WO2020162381A1 - 液体塗布ユニットおよび液体塗布装置 - Google Patents

Abstract

高粘度の液体材料を長時間安定して塗布することが可能な液体材料ユニットは、塗布針と、液体材料容器（１１）とを備える。液体材料容器（１１）は液体材料（２１）を貯留する。液体材料容器（１１）には、液体材料（２１）を貯留するための空間と、空間に塗布針を挿通させるための孔部（１５ｈ）とが形成されている。液体材料容器（１１）のうち孔部（１５ｈ）の周囲には、液体材料（２１）の濡れ広がり抑制構造（１６）が配置される。

Description

液体塗布ユニットおよび液体塗布装置

　本発明は液体塗布ユニットおよび液体塗布装置に関する。

　ＲＦＩＤタグなどの微細な回路を印刷（塗布）方式で形成するプリンテッドエレクトロニクス技術が急速に発展してきている。プリンテッドエレクトロニクス技術において、塗布針を用いた方式は、広範囲の粘度の材料を用いて微細な塗布が可能な点で、その選択肢の一つである。

　塗布針を用いて微細な塗布を行う方法として、特開２００７－２６８３５３号公報（特許文献１）に記載のような塗布ユニットを用いて行う方法がある。当該塗布ユニットにおいては、液体材料容器の底面に貫通孔が設けられる。貫通孔を上下方向に動くことが可能な、液体材料を塗布するための塗布針が配置される。塗布針の先端に付着した、液体材料容器内の液体材料が、塗布対象物である基板の表面に転写される。液体材料容器内の液体材料においては、液体材料容器の塗布針が突出する孔部の縁における表面張力と、液体材料容器内の液体材料の重量による圧力とが釣り合う。このため液体材料容器内の液体材料は、液体材料容器の孔部から空間の外に漏出することはない。

特開２００７－２６８３５３号公報

　特開２００７－２６８３５３号公報に開示される塗布ユニットによれば、広範囲な粘度の液体材料を用いて微細な領域への塗布を行なうことができる。しかし金属粉を含んだ高粘度かつ平均比重の大きな液体材料を塗布する場合、複数回塗布を繰り返すことにより、液体材料容器の塗布針が突出する孔部の周囲に液体材料が濡れ広がることで液溜まりが形成される。この液溜まりにより、塗布針の先端に付着する液体材料の量が変化する。これにより、塗布対象物への液体材料の塗布量がばらつく場合がある。したがって特開２００７－２６８３５３号公報では、塗布量のばらつきにより、高粘度の液体材料を長時間安定して塗布することが困難と考えられる。一方、ＲＦＩＤタグなどの微細な回路を描画するためには、高粘度の液体材料を長時間安定して塗布できることが必要である。

　本発明は上記の課題に鑑みなされたものである。その目的は、高粘度の液体材料を長時間安定して塗布することが可能な液体材料ユニットおよび液体塗布装置を提供することである。

　本発明に係る液体塗布ユニットは、塗布針と、液体材料容器とを備える。液体材料容器は液体材料を貯留する。液体材料容器には、液体材料を貯留するための空間と、空間に塗布針を挿通させるための孔部とが形成されている。液体材料容器のうち孔部の周囲には、液体材料の濡れ広がり抑制構造が配置される。

　本発明によれば、液体材料の濡れ広がり抑制構造により、高粘度の液体材料を長時間安定して塗布することができる。

実施の形態１に係る液体塗布ユニットをＹ方向負側から見た正面図である。 実施の形態１に係る液体塗布ユニットをＸ方向正側から見た側面図である。 図１に示した液体塗布ユニットを搭載した、本発明の実施の形態に係る液体材料塗布装置の全体構成を示す斜視図である。 実施の形態１に係る液体塗布装置に含まれる液体材料容器の部分の構成、および液体材料塗布方法を示す概略断面図である。 実施の形態１の第１例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。 実施の形態１の第２例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。 実施の形態１の第３例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。 比較例における液体材料塗布方法を繰り返すことによる、塗布針の位置と液体材料容器の状態の変化とを示す概略断面図である。 比較例における液体材料塗布方法を繰り返すことによる液体材料容器の状態の変化を示す概略断面図である。 実施の形態２の第１例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。 図１０で示す領域をＺ方向下側から平面視した態様を示す概略拡大平面図である。 実施の形態２の第２例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。 実施の形態２の第３例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。 実施の形態３に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。

　以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。

　（実施の形態１）
　＜液体塗布ユニットの構成＞
　図１は、実施の形態１に係る液体塗布ユニットをＹ方向負側から見た正面図である。図２は、実施の形態１に係る液体塗布ユニットをＸ方向正側から見た側面図である。すなわち図１と図２とは同一の液体塗布ユニットを示している。なお以下においては説明の便宜のため、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向が導入されている。図１および図２を参照して、本実施の形態の液体塗布ユニットは、塗布針１を用いて対象物としての基板などの表面に液体材料２１を塗布するためのものである。当該液体塗布ユニットは、塗布針１と、液体材料容器１１と、サーボモータ２０とを主に備えている。ただし当該液体塗布ユニットは上記以外にも多数の部材を備えている。また本実施の形態の特徴部分である濡れ広がり抑制構造については、後で詳述する。

　液体材料容器１１は、液体材料２１を内部に収納保持すなわち貯留する部材である。塗布針１は、液体材料容器１１内の液体材料２１を対象物上に供給するための部材である。塗布針１はＺ方向に沿って延びる細長い部材である。塗布針１のＺ方向最下部は角部、曲面部または平坦部など任意の形状とされる。当該塗布針１の先端部には、先端に向かって細くなる（すなわち、Ｚ方向下側に進み先端に近接するにつれて軸線に垂直な断面の面積が小さくなる）テーパ部が形成される。

　本実施の形態における液体塗布ユニットにおいては、塗布針１は、液体材料容器１１からたとえば対象物の表面上に直接液体材料２１を塗布する。このことについて、以下に説明する。

　液体塗布ユニットは、上記の液体材料容器１１の他に、塗布針ホルダ２３と、塗布針ホルダ収納部２４と、塗布針ホルダ固定部２５とを含んでいる。塗布針ホルダ固定部２５の下端には、塗布針ホルダ収納部２４が固定されている。塗布針ホルダ収納部２４の下端には凹部(図示せず)が形成されている。塗布針１の上端は、塗布針ホルダ２３の下端の中心に垂直に固定されている。塗布針ホルダ２３の上部には、凸部(図示せず)が形成されている。塗布針ホルダ２３の凸部が塗布針ホルダ収納部２４の凹部に挿嵌されることで、塗布針ホルダ２３は塗布針ホルダ収納部２４に対して位置決めされる。塗布針ホルダ２３はネジによって塗布針ホルダ収納部２４に固定される。

　塗布針ホルダ固定部２５は、可動部２６の下端に取り付けられている。可動部２６は、カム連結板２７を介して軸受２８に連結されている。また軸受２８は、カム２９のＺ方向の最上面の上に搭載するように配置されている。またカム２９の上方にはサーボモータ２０が配置されている。サーボモータ２０はＺ方向に沿って延びる回転軸ＡＸを有している。サーボモータ２０は回転軸ＡＸ周りに回転可能となっている。

　カム２９は、サーボモータ２０の回転軸ＡＸに取り付けられている。このためカム２９は、サーボモータ２０の回転軸ＡＸ周りに回転可能となっている。カム２９は中心部と、中心部の外周に配置されるフランジ部とを有している。カム２９のＺ方向に関する最下面はＸＹ平面に沿う水平方向に拡がっている。これに対してカム２９のフランジ部のＺ方向に関する最上面は、たとえばＸ方向またはＹ方向に関する位置が異なればＺ方向に関する位置が異なる（たとえば低くなる）。このようにカム２９のフランジ部のＺ方向に関する最上面は、ＸＹ平面に対して傾斜した形状を有している。図１においては一例として、カムのフランジ部の最上面の形状が、たとえば図中のＸ方向負側においてＸ方向正側よりもＺ方向の位置が低くなるように示されている。

　このように最上面が傾斜した形状を有するカム２９が回転軸ＡＸ周りに回転すれば、カム２９のフランジ部の最上面上に搭載された軸受２８は、Ｚ方向に関して上下方向に運動する。最上面のフランジ部が傾斜形状を有するカム２９の回転により、軸受２８が搭載されるカム２９の最上面のＺ方向位置が変化するためである。

　カム２９の回転により軸受２８のＺ方向における位置が変化すれば、これに連結されたカム連結板２７および可動部２６のＺ方向における位置も変化する。可動部２６の下端には塗布針ホルダ固定部２５が取り付けられている。このためカム２９の回転による軸受２８などのＺ方向の位置の変化により、塗布針ホルダ固定部２５もＺ方向の位置が変化する。さらに塗布針ホルダ固定部２５に固定された塗布針ホルダ収納部２４、塗布針ホルダ２３および塗布針１も、Ｚ方向の位置が変化する。

　ところで可動部２６は、固定ピン３０Ａを介してバネ３４の一方端（Ｚ方向上側の端部）に固定される。また図２のＹ方向正側の領域に示すように、図１に示される部材の裏側に隠れるようにベース板３１が配置されている。このベース板３１は、固定ピン３０Ｂを介してバネ３４の上記一方端とは反対側の他方端（Ｚ方向下側の端部）に固定される。このような構成を有することにより、駆動時に可動部２６において軸受２８のガタによる振動が発生しない構成となっている。なお軸受２８に予圧を加えてガタを無くすことにより、バネ３４を設けない構成にすることも可能である。バネ３４の張力は、張力調整部３５により調整可能である。

　ベース板３１は、液体材料容器１１および図示されないリニアガイドを保持している。ベース板３１が保持するリニアガイドは、Ｚ方向に沿った可動部の移動を案内する。リニアガイド上には、上記延在方向以外の方向に沿った可動部の移動を制限するリニアガイド可動部３３が付属されている。塗布針ホルダ収納部２４および塗布針ホルダ固定部２５はリニアガイド可動部３３に固定され、リニアガイド可動部３３のＺ方向に沿った移動に連動するように移動可能となっている。また可動部２６にはリニアガイド３２が取り付けられている。リニアガイド３２は、塗布針ホルダ２３が固定された可動部２６を上下動可能に支持する。

　ベース板３１はＺ方向に長く延びる平板形状を有しているが、そのＺ方向下部には容器保持部３６を含んでいる。容器保持部３６は、液体材料容器１１を着脱可能に保持する。容器保持部３６は、例えば図示しない磁石を含み、当該磁石により生じる磁力によって液体材料容器１１を保持している。異なる観点から言えば、液体材料容器１１は、例えば図示しない磁石を含み、当該磁石と容器保持部３６の磁石との間に生じる磁力によって容器保持部３６に対し着脱可能に保持されている。

　塗布針１はＺ方向に関して上下方向に移動する。塗布針１、塗布針ホルダ２３、塗布針ホルダ収納部２４、塗布針ホルダ固定部２５および可動部２６は、リニアガイド可動部３３に接続されている。このため塗布針１などは、第１の鉛直駆動機構としてまとめることができる。第１の鉛直駆動機構を構成する各部材同士が接続されることにより、それらの各部材は鉛直方向すなわちＺ方向に沿って駆動することが可能である。これに対し、液体材料容器１１およびこれを保持する容器保持部３６、ならびに容器保持部３６を含むベース板３１は、上記の第１の鉛直駆動機構とは別の第２の鉛直駆動機構としてまとめることができる。第２の鉛直駆動機構を構成する各部材同士が接続されることにより、それらの各部材は鉛直方向に沿って駆動することが可能である。以上により、第１の鉛直駆動機構に接続された塗布針１を、第２の鉛直駆動機構に接続された液体材料容器１１に対してＺ方向に関して相対的に移動させることができる。

　なお以降においては、サーボモータ２０、塗布針ホルダ収納部２４、塗布針ホルダ固定部２５などを含む図１および図２に示す液体塗布ユニット全体の部分を液体塗布ユニット３９と記すこととする。

　＜液体材料塗布装置の構成＞
　図３は、図１に示した液体塗布ユニットを搭載した、本発明の実施の形態に係る液体材料塗布装置の全体構成を示す斜視図である。図３を参照して、本実施の形態の液体材料塗布装置１００は、観察光学系４０、ＣＣＤカメラ４１および液体塗布ユニット３９を主に備える。観察光学系４０は、照明用の光源、対物レンズなどを含み、対象物である基板５の表面状態や、液体塗布ユニット３９によって塗布された液体材料２１（図１参照）の状態を観察するために用いられる。観察光学系４０によって観察される画像は、ＣＣＤカメラ４１により電気信号に変換される。液体塗布ユニット３９は、たとえば、基板５上に形成された配線パターンに発生した断線部に導電性の液体材料２１（図１参照）を塗布して修正する。この場合、観察光学系４０、ＣＣＤカメラ４１、および液体塗布ユニット３９は、修正ヘッド部を構成する。また、液体材料塗布装置１００は、たとえば基板５の表面に液体材料２１（図１参照）を塗布して所定のパターンを形成してもよい。

　液体材料塗布装置１００は、さらに、上記修正ヘッド部を塗布対象の基板５に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸テーブル４４と、Ｚ軸テーブル４４を搭載して横方向（Ｘ軸方向）に当該Ｚ軸テーブル４４を移動させるＸ軸テーブル４５と、基板５を搭載して前後方向（Ｙ軸方向）に当該基板５を移動させる、対象物である基板５を保持する保持台としてのＹ軸テーブル４６と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ４７と、ＣＣＤカメラ４１によって撮影された画像などを表示するモニタ４９と、制御用コンピュータ４７に作業者からの指令を入力するための操作パネル４８とを備える。Ｚ軸テーブル４４、Ｘ軸テーブル４５およびＹ軸テーブル４６は、位置決め装置を構成する。

　なお、この装置構成は一例であり、たとえば、観察光学系４０などを搭載したＺ軸テーブル４４をＸ軸テーブルに搭載し、さらにＸ軸テーブルをＹ軸テーブルに搭載し、Ｚ軸テーブル４４をＸＹ方向に移動させるガントリー方式と呼ばれる構成でもよい。装置構成としては観察光学系４０などを搭載したＺ軸テーブル４４を、塗布対象の基板５に対してＸＹ方向に相対的に移動させることが可能な構成であればどのような構成でもよい。

　＜液体材料容器の構成＞
　図４は、実施の形態１に係る液体塗布装置に含まれる液体材料容器の部分の構成、および液体材料塗布方法を示す概略断面図である。なお図４においては、特に液体材料容器１１およびその内部に配置される塗布針１の部分を示しており、他の部分の図示を省略している。なお図４中の一部分の形状は、後述の各実施の形態の特徴的な形状を総括したものであるため、実際の本願発明の特徴的な形状とは異なる場合がある。

　図４の左側の図には、上述した塗布針１のＺ方向の位置の変化により塗布針１が上昇している状態が示されている。図４の右側の図には上述した塗布針１のＺ方向の位置の変化により塗布針１が下降している状態が示されている。図４を参照して、本実施の形態に係る液体材料容器１１の内部には、液体材料２１を貯留するための空間５０が形成されている。また液体材料容器１１の底部すなわちＺ方向の最下部には、当該空間５０の下方端部と外部とを接続している孔部１５ｈが形成されている。孔部１５ｈは、空間５０に塗布針１を挿通させるためのものである。したがって液体材料容器１１には孔部１５ｈと平面的に重なる位置にも他の孔部が形成され、孔部１５ｈと上記他の孔部とを貫通するように塗布針１が配置されることが好ましい。

　塗布針１は、保持部２と、先端部３とにより構成されている。塗布針１はＺ方向に沿って延びている。保持部２はそのＺ方向の下側に先端部３を保持する部材である。言い換えれば、先端部３は、対象物である基板などに液体材料２１を塗布する部分である。保持部２は、先端部３よりも付根側すなわちＺ方向の上側に配置される部分である。保持部２は先端部３よりも幅方向の寸法（太さ）が大きいことが好ましい。たとえば図４に示すように、塗布針１は液体材料容器１１において、先端部３の一部が空間５０内の液体材料２１中に浸漬された態様になっていてもよい。

　図５は、実施の形態１の第１例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。図５を参照して、液体材料容器１１のうちの孔部１５ｈの周囲には、液体材料２１の濡れ広がり抑制構造が配置されている。ここで孔部１５ｈとは、液体材料容器１１の内部の液体材料２１が収容される内壁面のうち、図４のようにＺ方向下部の、上部よりもＸ方向（Ｙ方向）の幅が狭くなっておりかつ鉛直方向（Ｚ方向）に沿って延びる領域をいうものとする。またここで孔部１５ｈの周囲とは、孔部１５ｈのＺ方向最下部と同じＺ方向の座標位置およびそれよりもさらにＺ方向下方の座標位置に配置される、液体材料容器１１の本体の領域をいうものとする。

　具体的には、図５においては当該濡れ広がり抑制構造は、上記の定義に基づく孔部１５ｈの周囲の位置に、凸形状部１６として形成されている。凸形状部１６は、液体材料容器１１が塗布針１の先端部３側に向けて凸形状を有している。なおここで先端部３側とは、先端部３の位置にかかわらず、Ｚ方向下側を意味する。このためたとえば塗布針１が後述するようにＺ方向上側に上昇し、凸形状部１６よりも先端部３がＺ方向上側に配置される場合であっても、凸形状部１６は塗布針１の先端部３側すなわちＺ方向下側に向けて突起するよう湾曲している。同様にここで保持部２側とは、その位置にかかわらずＺ方向上側を意味する。

　図５の実施の形態１の第１例では、孔部１５ｈに沿った断面において、凸形状部１６は、第１形状部１２と、第２形状部１３とを含んでいる。第１形状部１２は、孔部１５ｈの幅が塗布針１のＺ方向下側にてＺ方向上側よりも広くなるように、凸形状部１６の上記断面における表面である凸形状部表面が傾斜した形状を有する。すなわち第１形状部１２の内側の領域は孔部１５ｈである。第２形状部１３は、凸形状部１６の幅がＺ方向下側から上側に向けて広くなるように孔部１５ｈの外側にて凸形状部表面が傾斜した形状を有する。なおここで幅とは図４および図５のＸ方向における寸法を意味する。

　第１形状部１２は孔部１５ｈの最下部を形成する。このため第１形状部１２はＸ方向における孔部１５ｈ側すなわち液体材料容器１１の内側に配置される。また第２形状部１３はＸ方向における孔部１５ｈの反対側すなわち液体材料容器１１の外側に配置される。

　言い換えれば、図５において、第１形状部１２は液体材料容器１１のＸ方向の内側において、孔部１５ｈが下方に向けて広がる末広がり形状を形成する。第２形状部１３は液体材料容器１１のＸ方向の外側において、上方に向けて液体材料容器１１の部分の幅を広くするように傾斜した形状を有している。第１形状部１２と第２形状部１３とは、概ねＸ方向に並ぶように配置される。

　図５の示す断面において、第１形状部１２および第２形状部１３のうち少なくともいずれかは円弧状である。すなわち第１形状部１２および第２形状部１３のうち少なくともいずれかは、凸形状部表面が円弧状を有している。図５においては、第１形状部１２および第２形状部１３の双方が円弧状の凸形状部表面としての円弧状表面ＲＳである。すなわち第１形状部１２および第２形状部１３は、円弧状の曲線となっている。

　図６は、実施の形態１の第２例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。図６を参照して、実施の形態１の第２例における凸形状部１６は、第１形状部１２と第２形状部１３とを接続する接続部１４をさらに含んでいる。接続部１４は、特にＸ方向において第１形状部１２と第２形状部１３との間に配置されている。

　接続部１４は、ＸＹ平面に沿う平坦な表面であることが好ましい。すなわち図６の断面において接続部１４はＸ方向に沿う直線状の表面であることが好ましい。なお接続部１４が平坦な表面であっても、これと第１形状部１２および第２形状部１３とを含む全体が凸形状部１６と定義される。このため図６の示す断面では、凸形状部１６を形成する凸形状部表面のうち、第１形状部１２および第２形状部１３は円弧状表面ＲＳであるのに対し、接続部１４は直線状表面ＬＳである。

　図６におけるＸ方向は、塗布針１の平面視における中心からの径方向である。この径方向は、Ｘ方向およびＹ方向を含む、塗布針１の平面視における中心から放射状に延びる方向である。濡れ広がり抑制構造が凸形状部１６として形成される本実施の形態において、接続部１４は、塗布針１の中心からの平面視における径方向において５０μｍ以下の寸法を有することが好ましい。なお当該接続部１４は３０μｍ以下であることがより好ましく、その中でも２０μｍ以下であることがいっそう好ましい。

　図７は、実施の形態１の第３例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。図７を参照して、実施の形態１の第３例における凸形状部１６は、図７が示す断面において、第１形状部１２および第２形状部１３のうち少なくともいずれかは直線状である。すなわち第１形状部１２および第２形状部１３のうち少なくともいずれかは、凸形状部表面が直線状を有している。図７においては、第１形状部１２および第２形状部１３の双方が直線状の凸形状部表面としての直線状表面ＬＳである。すなわち第１形状部１２および第２形状部１３は図７に示す断面においてＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向のいずれに対しても傾斜した方向に延びる直線となっている。たとえば第１形状部１２および第２形状部１３は、Ｘ方向およびＺ方向に対しておよそ４５°傾斜した方向に延びる直線状表面ＬＳであってもよい。すなわち第１形状部１２および第２形状部１３はいわゆるＣ面形状であってもよい。

　なお図７の第３例においては、図６の第２例と同様に、第１形状部１２と第２形状部１３との間に直線状表面ＬＳとしての接続部１４が形成されている。

　本実施の形態において、第２形状部１３は第１形状部１２よりも、孔部１５ｈの延在方向すなわちＺ方向に対して急峻な斜面を有することが好ましい。すなわち図５、図６においては、第２形状部１３のたとえば円弧状表面ＲＳのうちあるＺ座標の１点における接線がＺ方向となす角度が、第１形状部１２の上記Ｚ座標と同一のＺ座標の１点における接線がＺ方向となす角度よりも小さいことが好ましい。また図７においては、第２形状部１３の直線状表面ＬＳがＺ方向となす角度が、第１形状部１２の直線状表面ＬＳがＺ方向となす角度よりも小さいことが好ましい。

　本実施の形態においては、第１形状部１２および第２形状部１３のうち少なくともいずれかが円弧状であればよい。また第１形状部１２および第２形状部のうち少なくともいずれかが直線状であればよい。したがって図示されないが、たとえば液体材料容器１１の第１形状部１２および第２形状部１３のうちいずれか一方が円弧状であり、いずれか他方が直線状であってもよい。

　＜使用される液体材料＞
　本実施の形態において使用される液体材料２１は、金属微粒子が含まれる導電性材料であることが好ましい。具体的には、液体材料２１はたとえばはんだペースト、銀ペースト、銅ペーストからなる群から選択されるいずれかであることが好ましい。液体材料２１の粘度は一般的に２０Ｐａ・ｓ以上８０Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。液体材料２１の平均比重は一般的に５以上９以下であることが好ましい。ただし液体材料２１の粘度よび平均比重は、その使用用途および印刷方法により多種多様である。

　＜液体材料塗布方法＞
　図４を再度参照して、左側の図に示すように、液体材料容器１１の空間５０内に、液体材料２１が保持されている。塗布針１の先端部３は、液体材料容器１１の空間５０内の液体材料２１に浸されている。なおこのとき、先端部３は、液体材料２１が塗布される対象物である基板５と対向するように配置されている。図４の左側の図は、基板５の表面に液体材料２１を供給する前段階としての、先端部３に液体材料２１が塗布される工程を示している。図４の左側の図は、塗布針１の先端部が液体材料容器１１の空間５０内に位置する第１状態に相当する。

　図４の右側の図を参照して、図４の左側の図の状態から塗布針１が下降され、基板５の塗布対象面（上側の主表面）にこれが接触される。これにより、それまで液体材料容器１１内に先端部３が収納されていた塗布針１が、図４の左側の図の状態に比べて下方に移動する。塗布針１の下降により先端部３は孔部１５ｈから液体材料容器１１の外側に突出し、基板５の塗布対象面上に接触する。これにより、先端部３に付着されていた液体材料２１が基板５の塗布対象面上に供給される。以上により、塗布針１を下降させて先端部３を塗布対象面に接触させる。図４の右側の図は、塗布針１の先端部が液体材料容器１１の外側に位置する第２状態に相当する。図４の右側の図が示す塗布工程が終われば、再度塗布針１は上昇し、図４の左側の図の状態となる。このようにして図４の左側の状態（第１状態）と右側の状態（第２状態）とを交互に繰り返すことが可能に構成されている。

　＜作用効果＞
　以下、図８および図９の比較例を参照しながら、本実施の形態の作用効果を説明する。図８は比較例における液体材料塗布方法を繰り返すことによる、塗布針の位置と液体材料容器の状態の変化とを示す概略断面図である。図９は比較例における液体材料塗布方法を繰り返すことによる液体材料容器の状態の変化を示す概略断面図である。図８を参照して、図中矢印で示されるように時刻が経過される順に、第１図～第５図とする。このとき、第１図、第３図および第５図は図４の上記第１状態に対応し、第２図および第４図は図４の上記第２状態に対応する。図４の第１状態および第２状態を繰り返すことにより、図８の第５図に示すように、塗布針１の先端部３に付着した液体材料２１が、孔部１５ｈの真下および、孔部１５ｈの周囲の液体材料容器１１の表面に付着する。図９を参照して、このように孔部１５ｈの真下および液体材料容器１１の表面に液体材料２１が付着した状態で、さらに図４の第１状態および第２状態が繰り返される。これにより、図９中の矢印で示すように時刻が経過されるにつれ、液体材料容器１１の下部に液体材料２１が濡れ広がる。このように液体材料２１が濡れ広がるのは表面張力の作用によるものである。すなわち表面張力の作用により、塗布針１が上昇して液体材料容器１１内に戻る際に、孔部１５ｈの最下部からはみ出した液体材料２１が孔部１５ｈの周囲に滞留し、濡れ広がる。

　このように液体材料容器１１の孔部１５ｈの周囲に液体材料が濡れ広がることで液溜まりが発生する。この液溜まりにより、塗布針１の先端に付着する液体材料２１の量が変化する。その結果、塗布対象物への液体材料２１の塗布量が変化する場合がある。

　孔部１５ｈの周囲に液体材料２１が濡れ広がる原因として、比較例の液体材料容器１１が最下部にエッジ部ＥＧを有することが挙げられる。エッジ部ＥＧは、液体材料容器１１がその最下部において他の領域よりも平面視における塗布針１の中心側すなわち内側に寄るように湾曲した形状を構成する領域である。エッジ部ＥＧは、その湾曲した形状部内に狭い孔部１５ｈを形成する。エッジ部ＥＧが形成されれば、その部分において液体材料２１が集中して滞留する傾向が現れる。エッジ部ＥＧに隣接する孔部１５ｈは空間５０内の孔部１５ｈ以外の領域よりも幅が狭くなるためである。液体材料２１が孔部１５ｈに集中して滞留すれば、そこから漏出した液体材料２１は周囲の液体材料容器１１の表面部分に濡れ広がりやすくなると考えられる。

　その他、孔部１５ｈの周囲に液体材料２１が濡れ広がる原因として、液体材料２１の粘度および比重が大きいことが考えられる。液体材料２１の粘度および比重が大きければ、高速で複数回塗布を繰り返すことにより、先端部３の突出とともに孔部１５ｈから漏出した液体材料２１が液体材料容器１１の空間５０側に戻りきらなくなる。それにより、徐々に孔部１５ｈの周囲に液体材料２１が濡れ広がっていく。また孔部１５ｈの周囲の表面性状のばらつきにより、孔部１５ｈへの液体材料２１の濡れ広がり具合が不均一となる。このことも液体材料２１の塗布量がばらつく原因となる。

　そこで本実施の形態の液体塗布ユニット３９においては、液体材料容器１１のうち孔部１５ｈの周囲には、液体材料２１の濡れ広がり抑制構造が配置される。これにより、液体材料２１の液体材料容器１１の外側への濡れ広がりが抑制されれば、塗布対象物への液体材料２１の塗布量のばらつきが抑制される。その結果、塗布量が安定することにより、高粘度の液体材料を長時間安定して塗布することができる。

　本実施の形態の液体塗布ユニット３９においては、孔部１５ｈに沿った断面において、凸形状部１６は、孔部１５ｈの幅が先端部３側にて保持部２側よりも広くなるように凸形状部１６の表面である凸形状部表面が傾斜した形状を有する第１形状部１２を含む。凸形状部１６は、その幅が先端部３側から保持部２側に向けて広くなるように孔部１５ｈの外側にて凸形状部表面が傾斜した形状を有する第２形状部１３を含む。第１形状部１２により、孔部１５ｈはその最下部において下方に向けて幅が広がる部分を有する。この幅が広がる部分は、塗布針１の下降時に孔部１５ｈから突出した液体材料２１が、その後の塗布針１の上昇時に孔部１５ｈの内部側に戻りやすい構造である。第１形状部１２は上記エッジ部ＥＧの孔部１５ｈ側の表面部分とは逆に、孔部１５ｈの幅を広げる形状であるために、孔部１５ｈにおける液体材料２１の集中および滞留を抑制するためである。このため孔部１５ｈの外側にいったん出た液体材料２１を液体材料容器１１内に戻すことにより、その液体材料容器１１外での濡れ広がりが抑制できる。またたとえ液体材料容器１１外に突出した液体材料２１が濡れ広がりにより第２形状部１３に達したとしても、第２形状部１３を濡れ広がるためには液体材料２１は第２形状部１３を這い上がる必要がある。第２形状部１３に達した液体材料２１は必然的に重力の作用を受けるために第２形状部１３を這い上がることは困難である。このため第２形状部１３を有することにより、液体材料２１の液体材料容器１１の外部への濡れ広がりが抑制される。

　すなわち本実施の形態によれば、エッジ部ＥＧを有さず第１形状部１２などを有する形状としての濡れ広がり抑制構造を有する。これにより、塗布針１の先端部３とともに液体材料容器１１の孔部１５ｈから漏出した液体材料２１が、塗布針１の先端部３とともに液体材料容器１１内にスムーズに戻ることができる。したがって比較例のように液体材料容器１１の最下部に液体材料２１が滞留する現象が抑制される。これにより塗布針１の塗布量のばらつきを低減できる。なお本実施の形態による塗布針１の塗布量のばらつき低減は、撥液コーティングなどの表面処理による塗布量のばらつき低減に比べて製造および品質の面において優位である。本実施の形態においては、撥液コーティングなどの表面処理における化学的な処理工程がなく、液体材料２１が孔部１５ｈから脱落する可能性が排除できるためである。

　本実施の形態の液体塗布ユニット３９においては、凸形状部１６は、第１形状部１２と第２形状部１３とを接属する接続部１４をさらに含んでもよい。接続部１４は、孔部１５ｈに沿った断面において、第１形状部１２と第２形状部１３との加工時に平坦部として残存する部分である。加工条件等により接続部１４が多少形成されても、上記の第１形状部１２および第２形状部１３とを有する凸形状部１６による上記の本実施の形態の作用効果を奏することに対する支障はない。ただし上記作用効果を維持する観点から、上記接続部１４は、塗布針１の中心からの径方向において５０μｍ以下の寸法を有することが好ましい。

　本実施の形態の液体塗布ユニット３９においては、第１形状部１２および第２形状部１３のうち少なくともいずれかは円弧状である。たとえば第１形状部１２を円弧状すなわちＲ形状とすることで、塗布針１の先端部３とともに液体材料容器１１の孔部１５ｈから漏出した液体材料２１が、塗布針１の先端部３とともに液体材料容器１１内にスムーズに戻ることができる。その結果、液体材料２１は円弧状表面ＲＳとしての第１形状部１２上で、表面張力と重力とが釣り合う一定の位置で保持される。したがって比較例のように液体材料容器１１の最下部に液体材料２１が滞留する現象が抑制される。第２形状部１３が円弧状である場合にも、第２形状部１３に達した液体材料２１を速やかに孔部１５ｈ側に引き戻す作用を高めることができる。ただし第１形状部１２および第２形状部１３の少なくともいずれかが直線状であっても、上記と同様に液体材料２１を液体材料容器１１の内部側に引き戻す作用を奏することができる。

　本実施の形態の液体塗布ユニット３９においては、第２形状部１３は第１形状部１２よりも孔部１５ｈの延在方向に対して急峻な斜面を有することが好ましい。このようにすれば、漏出した液体材料２１の第２形状部１３上での這い上がりをより確実に抑制することができる。このため第２形状部１３に達した液体材料２１を液体材料容器１１の内部側に引き戻す効果を高めることができる。

　（実施の形態２）
　図１０は、実施の形態２の第１例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。図１１は、図１０で示す領域をＺ方向下側から平面視した態様を示す概略拡大平面図である。図１０および図１１を参照して、本実施の形態の第１例に係る液体材料容器１１のうちの孔部１５ｈの周囲には、液体材料２１の濡れ広がり抑制構造が配置されている。具体的には、図１０および図１１においては当該濡れ広がり抑制構造は環状溝１７である。環状溝１７は、塗布針１の中心から平面視における径方向に間隔をあけて複数拡がっている。当該環状溝１７は、Ｚ方向について凹んだ凹部と突起した凸部とが複数、上記径方向に交互に並ぶことにより、当該凹部と凸部とが径方向に間隔をあけて複数拡がった構成を形成している。このように、本実施の形態においては、液体材料容器１１の孔部１５ｈを挟む領域の表面が、凹部と凸部とが複数ずつ並ぶ溝状表面ＧＳを形成している。溝状表面ＧＳが平面視にて同心円状に拡がることにより、環状溝１７を構成している。

　図１０および図１１においては、溝状表面ＧＳは、図１０が示す孔部１５ｈに沿う断面におけるＸ方向に沿う表面に形成されている。当該表面はＸ方向の中央部に形成され、これを挟むようにそのＸ方向左側および右側には直線状表面ＬＳが形成されている。直線状表面ＬＳは、図１０が示す孔部１５ｈに沿った断面において、環状溝１７の孔部１５ｈ側すなわち平面視でのＸ方向内側に形成されている。直線状表面ＬＳは、孔部１５ｈの幅がＺ方向下側にて上側よりも広くなるように、液体材料容器１１の表面が傾斜した形状を有する第３形状部１８である。

　図１０においては、直線状表面ＬＳは、上記の第３形状部１８のみならず、第４形状部１９としても形成されている。第４形状部１９としての直線状表面ＬＳは、図１０が示す孔部１５ｈに沿った断面において、環状溝１７の孔部１５ｈと反対側すなわち平面視でのＸ方向外側に形成されている。第４形状部１９としての直線状表面ＬＳは、液体材料容器１１の本体部分の幅がＺ方向下側から上側に向けて広くなるように、孔部１５ｈの外側にて傾斜した形状を有している。

　したがって図１０においては、第３形状部１８が実施の形態１の第１形状部１２と同様の態様を有し、第４形状部１９が実施の形態１の第２形状部１３と同様の態様を有している。すなわち液体材料容器１１の本体部分があたかも実施の形態１の凸形状部１６のような形状を有している。このように本実施の形態においても実施の形態１の凸形状部１６と同様の形状を有していてもよい。ただし図１０においては、実施の形態１の接続部１４に相当する溝状表面ＧＳが形成された環状溝１７の領域の、塗布針１の中心からの径方向における寸法が５０μｍを超えてもよい。また溝状表面ＧＳの凹部と凸部とのＺ方向についての高さの差は、５０μｍ以上であることが好ましく、１００μｍ以上であることがより好ましい。なお当該高さの差は、２００μｍ以上であることがいっそう好ましい。ただし凹部と凸部との高さの差を含む、溝状表面ＧＳの寸法および形状については後に理論的に説明する。

　上記の図１０における直線状表面ＬＳが形成された領域には、環状溝１７の孔部１５ｈ側および孔部１５ｈと反対側との双方に、たとえばＣ面形状を有するようにＸ方向およびＺ方向に対して傾斜した直線状表面ＬＳが形成されている。しかし本実施の形態においては、以下の第２例のように、少なくとも孔部１５ｈ側の第３形状部１８としての直線状表面ＬＳのみが形成される構成であってもよい。また本実施の形態においては、以下の第３例のように、第３形状部１８および第４形状部１９としての直線状表面ＬＳのいずれも有さず、溝状表面ＧＳを有する環状溝１７のみが、平坦な最下面に形成された構成であってもよい。図１２は、実施の形態２の第２例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。図１３は、実施の形態２の第３例に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。図１２を参照して、本実施の形態の第２例は、第１例と比較して、第４形状部１９としての直線状表面ＬＳであるたとえばＣ面形状の部分が形成されていない点において異なっている。図１３を参照して、本実施の形態の第３例は、第２例と比較して、第３形状部１８としての直線状表面ＬＳであるたとえばＣ面形状の部分が形成されていない点において異なっている。

　＜作用効果＞
　本実施の形態の液体塗布ユニット３９においては、濡れ広がり抑制構造は、塗布針１の中心から径方向に間隔をあけて複数拡がる環状溝１７である。このような構成を有することにより、孔部１５ｈの周囲の液体材料容器１１の最下部の表面、すなわち環状溝１７が形成される溝状表面ＧＳは、液体材料２１との接触角が大きくなる。このため溝状表面ＧＳの撥液性が向上する。したがってたとえば図８および図９の比較例のように液体材料容器１１の孔部１５ｈから漏出した液体材料２１が液体材料容器１１の表面に濡れ広がる不具合を抑制できる。これにより本実施の形態も、実施の形態１と同様に、塗布対象物への液体材料２１の塗布量のばらつきが抑制される。その結果、塗布量が安定することにより、高粘度の液体材料を長時間安定して塗布することができる。

　本実施の形態の液体塗布ユニット３９においては、孔部１５ｈに沿った断面において、環状溝１７の孔部１５ｈ側に、孔部１５ｈの幅が先端部３側にて保持部２側よりも広くなるように液体材料容器１１の表面が傾斜した形状を有する第３形状部１８を含む。孔部１５ｈに沿ったたとえば図１０に示す断面において、当該第３形状部１８は直線状である。このような第３形状部１８としての直線状表面ＬＳは、周囲の他の領域よりも液体材料２１の濡れ性が高い。言い換えれば第３形状部１８は、周囲の他の領域よりも液体材料２１が濡れる接触角が小さい。このため孔部１５ｈから漏出しようとする液体材料２１は、孔部１５ｈの最下部に形成される第３形状部１８に保持されるように誘導される。これにより、環状溝１７の部分における撥液性のばらつきと、塗布針１および孔部１５ｈの間の軸心のずれとにより、液体材料２１が液体材料容器１１の最下部の表面上の一部の位置に偏るように保持される現象を抑制できる。これにより、塗布対象物への液体材料２１の塗布量のばらつきが抑制できる。

　また本実施の形態においても、実施の形態１と同様に、撥液コーティングなどの表面処理による塗布量のばらつき低減に比べて製造および品質の面において優位である。

　＜理論＞
　ところで、本実施の形態における環状溝１７の、溝状表面ＧＳの凹凸部で発揮される撥液性のパターンは、Ｃａｓｓｉｅ－Ｂａｘｔｅｒ理論のパターンとＷｅｎｚｅｌ理論のパターンとの２種類を有する。まずＣａｓｓｉｅ－Ｂａｘｔｅｒ理論のパターンでは、液体材料２１が溝状表面ＧＳの凹部の底まで到達できない。このため液体材料２１の液滴は、凸部と、凹部内の空気との双方に接触する複合接触状態となる。これにより、疎液性が最も高い空気に液体材料２１が接触する面積が増加するため、高い撥液性が得られる。一方Ｗｅｎｚｅｌ理論のパターンでは、液体材料２１が溝状表面ＧＳの凹部の底まで入り込む。これにより、液体材料２１の液滴は、上記のような複合接触状態ではなく、液滴と基板５（図１参照）の表面とに接触した状態となる。これにより、液滴と基板５の表面とに液体材料２１が接触する面積が増加する。それに伴い、液滴の基板５の表面との界面における界面自由エネルギーが増加し、基板５の濡れ性が強調される。したがって、液体材料容器１１が撥液性の高い材料により形成されることにより、液体材料容器１１の撥液性をさらに高めることができる。具体的には、本実施の形態における液体材料容器１１は、樹脂またはステンレス鋼などの撥液性の高い材料により形成されることが好ましい。なお上記の液体材料容器１１の好ましい材料は実施の形態１においても同様である。

　Ｃａｓｓｉｅ－Ｂａｘｔｅｒ理論のパターンでは、接触角が大きくなり撥液性が向上するが、液滴と基板５の表面との接触面積が小さいため、液滴と基板５との界面における吸着力が小さくなる。したがって、Ｃａｓｓｉｅ－Ｂａｘｔｅｒ理論のパターンでは、塗布針１の先端部３の表面における液体材料２１の吸着力が弱くなる。これにより、孔部１５ｈから塗布針１が突出した際の慣性力により、液体材料２１の基板５への塗布量が極端に増加したり、大きな液溜まりが形成されたりする可能性がある。

　一方、Ｗｅｎｚｅｌ理論のパターンでは、液滴と基板５の表面との接触面積が増加し、液滴と基板５との界面における吸着力が大きくなる。このため、塗布針１が孔部１５ｈから突出した際の基板５への塗布量を安定させること、および液溜まりの形成を抑制することに対して有効である。したがって、液体材料２１の特性を考慮し、Ｗｅｎｚｅｌ理論のパターンが発現するよう、溝形、溝幅、溝深さなどのパラメータを設計することが好ましい。

　＜変形例＞
　図１１に示すように、本実施の形態においては、溝状表面ＧＳは同心円状を有する。すなわち液体材料２１が液体材料容器１１の表面上を濡れ広がる方向とたとえば直交など交差する方向（円周方向）に延びるように、溝状表面ＧＳの凹部および凸部が形成されている。このようにすれば、上記の撥液性を向上させる効果に加え、当該凹部および凸部の断面におけるエッジ部（凹部の入口部の縁、凸部の最上部の縁など）において液体材料容器１１の表面の液体材料２１の接触角が大きくなるいわゆるピン止め効果が得られる。これにより、当該エッジ部において、さらに撥液性が向上する。

　また図１１においては、孔部１５ｈの周囲の円周方向における全周部分に溝状表面ＧＳ（環状溝１７）が形成されている。しかしこのような態様に限らず、たとえば図示されないが、孔部１５ｈの周囲の円周方向における一部のみに溝状表面ＧＳ（環状溝１７）が形成されてもよい。

　（実施の形態３）
　図１４は、実施の形態３に係る、図４中の点線で囲まれた領域Ａの概略拡大断面図である。図１４を参照して、本実施の形態に係る液体材料容器１１のうちの孔部１５ｈの周囲には、液体材料２１の濡れ広がり抑制構造が配置されている。具体的には、図１４においては当該濡れ広がり抑制構造は、撥液性を有する撥液被膜８として形成されている。具体的には、撥液被膜８は液体材料２１に対して高い撥液性を有する薄膜である。たとえば液体材料２１が導電性材料である場合には、液体材料２１中に、フラックスとして、一般的にロジンと呼ばれる有機系の物質が含められる。このため撥液被膜８としては撥油性の高い薄膜が形成されることが好ましい。

　撥液被膜８は、液体材料容器１１がたとえば実施の形態１と同様に凸形状部１６を有する場合、その凸形状部１６の最下部の、孔部１５ｈの周囲の表面上に少なくとも形成されることが好ましい。しかしそのように局所的に撥液被膜８を形成する工程が複雑である場合、またはそのように局所的に形成される撥液被膜８の厚みなどの不均一性が懸念される場合には、上記領域を含む液体材料容器１１の表面の全体に撥液被膜８が形成されてもよい。

　本実施の形態によれば、実施の形態１，２と同様に、撥液被膜８による液体材料２１の濡れ広がりを抑制する効果が得られる。

　以上に述べた各実施の形態（に含まれる各例）に記載した特徴を、技術的に矛盾のない範囲で適宜組み合わせるように適用してもよい。

　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

　１　塗布針、２　保持部、３　先端部、５　基板、８　撥液被膜、１１　液体材料容器、１２　第１形状部、１３　第２形状部、１５ｈ　孔部、１６　凸形状部、１７　環状溝、２０　サーボモータ、２１　液体材料、２３　塗布針ホルダ、２４　塗布針ホルダ収納部、２５　塗布針ホルダ固定部、２６　可動部、２７　カム連結板、２８　軸受、２９　カム、３０Ａ，３０Ｂ　固定ピン、３１　ベース板、３２　リニアガイド、３３　リニアモータ可動部、３４　バネ、３６　容器保持部、３９　液体塗布ユニット、４０　観察光学系、４１　ＣＣＤカメラ、４４　Ｚ軸テーブル、４５　Ｘ軸テーブル、４６　Ｙ軸テーブル、４７　制御用コンピュータ、４８　操作パネル、４９　モニタ、５０　空間、１００　液体塗布装置、ＡＸ　回転軸、ＥＧ　エッジ部、ＧＳ　溝状表面、ＬＳ　直線状表面、ＲＳ　円弧状表面。

Claims (11)

1. 　塗布針を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための液体塗布ユニットであって、
   　前記塗布針と、
   　前記液体材料を貯留する液体材料容器とを備え、
   　前記液体材料容器には、前記液体材料を貯留するための空間と、前記空間に前記塗布針を挿通させるための孔部とが形成されており、
   　前記液体材料容器のうち前記孔部の周囲には、前記液体材料の濡れ広がり抑制構造が配置される、液体塗布ユニット。
2. 　前記塗布針は、前記対象物に前記液体材料を塗布する先端部と、前記先端部よりも付根側に配置される保持部とを含み、
   　前記濡れ広がり抑制構造は、前記液体材料容器が前記塗布針の先端部側に向けて凸形状を有する凸形状部であり、
   　前記孔部に沿った断面において、前記凸形状部は、前記孔部の幅が前記先端部側にて前記保持部側よりも広くなるように前記凸形状部の表面である凸形状部表面が傾斜した形状を有する第１形状部と、前記凸形状部の幅が前記先端部側から前記保持部側に向けて広くなるように前記孔部の外側にて前記凸形状部表面が傾斜した形状を有する第２形状部とを含む、請求項１に記載の液体塗布ユニット。
3. 　前記凸形状部は、前記第１形状部と前記第２形状部とを接続する接続部をさらに含む、請求項２に記載の液体塗布ユニット。
4. 　前記接続部は、前記塗布針の中心からの径方向において５０μｍ以下の寸法を有する、請求項３に記載の液体塗布ユニット。
5. 　前記第１形状部および前記第２形状部のうち少なくともいずれかは円弧状である、請求項２～４のいずれか１項に記載の液体塗布ユニット。
6. 　前記第１形状部および前記第２形状部のうち少なくともいずれかは直線状である、請求項２～４のいずれか１項に記載の液体塗布ユニット。
7. 　前記第２形状部は前記第１形状部よりも前記孔部の延在方向に対して急峻な斜面を有する、請求項２～６のいずれか１項に記載の液体塗布ユニット。
8. 　前記濡れ広がり抑制構造は、前記塗布針の中心から径方向に間隔をあけて複数拡がる環状溝である、請求項１に記載の液体塗布ユニット。
9. 　前記塗布針は、前記対象物に前記液体材料を塗布する先端部と、前記先端部よりも付根側に配置される保持部とを含み、
   　前記孔部に沿った断面において、前記環状溝の前記孔部側に、前記孔部の幅が前記先端部側にて前記保持部側よりも広くなるように前記液体材料容器の表面が傾斜した形状を有する第３形状部を含み、
   　前記孔部に沿った断面において、前記第３形状部は直線状である、請求項８に記載の液体塗布ユニット。
10. 　前記濡れ広がり抑制構造は、撥液性を有する撥液被膜として形成されている、請求項１に記載の液体塗布ユニット。
11. 　請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体塗布ユニットと、
    　前記対象物を保持する保持台とを備える、液体塗布装置。

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