JP2007140137A - 位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】調整ネジの調整時間を短縮し、手動で調整を行っても中心部の相対距離が変わらない位置決め装置を実現する。
【解決手段】円周を3等分した位置に3本のピンを有する第1部材と、
この第1部材に対向して配置され前記3本のピンに接触し所定の距離を隔てて支持された第2部材からなり、
前記第1部材の中心を軸として回転させたときに、前記第1,第2部材間の中心部の距離は一定に維持され、中心から離れた位置の部材間の距離は可変となるように構成した。
【選択図】 図1
【解決手段】円周を3等分した位置に3本のピンを有する第1部材と、
この第1部材に対向して配置され前記3本のピンに接触し所定の距離を隔てて支持された第2部材からなり、
前記第1部材の中心を軸として回転させたときに、前記第1,第2部材間の中心部の距離は一定に維持され、中心から離れた位置の部材間の距離は可変となるように構成した。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば顕微鏡ステージのアライメント機構,調芯装置のアライメント機構,撮像素子のアライメント機構などに用いて好適な位置決め装置に関する。
カメラや顕微鏡を用いて被検査体の物性を検査したり、撮像するために位置決め装置を用いた先行文献としては次のようなものがある。
図4(a,b)は位置決め装置として用いられている従来例を示し、顕微鏡にアラインメント調整ステージとXYθステージを取付けた構成を示すものである。図4において、(a)は側面図、(b)は(a)図のZ−Z視図である。
これらの図において、1はカメラ、2は鏡筒、3はレンズ、4は支柱であり、レンズ3の先端には所定の距離を隔ててワークステージ5が配置され、ワークステージの中央付近にはワーク8が配置されている。
これらの図において、1はカメラ、2は鏡筒、3はレンズ、4は支柱であり、レンズ3の先端には所定の距離を隔ててワークステージ5が配置され、ワークステージの中央付近にはワーク8が配置されている。
ワークステージ5には3本のねじ6が所定の位置にねじ込まれている。この3本のねじ6の先端はワークステージ5の下方に配置されたXYθ方向に移動するアライメント調整ステージの表面に接触している。
上述の構成において、レンズ3に対してワーク8の表面が傾いていた場合、3本のねじ6をそれぞれ回転させてワークステージ5からの突き出し長さを調整出し、その傾きを平面になるようにする。
ところで、このような構成においては、下記のような問題があった。
1)2平面のアライメントのために3個のネジの突き出し長を調整する必要がある。
2)手動の場合は試行錯誤しながら行わなければならないので時間がかかり、2平面間の相対距離も変わってしまう恐れがある。
3)自動化するには3個のアクチュエータが必要。
1)2平面のアライメントのために3個のネジの突き出し長を調整する必要がある。
2)手動の場合は試行錯誤しながら行わなければならないので時間がかかり、2平面間の相対距離も変わってしまう恐れがある。
3)自動化するには3個のアクチュエータが必要。
本発明は上述の問題点を解決するためになされたもので、
1)調整ネジの調整時間を短縮する。
2)手動で調整を行っても相対距離が変わらないようにする。
3)自動化したときのアクチュエータの数を減少させる。
ことを目的とする。
1)調整ネジの調整時間を短縮する。
2)手動で調整を行っても相対距離が変わらないようにする。
3)自動化したときのアクチュエータの数を減少させる。
ことを目的とする。
このような課題を達成するために、本発明の位置決め装置は、
円周を3等分した位置に3本のピンを有する第1部材と、
この第1部材に対向して配置され前記3本のピンに接触し所定の距離を隔てて支持された第2部材からなり、
前記第1部材の中心を軸として回転させたときに、前記第1,第2部材間の中心部の距離は一定に維持され、中心から離れた位置の部材間の距離は可変となるように構成したことを特徴とする。
円周を3等分した位置に3本のピンを有する第1部材と、
この第1部材に対向して配置され前記3本のピンに接触し所定の距離を隔てて支持された第2部材からなり、
前記第1部材の中心を軸として回転させたときに、前記第1,第2部材間の中心部の距離は一定に維持され、中心から離れた位置の部材間の距離は可変となるように構成したことを特徴とする。
請求項2においては、請求項1記載の位置決め装置において、
前記第1部材は、
外周にギアが形成された第1円板と、
この円板の外周より内側の円周を3等分した位置に円板の表面および裏面に対して直角方向に両端が突出して設けられた3本のピンと、
前記第1円板に対向して配置され外周にギアが形成された第2円板と、
この第2円板の表面に設けられ、前記第1円板の中心を軸として回転させたときに前記3本のピンのうち2本は同方向に上昇(または下降)し、他の一本のピンは前記2本のピンとは逆方向に下降(または上昇)するように形成されたカムとして機能する溝と、
前記第1円板に対しては一方向にのみ回転させ、第2円板に対しては両方向への回転が可能なように係合するギアを有する第3円板を備えたことを特徴とする。
前記第1部材は、
外周にギアが形成された第1円板と、
この円板の外周より内側の円周を3等分した位置に円板の表面および裏面に対して直角方向に両端が突出して設けられた3本のピンと、
前記第1円板に対向して配置され外周にギアが形成された第2円板と、
この第2円板の表面に設けられ、前記第1円板の中心を軸として回転させたときに前記3本のピンのうち2本は同方向に上昇(または下降)し、他の一本のピンは前記2本のピンとは逆方向に下降(または上昇)するように形成されたカムとして機能する溝と、
前記第1円板に対しては一方向にのみ回転させ、第2円板に対しては両方向への回転が可能なように係合するギアを有する第3円板を備えたことを特徴とする。
請求項3においては、請求項2に記載の位置決め装置において、
前記第1円板に設けられた3本のピンは円板の表面および裏面からの高さが同一になるように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
前記第1円板に設けられた3本のピンは円板の表面および裏面からの高さが同一になるように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
請求項4においては、請求項2または3に記載の位置決め装置において、前記第1円板の回転を規制する回転規制手段を設けたことを特徴とする。
請求項5においては、請求項2乃至4のいずれかに記載の位置決め装置において、
前記第1円板を一方向にのみ回転させる機構としてラチエットを用いたことを特徴とする。
前記第1円板を一方向にのみ回転させる機構としてラチエットを用いたことを特徴とする。
以上説明したことから明らかなように本発明によれば次のような効果がある。
請求項1および2の発明によれば、
円周を3等分した位置に3本のピンを有する第1部材と、
この第1部材に対向して配置され前記3本のピンに接触し所定の距離を隔てて支持された第2部材からなり、
前記第1部材の中心を軸として回転させたときに、前記第1,第2部材間の中心部の距離は一定に維持され、中心から離れた位置の部材間の距離は可変となるように構成した
ので、第1部材を回転させるだけで第2部材との中心部との距離を変えることなく平面の傾きを調整することができる。
請求項1および2の発明によれば、
円周を3等分した位置に3本のピンを有する第1部材と、
この第1部材に対向して配置され前記3本のピンに接触し所定の距離を隔てて支持された第2部材からなり、
前記第1部材の中心を軸として回転させたときに、前記第1,第2部材間の中心部の距離は一定に維持され、中心から離れた位置の部材間の距離は可変となるように構成した
ので、第1部材を回転させるだけで第2部材との中心部との距離を変えることなく平面の傾きを調整することができる。
請求項3の発明によれば、第1円板に設けられた3本のピンは円板の表面および裏面からの高さが同一になるように配置したので、カムの形状を同じに形成することができ、加工が容易になる。
請求項4の発明によれば、第1円板の回転を規制する回転規制手段を設けたので、安定した撮影(検査)が可能となる。
請求項5の発明によれば、第1円板を一方向にのみ回転させる機構としてラチエットを用いたので構成を簡単にすることができる。
図1(a〜c)は、本発明の実施形態の一例を示す構成説明図で、図1(a)は側面図、図1(b)は平面図、図1(c)は溝32の底部の断面展開図である。
これらの図において、10はワーク8を載置する第2部材で、3本のピン22〜24の一端で支持されている。なお、この第2部材10は外周に設けたストッパ10a(図では3箇所に設けてある・・・b図参照)により回転が規制されている。
これらの図において、10はワーク8を載置する第2部材で、3本のピン22〜24の一端で支持されている。なお、この第2部材10は外周に設けたストッパ10a(図では3箇所に設けてある・・・b図参照)により回転が規制されている。
19は第1部材で、第1円板20、第2円板30および支持部材40から構成されている。
第1円板20の中心から所定の距離はなれた円周上に円周を3等分した位置に同じ長さの3本のピン22,23,24が固定されている。これら3本のピンは第1円板の表面および裏面から直角方向に同じ長さに突き出している。
第1円板20の中心から所定の距離はなれた円周上に円周を3等分した位置に同じ長さの3本のピン22,23,24が固定されている。これら3本のピンは第1円板の表面および裏面から直角方向に同じ長さに突き出している。
30は第2円板であり、この第2円板には第1円板20に固定された3本のピンの他端が挿入される溝32が形成されている。この溝32は第1円板のピンが配置された円周と同じ大きさの円周上に形成されている。溝幅はピンの外径よりわずかなに大きなものとされ、第1円板20を回転させたときに3本のピンが溝32に沿ってスムーズに移動するようになっている。
第1,第2円板21,31および支持部材40は図示しないスラストベアリング等を挟んで対向して配置されており、円板の中心を回転軸として同方向または逆方向に回転自在とされている。これら第1,第2円板の外周には第1ギア21,第2ギア31が形成されている。25は第1円板20の回転を規制するストッパである。
41は第3円板で、第1円板に形成された第1ギア21に対して一方向のみに回転を与えるラチェット機能を有する爪ギア51および第2円板に形成された第2ギア31に対して両方向に回転を与える送りギア52で構成されている。これらのギア51,52は支軸50aを介して摘み50bを有するハンドル50に接続されている。
図(c)は第2円板に形成された溝32の底部の形状を示すもので、a,b,c〜a部までは溝の中心部の長さを360度展開した状態を示している。即ち、この例ではa点からb点までの60度まではHの高さ下降し、b点から60度回転したc点まではHの高さ上昇する。
そして、c点から60度回転したd点まではHの高さ下降し、d点から60度回転したe点まではHの高さ上昇する。次にe点から120度回転したa点までは2Hの高さ下降する。なお、はじめの段階でピン23はb,24はc,22はf点(これらの位置を原点とする)に配置しておくものとする。
上述の構成において、ハンドル50を順方向に回すと第2円板30だけが回転する。このときは第1円板20はストッパ25により回転が規制されている。この回転によってピン23,24は矢印イ、ロ方向に移動して持ち上げられ、ピン22は、矢印ハ方向に移動して下降する。その結果、ピン22,23,24に接触している第2部材10が傾斜する。その場合、それぞれのピンは第2部材の中心を支点として上下動するので第2部材の中心の高さは変わらない。
次にハンドル50を逆方向に回すと第1,第2円板両方が回転する。この回転では第2部材は傾きの大きさを保ったまま傾きの向きを変化させることができる。
このような回転により第2部材の上に載置されたワーク8の傾きを調整することができる。
このような回転により第2部材の上に載置されたワーク8の傾きを調整することができる。
上述の構成によれば、第2部材の上に載置されたワーク8の向きや傾きを自由に調整することができる。また、従来のねじを3本用いた方式では一つのねじを動かすと傾きの方向も変えてしまうが、本発明の方式では傾きの方向を固定したまま傾きの大きさを変更することができる。
更に、従来の3つのネジ調整方式では調整した結果、高さも変えてしまうが、本方式では基準の高さは一定となり、顕微鏡などで焦点を合わせたままアライメント調整ができる。また、従来は3つのネジを回して試行錯誤して調整していたのに比較し、調整時間を短縮することができる。
図2は他の実施例を示すもので、図1に示すハンドル50をモータ60に変更することで、自動ステージを構成したものである。
図3は本発明の位置決め装置をFPD画像検査装置に適用した例を示すもので、位置決め装置をカメラに組み込むことにより、画像処理で完全自動のアライメント調整を行うように構成したものである。図において61は画像処理装置であり、モータ60に対して駆動信号を送信し、カメラ1で撮影した検査対象FPDの画像を取り込んで画像を処理できるように構成したものである。
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。例えば本実施例では溝の底部の形状を、ピンの2本を上昇させ他の一本を下降させるように形成したが、ピンの2本を下降させ他の一本を上昇させるように形成してもよく、要は第2円板を回転させることにより第2部材の中心を支点として傾斜が変化するような形状であればよい。なお、ワークの高さが高くなると中心の位置がずれるが、その場合は、第2部材のワークを載置する部分を掘り込むことにより中心位置のずれを軽減することができる。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
1 カメラ
2 鏡筒
3 レンズ
4 支柱
5 ワークステージ
6 ねじ
7 アライメント調整ステージ(XYZ)
8 ワーク
10 第2部材
19 第1部材
20 第1円板
21 第1ギア
22,23,24 ピン
10a,25 ストッパ
32 溝
41 第3円板
50 ハンドル
50a 支軸
50b つまみ
51 爪ギア
52 送りギア
60 モータ
61 画像処理装置
70 検査対象FPD
2 鏡筒
3 レンズ
4 支柱
5 ワークステージ
6 ねじ
7 アライメント調整ステージ(XYZ)
8 ワーク
10 第2部材
19 第1部材
20 第1円板
21 第1ギア
22,23,24 ピン
10a,25 ストッパ
32 溝
41 第3円板
50 ハンドル
50a 支軸
50b つまみ
51 爪ギア
52 送りギア
60 モータ
61 画像処理装置
70 検査対象FPD
Claims (5)
- 円周を3等分した位置に3本のピンを有する第1部材と、
この第1部材に対向して配置され前記3本のピンに接触し所定の距離を隔てて支持された第2部材からなり、
前記第1部材の中心を軸として回転させたときに、前記第1,第2部材間の中心部の距離は一定に維持され、中心から離れた位置の部材間の距離は可変となるように構成したことを特徴とする位置決め装置。 - 前記第1部材は、
外周にギアが形成された第1円板と、
この円板の外周より内側の円周を3等分した位置に円板の表面および裏面に対して直角方向に両端が突出して設けられた3本のピンと、
前記第1円板に対向して配置され外周にギアが形成された第2円板と、
この第2円板の表面に設けられ、前記第1円板の中心を軸として回転させたときに前記3本のピンのうち2本は同方向に上昇(または下降)し、他の一本のピンは前記2本のピンとは逆方向に下降(または上昇)するように形成されたカムとして機能する溝と、
前記第1円板に対しては一方向にのみ回転させ、第2円板に対しては両方向への回転が可能なように係合するギアを有する第3円板を備えたことを特徴とする請求項1記載の位置決め装置。 - 前記第1円板に設けられた3本のピンは円板の表面および裏面からの高さが同一になるように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記第1円板の回転を規制する回転規制手段を設けたことを特徴とする請求項2または3に記載の位置決め装置。
- 前記第1円板を一方向にのみ回転させる機構としてラチエットを用いたことを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005333962A JP2007140137A (ja) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005333962A JP2007140137A (ja) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | 位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007140137A true JP2007140137A (ja) | 2007-06-07 |
Family
ID=38203077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005333962A Pending JP2007140137A (ja) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007140137A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012198118A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Olympus Corp | 測光装置 |
WO2024081638A1 (en) * | 2022-10-10 | 2024-04-18 | Bionano Genomics, Inc. | Motion platform control |
-
2005
- 2005-11-18 JP JP2005333962A patent/JP2007140137A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012198118A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Olympus Corp | 測光装置 |
WO2024081638A1 (en) * | 2022-10-10 | 2024-04-18 | Bionano Genomics, Inc. | Motion platform control |
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