JP6971207B2 - 液体材料塗布機構および液体材料塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は液体材料塗布機構および液体材料塗布装置に関し、特に、塗布針を用いて対象物に液体材料を塗布するための液体材料塗布機構、および当該液体材料塗布機構が搭載された液体材料塗布装置に関するものである。

ＲＦＩＤ（Radio Frequency IDentifier）タグなどの微細な回路を印刷すなわち塗布により形成する、いわゆるプリンテッドエレクトロニクス技術が急速に発展してきている。微細な配線パターンを形成する方式としては、印刷方式またはインクジェット方式などが一般的である。しかしこれらに加えて塗布針を用いた方式も一般的である。塗布針を用いた方式は、広範囲の粘度の材料を用いて微細なパターンの塗布が可能であるためである。塗布針を用いて微細なパターンを形成する方法は、たとえば特開２００７−２６８３５３号公報（特許文献１）に開示されている。特開２００７−２６８３５３号公報の開示技術によれば、広範囲な粘度の材料を用いて微細な塗布を行なうことができる。

特開２００７−２６８３５３号公報

たとえば基板上の微細な配線パターンの形成、および基板上の微細な配線パターンの修正には、金属粉を分散させた導電性ペーストが用いられる。そのような導電性ペーストの中には、高粘度でチキソ性を有するものがある。このようなチキソ性を有する導電性ペーストのような材料を以降においては液体材料と記載する。

上記の塗布針を用いて液体材料を基板上に塗布する場合、以下の２点の課題が存在する。１点目は、液体材料が収納される容器内において、塗布針に隣接する領域の液体材料のみが塗布に用いられ、他の領域の液体材料が用いられない可能性がある。２点目は、作業者間で容器内への液体材料の補給後の態様にばらつきが生じる可能性がある。このような課題が生じれば、１回の液体材料の補給により可能な塗布回数がばらつき、結果的に液体材料の利用効率の低下が生じ得る。

本発明は以上の課題に鑑みなされたものである。その目的は、たとえ高粘度でチキソ性がある液体材料を配線パターン用に塗布する場合においても、液体材料の利用効率が良い液体材料塗布機構、および当該液体材料塗布機構を搭載する液体材料塗布装置を提供することである。

本発明の液体材料塗布機構は、内容器と、外容器と、塗布針とを備える。内容器は、塗布される液体材料を収納可能である。外容器は、内容器を着脱可能に収納する。塗布針は、内容器内の液体材料を、外容器と対向するように配置された対象物の表面に塗布可能である。

本発明によれば、内容器と外容器との２つの容器を有する。これにより、内容器を外容器から取り出して液体材料を内容器へ容易にかつ正確な量だけ補給できる。このため液体材料の利用効率が良い液体材料塗布機構、およびそれを搭載する液体材料塗布装置を提供できる。

本発明の実施の形態１に係る液体材料塗布機構をＹ方向負側から見た正面図である。 本発明の実施の形態１に係る液体材料塗布機構をＸ方向正側から見た側面図である。 図１に示した液体材料塗布機構を搭載した、本発明の実施の形態に係る液体材料塗布装置の全体構成を示す斜視図である。 本発明の実施の形態１に係る液体材料容器の構成を、塗布針の配置態様と併せて示す概略断面図である。 図４の液体材料容器を構成する外容器１２の構成をより詳細に示す概略断面図である。 図４の液体材料容器を構成する内容器１３の構成をより詳細に示す概略断面図である。 図４の液体材料容器を構成する蓋１４の構成をより詳細に示す概略断面図である。 本発明の実施の形態に係る液体材料塗布方法を示す概略断面図である。 本発明の実施の形態の液体材料容器に含まれる内容器に充填された液体材料をスキージングするための移動部材を含む治具の構成の第１例を示す概略断面図である。 図９の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第１工程を示す概略平面図である。 図９の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第２工程を示す概略平面図である。 本発明の実施の形態の液体材料容器に含まれる内容器に充填された液体材料をスキージングするための移動部材を含む治具の構成の第２例を示す概略断面図である。 図１２の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第１工程を示す概略平面図である。 図１２の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第２工程を示す概略平面図である。 比較例における液体材料容器内に液体材料が補給された態様の第１例を示す概略断面図である。 比較例における図１５の液体材料の使用後の態様の一例を示す概略断面図である。 比較例における液体材料容器内に液体材料が補給された状態の第２例を示す概略断面図である。 比較例における液体材料容器内に液体材料が補給された状態の第３例を示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係る液体材料容器の構成を、塗布針の配置態様と併せて示す概略断面図である。 図１９の液体材料容器を構成する内容器１３の構成をより詳細に示す概略断面図である。 図１９の液体材料容器を構成する蓋１４の構成をより詳細に示す概略断面図である。

以下、本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。
実施の形態１．
＜液体材料塗布機構の構成＞
図１は、本発明の実施の形態１に係る液体材料塗布機構をＹ方向負側から見た正面図である。図２は、本発明の実施の形態１に係る液体材料塗布機構、すなわち図１に示す液体材料塗布機構をＸ方向正側から見た側面図である。なお以下においては説明の便宜のため、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向が導入されている。図１および図２を参照して、本実施の形態の液体材料塗布機構は、塗布針１を用いて対象物としての基板などの表面に液体材料を塗布するためのものである。当該液体材料塗布機構は、塗布針１と、液体材料容器１１と、サーボモータ２０とを主に備えている。ただし当該液体材料塗布機構は上記以外にも多数の部材を備えている。

液体材料容器１１は、液体材料を内部に収納保持する部材である。塗布針１は、液体材料容器１１内の液体材料を対象物上に供給するための部材である。塗布針１はＺ方向に沿って延びる細長い部材である。塗布針１のＺ方向最下部は角部、曲面部または平坦部など任意の形状とされる。当該塗布針１の先端部には、先端に向かって細くなる（すなわち、Ｚ方向下側に進み先端に近接するにつれて軸線に垂直な断面の面積が小さくなる）テーパ部が形成される。

本実施の形態における液体材料塗布機構においては、塗布針１は、液体材料容器１１からたとえば対象物の表面上に直接液体材料を塗布する。このことについて、以下に説明する。

液体材料塗布機構は、上記の液体材料容器１１の他に、塗布針ホルダ２３と、塗布針ホルダ収納部２４と、塗布針ホルダ固定部２５とを含んでいる。塗布針ホルダ固定部２５の下端には、塗布針ホルダ収納部２４が固定されている。塗布針ホルダ収納部２４の下端には凹部(図示せず)が形成されている。塗布針１の上端は、塗布針ホルダ２３の下端の中心に垂直に固定されている。塗布針ホルダ２３の上部には、凸部(図示せず)が形成されている。塗布針ホルダ２３の凸部が塗布針ホルダ収納部２４の凹部に挿嵌されることで、塗布針ホルダ２３は塗布針ホルダ収納部２４に対して位置決めされる。塗布針ホルダ２３はネジによって塗布針ホルダ収納部２４に固定される。

塗布針ホルダ固定部２５は、可動部２６の下端に取り付けられている。可動部２６は、カム連結板２７を介して軸受２８に連結されている。また軸受２８は、カム２９のＺ方向の最上面の上に搭載するように配置されている。またカム２９の上方にはサーボモータ２０が配置されている。サーボモータ２０はＺ方向に沿って延びる回転軸ＡＸを有している。サーボモータ２０は回転軸ＡＸ周りに回転可能となっている。

カム２９は、サーボモータ２０の回転軸ＡＸに取り付けられている。このためカム２９は、サーボモータ２０の回転軸ＡＸ周りに回転可能となっている。カム２９は中心部と、中心部の外周に配置されるフランジ部とを有している。カム２９のＺ方向に関する最下面はＸＹ平面に沿う水平方向に拡がっている。これに対してカム２９のフランジ部のＺ方向に関する最上面は、たとえばＸ方向またはＹ方向に関する位置が異なればＺ方向に関する位置が異なる（たとえば低くなる）。このようにカム２９のフランジ部のＺ方向に関する最上面は、ＸＹ平面に対して傾斜した形状を有している。図１においては一例として、カムのフランジ部の最上面の形状が、たとえば図中のＸ方向負側においてＸ方向正側よりもＺ方向の位置が低くなるように示されている。

このように最上面が傾斜した形状を有するカム２９が回転軸ＡＸ周りに回転すれば、カム２９のフランジ部の最上面上に搭載された軸受２８は、Ｚ方向に関して上下方向に運動する。最上面のフランジ部が傾斜形状を有するカム２９の回転により、軸受２８が搭載されるカム２９の最上面のＺ方向位置が変化するためである。

カム２９の回転により軸受２８のＺ方向における位置が変化すれば、これに連結されたカム連結板２７および可動部２６のＺ方向における位置も変化する。可動部２６の下端には塗布針ホルダ固定部２５が取り付けられている。このためカム２９の回転による軸受２８などのＺ方向の位置の変化により、塗布針ホルダ固定部２５もＺ方向の位置が変化する。さらに塗布針ホルダ固定部２５に固定された塗布針ホルダ収納部２４、塗布針ホルダ２３および塗布針１も、Ｚ方向の位置が変化する。

ところで可動部２６は、固定ピン３０Ａを介してバネ３４の一方端（Ｚ方向上側の端部）に固定される。また図２のＹ方向正側の領域に示すように、図１に示される部材の裏側に隠れるようにベース板３１が配置されている。このベース板３１は、固定ピン３０Ｂを介してバネ３４の上記一方端とは反対側の他方端（Ｚ方向下側の端部）に固定される。このような構成を有することにより、駆動時に可動部２６において軸受２８のガタによる振動が発生しない構成となっている。なお軸受２８に予圧を加えてガタを無くすことにより、バネ３４を設けない構成にすることも可能である。バネ３４の張力は、張力調整部３５により調整可能である。

ベース板３１は、液体材料容器１１および図示されないリニアガイドを保持している。ベース板３１が保持するリニアガイドは、Ｚ方向に沿った可動部の移動を案内する。リニアガイド上には、上記延在方向以外の方向に沿った可動部の移動を制限するリニアガイド可動部３３が付属されている。塗布針ホルダ収納部２４および塗布針ホルダ固定部２５はリニアガイド可動部３３に固定され、リニアガイド可動部３３のＺ方向に沿った移動に連動するように移動可能となっている。また可動部２６にはリニアガイド３２が取り付けられている。リニアガイド３２は、塗布針ホルダ２３が固定された可動部２６を上下動可能に支持する。

ベース板３１はＺ方向に長く延びる平板形状を有しているが、そのＺ方向下部には容器保持部３６を含んでいる。容器保持部３６は、液体材料容器１１を着脱可能に保持する。容器保持部３６は、例えば図示しない磁石を含み、当該磁石により生じる磁力によって液体材料容器１１を保持している。異なる観点から言えば、液体材料容器１１は、例えば図示しない磁石を含み、当該磁石と容器保持部３６の磁石との間に生じる磁力によって容器保持部３６に対し着脱可能に保持されている。

塗布針１はＺ方向に関して上下方向に移動する。塗布針１、塗布針ホルダ２３、塗布針ホルダ収納部２４、塗布針ホルダ固定部２５および可動部２６は、リニアガイド可動部３３に接続されている。このため塗布針１などは、第１の鉛直駆動機構としてまとめることができる。第１の鉛直駆動機構を構成する各部材同士が接続されることにより、それらの各部材は鉛直方向すなわちＺ方向に沿って駆動することが可能である。これに対し、液体材料容器１１およびこれを保持する容器保持部３６、ならびに容器保持部３６を含むベース板３１は、上記の第１の鉛直駆動機構とは別の第２の鉛直駆動機構としてまとめることができる。第２の鉛直駆動機構を構成する各部材同士が接続されることにより、それらの各部材は鉛直方向に沿って駆動することが可能である。以上により、第１の鉛直駆動機構に接続された塗布針１を、第２の鉛直駆動機構に接続された液体材料容器１１に対してＺ方向に関して相対的に移動させることができる。

なお以降においては、サーボモータ２０、塗布針ホルダ収納部２４、塗布針ホルダ固定部２５などを含む図１および図２に示す液体材料塗布機構全体の部分を液体材料塗布機構３９と記すこととする。

＜液体材料塗布装置の構成＞
図３は、図１に示した液体材料塗布機構を搭載した、本発明の実施の形態に係る液体材料塗布装置の全体構成を示す斜視図である。図３を参照して、本実施の形態の液体材料塗布装置１００は、観察光学系４０、ＣＣＤカメラ４１および液体材料塗布機構３９を主に備える。観察光学系４０は、照明用の光源、対物レンズなどを含み、対象物である基板５の表面状態や、液体材料塗布機構３９によって塗布された液体材料の状態を観察するために用いられる。観察光学系４０によって観察される画像は、ＣＣＤカメラ４１により電気信号に変換される。液体材料塗布機構３９は、たとえば、基板５上に形成された配線パターンに発生した断線部に導電性の液体材料を塗布して修正する。この場合、観察光学系４０、ＣＣＤカメラ４１、および液体材料塗布機構３９は、修正ヘッド部を構成する。また、液体材料塗布装置１００は、たとえば基板５の表面に液体材料を塗布して所定のパターンを形成してもよい。

液体材料塗布装置１００は、さらに、上記修正ヘッド部を塗布対象の基板５に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸テーブル４４と、Ｚ軸テーブル４４を搭載して横方向（Ｘ軸方向）に当該Ｚ軸テーブル４４を移動させるＸ軸テーブル４５と、基板５を搭載して前後方向（Ｙ軸方向）に当該基板５を移動させるＹ軸テーブル４６と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ４７と、ＣＣＤカメラ４１によって撮影された画像などを表示するモニタ４９と、制御用コンピュータ４７に作業者からの指令を入力するための操作パネル４８とを備える。Ｚ軸テーブル４４、Ｘ軸テーブル４５およびＹ軸テーブル４６は、位置決め装置を構成する。

なお、この装置構成は一例であり、たとえば、観察光学系４０などを搭載したＺ軸テーブル４４をＸ軸テーブルに搭載し、さらにＸ軸テーブルをＹ軸テーブルに搭載し、Ｚ軸テーブル４４をＸＹ方向に移動させるガントリー方式と呼ばれる構成でもよい。装置構成としては観察光学系４０などを搭載したＺ軸テーブル４４を、塗布対象の基板５に対してＸＹ方向に相対的に移動させることが可能な構成であればどのような構成でもよい。

＜液体材料容器の構成＞
図４は、本発明の実施の形態１に係る液体材料容器の構成を、塗布針の配置態様と併せて示す概略断面図である。図４を参照して、本実施の形態に係る液体材料容器１１は、図１および図２に示す液体材料塗布機構３９の一部を構成するものである。液体材料容器１１は、外容器１２と、内容器１３と、蓋１４とを備えている。またここでは塗布針１も、液体材料塗布機構３９の一部と考えることとする。

外容器１２は、内容器１３を着脱可能に収納する容器である。言い換えれば、外容器１２は、内容器１３をその内部に収納することにより、内容器１３を収納した状態において、内容器１３の外側にその本体部分が配置される容器である。内容器１３は、塗布される液体材料を収納可能な容器である。言い換えれば、内容器１３は、塗布される液体材料をその内部に収納することにより、塗布針１に塗布液体材料を付着させる容器である。すなわち塗布針１は、内容器１３内の液体材料を、基板５（図３参照）などの対象物の表面に塗布可能な部材である。なお基板５は、外容器１２とＺ方向に関して対向するように配置されている。蓋１４は、液体材料が入った内容器１３およびこれを収納する外容器１２の全体をＺ方向に関する上方から覆い保護する部材である。

図４に示すように、内容器１３の内部には塗布される液体材料２１が充填されている。液体材料２１は、配線パターンの形成および修正に用いられる、金属粉を分散させた高粘度の導電性ペーストなどである。

塗布針１は、塗布針保持部２と、塗布針先端部３とにより構成されている。塗布針１はＺ方向に沿って延びている。塗布針保持部２はそのＺ方向の下側に塗布針先端部３を保持する部材である。塗布針保持部２は塗布針先端部３よりも幅方向の寸法（太さ）が大きいことが好ましい。たとえば図４に示すように、塗布針１は液体材料容器１１において、塗布針先端部３の一部が内容器１３内の液体材料２１中に浸漬された態様になっていてもよい。この状態において、塗布針１は、外容器１２が内容器１３を収納可能な第１の収納部（空間部分）の内部、および内容器１３が液体材料２１を収納可能な第２の収納部（空間部分）の内部に収納されているといえる。すなわち塗布針１は上記のように外容器１２の第１の収納部の内部、および内容器１３の第２の収納部の内部に収納可能である。

図５は図４の液体材料容器を構成する外容器１２の構成をより詳細に示す概略断面図である。図６は図４の液体材料容器を構成する内容器１３の構成をより詳細に示す概略断面図である。図７は図４の液体材料容器を構成する蓋１４の構成をより詳細に示す概略断面図である。

図５を参照して、図４における最も外側に配置される外容器１２は、容器状の外容器本体部１２１により構成されている。外容器本体部１２１の一部には、中心軸（図５中のＺ方向に沿って延びる一点鎖線）に対しＸ方向およびＹ方向に沿って拡がる外容器凸形状部１２２が形成されている。外容器凸形状部１２２は外容器本体部１２１のＺ方向に関する中央部付近に形成されることが好ましいがこれに限られない。外容器１２は、その内側の領域において外容器本体部１２１が除去されている。外容器本体部１２１が除去された領域の最外部には、外容器本体部１２１の内壁面が形成されている。当該内壁面には、第１鉛直内壁面１２３と、内壁段差部１２４と、第２鉛直内壁面１２５と、内壁曲面部１２６と、内壁水平面１２７とを有している。

第１鉛直内壁面１２３は、外容器１２のＺ方向の上方をほぼ鉛直方向に沿って延びる内壁面である。内壁面は、外容器１２のＺ方向の中央部または中央部よりもやや下方の領域において、延びる方向がＸＹ平面に沿う方向となるよう屈曲する。これにより当該部分におけるＸＹ平面に沿う内壁面の部分は断面図において内壁段差部１２４のように見えるような態様となる。内壁段差部１２４よりもＺ方向の下方においては、内壁面は再び鉛直方向に沿って延びる。ただしこの領域の内壁面は、内壁段差部１２４よりもＸ方向およびＹ方向に関する幅が狭い第２鉛直内壁面１２５として形成されている。さらに内壁面は、第２鉛直内壁面１２５の最下部に形成された内壁曲面部１２６にて径方向内側に向けて湾曲する。内壁面は、内壁曲面部１２６から中心軸に向けて内壁水平面１２７として径方向内側に延びる。内壁水平面１２７は、中心軸を含む第１の穴１２ｈに連なるように形成される。第１の穴１２ｈは、上記第１の収納部（内壁面に囲まれる空間部分）の内部にある塗布針１の外容器１２からの出口として、外容器１２（外容器本体部１２１）を貫通するように形成された孔部である。

図５における外容器本体部１２１の最上部の水平方向に拡がる面を外容器最上面１２８とする。また図５における外容器最上面１２８に囲まれる空間部分であり、第１の収納部の最上部に相当する空間部分を外容器最上面口１２ＨＫとする。

図６を参照して、図４における外容器１２の内側に配置される内容器１３は、容器状の内容器本体部１３１により構成されている。内容器本体部１３１のＺ方向の最上部には、中心軸（図６中のＺ方向に沿って拡がる一点鎖線）に対しＸ方向およびＹ方向に沿って拡がる内容器凸形状部１３２が形成されている。内容器１３は、その内側の領域において内容器本体部１３１が除去されている。内容器本体部１３１が除去された領域の最外部には、内容器本体部１３１の内壁面が形成されている。当該内壁面には、鉛直内壁面１３３と、内壁面テーパ部１３４とを有している。また内容器１３の最外部の表面として、内容器本体部１３１の外壁面が形成されている。当該外壁面には、外壁鉛直部１３５と、外壁Ｃ面部１３６と、外壁水平部１３７と、内容器最上面１３８とを有している。

鉛直内壁面１３３は、内容器１３のＺ方向の上方において、ほぼ鉛直方向に沿って延びている。しかし内容器１３のＺ方向の中央部または中央部よりもやや下方の領域において、内壁面は、中心軸に近づくにつれてＺ方向の位置が低くなるようにＸＹ平面に対して傾斜した断面形状となっている。このように内壁面が傾斜した領域を内壁面テーパ部１３４と呼ぶこととする。内壁面テーパ部１３４は中心軸に向けて径方向内側に延び、中心軸を含む第２の穴１３ｈに連なるように形成される。第２の穴１３ｈは、上記第２の収納部（内壁面に囲まれる空間部分）の内部にある塗布針１の内容器１３からの出口として、内容器１３（内容器本体部１３１）を貫通するように形成された孔部である。より詳しくは、第２の穴１３ｈは、外容器１２の第１の収納部に内容器１３が収納された状態において第１の穴１２ｈに面する部分にて、内容器１３を貫通するように形成された孔部である。これにより、第２の穴１３ｈと第１の穴１２ｈとが連なり、塗布針１が第１の収納部内に対し出入りしやすくなる。

なお内容器１３の外壁面は、内容器凸形状部１３２のＺ方向の下側において、Ｚ方向に沿って延びる外壁鉛直部１３５を有している。外壁面には、外壁鉛直部１３５のＺ方向の下部において、外壁面の角部がＣ面形状となった外壁Ｃ面部１３６が形成されている。外壁Ｃ面部１３６は外壁面の最下部をＸＹ平面に沿って水平方向に拡がる外壁水平部１３７に繋がっている。外壁水平部１３７の中央部に第２の穴１３ｈが形成されている。その他、図６における内容器本体部１３１の最上部の水平方向に拡がる面を内容器最上面１３８とする。また図６における内容器最上面１３８に囲まれる空間部分であり、第２の収納部の最上部に相当する空間部分を内容器最上面口１３ＨＫとする。

図５および図６を対比して、第１の穴１２ｈは第２の穴１３ｈよりも平面視におけるサイズが小さい。具体的には、たとえば第１の穴１２ｈおよび第２の穴１３ｈはともに円形の平面形状を有するとする。この場合において、第１の穴１２ｈの直径１２Ｒは、第２の穴１３ｈの直径１３Ｒよりも小さい。

図７を参照して、外容器１２の上記第１の収納部を覆う蓋１４は、蓋本体部１４１により構成されている。蓋本体部１４１のＺ方向の最上部には、中心軸（図７中のＺ方向に沿って拡がる一点鎖線）に対しＸ方向およびＹ方向に沿って拡がる蓋凸形状部１４２が形成されている。蓋１４は、その内側の領域において蓋本体部１４１が除去されている。蓋本体部１４１が除去された領域の最外部には、蓋本体部１４１の内壁面としての蓋内壁面が形成されている。蓋内壁面には、Ｚ方向に沿って延びる蓋鉛直内壁面１４３と、ＸＹ平面に沿って延びる蓋水平内壁面１４４とが含まれる。また蓋本体部１４１の最外部の表面として、概ね蓋鉛直内壁面１４３に対向する蓋鉛直外壁面１４５と、蓋本体部１４１の最下部をＸＹ平面に沿って延びる蓋水平最下部１４６とを有している。このような蓋１４を有することにより、外容器１２の上側からの液体材料２１の漏出を抑制することができる。

また蓋１４は、蓋水平内壁面１４４とそれに対向する最上面との間で蓋本体部１４１を貫通するように第３の穴１４ｈが形成されている。第３の穴１４ｈは、塗布針１の蓋本体部１４１に囲まれた空間部分への入口として、蓋１４（蓋本体部１４１）を貫通するように形成された孔部である。第３の穴１４ｈは、第１の穴１２ｈよりも平面視におけるサイズが大きいことが好ましい。具体的には、たとえば第１の穴１２ｈ、第３の穴１４ｈはともに円形の平面形状を有するとする。この場合において、第３の穴１４ｈの直径１４Ｒは、直径１２Ｒよりも大きい。

蓋１４は、外容器１２の第１の収納部に収納された内容器１３を押圧する部分を含む。具体的には蓋水平最下部１４６がこれに相当する。この部分は内容器１３の内容器最上面１３８に接触し、これを押圧する。これにより内容器１３を外容器１２に対して固定することができる。

図５〜図７の外容器１２、内容器１３および蓋１４が組み合わせられることにより、図４の液体材料容器１１としての態様となる。具体的には以下の通りである。外容器１２の内壁面に囲まれた第１の収納部内に内容器１３が収納される。内容器１３は外容器１２のＺ方向に関する下方の領域に配置される。これにより、内容器１３の中心軸と外容器１２の中心軸とが合致するように両者が一体となる。その結果、第１の穴１２ｈと第２の穴１３ｈとは少なくとも一部が平面視において重なる。外壁水平部１３７が内壁水平面１２７に接触する。外壁鉛直部１３５が第２鉛直内壁面１２５に接触する。内容器凸形状部１３２が内壁段差部１２４の上に搭載される。

次に、内容器１３が収納された外容器１２を覆うように、蓋１４が設置される。言い換えれば外容器最上面口１２ＨＫおよび内容器最上面口１３ＨＫを塞ぐように、蓋１４が設置される。蓋水平最下部１４６が内容器最上面１３８に接触する。蓋鉛直外壁面１４５が第１鉛直内壁面１２３に接触する。蓋凸形状部１４２が外容器最上面１２８の上に乗り上げる。

最後に、外容器１２、内容器１３、蓋１４のそれぞれの中心軸を含むように延在し、第３の穴１４ｈから外容器１２、内容器１３、蓋１４の内部の空間内を通るように、塗布針１が配置される。図４においては塗布針１は、塗布針先端部３が液体材料２１に浸漬されており、塗布針保持部２が第３の穴１４ｈを貫通している。このため図４においては塗布針１は、第１の穴１２ｈおよび第２の穴１３ｈを貫通していない。

塗布針１は、その先端部（Ｚ方向の最下部）が内容器１３の第２の収納部の内部に位置する、図４に示すような第１状態となり得る。また塗布針１は、その先端部が外容器１２の第１の穴１２ｈ（図５参照）および内容器１３の第２の穴１３ｈ（図６参照）を通って外容器１２の外側に位置する第２状態ともなり得る。塗布針１はその先端部がＺ方向上方に位置する第１状態と、Ｚ方向下方に位置する第２状態とを交互に繰り返すことが可能に構成されている。これについて以下の図８を用いて説明する。

＜液体材料塗布方法＞
図８は、本発明の実施の形態に係る液体材料塗布方法を示す概略断面図である。なお図８においては、特に液体材料容器１１およびその内部に配置される塗布針１の部分を示しており、他の部分の図示を省略している。また図８においては、液体材料容器１１は上記の外容器１２、内容器１３および蓋１４を合わせた全体として簡略化されている。すなわち図８においては個々の外容器１２、内容器１３および蓋１４の図示は省略されている。なお図８では第１の穴１２ｈおよび第２の穴１３ｈをまとめて単一の第４の穴１５ｈとして示されている。

図８の左側の図には塗布針１が上昇している状態が示されている。図８の右側の図には塗布針１が下降している状態が示されている。図８を参照して、左側の図に示すように、液体材料容器１１内に、液体材料２１が保持されている。塗布針１の塗布針先端部３は、液体材料容器１１内の液体材料２１に浸されている。なおこのとき、塗布針先端部３は、液体材料２１が塗布される対象物である基板５と対向するように配置されている。図８の左側の図は、基板５の表面に液体材料２１を供給する前段階としての、塗布針先端部３に液体材料２１が塗布される工程を示している。図８の左側の図は、塗布針１の先端部が図４の内容器１３の第２の収納部の内部に位置する第１状態に相当する。

図８の右側の図を参照して、図８の左側の図の状態から塗布針１が下降され、基板５の塗布対象面（上側の主表面）にこれが接触される。これにより、それまで液体材料容器１１内に塗布針先端部３が収納されていた塗布針１が、図８の左側の図の状態に比べて下方に移動する。塗布針１の下降により塗布針先端部３は第４の穴１５ｈから液体材料容器１１の外側に突出し、基板５の塗布対象面上に接触する。これにより、塗布針先端部３に付着されていた液体材料２１が基板５の塗布対象面上に供給される。以上により、塗布針１を下降させて塗布針先端部３を塗布対象面に接触させる。図８の右側の図は、塗布針１の先端部が図４の第１の穴１２ｈおよび第２の穴１３ｈを通って外容器１２の外側に位置する第２状態に相当する。図８の右側の図が示す塗布工程が終われば、再度塗布針１は上昇し、図８の左側の図の状態となる。このようにして図８の左側の状態（第１状態）と右側の状態（第２状態）とを交互に繰り返すことが可能に構成されている。

＜定量の液体材料を補給する方法＞
図９は、本発明の実施の形態の液体材料容器に含まれる内容器に充填された液体材料をスキージングするための移動部材を含む治具の構成の第１例を示す概略断面図である。図９を参照して、内容器１３は、第２の収納部（内壁面に囲まれる空間部分）に液体材料２１が充填された状態で、治具としてのスキージング構造１６に設置される。スキージング構造１６には、第２の収納部に液体材料２１が充填された内容器１３が設置され得る。図９は内容器１３がスキージング構造１６に取り付けられた態様を示している。

図９のスキージング構造１６は、基盤部１６１と、下穴塞ぎ部１６２と、支柱部１６３と、内容器固定用穴部１６４と、第１のスキージング部１６５（第１の移動部材）と、スキージング部支持部１６６と、スライド部１６７とを有している。基盤部１６１は、スキージング構造１６の最下部をＸＹ平面に沿って拡がり、スキージング構造１６の全体の土台として配置される領域である。後述の図１０および図１１に示すように、基盤部１６１はたとえば矩形の平面形状であることが好ましいがこれに限らず、その形状は任意である。

下穴塞ぎ部１６２は、たとえば平面視における基盤部１６１の中央部において、基盤部１６１からＺ方向上方に突起するように形成された領域である。下穴塞ぎ部１６２はたとえば矩形または正方形の平面形状を有してもよい。ただし下穴塞ぎ部１６２の平面形状は上記に限らず、たとえば円形状であってもよい。図９に示すように、スキージング構造１６の下穴塞ぎ部１６２は、内容器１３が載置されることにより、内容器１３の第２の収納部に充填された液体材料２１の最下面側から、内容器１３の最下面である外壁水平部１３７を覆うことができる。したがって外壁水平部１３７に形成された第２の穴１３ｈは、その下側から下穴塞ぎ部１６２により塞がれる。下穴塞ぎ部１６２は基盤部１６１に対して、たとえば内容器１３の外壁水平部１３７のＸ方向またはＹ方向に沿う寸法（径）以下の寸法分だけ、Ｚ方向上方に突起する形状であることが好ましいが、このような例に限られない。

支柱部１６３は下穴塞ぎ部１６２の平面視における周囲において、基盤部１６１からＺ方向上方に突起するように形成された領域、および基盤部１６１のＺ方向上方に基盤部１６１と間隔をあけるように形成された領域である。図９におけるＸ方向右側の支柱部１６３は基盤部１６１と一体としてそこからＺ方向上方に延びるように形成されている。支柱部１６３は基盤部１６１の上方において内容器１３を取り囲むように形成されている。このため図９におけるＸ方向左側の支柱部１６３は基盤部１６１とＺ方向に関して間隔をあけ、かつＸ方向に関してスキージング部支持部１６６と間隔をあけるように配置されている。以上により支柱部１６３は図９において、概ねＬ字形の断面形状を有している。

また図９におけるＸ方向右側の支柱部１６３は下穴塞ぎ部１６２と間隔をあけるように形成されている。これに対し図９におけるＸ方向左側の支柱部１６３は下穴塞ぎ部１６２に接するように形成されている。支柱部１６３は下穴塞ぎ部１６２と間隔をあけるように形成されてもよい。あるいは支柱部１６３は下穴塞ぎ部１６２に接するように形成されてもよい。

内容器固定用穴部１６４は支柱部１６３に形成された内壁面の内側に形成された、治具の本体部が除去された空間部分としての領域である。内容器固定用穴部１６４内に内容器１３が挿入されることにより、内容器固定用穴部１６４は、内容器１３の特に外壁鉛直部１３５（図６参照）に径方向（Ｘ方向またはＹ方向）側から接触する。あるいは内容器固定用穴部１６４は、内容器１３の特に内容器凸形状部１３２（図６参照）に径方向（Ｘ方向またはＹ方向）側から接触する。内容器固定用穴部１６４を形成する内壁面は、内容器１３の周囲からこれに接触することで、内容器１３を下穴塞ぎ部１６２上に載置させる。これにより内容器１３の載置される位置が固定される。

第１のスキージング部１６５は、下穴塞ぎ部１６２上に載置された内容器１３の、液体材料２１の最上面に接するように、液体材料２１の最上面上を移動可能な部材である。言い換えれば、図９のように第２の収納部に液体材料２１が充填された内容器１３は、液体材料２１の最上面に接するように液体材料２１の最上面上を移動可能な第１の移動部材としての第１のスキージング部１６５を含む治具に取り付けられ得る。第１のスキージング部１６５の移動態様については後述する。第１のスキージング部１６５は、たとえば基盤部１６１のＸ方向の最も左側の領域をＺ方向上方に延びるスキージング部支持部１６６と一体となるように形成されている。第１のスキージング部１６５は、スキージング部支持部１６６のＺ方向の最上部において、スキージング部支持部１６６から屈曲している。これにより第１のスキージング部１６５はスキージング部支持部１６６のＺ方向の最上部からＸ方向の正方向に向けて延びる棒状の部材となっている。第１のスキージング部１６５は少なくとも、スキージング部支持部１６６から、下穴塞ぎ部１６２上に載置された内容器１３の内容器最上面口１３ＨＫの最もスキージング部支持部１６６からＸ方向に関して離れた位置までの距離以上の長さを有することが望ましい。このようにすれば、第１のスキージング部１６５は、内容器１３の内容器最上面口１３ＨＫの全体の上を滑るように移動することが可能となる。

また第１のスキージング部１６５は、その延びるＸ方向に交差するＹ方向（移動する方向）の幅が、少なくとも下穴塞ぎ部１６２上に載置された内容器１３の内容器最上面口１３ＨＫの平面視における径の１／２以上の寸法を有することが好ましい。なお上記の幅は内容器最上面口１３ＨＫの平面視における径の２／３以上の寸法を有することがより好ましい。ただしこのような態様に限らず、たとえば当該幅は当該径の１／３以上の寸法であってもよい。

第１のスキージング部１６５およびスキージング部支持部１６６は、スキージング部支持部１６６の最下部が、Ｙ方向に延びるスライド部１６７の上を移動することにより、Ｙ方向に沿って移動可能となる。なおスライド部１６７はスキージング部支持部１６６の最下部に嵌まる溝形状であってもよい。あるいはスライド部１６７はスキージング部支持部１６６の最下面と接触しながらスキージング部支持部１６６をスライド部１６７に沿って移動可能な態様であってもよい。

次に図９、および図１０，１１を用いて、図９の治具を用いた液体材料のスキージング工程について説明する。

図９を参照して、まず内容器１３がスキージング構造１６の内容器固定用穴部１６４内に挿入される。これにより内容器１３の外壁水平部１３７は下穴塞ぎ部１６２に接触する。つまり内容器１３の第２の穴１３ｈはその下方にて、下穴塞ぎ部１６２により塞がれる。

次に内容器１３内に液体材料２１を収納する。なお内容器１３内に液体材料２１を収納（補給）する方法としては以下の各方法がある。たとえば薬匙を用いて液体材料２１を内容器１３内に補給する方法が用いられる。またシリンジ内の液体材料２１の場合、これをシリンジから押し出すことで内容器１３内に移し替えることにより補給する方法が用いられる。

次に内容器１３内に補給された液体材料２１の液面のＺ方向高さを均一にする工程がなされる。図１０は図９の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第１工程を示す概略平面図である。図１１は図９の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第２工程を示す概略平面図である。図９および図１０，１１を参照して、スキージング部支持部１６６を含む第１のスキージング部１６５が、Ｙ方向に沿うように延びるスライド部１６７に沿って、図中の矢印で示す方向Ｍに移動する。具体的には図１０に示す位置から図１１に示す位置まで、内容器１３の真上を通過するように、第１のスキージング部１６５が移動する。このとき第１のスキージング部１６５の最下面は、内容器１３内に充満された液体材料２１の最上面に接触しながら、当該液体材料２１の上を掃くように移動する。なお図９〜図１１に示すように、第１のスキージング部１６５を移動させるスキージング部支持部１６６は、支柱部１６３および内容器１３のいずれともＸ方向に関して間隔をあけるように配置されている。このため第１のスキージング部１６５およびスキージング部支持部１６６をスライド部１６７に沿ってＹ方向にスムーズに移動可能である。以上によりスキージング工程がなされ、内容器１３内の液体材料２１の最上面の高さが均一となる。

なお、第２の穴１３ｈの径は小さく、かつ液体材料２１の粘度は高い。このため表面張力が第２の穴１３ｈからの液体材料２１の漏出を妨げるように働く。したがって単に液体材料２１を内容器１３内に収納したのみであれば第２の穴１３ｈからこれが漏出する可能性は少ない。しかし第１のスキージング部１６５が液体材料２１の表面上を移動する際に、内容器１３内の液体材料２１が下方へ押され、第２の穴１３ｈから漏出する可能性がある。しかし内容器１３の第２の穴１３ｈは、その下方から接触する下穴塞ぎ部１６２により塞がれる。下穴塞ぎ部１６２は基盤部１６１に対してＺ方向上方に突起している。このため下穴塞ぎ部１６２は確実に第２の穴１３ｈを塞ぐように外壁水平部１３７に接触可能である。このため内容器１３内の液体材料２１が第２の穴１３ｈからの漏出が抑制される。

内容器１３内の液体材料２１を均一化する作業が終了した後、内容器１３がスキージング構造１６から取り外され、外容器１２の第１の収納部内に収納される。その後、外容器１２および内容器１３が、液体材料塗布機構３９（図１、図２参照）に設置される。液体材料塗布機構３９（図１、図２参照）には、液体材料容器１１が着脱可能に搭載される。なお上記の第１のスキージング部１６５およびスキージング部支持部１６６の移動は、作業者が手動でスライド部１６７上を移動させることによりなされてもよい。あるいは上記移動は、モータまたはエアシリンダなどのアクチュエータを駆動することによりなされてもよい。

図１２は、本発明の実施の形態の液体材料容器に含まれる内容器に充填された液体材料をスキージングするための移動部材を含む治具の構成の第２例を示す概略断面図である。図１２を参照して、当該第２例においても第１例と同様に、内容器１３は、第２の収納部（内壁面に囲まれる空間部分）に液体材料２１が充填された状態で、治具としてのスキージング構造１６に設置される。図１２のスキージング構造１６の構成のうち図９のスキージング構造１６の構成と共通する要素には同一の符号を付し、共通する特徴についてはその説明を繰り返さない。ただし図１２においては図９に対し、スキージング構造１６の構成において若干の相違がある。そこで以下においては、図１２のスキージング構造１６の図９のスキージング構造との相違点について説明する。

図１２のスキージング構造１６は、基盤部１６１と、支柱部１６３と、内容器固定用穴部１６４と、第１のスキージング部１６５と、スキージング部支持部１６６と、スライド部１６７と、第２のスキージング部１６８（第２の移動部材）とを有している。すなわち図１２のスキージング構造１６は、下穴塞ぎ部１６２を有さず、第２のスキージング部１６８を有する点において、図９のスキージング構造１６と構成上異なっている。

内容器固定用穴部１６４は支柱部１６３に形成された内壁面の内側に形成された、治具の本体部が除去された空間部分としての領域である。内容器固定用穴部１６４を形成する内壁面は、内容器１３の周囲からこれに接触することで、内容器１３を内容器固定用穴部１６４内に収納させる。これにより内容器１３の位置が固定される。ただし図１２においては下穴塞ぎ部１６２が存在しない。このため内容器固定用穴部１６４内に収納された内容器１３の最下部（外壁水平部１３７）は、基盤部１６１の間にＺ方向の隙間を有するように配置される。言い換えれば、図１２の状態において内容器固定用穴部１６４内に収納された内容器１３の最下部（外壁水平部１３７）は露出している。

第１のスキージング部１６５は、内容器固定用穴部１６４内に収納された内容器１３の、液体材料２１の最上面に接するように、液体材料２１の最上面上を移動可能な部材である。一方、第２の移動部材としての第２のスキージング部１６８は、内容器１３の第２の収納部に充填された液体材料２１の最下面側から、内容器１３の最下面（外壁水平部１３７）上を移動可能な部材である。このように図１２のスキージング構造１６は、内容器１３の最上面上をスキージングする第１のスキージング部１６５に加え、内容器１３の最下面上をスキージングする第２のスキージング部１６８を含む。

第１のスキージング部１６５および第２のスキージング部１６８は、いずれもたとえば基盤部１６１のＸ方向の最も左側の領域をＺ方向上方に延びるスキージング部支持部１６６と一体となるように形成されている。第２のスキージング部１６８は、スキージング部支持部１６６のＺ方向の最下部において、スキージング部支持部１６６から屈曲している。これにより第２のスキージング部１６８はスキージング部支持部１６６のＺ方向の最下部からＸ方向の正方向に向けて延びる棒状の部材となっている。第２のスキージング部１６８は少なくとも、スキージング部支持部１６６から、内容器１３の第２の穴１３ｈの最もスキージング部支持部１６６からＸ方向に関して離れた位置までの距離以上の長さを有することが望ましい。このようにすれば、第２のスキージング部１６８は、内容器１３の第２の穴１３ｈの全体の上を滑るように移動することが可能となる。

また第２のスキージング部１６８は、その延びるＸ方向に交差するＹ方向（移動する方向）の幅が、少なくとも内容器１３の内容器最上面口１３ＨＫの平面視における径の１／２以上の寸法を有することが好ましい。なお上記の幅は内容器最上面口１３ＨＫの平面視における径の２／３以上の寸法を有することがより好ましい。ただしこのような態様に限らず、たとえば当該幅は当該径の１／３以上の寸法であってもよい。

第１のスキージング部１６５、第２のスキージング部１６８およびスキージング部支持部１６６は、スキージング部支持部１６６の最下部が、Ｙ方向に延びるスライド部１６７の上を移動することにより、Ｙ方向に沿って移動可能となる。

次に図１２、および図１３，１４を用いて、図１２の治具を用いた液体材料のスキージング工程について説明する。

図１２を参照して、まず内容器１３がスキージング構造１６の内容器固定用穴部１６４内に挿入される。次に内容器１３内に液体材料２１を収納する。次に内容器１３内に補給された液体材料２１のＺ方向高さを均一にする工程がなされる。図１３は図１２の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第１工程を示す概略平面図である。図１４は図１２の治具を用いて液体材料に対しスキージングを行なう第２工程を示す概略平面図である。図１２および図１３，１４を参照して、スキージング部支持部１６６を含む第１のスキージング部１６５および第２のスキージング部１６８が、Ｙ方向に沿うように延びるスライド部１６７に沿って、図中の矢印で示す方向Ｍに移動する。これにより第１のスキージング部１６５の最下面は、内容器１３内に充満された液体材料２１の最上面に接触しながら、当該液体材料２１の上を掃くように移動する。また第２のスキージング部１６８の最上面は、内容器１３の第２の穴１３ｈの最下面に接触しながら、当該第２の穴１３ｈの表面上を掃くように移動する。第１のスキージング部１６５が液体材料２１の最上面を平坦にする際に下方に押し出され第２の穴１３ｈから漏出した液体材料２１は、第２のスキージング部１６８の移動により除去される。

第１のスキージング部１６５と第２のスキージング部１６８とは一体となっている。このためスライド部１６７を用いることにより、第１のスキージング部１６５と第２のスキージング部１６８とを同時にＹ方向に沿って移動させることができる。

図１３および図１４の平面図において、第１のスキージング部１６５よりも第２のスキージング部１６８の方が大きい。第２のスキージング部１６８はＹ方向に関して第１のスキージング部１６５が占める領域の全体のみならず、そのＹ方向正側の領域の一部およびそのＹ方向負側の領域の一部を占めるように形成されている。

次に、図１５〜図１８の従来例を参照しながら、本実施の形態の作用効果について説明する。なお図１５〜図１８においては、図８と同様に、液体材料容器１１は上記の外容器１２、内容器１３および蓋１４を合わせた全体として簡略化されている。

比較例における液体材料容器内の液体材料の供給状態について、以下の２点の課題を有する。図１５は比較例における液体材料容器内に液体材料が補給された態様の第１例を示す概略断面図である。図１６は比較例における図１５の液体材料の使用後の態様の一例を示す概略断面図である。図１５および図１６を参照して、１点めの課題は、塗布針１に隣接する領域の液体材料２１のみ使用され、塗布針１から離れた領域の液体材料２１が液体材料容器１１内に滞留することである。特に図１６に示すように、液体材料容器１１内の傾斜した内壁面上に液体材料２１が残存する傾向がある。このようになれば、実際には液体材料容器１１内に液体材料２１が残っているにもかかわらず補給が必要となり、１度の補給により使用可能な液体材料２１の量が補給量より少なくなる。このため作業効率の低下および液体材料２１の浪費を招く可能性がある。

そこで本実施の形態の液体材料塗布機構３９においては、外容器１２と内容器１３との２つの容器を有する構成が用いられる。外容器１２は内容器１３を収納し、内容器１３が液体材料２１を収納する。このような２つの容器を有する構成とすることにより、内容器１３はたとえば用いる液体材料２１の材質との相性に応じて適宜取り替えることができる。また内容器１３はたとえば液体材料２１の塗布量および塗布回数に応じた内部容量を有するものに適宜取り替えることができる。このように汎用の外容器１２に加え、適宜交換可能な内容器１３を併用する構成とすることにより、あらゆる用途における液体材料２１を容易に補給することができる。内容器１３のみを外容器１２から取り出して液体材料２１を内容器１３へ容易にかつ正確な量だけ補給できるためである。このため液体材料２１を効率良く利用することが可能となる。

図１７は比較例における液体材料容器内に液体材料が補給された状態の第２例を示す概略断面図である。図１８は比較例における液体材料容器内に液体材料が補給された状態の第３例を示す概略断面図である。図１７および図１８を参照して、２点めの課題は、液体材料容器１１内への液体材料２１の補給後の状態が、作業者間でばらつく問題である。ここで補給後の状態とは、液体材料２１の補給後の形状および補給量を意味する。具体的には、図１７の第１例においては、液体材料２１が塗布針１に隣接する領域に集中して配置され、そこから離れた領域の液体材料２１の量が少なくなるような補給態様となっている。また図１８の第２例においては、液体材料２１が液体材料容器１１の内壁面に隣接する領域に集中して配置され、そこから離れた領域の液体材料２１の量が少なくなるような補給態様となっている。これらの補給態様の元で塗布作業を行なえば、塗布ができる回数に差が生じる。

そこで、図１７および図１８のような補給状態となることを防ぐ観点から、本実施の形態のスキージング用の治具が取り付け可能な液体材料塗布機構３９が用いられることが好ましい。当該治具（スキージング構造１６）を用いれば液体材料２１の上面が均一になり、塗布回数のばらつきを削減することができるためである。ただし上記の第１のスキージング部１６５のみを用いた液体材料２１の上面側のみのスキージング工程によれば、スキージング時に液体材料２１に下方へ押し出す力が加わることにより、液体材料容器１１の下側の穴から液体材料２１が漏出する場合がある。この下側の穴から漏出した液体材料２１の拭き取り除去が不十分であれば、拭き取り後の液体材料２１の残渣の影響により、塗布動作により液体材料２１が当該穴から漏出しやすくなる。第２のスキージング部１６８を用いることにより、下側の穴から漏出した液体材料２１を完全に除去することができる。

実施の形態２．
図１９は、本発明の実施の形態２に係る液体材料容器の構成を、塗布針の配置態様と併せて示す概略断面図である。図２０は図１９の液体材料容器を構成する内容器１３の構成をより詳細に示す概略断面図である。図２１は図１９の液体材料容器を構成する蓋１４の構成をより詳細に示す概略断面図である。なお外容器１２は本実施の形態においても実施の形態１の図５に示す外容器１２と同様の態様であるため、ここでは図示を省略している。

図１９〜図２１を参照して、本実施の形態に係る液体材料容器１１は、基本的に実施の形態１の液体材料容器１１と同様の構成を有する外容器１２、内容器１３および蓋１４により構成される。このため以下において実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を付し、共通の特徴についてはその説明を繰り返さない。ただし図１９および図２０に示すように、内容器１３の内容器最上面１３８の上面上の一部に、凸形状部１３９が形成されている。すなわち内容器１３は、第１の収納部に収納された状態で第１の収納部において上側に突出するように露出する凸形状部１３９を含んでいる。また図１９および図２１に示すように、蓋１４の蓋水平最下部１４６の一部（特に内壁面側）と、それに連なる蓋鉛直内壁面１４３の最下部の一部が除去された切欠き部１４７が形成されている。切欠き部１４７の外側の蓋本体部１４１の部分は蓋把持部１４８として構成されている。

以上のような構成を有することにより、液体材料容器１１は、図１９に示すような態様を有している。凸形状部１３９が切欠き部１４７に嵌合される。以上の構成により、凸形状部１３９を用いて内容器１３を外容器１２の第１の収納部内から取り出しやすくなる。

以上に述べた各実施の形態（の各実施例）に示す構成上の特徴は、技術的に矛盾のない範囲で適宜組み合わせるように適用してもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 塗布針、２ 塗布針保持部、３ 塗布針先端部、５ 基板、１１ 液体材料容器、１２ 外容器、１２ｈ 第１の穴、１２ＨＫ 外容器最上面口、１３ 内容器、１３ｈ 第２の穴、１３ＨＫ 内容器最上面口、１４ 蓋、１４ｈ 第３の穴、１５ｈ 第４の穴、１６ スキージング構造、２０ サーボモータ、２１ 液体材料、２３ 塗布針ホルダ、２４ 塗布針ホルダ収納部、２５ 塗布針ホルダ固定部、２６ 可動部、２７ カム連結板、２８ 軸受、２９ カム、３０Ａ，３０Ｂ 固定ピン、３１ ベース板、３２ リニアガイド、３３ リニアガイド可動部、３４ バネ、３６ 容器保持部、３９ 液体材料塗布機構、４０ 観察光学系、４１ ＣＣＤカメラ、４４ Ｚ軸テーブル、４５ Ｘ軸テーブル、４６ Ｙ軸テーブル、４７ 制御用コンピュータ、４８ 操作パネル、１００ 液体材料塗布装置、１２１ 外容器本体部、１２２ 外容器凸形状部、１２３ 第１鉛直内壁面、１２４ 内壁段差部、１２５ 第２鉛直内壁面、１２６ 内壁曲面部、１２７ 内壁水平面、１２８ 外容器最上面、１３１ 内容器本体部、１３２ 内容器凸形状部、１３３ 鉛直内壁面、１３４ 内壁面テーパ部、１３５ 外壁鉛直部、１３６ 外壁Ｃ面部、１３７ 外壁水平部、１３８ 内容器最上面、１３９ 凸形状部、１４１ 蓋本体部、１４２ 蓋凸形状部、１４３ 蓋鉛直内壁面、１４４ 蓋水平内壁面、１４５ 蓋鉛直外壁面、１４６ 蓋水平最下部、１４７ 切欠き部、１４８ 蓋把持部、１６１ 基盤部、１６２ 下穴塞ぎ部、１６３ 支柱部、１６４ 内容器固定用穴部、１６５ 第１のスキージング部、１６６ スキージング部支持部、１６７ スライド部、１６８ 第２のスキージング部、ＡＸ 回転軸。

Claims (6)

1. 塗布される液体材料を収納可能な内容器と、
   前記内容器を着脱可能に収納する外容器と、
   前記内容器内の前記液体材料を、前記外容器と対向するように配置された対象物の表面に塗布可能な塗布針とを備える液体材料塗布機構。
2. 前記外容器は、前記外容器を貫通するように形成された第１の穴を含み、
   前記内容器は、前記外容器の第１の収納部に収納された状態において前記第１の穴に面する部分にて前記内容器を貫通するように形成された第２の穴を含み、
   前記塗布針は、前記塗布針の先端部が前記内容器の第２の収納部の内部に位置する第１状態と、前記先端部が前記第１の穴および前記第２の穴を通って前記外容器の外側に位置する第２状態とを交互に繰り返すことが可能に構成されており、
   前記第１の穴は前記第２の穴よりも平面視におけるサイズが小さい、請求項１に記載の液体材料塗布機構。
3. 前記外容器の前記第１の収納部を覆う蓋をさらに備える、請求項２に記載の液体材料塗布機構。
4. 前記蓋は、前記第１の収納部に収納された前記内容器を押圧する部分を含む、請求項３に記載の液体材料塗布機構。
5. 前記内容器は、前記第１の収納部に収納された状態で前記第１の収納部において露出する凸形状部を含む、請求項２〜４のいずれか１項に記載の液体材料塗布機構。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体材料塗布機構が搭載された、液体材料塗布装置。

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