JP2020123689A - 搬送装置、露光装置および搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スライド部材とレールとの接触を抑制可能な搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置（１００）は、レール（２００）に沿って移動可能である。搬送装置（１００）は、スライド部材（１１０）と、気体噴出部（１２０）と、制動部（１３０）とを備える。スライド部材（１１０）は、レール（２００）に沿って搬送方向にスライドする。気体噴出部（１２０）は、スライド部材（１１０）とレール（２００）との間に位置し、レール（２００）に気体を噴出する。制動部（１３０）は、スライド部材（１１０）の搬送方向の一方側の側面に設けられる。【選択図】図１

Description

本発明は、搬送装置、露光装置および搬送方法に関する。

レールに対して空気（エア）などの気体を噴出して浮上してレールに沿ってスライドすることで部材を搬送する搬送装置が知られている。このような搬送装置は、エアベアリングとも呼ばれる。このような搬送装置は、部材を滑らかに搬送できるため、露光処理する基板を搬送するために用いられる（特許文献１参照）。特許文献１の移動体装置は、エアを噴出して浮上装置を浮上させたうえで浮上装置の上に載置された基板を所定の方向に搬送する。

特開２０１２−６０１１７号公報

しかしながら、特許文献１の移動体装置では、スライド部材の速度が変化する際に、スライド部材がガイド部材（レール）と接触するおそれがあった。特に、近年、基板の大型化が進行しており、処理速度の向上のために、スライド部材がレール上を高速でスライドすることが要望されている。この場合、スライド部材の速度が変化する際にスライド部材がレールと接触するおそれがある。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、スライド部材とレールとの接触を抑制可能な搬送装置、露光装置および搬送方法を提供することにある。

本発明の一局面によれば、搬送装置は、レールに沿って移動可能である。前記搬送装置は、スライド部材と、気体噴出部と、制動部とを備える。前記スライド部材は、前記レールに沿って搬送方向にスライドする。前記気体噴出部は、前記スライド部材と前記レールとの間に位置し、前記レールに気体を噴出する。前記制動部は、前記スライド部材の搬送方向の一方側の側面に設けられる。

本発明の搬送装置において、前記制動部は、前記レールに気体を噴出して前記レールに対して浮上する。

本発明の搬送装置において、前記スライド部材が前記レールに沿ってスライドする際の前記制動部と前記レールとの間の距離は、前記レールに対する前記制動部の浮上力が最大となる前記制動部と前記レールとの間の距離よりも長い。

本発明の搬送装置において、前記スライド部材が前記レールに沿ってスライドする場合、前記制動部と前記レールとの間の距離は、前記気体噴出部と前記レールとの間の距離よりも長い。

本発明の搬送装置において、前記レールに対する前記制動部の浮上力が最大となる前記制動部と前記レールとの間の距離は、前記スライド部材が前記レールに沿ってスライドする際の前記気体噴出部と前記レールとの間の距離よりも短い。

本発明の搬送装置において、前記制動部から噴出される前記気体の噴出量が変化する。

本発明の搬送装置において、前記搬送装置は、前記スライド部材の前記一方側の側面と前記制動部とを連結する連結部をさらに備える。

本発明の搬送装置において、前記連結部は、前記スライド部材の前記一方側の側面に取り付けられた接触部と、前記接触部から前記スライド部材の搬送方向に沿って延びる支持部と、前記制動部と前記支持部とを接続する接続部とを含む。

本発明の搬送装置において、前記接続部は、前記制動部と接触する球体を含む。

本発明の搬送装置において、前記接続部は、前記支持部に支持され、前記球体を押圧するロッド部をさらに含む。

本発明の搬送装置において、前記搬送装置は、前記スライド部材が前記レールに沿って移動するように前記スライド部材を駆動する駆動部をさらに備える。

本発明の搬送装置において、前記スライド部材は、前記レールに対向する内周面と、前記一方側の側面を含む外周面とを有し、前記気体噴出部は、前記スライド部材の内周面に配置される。

本発明の他の局面によれば、露光装置は、基板を搬送する、上記に記載の搬送装置と、前記搬送装置に搬送された基板を露光する露光部とを備える。

本発明のさらに他の局面によれば、搬送方法は、レールに気体を噴出しながらスライド部材が前記レールに沿って搬送方向にスライドする工程と、前記スライド部材の搬送方向の一方側の側面に設けられた制動部によって前記スライド部材を制動する工程とを包含する。

本発明の搬送方法において、前記制動する工程において、前記制動部から噴出される前記気体の噴出量が変化する。

本発明によれば、スライド部材とレールとの接触を抑制できる。

本実施形態の搬送装置の模式的な斜視図である。 （ａ）〜（ｃ）は本実施形態の搬送装置による搬送方法を説明するための模式図である。 （ａ）は本実施形態の搬送装置の模式的な底面図であり、（ｂ）および（ｃ）は本実施形態の搬送装置の模式的な断面図である。 （ａ）は本実施形態の搬送装置の模式的な底面図であり、（ｂ）は本実施形態の搬送装置の模式図である。 本実施形態の搬送装置の模式的な拡大図である。 （ａ）および（ｂ）は本実施形態の搬送装置における制動部の浮上力の変化を説明するための模式図である。 制動部とレールとの間の距離と制動部の浮上力との関係を示すグラフである。 （ａ）および（ｂ）は本実施形態の搬送装置における制動部の浮上力の変化を説明するための模式図である。 （ａ）および（ｂ）は本実施形態の搬送装置における制動部の浮上力の変化を説明するための模式図である。 （ａ）は本実施形態の搬送装置の模式的な底面図であり、（ｂ）および（ｃ）は本実施形態の搬送装置の模式的な断面図である。 本実施形態の搬送装置の模式的な斜視図である。 （ａ）は本実施形態の搬送装置の模式的なＸＺ断面図であり、（ｂ）は本実施形態の搬送装置の模式的なＹＺ断面図である。 本実施形態の搬送装置の模式図である。 （ａ）は本実施形態の搬送装置を備えた露光装置の模式的な側面図であり、（ｂ）は露光装置の模式的な平面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、図中、同一または相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。なお、本願明細書では、発明の理解を容易にするため、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向を記載することがある。典型的には、Ｘ方向およびＹ方向は水平方向に平行であり、Ｚ方向は鉛直方向に平行である。

図１を参照して、本発明による搬送装置の実施形態を説明する。図１は、本実施形態の搬送装置１００の模式的な斜視図である。搬送装置１００は、搬送対象物を搬送するために用いられる。搬送装置１００は、レール２００に沿って移動する。ここでは、レール２００は、Ｙ方向に沿って延びる。例えば、レール２００は、定盤２１０の上に配置される。

搬送装置１００は、スライド部材１１０と、気体噴出部１２０と、制動部１３０とを備える。スライド部材１１０は、レール２００に取り付けられる。

スライド部材１１０は、レール２００に沿って搬送方向にスライドする。スライド部材１１０は、搬送対象物を載置した状態でスライドする。ここでは、スライド部材１１０は、レール２００に沿って＋Ｙ方向にスライドする。また、スライド部材１１０は、レール２００に沿って−Ｙ方向にスライド可能であってもよい。

例えば、スライド部材１１０は、石を加工することによって作製される。一例では、スライド部材１１０は、グラナイトの加工によって作製される。

気体噴出部１２０は、スライド部材１１０とレール２００との間に位置する。気体噴出部１２０は、スライド部材１１０の内周面に設けられる。気体噴出部１２０は、レール２００に気体を噴出する。典型的には、気体噴出部１２０がレール２００に気体を噴出することにより、気体噴出部１２０とともにスライド部材１１０がレール２００に対して浮上し、スライド部材１１０および気体噴出部１２０とレール２００との間に隙間が形成される。

例えば、気体噴出部１２０とレール２００との隙間は３μｍ以上１５μｍ以下である。また、気体噴出部１２０とレール２００との隙間は５μｍ以上１０μｍ以下であってもよい。気体噴出部１２０が気体を噴出することにより、スライド部材１１０がレール２００に沿ってスライドする際に、スライド部材１１０は、レール２００と接触することなくレール２００に対して滑らかにスライドできる。

制動部１３０は、スライド部材１１０の外周面に設けられる。詳細には、制動部１３０は、スライド部材１１０の搬送方向の一方側の側面に設けられる。ここでは、制動部１３０はスライド部材１１０の＋Ｙ方向側の側面に設けられる。

スライド部材１１０がレール２００に沿ってスライドした後でスライド部材１１０が停止または減速する場合、慣性により、スライド部材１１０がレール２００と接触するおそれがある。しかしながら、本実施形態の搬送装置１００では、制動部１３０が、スライド部材１１０の姿勢が変化しないようにスライド部材１１０の動きを制限する。このため、制動部１３０により、スライド部材１１０の動きの変化に起因してスライド部材１１０がレール２００と接触することを抑制できる。

あるいは、スライド部材１１０が発進または加速する場合、慣性により、スライド部材１１０がレール２００と接触するおそれがある。しかしながら、本実施形態の搬送装置１００では、制動部１３０が、スライド部材１１０の姿勢が変化しないようにスライド部材１１０の動きを制限する。このため、制動部１３０により、スライド部材１１０の動きの変化に起因してスライド部材１１０がレール２００と接触することを抑制できる。

例えば、制動部１３０は、レール２００に気体を噴出してもよい。この場合、制動部１３０は、レール２００に対して浮上する。例えば、スライド部材１１０の＋Ｙ方向側の側面に設けられた制動部１３０がレール２００に気体を噴出することにより、＋Ｙ方向にスライドしたスライド部材１１０が停止または減速する場合でも、スライド部材１１０がレール２００と接触することを抑制できる。

なお、制動部１３０が気体を噴出する場合、制動部１３０による気体の噴出量は、スライド部材１１０の動きに応じて変化してもよい。例えば、スライド部材１１０が搬送方向にスライドする場合には、制動部１３０は気体を噴出しない一方で、スライド部材１１０が停止または減速する場合、制動部１３０は気体を噴出してもよい。あるいは、スライド部材１１０が搬送方向にスライドする場合には、制動部１３０による気体の噴出量は少ない一方で、スライド部材１１０が停止または減速する際に、制動部１３０による気体の噴出量は増大してもよい。さらに、スライド部材１１０が完全に停止すると、制動部１３０による気体の噴出量はゼロにまで減少してもよい。

スライド部材１１０は、上部１１２と、第１側部１１４ａと、第２側部１１４ｂとを有する。典型的には、上部１１２の上面は平坦である。搬送装置１００が搬送対象物を搬送する場合、搬送対象物は上部１１２の上面に載置される。

上部１１２は、略直方体形状である。上部１１２は、＋Ｚ方向側の主面と、−Ｚ方向側の主面とを有する。上部１１２は、レール２００の上面に配置される。上部１１２の−Ｚ方向側の主面は、レール２００の上面と対向する。

第１側部１１４ａは、略直方体形状であり、上部１１２の−Ｚ方向側の主面において＋Ｘ方向側に位置する。第１側部１１４ａは、上部１１２と連結する。第１側部１１４ａは、レール２００の側面に沿って配置され、レール２００の側面と対向する。

第２側部１１４ｂは、略直方体形状であり、上部１１２の−Ｚ方向側の主面において−Ｘ方向側に位置する。第２側部１１４ｂは、上部１１２と連結する。第２側部１１４ｂは、レール２００の側面に沿って配置され、レール２００の側面と対向する。

ここでは、制動部１３０は、上部１１２の＋Ｙ方向側の側面に配置される。また、制動部１３０として第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂが設けられている。第１制動部１３０ａは、スライド部材１１０の＋Ｘ方向側に設けられており、第２制動部１３０ｂは、スライド部材１１０の−Ｘ方向側に設けられている。

レール２００は、基台２０２と、第１部材２０４ａと、第２部材２０４ｂとを含む。基台２０２、第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂは、互いに平行に延びる。ここでは、基台２０２、第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂは、Ｙ方向に沿って延びる。基台２０２は、定盤２１０の上面に載置される。

第１部材２０４ａは、基台２０２の上部の＋Ｘ方向側に位置し、基台２０２の＋Ｘ方向側の側面よりも＋Ｘ方向に突出している。第２部材２０４ｂは、基台２０２の−Ｘ方向側に位置し、基台２０２の−Ｘ方向側の側面よりも−Ｘ方向に突出している。

ここでは、スライド部材１１０は、レール２００の第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂを上方および側方から覆う。レール２００は、搬送装置１００の一部であってもよい。また、定盤２１０も、搬送装置１００の一部であってもよい。例えば、レール２００および定盤２１０は、石を加工することによって作製される。一例では、レール２００および定盤２１０は、グラナイトの加工によって作製される。

なお、図１では、図面が過度に複雑になることを避けるために、スライド部材１１０を移動するようにスライド部材１１０を駆動する駆動源を省略して示している。スライド部材１１０の駆動源として、リニアモータを用いてもよい。あるいは、スライド部材１１０は、別の駆動源と連結し、駆動源と連動して移動してもよい。

以下、図１および図２を参照して、本実施形態の搬送装置１００による搬送方法を説明する。図２（ａ）〜図２（ｃ）は、本実施形態の搬送装置１００による搬送方法を説明するための模式図である。

図２（ａ）に示すように、搬送装置１００はレール２００に沿って＋Ｙ方向に移動する。搬送装置１００では、スライド部材１１０の上部１１２に基板Ｗが載置されており、搬送装置１００は、基板Ｗを搬送する。なお、搬送装置１００の搬送対象物は基板Ｗに限定されない。搬送装置１００は、種々の部材を搬送できる。

気体噴出部１２０はレール２００に気体を噴出し、スライド部材１１０はレール２００に沿ってスライドする。このとき、気体噴出部１２０が気体を噴出するため、スライド部材１１０はレール２００と接触することなくレール２００に沿ってスライドする。なお、スライド部材１１０がレール２００に対して安定的にスライドする場合、スライド部材１１０とレール２００との間の距離は略一定である。

図２（ｂ）に示すように、搬送装置１００は所定の位置で停止する。このとき、スライド部材１１０の姿勢が変化するおそれがある。具体的には、スライド部材１１０はレール２００に対して浮上しているが、スライド部材１１０の搬送方向側の端部とレール２００との間の距離が短くなることがある。

しかしながら、本実施形態の搬送装置１００では、図２（ｃ）に示すように、制動部１３０が、スライド部材１１０の姿勢が変化しないようにスライド部材１１０の動きを制限する。このため、スライド部材１１０とレール２００との接触が抑制される。

なお、図２を参照した上述の説明では、スライド部材１１０が停止または減速する際のスライド部材１１０の姿勢について説明したが、本実施形態はこれに限定されない。搬送装置１００の速度が増加する場合、スライド部材１１０の姿勢が変化してスライド部材１１０がレール２００と接触するおそれがある。例えば、停止中の搬送装置１００が移動を開始する場合、または、搬送装置１００が加速する場合、スライド部材１１０の姿勢が変化してスライド部材１１０がレール２００と接触するおそれがある。本実施形態の搬送装置１００では、制動部１３０がスライド部材１１０の姿勢の変化を抑制するため、スライド部材１１０の速度が増加する場合でも、スライド部材１１０とレール２００との接触を抑制できる。

以下、図１および図３を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図３（ａ）は、本実施形態の搬送装置１００の模式的な底面図である。

図３（ａ）に示すように、気体供給部２２０は、気体噴出部１２０に気体を供給する。気体噴出部１２０は、気体供給部２２０から供給された気体をレール２００に噴出することで、気体噴出部１２０はレール２００と接触することなく気体噴出部１２０とレール２００との間に隙間を形成できる。

気体噴出部１２０は、開口部１２２と、連絡路１２４とを有する。開口部１２２および連絡路１２４は、スライド部材１１０に設けられる。気体供給部２２０から、連絡路１２４を経由した気体は開口部１２２から噴出される。

ここでは、開口部１２２は、スライド部材１１０の上部１１２の−Ｚ方向側の主面の＋Ｘ方向側においてＹ方向に沿って３個並んでおり、また、上部１１２の−Ｚ方向側の主面の−Ｘ方向側においてＹ方向に沿って３個並んでいる。さらに、開口部１２２は、スライド部材１１０の第１側部１１４ａの−Ｘ向側の主面においてＹ方向に沿って３個並んでおり、また、第２側部１１４ｂの＋Ｘ向側の主面においてＹ方向に沿って３個並んでいる。連絡路１２４は、開口部１２２を連絡する。連絡路１２４は、スライド部材１１０の内部に設けられる。

また、制動部１３０が気体を噴出する場合、気体供給部２２０は、気体噴出部１２０だけでなく制動部１３０に気体を供給してもよい。図３（ａ）には図示していないが、制動部１３０の−Ｚ方向側の面に開口部が設けられており、制動部１３０は開口部から気体を噴出してもよい。

搬送装置１００は、気体噴出部１２０として、上方噴出部１２０ａおよび側方噴出部１２０ｂを含む。上方噴出部１２０ａは、スライド部材１１０の上部１１２に設けられており、レール２００に対して−Ｚ方向に向かって気体を噴出する。側方噴出部１２０ｂは、スライド部材１１０の第１側部１１４ａおよび第２側部１１４ｂに設けられており、レール２００に対して−Ｘ方向または＋Ｘ方向に向かって気体を噴出する。

図３（ｂ）および図３（ｃ）は、搬送装置１００の模式的な断面図である。詳細には、図３（ｂ）は、−Ｘ方向から＋Ｘ方向を見た場合の搬送装置１００の模式的な断面図であり、図３（ｃ）は、＋Ｘ方向から−Ｘ方向を見た場合の搬送装置１００の模式的な断面図である。

図３（ｂ）に示すように、上部１１２の＋Ｙ方向側の側面に第１制動部１３０ａが配置されている。第１側部１１４ａには３つの開口部１２２が設けられている。これらの開口部１２２から気体が噴出されるため、第１側部１１４ａとレール２００の第１部材２０４ａとは接触することなく第１側部１１４ａと第１部材２０４ａとの間に隙間が形成される。

図３（ｃ）に示すように、上部１１２の＋Ｙ方向側の側面に第２制動部１３０ｂが配置されている。第２側部１１４ｂには３つの開口部１２２が設けられている。これらの開口部１２２から気体が噴出されるため、第２側部１１４ｂとレール２００の第２部材２０４ｂとは接触することなく第２側部１１４ｂと第２部材２０４ｂとの間に隙間が形成される。このため、搬送装置１００は、レール２００と接触することなく、同じ姿勢でレール２００に沿って移動できる。

なお、図１〜図３に示した搬送装置１００では、スライド部材１１０の＋Ｙ方向側の側面に制動部１３０が設けられたが、本実施形態はこれに限定されない。制動部１３０は、スライド部材１１０の−Ｙ方向側の側面に設けられてもよい。あるいは、制動部１３０は、スライド部材１１０の＋Ｙ方向側の側面および−Ｙ方向側の側面の両方に設けられてもよい。

以下、図１および図４（ａ）を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図４（ａ）は、本実施形態の搬送装置１００の模式的な底面図である。図４（ａ）の搬送装置１００は、スライド部材１１０の＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側の両方に制動部１３０が設けられる点を除いて、図３を参照して上述した搬送装置１００と同様の構成を有している。このため、冗長を避けるために重複する説明を省略する。

図４（ａ）に示すように、搬送装置１００は、制動部１３０として第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂに加えて第３制動部１３０ｃおよび第４制動部１３０ｄを備える。第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂは、スライド部材１１０の＋Ｙ方向側の側面に設けられる。第１制動部１３０ａは、スライド部材１１０の＋Ｘ方向および＋Ｙ方向側に位置しており、第２制動部１３０ｂは、スライド部材１１０の−Ｘ方向および＋Ｙ方向側に位置している。

また、第３制動部１３０ｃおよび第４制動部１３０ｄは、スライド部材１１０の−Ｙ方向側の側面に設けられる。第３制動部１３０ｃは、スライド部材１１０の＋Ｘ方向および−Ｙ方向側に位置しており、第４制動部１３０ｄは、スライド部材１１０の−Ｘ方向および−Ｙ方向側に位置している。

本実施形態の搬送装置１００では、第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂがスライド部材１１０の＋Ｙ方向側に設けられているため、＋Ｙ方向にスライドするスライド部材１１０が停止または減速する際にスライド部材１１０とレール２００との接触を抑制できる。また、第３制動部１３０ｃおよび第４制動部１３０ｄがスライド部材１１０の−Ｙ方向側に設けられているため、−Ｙ方向にスライドするスライド部材１１０が停止または減速する際にスライド部材１１０とレール２００との接触を抑制できる。

なお、本実施形態の搬送装置１００では、第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄによる気体の噴出量は、スライド部材１１０の動きに応じて変化してもよい。例えば、スライド部材１１０が＋Ｙ方向にスライドした後でスライド部材１１０が停止または減速する場合、第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂは気体の噴出を開始するかまたは気体の噴出量を増大させ、第３制動部１３０ｃおよび第４制動部１３０ｄは気体の噴出を停止するかまたは気体の噴出量を低減させてもよい。あるいは、スライド部材１１０が−Ｙ方向にスライドした後でスライド部材１１０が停止または減速する場合、第３制動部１３０ｃおよび第４制動部１３０ｄは気体の噴出を開始するかまたは気体の噴出量を増大させ、第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂは気体の噴出を停止するかまたは気体の噴出量を低減させてもよい。

なお、図１〜図４（ａ）に示した搬送装置１００では、制動部１３０はスライド部材１１０に直接取り付けられていたが、本実施形態はこれに限定されない。制動部１３０は別部材を介してスライド部材１１０に連結されてもよい。

以下、図４（ｂ）を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図４（ｂ）は、本実施形態の搬送装置１００の模式図である。なお、図４（ｂ）の搬送装置１００は、スライド部材１１０の＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側に制動部１３０が設けられるとともに連結部材１４０をさらに備える点を除いて、図１および図２を参照して上述した搬送装置１００と同様の構成を有している。このため、冗長を避けるために重複する説明を省略する。

図４（ｂ）には、制動部１３０のうち第１制動部１３０ａおよび第３制動部１３０ｃを示している。図４（ａ）を参照して上述したように、第１制動部１３０ａは、スライド部材１１０の＋Ｙ方向側の側面に設けられており、第３制動部１３０ｃは、スライド部材１１０の−Ｙ方向側の側面に設けられている。ここでは、第１制動部１３０ａおよび第３制動部１３０ｃは同様の構成を有している。

搬送装置１００は、スライド部材１１０、気体噴出部１２０および制動部１３０に加えて連結部材１４０をさらに備える。連結部材１４０は、スライド部材１１０と制動部１３０とを連結する。連結部材１４０は、スライド部材１１０の側面に取り付けられる。連結部材１４０の少なくとも一部はスライド部材１１０と一体化される一方で、制動部１３０はスライド部材１１０とは別部材であることが好ましい。

連結部材１４０は、接触部１４２と、支持部１４４と、接続部１４６とを含む。接触部１４２は、スライド部材１１０の側面と接触する。例えば、接触部１４２は、スライド部材１１０の側面に取り付けられる。一例では、接触部１４２は、スライド部材１１０の側面にネジ止めされる。

支持部１４４は、接触部１４２からスライド部材１１０の搬送方向に沿って延びる。例えば、スライド部材１１０に第１制動部１３０ａを連結する連結部材１４０では、支持部１４４は、接触部１４２から＋Ｙ方向に延びる。典型的には、接触部１４２および支持部１４４は一体的に形成される。例えば、接触部１４２および支持部１４４はＬ字形状の部材から形成される。

接続部１４６は、制動部１３０と支持部１４４とを接続する。例えば、接続部１４６は球体を含む。球体の外周面は球状である。球体の内部は、充填されていてもよく、充填されていなくてもよい。

制動部１３０が駆動する際に、接続部１４６の球体は、制動部１３０と支持部１４４との間で挟まれて保持されることが好ましい。この場合、制動部１３０と支持部１４４とが衝突して変形または破損することを抑制できる。また、接続部１４６が球体を含む場合、球体と接触する制動部１３０および支持部１４４のうちの少なくとも一方に、球体に対応した凹部が設けられることが好ましい。この場合、球体は凹部内に位置するため、接続部１４６は、制動部１３０と支持部１４４とを同じ位置で接続できる。

また、上述したように、気体噴出部１２０とレール２００との隙間は比較的狭い。このため、制動部１３０と支持部１４４との間の距離は高精度に調整可能であることが好ましい。

次に、図５を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図５は、搬送装置１００の模式的な拡大図である。図５では、搬送装置１００における制動部１３０および連結部１４０の近傍を拡大して示している。

接続部１４６は、球体１４６ａと、ロッド部１４６ｂとを含む。ロッド部１４６ｂは、球体１４６ａを押圧する。ここでは、制動部１３０の上面には、凹部１３０ｓが設けられる。球体１４６ａは、制動部１３０の上面の凹部１３０ｓに嵌る。凹部１３０ｓは、球体１４６ａに対応した形状を有している。例えば、凹部１３０ｓは、円錐側面に対応する形状を有している。

ロッド部１４６ｂは、一方の先端の凹んだ円柱形状である。ロッド部１４６ｂの一方の先端には凹部１４６ｓが設けられる。凹部１４６ｓは、球体１４６ａに対応した形状を有している。例えば、凹部１４６ｓは、円錐側面に対応する形状を有している。

支持部１４４には円形状の貫通孔が設けられており、ロッド部１４６ｂは、支持部１４４の貫通孔を貫通する。ロッド部１４６ｂの外径は、支持部１４４の貫通孔の口径とほぼ等しい。

支持部１４４の貫通孔およびロッド部１４６ｂはねじ切りされていることが好ましい。この場合、支持部１４４に対してロッド部１４６ｂを回転することにより、ロッド部１４６ｂは支持部１４４を貫通する。これにより、制動部１３０と支持部１４４との間の距離を高精度に調整できる。

図１〜図５を参照して上述したように、気体噴出部１２０だけでなく制動部１３０も気体を噴出する場合、制動部１３０がレール２００に対して浮上するとともにスライド部材１１０、支持部１４４およびロッド部１４６ｂもレール２００に対して浮上する。このため、球体１４６ａは制動部１３０とロッド部１４６ｂとの間に挟まれたままレール２００に対して浮上する。この場合、気体噴出部１２０の気体の噴出を維持したまま制動部１３０の気体の噴出を停止すると、制動部１３０がレール２００と接触するまで落下し、球体１４６ａも制動部１３０とともに落下する。

なお、スライド部材１１０がスライドする場合、気体噴出部１２０とレール２００との隙間は制動部１３０とレール２００との隙間と等しくてもよい。この場合、気体噴出部１２０および制動部１３０の気体の噴出を停止すると、球体１４６ａは制動部１３０とロッド部１４６ｂとの間に挟まれたまま、スライド部材１１０、支持部１４４および制動部１３０は、レール２００と接触するまで同じ距離だけ落下する。

なお、本明細書において、気体噴出部１２０とレール２００との隙間（気体噴出部１２０とレール２００との間の距離）を気体噴出部１２０のギャップということがある。また、制動部１３０とレール２００との隙間（距離）を制動部１３０のギャップということがある。

上述したように、制動部１３０はレール２００に対して気体を噴出することでレール２００に対して浮上する。なお、制動部１３０の浮上力は、制動部１３０のギャップに応じて制御できる。また、制動部１３０の構成に応じて、制動部１３０の浮上力とギャップとの対応関係も制御可能である。例えば、図３に示した気体供給部２２０による気体の供給量が一定であっても、開口部１２２の大きさ、間隔および形状等を変更することにより、制動部１３０のギャップと浮上力との関係を変更できる。

以下、図６を参照して、本実施形態の搬送装置１００における制動部１３０の浮上力の変化を説明する。図６（ａ）および図６（ｂ）は、制動部１３０の浮上力の変化を説明するための模式図である。なお、図６（ａ）および図６（ｂ）において矢印は、制動部１３０の浮上力の大きさを示している。

図６（ａ）に示すように、制動部１３０のギャップＬａが比較的大きい場合、制動部１３０の浮上力Ｆａは比較的小さいことが好ましい。スライド部材１１０がレール２００に対して滑らかにスライド可能である場合、制動部１３０のギャップＬａは比較的大きい。この場合、制動部１３０の浮上力Ｆａは比較的小さくてもよい。

図６（ｂ）に示すように、制動部１３０のギャップＬｂが比較的小さい場合、制動部１３０の浮上力Ｆｂは比較的大きいことが好ましい。例えば、スライド部材１１０がレール２００に対して停止または減速する場合、制動部１３０のギャップＬｂが小さくなることがある。この場合、制動部１３０の浮上力Ｆｂが大きくなることが好ましい。これにより、スライド部材１１０が停止または減速する際にスライド部材１１０がレール２００と接触することを抑制できる。

あるいは、スライド部材１１０がレール２００に対して発進または加速する場合、制動部１３０のギャップが小さくなることがある。この場合、制動部１３０の浮上力が大きくなることが好ましい。これにより、スライド部材１１０が発進または加速する際にスライド部材１１０がレール２００と接触することを抑制できる。

例えば、制動部１３０の浮上力は、制動部１３０とレール２００との間の距離に応じて変化する。さらに、制動部１３０の構成に応じて、制動部１３０のギャップと浮上力との対応関係も制御可能である。

以下、図７を参照して、本実施形態の搬送装置１００における制動部１３０とレール２００との間の距離と制動部１３０の浮上力との関係を説明する。図７は、制動部１３０とレール２００との間の距離と、制動部１３０の浮上力との関係を示すグラフである。

図７に示すように、制動部１３０とレール２００との間の距離がある程度長くなるとともに浮上力は増大し、浮上力はピークに達する。一方、制動部１３０とレール２００との間の距離がさらに長くなると浮上力は低減する。このように、制動部１３０の浮上力は、制動部１３０とレール２００との間の距離（制動部１３０のギャップ）に応じて変化する。

例えば、図７のグラフでは、制動部１３０とレール２００との間の距離が５μｍのときに制動部１３０の浮上力は最大値を示す。この場合、スライド部材１１０のスライド時に制動部１３０とレール２００との間の距離が１０μｍとなるように予め設定すると、スライド時には制動部１３０の浮上力は比較的小さい一方で、スライド部材１１０の停止または減速時には制動部１３０の浮上力を増大できる。このため、スライド部材１１０の停止または減速する際に、スライド部材１１０がレール２００と接触することを抑制できる。

なお、スライド部材１１０がスライドする際に、制動部１３０とレール２００との間の距離は、スライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離よりも長くてもよい。この場合、制動部１３０の浮上力が最大となる制動部１３０とレール２００との間の距離は、スライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離と等しいことが好ましい。

以下、図８を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図８（ａ）および図８（ｂ）は、搬送装置１００における制動部１３０の浮上力の変化を説明するための模式図である。

図８（ａ）に示すように、スライド部材１１０がレール２００に対してスライドする場合、スライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離はＬ２であり、制動部１３０とレール２００との間の距離はＬ２である。ここで、距離Ｌ２のときの制動部１３０の浮上力は比較的弱い。ここで、スライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離はＬ２である場合、スライド部材１１０または気体噴出部１２０の浮上力は最大となるように設定されている。

図８（ｂ）に示すように、スライド部材１１０がレール２００に対して停止または減速する場合、制動部１３０とレール２００との間の距離はＬ２から距離Ｌ１に変化する。ここで、制動部１３０は、距離Ｌ１のときの浮上力が最も強くなるように設計されている。このため、制動部１３０とレール２００との間の距離がスライド時の距離Ｌ２よりも短くなると、制動部１３０の浮上力が増大する。これにより、スライド部材１１０が停止または減速する場合にスライド部材１１０がレール２００と接触することを効率的に抑制できる。このように、スライド部材１１０がレール２００に沿ってスライドする際の制動部１３０とレール２００との間の距離は、制動部１３０の浮上力が最大となる制動部１３０とレール２００との間の距離よりも長くてもよい。

なお、図８を参照して上述したように、スライド部材１１０がレール２００に沿ってスライドする場合、制動部１３０とレール２００との間の距離は気体噴出部１２０とレール２００との間の距離と等しくてもよい。また、レール２００に対する制動部１３０の浮上力が最大となる制動部１３０とレール２００との間の距離は、スライド部材１１０がレール２００に沿ってスライドする際の気体噴出部１２０とレール２００との間の距離よりも短くてもよい。なお、スライド部材１１０のスライド時に、制動部１３０とレール２００との間の距離は、スライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離よりも長くてもよい。

以下、図９を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図９（ａ）および図９（ｂ）は、本実施形態の搬送装置１００における制動部１３０の浮上力の変化を説明するための模式図である。

図９（ａ）に示すように、スライド部材１１０がレール２００に対してスライドする場合、スライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離はＬ１であり、制動部１３０とレール２００との間の距離はＬ２である。距離Ｌ２は距離Ｌ１よりも大きい。

図９（ｂ）に示すように、スライド部材１１０がレール２００に対して停止または減速する場合、制動部１３０とレール２００との間の距離はＬ２から距離Ｌ１に変化する。距離Ｌ１は距離Ｌ２よりも短い。ここで、制動部１３０は、距離Ｌ１のときの浮上力が最も強くなるように設計されている。このため、制動部１３０とレール２００との間の距離がスライド時の距離Ｌ２よりも短くなると、制動部１３０の浮上力が増大する。これにより、スライド部材１１０が停止または減速する場合にスライド部材１１０がレール２００と接触することを効率的に抑制できる。

このように、スライド部材１１０のスライド時に、制動部１３０とレール２００との間の距離は、スライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離よりも長くてもよい。この場合、制動部１３０の浮上力が最大となる制動部１３０とレール２００との間の距離は、スライド時のスライド部材１１０または気体噴出部１２０とレール２００との間の距離と同程度であることが好ましい。

なお、図３および図４に示した搬送装置１００では、気体噴出部１２０の開口部１２２はスライド部材１１０の平坦な内周面に設けられていたが、本実施形態はこれに限定されない。開口部１２２は、突起部および／または窪み部に囲まれてもよい。

以下、図１および図１０を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図１０（ａ）は、本実施形態の搬送装置１００の模式的な底面図である。

スライド部材１１０の内周面は、平坦部１１０ｆと、突起部１１０ｐと、窪み部１１０ｑを有する。突起部１１０ｐは、開口部１２２の周囲に位置し、開口部１２２を環状に囲む。ここでは、スライド部材１１０の内周面を正面視した場合、突起部１１０ｐは正方形外縁である。窪み部１１０ｑは、突起部１１０ｐに囲まれており、窪み部１１０ｑには、Ｘ方向およびＹ方向に沿った溝が設けられている。窪み部１１０ｑの中央に開口部１２２が設けられる。

本実施形態の搬送装置１００は、気体噴出部１２０として、上方噴出部１２０ａおよび側方噴出部１２０ｂを備える。上方噴出部１２０ａは、＋Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個並んでおり、また、−Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個並んでいる。

側方噴出部１２０ｂは、＋Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個並んでおり、また、−Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個並んでいる。なお、Ｙ方向に沿って並んだ側方噴出部１２０ｂの周囲の突起部１１０ｐの高さはいずれもほぼ等しい。

ここでは、搬送装置１００は、制動部１３０として第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂに加えて第３制動部１３０ｃおよび第４制動部１３０ｄを備える。第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄは、円柱形状または直方体形状である。

例えば、第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄは金属部材を含む。一例では、第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄはステンレスを含む。第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄのそれぞれには複数の開口部が設けられる。あるいは、第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄの−Ｚ方向の底面の中央に１つの開口部が設けられ、第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄの−Ｚ方向の底面に、底面を覆う多孔質部材が取り付けられてもよい。

気体供給部２２０は、気体噴出部１２０および第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄに気体を供給する。気体噴出部１２０は、気体供給部２２０から供給された気体をレール２００に噴出することで、気体噴出部１２０はレール２００と接触することなく気体噴出部１２０とレール２００との間に隙間が形成される。

また、第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄは、気体供給部２２０から供給された気体をレール２００に噴出する。これにより、第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄは、スライド部材１１０の姿勢の変化を抑制するようにスライド部材１１０の動きを制限して、スライド部材１１０とレール２００との接触を抑制できる。

ここでは、気体供給部２２０と気体噴出部１２０および第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄとの間に、圧力レギュレータ２２２が設けられる。圧力レギュレータ２２２により、気体供給部２２０から、気体噴出部１２０および第１制動部１３０ａ〜第４制動部１３０ｄに供給される気体の量を調整できる。

図１０（ｂ）および図１０（ｃ）は、本実施形態の搬送装置１００の模式的な断面図である。図１０（ｂ）は、−Ｘ方向から＋Ｘ方向を見た場合の搬送装置１００の模式的な断面図であり、図１０（ｃ）は、＋Ｘ方向から−Ｘ方向を見た場合の搬送装置１００の模式的な断面図である。

図１０（ｂ）および図１０（ｃ）に示すように、Ｙ方向に沿って並んだ上方噴出部１２０ａの開口部１２２の周囲の突起部１１０ｐの高さは一定である。

なお、図１〜図１０を参照して上述した説明では、スライド部材１１０は、レール２００の第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂを上方および側方から覆ったが、本実施形態はこれに限定されない。スライド部材１１０は、レール２００の第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂを上方および側方だけでなく下方から覆ってもよい。

以下、図１１を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図１１は、本実施形態の搬送装置１００の模式的な斜視図である。図１１に示した搬送装置１００は、スライド部材１１０が第１下部１１６ａおよび第２下部１１６ｂをさらに有する点を除いて図１を参照して上述した搬送装置１００と同様の構成を有している。このため、冗長を避けるために重複する記載を省略する。

図１１に示すように、スライド部材１１０は、レール２００の第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂを上方、側方および下方から覆う。レール２００の第１部材２０４ａはスライド部材１１０に上方、＋Ｘ方向側方および下方から覆われる。また、レール２００の第２部材２０４ｂはスライド部材１１０に上方、−Ｘ方向側方および下方から覆われる。

スライド部材１１０は、上部１１２、第１側部１１４ａおよび第２側部１１４ｂに加えて、第１下部１１６ａおよび第２下部１１６ｂをさらに有する。第１下部１１６ａは、第１側部１１４ａの−Ｚ方向側に配置されており、第１側部１１４ａと連結している。第２下部１１６ｂは、第２側部１１４ｂの−Ｚ方向側に配置されており、第２側部１１４ｂと連結している。

このように、スライド部材１１０は、レール２００の第１部材２０４ａを上方、側方および下方から覆うとともに、レール２００の第２部材２０４ｂを上方、側方および下方から覆う。このため、スライド部材１１０の位置を高精度に制御できる。

また、図１〜図１１を参照して上述した説明では、気体噴出部１２０は、レール２００に対して、−Ｚ方向、−Ｘ方向および＋Ｘ方向に気体を噴出したが、本実施形態はこれに限定されない。気体噴出部１２０は、−Ｚ方向、−Ｘ方向および＋Ｘ方向だけでなく＋Ｚ方向にも気体を噴出してもよい。

以下、図１２を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図１２（ａ）は、本実施形態の搬送装置１００の模式的なＸＺ断面図であり、図１２（ｂ）は、本実施形態の搬送装置１００の模式的なＹＺ断面図である。

図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示すように、搬送装置１００は、気体噴出部１２０として、上方噴出部１２０ａ、側方噴出部１２０ｂおよび下方噴出部１２０ｃを備える。上方噴出部１２０ａは、スライド部材１１０の上部１１２に設けられており、レール２００の第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂに対して−Ｚ方向に向かって気体を噴出する。

側方噴出部１２０ｂは、スライド部材１１０の第１側部１１４ａおよび第２側部１１４ｂに設けられており、レール２００の第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂに対して−Ｘ方向または＋Ｘ方向に向かって気体を噴出する。また、下方噴出部１２０ｃは、第１下部１１６ａおよび第２下部１１６ｂに設けられており、レール２００の第１部材２０４ａおよび第２部材２０４ｂに対して＋Ｚ方向に向かって気体を噴出する。

このように、上方噴出部１２０ａおよび側方噴出部１２０ｂがレール２００の上方および側方から気体を噴出するとともに、下方噴出部１２０ｃがレール２００の下方から気体を噴出するため、スライド時におけるレール２００に対するスライド部材１１０の位置を高精度に制御できる。

より詳細には、上方噴出部１２０ａは、＋Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個設けられており、また、−Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個設けられている。側方噴出部１２０ｂは、＋Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個設けられており、また、−Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個設けられている。下方噴出部１２０ｃは、＋Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個設けられており、また、−Ｘ方向側にＹ方向に沿って３個設けられている。

＋Ｘ方向側に設けられた３個の上方噴出部１２０ａは、＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側に設けられている。＋Ｘ方向側に設けられた３個の下方噴出部１２０ｃは、＋Ｙ方向側、中央および−Ｙ方向側に設けられている。＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側の下方噴出部１２０ｃは、レール２００の第１部材２０４ａを介して、３個の上方噴出部１２０ａと対向している。一方で、中央の下方噴出部１２０ｃは、レール２００の第１部材２０４ａを介して、上方噴出部１２０ａとは対向しない。このように、レール２００の第１部材２０４ａに気体を噴出する上方噴出部１２０ａの数は、レール２００の第１部材２０４ａに気体を噴出する下方噴出部１２０ｃの数よりも少ない。

また、−Ｘ方向側に設けられた２個の上方噴出部１２０ａは、＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側に設けられている。−Ｘ方向側に設けられた３個の下方噴出部１２０ｃは、＋Ｙ方向側、中央および−Ｙ方向側に設けられている。

スライド部材１１０の駆動機構は、スライド部材１１０とレール２００との間に設けられてもよい。例えば、スライド部材１１０の駆動機構は、リニアモータであってもよい。

以下、図１３を参照して、本実施形態の搬送装置１００を説明する。図１３は、本実施形態の搬送装置１００の模式図である。図１３に示した搬送装置１００は、スライド部材１１０とレール２００との間に配置された駆動部１５０を備える点を除いて図１を参照して上述した搬送装置１００と同様の構成を有している。このため、冗長を避けるために重複する記載を省略する。

図１３に示すように、本実施形態の搬送装置１００において、駆動部１５０は、スライド部材１１０とレール２００との間に設けられる。駆動部１５０は、スライド部材１１０がレール２００に沿って移動するようにスライド部材１１０を駆動する。

駆動部１５０は、可動子１５２と、固定子１５４とを有する。可動子１５２は、スライド部材１１０の上部１１２に取り付けられる。詳細には、可動子１５２は、スライド部材１１０の上部１１２の−Ｚ方向側の主面においてＸ方向の中央にＹ方向に沿って取り付けられる。可動子１５２は、コイルを含む。

固定子１５４は、レール２００の基台２０２の上部に配置される。固定子１５４は、Ｙ方向に延びている。固定子１５４は、ＸＺ断面においてＵ字形状を有している。固定子１５４は、磁石を含む。磁石として、ネオジム磁石が好適に用いられる。

可動子１５２および固定子１５４は、可動子１５２の先端が固定子１５４の開口部内に進入するように配置される。可動子１５２に電流が流れる場合、可動子１５２から発生する磁束と固定子１５４との間の吸引作用および反発作用により、可動子１５２に対して力が付与される。このため、可動子１５２の取りつけられたスライド部材１１０をレール２００に対してスライドできる。

上述したように、本実施形態の搬送装置１００は、種々の部材を搬送できる。特に、搬送装置１００は、気体噴出部１２０により、レール２００に対して滑らかに移動するため、振動が好ましくない部材を好適に搬送できる。例えば、搬送装置１００は、基板の搬送に好適に用いられる。特に、搬送装置１００は、気体噴出部１２０を備えていることから、搬送中であっても振動の影響を抑制しながら適切に動作を実行できる。搬送装置１００は、半導体基板等の基板に対して露光する露光装置に好適に用いられる。

以下、図１４を参照して、本実施形態の搬送装置１００を備えた露光装置３００を説明する。図１４（ａ）は、本実施形態の搬送装置１００を備えた露光装置３００の模式的な側面図であり、図１４（ｂ）は露光装置３００の模式的な平面図である。

ここでは、露光装置３００は、基板Ｗに対して露光処理を行う。露光装置３００は、基板Ｗの上面に、ＣＡＤデータなどに応じて空間変調した光を照射して、パターン（例えば、回路パターン）を露光（描画）する。搬送装置１００は、露光前または露光後の基板Ｗを搬送する。

基板Ｗには、レジストなどの感光材料の層が形成される。基板Ｗは、例えば、半導体基板、プリント基板、液晶表示装置などに具備されるカラーフィルタ用基板、液晶表示装置やプラズマ表示装置などに具備されるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、磁気ディスク用基板、光ディスク用基板、太陽電池用パネル、などである。例えば、基板Ｗは薄い円形状である。

露光装置３００は、基台３１０、支持フレーム３２０、保持部３３０、ステージ駆動部３４０、露光部３５０および撮像部３６０を備える。基台３１０は、Ｙ方向に延びる。基台３１０は、支持フレーム３２０、保持部３３０、ステージ駆動部３４０、露光部３５０および撮像部３６０を直接的または間接的に支持する。

支持フレーム３２０は、基台３１０上に設けられている。支持フレーム３２０は、門形状であり、露光部３５０を支持する。具体的には、支持フレーム３２０は、複数の柱と、柱によって支持される中空状の箱部とを有している。露光部３５０は、箱部の内部に配置される。

保持部３３０は、基板Ｗを保持するステージを含む。保持部３３０は、基台３１０上に配置される。例えば、保持部３３０は、平板状の外形を有し、その上面に基板Ｗを水平姿勢に載置して保持する。保持部３３０の上面には、複数の吸引孔（図示省略）が設けられており、吸引孔に負圧（吸引圧）を形成することによって、保持部３３０上に載置された基板Ｗは保持部３３０の上面に保持される。

ステージ駆動部３４０は、基台３１０に対して保持部３３０を移動する。ステージ駆動部３４０は、回転部材３４２と、搬送装置１００と、レール２００と、搬送装置１００Ａと、レール２００Ａとを含む。

回転部材３４２は、基板Ｗを保持する保持部３３０を回転方向（Ｚ方向を回転軸とする回転方向）に回転させる。搬送装置１００および搬送装置１００Ａは、基板Ｗを保持する保持部３３０を搬送する。搬送装置１００は、保持部３３０をＹ方向に搬送する。搬送装置１００Ａは、保持部３３０をＸ方向に搬送する。ステージ駆動部３４０は、基台３１０上に配置される。

搬送装置１００は、基台３１０の上に配置される。搬送装置１００は、Ｙ方向（主走査方向）に移動可能である。搬送装置１００Ａは、搬送装置１００の上に配置される。搬送装置１００Ａは、Ｘ方向（副走査方向）に移動可能である。回転部材３４２は、搬送装置１００Ａの上に配置される。

回転部材３４２は、保持部３３０の上面（基板Ｗの載置面）の中心を通り、基板Ｗの載置面に対して垂直な回転軸Ａを中心として回転する。回転部材３４２は、回転軸部３４２ａと、回転駆動部３４２ｂとを含む。回転軸部３４２ａは、例えば、上端が載置面の裏面側に固着され、鉛直軸に沿って延びる。回転駆動部３４２ｂは、回転軸部３４２ａの下端に設けられ、回転軸部３４２ａを回転させる。回転駆動部３４２ｂは、回転モータを含む。回転駆動部３４２ｂが回転軸部３４２ａを回転させることにより、保持部３３０が水平面内で回転軸Ａを中心として回転する。

搬送装置１００Ａは、スライド部材１１０Ａと、ボールベアリング１２０Ａと、駆動部１５０Ａとを備える。スライド部材１１０Ａは、回転部材３４２を介して保持部３３０を支持する。スライド部材１１０Ａは、一対のレール２００Ａに沿ってスライドする。

搬送装置１００は、スライド部材１１０と、気体噴出部１２０と、制動部１３０と、駆動部１５０とを備える。スライド部材１１０は、搬送装置１００Ａを支持する。制動部１３０として、第１制動部１３０ａおよび第２制動部１３０ｂに加えて第３制動部１３０ｃおよび第４制動部１３０ｄが設けられる。

一対のレール２００Ａは、スライド部材１１０の上面でＸ方向に沿って延びる。各レール２００Ａとスライド部材１１０Ａとの間には、ボールベアリング１２０Ａが設置されている。スライド部材１１０Ａは、ボールベアリング１２０Ａを介して一対のレール２００Ａ上に支持される。スライド部材１１０Ａは、レール２００Ａに摺動しながらレール２００Ａに沿って移動できる。

駆動部１５０Ａは、リニアモータを含む。リニアモータは、可動子と、固定子とを有する。可動子は、スライド部材１１０Ａの下面に取り付けられている。固定子は、スライド部材１１０の上面に配置される。駆動部１５０Ａを駆動させると、スライド部材１１０Ａはレール２００Ａに沿ってＸ方向に沿って滑らかに移動する。

また、基台３１０には、一対のレール２００が配置される。レール２００は、それぞれ、Ｙ方向に延びる。スライド部材１１０とレール２００との間には気体噴出部１２０が設けられている。気体噴出部１２０には、外部の気体供給部からエアが常時供給されており、スライド部材１１０は、気体噴出部１２０によってレール２００上に非接触で浮上して支持される。

駆動部１５０は、リニアモータを含む。リニアモータは、可動子と、固定子とを有する。可動子は、スライド部材１１０の下面に取り付けられる。固定子は、基台３１０上に配置される。駆動部１５０を駆動させると、スライド部材１１０はレール２００に沿ってＹ方向に沿って滑らかに移動する。

露光部３５０は、基板Ｗに光を照射してパターンを描画する。ここでは、露光装置３００は、露光部３５０を２個備える。ただし、露光部３５０の搭載個数は、必ずしも２個である必要はなく、１個であってもよいし、３個以上であってもよい。

撮像部３６０は、基板Ｗを撮像する光学機器を含む。撮像部３６０は、保持部３３０に保持された基板Ｗの上面を撮像する。撮像部３６０は、支持フレーム３２０に支持される。

撮像部３６０は、例えば、鏡筒と、フォーカシングレンズと、ＣＣＤイメージセンサと、駆動部とを備える。鏡筒は、露光装置３００の筐体外部に配置された照明ユニット（すなわち、撮像用の照明光（ただし、照明光としては、基板Ｗ上のレジストなどを感光させない波長の光が選択されている）を供給する照明ユニット）と、ファイバケーブルなどを介して接続されている。ＣＣＤイメージセンサは、エリアイメージセンサ（二次元イメージセンサ）などにより構成される。また、駆動部は、モータなどにより構成され、フォーカシングレンズを駆動してその高さ位置を変更する。駆動部が、フォーカシングレンズの高さ位置を調整することによって、オートフォーカスが行われる。

撮像部３６０においては、外部の照明ユニットから出射される光が鏡筒に導入され、フォーカシングレンズを介して、保持部３３０上の基板Ｗの上面に導かれる。そして、その反射光が、ＣＣＤイメージセンサで受光される。これによって、基板Ｗの上面の撮像データが取得される。この撮像データは、基板Ｗのアライメント（位置合わせ）に利用される。

露光装置３００は、露光動作時に、搬送装置１００が基板Ｗを保持した保持部３３０を＋Ｙ方向に移動させながら保持部３３０の位置を計測し、露光部３５０は、所望のタイミングで基板Ｗに照射する光を切り替えることにより、基板Ｗ上にパターンを形成する。Ｙ方向の移動が終了すると、搬送装置１００ＡがＸ方向に露光ビーム幅分のステップだけ基板Ｗを移動させ、その後、搬送装置１００が基板Ｗを保持した保持部３３０を−Ｙ方向に移動する。これを繰り返すことにより基板Ｗの全面にパターンが形成される。

本実施形態の露光装置３００では、搬送装置１００は、レール２００に気体を噴出しながら基板ＷをＹ方向に搬送する。このため、基板Ｗに対する振動を抑制でき、露光部３５０が基板Ｗに光でパターンを形成する際の露光ずれを抑制できる。特に、基板Ｗの直径が３００ｍｍ以上であっても、搬送装置１００は低振動で高精度に基板Ｗを搬送できる。また、本実施形態の露光装置３００では、搬送装置１００Ａは、ボールベアリング１２０Ａによって基板ＷをＸ方向に搬送する。このため、所定の距離だけ移動した後の基板Ｗを確実に停止できる。

なお、図１４を参照して上述した露光装置３００では、基板Ｗは、Ｘ方向にはボールベアリング１２０Ａを介して搬送されたが、本実施形態はこれに限定されない。基板ＷをＹ方向に搬送する搬送装置１００だけでなく基板ＷをＸ方向に搬送する搬送装置１００Ａのいずれもスライド部材１１０、１１０Ａに気体噴出部および制動部が設けられてもよい。

以上、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明した。ただし、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。また、上記の実施形態に開示される複数の構成要素を適宜組み合わせることによって、種々の発明の形成が可能である。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。図面は、理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚み、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の材質、形状、寸法等は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

例えば、上述した説明では、制動部１３０はレール２００に気体を噴出したが、本実施形態はこれに限定されない。制動部１３０は、磁力を用いて、スライド部材１１０を制動してもよい。例えば、制動部１３０とレール２００との磁力による相互作用により、制動部１３０はスライド部材１１０を制動できる。

本発明は、搬送装置および搬送方法に好適に用いられる。また、本発明は、露光装置に特に好適に用いられる。

１００ 搬送装置
１１０ スライド部材
１２０ 気体噴出部
１３０ 制動部

Claims (15)

1. レールに沿って移動可能な搬送装置であって、
   前記レールに沿って搬送方向にスライドするスライド部材と、
   前記スライド部材と前記レールとの間に位置し、前記レールに気体を噴出する気体噴出部と、
   前記スライド部材の搬送方向の一方側の側面に設けられた制動部と
   を備える、搬送装置。
2. 前記制動部は、前記レールに気体を噴出して前記レールに対して浮上する、請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記スライド部材が前記レールに沿ってスライドする際の前記制動部と前記レールとの間の距離は、前記レールに対する前記制動部の浮上力が最大となる前記制動部と前記レールとの間の距離よりも長い、請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記スライド部材が前記レールに沿ってスライドする場合、前記制動部と前記レールとの間の距離は、前記気体噴出部と前記レールとの間の距離よりも長い、請求項２または３に記載の搬送装置。
5. 前記レールに対する前記制動部の浮上力が最大となる前記制動部と前記レールとの間の距離は、前記スライド部材が前記レールに沿ってスライドする際の前記気体噴出部と前記レールとの間の距離よりも短い、請求項２から４のいずれかに記載の搬送装置。
6. 前記制動部から噴出される前記気体の噴出量が変化する、請求項２から５のいずれかに記載の搬送装置。
7. 前記スライド部材の前記一方側の側面と前記制動部とを連結する連結部をさらに備える、請求項１から６のいずれかに記載の搬送装置。
8. 前記連結部は、
   前記スライド部材の前記一方側の側面に取り付けられた接触部と、
   前記接触部から前記スライド部材の搬送方向に沿って延びる支持部と、
   前記制動部と前記支持部とを接続する接続部と
   を含む、請求項７に記載の搬送装置。
9. 前記接続部は、前記制動部と接触する球体を含む、請求項８に記載の搬送装置。
10. 前記接続部は、前記支持部に支持され、前記球体を押圧するロッド部をさらに含む、請求項９に記載の搬送装置。
11. 前記スライド部材が前記レールに沿って移動するように前記スライド部材を駆動する駆動部をさらに備える、請求項１から１０のいずれかに記載の搬送装置。
12. 前記スライド部材は、前記レールに対向する内周面と、前記一方側の側面を含む外周面とを有し、
    前記気体噴出部は、前記スライド部材の内周面に配置される、請求項１から１１のいずれかに記載の搬送装置。
13. 基板を搬送する、請求項１から１２のいずれかに記載の搬送装置と、
    前記搬送装置に搬送された基板を露光する露光部と
    を備える、露光装置。
14. レールに気体を噴出しながらスライド部材が前記レールに沿って搬送方向にスライドする工程と、
    前記スライド部材の搬送方向の一方側の側面に設けられた制動部によって前記スライド部材を制動する工程と
    を包含する、搬送方法。
15. 前記制動する工程において、前記制動部から噴出される前記気体の噴出量が変化する、請求項１４に記載の搬送方法。

Images