JP2009048095A - 対物レンズ保持装置 - Google Patents
対物レンズ保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009048095A JP2009048095A JP2007216188A JP2007216188A JP2009048095A JP 2009048095 A JP2009048095 A JP 2009048095A JP 2007216188 A JP2007216188 A JP 2007216188A JP 2007216188 A JP2007216188 A JP 2007216188A JP 2009048095 A JP2009048095 A JP 2009048095A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- objective lens
- mounting hole
- optical axis
- eccentricity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【課題】対物レンズが有する偏芯を補正可能にして、外力や振動があっても対物レンズの芯補正の状態が狂いにくくする。
【解決手段】第1のリング10と第2のリング20との二重のリング構造を有し、対物レンズを支持した第1のリング10の第1の外側摺動面12が摺動可能に嵌合する第1リング取付穴21を有する第2のリング20の第2の外側摺動面22が所定の偏芯L1をもって形成され、かつ、この第2のリング20の第2の外側摺動面22が摺動可能に嵌合する第2リング取付穴31が観察光軸O0に対して所定の偏芯L1をもつようにレボルバ1に形成することで、対物レンズ2と一体の第1のリング10の回転操作と、第1のリング10と一体の第2のリング20の回転操作とによる偏芯同士の組み合わせによって、対物レンズ2が有する偏芯を観察光軸に一致するように補正可能とした。
【選択図】 図5
【解決手段】第1のリング10と第2のリング20との二重のリング構造を有し、対物レンズを支持した第1のリング10の第1の外側摺動面12が摺動可能に嵌合する第1リング取付穴21を有する第2のリング20の第2の外側摺動面22が所定の偏芯L1をもって形成され、かつ、この第2のリング20の第2の外側摺動面22が摺動可能に嵌合する第2リング取付穴31が観察光軸O0に対して所定の偏芯L1をもつようにレボルバ1に形成することで、対物レンズ2と一体の第1のリング10の回転操作と、第1のリング10と一体の第2のリング20の回転操作とによる偏芯同士の組み合わせによって、対物レンズ2が有する偏芯を観察光軸に一致するように補正可能とした。
【選択図】 図5
Description
本発明は、光学顕微鏡に搭載される対物レンズ保持装置に関するものである。
一般に、対物レンズは、製造上の誤差により、光学芯に偏芯を有する。よって、光学顕微鏡において対物レンズ保持装置に複数の対物レンズを取り付け、これら対物レンズを任意に切り換えて使用する場合、対物レンズ毎の偏芯の量と方向が異なっていると、対物レンズ交換毎に観察視野が変動してしまうという問題点がある。
このような問題点を解決するために、取り付けた対物レンズの偏芯を補正できるようにした対物レンズ保持装置が、従来から提案されている。その一例として、例えば特許文献1に示される偏芯補正機構を搭載した対物レンズ保持装置がある。特許文献1によれば、対物レンズが螺着されるねじ部を有する対物レンズ固定部材は、レボルバの大きめの穴の中に偏移可能な隙間をもって配置され、異なる2方向から2つのねじによって押される一方、さらに異なる第3の方向から板ばねによって2つのねじの方向に同時に付勢されている。
そこで、対物レンズ固定部材に対物レンズを取り付けて観察光路上に入れ、所定の指標を持つ基準標本を観察すると、偏芯のない対物レンズで観察した場合と比較して、基準標本の指標の見える位置が異なる。したがって、観察像を監視しながら、基準標本の指標を、この指標などを基準対物レンズで観察したときの位置に一致するように、2本のねじを適宜に回して対物レンズ固定部材と一体で対物レンズを偏向させれば、対物レンズの偏芯が補正され、その光軸芯を基準となる対物レンズの芯と一致させることができるというものである。
また、特許文献1では、2本のねじの先端部と板ばねの先端部材との3点によって、対物レンズ固定部材の斜めに形成された外周面を押すことで、対物レンズ固定部材を抑え環に当接させることで、補正された対物レンズの光軸方向の位置を決めるようにしている。
しかしながら、特許文献1に示される偏芯補正機構は、芯補正の操作完了後に対物レンズ固定部材を永久的に固定する手段がなく、対物レンズ固定部材は、単に板ばねによって2本のねじに当接されているだけである。したがって、対物レンズに対して予期せぬ外力が加わった場合、板ばねが撓んで対物レンズ固定部材が2本のねじから離れ、該外力が解除されたときに元の当接状態に復帰しようとするものの、ねじの雄ねじ部は雌ねじ穴との間に少なからず僅かな遊びをもって螺着しているため、ねじの方向が雌ねじ穴中で微妙に傾いだりして、対物レンズ固定部材の位置が変動し、対物レンズの芯補正の状態が狂ってしまうという問題点がある。
また、対物レンズに外力が加わらない場合でも、例えば半導体基板検査装置や、FPD(フラットパネルディスプレイ)基板検査装置のように昼夜運転で連続稼動するような自動機に搭載した顕微鏡システムの場合、ステージ駆動や焦準駆動などの繰り返し動作によって僅かな振動が頻繁に加わり、それによって対物レンズの芯補正の状態が狂うという問題点もある。この場合、芯ずれにより装置を停止せざるを得ず、連続稼動の信頼性が低下してしまう。
なお、ねじが傾ぐ量は通常微量であるが、顕微鏡の観察視野は、高倍率の対物レンズの場合には、差し渡し20μm内外であることがある。このような場合、対物レンズの交換に伴う光学芯の不一致の程度が3μm以内でなければ観察に支障をきたすこととなる。このような高精度な位置決めが要求される可動部位にとって、2本のねじと1つの板ばねとの3点で当接しているだけの対物レンズ固定部材が頻繁に振動を繰り返し受けた後で元の位置の状態を保つことは困難と言わざるを得ないが、対物レンズ保持装置中には複雑かつ大掛かりな可動固定機構を収容できる空間がないため、特許文献1に示されるような不完全な機構が採用されている現状にある。
さらに、特許文献1の場合、対物レンズが螺着される対物レンズ固定部材は、2本のねじの先端部と板ばねの先端部材とによって斜めの外周面が押されて抑え環に当接されているだけであるので、外力によって、対物レンズ固定部材が抑え環から一時的に浮いたり、浮いた対物レンズ固定部材が抑え環に再び当接してもその当接の状態が微妙に異なり、対物レンズの光軸が微妙に倒れてしまうという問題もある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、対物レンズが有するいかなる方向および量の偏芯であっても補正可能にして、外力や振動があっても対物レンズの芯補正の状態が狂いにくい対物レンズ保持装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる対物レンズ保持装置は、対物レンズを観察光軸上に位置付ける対物レンズ保持装置であって、光軸偏芯を有する対物レンズが螺着されるレンズ取付穴と、該レンズ取付穴と同芯で円錐台面として形成された第1の外側摺動面とを備える第1のリングと、前記第1の外側摺動面が摺動可能に嵌合して前記第1のリングを支持する第1リング取付穴と、該第1リング取付穴に対して所定の偏芯をもって円錐台面として形成された第2の外側摺動面とを備え、前記第1リング取付穴が前記第1の外側摺動面と開き角が一致する円錐台面からなる第2のリングと、前記レボルバに形成されて前記第2の外側摺動面が摺動可能に嵌合して前記第2のリングを支持する第2リング取付穴を備え、該第2リング取付穴が前記観察光軸上に位置付けられたとき該観察光軸に対して前記第2の外側摺動面の偏芯と同じ偏芯量の偏芯をもつように形成され、かつ、前記第2の外側摺動面と開き角が一致する円錐台面からなる少なくとも一つの第2リング支持部と、前記第1のリングを前記第2のリングに対して前記第1リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させるとともに、前記第2のリングを前記第2のリング支持部に対して前記第2リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させるリング固定手段と、を備えることを特徴とする。
また、本発明にかかる対物レンズ保持装置は、上記発明において、前記第2の外側摺動面および前記第2リング取付穴の偏芯量の和は、前記対物レンズが有し得る最大光軸偏芯量以上に設定されていることを特徴とする。
また、本発明にかかる対物レンズ保持装置は、上記発明において、前記第2のリングの一部は、該第2のリングの回動操作部として前記レボルバの外側に突出していることを特徴とする。
また、本発明にかかる対物レンズ保持装置は、上記発明において、前記リング固定手段は、前記第1のリングを前記第2のリングに対して前記第1リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させる第1リング固定手段と、前記第2のリングを前記第2のリング支持部に対して前記第2リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させる第2リング固定手段と、を備えることを特徴とする。
また、本発明にかかる対物レンズ保持装置は、上記発明において、前記第2リング固定手段は、前記第1リング固定手段による摩擦固定力よりも強い摩擦固定力を発生させることを特徴とする。
また、本発明にかかる対物レンズ保持装置は、上記発明において、前記対物レンズを複数保持可能で、該複数の対物レンズのうちの任意の一つを前記観察光軸上に選択的に位置付ける回転可能なレボルバを備えることを特徴とする。
本発明にかかる対物レンズ保持装置は、第1のリングと第2のリングとの二重のリング構造を有し、対物レンズを支持した第1のリングの第1の外側摺動面が摺動可能に嵌合する第1リング取付穴を有する第2のリングの第2の外側摺動面が所定の偏芯をもって形成され、かつ、この第2のリングの第2の外側摺動面が摺動可能に嵌合する第2リング取付穴が観察光軸に対して所定の偏芯をもつようにレボルバに形成されているので、対物レンズと一体の第1のリングの回転操作と、第1のリングと一体の第2のリングの回転操作とによる偏芯同士の組み合わせによって、対物レンズが有するいかなる方向および量の偏芯であっても観察光軸に一致するように補正可能であり、この際、第1のリングと第2のリング、第2のリングとレボルバにおける第2リング支持部とはそれぞれ開き角が一致する円錐台面同士による嵌合構造であって固定手段の摩擦固定力によって軸方向に付勢されているので、ずれを生ずることがなく、外力や振動があっても対物レンズの芯補正の状態が狂いにくい対物レンズ保持装置を提供することができるという効果を奏する。
以下、本発明を実施するための対物レンズ保持装置の最良の形態について図面を参照して説明する。
(実施の形態)
図1は、本実施の形態の対物レンズ保持装置の一部の構成を投光管側から見た平面図であり、図2は、その一部の縦断側面図であり、図3は、その一部の嵌合構造を拡大して示す縦断側面図であり、図4−1は、第1のリングを示す投光管側から見た平面図であり、図4−2は、第2のリングを示す投光管側から見た平面図であり、図4−3は、第2リング支持部を示す投光管側から見た平面図であり、図5は、本実施の形態の対物レンズ保持装置の要部構成要素の偏芯に伴う位置関係等を誇張して模式的に示す分解斜視図であり、図6は、偏芯部分の動きを拡大して対物レンズの偏芯した光軸を補正する手順を説明するための説明図である。
図1は、本実施の形態の対物レンズ保持装置の一部の構成を投光管側から見た平面図であり、図2は、その一部の縦断側面図であり、図3は、その一部の嵌合構造を拡大して示す縦断側面図であり、図4−1は、第1のリングを示す投光管側から見た平面図であり、図4−2は、第2のリングを示す投光管側から見た平面図であり、図4−3は、第2リング支持部を示す投光管側から見た平面図であり、図5は、本実施の形態の対物レンズ保持装置の要部構成要素の偏芯に伴う位置関係等を誇張して模式的に示す分解斜視図であり、図6は、偏芯部分の動きを拡大して対物レンズの偏芯した光軸を補正する手順を説明するための説明図である。
本実施の形態の対物レンズ保持装置は、例えば光学顕微鏡の投光管と試料台との間に配設されて、装着された複数の対物レンズのうちの任意の一つを観察光軸上に選択的に位置付けるように回転自在に設けられたレボルバ1をベースに構成されている。本実施の形態の対物レンズ保持装置は、第1のリング10と、第2のリング20と、レボルバ1に設定された第2リング支持部30と、リング固定機構(リング固定手段)40とを備える。
第1のリング10は、例えば図4−1に示すように、対物レンズ2が螺着される雌ねじ構造のレンズ取付穴11と、中心O1によってレンズ取付穴11と同芯で外周に形成された第1の外側摺動面12とを備える。ここで、第1の外側摺動面12は、図3等に示すように、所定の開き角度、例えば角度3°のテーパを有する円錐台面として形成されている。また、第1の外側摺動面12には、例えばモリブデンコートなどの固体潤滑性の表面処理が施され、後述の対物芯調整の際の操作を容易にしている。
また、第2のリング20は、第1のリング10を支持するもので、例えば図4−2に示すように、内周側に形成されて第1のリング10の第1の外側摺動面12が摺動可能に嵌合する第1リング取付穴21と、外周に形成された第2の外側摺動面22と、頂部に形成されたフランジ部23とを備える。第1リング取付穴21は、例えば図3等に示すように、第1のリング10の第1の外側摺動面12と同じ開き角度、例えば角度3°のテーパを有する円錐台面として形成されている。一方、第2の外側摺動面22は、第1リング取付穴21の中心O1に対して所定の偏芯、例えば0.5mmの偏芯を持つ中心O2を中心に形成されている。この第2の外側摺動面22も、図3等に示すように、所定の開き角度、例えば角度3°のテーパを有する円錐台面として形成されている。また、第1リング取付穴21および第2の外側摺動面22には、例えばモリブデンコートなどの固体潤滑性の表面処理が施され、後述の対物芯調整の際の操作を容易にしている。
また、第2リング支持部30は、第2のリング20を支持するもので、例えば図4−3に示すように、レボルバ1の所定位置に形成された第2リング取付穴31からなる。この第2リング取付穴31は、例えば図3に示すように、第2のリング10の第2の外側摺動面22と同じ開き角度、例えば角度3°のテーパを有する円錐台面として形成されている。なお、第2の外側摺動面22と第2リング取付穴31との円錐台面の開き角度が一致していればよく、例えば角度4°の如く、第1の外側摺動面12と第1リング取付穴21との円錐台面の開き角度とは異なっていてもよい。また、第2リング取付穴31は、光学顕微鏡において投光管等のシステム構成によって決まる観察光軸O0に対して所定の偏芯、例えば0.5mmの偏芯を持つ点O2を中心に形成されている。すなわち、第2リング取付穴31は、観察光軸O0に対して第2のリング20における第2の外側摺動面22と同じ偏芯量をもつように形成されている。また、これらの第2の外側摺動面22や第2リング取付穴31の偏芯量(例えば0.5mm)は、両者の和が、装着される対物レンズ2が有する最大光軸偏芯量(例えば1mm)以上となるように設定される。また、第2リング取付穴31には、例えばモリブデンコートなどの固体潤滑性の表面処理が施され、後述の対物芯調整の際の操作を容易にしている。なお、第2のリング20のフランジ部23の一部は、この第2のリング20の回動操作部24としてレボルバ1の外側に突出している。
リング固定機構40は、バネリング(第1の固定手段)41と、バネ(第2の固定手段)42とからなる。バネリング41は、第1のリング10を第2のリング20に対して第1リング取付穴21の軸心方向に沿って付勢するようにねじ43によって第2のリング20に固定されている。これにより、バネリング41は、内周側の例えば3個所に等間隔で均等に形成された押え部41aが第1のリング10の一部に摺動接触することで円周方向の摩擦固定力を発生させるとともに、第1のリング10の円錐台面として形成された第1の外側摺動面12を同じ開き角度で円錐台面として形成された第2のリング20の第1リング取付穴21に軸方向に均等に当接させることで、両者が半径方向に隙間なく嵌合し、偏移しないように固定する。
一方、バネ42は、第2のリング20をレボルバ1に形成された第2リング取付穴31に当接させるためのものであり、第2のリング20の円周方向に対して120度ずつ等間隔で均等となるように3個所に設けられている。これらばね42は、第2のリング20を第2リング支持部30に対して第2リング取付穴31の軸心方向に沿って付勢するようにねじ44によってレボルバ1に固定されている。これにより、バネ42は、内周側先端部42aが第2のリング20の一部に摺動接触することで円周方向の摩擦固定力を発生させるとともに、第2のリング20の円錐台面として形成された第2の外側摺動面22を同じ開き角度で円錐台面として形成された第2リング取付穴31に軸方向に均等に当接させることで、両者が半径方向に隙間なく嵌合し、偏移しないように固定する。
ここで、これらのバネ42が発生する摩擦固定力は、バネリング41が発生する摩擦固定力よりも僅かに強くなるように設定されている。これは、第1のリング10と対物レンズ2だけを回そうとする際に、第2のリング20が共回りしないようにするためである。また、バネリング41、3つのバネ42が発生する摩擦固定力は、対物レンズ切り換え動作に伴う繰り返し性の振動があっても、第1のリング10や第2のリング20が独りでにずれないような強さに設定されている。
次に、本実施の形態の対物レンズ保持装置における偏芯を利用した芯ずれ補正の原理について図5等を参照して説明する。まず、第2リング支持部30の第2リング取付穴31は、光学顕微鏡のシステム構成によって予め決まる観察光軸O0に対して、所定の偏芯量L1を持つ点O2を中心に形成されている。そこで、第2リング取付穴31内で第2のリング20を、点O2を中心に1周回した場合に観察光軸O0の位置にあった点の軌跡をとると、点O2を中心とし半径L1とする第2リング偏芯量軌跡T1となる。これにより、仮に、対物レンズ2の偏芯光軸OLが第2リング偏芯量軌跡T1上のいずれかの個所に存在すれば、第2のリング20を対物レンズ2と一体に第2リング取付穴41に対して回せば、観察光軸O0の位置に合わせ得ることが判る。
一方、第2のリング20の第1リング取付穴21は、第2リング取付穴31の偏芯量L1と同じ偏芯量L1をもって形成されて、その第2の外側摺動面22が第2リング取付穴31に嵌合しているので、第2のリング20に支持された第1のリング10の中心O1は、第2リング偏芯量軌跡T1上のいずれかの個所に存在する。そこで、第1リング取付穴21内で第1のリング10を対物レンズ2とともに点O1を中心に回せば、点O1に対して偏芯量LLを持つ対物レンズ2のレンズ光軸OLをOL´として第2リング偏芯量軌跡T1上のいずれかの個所に載せ得ることが判る。このようにして、偏芯したレンズ光軸OLをOL´として第2リング偏芯量軌跡T1上に載せれば、後は、上述の如く、第2のリング20を対物レンズ2と一体に第2リング取付穴41に対して回すことで、観察光軸O0の位置に合わせることができ、観察像上の芯ずれ量ΔLを解消し得ることとなる。
ここで、図6(a)に示すように、対物レンズ2が有する偏芯量LLとして最大光軸偏芯量LLmaxを持つ場合のレンズ光軸OLの位置の点O1(第2のリング20の第1リング取付穴21の中心)回りの軌跡をTLmaxで表すものとすれば、レンズ最大偏芯量軌跡TLmaxの範囲内であれば、レンズ光軸OLの偏芯がいずれの方向であってもどのような偏芯量であっても、偏芯したレンズ光軸OLを第2リング偏芯量軌跡T1上に載せて、観察光軸O0の位置に合わせることができ、観察像上の芯ずれ量ΔLを解消できる。すなわち、第1のリング10に螺着された対物レンズ2は、2つの偏芯の組み合わせによって、最小0mm(芯ずれなし状態)から、最大、第2リング偏芯量軌跡T1の直径分(すなわち、2L1、本実施の形態であれば、2つの偏芯量L1の和となる1mm)の芯ずれまで補正が可能となる。
このような芯ずれ補正原理に基づく本実施の形態における対物レンズ芯ずれ補正方法について、図6を参照して説明する。まず、前提として、図示しない基準穴に観察光軸O0の合っている対物レンズを螺着し、観察光軸O0上に位置付ける。そして、観察光軸O0の位置に指標を持つ図示しない基準接眼レンズを用い、これとは別の指標を持つ基準標本の観察画像を出す。そこで、試料台を適宜動かして、基準標本の指標を接眼レンズに内蔵の観察光軸O0の指標に合わせる。モニタ画面上に印M0をつけるなどして、観察光軸O0の位置を記録する。
ついで、レボルバ1を回して芯調整をしようとする対物レンズ2を観察光軸O0上に位置付ける。ここで、芯調整前の状態を示す図6(a)を参照して説明する。始めに、第2のリング20を少し回して元に戻すと、観察光軸O0の印M0をつけた位置にあった標本上の位置が第2リング偏芯量軌跡T1に沿って動き、元に戻るので、このような第2リング偏芯量軌跡T1をモニタ上に印をつけるなどして記録する。このとき、対物レンズ2には、レンズ単体の光軸偏芯LLがあるため、基準標本の指標MLはレンズ光軸OLに対応する位置に現れる。すなわち、観察光軸O0とレンズ光軸OLとの間に観察像上の芯ずれΔLが現れる。また、第1のリング10の中心O1は、原理的に第2リング偏芯量軌跡T1のいずれかの位置にあり、図6(a)はその一例を示している。
このような状況下で、次に、図6(b)に示すように第1のリング10を必要量回す操作を行う。すなわち、対物レンズ2を手で持って回すことにより、対物レンズ2と第1のリング10とを中心O1回りに一体に回すと、対物レンズ2のレンズ光軸OLの位置が動き、対応する基準標本の指標MLの位置も中心O1回りの円弧上の位置を動くので、この指標MLの位置が図6(b)に示すように、モニタ上に記録した第2リング偏芯量軌跡T1上に載るまで回す。
ついで、図6(c)に示すように第2のリング20を必要量回す操作を行う。すなわち、第2のリング20の第2の外側摺動面22の回動操作部23を指で中心O2回りに回すと、基準標本の指標MLの位置が、今度は、第2リング偏芯量軌跡T1上を動くので、この指標MLの位置が図6(c)に示すように、モニタ上に記録した観察光軸O0の印M0の位置に一致するまで第2のリング20を第1のリング10、対物レンズ2と一体で回す。これにより、観察画像は基準穴に観察光軸OLの合っている対物レンズを螺着した時と同じとなり、対物レンズ2の芯調整が完了する。
なお、本実施の形態の対物レンズ保持装置のレボルバ1は、数個の対物レンズを搭載可能に構成され、その内の少なくとも1個の対物レンズを搭載するための対物レンズ支持用の穴は、芯調整をしない非可動の雌ねじ構造とし、対物レンズ保持装置の組み立て後に観察光軸を位置出ししてチャックした状態でねじを切るなどして、雌ねじの中心が観察光軸に一致する基準穴とすることができる。
また、第1のリング10の第1の外側摺動面12と第2のリング20の第1リング取付穴21は、同じ開き角度をもった円錐台面として形成され、バネリング41によって第1のリング10を第2のリング20に対して軸心方向に付勢しているので、嵌合する両者間に半径方向の隙間は生じない。第2の外側摺動面22と第2リング支持部30の第2リング取付穴31も同様に、同じ開き角度をもった円錐台面として形成され、バネ42によって第2のリング10を第2リング支持部30に対して軸心方向に付勢しているので、嵌合する両者間に半径方向の隙間は生じない。よって、対物レンズ2の芯調整後に、外力や振動がかかっても、第1のリング10、第2のリング20はともに殆ど偏移することはなく、対物レンズ2の芯調整状態が偏移することはない。また、バネリング41とバネ42との摩擦固定力が異なり、第1のリング10に螺着された対物レンズ2を持って回すと、対物レンズ2と第1のリング10だけが回る一方、第2のリング20の第2の外側摺動面22の回動操作部23を手で回すと、第1のリング10と第2のリング20とが一体で回るので、芯調整作業がしやすい。
このように、本実施の形態の対物レンズ保持装置によれば、第1のリング10と第2のリング20との二重のリング構造を有し、対物レンズ2を支持した第1のリング10の第1の外側摺動面12が摺動可能に嵌合する第1リング取付穴21を有する第2のリング20の第2の外側摺動面22が所定の偏芯をもって形成され、かつ、この第2のリング20の第2の外側摺動面22が摺動可能に嵌合する第2リング取付穴31が観察光軸O0に対して所定の偏芯をもつようにレボルバ1に形成されているので、対物レンズ2と一体の第1のリング10の回転操作と、第1のリング10と一体の第2のリング20の回転操作とによる偏芯同士の組み合わせによって、対物レンズ2が有するいかなる方向および量の偏芯であっても観察光軸O0に一致するように補正することができる。この際、第1のリング10と第2のリング20、第2のリング20とレボルバ1における第2リング支持部30とはそれぞれ開き角が一致する円錐台面同士による嵌合構造であってリング固定機構40の摩擦固定力によって軸方向に付勢されているので、ずれを生ずることがなく、外力や振動があっても対物レンズの芯補正の状態が狂いにくいものとなる。
よって、長時間にわたって連続稼動するような自動機に搭載される光学顕微鏡システムのように、対物レンズ切換えの回数が多く、メンテナンスのタイミングも限られている場合であっても、繰り返し動作によって対物レンズ切換え時の僅かな振動が頻繁に加わっても、それによって対物レンズの芯補正の状態が狂う可能性は低いので、芯ずれによる装置停止の可能性も低く、連続稼動の信頼性を向上させることができる。
また、例えば従来と同じ半径50mmのレボルバ1であっても、明暗視野対物レンズ用の芯出し穴を最大5個設けることができ、従来の対物レンズ保持装置の外形寸法を維持したまま、本実施の形態を実施することもできる。
なお、本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。以下、変形例を数例挙げる。
(変形例1)
本実施の形態では、観察光軸O0および第2リング偏芯量軌跡T1は、モニタ画面上に記録するようにしたが、より正確に調整する場合、およびモニタ画面を用いることなく接眼レンズを用いて調整する場合には、以下のようにすることができる。すなわち、観察光軸O0の位置の指示にこの観察光軸O0上に指標を持つ基準接眼レンズを用いる。その上で、第2リング偏芯量軌跡T1については、対物レンズの倍率と接眼レンズの倍率とによって第2リング偏芯量軌跡T1の円弧の半径が異なるので、この円弧の半径を予め計算し、該当する曲率の円弧を基準接眼レンズの指標板に観察光軸O0の指標と同時に刻設する。このようにすれば、対物レンズの倍率毎に専用の基準接眼レンズを必要とするものの、正確かつモニタなしで芯調整を行うことができる。
本実施の形態では、観察光軸O0および第2リング偏芯量軌跡T1は、モニタ画面上に記録するようにしたが、より正確に調整する場合、およびモニタ画面を用いることなく接眼レンズを用いて調整する場合には、以下のようにすることができる。すなわち、観察光軸O0の位置の指示にこの観察光軸O0上に指標を持つ基準接眼レンズを用いる。その上で、第2リング偏芯量軌跡T1については、対物レンズの倍率と接眼レンズの倍率とによって第2リング偏芯量軌跡T1の円弧の半径が異なるので、この円弧の半径を予め計算し、該当する曲率の円弧を基準接眼レンズの指標板に観察光軸O0の指標と同時に刻設する。このようにすれば、対物レンズの倍率毎に専用の基準接眼レンズを必要とするものの、正確かつモニタなしで芯調整を行うことができる。
(変形例2)
本実施の形態中で説明した非可動の基準穴は、本発明にとって必須の要素ではない。すなわち、例えば全ての対物レンズ取付穴を本実施の形態の構成による可動穴とし、そのうちの一つを光学顕微鏡の観察光軸O0に一致するように調整して基準穴としてもよい。この場合の調整手順を以下に示す。
本実施の形態中で説明した非可動の基準穴は、本発明にとって必須の要素ではない。すなわち、例えば全ての対物レンズ取付穴を本実施の形態の構成による可動穴とし、そのうちの一つを光学顕微鏡の観察光軸O0に一致するように調整して基準穴としてもよい。この場合の調整手順を以下に示す。
まず、基準対物レンズを取り付ける。基準対物レンズとは、基準の光軸(この対物レンズの光軸をもって偏芯のない光軸とすることができる)を持つように組立て調整された対物レンズであり、その焦点面の位置に、ミラーなどの反射面を一体的に固定してあり、試料台を置かなくても、基準対物レンズを取り付けるだけで基準対物レンズの持つ反射面の像が現れる。ここで、反射面は、指標を刻設してなり、この指標を基準対物レンズの観察光軸O0に一致するように、反射面の位置を調整固定してあるものである。そして、接眼レンズには、観察光軸O0の位置に指標を持つ基準接眼レンズであって、上述の変形例1で説明した第2リング偏芯量軌跡T2を指標板に併設した基準接眼レンズを用いる。そして、基準対物レンズの指標が、基準接眼レンズの指標に一致するように、可動穴の芯補正を上述の変形例1に従って行えば、この可動穴を、以後、光軸芯の補正された基準穴として扱うことができる。
(変形例3)
図7は、変形例3の構成例を示す縦断側面図である。変形例3では、リング固定機構40に代えて、第1のリング10および第2のリング20を一括して軸心方向に付勢して摩擦固定力を発生させるリング固定機構(リング固定手段)50を設けたものである。リング固定機構50は、半径方向において第1のリング10と第2のリング20とに跨る幅を有するリング状のものであって、外周面に雄ねじ51が切られたねじリング52からなり、レボルバ1の第2リング支持部30周りに形成された雌ねじ部53に螺着されている。なお、雌ねじ部53は、レボルバ1の外周部で切れており、この位置でねじリング52の外周部が回転操作部として外部に露出している。ねじリング52の雄ねじ51が形成された外周面には、操作穴54が一定の間隔で複数形成され、カニメ回しのような先の細い工具を入れることでねじリング52を回すことが可能とされている。
図7は、変形例3の構成例を示す縦断側面図である。変形例3では、リング固定機構40に代えて、第1のリング10および第2のリング20を一括して軸心方向に付勢して摩擦固定力を発生させるリング固定機構(リング固定手段)50を設けたものである。リング固定機構50は、半径方向において第1のリング10と第2のリング20とに跨る幅を有するリング状のものであって、外周面に雄ねじ51が切られたねじリング52からなり、レボルバ1の第2リング支持部30周りに形成された雌ねじ部53に螺着されている。なお、雌ねじ部53は、レボルバ1の外周部で切れており、この位置でねじリング52の外周部が回転操作部として外部に露出している。ねじリング52の雄ねじ51が形成された外周面には、操作穴54が一定の間隔で複数形成され、カニメ回しのような先の細い工具を入れることでねじリング52を回すことが可能とされている。
よって、対物レンズ2の芯調整が終わった後、レボルバ1の切れ目から露出している部分の操作穴54に対して工具を差し込んでねじリング52を回して締めることで、第1のリング10および第2のリング20は、レボルバ1に対して軸心方向に一括して強力に付勢されて摩擦固定力により固定される。これにより、使用途中に外力や振動が加わるようなことがあっても、調整された対物レンズ2の芯が狂うことはない。
(変形例4)
図8は、変形例4で用いる固定金具を示す平面図であり、図9は、固定金具を用いた対物レンズ保持装置の投光管側から見た一部の構成を示す平面図であり、図10は、その縦断側面図であり、図11は、固定金具部分の縦断側面図である。対物レンズ2を第1のリング10に対して脱着するとき、特に外すときに、第1のリング10が対物レンズ2に共回りすると作業しにくいので、変形例4では、固定金具60を用いるようにしたものである。
図8は、変形例4で用いる固定金具を示す平面図であり、図9は、固定金具を用いた対物レンズ保持装置の投光管側から見た一部の構成を示す平面図であり、図10は、その縦断側面図であり、図11は、固定金具部分の縦断側面図である。対物レンズ2を第1のリング10に対して脱着するとき、特に外すときに、第1のリング10が対物レンズ2に共回りすると作業しにくいので、変形例4では、固定金具60を用いるようにしたものである。
この固定金具60は、第1のリング10周りに配設される内周穴部61を有する。この内周穴部61は、その径が第1のリング10の第1の外側摺動面12の径よりもやや大きく設定されて径の大きさが可変なものである。すなわち、ねじ62を締めると、固定金具60自身の弾性変形により、内周穴部61の径が小さくなって第1のリング10を固定する。また、固定金具60は、長孔63を有し、この長孔63部分で段付きねじ64によってレボルバ1に固定されている。これにより、段付きねじ64は、固定金具60を固定せず、回転を規制するだけであり、対物レンズ2の芯調整によって第1のリング10が偏移しても支障ない。
そして、対物レンズ2の脱着に際しては、ねじ62を締めて固定金具60の内周穴部61によって第1のリング10を固定し、対物レンズ2のみが回転できるようにする。また、対物レンズ2の芯調整を行う際には、ねじ62を緩めて固定金具60の内周穴部61内で第1のリング10が回転できるようにする。対物レンズ2の芯調整が完了したら、ねじ62を締めて固定金具60の内周穴部61によって第1のリング10を固定すると、使用中に誤って第1のリング10が回ってしまうとがなく、芯調整状態が狂うことはない。
1 レボルバ
2 対物レンズ
10 第1のリング
11 レンズ取付穴
12 第1の外側摺動面
20 第2のリング
21 第1リング取付穴
22 第2の外側摺動面
24 回転操作部
30 第2リング支持部
31 第2リング取付穴
40 リング固定手段
41 バネリング
42 バネ
50 リング固定手段
2 対物レンズ
10 第1のリング
11 レンズ取付穴
12 第1の外側摺動面
20 第2のリング
21 第1リング取付穴
22 第2の外側摺動面
24 回転操作部
30 第2リング支持部
31 第2リング取付穴
40 リング固定手段
41 バネリング
42 バネ
50 リング固定手段
Claims (6)
- 対物レンズを観察光軸上に位置付ける対物レンズ保持装置であって、
光軸偏芯を有する対物レンズが螺着されるレンズ取付穴と、該レンズ取付穴と同芯で円錐台面として形成された第1の外側摺動面とを備える第1のリングと、
前記第1の外側摺動面が摺動可能に嵌合して前記第1のリングを支持する第1リング取付穴と、該第1リング取付穴に対して所定の偏芯をもって円錐台面として形成された第2の外側摺動面とを備え、前記第1リング取付穴が前記第1の外側摺動面と開き角が一致する円錐台面からなる第2のリングと、
前記レボルバに形成されて前記第2の外側摺動面が摺動可能に嵌合して前記第2のリングを支持する第2リング取付穴を備え、該第2リング取付穴が前記観察光軸上に位置付けられたとき該観察光軸に対して前記第2の外側摺動面の偏芯と同じ偏芯量の偏芯をもつように形成され、かつ、前記第2の外側摺動面と開き角が一致する円錐台面からなる少なくとも一つの第2リング支持部と、
前記第1のリングを前記第2のリングに対して前記第1リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させるとともに、前記第2のリングを前記第2のリング支持部に対して前記第2リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させるリング固定手段と、
を備えることを特徴とする対物レンズ保持装置。 - 前記第2の外側摺動面および前記第2リング取付穴の偏芯量の和は、前記対物レンズが有し得る最大光軸偏芯量以上に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ保持装置。
- 前記第2のリングの一部は、該第2のリングの回動操作部として前記レボルバの外側に突出していることを特徴とする請求項1または2に記載の対物レンズ保持装置。
- 前記リング固定手段は、
前記第1のリングを前記第2のリングに対して前記第1リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させる第1リング固定手段と、
前記第2のリングを前記第2のリング支持部に対して前記第2リング取付穴の軸心方向に沿って付勢し摩擦固定力を発生させる第2リング固定手段と、
を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の対物レンズ保持装置。 - 前記第2リング固定手段は、前記第1リング固定手段による摩擦固定力よりも強い摩擦固定力を発生させることを特徴とする請求項4に記載の対物レンズ保持装置。
- 前記対物レンズを複数保持可能で、該複数の対物レンズのうちの任意の一つを前記観察光軸上に選択的に位置付ける回転可能なレボルバを備えることを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007216188A JP2009048095A (ja) | 2007-08-22 | 2007-08-22 | 対物レンズ保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007216188A JP2009048095A (ja) | 2007-08-22 | 2007-08-22 | 対物レンズ保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009048095A true JP2009048095A (ja) | 2009-03-05 |
Family
ID=40500342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007216188A Withdrawn JP2009048095A (ja) | 2007-08-22 | 2007-08-22 | 対物レンズ保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009048095A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203466A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Fujifilm Corp | レンズ鏡筒 |
CN112051703A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 无锡视美乐激光显示科技有限公司 | 调整装置和投影机 |
-
2007
- 2007-08-22 JP JP2007216188A patent/JP2009048095A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203466A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Fujifilm Corp | レンズ鏡筒 |
CN112051703A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 无锡视美乐激光显示科技有限公司 | 调整装置和投影机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007310067A (ja) | 芯出し機構 | |
JP2009086567A (ja) | レンズ鏡筒 | |
US20150033886A1 (en) | Driving apparatus with taper screw and elastic driving member to displace object | |
JP2002228910A (ja) | ズームレンズ装置のレンズ鏡筒構造 | |
JP2007015072A (ja) | 自動回転ステージ | |
US7782557B2 (en) | Lens position adjusting device | |
JP2009048095A (ja) | 対物レンズ保持装置 | |
JP2011022461A (ja) | 光学装置及び光学機器 | |
JP2017116729A (ja) | 偏芯調整構造及び光学機器 | |
JP2007133089A (ja) | レンズ鏡筒 | |
JP2019532359A (ja) | アダプタ装置及びカメラレンズ | |
JP2008009261A (ja) | 焦点調整機構および撮像装置 | |
JP2007298864A (ja) | 光軸シフト調整機構付き撮像レンズ | |
JP6669025B2 (ja) | レンズ鏡筒 | |
JP2007249062A (ja) | 光学部材切り換え装置 | |
JP2009139516A (ja) | レンズ駆動装置 | |
US10288836B2 (en) | Lens apparatus | |
JP2015191141A (ja) | レンズ装置及びそれを有する撮像装置 | |
JP2007219159A (ja) | 芯調整装置 | |
JP2006072059A (ja) | レンズ鏡筒の偏心調整装置 | |
JP2010271457A (ja) | 光学素子位置調整機構、光学素子位置調整機構を備えた露光装置及び光学素子位置調整方法 | |
WO2019181679A1 (ja) | レンズ鏡筒 | |
JP4917074B2 (ja) | レンズ支持構造 | |
JP2005017454A (ja) | 試料支持装置 | |
JP2007147760A (ja) | レンズ構造および調整治具構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20101102 |