檢測的X座標記憶於控制用電腦39，作為相對於觀察鏡筒31a之物鏡2的移動位置。從下次，在控制用電腦39指示使物鏡2的光軸和觀察鏡筒31a的光軸一致的情況，控制工作台46、37，以使尺46a、37a所檢測之Y座標及X座標和所記憶的Y座標及X座標一致。對3個物鏡2之各個進行這種起始設定。又，對3個塗敷單元43之各個進行一樣的設定。

又，如第9圖所示，在監視器40之畫面的觀察範圍內除了觀察中心以外亦存在白缺陷55的情況，計算從觀察中心至白缺陷55之X軸方向的距離及Y軸方向的距離，利用Y軸工作台46使可動板45朝向Y軸方向僅移動該Y軸方向的距離，而且利用X軸工作台37使可動板45朝向X軸方向僅移動該X軸方向的距離，而使塗敷針11從觀察中心移至白缺陷55的上方後，進行第7(a)~(c)圖所示的塗敷動作。白缺陷55和觀察中心之間的距離之計算，係根據CCD相機32所拍攝之影像，而利用控制用電腦39進行。

即使在本第2實施形態，亦可得到和第1實施形態一樣的效果。但，在本第2實施形態，因為以裝置本體之大型的X軸工作台37進行X軸方向的移動，所以週期比第1實施形態的更長。

[第3實施形態]

第13圖係表示本發明之第3實施形態的缺陷修正裝置之主要部分的圖，係和第11圖對比的圖。在第13圖，此缺陷修正裝置和第11圖之缺陷修正裝置的相異點，係可朝向Y軸方向移動之可動板45被可動板47置換，且複數個物鏡2和複數個塗敷單元43沿著以轉動板47之轉軸為中心的圓並成一列按照既定之間隔配置於可動板47的下面。將觀察鏡筒31a之光軸和轉動板47的轉軸平行地配置成僅分開該圓的半徑。

可動板47如第14圖所示，利用旋轉工作台48轉動，而旋轉工作台48係裝載於第5圖的Z軸工作台36。此旋轉工作台48具有檢測可動板47之轉動角度的尺48a。又，於可動板47，形成各自對應於複數個物鏡2的複數個貫穿孔47a。複數個貫穿孔47a係朝向圓周方向按照既定之間隔配置。各物鏡2以使其光軸和對應之貫穿孔47a的中心線一致之方式固定於可動板47的下面。轉動板47係對修正對象基板5未傾斜，並對基板5表面平行。因而，可在將塗敷單元43之墨水容器13內的墨水20之液面總是保持水平下轉動。

在本缺陷修正裝置，因為無法使可動板47相對於觀察鏡筒31a朝向X軸方向及Y軸方向移動，所以無法利用觀察鏡筒31a和可動板47的相對移動而修正物鏡2或塗敷單元43之X軸方向及Y軸方向的位置。因此，在將所選擇之物鏡2移至觀察鏡筒31a的位置時，觀察中心位置就朝向X軸方向及Y軸方向偏移。又，即使在塗敷單元43的移動亦朝向X軸方向及Y軸方向發生偏差，而對相對於所指示的塗敷位置朝向X軸方向及Y軸方向偏移的位置進行塗敷。可是，在此缺陷修正裝置，以藉由以裝置本體的X軸工作台37及Y軸工作台38進行X軸方向位置塗敷的位置修正，而可得到和第6圖所示之機構同等的功能之方式構成。

具體而言，操作操作面板41而將觀察鏡筒31a的光軸配置於修正對象基板5上之預定的位置(例如白缺陷55)後，使旋轉工作台48轉動而將所要的物鏡2配置於觀察鏡筒31a之下。接著，為了使該預定的位置來到觀察範圍的中心，而操作操作面板41，利用X軸工作台37而經由可動板47使物鏡2朝向X軸方向移動，而且利用Y軸工作台38而經由轉動板47使物鏡2朝向Y軸方向移動，在預定的位置來到觀察中心時，將旋轉工作台48之尺48a所檢測的轉動角度、Y軸工作台38之尺38a所檢測的Y座標以及X軸工作台37之尺37a所檢測的X座標記憶於控制用電腦39，作為相對於觀察鏡筒31a之物鏡2的移動位置。從下次，在控制用電腦39指示使物鏡2的光軸和觀察鏡筒31a的光軸一致的情況，控制工作台48、38、37，以使尺48a、38a、37a所檢測之轉動角度、Y座標以及X座標和所記憶的轉動角度、Y座標以及X座標一致。對3個物鏡2之各個進行這種起始設定。又，對3個塗敷單元43之各個進行一樣的設定。

又，如第9圖所示，在監視器40之畫面的觀察範圍內除了觀察中心以外亦存在白缺陷55的情況，計算從觀察中心至白缺陷55之X軸方向的距離及Y軸方向的距離，利用X軸工作台37使可動板47朝向X軸方向僅移動該X軸方向的距離，而且利用Y軸工作台38使可動板47朝向Y軸方向僅移動該Y軸方向的距離，而使塗敷針11從觀察中心移至白缺陷55的上方後，進行第7(a)~(c)圖所示的塗敷動作。白缺陷55和觀察中心之間的距離之計算，係根據CCD相機32所拍攝之影像，而利用控制用電腦39進行。

即使在本第3實施形態，亦可得到和第1實施形態一樣的效果。但，在本第3實施形態，因為以裝置本體之大型的X軸工作台37及Y軸工作台38進行X軸方向及Y軸方向的移動，所以週期比第1實施形態的更長。

此外，在第2、3實施形態的缺陷修正裝置，雖然修正週期比第1實施形態之缺陷修正裝置的更長，但是修正週期比第1圖之缺陷修正裝置的短。又，因為不需要塗敷驅動機構(工作台14~17)，而可降低裝置價格。

應認為這次所揭示之實施形態在全部的事項係舉例表示，而不是用以限制的。本發明之範圍不是上述的說明，而根據申請專利範圍表示，並包含有和申請專利範圍同等的意義及範圍內之全部的變更。

1、31a．．．觀察鏡筒

2．．．物鏡

3、31．．．觀察光學系統

4、16、36Z．．．軸工作台

5．．．液晶彩色濾光器基板

6、34．．．墨水塗敷機構

7~10、43．．．塗敷單元

11．．．塗敷針

11a．．．前端部

11b．．．小徑部

11c．．．大徑部

12．．．塗敷針夾具

13．．．墨水容器

13a．．．孔

14．．．X1工作台

15．．．X2工作台

17、38、46．．．Y軸工作台

18、19．．．臂

20．．．墨水

21．．．保持部

22．．．墨水容器固定銷

23．．．蓋

23a．．．孔

24、25．．．滑動機構

26．．．支持座

27．．．止動器

28．．．缸

32．．．CCD相機

33．．．切割用雷射裝置

35．．．墨水硬化用光源

37．．．X軸工作台

37a、38a、44a、46a、48a．．．尺

39．．．控制用電腦

40．．．監視器

41．．．操作面板

42、45．．．可動板

42a、45a、47a．．．貫穿孔

44．．．XY工作台

47．．．轉動板

48．．．旋轉工作台

51．．．黑陣列

52．．．R像素

53．．．G像素

54．．．B像素

55．．．白缺陷

56．．．黑缺陷

57．．．異物缺陷

62．．．塗敷針驅動缸

63．．．驅動軸

64．．．塗敷針夾具

65．．．固定底座

66．．．旋轉工作台

67~70．．．墨水槽

71．．．洗淨裝置

72．．．空氣沖洗裝置

73．．．轉軸

74．．．缺口部

75．．．馬達

76．．．分度板

77．．．分度用感測器

78．．．原點回位用感測器

第1圖係表示成為本發明之基礎的缺陷修正裝置之主要部分的圖。

第2(a)(b)圖係表示第1圖所示之塗敷單元的構造圖。

第3圖係表示第2(a)(b)圖所示之墨水容器的構造之剖面圖。

第4圖係表示第1圖~第3圖所示之缺陷修正裝置的墨水塗敷動作之流程圖。

第5圖係表示本發明之第1實施形態的缺陷修正裝置之整體構造圖。

第6圖係表示第5圖所示之缺陷修正裝置的主要部分的圖。

第7(a)~(c)圖係表示第6圖所示之墨水塗敷機構的動作圖。

第8圖係表示第6圖所示之可動板的驅動方法之方塊圖。

第9圖係表示第5圖所示之監視器的畫面所顯示之基板表面的白缺陷的圖。

第10圖係表示第5圖~第8圖所示之缺陷修正裝置的墨水塗敷動作之流程圖。

第11圖係表示本發明之第2實施形態的缺陷修正裝置之主要部分的圖。

第12圖係表示第11圖所示之可動板的驅動方法之方塊圖。

第13圖係表示本發明之第3實施形態的缺陷修正裝置之主要部分的圖。

第14圖係表示第13圖所示之轉動板的驅動方法之方塊圖。

第15(a)~(c)圖係表示係缺陷修正裝置之修正對象的液晶彩色濾光器基板表面所發生之各種缺陷的圖。

第16圖係表示以往之墨水塗敷機構的圖。

2．．．物鏡

13．．．墨水容器

18、19臂

25．．．滑動機構

26．．．支持座

27．．．止動器

28．．．缸

31a．．．觀察鏡筒

42．．．可動板

42a．．．貫穿孔

43．．．塗敷單元

Y．．．軸方向

X．．．軸方向

Claims (10)

1. 一種液狀材料塗敷裝置，對基板上的微細區域塗敷液狀材料，其特徵在於包括：觀察鏡筒，係用以觀察該微細區域；可動板，係設置成可在該基板和該觀察鏡筒之間的和該基板平行之平面內朝向彼此正交之第1及第2方向移動；複數個物鏡，係設置於該可動板的下面；複數個塗敷單元，係設置於該可動板的下面，各自用以將附著於塗敷針之前端的該液狀材料塗敷於該微細區域；第1驅動手段，係在觀察該微細區域的情況下，使該可動板移動朝向該第1及第2方向移動，而將該複數個物鏡中之被選擇的物鏡配置於該觀察鏡筒之下，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況下，使該可動板移動朝向該第1及第2方向移動，而將該複數個塗敷單元中之被選擇的塗敷單元配置於該觀察鏡筒之下；檢測手段，係檢測該可動板的位置；記憶手段，係記憶該檢測手段的檢測結果；其中：利用該檢測手段檢測藉該第1驅動手段使各物鏡的光軸和該觀察鏡筒的光軸大致一致時之該可動板的第1位置、和使各塗敷單元之該塗敷針的前端和該觀察鏡筒的光軸大 致一致時之該可動板的第2位置，並該記憶手段預先記憶上述檢測結果；該第1驅動手段係根據該檢測手段的檢測結果和該記憶手段的記憶內容而動作，在觀察該微細區域的情況下，使該可動板移至對應於該已被選擇之物鏡的第1位置，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況下，使該可動板移至對應於該已被選擇之塗敷單元的第2位置。
2. 如申請專利範圍第1項之液狀材料塗敷裝置，其中又包括計算手段，其在該觀察鏡筒的觀察範圍內之觀察中心以外的位置有應塗敷該液狀材料之其他的微細區域之情況下，計算從該觀察中心至該其他的微細區域之第1及第2方向的距離；該第1驅動手段係根據該計算手段的計算結果而使可動板移動，使該選擇之塗敷單元的塗敷針之前端從該觀察中心移至該其他的微細區域之上方。
3. 一種液狀材料塗敷裝置，對基板上的微細區域塗敷液狀材料，其特徵在於包括：觀察鏡筒，係用以觀察該微細區域；可動板，係設置成可在該基板和該觀察鏡筒之間的和該基板平行之平面內朝向第1方向移動；配置於該可動板的下面之複數個物鏡；配置於該可動板的下面之複數個塗敷單元，各自用以將附著於塗敷針之前端的該液狀材料塗敷於該微細區域； 其中，該等複數個物鏡及該等複數個塗敷單元係配置於該可動板下面並依該第1方向排成1列；更包括：第1驅動手段，係在觀察該微細區域的情況下，使該可動板移動朝向該第1方向移動，而將該複數個物鏡中之所選擇的物鏡配置於該觀察鏡筒之下，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況下，使該可動板朝向該第1方向移動移動，而將該複數個塗敷單元中之所選擇的塗敷單元配置於該觀察鏡筒之下；第1檢測手段，係檢測該可動板之該第1方向的位置；及第1記憶手段，係記憶該第1檢測手段的檢測結果；利用該第1檢測手段檢測藉該第1驅動手段使各物鏡的光軸和該觀察鏡筒的光軸之該第1方向的位置大致一致時之該可動板的第1位置、和使各塗敷單元之該塗敷針的前端和該觀察鏡筒的光軸之該第1方向的位置大致一致時之該可動板的第2位置，並利用該第1記憶手段預先記憶該檢測結果；該第1驅動手段係根據該第1檢測手段的檢測結果和該第1記憶手段的記憶內容而動作，在觀察該微細區域的情況下，使該可動板移至對應於該已被選擇之物鏡的第1位置，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況下，使該可動板移至對應於該已被選擇之塗敷單元的第2位置。
4. 如申請專利範圍第3項之液狀材料塗敷裝置，其中： 該觀察鏡筒、該可動板以及該第1驅動手段係設置於一工作台上，該液狀材料塗敷裝置更包括：第2驅動手段，係使該工作台在和該基板平行之平面內朝向和該第1方向正交的第2方向移動；第2檢測手段，係檢測該工作台中的該可動板之該第2方向的位置；以及第2記憶手段，係記憶該第2檢測手段的檢測結果；其中：利用該第2檢測手段檢測藉該第1驅動手段使各物鏡的光軸和該觀察鏡筒的光軸之該第1方向的位置大致一致而且藉該第2驅動手段使各物鏡的光軸和該微細區域之該第2方向的位置大致一致時之該可動板的第3位置、及藉該第1驅動手段使各塗敷單元之該塗敷針的前端和該觀察鏡筒的光軸之該第1方向的位置大致一致而且藉該第2驅動手段使該塗敷單元之該塗敷針的前端和該微細區域之該第2方向的位置大致一致時之該可動板的第4位置，並利用該第2記憶手段預先記憶上述檢測結果；該第2驅動手段係根據該第2檢測手段的檢測結果和該第2記憶手段的記憶內容而動作，在觀察該微細區域的情況下，使該可動板移至對應於該選擇之物鏡的第3位置，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況，使該可動板移至對應於該選擇之塗敷單元的第4位置。
5. 如申請專利範圍第4項之液狀材料塗敷裝置，其中又包括計算手段，其在該觀察鏡筒的觀察範圍內之觀察中 心以外的位置有應塗敷該液狀材料之其他的該微細區域之情況下，計算從該觀察中心至該其他的微細區域之第1及第2方向的距離；該第1驅動手段係根據該計算手段的計算結果而使該可動板移動，且該第2驅動手段係根據該計算手段的計算結果而使工作台移動，使該選擇之塗敷單元的塗敷針之前端從該觀察中心移至該其他的微細區域之上方。
6. 一種液狀材料塗敷裝置，對基板上的微細區域塗敷液狀材料，其特徵在於包括：觀察鏡筒，係用以觀察該微細區域；可動板，係設置成可在該基板和該觀察鏡筒之間的和該基板平行之平面內轉動；複數個物鏡，係設置於該可動板的下面；複數個塗敷單元，係設置於該可動板的下面，各自用以將附著於塗敷針之前端的該液狀材料塗敷於該微細區域；其中，該等複數個物鏡及該等複數個塗敷單元係於沿著以該可動板之轉軸為中心的圓配置為1列；觀察鏡筒之光軸和該可動板的轉軸係平行地配置成僅分開該圓的半徑；更包括：第1驅動手段，係在觀察該微細區域的情況下，使該可動板轉動，而將該複數個物鏡中之所選擇的物鏡配置於 該觀察鏡筒之下，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況下，使該可動板轉動，而將該複數個塗敷單元中之所選擇的塗敷單元配置於該觀察鏡筒之下；第1檢測手段，係檢測該可動板之轉動角度；及第1記憶手段，係記憶該第1檢測手段的檢測結果；其中：；利用該第1檢測手段檢測藉該第1驅動手段使各物鏡的光軸和該觀察鏡筒的光軸大致一致時之該可動板的第1轉動角度、和使各塗敷單元之該塗敷針的前端和該觀察鏡筒的光軸大致一致時之該可動板的第2轉動角度，並利用該第1記憶手段預先記憶該檢測結果；該第1驅動手段係根據該第1檢測手段的檢測結果和該第1記憶手段的記憶內容而動作，在觀察該微細區域的情況下，使該可動板僅轉動對應於該選擇之物鏡的第1轉動角度，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況下，使該可動板僅轉動對應於該選擇之塗敷單元的第2轉動角度。
7. 如申請專利範圍第6項之液狀材料塗敷裝置，其中：該觀察鏡筒、該可動板以及該第1驅動手段係設置於一工作台上，該液狀材料塗敷裝置更包括：第2驅動手段，係使該工作台朝向和該基板平行的方向移動； 第2檢測手段，係檢測該工作台中的該可動板的位置；以及第2記憶手段，係記憶該第2檢測手段的檢測結果；利用該第2檢測手段檢測藉該第1驅動手段使各物鏡的光軸和該觀察鏡筒的光軸大致一致而且藉該第2驅動手段使該物鏡的光軸和微細區域大致一致時之該可動板的第1位置、和藉該第1驅動手段使各塗敷單元之該塗敷針的前端和該觀察鏡筒的光軸大致一致而且藉該第2驅動手段使該塗敷單元之該塗敷針的前端和該微細區域大致一致時之該可動板的第2位置，並利用該第2記憶手段預先記憶該檢測結果；該第2驅動手段係根據該第2檢測手段的檢測結果和該第2記憶手段的記憶內容而動作，在觀察該微細區域的情況下，使該可動板移至對應於該選擇之物鏡的第1位置，而使該物鏡的光軸和該微細區域大致一致，而在對該微細區域塗敷該液狀材料的情況下，使該可動板移至對應於該選擇之塗敷單元的第2位置，而使該塗敷單元之該塗敷針的前端和該微細區域大致一致。
8. 如申請專利範圍第7項之液狀材料塗敷裝置，其中又包括計算手段，其在該觀察鏡筒的觀察範圍內之觀察中心以外的位置有應塗敷該液狀材料之其他的該微細區域之情況，計算從該觀察中心至該其他的微細區域之距離及方向；該第2驅動手段係根據該計算手段的計算結果而使該 工作台移動，使該選擇之塗敷單元的塗敷針之前端從該觀察中心移至該其他的微細區域之上方。
9. 如申請專利範圍第1、3或6項之液狀材料塗敷裝置，其中該選擇之塗敷單元係使前端附著有該液狀材料的該塗敷針向下方突出；該觀察鏡筒、該可動板以及該第1驅動手段係設置於一工作台上，又包括第2驅動手段，其使該工作台下降，而使該塗敷針的前端接觸該微細區域。
10. 一種缺陷修正裝置，其特徵在於：包括申請專利範圍第1項至第9項中任一項之液狀材料塗敷裝置；該微細區域係形成於該基板上之微細圖案的缺陷部；其特徵在於：該液狀材料係用以修正該缺陷部的修正液。