KR101280643B1 - 패턴 수정 장치 및 그 도포 유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 간단한 구성으로 결함부를 신속하게 수정하는 것이 가능한 패턴 수정 장치를 제공하는 것으로 이를 위한 해결수단으로서, 이 패턴 수정 장치(1)의 도포 유닛(20)은, 그 바닥에 제 1의 구멍(21a)이 개구되고, 수정액(22)이 주입된 용기(21)와, 제 1의 구멍(21a)과 개략 같은 지름을 갖는 도포침(24)과, 용기(21) 및 도포침(24)을 상하 이동시킴과 함께, 용기(21) 및 도포침(24)을 상대적으로 상하 이동시키고, 제 1의 구멍(21a)으로부터 도포침 선단부(24a)를 돌출시켜서 선단부(24a)에 수정액(22)을 부착시키는 실린더(34)를 구비한다.

따라서, 용기와 결함부 사이에서 도포침을 왕복이동시킬 필요가 있던 종래에 비하여, 간단한 구성으로 결함부를 신속하게 수정할 수 있다.

패턴 수정 장치, 관찰 광학계, 모니터, 레이저부

Description

패턴 수정 장치 및 그 도포 유닛{Pattern amendment device and application unit thereof}

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 의한 패턴 수정 장치의 전체 구성을 도시하는 도면.

도 2는 도 1에 도시한 도포 기구부에 포함되는 도포 유닛의 구성을 도시하는 단면도.

도 3은 도 2에 도시한 도포 유닛의 대기 상태를 도시하는 단면도.

도 4는 도 2에 도시한 도포 유닛의 도포 동작을 도시하는 단면도.

도 5는 실시 형태 1의 변경 예를 도시하는 도면.

도 6은 본 발명의 실시 형태 2에 의한 패턴 수정 장치의 도포 기구부에 포함되는 도포 유닛의 구성을 도시하는 단면도.

도 7은 도 6에 도시한 용기 및 도포침의 구성을 도시하는 단면도.

도 8은 도 6에 도시한 용기의 부착 방법을 도시하는 단면도.

도 9는 도 6에 도시한 도포 유닛의 변경 예를 도시하는 단면도.

도 10은 도 6에 도시한 도포 유닛의 도포 동작을 도시하는 단면도.

도 11은 본 발명의 실시 형태 3에 의한 패턴 수정 장치의 도포 유닛의 구성 및 동작을 도시하는 단면도.

도 12는 도 11에 도시한 도포침 고정판의 부착 방법을 도시하는 상면도.

도 13은 도 11에 도시한 용기 및 도포침의 구성을 도시하는 단면도.

도 14는 본 발명의 실시 형태 4에 의한 패턴 수정 장치의 도포 유닛의 구성 및 동작을 도시하는 단면도.

도 15는 도 14에 도시한 도포 유닛의 도포 동작을 도시하는 단면도.

본 발명은 패턴 수정 장치 및 그 도포 유닛에 관한 것으로, 특히, 기판상에 형성된 미세 패턴의 결함부를 수정하는 패턴 수정 장치 및 그 도포 유닛에 관한 것이다. 보다 특정적으로는, 본 발명은, 플랫 패널 디스플레이의 제조 공정에서 발생하는 전극의 오픈 결함, 플라즈마 디스플레이의 리브(격벽) 결손, 액정 컬러 필터의 보이드(void) 결함, 마스크의 결함 등을 수정하는 패턴 수정 장치와, 그것에 이용되는 도포 유닛에 관한 것이다.

(배경 기술)

근래, 플라즈마 디스플레이, 액정 디스플레이, EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 대형화, 고정밀화에 수반하여, 디스플레이의 제조 공정에서, 기판상의 전극이나 리브 등에 결함이 발생하거나, 액정 컬러 필터의 착색층에 결함이 발생하거나 하는 확률이 높아지고 있다. 이 때문에, 수율의 향상을 도모하고, 각종 결함을 수정하는 패턴 수정 장치가 제안되어 있다.

예를 들면, 액정 컬러 필터의 착색층의 일부가 색이 빠진 백(白)결함을 수정하는 장치로서, 도포침의 선단부에 부착시킨 수정용 잉크를 백결함에 도포하여 수정하는 것이 있다(예를 들면 일본 특개평9-61296호 공보 참조). 또한, 플라즈마 디스플레이의 배면 유리 기판상에 형성된 리브의 일부가 이지러진 리브 이지러짐 결함을 수정하는 장치로서, 도포침의 선단부에 부착시킨 수정용 페이스트를 리브 이지러짐 결함에 도포하여 수정하는 것이 있다(예를 들면 일본 특개2000-299059호 공보 참조).

이들의 패턴 수정 장치에서는, 용기에 주입된 수정액(수정용 잉크, 수정용 페이스트)의 액면의 위에서 도포침을 상하 이동시켜서 도포침의 선단부에 수정액을 부착시킨 후, 그 도포침을 결함부(백결함, 리브 이지러짐 결함)의 위에서 상하 이동시켜서 도포침 선단부의 수정액을 결함부에 도포하고 있다.

그러나, 종래의 패턴 수정 장치에서는, 결함부가 큰 경우는 수정액을 결함부에 복수회 도포할 필요가 있고, 도포할 때마다 도포침을 결함부로부터 용기까지 되돌려서, 도포침에 수정액을 다시 부착할 필요가 있다. 이 때문에, 결함부의 수정 시간이 길어진다는 문제가 있다.

그래서, 본 발명의 주된 목적은, 간단한 구성으로 결함부를 신속하게 수정하 는 것이 가능한 패턴 수정 장치 및 그 도포 유닛을 제공하는 데 있다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

본 발명에 관한 도포 유닛은, 기판상에 형성된 미세 패턴의 결함부를 수정하는 패턴 수정 장치의 도포 유닛으로서, 그 바닥에 제 1의 구멍이 개구되고, 수정액이 주입된 용기와, 제 1의 구멍과 개략 같은 지름을 가지며, 결함부에 수정액을 도포하기 위한 도포침과, 용기 및 도포침을 상하 이동 가능하게 지지하는 제 1의 직동(直動) 안내 부재와, 용기 및 도포침을 상대적으로 상하 이동 가능하게 지지하는 제 2의 직동 안내 부재와, 용기 및 도포침을 상하 이동시킴과 함께, 용기 및 도포침을 상대적으로 상하 이동시키고, 제 1의 구멍으로부터 도포침의 선단부를 돌출시켜서 선단부에 수정액을 부착시키는 구동부를 구비한 것이다.

바람직하게는, 구동부의 구동축은 1개뿐이다.

또한 바람직하게는, 구동부는, 용기 및 도포침을 하강시킨 후에 도포침만을 하강시켜서, 제 1의 구멍으로부터 도포침의 선단부를 돌출시킨다.

또한 바람직하게는, 용기에 고정되고, 도포침과 개략 같은 지름의 제 2의 구멍이 개구된 덮개와, 지지대와, 용기를 지지대에 부착하기 위한 자석을 구비하고, 용기는, 자석과 제 2의 구멍에 삽입된 도포침에 의해 소정의 위치에 지지된다.

또한 바람직하게는, 자석은 지지대에 고정되고, 또한, 용기에 고정되고, 자성체 재료로 형성된 핀을 구비하고, 핀의 단면(端面)이 자석의 단면에 흡착되어 용기가 지지대에 지지된다.

또한 바람직하게는, 핀의 단면이 자석의 단면에 흡착된 때에, 제 1의 구멍의 중심과 제 2의 구멍의 중심을 잇는 기준선이 도포침의 중심선에 거의 일치하도록, 자석과 핀이 배치되어 있다.

또한 바람직하게는, 제 1의 구멍과 그것을 관통하는 도포침과의 간극은, 제 2의 구멍과 그것을 관통하는 도포침과의 간극보다도 크다.

또한 바람직하게는, 지지대와, 그 선단부에 도포침이 더 마련되고, 그 기단부가 제 1의 직동 안내 부재를 통하여 지지대에 결합되고, 지지대에 대해 상하 이동 가능하게 마련된 제 1의 암과, 그 선단부에 용기가 마련되고, 그 기단부가 제 2의 직동 안내 부재를 통하여 제 1의 암에 결합되고, 제 1의 암에 대해 상대적으로 상하 이동 가능하게 마련된 제 2의 암과, 제 1의 암에 대한 제 2의 암의 상하방향의 상대 이동량을, 제 1의 암의 상하 이동량보다도 적은 범위로 한정하는 이동 범위 한정 기구를 구비하고, 구동부는, 제 1의 암의 기단부만을 상하 이동시켜서, 용기 및 도포침을 상하 이동시킴과 함께, 용기 및 도포침을 상대적으로 상하 이동시킨다.

또한 바람직하게는, 제 1 및 제 2의 암은 지지대의 한쪽측에 배치되고, 구동부는 지지대의 다른쪽측에 배치되고, 용기는 구동부보다도 낮은 위치에 마련되어 있다.

또한 바람직하게는, 용기에 고정되고, 도포침과 개략 같은 지름의 제 2의 구멍이 개구된 덮개와, 용기를 제 2의 암에 부착하기 위한 자석을 구비하고, 용기는, 자석과 제 2의 구멍에 삽입된 도포침에 의해 소정의 위치에 지지된다.

또한, 본 발명에 관한 패턴 수정 장치는, 상기 도포 유닛을 구비한 것이다.

바람직하게는, 도포 유닛이 대기 상태에 있을 때 용기의 바닥의 하방에 배치되고, 제 1의 구멍으로부터 누설된 수정액을 받는 차폐판을 더 구비한다.

또한 바람직하게는, 도포 동작시에 도포 유닛을 수평 방향으로 이동시켜서 용기를 차폐판으로부터 이간시키는 이동 수단을 더 구비하고, 구동부는, 차폐판으로부터 이간된 용기의 바닥을 차폐판보다도 낮은 위치까지 하강시킨다.

또한 바람직하게는, 서로 다른 종류의 수정액이 주입된 복수의 도포 유닛을 구비하고, 복수의 도포 유닛 중 결함부의 종류에 따라 선택된 도포 유닛의 수정액을 결함부에 도포한다.

또한, 본 발명에 관한 다른 패턴 수정 장치는, 기판상에 형성된 미세 패턴의 결함부를 수정하는 패턴 수정 장치로서, 그 바닥에 구멍이 개구되고, 수정액이 주입된 용기와, 구멍과 개략 같은 지름을 가지며, 결함부에 수정액을 도포하기 위한 도포침과, 도포침을 상하 이동 가능하게 지지하는 직동 안내 부재와, 도포침을 하강시키고, 구멍으로부터 도포침의 선단부를 돌출시켜서 선단부에 수정액을 부착시키는 구동부와, 용기의 바닥의 하방에 마련되고, 구멍으로부터 누설된 수정액을 받는 차폐판을 구비한 것이다.

[실시 형태 1]

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 의한 패턴 수정 장치의 전체 구성을 도시하는 도면이다. 도 1에서, 패턴 수정 장치(1)는, 기판의 표면을 관찰한 관찰 광학 계(2)와, 관찰된 화상을 투영하는 모니터(3)와, 관찰 광학계(2)를 통하여 기판에 레이저광을 조사하여 불필요부를 컷트하는 컷트용 레이저부(4)와, 수정액을 도포침 선단에 부착시켜서 기판의 결함부에 도포하는 도포 기구부(5)와, 결함부에 도포된 수정액을 가열하는 기판 가열부(6)와, 결함부를 인식하는 화상 처리부(7)와, 장치 전체를 제어하는 호스트 컴퓨터(8)와, 장치 기구부의 동작을 제어하는 제어용 컴퓨터(9)를 구비한다. 또한, 그 밖에 결함부를 갖는 기판을 XY방향(수평 방향)으로 이동시키는 XY스테이지(10)와, XY스테이지(10)상에서 기판을 지지하는 척 부(11)와, 관찰 광학계(2)나 도포 기구부(5)를 Z방향(수직 방향)으로 이동시키는 Z스테이지(12) 등이 마련되어 있다.

XY스테이지(10)는, 도포 기구부(5)에 의해 수정액을 결함부에 도포할 때나, 관찰 광학계(2)에 의해 기판의 표면을 관찰할 때 등에, 기판을 적절한 위치로 상대 이동시키기 위해 이용된다. 도 1에 도시한 XY스테이지(10)는, 2개의 1축 스테이지를 직각 방향으로 겹친 구성을 갖고 있다. 단, 이 XY스테이지(10)는, 관찰 광학계(2)나 도포 기구부(5)에 대해 기판을 상대적으로 이동시킬 수 있는 것이면 좋고, 도 1에 도시하는 XY스테이지(10)의 구성으로 한정되는 것이 아니다. 근래에는, 기판 사이즈의 대형화에 수반하여, X축방향과 Y축방향으로 각각 독립하여 이동 가능한 갠트리형(gantry type)의 XY스테이지가 많이 채용되어 있다.

도 2는 도 1에 도시한 도포 기구부(5)에 포함되는 도포 유닛(20)의 구성을 도시하는 단면도이다. 도 2에서, 도포 유닛(20)은, 그 바닥에 제 1의 구멍(21a)이 개구되고, 수정액(22)이 주입된 용기(21)와, 제 2의 구멍(23a)이 개구되고, 용 기(21)를 밀봉하는 덮개(23)와, 제 1 및 제 2의 구멍(21a, 23a)과 개략 같은 지름을 갖는 도포침(24)을 포함한다.

도포침(24)의 선단부(24a)는, 제 2의 구멍(23a)을 관통하여 수정액(22) 내로 침지된다. 제 1 및 제 2의 구멍(21a, 23a)의 지름은, 그것들에 관통하는 도포침(24)의 지름보다도 조금 크지만 미소하기 때문에, 수정액(22)의 표면장력이나 용기(23)의 발수·발유성에 의해, 제 1의 구멍(21a)으로부터의 수정액(22)의 누출은 거의 없다.

용기(21)에 형성되고, 수정액(22)을 주입하기 위한 구멍은, 구멍(21a)에 근접함에 따라 단면적이 작아지는 테이퍼 형상을 갖는다. 따라서, 적은 수정액(22)으로도 도포침(24)의 선단부(24a)를 침지할 수 있고, 경제적이다. 수정액(22)의 량은, 예를 들면 20㎕(마이크로리터)이다. 수정액(22)은 오래 보존할 수 없는 것도 있고, 용기(21)는 정기적으로 교환한다. 또는, 사용이 끝난 용기(21)를 세척 후, 재이용하는 것도 가능하다. 용기(21)의 착탈을 간단하게 하기 위해, 손으로 잡기 쉬운 구조로 하는 편이 사용의 편리함이 향상한다.

도포침(24)의 기단부는 도포침 고정판(25)에 고착되고, 도포침 고정판(25)은 암(26)의 선단부(26a)에 고정된다. 도포침 고정판(25)은, 예를 들면 나사 고정, 자석의 흡인력 등의 방법으로 암(26)에 고정된다. 암(26)은 L자 형상을 이루고, 그 기단부는 직동 안내 부재(30)를 통하여 지지대(33)에 결합된다. 암(26)은, 직동 안내 부재(30)에 의해, 지지대(33)에 대해 상하 이동 가능하게 지지된다.

용기(21)는, 또하나의 암(28)의 선단부(28a)에 고정된다. 용기(21)는, 암(28)의 선단부(28a)에 마련한 맞댐부(28b)에 의해 위치 결정되고, 예를 들면 나사 고정, 자석의 흡인력 등의 방법으로 암(28)에 고정된다. 암(28)은 L자 형상을 이루고, 그 기단부는 직동 안내 부재(29)를 통하여 암(26)에 결합된다. 암(28)은, 직동 안내 부재(29)에 의해, 암(26)에 대해 상하 이동 가능하게 지지된다.

직동 안내 부재(29, 30)의 각각은, 레일부와 슬라이드부 사이에 전동체(볼 등)를 개재시킨 구름 안내의 구성을 가지며, 레일부와 슬라이드부는 극히 가벼운 힘으로 자유롭게 직선 운동하는 것이 가능한 리니어 가이드로 되어 있다. 도포 정밀도를 향상하기 위해, 가벼운 예압을 주는 경우도 있다.

암(26, 28)의 상하방향의 상대 이동량은, 암(26)에 고정 지지된 핀(27)과, 암(28)에 마련한 노치 구멍(28c)에 의해 한정된다. 즉, 상대 이동 범위는, 핀(27)이 노치 구멍(28c)의 속을 이동 가능한 범위로 되기 때문에, 직동 안내 부재(29)에 빠짐 방지를 위한 스토퍼를 마련하지 않아도 좋다. 직동 안내 부재(30)의 상하에는, 지지대(33)에 고정된 스토퍼(31, 32)가 마련되고, 암(26)의 상하 이동은 스토퍼(31, 32)에 의해 구속된다. 또한, 하측의 스토퍼(32)는, 암(28)의 동작 범위를 제한하는 스토퍼를 겸하고 있다. 스토퍼(31, 32), 핀(27) 및 노치 구멍(28c)에 의해, 암(26)에 대한 암(28)의 상하방향의 상대 이동량은, 암(26)의 상하 이동량보다도 적은 범위로 한정되어 있다.

지지대(33)의 암(26, 28)의 반대측에는, 출력축(34a)을 아래로 향하게 하여 에어 실린더(34)가 마련되어 있다. 에어 실린더(34)의 출력축(34a)의 선단에는, 선단에 핀(35a)을 고착한 구동판(35)이 수평으로 고정되어 있고, 출력축(34a)과 일체 가 되어 상하 이동한다. 핀(35a)은, 암(26)의 기단부에 마련한 노치부(26b)에 하방에서 접하여 있고, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)의 상하 이동에 의해, 암(26)을 상하로 이동시키는 기능을 갖는다.

도 2에서는, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)이 상방에 있고(이 예에서는 출력축(34a)이 인입된 상태), 암(26)은 상단에 위치하고, 암(28)은, 핀(27)에 매달고 내려가는 상태, 즉, 노치 구멍(28c)의 상단과 핀(27)이 접한 상태에 있다. 이때, 도포침(24)의 선단부(24a)는, 용기(21) 내에 넣은 수정액(22)에 침지된 상태에 있다. 이와 같이, 도포 유닛(20)의 선단부(도포침(24) 및 용기(21)의 주위의 부분)를 상하방향으로 얇게 구성하고, 또한 선단부를 에어 실린더(34)보다도 아래에 배치하였기 때문에, 도포 유닛(20)의 선단부를 관찰 광학계(2)의 대물 렌즈와 기판 사이에 삽입하는 것도 가능해진다.

도 3은 관찰 광학계(2)의 대물 렌즈(40)로 기판(41)의 결함부(41a)를 관찰하고 있는 상태를 도시하고 있다. 대물 렌즈(40)와 떨어진 위치에 도포 유닛(20)은 배치되고, 수정 지령을 기다리고 있다. 도포 유닛(20)은 도시하지 않은 부 XYZ스테이지에 고정되고, 지면(紙面) 좌우방향, 전후방향, 상하방향으로 이동 가능하고, 부 XYZ스테이지는, 예를 들면 관찰 광학계(2)를 고정하는 Z스테이지(12)에 고정된다. 또한, 경우에 따라, 부 Y스테이지를 생략하여도 좋다.

여기서 도포 지령이 주어지면, 도 4의 (A) 내지 (D)에 도시하는 동작을 행하여 도포가 행하여진다. 우선, 도 4의 (A)에 도시하는 바와 같이 부 X스테이지와 부 Y스테이지의 동작에 의해 도포 유닛(20)의 선단부가 대물 렌즈(40)와 기판(41)의 간극에 삽입되고, 도포침(24)의 직하에 결함부(41a)가 위치하도록 위치 결정된다.

대물 렌즈(40)의 작동 거리(대물 렌즈(40)로부터 초점 위치까지의 거리)가 짧아서, 도포 유닛(20)이 삽입될 수 없는 경우는, 도시하지 않은 리볼버(revolver)를 회전시켜서 작동 거리가 긴 대물 렌즈(40)로 변경한다. 일반적으로 저배율의 렌즈인 쪽이 작동 거리는 길어진다. 예를 들면, 10배의 대물 렌즈(40)의 작동 거리는 약 30㎜이고, 도포 유닛(20)의 도포부의 높이를 낮게 설계하면 용이하게 삽입 가능하다.

그 후, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)을 하방으로 돌출시켜서 구동판(35)을 하강시킨다. 도 4의 (B)는, 출력축(34a)이 하강하는 도중 과정을 도시한 것이고, 도 4의 (C)는 출력축(34a)이 최하단에 도달한 상태를 도시하고 있다.

에어 실린더(34)의 출력축(34a)이 하방으로 돌출하면, 출력축(34a)에 고정된 구동판(35) 및 구동판(35)의 선단에 고착된 핀(35a)도 함께 하방으로 이동하기 때문에, 핀(35a)에 의해 지지된 암(26)도 이에 맞추어서 하방으로 이동한다. 또한, 암(26)에 고착된 핀(27)에 매달린 상태로 암(28)도 그에 맞추어서 하방으로 이동하지만, 처음 동안은 2개의 암(26, 28)의 상하방향의 상대 위치는 변화하지 않는다.

도 4의 (B)에 도시하는 바와 같이, 암(28)의 기단부의 하단이 스토퍼(32)에 맞닿으면, 암(28)의 하강이 정지되고, 그 후는, 암(26)만이 하강한다. 암(26)만이 하강하면, 암(26)에 고정된 도포침(24)의 선단(24a)은, 용기(21)의 바닥면에 마련한 제 1의 구멍(21a)으로부터 돌출을 시작하고, 그 돌출은, 도 4의 (C)에 도시하는 바와 같이, 암(26)의 기단부의 하단이 스토퍼(32)에 맞닿음으로써 정지한다. 이 상 태에서는, 도포침(24)의 선단부(24a)에 수정액(22)이 부착하여 있고, 도포의 준비가 완료된다. 그 후, 도 4의 (D)에 도시하는 바와 같이, 도시하지 않은 부 Z스테이지를 이용하여 도포 유닛(20)전체를 하강시키고, 도포침(24)의 선단을 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉시킨다. 이로써, 도포침(24)의 선단부(24a)에 부착하고 있던 수정액(22)이 결함부(41a)에 도포된다.

도포침(24)의 선단이 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉하고 나서, 다시, 부 Z스테이지를 이용하여, 도포 유닛(20)을 0.5㎜부터 1㎜ 정도 하방으로 이동시키지만, 이때, 도포침(24)은, 직동 안내 부재(30)에 의해 암(26)과 함께 상방으로 퇴피하기 때문에, 도포침(24)에 과대한 힘은 작용하지 않는다.

도포 후, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)을 상방으로 인입하여 원래의 상태(도 4의 (A))로 되돌려서, 1회의 도포가 완료된다. 결함부(41a)에 수정액(22)을 다시 도포할 필요가 있는 경우는, 이 도포 동작을 반복하여 행하면 좋다. 또한, 결함부(41a)가 클수록 필요한 도포 동작의 회수는 많아지지만, 도포침(24)을 상하로 이동시키는 것만으로 도포침 선단부(24a)에 수정액(22)을 다시 부착할 수 있다.

따라서, 이 실시 형태 1에서는, 종래와 같이 도포침을 결함부와 용기(잉크 탱크 또는 페이스트 탱크) 사이를 왕복이동시키는 공정이 생략되기 때문에, 결함 수정에 필요로 하는 시간이 단축된다.

또한, 수정액(22)은 구멍(21a, 23a)를 제외하고 밀폐된 용기(21) 내에 들어가 있고, 도포침(24)은 용기(21) 덮개(23)의 구멍(23a)에 미소한 간극을 갖고 항상 삽입된 상태에 있기 때문에, 수정액(22)이 대기에 직접 접촉되는 면적은 적다. 따 라서, 수정액(22)의 희석액(용매)의 증발을 방지할 수 있고, 수정액(22)의 사용 가능한 일수(교환 주기)를 길게 하는 것이 가능해지고, 패턴 수정 장치(1)의 보수가 경감화된다.

또한, 도포 동작의 대기 상태에서 도포침 선단부(24a)를 수정액(22) 안에 잠그고 있기 때문에, 도포침 선단부(24a)에 부착한 수정액(22)의 건조를 막을 수 있고, 도포침 선단부(24a)의 세척 공정도 생략 가능해진다.

또한, 종래에는 도포침 선단부(24a)에 수정액(22)을 부착시켰을 때, 도포침 선단부(24a)의 수정액 고임의 하부가 자중으로 팽창한 상태로 되어 있기 때문에, 수정액 고임이 상방으로 이동하여 도포침 선단면에 수정액(22)의 얇은 층이 생길 때까지 대기하고 있다. 그러나, 이 실시 형태 1에서는, 도포침 선단부(24a)가 제 1의 구멍(21a)으로부터 돌출한 때에 도포침 선단부(24a)의 수정액 고임이 상방으로 이동하여 도포침 선단면에 수정액(22)의 얇은 층이 생긴 상태로 되어 있기 때문에, 대기 시간을 마련할 필요가 없어지는, 또는 대기 시간을 단축하는 것이 가능하게 된다.

또한, 종래에는 선단 부분의 지름이 다른 복수의 도포침을 준비하여 두고, 결함부의 크기에 따라 도포침을 선택하여 사용하고 있다. 그러나, 이 실시 형태 1에서는 1회의 도포 동작에 필요로 하는 시간이 짧기 때문에, 선단 부분의 지름이 가장 작은 도포침(24)을 1개만 이용하여, 도포 동작의 회수를 조정하면 좋다. 그만큼 장치의 구성이 간략화된다.

또한, 종래에는 도포 유닛과 관찰 광학계가 수평 방향으로 떨어진 위치에 고 정되어 있기 때문에, 관찰 광학계에서 결함부를 관찰하고 있는 위치로부터 도포 유닛의 직하에 결함부가 오도록 기판을 오프셋 이동시키는 것이 필요하고, 수정액 도포 후의 상태를 관찰하는데는 재차 기판을 오프셋 이동할 필요가 있어서, 택트 타임의 장시간화를 초래하고 있다. 그러나, 이 실시 형태 1에서는, 관찰 광학계(2)의 대물 렌즈(40)와 기판(41) 사이에 용기(21) 및 도포침(24)을 삽입할 수 있기 때문에, 기판(41)의 오프셋 이동이 불필요하게 되어, 택트 타임의 단축화를 도모할 수 있다.

또한, 암(26, 28)의 상하 이동, 환언하면, 도포침(24)과 용기(21)의 상하 이동을 하나의 구동부(여기서 나타낸 예에서는 에어 실린더(34))로 행하기 때문에, 기구를 간략화할 수 있다. 또한, 구동부를 하나만 제어하면 좋고, 제어도 간단하다.

또한, 이 실시 형태 1에서는, 구동부로서 에어 실린더(34)를 이용하였지만, 예를 들면, 단동식(單動式)의 압출 타입을 이용하면, 에어 실린더(34)를 구동한 에어가 차단되거나, 에어 실린더(34)의 제어 신호가 도중절단되어도, 도포침(24)의 선단부(24a)가 수정액(22) 중에 침지한 상태를 유지 가능하고, 도포침(24)이 돌출하는 일이 없고, 안전측으로 기능한다.

또한, 이 실시 형태 1에서는, 수정액(22)을 넣은 용기(21)를 상하 이동시키는 기구를 마련했기 때문에, 대기 위치에서는, 용기(21)를 상방에 유지할 수 있도록 되고, 도포 유닛(20) 전체를 기판(41)에 근접시켜도, 용기(21)와 기판(41)의 거리를 충분히 벌릴 수 있다. 이 때문에, 대기시에 용기(21)로부터 수정액(22)의 누 출이 비록 있어도 누설되어 떨어진 수정액(22)에 의해 기판(41)이 오염되지 않도록, 도 5의 (A)에 도시하는 바와 같이, 기판(40)과 용기(41) 사이에 차폐판(36)을 마련하는 것도 가능해진다.

차폐판(36)은, 도시하지 않은 부 XYZ스테이지의 부 Z스테이지에 고정되어 있고, 도포 유닛(20)과 마찬가지로, 부 Z스테이지에 의해 상하 이동된다. 도포시에는, 우선 도 5의 (B)에 도시하는 바와 같이, 도포 유닛(20)의 도포침(24)을, 부 XY스테이지에 의해 대물 렌즈(40)의 직하에 있는 결함부(41a)의 상방으로 이동시킨다. 이때, 차폐판(36)은 X축방향으로 이동하지 않음으로, 용기(21)의 하방에 차폐판(36)은 없고, 도포가 가능해진다.

다음에 도 5의 (C)에 도시하는 바와 같이, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)을 하강시켜서 용기(21)를 하방으로 이동시키고, 또한 도포침(24)의 선단(24a)을 용기(21)로부터 돌출한 상태로 하고 나서, 부 Z축 스테이지에 의해 도포 유닛(20)을 하강시켜서, 결함부(41a)에 수정액(22)을 도포한다. 이때, 용기(21)는, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)이 하방으로 돌출하는데 수반하여, 차폐판(36) 보다도 하방으로 이동하기 때문에, 도포시에는 기판(41)과 차폐판(36)이 간섭하는 일은 없다.

또한, 기판(41)이 컬러 필터 기판인 경우, 수정하는 색, R(적), G(녹), B(청), BM(블랙 매트릭스의 흑), 경우에 따라서는 0C(오버코트)마다에 도포 유닛(20)을 마련하여 복수의 도포 유닛(20)을 배치하고, 수정하는 색에 맞추어서, 도포 유닛(20)을 선택하여 수정을 행하는 것도 가능하다. 이 경우, 수정하는 색에 맞추어서 수정이 행하여지기 때문에, 도포침(24)의 세척은 불필요하다.

[실시 형태 2]

도 6의 (A)는, 본 발명의 실시 형태 2에 의한 패턴 수정 장치의 도포 기구부에 포함되는 도포 유닛(50)의 구성을 도시하는 단면도이다. 도 6의 (A)에서, 도포 유닛(50)은, 그 바닥에 제 1의 구멍(21a)이 개구되고, 수정액(22)이 주입된 용기(21)와, 제 2의 구멍(23a)이 개구되고, 용기(21)를 밀봉하는 덮개(23)와, 제 1 및 제 2의 구멍(21a, 23a)과 개략 같은 지름을 갖는 도포침(24)을 포함한다. 도포침(24)의 선단부는, 제 2의 구멍(23a)을 관통하여 수정액(22)에 침지된다.

도 7은 도포침(24)과 용기(21)의 부분을 확대한 도면이고, 용기(21)의 바닥에 개구된 제 1의 구멍(21a)과, 그 덮개(23)에 개구된 제 2의 구멍(23a)과, 도포침(24)과의 치수 관계를 나타낸 것이다. 제 1의 구멍(21a)의 지름을 Dd로 하고, 제 2의 구멍(23a)의 지름을 Du로 하고, 도포침(24)의 지름을 D로 하면, Dd와 Du는 D보다 크고, Dd>Du>D의 관계에 있다. 또한, 이 관계식은, 도포침(24)이 단(段)이 붙은 것이 아니라, 스트레이트한 타입의 경우에 성립된다.

또한, 제 1의 구멍(21a)의 지름(Dd)과 도포침(24)의 지름(D)과의 차의 반분(편측 간극)을 △d로 하고, 제 2의 구멍(23a)의 지름(Du)과 도포침(24)의 지름(D)과의 차의 반분(편측 간극)을 △u로 하면, △d>△u의 관계에 있고, 덮개(23)에 개구된 제 2의 구멍(23a)과 도포침(24)의 간극보다도, 용기(21)의 바닥에 개구된 제 1의 구멍(21a)과 도포침(24)의 간극의 쪽이 크게 설정되어 있다. 이 때문에, 제 2의 구멍(23a)과 도포침(24)으로 용기(21)의 자세를 유지할 수 있고, 또한, 도포침(24)이 제 2의 구멍(23a)의 내면에 접촉한 상태에 있어도, 도포침(24)이 제 1의 구멍(21a)의 내면에 접촉하지 않기 때문에, 제 1의 구멍(21a)의 마모에 의한 변형을 억제할 수 있다. 따라서, 도포침(24)의 선단부(24a)에 부착하는 수정액(22)의 액량이 변화하지 않기 때문에 안정된 도포가 가능해진다.

도 6의 (A)로 되돌아와, 도포침(24)의 기단부는 도포침 고정판(55)에 고정 지지된다. 도포침 고정판(55)은 직동 안내 부재(56)의 슬라이드부(56b)에 고정되고, 직동 안내 부재(56)의 레일부(56a)는 지지대(59)에 고정된다. 직동 안내 부재(56)는, 레일부(56a)와 슬라이드부(56b) 사이에 전동체(볼 등)를 개재시킨 구름 안내의 구성을 가지며, 레일부(56a)와 슬라이드부(56b)는 극히 가벼운 힘으로 자유롭게 직선 운동하는 것이 가능한 리니어 가이드로 되어 있다. 도포 정밀도를 향상하기 위해, 가벼운 예압을 주는 경우도 있다.

직동 안내 부재(56)의 상하단에는 각각 스토퍼(57, 58)가 마련되고, 슬라이드부(56b)가 레일부(56a)로부터 빠져나오는 것을 방지한다. 또한, 직동 안내 부재(56)에 스토퍼 기능이 내장되어 있으면, 스토퍼(57, 58)는 없어도 좋다.

지지대(59)에는,출력축(60a)을 상방을 향하여 에어 실린더(60)가 마련된다. 에어 실린더(60)의 출력축(60a)의 선단에는, 선단에 핀(61a)을 고착한 구동판(61)이 수평으로 고정되어 있고, 출력축(60a)과 일체가 되어 상하 이동한다. 핀(61a)은, 도 6의 (B)에 도시하는 바와 같이, 도포침 고정판(55)에 마련한 노치부(55a)의 하방에서 접하고, 에어 실린더(60)의 출력축(60a)의 상하 이동에 의해, 도포침 고정판(55)을 상하로 이동시키는 기능을 갖는다.

용기(21)는, 예를 들면, 폴리프로필렌 수지, 불소 수지, 폴리아세탈 수지 등 의 수지로 이루어지고, 용기(21)의 측부에는 돌기부(21b)가 마련되어 있다. 이 돌기부(21b)에는, 자성체인 핀(62)이 돌기부(21b)로부터 상방으로 돌출하도록 고착된다. 용기(21)는 사출성형에 의해 작성하여도 좋고, 이 경우, 핀(62)은 사출 성형시에 일체 성형하는 것도 가능하다.

또한, 직동 안내 부재(56)를 고정하는 지지대(59)의 하단면에는 자석(63)이 고착된다. 용기(21)에 고작된 핀(62)의 상단면을 자석(63)의 하단면에 흡착시킴으로써, 용기(21)를 지지대(59)에 1점으로 매달은 상태로 지지함과 함께, 덮개(23)에 개구된 제 2의 구멍(23a)에 도포침(24)을 관통시키면, 그 간극(△u)은 작기 때문에, 용기(21)는 소정 위치에 유지된다. 또한, 용기(21)의 바닥에 개구한 제 1의 구멍(21a)과 도포침(24)의 간극(△d)을 △u보다도 충분히 크게 설정함으로써, 도포침(24)은, 제 1의 구멍(21a)에 접촉하는 일 없이 상하 이동하는 것이 가능하게 된다. 예를 들면, △d=200㎛, △u=100㎛으로 설정한다.

도포침(24)이 용기(21)의 덮개(23)에 개구한 제 2의 구멍(23a)에 삽입되면, 용기(21)의 자세는 도포침(24)과 제 2의 구멍(23a)에 의해 어느 정도 구속되고, 용기(21)의 자세가 정해지고, 그 자세를 유지한다.

용기(21)의 바닥에 개구한 제 1의 구멍(21a)과 도포침(24)이 접촉하지 않기 때문에, 더스트의 발생을 방지할 수 있고, 수정액(22) 안에의 더스트의 침입을 억제할 수 있다. 또한, 용기(21)는 자석(63)과 용기(21)에 고착된 핀(62)의 흡인력으로 1면 지지되어 있을 뿐이고, 도포침(24)과 제 2의 구멍(23a)이 접촉하여도, 용기(21)의 고정 방법에는 조심성(調心性)이 있기 때문에, 도포침(24)에 주는 영향은 적다. 핀(62)과 자석(63)이 접하는 면은 거의 평평하고, 그들은 3㎜ 전후의 직경이다. 또한, 제 1의 구멍(21a)의 중심과 제 2의 구멍(23a)의 중심을 잇는 기준선이, 도포침(24)의 중심선과 거의 일치하도록, 핀(62)과 자석(63)의 접촉면이 설정된다.

용기(21)를 지지대(59)에 부착하는 경우, 도 8에 도시하는 바와 같이, 지지대(59)의 하방으로부터 위로 수정액(22)을 주입한 용기(21)를 갖고 가서, 도포침(24)의 선단부(24a)를 제 2의 구멍(23a)에 삽입한 후, 핀(62)을 자석(63)에 흡착시키면, 용기(21)의 부착은 완료한다. 그 후, 시험해본 도포침(24)을 상하 이동시켜서 제 1의 구멍(21a)으로부터 돌출시키고, 용기(21)의 위치를 어울리도록 하여도 좋다.

이와 같은 구조로 함에 의해, 공구를 사용하는 일 없이, 또한, 용기(21)의 고정 위치를 걱정하는 일 없이 간단하게 용기(21)의 착탈을 할 수 있도록 된다.

또한, 도 9에 도시하는 바와 같이, 용기(21)의 돌기부(21b)에 자석(63)을 고정하고, 지지대(59)의 하단면에 핀(62)을 고정하여도 좋다.

도 10의 (A) 내지 (D)는, 도 6에 도시한 도포 유닛(50)을 이용하여 기판(41)에 생긴 결함부(41a)를 수정하는 공정을 도시한 것이다. 우선, 도 10의 (A)에 도시하는 바와 같이, 도포 유닛(50)의 도포침(24)의 직하에 결함부(41a)가 오도록 도포 유닛(50)과 기판(41)을 상대 이동시킨다.

다음에 도 10의 (B)에 도시하는 바와 같이, 에어 실린더(60)의 출력축(60a)을 하방(도면에서는, 출력축(60a)을 인입하는 방향)으로 이동시키고, 출력축(60a)과 일체가 되어 이동하는 구동판(61)을 하방으로 이동한다. 구동판(61)의 선단에 고착된 핀(61a)은, 도포침 고정판(55)에 마련한 노치부(55a)에 하방에서 접하고 있고, 구동판(61)의 하강에 의해 도포침 고정판(55)은 직동 안내 부재(56)에 따라 하방으로 이동한다. 그것에 맞추어서 도포침(24)도 하방으로 이동하고, 용기(21)의 바닥에 개구된 제 1의 구멍(21a)으로부터 도포침(24)의 선단부(24a)가 돌출한다. 이 상태에서, 도포침(24)의 선단부(24a)에는 수정액(22)이 부착하고 있고, 도포할 수 있는 상태로 된다.

그 후, 도 10의 (C)에 도시하는 바와 같이, 부 Z스테이지(64)를 이용하여 도포 유닛(50) 전체를 하강시켜서, 도포침(24)의 선단을 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉시킨다. 이로써, 도포침(24)의 선단부(24a)의 수정액(22)이 결함부(41a)에 도포된다.

도포침(24)의 선단이 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉하고 나서, 다시, 부 Z스테이지(64)에 의해, 도포 유닛(50)을 0.5㎜부터 1㎜ 정도 하방으로 이동시키지만, 이때, 도포침(24)은, 직동 안내 부재(56)에 따라 상방으로 퇴피하기 때문에, 도포침(24)에 과대한 힘은 작용하지 않는다.

도포 후, 도 10의 (D)에 도시하는 바와 같이, 에어 실린더(60)의 출력축(60a)을 상방(도면에서는, 출력축(60a)을 돌출시키는 방향)으로 이동시키고, 도포침(24)의 선단부(24a)를 용기(21)의 수정액(22)중에 침지한 상태로 되돌림과 함께, 부 Z스테이지(64)를 상방으로 이동시켜서 도포 유닛(50) 전체를 상방으로 이동한다. 다시 도포하는 경우는 같은 공정을 반복한다. 또한, 여기서는 도포 유닛(50)의 하강을 부 Z스테이지(64)에 의해 행하고 있지만, 그 대신에 관찰 광학계(2)를 탑재한 Z스테이지(12)에 의해 행하여도 좋다.

[실시 형태 3]

도 11의 (A) 내지 (c)는, 본 발명의 실시 형태 3에 의한 패턴 수정 장치의 도포 유닛(70)의 구성 및 동작을 도시하는 단면도로서, 도 4의 (A) 내지 (D)와 대비되는 도면이다. 도 11의 (A) 내지 (C)에서, 이 도포 유닛(70)이, 실시 형태 1의 도포 유닛(20)과 다른 점은, 암(28, 26)이 암(71, 72)으로 치환되고, 핀(62) 및 자석(63, 73, 74)이 추가되어 있는 점이다.

지지대(33)의 하단부의 측면에는, 수평 방향으로 늘어나는 암(71)의 기단이 고정되어 있다. 또한, 암(71)과 지지대(33)를 일체 성형하고, 암(71)을 지지대(33)의 일부로 하여도 좋다. 암(71)의 선단부의 하면에는 자석(63)이 매설 고착되고, 수정액(22)을 주입한 용기(21)는, 용기(21)에 고착된 핀(62)이 자석(63)에 흡인됨으로써 암(71)에 고정된다.

직동 안내 부재(30)의 슬라이드부에는, L자 형상의 암(72)의 기단부가 고정된다. 도포침(24)의 기단부는 도포침 고정판(25)에 고정되고, 도포침 고정판(25)은 암(72)의 선단부(72a)에 부착된다.

암(72)의 선단부(72a)의 윗면과, 도포침 고정판(25)의 하면에는 각각 자석(73, 74)이 매설 고착되어 있고, 그들은 서로 다른 극성으로 마주 대하도록 배치되고, 또한 도 12에 도시하는 바와 같이, 자석(73과 74)의 위치는 완전히 겹쳐지지 않도록 서로 조금 비켜 놓고 있다. 비켜 놓는 방향은, 이들 자석(73, 74)의 흡인력이, 암(72)의 선단부(72a)에 마련한 2변의 맞댐부(72b, 72c)에 눌러대는 방향(화살 표 B)이고, 도포침 고정판(25)은, 맞댐부(72b, 72c)의 2변에 눌러대여지며, 또한 암(72)의 선단부(72a)측으로 흡인되어 위치 고정된다. 도포침 고정판(25)은, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)의 상하 이동에 의해, 암(72)을 끼우고 상하로 이동 가능하게 되고, 그것에 맞추어서 도포침(24)이 상하로 이동한다.

도포침(24)은, 도 13에 도시하는 바와 같이, 그 선단부(24a)측의 가는 축(24b)과, 도포침 고정판(25)에 고착되는 측의 굵은 축(24c)으로 되는 단이 붙은 형상을 이루고, 가는 축(24b)은 용기(21)의 바닥에 개구한 제 1의 구멍(21a) 내를 상하로 진퇴하고, 또한, 굵은 축(24c)은 용기(21)의 덮개(23)에 개구된 제 2의 구멍(23a) 내를 상하로 진퇴한다.

용기(21)의 바닥면에 개구된 제 1의 구멍(21a)의 지름(Dd)은, 도포침(24)의 가는 축(24b)의 지름(D1)보다 크게 설정되고, 또한, 용기(21)의 덮개(23)에 개구된 제 2의 구멍(23a)의 지름(Du)은, 도포침(24)의 굵은 축(24c)의 지름(D2)보다 크게 설정되어 있다.

제 1의 구멍(21a)의 지름(Dd)과, 도포침(24)의 가는 축(24b)의 지름(D1)과의 차의 반분(편측 간극)(△d)은, 제 2의 구멍(23a)의 지름(Du)과, 도포침(24)의 굵은 축(24c)의 지름(D2)과의 차의 반분(편측 간극)(△u)보다도 크게 설정되어 있다. 즉, △d>△u의 관계가 되도록 각 구멍의 지름은 설정된다. 예를 들면, △d=200㎛, △u 100㎛으로 설정한다.

단이 붙은 도포침(24)으로 하면, 덮개(23)를 고정한 용기(21)를 도포 유닛(70)에 부착하는 작업이 용이해진다. 즉, 도포침 선단부(24a)를 제 2의 구 멍(23a)에 삽입할 때, 도포침 선단부(24a)의 지름(D1)보다도 제 2의 구멍(23a)의 지름(Du)의 쪽이 충분히 크기 때문에, 도포침 선단부(24a)를 용이하게 삽입할 수 있다. 또한, 도포침(24)의 굵은 축(24c)이 제 2의 구멍(23a)의 내주면에 접촉하여도, △d>△u의 관계에 있기 때문에, 도포침(24)의 가는 축(24b)이 제 1의 구멍(21a)의 내주면에 접촉하는 것을 억제할 수 있다.

용기(21)의 내부 바닥은, 구멍(21a)에 근접함에 따라 단면적이 작아지는 테이퍼 형상을 가지며, 적은 수정액(22)으로도 도포침(24)의 선단부(24a)를 침지할 수 있어 경제적이다. 예를 들면, 수정액(22)의 량은 20㎕(마이크로리터)이다. 수정액(22)은 오래 보존할 수 없는 것도 있고, 용기(21)는 정기적으로 교환한다. 또는, 사용이 끝난 용기(21)를 세척 후, 재이용하는 것도 가능하다. 용기(21)의 착탈을 간단하게 하기 위해, 손으로 잡기 쉬운 구조로 하는 쪽이 사용의 편리함이 향상한다.

도 11의 (A)로 되돌아와 도포 동작을 설명한다. 도포 유닛(40)은, 도시하지 않은 부 XYZ스테이지에 의해 대물 렌즈(40)와 기판(41)의 간극으로 이동하고, 도포침(24)의 직하에 결함부(41a)가 위치하고 있고, 도포침(24)의 선단부(24a)는 수정액(22)에 침지한 상태에 있다.

다음에 도 11의 (B)에 도시하는 바와 같이, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)을 하방으로 돌출시켜서 구동판(35)을 하방으로 이동하면, 구동판(31)과 일체가 되어 이동하는 핀(35a)에 의해 하방에서 지지된 암(42)이 하방으로 이동하고, 그에 맞추어 도포침(24)의 선단부(24a)는 용기(21)의 바닥에 개구된 제 1의 구멍(21a)으 로부터 돌출한다.

그 후, 도 11의 (C)에 도시하는 바와 같이, 도시하지 않은 부 Z스테이지를 이용하여 도포 유닛(70) 전체를 하강시킴으로써, 도포침(24)의 선단을 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉시킨다. 도포침(24)의 선단이 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉하고 나서도, 또한 부 Z스테이지를 이용하여, 도포 유닛(70)을 0.5㎜로부터 1㎜ 정도 하방으로 이동시키지만, 이때, 도포침(24)은, 직동 안내 부재(30)에 의해 암(72)과 함께 상방으로 퇴피하기 때문에, 도포침(24)에 과대한 힘은 작용하지 않는다.

도포 후, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)을 상방으로 인입하여 원래의 상태(도 11의 (A))로 되돌려서, 1회의 도포가 완료된다. 다시 도포하는 경우는 마찬가지로 도포를 반복한다.

[실시 형태 4]

도 14는 본 발명의 실시 형태 4에 의한 패턴 수정 장치의 도포 유닛(50)의 구성 및 동작을 도시하는 단면도이고, 도 5의 (A)와 대비되는 도면이다. 도 14에서, 이 도포 유닛(80)이, 실시 형태 1의 도포 유닛(20)과 다른 점은, 핀(62) 및 자석(63, 73, 74)이 추가되어 있는 점이다.

도 14에서, 암(28)의 선단부의 하면에는 자석(63)이 매설 고착되고, 수정액(22)을 주입한 용기(21)는, 용기(21)에 고착된 핀(62)이 자석(63)에 흡인됨으로써 암(28)에 고정된다. 암(26)의 선단부(26a)의 윗면과, 도포침 고정판(25)의 하면에는 각각 자석(73, 74)이 매설 고착되어 있고, 그들은 서로 다른 극성으로 마주 대하도록 배치되고, 또한 도 12에서 도시한 바와 같이, 자석(73, 74)의 위치는 완 전히 겹쳐지지 않도록 서로 조금 비켜 놓고 있다. 따라서, 도포침 고정판(25)은, 암(26)의 선단부(26a)측으로 흡인되어 위치 고정된다.

또한, 도 14는, 관찰 광학계(2)의 대물 렌즈(40)로 기판(41)의 결함부(41a)를 관찰하고 있는 상태를 도시하고 있다. 이 상태에서는, 대물 렌즈(40)로부터 떨어진 위치에 도포 유닛(80)이 배치되고, 수정 지령을 기다리고 있다. 여기서 도포 지령이 주어지면, 도 15의 (A) 내지 (D)에 도시하는 동작을 행하여 도포가 행하여진다. 우선 도 15의 (A)에 도시하는 바와 같이, 부 XY스테이지의 동작에 의해 도포 유닛(80)의 도포부가 대물 렌즈(40)와 기판(41)의 간극에 삽입되고, 도포침(24)의 직하에 결함부(41a)가 위치하도록 위치 결정된다. 이때, 차폐판(36)은 X축방향으로 이동하지 않기 때문에, 용기(21)의 하방에 차폐판(36)은 없고, 도포가 가능해진다.

그 후, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)을 하방으로 돌출시켜서 구동판(35)을 하강시킨다. 도 15의 (B)는, 출력축(34a)이 하방으로 이동하는 도중 과정을 도시한 것이고, 도 15의 (C)는 출력축(34a)이 최하단에 도달한 상태를 도시하고 있다.

에어 실린더(34)의 출력축(34a)이 하방으로 돌출하면, 출력축(34a)에 고정된 구동판(35) 및 구동판(35)의 선단에 고착된 핀(35a)도 함께 하강하기 때문에, 핀(35a)에 의해 지지된 암(26)도 그에 맞추어서 하강한다. 또한, 암(26)에 고착된 핀(27)에 매달린 상태로 암(28)도 그에 맞추어서 하방으로 이동하지만, 처음의 동안은 암(26, 28)의 상하방향의 상대 위치는 변화하지 않는다.

뒤이어 도 15의 (B)에 도시하는 바와 같이, 암(28)의 기단부의 하단이 스토퍼(32)에 맞닿으면, 암(28)의 하강이 정지되고, 그 후는, 암(26)만이 하강한다. 암(26)만이 하강하면, 암(26)에 고정된 도포침(24)의 선단부(24a)는, 용기(21)의 바닥면에 마련한 제 1의 구멍(21a)으로부터 돌출을 시작하고, 그 돌출은, 도 15의 (C)에 도시하는 바와 같이, 암(26)의 기단부의 하단이 스토퍼(32)에 맞닿음으로써 정지한다. 이 상태에서는, 도포침(24)의 선단부(24a)에는 수정액(22)이 부착하고 있고, 도포의 준비가 완료된다. 이때, 용기(21)는, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)이 하방으로 돌출하는데 수반하여, 차폐판(36) 보다도 하방으로 이동하지만, 도포시에 용기(21)와 차폐판(36)이 간섭하는 일은 없다.

그 후, 도 15의 (D)에 도시하는 바와 같이, 도시하지 않은 부 Z스테이지를 이용하여 도포 유닛(80) 전체를 하강시켜서, 도포침(24)의 선단을 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉시킨다. 도포침(24)의 선단이 기판(41)의 결함부(41a)에 접촉하고 나서, 다시, 부 Z스테이지를 이용하여, 도포 유닛(80)을 0,5㎜로부터 1㎜ 정도 하방으로 이동하지만, 이때, 도포침(24)은, 직동 안내 부재(30)에 의해 암(26)과 함께 상방으로 퇴피하기 때문에, 도포침(24)에 과대한 힘은 작용하지 않는다.

도포 후, 에어 실린더(34)의 출력축(34a)을 상방으로 인입하여 원래의 상태(도 15의 (A))로 되돌려서, 1회의 도포가 완료된다. 다시 도포하는 경우는 마찬가지로 하고 반복하여 도포가 행하여진다. 도포 작업이 종료되면, 도 14에 도시한 바와 같이 도포 유닛(80)을 대물 렌즈(40)의 시야로부터 떼도록 조작하면, 도포 상태를 대물 렌즈(40)를 통하여 관찰할 수 있다.

금회 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 특허청구의 범위에 의해 나타나고, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.

본 발명에 관한 도포 유닛 및 패턴 수정 장치에서는, 그 바닥에 제 1의 구멍이 개구되고, 수정액이 주입된 용기와, 제 1의 구멍과 개략 같은 지름을 가지며, 결함부에 수정액을 도포하기 위한 도포침과, 용기 및 도포침을 상하 이동 가능하게 지지하는 제 1의 직동 안내 부재와, 용기 및 도포침을 상대적으로 상하 이동 가능하게 지지하는 제 2의 직동 안내 부재와, 용기 및 도포침을 상하 이동시킴과 함께, 용기 및 도포침을 상대적으로 상하 이동시키고, 제 1의 구멍으로부터 도포침의 선단부를 돌출시켜서 선단부에 수정액을 부착시키는 구동부가 마련된다. 따라서, 용기의 바닥의 제 1의 구멍으로부터 도포침의 선단부를 돌출시켜서 선단부에 수정액을 부착시키고, 그 상태에서 도포침의 선단을 결함부에 접촉시키면 결함부에 수정액을 도포할 수 있다. 따라서, 용기와 결함부 사이에서 도포침을 이동시킬 필요가 있던 종래에 비하여, 간단한 구성으로 결함부를 신속하게 수정할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 다른 패턴 수정 장치에서는, 용기 바닥의 구멍으로부터 누설된 수정액을 받는 차폐판이 마련된다. 따라서, 구멍으로부터 누설된 수정액에 의해 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

Claims (15)

1. 기판상에 형성된 미세 패턴의 결함부를 수정하는 패턴 수정 장치의 도포 유닛에 있어서,

   그 바닥에 제 1의 구멍이 개구되고, 수정액이 주입된 용기와,

   상기 제 1의 구멍과 개략 같은 지름을 가지며, 상기 결함부에 상기 수정액을 도포하기 위한 도포침과,

   상기 용기 및 상기 도포침을 상하 이동 가능하게 지지하는 제 1의 직동 안내 부재와,

   상기 용기 및 상기 도포침을 상대적으로 상하 이동 가능하게 지지하는 제 2의 직동 안내 부재와,

   상기 용기 및 상기 도포침을 상하 이동시킴과 함께, 상기 용기 및 상기 도포침을 상대적으로 상하 이동시키고, 상기 제 1의 구멍으로부터 상기 도포침의 선단부를 돌출시켜서 상기 선단부에 상기 수정액을 부착시키는 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 구동부의 구동축은 1개뿐인 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 구동부는, 상기 용기 및 상기 도포침을 하강시킨 후에 상기 도포침만을 하강시켜서, 상기 제 1의 구멍으로부터 상기 도포침의 선단부를 돌출시키는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 용기에 고정되고, 상기 도포침과 개략 같은 지름의 제 2의 구멍이 개구된 덮개와,

   지지대와,

   상기 용기를 상기 지지대에 부착하기 위한 자석을 구비하고,

   상기 용기는, 상기 자석과 상기 제 2의 구멍에 삽입된 상기 도포침에 의해 소정의 위치에 지지되는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 자석은 상기 지지대에 고정되고,

   또한, 상기 용기에 고정되며, 자성체 재료로 형성된 핀을 구비하고,

   상기 핀의 단면이 상기 자석의 단면에 흡착되어 상기 용기가 상기 지지대에 지지되는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 핀의 단면이 상기 자석의 단면에 흡착된 때에, 상기 제 1의 구멍의 중심과 상기 제 2의 구멍의 중심을 잇는 기준선이 상기 도포침의 중심선에 일치하도록 상기 자석과 상기 핀이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
7. 제 4항에 있어서,

   상기 제 1의 구멍과 그것을 관통하는 상기 도포침과의 간극은, 상기 제 2의 구멍과 그것을 관통하는 상기 도포침과의 간극보다도 큰 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
8. 제 1항에 있어서,

   지지대와,

   그 선단부에 상기 도포침이 마련되고, 그 기단부가 상기 제 1의 직동 안내 부재를 통하여 상기 지지대에 결합되고, 상기 지지대에 대해 상하 이동 가능하게 마련된 제 1의 암과,

   그 선단부에 상기 용기가 마련되고, 그 기단부가 상기 제 2의 직동 안내 부재를 통하여 상기 제 1의 암에 결합되고, 상기 제 1의 암에 대해 상대적으로 상하 이동 가능하게 마련된 제 2의 암과,

   상기 제 1의 암에 대한 상기 제 2의 암의 상하방향의 상대 이동량을, 상기 제 1의 암의 상하 이동량보다도 적은 범위로 한정하는 이동 범위 한정 기구를 구비하고,

   상기 구동부는, 상기 제 1의 암의 기단부만을 상하 이동시켜서, 상기 용기 및 상기 도포침을 상하 이동시킴과 함께, 상기 용기 및 상기 도포침을 상대적으로 상하 이동시키는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 제 1 및 제 2의 암은 상기 지지대의 한쪽측에 배치되고,

   상기 구동부는 상기 지지대의 다른쪽측에 배치되고,

   상기 용기는 상기 구동부보다도 낮은 위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
10. 제 8항에 있어서,

    상기 용기에 고정되고, 상기 도포침과 개략 같은 지름의 제 2의 구멍이 개구된 덮개와,

    상기 용기를 상기 제 2의 암에 부착하기 위한 자석을 구비하고,

    상기 용기는, 상기 자석과 상기 제 2의 구멍에 삽입된 상기 도포침에 의해 소정의 위치에 지지되는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
11. 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 기재된 도포 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 패턴 수정 장치.
12. 제 11항에 있어서,

    상기 도포 유닛이 대기 상태에 있을 때 상기 용기의 바닥의 하방에 배치되고, 상기 제 1의 구멍으로부터 누설된 상기 수정액을 받는 차폐판을 구비하는 것을 특징으로 하는 패턴 수정 장치.
13. 제 12항에 있어서,

    도포 동작시에 상기 도포 유닛을 수평 방향으로 이동시켜서 상기 용기를 상기 차폐판으로부터 이간시키는 이동 수단을 구비하고,

    상기 구동부는, 상기 차폐판으로부터 이간된 상기 용기의 바닥을 상기 차폐판보다도 낮은 위치까지 하강시키는 것을 특징으로 하는 패턴 수정 장치.
14. 제 11항에 있어서,

    서로 다른 종류의 수정액이 주입된 복수의 도포 유닛을 구비하고,

    상기 복수의 도포 유닛중 상기 결함부의 종류에 따라 선택된 도포 유닛의 수정액을 상기 결함부에 도포하는 것을 특징으로 하는 패턴 수정 장치.
15. 기판상에 형성된 미세 패턴의 결함부를 수정하는 패턴 수정 장치에 있어서,

    그 바닥에 구멍이 개구되고, 수정액이 주입된 용기와,

    상기 구멍과 개략 같은 지름을 가지며, 상기 결함부에 상기 수정액을 도포하기 위한 도포침과,

    상기 도포침을 상하 이동 가능하게 지지하는 직동 안내 부재와,

    상기 도포침을 하강시키고, 상기 구멍으로부터 상기 도포침의 선단부를 돌출시켜서 상기 선단부에 상기 수정액을 부착시키는 구동부와,

    상기 용기의 바닥의 하방에 마련되고, 상기 구멍으로부터 누설된 수정액을 받는 차폐판을 구비하는 것을 특징으로 하는 패턴 수정 장치.

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