TWI793392B - 搬送裝置、曝光裝置及搬送方法 - Google Patents

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Abstract

搬送裝置(100)可沿軌道(200)移動。搬送裝置(100)具備滑動構件(110)、氣體噴射部(120)及制動部(130)。滑動構件(110)係朝搬送方向沿軌道(200)滑動。氣體噴射部(120)位於滑動構件(110)與軌道(200)之間，且對軌道(200)噴射氣體。制動部(130)設於滑動構件(110)之搬送方向的一側之側面。

Description

搬送裝置、曝光裝置及搬送方法
本發明係關於一種搬送裝置、曝光裝置及搬送方法。
已知一種搬送裝置，其藉由對軌道噴射空氣(air)等氣體而懸浮並沿軌道滑動，以搬送構件。如此之搬送裝置也被稱為空氣軸承。如此之搬送裝置由於可平滑地搬送構件，因而可應用於搬送進行曝光處理之基板(參照專利文獻1)。專利文獻1之移動體裝置係噴射空氣而使懸浮裝置懸浮之後，朝既定之方向搬送被載置於懸浮裝置上的基板。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2012-60117號公報
(發明所欲解決之問題)
然而，於專利文獻1之移動體裝置中，當滑動構件之速度變化時，滑動構件可能與導引構件(軌道)接觸。尤其是，近年來，基板趨向於大型化，為了提高處理速度，希望滑動構件能於軌道上高速滑動。於此情況下，當滑動構件之速度變化時，可能引起滑動構件與軌道之接觸。
本發明係鑑於上述課題而完成者，其目的在於提供一種搬送裝置、曝光裝置及搬送方法，其可抑制滑動構件與軌道之接觸。 (解決問題之技術手段)
根據本發明之一個局面，搬送裝置可沿軌道移動。上述搬送裝置具備滑動構件、氣體噴射部及制動部。上述滑動構件係朝搬送方向沿上述軌道滑動。上述氣體噴射部位於上述滑動構件與上述軌道之間，且對上述軌道噴射氣體。上述制動部設於上述滑動構件之搬送方向的一側之側面。
於本發明之搬送裝置中，上述制動部係對上述軌道噴射氣體而相對於上述軌道懸浮。
於本發明之搬送裝置中，上述滑動構件沿上述軌道滑動時之上述制動部與上述軌道之間的距離，大於上述制動部之相對於上述軌道之懸浮力為最大時的上述制動部與上述軌道之間的距離。
於本發明之搬送裝置中，於上述滑動構件沿上述軌道滑動之情況，上述制動部與上述軌道之間的距離，大於上述氣體噴射部與上述軌道之間的距離。
於本發明之搬送裝置中，上述制動部之相對於上述軌道之懸浮力為最大時的上述制動部與上述軌道之間的距離，小於上述滑動構件沿上述軌道滑動時之上述氣體噴射部與上述軌道之間的距離。
於本發明之搬送裝置中，自上述制動部噴射之上述氣體之噴射量發生變化。
於本發明之搬送裝置中，上述搬送裝置還具備連結部，該連結部連結上述滑動構件之上述一側之側面與上述制動部。
於本發明之搬送裝置中，上述連結部包含：接觸部，其安裝於上述滑動構件之上述一側之側面；支撐部，其自上述接觸部沿上述滑動構件之搬送方向延伸；及連接部，其連接上述制動部與上述支撐部。
於本發明之搬送裝置中，上述連接部包含與上述制動部接觸之球體。
於本發明之搬送裝置中，上述連接部還包含桿部，該桿部被支撐於上述支撐部且按壓上述球體。
於本發明之搬送裝置中，上述搬送裝置還具備驅動部，該驅動部以上述滑動構件沿上述軌道移動之方式驅動上述滑動構件。
於本發明之搬送裝置中，上述滑動構件具有與上述軌道對向之內周面、及包含上述一側之側面的外周面，上述氣體噴射部配置於上述滑動構件之內周面。
根據本發明之另一個局面，一種曝光裝置，其具備：上述之搬送裝置，其搬送基板；及曝光部，其對被上述搬送裝置搬送之基板進行曝光。
根據本發明之又一個局面，一種搬送方法，其包含以下步驟：一面對軌道噴射氣體一面使滑動構件朝搬送方向沿上述軌道滑動之步驟；及藉由設於上述滑動構件之搬送方向的一側之側面的制動部，對上述滑動構件進行制動之步驟。
於本發明之搬送方法中，於上述制動之步驟中，自上述制動部噴射之上述氣體之噴射量發生變化。 (對照先前技術之功效)
根據本發明，可抑制滑動構件與軌道之接觸。
以下，參照附圖，對本發明之實施形態進行說明。再者，對圖中之相同或相等部分，賦予相同之元件符號而不重複說明。再者，於本說明書中，為了便於理解發明，有時記載為相互正交之X方向、Y方向及Z方向。通常，X方向及Y方向與水平方向平行，Z方向與鉛垂方向平行。
參照圖1，對本發明之搬送裝置之實施形態進行說明。圖1為本實施形態之搬送裝置100的示意性立體圖。搬送裝置100係用以搬送搬送對象物。搬送裝置100沿軌道200移動。其中，軌道200沿Y方向延伸。例如，軌道200配置於平台210上。
搬送裝置100具備滑動構件110、氣體噴射部120及制動部130。滑動構件110安裝於軌道200。
滑動構件110係朝搬送方向沿軌道200滑動。滑動構件110以載置有搬送對象物之狀態進行滑動。其中，滑動構件110朝+Y方向沿軌道200滑動。此外，滑動構件110也可朝-Y方向沿軌道200滑動。
例如，滑動構件110藉由加工石材而製作。於一例中，滑動構件110係藉由花崗岩之加工而製作。
氣體噴射部120位於滑動構件110與軌道200之間。氣體噴射部120設於滑動構件110之內周面。氣體噴射部120對軌道200噴射氣體。通常，藉由氣體噴射部120對軌道200噴射氣體，滑動構件110與氣體噴射部120一起相對於軌道200懸浮，於滑動構件110及氣體噴射部120與軌道200之間形成有間隙。
例如，氣體噴射部120與軌道200之間隙為3μm以上且15μm以下。此外，氣體噴射部120與軌道200之間隙也可為5μm以上且10μm以下。當滑動構件110藉由氣體噴射部120噴射氣體而沿軌道200滑動時，滑動構件110可不與軌道200接觸地相對於軌道200而平滑地滑動。
制動部130設於滑動構件110的外周面。詳細而言，制動部130設於滑動構件110之搬送方向的一側之側面。在此，制動部130設於滑動構件110之+Y方向側的側面。
於滑動構件110沿軌道200滑動之後滑動構件110停止或減速之情況下，滑動構件110可能因慣性而與軌道200接觸。然而，於本實施形態之搬送裝置100中，制動部130係以滑動構件110之姿勢不變之方式限制滑動構件110的運動。因此，藉由制動部130而可抑制因滑動構件110之運動的變化而引起之滑動構件110與軌道200之接觸。
或者，於滑動構件110啟動或加速之情況下，滑動構件110可能因慣性而與軌道200接觸。然而，於本實施形態之搬送裝置100中，制動部130係以滑動構件110之姿勢不變之方式限制滑動構件110的運動。因此，藉由制動部130而可抑制因滑動構件110之運動的變化而引起之滑動構件110與軌道200之接觸。
例如，制動部130也可對軌道200噴射氣體。於此情況下，制動部130相對於軌道200而懸浮。例如，藉由設於滑動構件110之+Y方向側的側面之制動部130對軌道200噴射氣體，即使於朝+Y方向滑動之滑動構件110停止或減速之情況，仍可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
再者，於制動部130噴射氣體之情況下，制動部130噴射之氣體之噴射量也可根據滑動構件110之移動而變化。例如，也可於滑動構件110朝搬送方向滑動之情況下，制動部130不噴射氣體，另一方面，當滑動構件110停止或減速時，制動部130噴射氣體。或者亦可為，於滑動構件110朝搬送方向滑動之情況下，制動部130噴射之氣體的噴射量較少，另一方面，當滑動構件110停止或減速時，增大制動部130噴射之氣體的噴射量。並且，當滑動構件110完全停止時，制動部130噴射之氣體的噴射量也可減少至零。
滑動構件110具有上部112、第一側部114a及第二側部114b。通常，上部112之上面平坦。當搬送裝置100搬送搬送對象物時，搬送對象物被載置於上部112的上面。
上部112係大致長方體形狀。上部112具有+Z方向側之主表面及-Z方向側之主表面。上部112配置於軌道200的上面。上部112之-Z方向側的主表面與軌道200之上面對向。
第一側部114a係大致長方體形狀，且於上部112之-Z方向側的主表面上位於+X方向側。第一側部114a係與上部112連結。第一側部114a沿軌道200之側面配置，且與軌道200的側面對向。
第二側部114b係大致長方體形狀，且於上部112之-Z方向側的主表面上位於-X方向側。第二側部114b與上部112連結。第二側部114b沿軌道200之側面配置，且與軌道200的側面對向。
在此，制動部130配置於上部112之+Y方向側的側面。此外，作為制動部130，設置有第一制動部130a及第二制動部130b。第一制動部130a設於滑動構件110之+X方向側，第二制動部130b設於滑動構件110的-X方向側。
軌道200包含基台202、第一構件204a及第二構件204b。基台202、第一構件204a及第二構件204b相互平行地延伸。其中，基台202、第一構件204a及第二構件204b沿Y方向延伸。基台202載置於平台210的上面。
第一構件204a位於基台202之上部的+X方向側，且較基台202之+X方向側的側面更朝+X方向突出。第二構件204b位於基台202之上部的-X方向側，且較基台202之-X方向側的側面更朝-X方向突出。
其中，滑動構件110自上方及側面覆蓋軌道200之第一構件204a及第二構件204b。軌道200也可為搬送裝置100的一部分。此外，平台210也可為搬送裝置100的一部分。例如，軌道200及平台210可藉由加工石材而製作。於一例中，軌道200及平台210藉由花崗岩之加工而製作。
再者，於圖1中，為了避免附圖式過於複雜，省略顯示以移動滑動構件110之方式驅動滑動構件110的驅動源。作為滑動構件110之驅動源，也可使用線性馬達。或者，滑動構件110也可與其他之驅動源連結，且與驅動源連動進行移動。
以下，參照圖1及圖2，對本實施形態之搬送裝置100的搬送方法進行說明。圖2(a)〜圖2(c)為用以說明本實施形態之搬送裝置100的搬送方法之示意圖。
如圖2(a)所示，搬送裝置100朝+Y方向沿軌道200移動。於搬送裝置100中，於滑動構件110之上部112載置有基板W，搬送裝置100搬送基板W。搬送裝置100之搬送對象物不限於基板W。搬送裝置100可搬送各種之構件。
氣體噴射部120對軌道200噴射氣體，滑動構件110沿軌道200滑動。此時，由於氣體噴射部120噴射氣體，因此，滑動構件110不與軌道200接觸地沿軌道200滑動。再者，於滑動構件110相對於軌道200穩定地滑動之情況下，滑動構件110與軌道200之間的距離大致固定。
如圖2(b)所示，搬送裝置100於既定之位置處停止。此時，滑動構件110之姿勢可能發生變化。具體而言，雖然滑動構件110相對於軌道200而懸浮，但滑動構件110之搬送方向側的端部與軌道200之間的距離會變短。
然而，於本實施形態之搬送裝置100中，如圖2(c)所示，制動部130以滑動構件110之姿勢不會變化的方式限制滑動構件110之移動。因此，可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
再者，於參照圖2之上述說明中，對滑動構件110停止或減速時之滑動構件110的姿勢進行了說明，但本實施形態不限於此。於搬送裝置100之速度增加之情況下，滑動構件110的姿勢發生變化，滑動構件110可能與軌道200接觸。例如，於停止中之搬送裝置100開始移動之情況或搬送裝置100加速之情況下，滑動構件110之姿勢發生變化，滑動構件110可能與軌道200接觸。於本實施形態之搬送裝置100中，由於制動部130抑制滑動構件110之姿勢變化，因此即使於滑動構件110之速度增加之情況下，也可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
以下，參照圖1及圖3，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖3(a)為本實施形態之搬送裝置100之示意性仰視圖。
如圖3(a)所示，氣體供給部220對氣體噴射部120供給氣體。氣體噴射部120藉由將自氣體供給部220供給的氣體對軌道200噴射，而可使氣體噴射部120不與軌道200接觸地於氣體噴射部120與軌道200之間形成間隙。
氣體噴射部120具有開口部122及連通路徑124。開口部122及連通路徑124設於滑動構件110。自氣體供給部220經由連通路徑124之氣體係自開口部122噴射。
其中，於滑動構件110之上部112之-Z方向側的主表面的+X方向側沿Y方向排列有三個開口部122，且於上部112之-Z方向側之主表面的-X方向側沿Y方向排列有三個開口部122。並且，於滑動構件110之第一側部114a之-X方向側的主表面沿Y方向排列有三個開口部122，且於第二側部114b之+X方向側之主表面沿Y方向排列有三個開口部122。連通路徑124連通開口部122。連通路徑124係設於滑動構件110之內部。
此外，於制動部130噴射氣體之情況下，氣體供給部220不僅對氣體噴射部120供給氣體而且亦可對制動部130供給氣體。儘管圖3(a)中未圖示，但也可於制動部130之-Z方向側之表面設置開口部，而制動部130自該開口部噴射氣體。
搬送裝置100包含上噴射部120a及側噴射部120b而作為氣體噴射部120。上噴射部120a設於滑動構件110之上部112，且朝向-Z方向對軌道200噴射氣體。側噴射部120b設於滑動構件110之第一側部114a及第二側部114b，且朝向-X方向或+X方向對軌道200噴射氣體。
圖3(b)及圖3(c)為搬送裝置100之示意性剖視圖。詳細而言，圖3(b)為自-X方向觀察+X方向時之搬送裝置100的示意性剖視圖，圖3(c)為自+X方向觀察-X方向時之搬送裝置100的示意性剖視圖。
如圖1及圖3(b)所示，於上部112之+Y方向側之側面配置有第一制動部130a。於第一側部114a設置有三個開口部122。由於自其等開口部122噴射氣體，因此可不使第一側部114a與軌道200之第一構件204a接觸地於第一側部114a與第一構件204a之間形成間隙。
如圖1及圖3(c)所示，於上部112之+Y方向側的側面配置有第二制動部130b。於第二側部114b設置有三個開口部122。由於自其等開口部122噴射氣體，因此可不使第二側部114b與軌道200之第二構件204b接觸地於第二側部114b與第二構件204b之間形成間隙。因此，搬送裝置100可不與軌道200接觸地以相同之姿勢沿軌道200移動。
再者，於圖1至圖3所示之搬送裝置100中，於滑動構件110之+Y方向側的側面設置有制動部130，但本實施形態不限於此。制動部130也可設於滑動構件110之-Y方向側之側面。或者，制動部130也可設於滑動構件110之+Y方向側的側面及-Y方向側的側面之雙方。
以下，參照圖1及圖4(a)，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖4(a)為本實施形態之搬送裝置100之示意性仰視圖。圖4(a)之搬送裝置100，除了於滑動構件110之+Y方向側及-Y方向側之雙方設置有制動部130之點外，具有與參照圖3說明之上述搬送裝置100相同之構成。因此，為了避免冗長而省略重複之說明。
如圖4(a)所示，搬送裝置100除了具備第一制動部130a及第二制動部130b作為制動部130外，還具備第三制動部130c及第四制動部130d作為制動部130。第一制動部130a及第二制動部130b設於滑動構件110之+Y方向側的側面。第一制動部130a位於滑動構件110之+X方向及+Y方向側，第二制動部130b位於滑動構件110之-X方向及+Y方向側。
此外，第三制動部130c及第四制動部130d設於滑動構件110之-Y方向側的側面。第三制動部130c位於滑動構件110之+X方向及-Y方向側，且第四制動部130d位於滑動構件110之-X方向及-Y方向側。
於本實施形態之搬送裝置100中，由於第一制動部130a及第二制動部130b設於滑動構件110之+Y方向側，因此，當朝+Y方向滑動之滑動構件110停止或減速時，可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。此外，由於第三制動部130c及第四制動部130d設於滑動構件110之-Y方向側，因此，當朝-Y方向滑動之滑動構件110停止或減速時，可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
再者，於本實施形態之搬送裝置100中，第一制動部130a至第四制動部130d噴射之氣體的噴射量，也可根據滑動構件110之運動而變化。例如，也可於滑動構件110朝+Y方向滑動之後滑動構件110停止或減速之情況下，使第一制動部130a及第二制動部130b開始氣體之噴射或增大氣體之噴射量，且使第三制動部130c及第四制動部130d停止氣體之噴射或減少氣體之噴射量。或者，也可於滑動構件110朝-Y方向滑動之後滑動構件110停止或減速之情況下，使第三制動部130c及第四制動部130d開始氣體之噴射或增大氣體之噴射量，且使第一制動部130a及第二制動部130b停止氣體之噴射或減少氣體之噴射量。
再者，於圖1至圖4(a)所示之搬送裝置100中，制動部130直接被安裝於滑動構件110，但本實施形態不限於此。制動部130也可經由其他構件而連結於滑動構件110。
以下，參照圖4(b)，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖4(b)為本實施形態之搬送裝置100之示意圖。再者，圖4(b)之搬送裝置100，除了於滑動構件110之+Y方向側及-Y方向側設置有制動部130並且更具備連結構件140之點外，具有與參照圖1及圖2說明之上述搬送裝置100相同的構成。因此，為了避免冗長而省略重複之說明。
圖4(b)顯示制動部130中之第一制動部130a及第三制動部130c。參照圖4(a)而如上述，第一制動部130a設於滑動構件110之+Y方向側的側面，第三制動部130c設於滑動構件110之-Y方向側的側面。其中，第一制動部130a及第三制動部130c具有相同的構成。
搬送裝置100除了具備滑動構件110、氣體噴射部120及制動部130外，還具備連結構件140。連結構件140連結滑動構件110與制動部130。連結構件140安裝於滑動構件110之側面。較佳為，連結構件140之至少一部分與滑動構件110成為一體，另一方面，制動部130係與滑動構件110為不同之構件。
連結構件140包含接觸部142、支撐部144及連接部146。接觸部142與滑動構件110之側面接觸。例如，接觸部142安裝於滑動構件110之側面。於一例中，接觸部142被螺固於滑動構件110的側面。
支撐部144自接觸部142沿滑動構件110之搬送方向延伸。例如，於將第一制動部130a連結於滑動構件110之連結構件140中，支撐部144自接觸部142朝+Y方向延伸。通常，接觸部142及支撐部144一體地形成。例如，接觸部142及支撐部144係由L字形之構件形成。
連接部146連接制動部130與支撐部144。例如，連接部146包含球體。球體之外周面為球狀。球體之內部可填充也可不填充。
當驅動制動部130時，較佳為，連接部146之球體被夾持並保持於制動部130與支撐部144之間。於此情況下，可抑制制動部130與支撐部144碰撞而變形或損壞。此外，於連接部146包含球體之情況下，較佳為，在與球體接觸之制動部130及支撐部144中的至少一者上設置有與球體對應之凹部。於此情況下，由於球體位於凹部內，因此，連接部146可於相同位置連接制動部130與支撐部144。
此外，如上述，氣體噴射部120與軌道200之間隙較窄。因此，較佳為，可高精度地調整制動部130與支撐部144之間的距離。
接著，參照圖5，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖5為搬送裝置100之示意性放大圖。圖5中，放大顯示搬送裝置100中之制動部130及連結構件140的附近。
連接部146包含球體146a及桿部146b。桿部146b按壓球體146a。其中，於制動部130之上面設置有凹部130s。球體146a嵌入制動部130之上面的凹部130s。凹部130s具有與球體146a對應的形狀。例如，凹部130s具有對應於圓錐側面之形狀。
桿部146b係一側之前端凹陷的圓柱形狀。於桿部146b之一側的前端設有凹部146s。凹部146s具有與球體146a對應之形狀。例如，凹部146s具有與圓錐側面對應的形狀。
於支撐部144設置有圓形的通孔，且桿部146b貫通支撐部144的通孔。桿部146b之外徑與支撐部144之通孔的口徑大致相等。
較佳為，支撐部144之通孔及桿部146b切出螺紋。於此情況下，藉由使桿部146b相對於支撐部144旋轉，桿部146b貫通支撐部144。藉此，可高精度地調整制動部130與支撐部144之間的距離。
參照圖1至圖5而如上述，於不僅由氣體噴射部120噴射氣體而且制動部130也噴射氣體之情況下，制動部130相對於軌道200而懸浮，並且滑動構件110、支撐部144及桿部146b也相對於軌道200懸浮。因此，球體146a於被夾持在制動部130與桿部146b之間的狀態下相對於軌道200而懸浮。於此情況下，當於維持氣體噴射部120之氣體噴射的狀態下停止制動部130之氣體噴射時，制動部130落下至與軌道200接觸，且球體146a也與制動部130一起落下。
再者，於滑動構件110進行滑動之情況下，氣體噴射部120與軌道200之間隙也可等於制動部130與軌道200之間隙。於此情況下，若停止氣體噴射部120及制動部130之氣體噴射，則球體146a仍維持被夾持於制動部130與桿部146b之間的狀態，滑動構件110、支撐部144及制動部130落下相同距離至與軌道200接觸為止。
再者，於本說明書中，有時將氣體噴射部120與軌道200之間隙(氣體噴射部120與軌道200之間的距離)稱為氣體噴射部120之空隙。此外，有時將制動部130與軌道200之間隙(距離)稱為制動部130之空隙。
如上述，制動部130藉由對軌道200噴射氣體而相對於軌道200懸浮。 再者，可根據制動部130之空隙而控制制動部130之懸浮力。此外，還可根據制動部130之構成，控制制動部130之懸浮力與空隙的對應關係。例如，即使圖3所示之氣體供給部220的氣體供給量恆定，藉由改變開口部122的大小、間隔及形狀等，仍可改變制動部130之空隙與懸浮力之關係。
以下，參照圖6，對本實施形態之搬送裝置100中之制動部130之懸浮力之變化進行說明。圖6(a)及圖6(b)為用以說明制動部130之懸浮力的變化之示意圖。再者，於圖6(a)及圖6(b)中，箭頭顯示制動部130之懸浮力的大小。
如圖6(a)所示，於制動部130之空隙La較大之情況下，較佳為，制動部130之懸浮力Fa較小。於滑動構件110可相對於軌道200平滑地滑動之情況下，制動部130之空隙La較大。於此情況下，制動部130之懸浮力Fa也可較小。
如圖6(b)所示，於制動部130之空隙Lb較小之情況下，較佳為，制動部130之懸浮力Fb較大。例如，於滑動構件110相對於軌道200停止或減速之情況下，制動部130之空隙Lb會變小。於此情況下，較佳為，制動部130之懸浮力Fb變大。藉此，當滑動構件110停止或減速時，可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
或者，於滑動構件110相對於軌道200而啟動或加速之情況下，制動部130之空隙會變小。於此情況下，較佳為，制動部130之懸浮力變大。藉此，當滑動構件110啟動或加速時，可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
例如，制動部130之懸浮力係根據制動部130與軌道200之間的距離而變化。此外，還可根據制動部130的構成而控制制動部130之空隙與懸浮力之對應關係。
以下，參照圖7，對本實施形態之搬送裝置100中之制動部130與軌道200之間的距離與制動部130之懸浮力之關係進行說明。圖7為顯示制動部130與軌道200之間的距離與制動部130之懸浮力之關係之曲線圖。
如圖7所示，隨著制動部130與軌道200之間的距離增加至一定程度則懸浮力增加，懸浮力達到峰值。另一方面，當制動部130與軌道200之間的距離進一步增大時，則懸浮力減小。如此，制動部130之懸浮力係根據制動部130與軌道200之間的距離(制動部130之空隙)而變化。
例如，於圖7之曲線圖中，當制動部130與軌道200之間的距離為5μm時，制動部130之懸浮力顯示最大值。於此情況下，若於滑動構件110之滑動時將制動部130與軌道200之間的距離預先設定為10μm，則制動部130於滑動時之懸浮力較小，另一方面，當滑動構件110停止或減速時，可增大制動部130之懸浮力。因此，當滑動構件110停止或減速時，可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
再者，當滑動構件110滑動時，制動部130與軌道200之間的距離，也可大於滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離。於此情況下，較佳為，制動部130之懸浮力為最大時之制動部130與軌道200之間的距離，等於滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離。
以下，參照圖8，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖8(a)及圖8(b)為用以說明搬送裝置100中之制動部130之懸浮力的變化之示意圖。
如圖8(a)所示，於滑動構件110相對於軌道200滑動之情況下，滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離為L2，且制動部130與軌道200之間的距離為L2。其中，制動部130之在距離L2時之懸浮力較弱。在此，於滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離為L2的情況下，滑動構件110或氣體噴射部120之懸浮力被設定為最大。
如圖8(b)所示，於滑動構件110相對於軌道200停止或減速之情況下，制動部130與軌道200之間的距離自L2變化為距離L1。其中，制動部130係以在距離L1時之懸浮力變得最強之方式設計。因此，若制動部130與軌道200之間的距離小於滑動時之距離L2，則制動部130之懸浮力增大。藉此，於滑動構件110停止或減速之情況下，可有效地抑制滑動構件110與軌道200之接觸。如上述，滑動構件110沿軌道200滑動時之制動部130與軌道200之間的距離，也可大於制動部130之懸浮力變為最大時之制動部130與軌道200之間的距離。
再者，參照圖8而如上述，於滑動構件110沿軌道200滑動之情況，制動部130與軌道200之間的距離，也可等於氣體噴射部120與軌道200之間的距離。此外，制動部130相對於軌道200之懸浮力成為最大時之制動部130與軌道200之間的距離，也可小於滑動構件110沿軌道200滑動時之氣體噴射部120與軌道200之間的距離。再者，當滑動構件110滑動時，制動部130與軌道200之間的距離，也可大於滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離。
以下，參照圖9，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖9(a)及圖9(b)為用以說明本實施形態之搬送裝置100中之制動部130之懸浮力的變化之示意圖。
如圖9(a)所示，於滑動構件110相對於軌道200滑動之情況下，滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離為L1，且制動部130與軌道200之間的距離為L2。距離L2大於距離L1。
如圖9(b)所示，於滑動構件110相對於軌道200停止或減速之情況下，制動部130與軌道200之間的距離自L2變化為距離L1。距離L1小於距離L2。其中，制動部130係以在距離L1時之懸浮力變得最強之方式設計。因此，當制動部130與軌道200之間的距離小於滑動時之距離L2時，制動部130之懸浮力增大。藉此，於滑動構件110停止或減速之情況下，可有效地抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
如此，當滑動構件110滑動時，制動部130與軌道200之間的距離，也可大於滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離。於此情況下，較佳為，制動部130之懸浮力成為最大時之制動部130與軌道200之間的距離，等同於滑動時之滑動構件110或氣體噴射部120與軌道200之間的距離。
再者，於圖3及圖4所示之搬送裝置100中，於滑動構件110之平坦的內周面設置有氣體噴射部120之開口部122，但本實施形態不限於此。開口部122也可被突起部及/或凹陷部包圍。
以下，參照圖1及圖10，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。 圖10(a)為本實施形態之搬送裝置100的示意性仰視圖。
滑動構件110之內周面具有平坦部110f、突起部110p及凹陷部110q。突起部110p位於開口部122之周圍，且呈環狀圍繞開口部122。在此，當自正面觀察滑動構件110之內周面時，突起部110p為正方形外緣。凹陷部110q被突起部110p包圍，且於凹陷部110q設置有沿X方向及Y方向之溝。於凹陷部110q之中央設有開口部122。
本實施形態之搬送裝置100，具備上噴射部120a及側噴射部120b作為氣體噴射部120。其中，於+X方向側沿Y方向排列有三個上噴射部120a，且於-X方向側沿Y方向排列有三個上噴射部120a。
於+X方向側沿Y方向排列有三個側噴射部120b，且於-X方向側沿Y方向排列有三個側噴射部120b。再者，沿Y方向排列之側噴射部120b之周圍的突起部110p的高度皆大致相等。
其中，搬送裝置100除了具備第一制動部130a及第二制動部130b作為制動部130外，還具備第三制動部130c及第四制動部130d作為制動部130。第一制動部130a至第四制動部130d係圓柱狀或長方體形狀。
例如，第一制動部130a至第四制動部130d包含金屬構件。於一例中，第一制動部130a至第四制動部130d包含不鏽鋼。於第一制動部130a至第四制動部130d之每個皆設有複數個開口部。或者，也可於第一制動部130a至第四制動部130d之-Z方向的底面中央設置一個開口部，且於第一制動部130a至第四制動部130d之-Z方向的底面安裝覆蓋底面之多孔構件。
氣體供給部220將氣體供給至氣體噴射部120及第一制動部130a至第四制動部130d。藉由氣體噴射部120將自氣體供給部220供給之氣體對軌道200噴射，氣體噴射部120不與軌道200接觸地於氣體噴射部120與軌道200之間形成間隙。
此外，第一制動部130a至第四制動部130d將自氣體供給部220供給之氣體對軌道200噴射。藉此，第一制動部130a至第四制動部130d以抑制滑動構件110之姿勢變化的方式限制滑動構件110的運動，從而可抑制滑動構件110與軌道200之接觸。
其中，於氣體供給部220與氣體噴射部120及第一制動部130a至第四制動部130d之間設有壓力調節器222。藉由壓力調節器222，可調整自氣體供給部220供給至氣體噴射部120及第一制動部130a至第四制動部130d的氣體之量。
圖10(b)及圖10(c)為本實施形態之搬送裝置100的示意性剖視圖。圖10(b)為自-X方向觀察+X方向時之搬送裝置100的示意性剖視圖，圖10(c)為自+X方向觀察-X方向時之搬送裝置100的示意性剖視圖。
如圖10(b)及圖10(c)所示，沿Y方向排列之上噴射部120a之開口部122周圍的突起部110p之高度恆定。
再者，參照圖1至圖10而如上述說明，滑動構件110自上方及側面覆蓋軌道200之第一構件204a及第二構件204b，但本實施形態不限於此。滑動構件110也可不僅自上方及側面覆蓋而且自下方覆蓋軌道200之第一構件204a及第二構件204b。
以下，參照圖11，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖11為本實施形態之搬送裝置100的示意性立體圖。圖11所示之搬送裝置100除了滑動構件110還具有第一下部116a及第二下部116b之點外，具有與參照圖1而如上述之搬送裝置100相同的構成。因此，為了避免冗長而省略重複之說明。
如圖11所示，滑動構件110自上方、側面及下方覆蓋軌道200之第一構件204a及第二構件204b。軌道200之第一構件204a被滑動構件110自上方、+X方向側及下方覆蓋。此外，軌道200之第二構件204b被滑動構件110自上方、-X方向側及下方覆蓋。
滑動構件110除了具有上部112、第一側部114a及第二側部114b外，還具有第一下部116a及第二下部116b。第一下部116a配置於第一側部114a之-Z方向側，且與第一側部114a連結。第二下部116b配置於第二側部114b之-Z方向側，且與第二側部114b連結。
如此，滑動構件110自上方、側面及下方覆蓋軌道200之第一構件204a，且自上方、側面及下方覆蓋軌道200之第二構件204b。因此，可高精度地控制滑動構件110的位置。
此外，參照圖1至圖11而如上述說明中，氣體噴射部120朝-Z方向、-X方向及+X方向對軌道200噴射氣體，但本實施形態不限於此。氣體噴射部120不僅可朝-Z方向、-X方向及+X方向噴射氣體，而且還可朝+Z方向噴射氣體。
以下，參照圖12，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖12(a)為本實施形態之搬送裝置100的示意性XZ剖視圖，圖12(b)為本實施形態之搬送裝置100的示意性YZ剖視圖。
如圖12(a)及圖12(b)所示，搬送裝置100具備上噴射部120a、側噴射部120b及下噴射部120c作為氣體噴射部120。上噴射部120a設於滑動構件110之上部112，且朝-Z方向對軌道200之第一構件204a及第二構件204b噴射氣體。
側噴射部120b設於滑動構件110之第一側部114a及第二側部114b，且朝-X方向或+X方向對軌道200之第一構件204a及第二構件204b噴射氣體。此外，下噴射部120c設於第一下部116a及第二下部116b，且朝+Z方向對軌道200之第一構件204a及第二構件204b噴射氣體。
如此，上噴射部120a及側噴射部120b自軌道200之上方及側面噴射氣體，並且下噴射部120c自軌道200的下方噴射氣體，因此，可高精度地控制滑動構件110之在滑動時相對於軌道200的位置。
更詳細而言，於+X方向側沿Y方向設置有三個上噴射部120a，且於-X方向側沿Y方向設置三個上噴射部120a。於+X方向側沿Y方向設置有三個側噴射部120b，且於-X方向側沿Y方向設置有三個側噴射部120b。此外，於+X方向側沿Y方向設置三個下噴射部120c，且於-X方向側沿Y方向設置有三個下噴射部120c。
設於+X方向側之三個上噴射部120a係設於+Y方向側、中央及-Y方向側。設於+X方向側之三個下噴射部120c係設於+Y方向側、中央及-Y方向側。+Y方向側、中央及-Y方向側之下噴射部120c係隔著軌道200之第一構件204a而與三個上噴射部120a對向。
此外，設於-X方向側之三個上噴射部120a係設於+Y方向側、中央及-Y方向側。設於-X方向側之三個下噴射部120c係設於+Y方向側、中央及-Y方向側。
滑動構件110之驅動機構也可設於滑動構件110與軌道200之間。例如，滑動構件110之驅動機構也可為線性馬達。
以下，參照圖13，對本實施形態之搬送裝置100進行說明。圖13為本實施形態之搬送裝置100的示意圖。圖13所示之搬送裝置100除了具備配置於滑動構件110與軌道200之間的驅動部150之點外，具有與參照圖1而如上述之搬送裝置100相同的構成。因此，為了避免冗長而省略重複之說明。
如圖13所示，於本實施形態之搬送裝置100中，驅動部150係設於滑動構件110與軌道200之間。驅動部150係以滑動構件110沿軌道200移動之方式驅動滑動構件110。
驅動部150具有動子152及定子154。動子152安裝於滑動構件110之上部112。詳細而言，動子152係於滑動構件110之上部112的-Z方向側之主表面上沿Y方向安裝於X方向的中央。動子152包含線圈。
定子154配置於軌道200之基台202之上部。定子154朝Y方向延伸。於XZ截面圖上，定子154具有U字形。定子154包含磁體。較佳為使用釹磁鐵作為磁鐵。
動子152及定子154係以動子152之前端進入定子154之開口部內的方式配置。當電流流至動子152時，藉由自動子152產生之磁通與定子154之間的吸引作用及排斥作用，對動子152施加力。因此，可使安裝有動子152之滑動構件110相對於軌道200滑動。
如上述，本實施形態之搬送裝置100可搬送各種各樣之構件。尤其是，由於搬送裝置100藉由氣體噴射部120而相對於軌道200平滑地移動，因此可適合搬送不宜振動的構件。例如，搬送裝置100適合使用於基板之搬送。尤其是，由於搬送裝置100具備氣體噴射部120，因此即使於搬送期間也可一面抑制振動之影響一面適當地執行操作。搬送裝置100適合應用於對半導體基板等之基板進行曝光的曝光裝置。
以下，參照圖14，對具備本實施形態之搬送裝置100之曝光裝置300進行說明。圖14(a)為具備本實施形態之搬送裝置100的曝光裝置300之示意性側視圖，圖14(b)為曝光裝置300之示意性俯視圖。
其中，曝光裝置300對基板W進行曝光處理。曝光裝置300朝基板W之上面根據CAD(Computer Aided Design，電腦輔助設計)資料等而照射經空間調變的光，對圖案(例如電路圖案)進行曝光(描繪)。搬送裝置100搬送曝光前或曝光後之基板W。
於基板W上形成有光阻等感光材料之層。基板W例如為半導體基板、印刷電路基板、液晶顯示裝置等具備之彩色濾光片用基板、液晶顯示裝置或電漿顯示裝置等具備之平板顯示器用玻璃基板、磁碟用基板、光碟用基板、太陽能電池用面板等。例如，基板W係薄的圓形形狀。
曝光裝置300具備基台310、支撐框架320、保持部330、工件台驅動部340、曝光部350及攝影部360。基台310朝Y方向延伸。基台310直接或間接地支撐支撐框架320、保持部330、工件台驅動部340、曝光部350及攝影部360。
支撐框架320設於基台310上。支撐框架320係門狀且支撐曝光部350。具體而言，支撐框架320具有複數個柱及由柱支撐之中空狀的箱部。 曝光部350配置於箱部的內部。
保持部330包含保持基板W之工件台。保持部330配置於基台310上。例如，保持部330具有平板狀之外形，且於其上面以水平姿勢載置且保持基板W。於保持部330之上面設有複數個吸引孔(省略圖示)，藉由於吸引孔形成負壓(吸引壓力)，而可將載置於保持部330上之基板W保持在保持部330的上面。
工件台驅動部340使保持部330相對於基台310移動。工件台驅動部340包含旋轉構件342、搬送裝置100、軌道200、搬送裝置100A及軌道200A。
旋轉構件342使保持基板W之保持部330朝旋轉方向(以Z方向為旋轉軸的旋轉方向)旋轉。搬送裝置100及搬送裝置100A搬送保持基板W的保持部330。搬送裝置100朝Y方向搬送保持部330。搬送裝置100A朝X方向搬送保持部330。工件台驅動部340配置於基台310上。
搬送裝置100配置於基台310上。搬送裝置100可朝Y方向(主掃描方向)移動。搬送裝置100A配置於搬送裝置100上。搬送裝置100A可朝X方向(副掃描方向)移動。旋轉構件342配置於搬送裝置100A上。
旋轉構件342以旋轉軸A為中心進行旋轉，該旋轉軸A通過保持部330之上面(基板W之載置面)的中心且垂直於基板W之載置面。旋轉構件342包含旋轉軸部342a及旋轉驅動部342b。旋轉軸部342a例如將上端固定於載置面之背面側，且沿鉛垂軸延伸。旋轉驅動部342b設於旋轉軸部342a之下端，且使旋轉軸部342a旋轉。旋轉驅動部342b包含旋轉馬達。藉由旋轉驅動部342b使旋轉軸部342a旋轉，保持部330在水平面內以旋轉軸A為中心進行旋轉。
搬送裝置100A具備滑動構件110A、滾珠軸承120A及驅動部150A。滑動構件110A隔著旋轉構件342而支撐保持部330。滑動構件110A沿一對軌道200A滑動。
搬送裝置100具備滑動構件110、氣體噴射部120、制動部130及驅動部150。滑動構件110支撐搬送裝置100A。作為制動部130，除了第一制動部130a及第二制動部130b外，還設有第三制動部130c及第四制動部130d。
一對軌道200A係於滑動構件110之上面沿X方向延伸。於各軌道200A與滑動構件110A之間設置有滾珠軸承120A。滑動構件110A隔著滾珠軸承120A而被支撐在一對軌道200A上。滑動構件110A可一面於軌道200A上滑動一面沿軌道200A移動。
驅動部150A包含線性馬達。線性馬達具有動子及定子。動子安裝於滑動構件110A的下面。定子配置於滑動構件110的上面。當驅動驅動部150A時，滑動構件110A沿軌道200A而沿著X方向平滑地移動。
此外，於基台310上配置有一對軌道200。軌道200分別朝Y方向延伸。於滑動構件110與軌道200之間設有氣體噴射部120。空氣自外部之氣體供給部經常地供給於氣體噴射部120，藉由氣體噴射部120使滑動構件110以非接觸方式懸浮支撐於軌道200上。
驅動部150包含線性馬達。線性馬達具有動子及定子。動子安裝於滑動構件110之下面。定子配置於基台310上。當驅動驅動部150時，滑動構件110沿軌道200而沿著Y方向平滑地移動。
曝光部350將光照射於基板W上而描繪圖案。其中，曝光裝置300具備2個曝光部350。惟，曝光部350之搭載數量不必一定為2個，也可為一個或三個以上。
攝影部360包含對基板W進行攝影之光學裝置。攝影部360對保持於保持部330之基板W的上面進行攝影。攝影部360由支撐框架320支撐。
攝影部360例如具備鏡筒、聚焦透鏡、CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合器件)影像感測器及驅動部。鏡筒經由光纖電纜等而與配置於曝光裝置300之框體外部之照明單元(即、供給攝影用之照明光(惟，選擇不會使基板W上之光阻等感光之波長的光作為照明光)之照明單元)連接。CCD影像感測器係由區域影像感測器(二維影像感測器)等構成。此外，驅動部由馬達等構成，且驅動聚焦透鏡以改變其高度位置。驅動部調整聚焦透鏡之高度位置，藉此以進行自動聚焦。
於攝影部360中，自外部之照明單元出射的光被導入鏡筒，且經由聚焦透鏡被導引至保持部330上之基板W的上面。然後，由CCD影像感測器接收其反射光。藉此，獲得基板W之上面的攝影資料。該攝影資料係利用於基板W之對準(定位)。
於曝光動作時，曝光裝置300一面藉由搬送裝置100使保持基板W之保持部330朝+Y方向移動一面計測保持部330的位置，且曝光部350於期望之時間點切換照射於基板W的光，藉此於基板W上形成圖案。當Y方向的移動結束時，搬送裝置100A使基板W朝X方向移動相當於曝光光束寬度之步長，然後，搬送裝置100使保持基板W之保持部330朝-Y方向移動。藉由重複此過程，於基板W之整個表面形成圖案。
於本實施形態之曝光裝置300中，搬送裝置100一面對軌道200噴射氣體一面朝Y方向搬送基板W。因此，可抑制相對於基板W的振動，且可抑制曝光部350利用光在基板W上形成圖案時的曝光偏差。尤其是，即使基板W之直徑為300mm以上，搬送裝置100也可以低振動高精度地搬送基板W。此外，於本實施形態之曝光裝置300中，搬送裝置100A藉由滾珠軸承120A而朝X方向搬送基板W。因此，可確實將移動既定距離後之基板W停止。
再者，於參照圖14而如上述之曝光裝置300中，基板W隔著滾珠軸承120A而於X方向上搬送，但本實施形態不限於此。不僅是朝Y方向搬送基板W之搬送裝置100，連朝X方向搬送基板W之搬送裝置100A，皆可於滑動構件110、110A設置氣體噴射部及制動部。
以上，參照附圖對本發明之實施形態進行了說明。惟，本發明不限於上述實施形態，於不超出本發明之主旨的範圍內可於各種之態樣中實施。此外，藉由適宜組合上述實施形態中揭示之複數個構成要素，而可形成各種各樣之發明。例如，也可自實施形態所示之全部構成要素中刪除幾個構成要素。並且，也可適宜組合不同之實施形態的構成要素。附圖中為了容易理解，主體上示意性地顯示各構成要素，且為了製圖上之方便，附圖所示之各構成要素之厚度、長度、數量、間隔等亦可能與實際情況有所不同。此外，上述實施形態所示之各構成要素之材質、形狀、尺寸等僅為一例而已，無特別限制，只要於實質上不超出本發明之功效的範圍內，可進行各種各樣之變更。
例如，於上述說明中，制動部130對軌道200噴射氣體，但本實施形態不限於此。制動部130也可利用磁力對滑動構件110加以制動。例如，制動部130可藉由制動部130與軌道200之間的磁力產生之相互作用來對滑動構件110加以制動。 (產業上之可利用性)
本發明適合應用於搬送裝置及搬送方法。此外，本發明尤其適合應用於曝光裝置。
100、100A:搬送裝置 110、110A:滑動構件 110f:平坦部 110p:突起部 110q:凹陷部 112:上部 114a:第一側部 114b:第二側部 116a:第一下部 116b:第二下部 120:氣體噴射部 120a:上噴射部 120b:側噴射部 120c:下噴射部 120A:滾珠軸承 122:開口部 124:連通路徑 130:制動部 130a:第一制動部 130b:第二制動部 130c:第三制動部 130d:第四制動部 130s:凹部 140:連結構件 142:接觸部 144:支撐部 146:連接部 146a:球體 146b:桿部 146s:凹部 150、150A:驅動部 152:動子 154:定子 200、200A:軌道 202:基台 204a:第一構件 204b:第二構件 210:平台 220:氣體供給部 222:壓力調節器 300:曝光裝置 310:基台 320:支撐框架 330:保持部 340:工件台驅動部 342:旋轉構件 342a:旋轉軸部 342b:旋轉驅動部 350:曝光部 360:攝影部 A:旋轉軸 Fa、Fb:懸浮力 L1、L2:距離 La、Lb:間隙 W:基板
圖1為本實施形態之搬送裝置之示意性立體圖。 圖2(a)至(c)為用以說明本實施形態之搬送裝置之搬送方法的示意圖。 圖3(a)為本實施形態之搬送裝置之示意性仰視圖，(b)及(c)為本實施形態之搬送裝置之示意性剖視圖。 圖4(a)為本實施形態之搬送裝置之示意性仰視圖，(b)為本實施形態之搬送裝置之示意圖。 圖5為本實施形態之搬送裝置之示意性放大圖。 圖6(a)及(b)為用以說明本實施形態之搬送裝置中之制動部之懸浮力之變化的示意圖。 圖7為顯示制動部與軌道之間的距離與制動部之懸浮力的關係之曲線圖。 圖8(a)及(b)為用以說明本實施形態之搬送裝置中之制動部之懸浮力之變化的示意圖。 圖9(a)及(b)為用以說明本實施形態之搬送裝置中之制動部之懸浮力之變化的示意圖。 圖10(a)為本實施形態之搬送裝置之示意性仰視圖，(b)及(c)為本實施形態之搬送裝置之示意性剖視圖。 圖11為本實施形態之搬送裝置之示意性立體圖。 圖12(a)為本實施形態之搬送裝置之示意性XZ剖視圖，(b)為本實施形態之搬送裝置之示意性YZ剖視圖。 圖13為本實施形態之搬送裝置之示意圖。 圖14(a)為具備本實施形態之搬送裝置之曝光裝置之示意性側視圖，(b)為曝光裝置之示意性俯視圖。
100:搬送裝置
110:滑動構件
112:上部
114a:第一側部
114b:第二側部
120:氣體噴射部
130:制動部
130a:第一制動部
130b:第二制動部
200:軌道
202:基台
204a:第一構件
204b:第二構件
210:平台

Claims (10)

  1. 一種搬送裝置，係可沿軌道移動者；其具備：滑動構件，其朝搬送方向沿上述軌道滑動；氣體噴射部，其位於上述滑動構件與上述軌道之間，且對上述軌道噴射氣體；制動部，其設於上述滑動構件之搬送方向的一側之側面，對上述軌道噴射氣體而相對於上述軌道懸浮；及連結部，其連結上述滑動構件之上述一側之側面與上述制動部；上述連結部包含：接觸部，其安裝於上述滑動構件之上述一側之側面；支撐部，其自上述接觸部沿上述滑動構件之搬送方向延伸；及連接部，其連接上述制動部與上述支撐部；抑制上述滑動構件與上述軌道之接觸。
  2. 如請求項1之搬送裝置，其中，自上述制動部噴射之上述氣體之噴射量發生變化。
  3. 如請求項1之搬送裝置，其中，上述連接部包含與上述制動部接觸之球體。
  4. 如請求項3之搬送裝置，其中，上述連接部還包含桿部，該桿部被支撐於上述支撐部且按壓上述球體。
  5. 如請求項1之搬送裝置，其中，還具備驅動部，該驅動部以上述滑動構件沿上述軌道移動之方式驅動上述滑動構件。
  6. 如請求項1之搬送裝置，其中，上述滑動構件具有與上述軌道對向之內周面、及包含上述一側之側面的外周面，上述氣體噴射部配置於上述滑動構件之內周面。
  7. 一種搬送裝置，係可沿軌道移動者；其具備：滑動構件，其朝搬送方向沿上述軌道滑動；氣體噴射部，其位於上述滑動構件與上述軌道之間，且對上述軌道噴射氣體；及制動部，其設於上述滑動構件之搬送方向的一側之側面，對上述軌道噴射氣體而相對於上述軌道懸浮；上述滑動構件沿上述軌道滑動時之上述制動部與上述軌道之間的距離，大於上述制動部之相對於上述軌道之懸浮力為最大時的上述制動部與上述軌道之間的距離，抑制上述滑動構件與上述軌道之接觸。
  8. 一種搬送裝置，係可沿軌道移動者；其具備：滑動構件，其朝搬送方向沿上述軌道滑動；氣體噴射部，其位於上述滑動構件與上述軌道之間，且對上述軌道噴射氣體；及制動部，其設於上述滑動構件之搬送方向的一側之側面，對上述軌道噴射氣體而相對於上述軌道懸浮；於上述滑動構件沿上述軌道滑動之情況，上述制動部與上述軌道之間的距離，大於上述氣體噴射部與上述軌道之間的距離，抑制上述滑動構件與上述軌道之接觸。
  9. 一種搬送裝置，係可沿軌道移動者；其具備：滑動構件，其朝搬送方向沿上述軌道滑動；氣體噴射部，其位於上述滑動構件與上述軌道之間，且對上述軌道噴射氣體；及制動部，其設於上述滑動構件之搬送方向的一側之側面，對上述軌道噴射氣體而相對於上述軌道懸浮；上述制動部之相對於上述軌道之懸浮力為最大時的上述制動部與上述軌道之間的距離，小於上述滑動構件沿上述軌道滑動時之上述氣體噴射部與上述軌道之間的距離，抑制上述滑動構件與上述軌道之接觸。
  10. 一種曝光裝置，其具備：請求項1至9中任一項之搬送裝置，其搬送基板；及曝光部，其對被上述搬送裝置搬送之基板進行曝光。
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