JP2006153944A - クリック機構およびそれを用いた電動レボルバ - Google Patents
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Abstract
【課題】 寿命が長いクリック機構と、それを用いた電動レボルバを提供する。
【解決手段】 この電動レボルバでは、レボルバ回転板1の外周面に複数のクリック溝4を設け、引張りバネ14およびレバー10によって位置決めローラ12をレボルバ回転板1の外周面側に付勢し、隣接する対物レンズ以外の対物レンズに交換する場合はアクチュエータ15によってレバー10を押して位置決めローラ12をレボルバ回転板1の外周面に接触しない位置に移動させる。したがって、位置決めローラ12とクリック溝4を回転摩擦させるか、離間させるので、クリック溝4の磨耗が小さくなる。
【選択図】 図1
【解決手段】 この電動レボルバでは、レボルバ回転板1の外周面に複数のクリック溝4を設け、引張りバネ14およびレバー10によって位置決めローラ12をレボルバ回転板1の外周面側に付勢し、隣接する対物レンズ以外の対物レンズに交換する場合はアクチュエータ15によってレバー10を押して位置決めローラ12をレボルバ回転板1の外周面に接触しない位置に移動させる。したがって、位置決めローラ12とクリック溝4を回転摩擦させるか、離間させるので、クリック溝4の磨耗が小さくなる。
【選択図】 図1
Description
この発明はクリック機構およびそれを用いた電動レボルバに関し、特に、移動部材を所望の位置で停止させるクリック機構と、それを用いた電動レボルバに関する。
従来の電動レボルバでは、レボルバ回転板の表面に円環状の溝が設けられ、その溝に複数の凹部が設けられる。複数の凹部は、それぞれ複数の対物レンズに対応している。溝に対向して剛球が設けられ、剛球は板バネの一方端表面に固定され、板バネの他方端は固定され、板バネの裏面にアクチュエータが設けられる。
対物レンズの交換時は、レボルバ回転板を回転させ、所定のタイミングで板バネの裏面をアクチュエータで押圧し、剛球を所望の凹部に係合させることにより、レボルバ回転板を所望の位置で停止させ、所望の対物レンズの光軸を顕微鏡の光軸に一致させる(たとえば特許文献1参照)。
特開2003−90960号公報
しかし、従来の電動レボルバでは、剛球は板バネに固定されて回転しないので、剛球を溝に押圧したときに剛球と溝の摩擦力が大きくなって溝が磨耗し、装置寿命が短いという問題があった。
また、レボルバ回転板が停止しているときは、常にアクチュエータによって剛球を凹部に押圧していたので、アクチュエータへの通電時間が長くなり、アクチュエータの寿命が短いという問題があった。
また、使用している対物レンズに隣接する対物レンズを選択する場合でも、常にアクチュエータによって剛球を溝から離れた位置に移動させてからレボルバ回転板を回転させていたので、対物レンズの交換に時間がかかるという問題があった。
また、レボルバ回転板が停止しているときは、アクチュエータは常に、剛球を溝から離そうとする板バネの力に打ち勝って、板バネを押す必要があるので、大きな駆動力のアクチュエータが必要となる。
それゆえに、この発明の主たる目的は、寿命が長く、位置決め時間が短いクリック機構と、それを用いた電動レボルバを提供することである。
この発明に係るクリック機構は、第1の方向に移動する移動部材を所望の位置で停止させるクリック機構であって、移動部材の表面に所定のピッチで設けられ、それぞれが第1の方向と直交する第2の方向に延在する複数のクリック溝と、移動部材の表面に沿って回転可能に設けられるとともに移動部材の表面と交差する方向に移動可能に設けられ、複数のクリック溝のうちの選択されたクリック溝と係合することにより移動部材を停止させる位置決めローラとを備えたものである。したがって、位置決めローラと移動部材の表面およびクリック溝とを回転摩擦させるので、円環状の溝内の凹部に剛球を押圧してレボルバ回転板の回転を停止させていた従来に比べ、装置の磨耗が小さくなり、装置寿命が長くなる。
好ましくは、さらに、位置決めローラを移動部材の表面側に付勢させるバネ部材と、バネ部材の力に対抗して動作し、前回選択されたクリック溝に隣接するクリック溝以外のクリック溝が選択された場合は位置決めローラを移動部材の表面に接触しない位置に移動させ、前回選択されたクリック溝に隣接するクリック溝が選択された場合は位置決めローラを移動させないアクチュエータとが設けられる。この場合は、常にアクチュエータによって剛球を凹部に押圧していた従来に比べ、アクチュエータへの通電時間が短くなり、アクチュエータの寿命が長くなる。また、使用している対物レンズに隣接する対物レンズを選択する場合でも、常にアクチュエータによって剛球を溝から離れた位置に移動させてからレボルバ回転板を回転させていた従来に比べ、位置決め時間の短縮化を図ることができる。
また好ましくは、さらに、支点軸を中心にして揺動可能に設けられたレバーが設けられ、位置決めローラはレバーの一方端に設けられ、アクチュエータの力はレバーの他方端に作用し、バネ部材の力はレバーの支点軸と他方端との間の所定位置に作用する。この場合は、アクチュエータとバネ部材の力を位置決めローラに容易に伝達させることができる。
また好ましくは、支点軸と所定位置の間の距離は、レバーの一方端と支点軸との間の距離よりも長い。この場合は、バネ部材の力よりも強い力で位置決めローラをクリック溝に押し付けることができ、位置決め剛性を高めることができる。
また、この発明に係る電動レボルバは、上記クリック機構と、それぞれ複数のクリック溝に対応して移動部材に設けられ、各々が対物レンズを保持する複数の保持部材とを備えたものである。この場合は、対物レンズを迅速に交換することができる。
以上のように、この発明によれば、寿命が長く、位置決め時間が短いクリック機構と、それを用いた電動レボルバを提供することができる。
図1は、この発明の一実施の形態による電動レボルバの構成を示す図である。図1において、この電動レボルバは、複数(図では5つ)の対物レンズを搭載して回転するレボルバ回転板1を備える。レボルバ回転板1は所定の厚みを有する円形の板を加工したものであり、その中央部にはレボルバ回転板1を回転させるための駆動モータ2の回転軸が結合されている。レボルバ回転板1には、レボルバ回転板1と同心の円周上に略等間隔で、5つの対物レンズ取付孔3が開口されている。各対物レンズ取付孔3には、対物レンズが取り付けられる。
また、レボルバ回転板1の外周面には、レボルバ回転板1の停止位置を決定するための5つのクリック溝4が略等間隔で形成されている。5つのクリック溝4はそれぞれ5つの対物レンズ取付孔3に対応して設けられ、各クリック溝4はレボルバ回転板1の軸方向に延在している。レボルバ回転板1は、取付部材5を介してたとえば顕微鏡に取り付けられる。
レボルバ回転板1に隣接して、クリック機構取付板6がネジ7によって取付部材5に固定されている。クリック機構取付板6には、支点軸8とバネポスト9が立設されている。L字型のレバー10が支点軸8を中心として揺動可能に設けられる。レバー10の一方端部には、ローラ軸11と位置決めローラ12が設けられている。位置決めローラ12は、ローラ軸11を中心として回転するボールベアリングであり、レボルバ回転板1の外周面に沿って回転し、クリック溝4に係合してレボルバ回転板1の回転を停止させるものである。また、位置決めローラ12は、レバー10により、レボルバ回転板1の外周面と交差する方向に移動可能に設けられている。
レバー10の他方端部と支持軸8との間の所定位置には、バネポスト13が立設されている。バネポスト9と13の間に引張りバネ14が架け渡され、これにより、位置決めローラ12がレボルバ回転板1の外周面側に付勢される。バネポスト13から支点軸8の回転中心までの距離は、支点軸8の回転中心からローラ軸11の回転中心までの距離の約2倍に設定されている。したがって、このレバー比により引張りバネ14の引張り力の約2倍大きな力で位置決めローラ12をクリック溝4に押し付けることができ、位置決めの剛性を高めることができる。
また、レバー10の他方端部に対向してアクチュエータ15の駆動軸15aの先端が配置され、アクチュエータ15は取付部材5に固定される。アクチュエータ15は、レボルバ回転板1の回転時の所定期間に引張りバネ14の力に対抗して動作し、駆動軸15aを伸ばしてレバー10の他方端部を押し、レボルバ回転板1の外周面およびクリック溝14から位置決めローラ12を離す。支点軸8の中心からアクチュエータ15の駆動軸15aがレバー10を押す位置までの距離は、支点軸8の中心から引張りバネ14用のバネポスト13の位置までの距離よりも長くなっている。したがって、レバー比により引張りバネ14よりも弱い力のアクチュエータ15でレバー10を押し戻すことができるので、アクチュエータ15の小型化を図ることができる。
次に、この電動レボルバの動作について説明する。図2(a)はレボルバ回転板1が停止している状態を示す図であり、図2(b)はレボルバ回転板1が回転している状態を示す図である。レボルバ回転板1が停止している状態では、図2(a)に示すように、位置決めローラ12は、引張りバネ14の引張り力により、クリック溝4に押し付けられてクリック溝4に係合し、レボルバ回転板1の回転を停止させる。このとき、アクチュエータ15の駆動軸15aの先端はレバー10に接触していない。なお、取付部材5に対するクリック機構取付板6の位置をネジ7を緩めて調整することにより、クリック溝4に対する位置決めローラ12の位置を最適な位置に調整することができる。
前回選択された対物レンズに隣接した対物レンズが次に使用する対物レンズとして選択された場合は、まず制御装置(図示せず)からの切換指令に応答して駆動モータ2が駆動し、レボルバ回転板1が移動目標の対物レンズ位置に回転を始める。位置決めローラ12はローラ軸11を中心にして回転しながら、レバー10を介して支点軸8を中心に回転してクリック溝4のエッジ部に乗り上げ、クリック溝4との係合が外れてレボルバ回転板1の外周面に移動する。このとき、位置決めローラ12は引張りバネ14の引張り力により、レボルバ回転板1の外周面に押し付けられて回転する。
位置決めローラ12が移動目標の対物レンズ位置にあるクリック溝4に係合する直前に、停止位置検出センサ(図示せず)が感応して、制御装置からの停止指令により駆動モータ2への通電を停止する。レボルバ回転板1は慣性モーメントにより回転を続け、位置決めローラ12がクリック溝4に係合して、レボルバ回転板1の回転が停止する。このとき、制御装置は位置検出センサ(図示せず)により、レボルバ回転板1が正常な位置に停止したかどうかを確認する。
また、前回選択された対物レンズに隣接した対物レンズ以外の対物レンズが次に使用する対物レンズとして選択された場合は、制御装置からの切換指令に応答して駆動モータ14が回転し、レボルバ回転板11が移動目標の対物レンズ位置に回転を始める。位置決めローラ12はローラ軸11を中心にして回転しながら、レバー10を介して支点軸8を中心に回転し、クリック溝4との係合が外れてレボルバ回転板1の外周面に移動する。このとき、位置決めローラ12は引張りバネ14の引張り力により、レボルバ回転板11の外周面で回転を始めるが、同時に制御装置からの駆動指令に応答してアクチュエータ15が駆動軸15aを所定の位置まで伸ばしてレバー10の他方端を押し、図2(b)に示すように、位置決めローラ12とレボルバ回転板11の外周面との間にわずかな隙間を開けてそれらが接触しないようにする。
飛ばされる対象の対物レンズ位置においても位置決めローラ12とレボルバ回転板1は接触していないため、位置決めローラ12がクリック溝4と係合するときに発生する振動が無く、迅速かつスムーズに移動目標の対物レンズ位置に移動する。位置決めローラ12がクリック溝4と係合する前に、クリック解除位置検出センサ(図示なし)が感応して、制御装置からの指令により、アクチュエータ15は駆動軸15aを所定の位置まで引き込む。位置決めローラ12は引張りバネ14の引張り力により、レボルバ回転板1の外周面を押さえながら回転する。
位置決めローラ12がクリック溝4に係合する直前に、停止位置検出センサが感応して、制御装置からの停止指令により駆動モータ2への通電を停止する。レボルバ回転板1は慣性モーメントにより回転を続け、位置決めローラ12がクリック溝4に係合し、レボルバ回転板1の回転が停止する。このとき、制御装置は位置検出センサにより正常な位置に停止したかを確認する。
なお、クリック解除位置検出センサと停止位置検出センサを省略し、駆動モータ2をエンコーダ付きのモータに置き換えて、エンコーダの信号によりクリック解除位置と停止位置を検出してもよい。
この実施の形態では、位置決め用ローラ12としてボールベアリングを使用しているので、クリック溝4の磨耗を少なくすることができ、装置の長寿命化を図ることができる。
また、使用した対物レンズをそれに隣接した対物レンズと交換する場合、アクチュエータ15を駆動させることなく対物レンズを交換するので、対物レンズを迅速に交換することができる。また、手動でレボルバ回転板1を回転させて対物レンズを交換することも可能である。
また、1つ以上の対物レンズを飛ばして交換する場合、位置決めローラ12が隣接する対物レンズに対応するクリック溝4に到達するまでにアクチュエータ15の動作を終えれば、位置決めローラ12がクリック溝4に接触しながら通過するときの大きな振動の発生を回避できるので、レボルバ回転板1の回転速度を速くすることができ、レンズ交換に要する時間を短縮することができる。
また、アクチュエータ15の動作により位置決めローラ12がクリック溝4に接触しながら通過するときの衝撃を回避できるので、クリック溝4の磨耗を抑えることができる。
また、1つ以上の対物レンズを飛ばして交換する場合だけ、アクチュエータ15を動作させればよいので、アクチュエータ15の長寿命化を図ることができる。
図3は、上述の電動レボルバが搭載された微細パターン修正装置の外観を示す図である。図3において、この微細パターン修正装置は、基板上に形成された微細パターンの欠陥を観察する観察光学系20と、倍率の異なる複数の対物レンズのうちの選択された対物レンズの光軸を観察光学系20の光軸に一致させる電動レボルバ21と、観察光学系20によって観察される微細パターンの欠陥を撮影するCCDカメラ22と、観察光学系20によって観察された微細パターンの欠陥にレーザ光を照射して除去するレーザ装置23とを備える。
また、この微細パターン修正装置は、修正対象となる基板が載置されるステージ24と、観察光学系20、電動レボルバ21、CCDカメラ22およびレーザ装置23を搭載して基板に垂直なZ軸方向に移動するZ軸テーブル25と、Z軸テーブル25を搭載して基板に平行なX軸方向に移動するX軸テーブル26と、X軸テーブル26を搭載して基板に平行でかつX軸と直交するY軸方向に移動するY軸テーブル27とを備える。
欠陥を修正する場合は、基板をステージ24上に載置し、X軸テーブル26およびY軸テーブル27を移動させて観察光学系20の光軸を欠陥の中心に移動させ、電動レボルバ21によって標準の対物レンズを最適な対物レンズに交換し、Z軸テーブル25を移動させて対物レンズの焦点を欠陥に合わせ、レーザ光を照射して欠陥を除去する。電動レボルバ21は、上述のように、対物レンズを迅速に交換できるので、欠陥の観察過程に要する時間を短縮し、生産性を向上させることができる。また、電動レボルバ21は寿命が長いので、パターン修正装置の長寿命化を図ることができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 レボルバ回転板、2 駆動モータ、3 対物レンズ取付孔、4 クリック溝、5 取付部材、6 クリック機構取付板、7 ネジ、8 支点軸、9,13 バネポスト、10 レバー、11 ローラ軸、12 位置決めローラ、14 引張りバネ、15 アクチュエータ、20 観察光学系、21 電動レボルバ、22 CCDカメラ、23 レーザ装置、24 ステージ、25 Z軸テーブル、26 X軸テーブル、27 Y軸テーブル。
Claims (5)
- 第1の方向に移動する移動部材を所望の位置で停止させるクリック機構であって、
前記移動部材の表面に所定のピッチで設けられ、それぞれが前記第1の方向と直交する第2の方向に延在する複数のクリック溝、および
前記移動部材の表面に沿って回転可能に設けられるとともに前記移動部材の表面と交差する方向に移動可能に設けられ、前記複数のクリック溝のうちの選択されたクリック溝と係合することにより前記移動部材を停止させる位置決めローラを備える、クリック機構。 - さらに、前記位置決めローラを前記移動部材の表面側に付勢させるバネ部材、および
前記バネ部材の力に対抗して動作し、前回選択されたクリック溝に隣接するクリック溝以外のクリック溝が選択された場合は前記位置決めローラを前記移動部材の表面に接触しない位置に移動させ、前回選択されたクリック溝に隣接するクリック溝が選択された場合は前記位置決めローラを移動させないアクチュエータを備える、請求項1に記載のクリック機構。 - さらに、支点軸を中心にして揺動可能に設けられたレバーを備え、
前記位置決めローラは前記レバーの一方端に設けられ、
前記アクチュエータの力は前記レバーの他方端に作用し、
前記バネ部材の力は前記レバーの支点軸と他方端との間の所定位置に作用する、請求項1または請求項2に記載のクリック機構。 - 前記支点軸と前記所定位置の間の距離は、前記レバーの一方端と前記支点軸との間の距離よりも長い、請求項3に記載のクリック機構。
- 請求項1から請求項4までのいずれかに記載のクリック機構と、
それぞれ前記複数のクリック溝に対応して前記移動部材に設けられ、各々が対物レンズを保持する複数の保持部材とを備える、電動レボルバ。
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---|---|---|---|
JP2004340421A JP2006153944A (ja) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | クリック機構およびそれを用いた電動レボルバ |
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Cited By (2)
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JP2006276192A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Nikon Corp | レボルバ装置及びレボルバ装置を備える顕微鏡 |
JP2009122259A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Ntn Corp | 液状材料塗布装置およびそれを用いた欠陥修正装置 |
-
2004
- 2004-11-25 JP JP2004340421A patent/JP2006153944A/ja not_active Withdrawn
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