JP2009122259A - 液状材料塗布装置およびそれを用いた欠陥修正装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この欠陥修正装置では、基板5と観察鏡筒31aの間の基板5に平行な平面内で移動可能な可動板42を設け、可動板42の下面に複数の対物レンズ2および複数の塗布ユニット43を設け、基板5表面の欠陥を観察する場合は、可動板42を移動させて所望の対物レンズ2を観察鏡筒31aの下に配置し、欠陥に修正インク20を塗布する場合は、可動板42を移動させて所望の塗布ユニット43を観察鏡筒31aの下に配置する。したがって、複数の塗布ユニットに異なる色のインク20を塗布させることにより、インク20の色を変える毎に塗布針11を洗浄する必要がなくなり、インク塗布時間が短くなる。
【選択図】図6
Description
図5は、この発明の実施の形態1による欠陥修正装置の全体構成を示す図である。図5において、この欠陥修正装置は、観察光学系31、CCDカメラ32、カット用レーザ装置33、インク塗布機構34、およびインク硬化用光源35から構成される修正ヘッド部と、この修正ヘッド部を修正対象の液晶カラーフィルタ基板5に対して垂直方向(Z軸方向)に移動させるZ軸テーブル36と、Z軸テーブル36を搭載してX軸方向に移動させるX軸テーブル37と、基板5を搭載してY軸方向に移動させるY軸テーブル38と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ39と、CCDカメラ32によって撮影された画像などを表示するモニタ40と、制御用コンピュータ39に作業者からの指令を入力するための操作パネル41とを備える。
図11は、この発明の実施の形態2による欠陥修正装置の要部を示す図であって、図6と対比される図である。図11において、この欠陥修正装置が図6の欠陥修正装置と異なる点は、X軸方向およびY軸方向に移動可能な可動板42がY軸方向のみに移動可能な可動板45と置換され、複数(図では3つ)の対物レンズ2と複数(図では3つ)の塗布ユニット43がY軸方向に一列に所定の間隔で可動板45の下面に配置されている点である。
図13は、この発明の実施の形態3による欠陥修正装置の要部を示す図であって、図11と対比される図である。図13において、この欠陥修正装置が図11の欠陥修正装置と異なる点は、Y軸方向に移動可能な可動板45が回転板47で置換され、複数の対物レンズ2と複数の塗布ユニット43が回転板47の回転軸を中心とする円に沿って一列に所定の間隔で回転板47の下面に配置されている点である。観察鏡筒31aの光軸と回転板47の回転軸とは、上記円の半径だけ離れて平行に配置されている。
Claims (14)
- 基板上の微細領域に液状材料を塗布する液状材料塗布装置において、
前記微細領域を観察するための観察鏡筒と、
前記基板と前記観察鏡筒との間の前記基板に平行な平面内で移動可能に設けられた可動板と、
前記可動板の下面に設けられた複数の対物レンズと、
前記可動板の下面に設けられ、各々が、塗布針の先端に付着した前記液状材料を前記微細領域に塗布するための複数の塗布ユニットと、
前記微細領域を観察する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の対物レンズのうちの選択された対物レンズを前記観察鏡筒の下に配置し、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の塗布ユニットのうちの選択された塗布ユニットを前記観察鏡筒の下に配置する第1の駆動手段とを備えたことを特徴とする、液状材料塗布装置。 - 前記可動板は互いに直交する第1および第2の方向に移動可能に設けられ、
前記第1の駆動手段は前記可動板を前記第1および第2の方向に移動させることを特徴とする、請求項1に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記可動板の位置を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果を記憶する記憶手段とを備え、
前記第1の駆動手段によって各対物レンズの光軸を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第1の位置と、各塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第2の位置とを前記検出手段によって検出し、その検出結果を前記記憶手段によって記憶しておき、
前記第1の駆動手段は、前記検出手段の検出結果と前記記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第1の位置に前記可動板を移動させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第2の位置に前記可動板を移動させることを特徴とする、請求項2に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に前記液状材料を塗布すべき他の微細領域がある場合、前記観察中心から前記他の微細領域までの前記第1および第2の方向の距離を演算する演算手段を備え、
前記第1の駆動手段は、前記演算手段の演算結果に基づいて前記可動板を移動させ、前記選択された塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察中心から前記他の微細領域の上方に移動させる、請求項3に記載の液状材料塗布装置。 - 前記可動板は第1の方向に移動可能に設けられ、
前記複数の対物レンズおよび前記複数の塗布ユニットは前記可動板の下面に前記第1の方向に1列に配置され、
前記第1の駆動手段は前記可動板を前記第1の方向に移動させることを特徴とする、請求項1に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記可動板の前記第1の方向の位置を検出する第1の検出手段と、
前記第1の検出手段の検出結果を記憶する第1の記憶手段とを備え、
前記第1の駆動手段によって各対物レンズの光軸と前記観察鏡筒の光軸との前記第1の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第1の位置と、各塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記観察鏡筒の光軸との前記第1の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第2の位置とを前記第1の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第1の記憶手段によって記憶しておき、
前記第1の駆動手段は、前記第1の検出手段の検出結果と前記第1の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第1の位置に前記可動板を移動させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第2の位置に前記可動板を移動させることを特徴とする、請求項5に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記観察鏡筒、前記可動板および第1の駆動手段を前記基板と平行な平面内で前記第1の方向と直交する第2の方向に移動させる第2の駆動手段と、
前記可動板の前記第2の方向の位置を検出する第2の検出手段と、
前記第2の検出手段の検出結果を記憶する第2の記憶手段とを備え、
前記第1の駆動手段によって各対物レンズの光軸と前記観察鏡筒の光軸との前記第1の方向の位置を略一致させるとともに前記第2の駆動手段によって該対物レンズの光軸と前記微小領域との前記第2の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第3の位置と、前記第1の駆動手段によって各塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記観察鏡筒の光軸との前記第1の方向の位置を略一致させるとともに前記第2の駆動手段によって該塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記微小領域との前記第2の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第4の位置とを前記第2の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第2の記憶手段によって記憶しておき、
前記第2の駆動手段は、前記第2の検出手段の検出結果と前記第2の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第3の位置に前記可動板を移動させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第4の位置に前記可動板を移動させることを特徴とする、請求項6に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に前記液状材料を塗布すべき他の前記微細領域がある場合、前記観察中心から前記他の微細領域までの前記第1および第2の方向の距離を演算する演算手段を備え、
前記第1および第2の駆動手段は、前記演算手段の演算結果に基づいて前記可動板を移動させ、前記選択された塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察中心から前記他の微細領域の上方に移動させる、請求項7に記載の液状材料塗布装置。 - 前記可動板は回転可能に設けられ、
前記複数の対物レンズおよび前記複数の塗布ユニットは前記可動板の回転軸を中心とする円に沿って1列に配置され、
前記観察鏡筒の光軸と前記可動板の回転軸とは前記円の半径だけ離れて平行に配置され、
前記第1の駆動手段は前記可動板を回転させることを特徴とする、請求項1に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記可動板の回転角度を検出する第1の検出手段と、
前記第1の検出手段の検出結果を記憶する第1の記憶手段とを備え、
前記第1の駆動手段によって各対物レンズの光軸を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第1の回転角度と、各塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第2の回転角度とを前記第1の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第1の記憶手段によって記憶しておき、
前記第1の駆動手段は、前記第1の検出手段の検出結果と前記第1の記憶手段の記憶結果とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第1の回転角度だけ前記可動板を回転させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第2の回転角度だけ前記可動板を回転させることを特徴とする、請求項9に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記観察鏡筒、前記可動板および第1の駆動手段を前記基板に平行な方向に移動させる第2の駆動手段と、
前記可動板の位置を検出する第2の検出手段と、
前記第2の検出手段の検出結果を記憶する第2の記憶手段とを備え、
前記第1の駆動手段によって各対物レンズの光軸と前記観察鏡筒の光軸とを略一致させるとともに前記第2の駆動手段によって該対物レンズの光軸と前記微小領域とを略一致させたときの前記可動板の第1の位置と、前記第1の駆動手段によって各塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記観察鏡筒の光軸とを略一致させるとともに前記第2の駆動手段によって該塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記微小領域とを略一致させたときの前記可動板の第2の位置とを前記第2の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第2の記憶手段によって記憶しておき、
前記第2の駆動手段は、前記第2の検出手段の検出結果と前記第2の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第1の位置に前記可動板を移動させて該対物レンズの光軸と前記微細領域とを略一致させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第2の位置に前記可動板を移動させて該塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記微細領域とを略一致させることを特徴とする、請求項10に記載の液状材料塗布装置。 - さらに、前記観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に前記液状材料を塗布すべき他の前記微細領域がある場合、前記観察中心から前記他の微細領域までの距離および方向を演算する演算手段を備え、
前記第2の駆動手段は、前記演算手段の演算結果に基づいて前記可動板を移動させ、前記選択された塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察中心から前記他の微細領域の上方に移動させる、請求項10に記載の液状材料塗布装置。 - 前記選択された塗布ユニットは、先端に前記液状材料が付着した前記塗布針を下方に突出させ、
さらに、前記観察鏡筒、前記可動板および前記第1の駆動手段を下降させて前記塗布針の先端を前記微細領域に接触させる第3の駆動手段を備えることを特徴とする、請求項1から請求項12までのいずれかに記載の液状材料塗布装置。 - 請求項1から請求項13までのいずれかに記載の液状材料塗布装置を備え、
前記微細領域は前記基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、
前記液状材料は前記欠陥部を修正するための修正液であることを特徴とする、欠陥修正装置。
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