JP2007268353A - パターン修正装置およびその塗布ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このパターン修正装置1の塗布ユニット20は、その底に第1の孔21aが開口され、修正液22が注入された容器21と、第1の孔21aと略同じ径を有する塗布針24と、容器21および塗布針24を上下動させるとともに、容器21および塗布針24を相対的に上下動させ、第1の孔21aから塗布針先端部24aを突出させて先端部24aに修正液22を付着させるシリンダ34とを備える。したがって、容器と欠陥部の間で塗布針を往復動させる必要があった従来に比べ、簡単な構成で欠陥部を迅速に修正することができる。
【選択図】図2
Description
また好ましくは、駆動部は、容器および塗布針を下降させた後に塗布針のみを下降させて、貫通孔から塗布針の先端部を突出させる。
好ましくは、さらに、塗布ユニットが待機状態にあるとき容器の底の下方に配置され、貫通孔から漏れた修正液を受ける遮蔽板を備える。
Claims (10)
- 基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するパターン修正装置の塗布ユニットであって、
その底に貫通孔が開口され、修正液が注入された容器と、
前記貫通孔と略同じ径を有し、前記欠陥部に前記修正液を塗布するための塗布針と、
前記容器および前記塗布針を上下動可能に支持する第1の直動案内部材と、
前記容器および前記塗布針を相対的に上下動可能に支持する第2の直動案内部材と、
前記容器および前記塗布針を上下動させるとともに、前記容器および前記塗布針を相対的に上下動させ、前記貫通孔から前記塗布針の先端部を突出させて前記先端部に前記修正液を付着させる駆動部とを備える、塗布ユニット。 - 前記駆動部の駆動軸は1本のみである、請求項1に記載の塗布ユニット。
- 前記駆動部は、前記容器および前記塗布針を下降させた後に前記塗布針のみを下降させて、前記貫通孔から前記塗布針の先端部を突出させる、請求項1または請求項2に記載の塗布ユニット。
- さらに、支持台と、
その先端部に前記塗布針が設けられ、その基端部が前記第1の直動案内部材を介して前記支持台に結合され、前記支持台に対して上下動可能に設けられた第1のアームと、
その先端部に前記容器が設けられ、その基端部が前記第2の直動案内部材を介して前記第1のアームに結合され、前記第1のアームに対して相対的に上下動可能に設けられた第2のアームと、
前記第1のアームに対する前記第2のアームの上下方向の相対移動量を、前記第1のアームの上下移動量よりも少ない範囲に限定する移動範囲限定機構とを備え、
前記駆動部は、前記第1のアームの基端部のみを上下動させて、前記容器および前記塗布針を上下動させるとともに、前記容器および前記塗布針を相対的に上下動させる、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の塗布ユニット。 - 前記第1および第2のアームは前記支持台の一方側に配置され、
前記駆動部は前記支持台の他方側に配置され、
前記容器は前記駆動部よりも低い位置に設けられている、請求項4に記載の塗布ユニット。 - 請求項1から請求項5までのいずれかに記載の塗布ユニットを備える、パターン修正装置。
- さらに、前記塗布ユニットが待機状態にあるとき前記容器の底の下方に配置され、前記貫通孔から漏れた前記修正液を受ける遮蔽板を備える、請求項6に記載のパターン修正装置。
- さらに、塗布動作時に前記塗布ユニットを水平方向に移動させて前記容器を前記遮蔽板から離間させる移動手段を備え、
前記駆動部は、前記遮蔽板から離間された前記容器の底を前記遮蔽板よりも低い位置まで下降させる、請求項7に記載のパターン修正装置。 - 互いに異なる種類の修正液が注入された複数の塗布ユニットを備え、
前記複数の塗布ユニットのうちの前記欠陥部の種類に応じて選択された塗布ユニットの修正液を前記欠陥部に塗布する、請求項6から請求項8までのいずれかに記載のパターン修正装置。 - 基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するパターン修正装置であって、
その底に貫通孔が開口され、修正液が注入された容器と、
前記貫通孔と略同じ径を有し、前記欠陥部に前記修正液を塗布するための塗布針と、
前記塗布針を上下動可能に支持する直動案内部材と、
前記塗布針を下降させ、前記貫通孔から前記塗布針の先端部を突出させて前記先端部に前記修正液を付着させる駆動部と、
前記容器の底の下方に設けられ、前記貫通孔から漏れた修正液を受ける遮蔽板とを備える、パターン修正装置。
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