JP2009079737A - 回転軸調整機構 - Google Patents

回転軸調整機構 Download PDF

Info

Publication number
JP2009079737A
JP2009079737A JP2007250873A JP2007250873A JP2009079737A JP 2009079737 A JP2009079737 A JP 2009079737A JP 2007250873 A JP2007250873 A JP 2007250873A JP 2007250873 A JP2007250873 A JP 2007250873A JP 2009079737 A JP2009079737 A JP 2009079737A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating shaft
bearing
spherical surface
side member
tilt
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007250873A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Tarukawa
昌 樽川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2007250873A priority Critical patent/JP2009079737A/ja
Publication of JP2009079737A publication Critical patent/JP2009079737A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Support Of The Bearing (AREA)
  • Pivots And Pivotal Connections (AREA)

Abstract

【課題】回転軸の傾き調整を行ってもベアリングに応力がかからない回転軸調整機構を提供することを課題とする。
【解決手段】回転体が設けられた回転軸11と、回転軸11の一方の端部側を回転可能に支持する第1ベアリング15と、回転軸11の他方の端部側を回転可能に支持する第2ベアリング17と、第1ベアリング15を、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の外球面上を移動可能に支持する第1ベアリング支持部21と、第2ベアリング17を、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の内球面上を移動可能に支持する第2ベアリング支持部31と、第1ベアリング15の移動を許可/禁止する第1ベアリング固定部と、第2ベアリング17の移動を許可/禁止する第2ベアリング固定部とを有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、両端がベアリングで回転可能に支持された回転軸の調整機構に関する。
回転軸やそれを支持する機構部品には必ず製作誤差が伴い、精密なアラインメントを取るためには傾き調整が欠かせない。
特に、光束を精密に指向させるのに用いるミラー,スキャナ等の回転軸は、その基準面に対する直交度等、アラインメントを精密に調整しなければならない。
一般に、両端がベアリングを介して回転可能に支持された回転軸の傾きの調整(アライメント調整)は、回転軸が歳差運動するように一方或いは両方のベアリングの位置をずらして行っている(例えば、特許文献1参照)。
特開2005−291460号公報(図2)
高精度の回転を必要とする場合はベアリングに予圧をかけてボール,レースおよびハウジングの間にすきまが生じないようにしている。
しかし、上述のような回転軸の傾き調整では、回転軸がベアリングに対して傾くことになるので、ベアリングと回転軸との間に偏角が生じ、ベアリングに応力がかかる。この応力は、摩擦トルクの増加,ベアリングの信頼性低下,回転軸・ベアリング・周囲部品のひずみなどの原因となり、ミラー,スキャナ等の高精度走査を阻害する問題点がある。
尚、自動調心ベアリングを使用すると傾き調整によるベアリングへの応力は減少するが、予圧をかけて使用するものではないため、ベアリングの内部すきまを小さくできず、回転軸の高精度回転が困難になる。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、回転軸の傾き調整を行ってもベアリングに応力がかからない回転軸調整機構を提供することにある。
上記課題を解決する請求項1に係る発明は、回転体が設けられた回転軸と、該回転軸の一方の端部側を回転可能に支持する第1ベアリングと、前記回転軸の他方の端部側を回転可能に支持する第2ベアリングと、前記第1ベアリングを、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の外球面上を移動可能に支持する第1ベアリング支持部と、前記第2ベアリングを、前記回転軸の軸の一点を中心とした球の内球面上を移動可能に支持する第2ベアリング支持部と、前記第1ベアリングの移動を許可/禁止する第1ベアリング固定部と、前記第2ベアリングの移動を許可/禁止する第2ベアリング固定部と、を有することを特徴とする回転軸調整機構である。
先ず、第1、第2ベアリング固定部を操作し、第1、第2ベアリングが移動できるようにする。次に、回転軸を傾かせる。所望の回転軸の傾きが得られたならば、第1、第2ベアリング固定部を操作し、第1、第2ベアリングを固定する。
請求項2に係る発明は、前記回転軸の傾きを検出する傾き検出手段と、前記回転軸を傾かせる傾き調整部と、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を許可し、前記傾き検出手段からの検出値を取り込んで、前記回転軸の傾きが設定値となるように、前記傾き調整部を駆動し、前記回転軸の傾きが設定値となったら、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を禁止する制御部と、を設けたことを特徴とする請求項1記載の回転軸調整機構である。
制御部は、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を許可し、前記傾き検出手段からの検出値を取り込んで、前記回転軸の傾きが設定値となるように、前記傾き調整部を駆動し、前記回転軸の傾きが設定値となったら、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を禁止する。
請求項3に係る発明は、前記第1ベアリング支持部は、ベース側に設けられ、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の外球面を有する第1ベース側部材と、前記第1ベアリング側に設けられ、前記第1ベース側部材の外球面に摺接可能な内球面を有する第1ベアリング側部材とからなり、前記第2ベアリング支持部は、ベース側に設けられ、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の内球面を有する第2ベース側部材と、前記第2ベアリング側に設けられ、前記第2ベース側部材の内球面に摺接可能な外球面を有する第2ベアリング側部材とからなることを特徴とする請求項1又は2記載の回転軸調整機構である。
請求項4に係る発明は、前記傾き調整部は、前記回転軸の中心軸と交わる平面上の交差する2つの軸のうちの一方の軸に沿って前記回転軸を移動させる第1回転軸移動手段と、前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って前記回転軸を移動させる第2回転軸移動手段と、からなることを特徴とする請求項2記載の回転軸調整機構である。
請求項5に係る発明は、前記第1回転軸移動手段は、前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第1回転軸駆動部と、前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第1’回転軸駆動部とからなり、前記第2回転軸移動手段は、前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第2回転軸駆動部と、前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第2’回転軸駆動部とからなることを特徴とする請求項4記載の回転軸調整機構である。
請求項1−5に係る発明によれば、前記第1ベアリングを、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の外球面上を移動可能に支持する第1ベアリング支持部と、前記第2ベアリングを、前記回転軸の軸の一点を中心とした球の内球面上を移動可能に支持する第2ベアリング支持部とを有することで、第1、第2ベアリング固定部を操作し、第1、第2ベアリングが移動できるようにした後で、回転軸を傾かせると、回転軸と、第1ベアリング、第2ベアリングとは、回転軸の中心軸の一点を支点として傾く。よって、回転軸の傾き調整を行ってもベアリングに応力がかからない。
又、回転軸を回転駆動する駆動源や、回転軸の回転角を検出する角度センサ等を第1ベアリング側、第2ベアリング側に設けることで、回転軸の傾き調整を行っても、駆動源や角度センサは回転軸と共に傾くので、駆動源や角度センサの回転部に偏心が生じることはない。
請求項2に係る発明によれば、前記回転軸の傾きを検出する傾き検出手段と、前記回転軸を傾かせる傾き調整部と、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を許可し、前記傾き検出手段からの検出値を取り込んで、前記回転軸の傾きが設定値となるように、前記傾き調整部を駆動し、前記回転軸の傾きが設定値となったら、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を禁止する制御部とを設けたことにより、回転軸の傾き調整を容易に行うことができる。
<第1の実施の形態例>
第1の実施の形態例の構成を示す図1を用いて説明する。図において、ベース1は、基部3と、基部3の一方の端部側から上方に延出する第1側部5と、基部3の他方の端部側から上方に延出する第2側部7とからなっている。第1側部5、第2側部7には、対向するように穴5a、穴7aが形成されている。
回転軸11がフレーム1の穴5a、7aを挿通するように配置される。この回転軸11の中央部には、ミラー13が取り付けられている。回転軸1の一方の端部側は、第1ベアリング(本形態例では、アンギュラベアリング)15が設けられている。又、回転軸1の他方の端部側は、穴7a内に位置する第2ベアリング(本形態例では、アンギュラベアリング)17が設けられている。
第1ベアリング15は、第1側部5に設けられている第1ベアリング支持部21に支持され、穴5a内に位置している。第2ベアリング17は、第2側部7に設けられている第2ベアリング支持部31に支持され、穴7a内に位置している。
第1ベアリング支持部21は、第1側部5の第2側部7との対向面と反対側の面に設けられ、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の外球面23aを有する第1ベース側部材23と、第1ベアリング15を支持するように設けられ、第1ベース側部材23の外球面23aに摺接可能な内球面25aを有する第1ベアリング側部材25とからなっている。
本形態例の第2ベアリング支持部31は、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の内球面7bを有する第2側部7の穴7a(第2ベース側部材として機能する)と、第2ベアリング17を支持するように設けられ、第2ベース側部材の内球面7bに摺接可能な外球面35aを有する第2ベアリング側部材35とからなっている。
従って、第1ベアリング15は、第1ベアリング支持部21により、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の外球面上を移動可能に支持されている。又、第2ベアリング17は、第2ベアリング支持部31により、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の内球面上を移動可能に支持されている。
そして、第1ベアリング15の移動を許可/禁止する第1ベアリング固定部と、第2ベアリング17の移動を許可/禁止する第2ベアリング固定部とを有している。
本形態例の第1ベアリング固定部は、第1ベアリング側部材25に設けられた複数のめねじ穴25bに螺合し、第1ベース側部材23の外球面23aに当接/離脱可能な複数の第1ねじ41とした。第1ねじ41をゆるめることで、第1ベアリング15と第1ベアリング側部材25とが第1ベース側部材23の外球面23a上を移動可能となり、第1ねじ41を締めて、第1ねじ41の先端部を第1ベース側部材23の外球面23a上に押し当てることで、第1ベアリング15と第1ベアリング側部材25とが第1ベース側部材23の外球面23a上を移動することが禁止される。
第2ベアリング固定部は、内周面が、第2ベアリング側部材35の外球面35aに摺接可能な内球面33aが形成された円筒状の押さえプレート33と、押さえプレート33に設けられた複数の穴33bに遊嵌し、第2側部7に形成されためねじ穴7cに螺合する複数の第2ねじ43とした。第2ねじ43をゆるめることで、押さえプレート33の内球面33aの第2ベアリング側部材35の外球面35aへの押圧がなくなり、第2ベアリング17と第2ベアリング側部材35とが第2ベース側部材である第2フレーム7の内球面7b上を移動可能となり、第2ねじ43を締めて、第2ねじ43を第2側部7のめねじ穴7cに螺合させることで、第2ベアリング17と第2ベアリング側部材35とが第2ベース側部材である第2フレーム7の内球面7b上を移動することが禁止される。
ここで、上記構成の回転軸調整機構の作動を説明する。
先ず、第1、第2ベアリング固定部である第1ねじ41,第2ねじ43をゆるめ、第1ベアリング15、第2ベアリング17が移動できるようにする。次に、回転軸11を傾かせる。所望の回転軸11の傾きが得られたならば、第1ねじ41、第2ねじ43を締めて、第1ベアリング15、第2ベアリング17を固定する。
上記構成によれば、第1ベアリング15を、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の外球面上を移動可能に支持する第1ベアリング支持部21と、第2ベアリング17を、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の内球面上を移動可能に支持する第2ベアリング支持部31とを有することで、ねじ41、43をゆるめ、第1、第2ベアリング15,17が移動できるようにした後で、回転軸11を傾かせると、回転軸11と、第1ベアリング15、第2ベアリング17とは、回転軸11の中心軸Oの一点Aを支点として傾く。よって、回転軸11の傾き調整を行っても第1ベアリング15,17に応力がかからない。
又、回転軸11を回転駆動する駆動源や、回転軸11の回転角を検出する角度センサ等を第1ベアリング15側、第2ベアリング17側に設けることで、回転軸11の傾き調整を行っても、駆動源や角度センサは回転軸11と共に傾くので、駆動源や角度センサの回転部に偏心が生じることはない。
<第2の実施の形態例>
第2の実施の形態例の構成を示す図2、図2の切断線B−Bでの断面図である図3を用いて説明する。
尚、本形態例は、第1の実施の形態例に回転軸を傾かせる傾き調整部と、回転軸の傾きを検出する傾き検出手段と設け、更に、第1、第2ベアリング固定部の構成を変えた点であり、他の部分は同一である。よって、同一部分には、同一符号を付し、重複する説明は省略する。
図3に示すように、本形態例の傾き調整部71は、回転軸11の中心軸Oと交わる平面上の交差する2つの軸のうちの一方の軸に沿って回転軸11を移動させる第1回転軸移動手段と、2つの軸のうちの他方の軸に沿って回転軸11を移動させる第2回転軸移動手段とからなっている。
第1回転軸11移動手段は、回転軸11の周面を押して、回転軸11を2つの軸のうちの一方の軸Dに沿って一方の方向へ移動させる第1回転軸駆動部73と、回転軸11の周面を押して、回転軸11を2つの軸のうちの一方の軸Dに沿って他方の方向へ移動させる第1’回転軸駆動部73’とからなっている。第2回転軸移動手段は、回転軸11の周面を押して、回転軸11を2つの軸のうちの他方の軸Eに沿って一方の方向へ移動させる第2回転軸駆動部75と、回転軸11の周面を押して、回転軸11を2つの軸のうちの他方の軸Eに沿って他方の方向へ移動させる第2’回転軸駆動部75’とからなっている。尚、回転軸駆動部としては、ピエゾ素子、油圧シリンダ、エアシリンダ、パルスモータ等あるが限定するものではない。
本形態例の第1ベアリング固定部は、図2に示すように、第1ねじの代わりに、第1ベアリング部材25側に設けられ、第1ベース側部材23の外球面23aに当接/離脱可能な第1アクチュエータ141を用いている。又、第2ベアリング固定部は、図2に示すように、第2ねじの代わりに、ベース1(第2側部7)側に設けられ、押さえプレート33の背面に当接/離脱可能な第2アクチュエータ143を用いている。尚、アクチュエータとしては、ピエゾ素子、油圧シリンダ、エアシリンダ、パルスモータ等あるが限定するものではない。
次に、上記構成の回転軸調整機構の電気的接続を図4に示すブロック図を用いて説明する。51は、回転軸11の傾きを検出する傾き検出手段53、回転軸11の傾きを設定するスイッチ等の回転軸傾き設定手段55からの信号を取り込んで、第1回転軸駆動部73、第1’回転軸駆動部73’、第2回転軸駆動部75、第2’回転軸駆動部75’、第1アクチュエータ141、第2アクチュエータ143を駆動する制御部である。
次に、図5を用いて、制御部51の作動を説明する。
最初に、回転軸傾き設定手段55から回転軸傾き設定値(α)を取り込む(ステップ1)。
第1アクチュエータ141、第2アクチュエータ143を駆動して、第1ベアリング15、第2ベアリング17が移動できるようにする(ステップ2)。
傾き検出手段53からの検出値(β)を取り込んで、回転軸11の傾きが設定値(α)となるように、傾き調整部(第1回転軸駆動部73、第1’回転軸駆動部73’、第2回転軸駆動部75、第2’回転軸駆動部75’)を駆動する(ステップ3,4,5)。
回転軸11の傾きが設定値(α)となったら、第1アクチュエータ141、第2アクチュエータ143を駆動して、第1ベアリング15、第2ベアリング17を固定し(ステップ6)、一連の作動を終了する。
上記構成によれば、第1ベアリング15を、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の外球面上を移動可能に支持する第1ベアリング支持部21と、第2ベアリング17を、回転軸11の中心軸Oの一点Aを中心とした球の内球面上を移動可能に支持する第2ベアリング支持部31とを有することで、ねじ41、43をゆるめ、第1、第2ベアリング15,17が移動できるようにした後で、回転軸11を傾かせると、回転軸11と、第1ベアリング15、第2ベアリング17とは、回転軸11の中心軸Oの一点Aを支点として傾く。よって、回転軸11の傾き調整を行っても第1ベアリング15,17に応力がかからない。
又、回転軸11を回転駆動する駆動源や、回転軸11の回転角を検出する角度センサ等を第1ベアリング15側、第2ベアリング17側に設けることで、回転軸11の傾き調整を行っても、駆動源や角度センサは回転軸11と共に傾くので、駆動源や角度センサの回転部に偏心が生じることはない。
又、回転軸11の傾きを検出する傾き検出手段53と、回転軸11を傾かせる傾き調整部と、第1、第2ベアリング固定部を駆動して、第1、第2ベアリング15,17の移動を許可し、傾き検出手段53からの検出値を取り込んで、回転軸11の傾きが設定値となるように、傾き調整部を駆動し、回転軸11の傾きが設定値となったら、第1、第2ベアリング固定部を駆動して、第1、第2ベアリング15,17の移動を禁止する制御部51とを設けたことにより、回転軸11の傾き調整を容易に行うことができる。
尚、本発明は、上記形態例に限定するものではない。傾き調整部の第1’回転軸駆動部73’の代わりに、回転軸11の周面を押して、回転軸11を2つの軸のうちの一方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第1付勢府部(スプリング)でもよい。同様に、傾き調整部の第2’回転軸駆動部75’の代わりに、回転軸11の周面を押して、回転軸11を2つの軸のうちの他方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第2付勢府部(スプリング)でもよい。
(付記1)
回転体が設けられた回転軸と、
該回転軸の一方の端部側を回転可能に支持する第1ベアリングと、
前記回転軸の他方の端部側を回転可能に支持する第2ベアリングと、
前記第1ベアリングを、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の外球面上を移動可能に支持する第1ベアリング支持部と、
前記第2ベアリングを、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の内球面上を移動可能に支持する第2ベアリング支持部と、
前記第1ベアリングの移動を許可/禁止する第1ベアリング固定部と、
前記第2ベアリングの移動を許可/禁止する第2ベアリング固定部と、
を有することを特徴とする回転軸調整機構。
(付記2)
前記回転軸の傾きを検出する傾き検出手段と、
前記回転軸を傾かせる傾き調整部と、
前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を許可し、前記傾き検出手段からの検出値を取り込んで、前記回転軸の傾きが設定値となるように、前記傾き調整部を駆動し、前記回転軸の傾きが設定値となったら、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を禁止する制御部と、
を設けたことを特徴とする付記1記載の回転軸調整機構。
(付記3)
前記第1ベアリング支持部は、
ベース側に設けられ、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の外球面を有する第1ベース側部材と、
前記第1ベアリング側に設けられ、前記第1ベース側部材の外球面に摺接可能な内球面を有する第1ベアリング側部材とからなり、
前記第2ベアリング支持部は、
ベース側に設けられ、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の内球面を有する第2ベース側部材と、
前記第2ベアリング側に設けられ、前記第2ベース側部材の内球面に摺接可能な外球面を有する第2ベアリング側部材とからなることを特徴とする付記1又は2記載の回転軸調整機構。
(付記4)
前記傾き調整部は、
前記回転軸の中心軸と交わる平面上の交差する2つの軸のうちの一方の軸に沿って前記回転軸を移動させる第1回転軸移動手段と、
前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って前記回転軸を移動させる第2回転軸移動手段と、
からなることを特徴とする付記2記載の回転軸調整機構。
(付記5)
前記第1回転軸移動手段は、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第1回転軸駆動部と、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第1’回転軸駆動部とからなり、
前記第2回転軸移動手段は、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第2回転軸駆動部と、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第2’回転軸駆動部とからなることを特徴とする付記4記載の回転軸調整機構。
(付記6)
前記第1回転軸移動手段は、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第1回転軸駆動部と、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第1付勢府部とかなり、
前記第2回転軸移動手段は、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第2回転軸駆動部と、
前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第2付勢部とからなることを特徴とする付記4記載の回転軸調整機構。
(付記7)
前記第1ベアリング固定部、第2ベリング固定部は、
前記ベアリング側、前記ベアリング支持部側のうちの一方の側に設けられ、他方の側に係脱可能で、係合すると前記ベアリングの前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の球面上の移動を禁止する係合部材であることを特徴とする付記1乃至6のいずれかに記載の回転軸調整機構。
第1の実施の形態例の構成を示す図である。 第2の実施の形態例の構成を示す図である。 図2の切断線B−Bでの断面図である。 第2の実施の形態例の電気的構成を説明するブロック図である。 第2の実施の形態例のフロー図である。
符号の説明
11 回転軸
15 第1ベアリング
17 第2ベアリング
21 第1ベアリング支持部
31 第2ベアリング支持部

Claims (5)

  1. 回転体が設けられた回転軸と、
    該回転軸の一方の端部側を回転可能に支持する第1ベアリングと、
    前記回転軸の他方の端部側を回転可能に支持する第2ベアリングと、
    前記第1ベアリングを、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の外球面上を移動可能に支持する第1ベアリング支持部と、
    前記第2ベアリングを、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の内球面上を移動可能に支持する第2ベアリング支持部と、
    前記第1ベアリングの移動を許可/禁止する第1ベアリング固定部と、
    前記第2ベアリングの移動を許可/禁止する第2ベアリング固定部と、
    を有することを特徴とする回転軸調整機構。
  2. 前記回転軸の傾きを検出する傾き検出手段と、
    前記回転軸を傾かせる傾き調整部と、
    前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を許可し、前記傾き検出手段からの検出値を取り込んで、前記回転軸の傾きが設定値となるように、前記傾き調整部を駆動し、前記回転軸の傾きが設定値となったら、前記第1、第2ベアリング固定部を駆動して、前記第1、第2ベアリングの移動を禁止する制御部と、
    を設けたことを特徴とする請求項1記載の回転軸調整機構。
  3. 前記第1ベアリング支持部は、
    ベース側に設けられ、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の外球面を有する第1ベース側部材と、
    前記第1ベアリング側に設けられ、前記第1ベース側部材の外球面に摺接可能な内球面を有する第1ベアリング側部材とからなり、
    前記第2ベアリング支持部は、
    ベース側に設けられ、前記回転軸の中心軸の一点を中心とした球の内球面を有する第2ベース側部材と、
    前記第2ベアリング側に設けられ、前記第2ベース側部材の内球面に摺接可能な外球面を有する第2ベアリング側部材とからなることを特徴とする請求項1又は2記載の回転軸調整機構。
  4. 前記傾き調整部は、
    前記回転軸の中心軸と交わる平面上の交差する2つの軸のうちの一方の軸に沿って前記回転軸を移動させる第1回転軸移動手段と、
    前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って前記回転軸を移動させる第2回転軸移動手段と、
    からなることを特徴とする請求項2記載の回転軸調整機構。
  5. 前記第1回転軸移動手段は、
    前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第1回転軸駆動部と、
    前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの一方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第1’回転軸駆動部とからなり、
    前記第2回転軸移動手段は、
    前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って一方の方向へ移動させる第2回転軸駆動部と、
    前記回転軸の周面を押して、前記回転軸を前記2つの軸のうちの他方の軸に沿って他方の方向へ移動させる第2’回転軸駆動部とからなることを特徴とする請求項4記載の回転軸調整機構。
JP2007250873A 2007-09-27 2007-09-27 回転軸調整機構 Withdrawn JP2009079737A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007250873A JP2009079737A (ja) 2007-09-27 2007-09-27 回転軸調整機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007250873A JP2009079737A (ja) 2007-09-27 2007-09-27 回転軸調整機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009079737A true JP2009079737A (ja) 2009-04-16

Family

ID=40654639

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007250873A Withdrawn JP2009079737A (ja) 2007-09-27 2007-09-27 回転軸調整機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009079737A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015226938A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 株式会社荏原製作所 研磨装置
GB2617902A (en) * 2022-03-01 2023-10-25 Bosch Gmbh Robert Self-aligning bearing support assembly

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015226938A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 株式会社荏原製作所 研磨装置
GB2617902A (en) * 2022-03-01 2023-10-25 Bosch Gmbh Robert Self-aligning bearing support assembly

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20000062688A (ko) 광축에 따른 광학엘레멘트의 이동장치
JP2009079737A (ja) 回転軸調整機構
JP5150845B2 (ja) 光学部品の位置調整装置および位置調整方法
JP4778878B2 (ja) 多自由度球面軸受
JP7309403B2 (ja) 回転載物台
JP4767824B2 (ja) 多自由度球面軸受
JPH06344233A (ja) 予圧を付与された転がり軸受装置の製造方法
JP4992182B2 (ja) 回転機構付軸方向微動装置
KR101090858B1 (ko) 자가 예압형 베어링을 구비한 2축 김발시스템
JP4869633B2 (ja) 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡
JP2007192358A (ja) 回転機構付軸方向微動機構および粗微動位置決め装置、並びに回転機構付軸方向微動機構の設置方法および粗微動位置決め装置の設置方法
US20090002670A1 (en) Apparatus for the manipulation and/or adjustment of an optical element
JP2006170957A (ja) チルトステージ
JP2020194027A (ja) レンズ装置および撮像装置
JP2009020429A (ja) 光学ユニット、それを備えたレンズ鏡筒および光学ユニットの製造方法
JP5273270B2 (ja) 回転機構付軸方向微動機構およびそれを用いた位置決め装置
JP2007193663A (ja) 回転機構付軸方向微動機構および粗微動位置決め装置
JP7294877B2 (ja) レンズ駆動装置及びそれを備えたレンズユニット、カメラ
JP2001013440A (ja) ポリゴンスキャナ
JP5067487B2 (ja) 位置決め装置
JP2009225382A (ja) 撮像素子傾き調整機構および撮像装置
JP2006280047A (ja) 振動アクチュエータ装置及びレンズ鏡筒
JP2004197864A (ja) 摩擦駆動装置
JP4401872B2 (ja) 位置制御装置
JP2007140137A (ja) 位置決め装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20101207