KR20070068998A

KR20070068998A - 도포침 고정 방법과, 그것을 이용한 액상재료 도포 기구 및결함 수정 장치

Info

Publication number: KR20070068998A
Application number: KR1020060098332A
Authority: KR
Inventors: 아키라 마츠시마; 아키히로 야마나카
Original assignee: 에누티에누 가부시기가이샤
Priority date: 2005-12-27
Filing date: 2006-10-10
Publication date: 2007-07-02
Also published as: CN1991505B; TWI401476B; JP4890024B2; KR101247399B1; CN1991505A; JP2007175584A; TW200724983A

Abstract

과제

도포침을 구동 장치의 구동축에 용이하게 재현성 좋게 부착하는 것이 가능한 도포침 고정 방법을 제공한다.

해결 수단

이 잉크 도포 기구(4)에서는, 도포침 홀더(24) 및 고정 베이스(25)에 각각 마그넷(M1, M2)를 마련하고, 마그넷(M1, M2) 사이의 자기 흡인력에 의해 도포침 홀더(24)의 이면을 고정 베이스(25)의 기준면(F)에 흡착시킴과 함께, 마그넷(M1, M2) 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더(24)의 단면(E1, E2)을 고정 베이스(25)의 기준 단면(E3, E4)에 꽉누른다. 따라서 도포침 홀더(24)를 고정 베이스(25)에 용이하게 재현성 좋게 부착할 수 있다.

도포침

Description

도포침 고정 방법과, 그것을 이용한 액상재료 도포 기구 및 결함 수정 장치{APPLICATION NEEDLE FIXING METHOD AND LIQUID STATE MATERIAL APPLICATION APPARATUS AND DEFECT CORRECTION APPARATUS}

도 1은 본 발명의 한 실시의 형태에 의한 결함 수정 장치의 전체 구성을 도시하는 도면.

도 2는 도 1에 도시한 잉크 도포 기구의 구성을 도시하는 도면.

도 3은 도 2에 도시한 도포침 홀더 및 고정 베이스의 구성 및 고정 방법을 도시하는 도면.

도 4는 도 3에 도시한 2개의 마그넷 사이의 구심력을 설명하기 위한 도면.

도 5는 도 3에 도시한 2개의 마그넷의 위치 관계를 도시하는 도면.

도 6은 실시의 형태의 비교예를 도시하는 도면.

도 7은 실시의 형태의 변경예를 도시하는 도면.

도 8은 컬러 필터에 발생하는 결함을 도시하는 도면.

<부호의 설명>

1 : 관찰 광학계 2 : CCD 카메라

3 : 레이저 4 : 잉크 도포 기구

5 : 잉크 경화용 조명 6 : 컬러 필터 기판

7 : Z축 테이블 8 : X축 테이블

9 : Y축 테이블 10 : 제어용 컴퓨터

l1 : 조작 패널 21 : 도포침

22 : 도포침 구동 실린더 23 : 구동축

24, 50 : 도포침 홀더 25, 51 : 고정 베이스

26 : 회전 테이블 27 내지 30 : 잉크 탱크

31 : 세정 장치 32 : 에어 퍼지 장치

33 : 회전축 34, 40 : 노치부

35 : 모터 36 : 인덱스판

37 : 인덱스용 센서 38 : 원점 복귀용 센서

M1, M2 : 마그넷 E1, E2 : 단면

E3, E4 : 기준 단면 F : 기준면

41 : 나사 구멍 42 : 고정 나사

100 : 블랙 매트릭스 101 : R화소

102 : G화소 103 : B화소

104 : 백결함 105 : 흑결함

106 : 이물결함

기술 분야

본 발명은 도포침 고정 방법, 액상재료 도포 기구 및 결함 수정 장치에 관한 것으로서, 특히, 기판상의 미세 영역에 액상재료를 도포하는 도포침을 구동 장치의 구동축에 고정하는 도포침 고정 방법과, 그것을 이용한 액상재료 도포 기구 및 결함 수정 장치에 관한 것이다.

종래의 기술

근래, LCD(액정 디스플레이)의 대형화, 고정밀화에 수반하여 화소 수도 증대하고, LCD를 무결함으로 제조하는 것은 곤란해지고, 결함의 발생 확률도 증가하여 오고 있다. 이와 같은 상황하에서 수율 향상을 위해, LCD의 컬러 필터의 제조 공정에서 발생하는 결함을 수정하는 결함 수정 장치가 생산 라인에 불가결하게 되어 오고 있다.

도 8의 (a) 내지 (c)는, LcD의 컬러 필터의 제조 공정에서 발생하는 결함을 도시하는 도면이다. 도 8의 (a) 내지 (c)에서, 컬러 필터는, 투명 기판과, 그 표면에 형성된 블랙 매트릭스(100)라고 불리는 격자형상의 패턴과, 복수조의 R(적색)화소(101), G(녹색)화소(102), 및 B(청색)화소(I03)도 포함한다. 컬러 필터의 제조 공정에서는, 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이 화소나 블랙 매트릭스(100)의 색이 빠저 버린 백결함(104)이나, 도 8의 (b)에 도시하는 바와 같이 이웃의 화소와 색이 혼색되거나, 블랙 매트릭스(100)가 화소에 비어져 나와 버린 흑결함(105)이나, 도 8의 (c)에 도시하는 바와 같이 화소에 이물이 부착한 이물결함(106) 등이 발생한다.

백결함(104)를 수정하는 방법으로서는, 잉크 도포 기구에 의해, 백결함(104)이 존재하는 화소과 같은 색의 잉크를 도포침의 선단부에 부착시키고, 도포침의 선단부에 부착한 잉크를 백결함(104)에 도포하여 수정하는 방법이 있다(예를 들면 특개평9-236933호 공보 참조). 또한, 흑결함(105)이나 이물결함(106)을 수정하는 방법으로서는, 결함 부분을 레이저 커트하여 직사각형의 백결함(104)을 형성한 후, 잉크 도포 기구에 의해, 도포침의 선단부에 부착한 잉크를 그 백결함(104)에 도포하여 수정하는 방법이 있다(예를 들면 특개평0-262520호 공보 참조).

상기 잉크 도포 기구에서는, 도포침이 도포침 홀더에 고정됨과 함께, 구동 실린더의 구동축의 선단부에 고정 베이스가 마련되고, 도포침 홀더가 고정 베이스에 고정 나사로 부착된다. 또한, 도포침 교환시에 있어서의 도포침 위치의 재현성을 확보하기 위해, 도포침 홀더의 단면(端面)을 고정 베이스의 기준 단면에 꽉누른 상태에서 도포침 홀더를 고정 베이스에 고정한다. 도포침 홀더의 부착 후에는, 잉크의 도포 위치를 정하기 위해, 도포침의 선단 위치를 미리 확인한 필요가 있다. 이 때, 도포침 홀더 고정시에 도포침 선단 위치가 크게 어긋나면, 도포침의 선단 위치의 확인에 매우 시간을 필요로 하여 버리게 된다.

또한, 일반적으로 컬러 필터의 생산은, 먼지(이물)에 의한 결함의 발생을 방지하기 위해 클린 룸 내에서 행하여진다. 클린 룸 내에서는 극력 먼지 발생을 억제하기 위해, 클린 웨어의 착용, 마스크의 장착, 얇은 고무장갑의 장착이 작업자에게 의무화되어 있다.

이와 같은 작업 스타일에 있어서, 작은 도포침 홀더를 고정 베이스의 기준 단면에 꽉누르면서 작은 고정 나사를 이용하여 부착하는 작업은 용이하지가 않고, 익숙치 않은 작업자의 경우, 도포침 홀더의 고정 위치가 어긋나 버리는 경우가 있다. 또한, 도포침 홀더를 낙하시켜서 도포침을 손상시켜 버릴 가능성도 있다.

그래서, 본 발명의 주된 목적은, 도포침을 구동 장치의 구동축에 용이하게 재현성 좋게 부착하는 것이 가능한 도포침 고정 방법과, 그것을 이용한 액상재료 도포 기구 및 결함 수정 장치를 제공하는 것이다.

과제를 해결하기 위한 수단

본 발명에 관한 도포침 고정 방법은, 기판상의 미세 영역에 액상재료를 도포하는 도포침을 구동 장치의 구동축에 고정하는 도포침 고정 방법으로서, 도포침의 기단부를 도포침 홀더에 고정하고, 제 1 및 제 2의 기준면을 갖는 고정 베이스를 구동축의 선단부에 마련하고, 도포침 홀더 및 고정 베이스에 각각 제 1 및 제 2의 마그넷을 마련하고, 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 자기(磁氣) 흡인력에 의해 도포침 홀더를 제 1의 기준면에 흡착시킴과 함께, 제 1의 기준면에 평행한 방향의 제 1 및 제 2의 마그넷의 위치 어긋남에 의해 생기는 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더의 단면을 제 2의 기준면에 꽉누르는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 액상재료 도포 기구는, 도포침의 선단부에 부착한 액상재료를 기판상의 미세 영역에 도포하는 액상재료 도포 기구로서, 도포침을 구동시키는 구동축을 갖는 구동 장치와, 도포침의 기단부가 고정 된 도포침 홀더와, 제 1 및 제 2의 기준면을 가지며, 구동축의 선단부에 마련된 고정 베이스와, 각각 도 포침 홀더 및 고정 베이스에 마련된 제 1 및 제 2의 마그넷을 구비하고, 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 자기 흡인력에 의해 도포침 홀더를 제 1의 기준면에 흡착시킴과 함께, 제 1의 기준면에 평행한 방향의 제 1 및 제 2의 마그넷의 위치 어긋남에 의해 생기는 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더의 단면을 제 2의 기준면에 꽉누르는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 고정 베이스는 또한 제 3의 기준면을 가지며, 제 1 및 제 2의 마그넷은, 구심력에 의해 도포침 홀더의 2개의 단면을 각각 제 2 및 제 3의 기준면에 꽉누른다.

또한 바람직하게는, 도포침 홀더 및 고정 베이스는 비자성재료로 형성되어 있다.

또한, 본 발명에 관한 결함 수정 장치는, 기판상의 미세 영역은, 기판상에 형성된 미세 패턴의 결함부이고, 액상재료는 결함부를 수정하기 위한 수정액이고, 상기 액상재료 도포 기구 및 결함부를 관찰하기 위한 관찰용 광학계도 포함하는 수정 헤드와, 기판과 수정 헤드를 상대적으로 이동시켜서 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 도포침 고정 방법과, 그것을 이용한 액상재료 도포 기구 및 결함 수정 장치에서는, 도포침의 기단부를 도포침 홀더에 고정하고, 제 1 및 제 2의 기준면을 갖는 고정 베이스를 구동축의 선단부에 마련하고, 도포침 홀더 및 고정 베이스에 각각 제 1 및 제 2의 마그넷을 마련하고, 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 자기 흡인력에 의해 도포침 홀더를 제 1의 기준면에 흡착시킴과 함께, 제 1의 기준면에 평행한 방향의 제 1 및 제 2의 마그넷의 위치 어긋남에 의해 생기는 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더의 단면을 제 2의 기준면에 꽉누른다. 따라서 도포침 홀더를 고정 베이스의 기준 단면에 꽉누르면서 작은 고정 나사를 이용하여 마련하고 있던 종래에 비하여, 도포침을 구동 장치의 구동축에 용이하게 재현성 좋게 부착할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시의 형태에 의한 결함 수정 장치의 전체 구성을 도시하는 도면이다. 도 1에서, 이 결함 수정 장치는, 크게 분류하면, 관찰 광학계(1), CCD 카메라(2), 레이저(3), 잉크 도포 기구(4), 및 잉크 경화용 조명(5)으로 구성되는 결함 수정 헤드부와, 이 결함 수정 헤드부를 수정 대상의 컬러 필터 기판(6)에 대해 수직 방향(Z축 방향)으로 이동시키는 Z축 테이블(7)과, Z축 테이블(7)을 탑재하고 X축방향으로 이동시키기 위한 X축 테이블(8)과, 컬러 필터 기판(6)을 탑재하여 Y축 방향으로 이동시키기 위한 Y축 테이블(9)과, 장치 전체의 동작을 제어하는 제어용 컴퓨터(10)와, 제어용 컴퓨터(10)에 작업자로부터의 지령을 입력하기 위한 조작 패널(11)로 구성된다.

관찰 광학계(1)는, 컬러 필터 기판(6)의 표면 상태나, 잉크 도포 기구(4)로 잉크를 도포한 상태를 관찰하기 위한 것이다. 관찰 광학계(1)에 의해 관찰되는 화상은, CCD 카메라(2)에 의해 전기 신호로 변환되고, 제어용 컴퓨터(10)의 모니터 화면에 표시된다. 잉크 도포 기구(4)는, 컬러 필터 기판(6) 표면의 백결함에 잉크를 도포하여 수정한다. 잉크 경화용 조명(5)은, 잉크 도포 기구(4)로 도포된 잉크 를 경화시키기 위한 광을 조사한다. 잉크가 자외선 경화 타입인 경우는, 자외선 조명이 잉크 경화용 조명(5)으로서 선택되어 장치에 탑재된다. 잉크가 열경화 타입인 경우는, 할로겐 조명이 잉크 경화용 조명(5)으로서 선택되어 장치에 탑재된다. 레이저(3)는, 흑결함이나 이물결함을 제거하여 백결함으로 하기 위해 이용된다. 본 장치 구성에 의해, 컬러 필터에 발생한 백결함, 흑결함, 이물결함의 수정이 가능하다.

도 2는 잉크 도포 기구(4)의 구성을 도시하는 일부 생략한 사시도이다. 도 2에서, 이 잉크 도포 기구(4)는, 잉크 도포용의 도포침(21)과, 도포침(21)을 수직 구동시키기 위한 도포침 구동 실린더(22)를 포함한다. 도포침(21)은, 도포침 홀더(24) 및 고정 베이스(25)를 통하여 도포침 구동 실린더(22)의 구동축(23)의 선단부에 마련된다.

또한, 이 잉크 도포 기구(4)는, 수평으로 마련된 회전 테이블(26)을 포함하고, 회전 테이블(26)상에는 원주 방향으로 복수의 잉크 탱크(27 내지 30)가 순차적으로 배치되고, 또한, 회전 테이블(26)상에는 세정 장치(31)과 에어 퍼지 장치(32)가 마련된다. 회전 테이블(26)의 중심에는 회전축(33)이 세워마련되어 있다. 또한, 회전 테이블(26)에는, 잉크 도포시에 도포침(21)을 통과시키기 위한 노치부(34)가 형성되어 있다. 잉크 탱크(27 내지 30)에는, 각각 R(적), G(녹), B(청) 및 흑의 각 색의 잉크가 적절히 주입되어 있다. 세정 장치(31)는, 도포침(21)에 부착한 잉크를 제거하기 위한 것이고, 에어 퍼지 장치(32)는 도포침(21)에 부착한 세정액을 날려 버리기 위한 것이다.

또한, 이 잉크 도포 기구(4)는, 회전 테이블(26)의 회전축(33)를 회전시키기 위한 인덱스용 모터(35)도 포함하고, 또한 회전축(33)과 함께 회전하는 인덱스판(36)과, 인덱스판(36)을 통하여 회전 테이블(26)의 회전 위치를 검출하기 위한 인덱스용 센서(37)와, 인덱스판(36)을 통하여 회전 테이블(26)의 회전 위치가 원점으로 복귀한 것을 검출하기 위한 원점 복귀용 센서(38)가 마련된다. 모터(35)는 센서(37, 38)의 출력에 의거하여 제어되고, 회전 테이블(26)을 회전시켜서 노치부(34), 잉크 탱크 (27 내지 30), 세정 장치(31) 및 에어 퍼지 장치(32)중 어느 하나를 도포침(21)의 하방에 위치시킨다.

또한, 도포침 구동 실린더(22)와 모터(35)는 Z축 테이블(7)에 고정되고, Z축 테이블(7)과 결함 수정의 대상이 되는 컬러 필터 기판(6)은, X축 테이블(8) 및 Y축 테이블(9)에 의해 상대적으로 위치 결정된다.

다음에, 이 잉크 도포 기구(4)의 동작에 관해 설명한다. 우선, X축 테이블(8), Y축 테이블(9) 및 Z축 테이블(7)이 구동되고, 컬러 필터 기판(6)의 결함부의 상방의 소정 위치에 도포침(21)의 선단이 위치 결정된다. 뒤이어, 모터(35)에 의해 회전 테이블(26)이 회전되고, 소방하는 잉크 탱크(예를 들면 27)이 도포침(21)의 아래로 이동된다. 다음에, 도포침 구동 실린더(22)에 의해 도포침(21)이 상하로 구동되고, 도포침(21)의 선단부에 잉크가 부착된다.

뒤이어, 모터(35)에 의해 회전 테이블(26)이 회전되고, 노치부(34)가 도포침(21)의 아래로 이동된다. 다음에, 도포침 구동 실린더(22)에 의해 도포침(21)이 상하로 구동되고, 도포침(21)의 선단부에 부착한 잉크가 컬러 필터 기판(6)의 결함 부에 도포된다.

도포침(21)의 세정시는, 모터(35)에 의해 회전 테이블(26)이 회전되고, 세정 장치(31)가 도포침(21)의 아래로 이동된다. 다음에, 도포침 구동 실린더(22)에 의해 도포침(21)이 상하로 구동되고, 도포침(21)에 부착한 잉크가 세정된다. 뒤이어, 모터(35)에 의해 회전 테이블(26)이 회전되고, 에어 퍼지 장치(32)이 도포침(21)의 아래로 이동된다. 다음에, 도포침 구동 실린더(22)에 의해 도포침(21)이 상하로 구동되고, 도포침(21)에 부착한 세정액이 날려진다.

도 3의 (a) 내지 (c)는, 이 결함 수에 장치의 특징이 되는 도포침 고정 방법을 도시하는 도면이다. 도 3의 (a) 내지 (c)에서, 도포침 홀더(24)는 직사각형의 평판형상으로 형성되어 있다. 도포침(21)은, 도포침 홀더(24)의 긴변과 같은 방향으로 향하여지고, 그 기단부가 도포침 홀더(24)의 한쪽의 짧은변에 고정되어 있다. 도포침 홀더(24)의 다른쪽의 짧은변측의 단면(端面)(E1)과, 한쪽의 긴변측의 단면(E2)은, 도포침(21)의 위치 맞춤에 사용된다. 단면(E1과 E2)이 교차한 뿔모서리는 깎여저 있다. 도포침 홀더(24) 표면의 소정 위치에 마그넷(영구자석)(M1)이 매입되어 있다.

또한, 고정 베이스(25)는, 직사각형의 두꺼운 판의 한 모서리부를 도포침 홀더(24)의 크기분만큼 깎아낸 형상을 하고 있고, 그 긴변을 수직으로 향하게 하여 구동축(23)의 선단부에 고정되어 있다. 고정 베이스(25)는, 도포침 홀더(24)의 이면이 밀착된 기준면(F)과, 도포침 홀더(24)의 단면(E1, E2)이 각각 꽉눌려지는 기준 단면(E3, E4)을 포함한다. 기준면(F)은, 고정 베이스(25)의 도면중 왼쪽으로 비 스듬히 하부에 위치하고 있고, 수직으로 마련되어 있다. 기준 단면(E3)은 기준면(F)의 도면중 상측의 짧은변에 따라 배치되고, 기준 단면(E4)은 기준면(F)의 도면중 우측의 긴변에 따라 배치되어 있다. 기준면(F)의 소정 위치에 마그넷(M2)이 매입되어 있다.

도포침 홀더(24)의 이면과 고정 베이스(25)의 기준면(F) 사이에 자기 흡인력이 작용하도록, 마그넷(M1)의 N극(또는 S극)이 도포침 홀더(24)의 이면과 같은 방향을 향하도록 마그넷(M1)이 도포침 홀더(24)에 조립되고, 마그넷(M2)의 S극(또는 N극)이 고정 베이스(25)의 기준면(F)과 같은 방향을 향하도록 마그넷(M2)이 고정 베이스(25)에 조립된다. 따라서 도포침(21)의 선단을 아래로 하여 도포침 홀더(24)의 이면을 고정 베이스(25)의 기준면(F)에 근접시키면, 마그넷(M1, M2) 사이의 자기 흡인력에 의해 도포침 홀더(24)의 이면이 고정 베이스(25)의 기준면(F)에 흡착된다.

또한, 기준면(F)에 평행한 방향의 마그넷(M1, M2)의 위치 어긋남에 의해 생기는 마그넷(M1, M2) 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더(24)의 단면(E1, E2)이 고정 베이스(25)의 기준 단면(E3, E4)에 꽉눌리도록, 마그넷(M1, M2)이 배치된다.

즉, 도 4의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이, 마그넷(M1)의 S극과 마그넷(M2)의 N극이 자기 흡인력에 서로 당기는 정도의 거리까지 마그넷(M1과 M2)를 근접시키면, 마그넷(M2)의 N극으로부터 나온 자속은 마그넷(M1)의 S극으로 곧바로를 향한다. 또한, 당겨늘린 고무줄에 줄어들려고 하는 힘이 있는 것처럼, 자속에도 줄어들려고 하는 힘이 작용한다. 이 힘에 의해, 도 4의 (c), (d)에 도시하는 바와 같이, 서로 중심이 어긋난 마그넷(M1, M2)은, 서로의 중심이 일치하는 위치로 이동하려고 한다. 이 힘은, 구심력이라고 불린다.

도 5는, 도포침 홀더(24)가 고정 베이스(25)에 밀착한 때의 마그넷(M1과 M2)의 위강 관계를 도시하는 도면이다. 도 5에서, 도포침 홀더(24)가 고정 베이스(25)에 밀착한 때, 마그넷(M1)은 마그넷(M2)의 왼쪽 비스듬히 아래에 배치되어 있다. 즉, 마그넷(M1)은, 마그넷(M2)보다도 △Z만큼 하측에 배치되고, 마그넷(M2) 보다도 △X만큼 좌측에 배치되어 있다. 이로 인해, 도 4의 (a) 내지 (d)에서 설명한 마그넷(M1, M2)의 위치 어긋남에 의한 구심력이 도면중 화살표(A)의 방향으로 발생하고, 도포침 홀더(24)의 단면(E1, E2)이 고정 베이스(25)의 기준 단면(E3, E4)에 꽉눌려진 형태로 고정된다.

또한, 마그넷(M1, M2) 사이의 구심력을 보다 효과적으로 발생시키기 위해, 도포침 홀더(24)와 고정 베이스(25)를 비자성재료로 형성하는 것이 보다 바람직하다. 이것은, 도포침 홀더(24)와 고정 베이스(25)를 자성 재료로 형성한 경우, 마그넷(M1, M2)의 외주의 자성 재료 부분에 마그넷(M1, M2)로부터 나온 자속이 퍼저서, 구심력이 약해저 버리기 때문이다.

이 실시의 형태에서는, 도포침 홀더(24) 및 고정 베이스(25)에 각각 마그넷(M1, M2)를 마련하고, 마그넷(M1, M2) 사이의 자기 흡인력에 의해 도포침 홀더(24)의 이면을 고정 베이스(25)의 기준면(F)에 흡착시킴과 함께, 기준면(F)에 평행한 방향의 마그넷(M1, M2)의 위치 어긋남에 의해 생기는 마그넷(M1, M2) 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더(24)의 단면(E1, E2)을 고정 베이스(25)의 기준 단 면(E3, E4)에 꽉누른다. 따라서 클린 룸 내에 있어서 클린 웨어, 마스크, 고무장갑을 장착한 작업자라도, 도포침 홀더(24)를 고정 베이스(25)에 용이하게 재현성 좋게 부착할 수가 있다.

도 6의 (a) 내지 (c)는, 이 실시의 형태의 비교예를 도시하는 도면으로서, 도 3의 (a) 내지 (c)와 대비되는 도면이다. 도 6의 (a) 내지 (c)에서, 이 비교예가 도 3의 (a) 내지 (c))의 도포침 고정 방법과 다른 점은, 도포침 홀더(24)에 마그넷(M1)을 조립하는 대신에 노치부(40)를 형성하고, 고정 베이스(25)에 마그넷(M2)를 조립하는 대신에 나사 구멍(41)를 형성하고, 도포침 홀더(24)를 고정 베이스(25)에 고정 나사(42)로 고정하는 점이다.

이 비교예에서는, 클린 웨어, 마스크, 고무장갑을 장착한 작업자가 도포침 홀더(24)의 단면(E1, E2)을 고정 베이스(25)의 기준 단면(E3, E4)에 꽉누르면서, 고정 나사(42)를 조일 필요가 있어서, 도포침 홀더(24)를 고정 베이스(25)에 재현성 좋게 마련하는 것은 용이하지 않았다. 단면(E1과 E3)의 사이나 단면(E2와 E4)의 사이에 간극이 생겨서, 도포침(24)의 교환 전후에 있어서의 도포침(24)의 선단 위치의 재현성이 나빠지거나, 도포침 홀더(24)를 떨어뜨려서 도포침(21)을 파손하는 문제가 있다.

이에 대해 본원 발명에서는, 고정 나사(42)를 조일 필요가 없어서, 작업성이 향상한다. 또한, 도포침 홀더(24)의 단면(E1, E2)를 고정 베이스(25)의 기준 단면(E3, E4)에 꽉느르면서 고정할 필요가 없어저서, 익숙치 않은 작업자라도 확실하게 도포침 홀더(24)를 고정하는 것이 가능하게 된다. 또한, 도포침 홀더(24)를 고 정 베이스(25)에 근접시키면, 마그넷(M1, M2)의 자기 흡인력으로 도포침 홀더(24)이 고정 베이스(25)에 흡착되기 때문에, 도포침 홀더(24)를 낙하시켜서 도포침(21)을 손상시켜 버릴 가능성도 낮아진다. 또한, 도포침 홀더(24)를 떼어낼 때도, 고정 베이스(25)로부터 떼어낼뿐이면 좋아서, 매우 작업성이 향상한다.

또한, 도 7의 (a) 내지 (d)는, 이 실시의 형태의 변경예를 도시하는 도면으로서, 도 3의 (a), (b)와 대비되는 도면이다. 도 7의 (a) 내지 (d)에서, 이 변경예가 도 3의 도포침 고정 방법과 다른 점은, 도포침 홀더(24) 및 고정 베이스(25)가 각각 도포침 홀더(50) 및 고정 베이스(51)로 치환되어 있는 점이다. 도포침 홀더(50)는, 직사각형의 평판형상으로 형성되어 있다. 도포침(21)은, 도포침 홀더(50)의 표면에 수직한 방향으로 향해지고, 그 기단부가 이면의 한쪽의 짧은변측에 고정되어 있다. 도포침 홀더(50)의 다른쪽 짧은변측의 단면(E1)과, 한쪽의 긴변측의 단면(E2)은, 도포침(21)의 위치 맞춤에 사용된다. 단면(E1과 E2)이 교차한 모서리는 깎여저 있다. 도포침 홀더(50) 이면의 소정 위치에 마그넷(M1)이 매입되어 있다.

또한, 고정 베이스(51)는, 의자형상의 블록의 수평부의 표면의 한 모서리부를 도포침 홀더(50)의 이면의 크기분만큼 깎아낸 형상을 하고 있고, 그 수직부의 배면이 구동축(23)의 선단부에 고정되어 있다. 고정 베이스(51)는, 도포침 홀더(50)의 이면이 밀착되는 기준면(F)과, 도포침 홀더(50)의 단면(E1, E2)이 각각 꽉눌리는 기준 단면(E3, E4)을 포함한다. 기준면(F)은, 수평으로 마련되어 있다. 기준면(F)의 소정 위치에 마그넷(M2)이 매입되어 있다.

도포침 홀더(50)의 이면과 고정 베이스(51)의 기준면(F) 사이에 자기 흡인력이 작용하도록, 마그넷(M1)의 N극(또는 S극)이 도포침 홀더(50)의 이면과 같은 방향을 향하도록 마그넷(M1)이 도포침 홀더(50)에 조립되고, 마그넷(M2)의 S극(또는 N극)이 고정 베이스(51)의 기준면(F)과 같은 방향을 향하도록 마그넷(M2)이 고정 베이스(51)에 조립된다. 따라서 도포침(21)의 선단을 아래로 하여 도포침 홀더(50)의 이면을 고정 베이스(51)의 기준면(F)에 근접시키면, 마그넷(M1, M2) 사이의 자기 흡인력에 의해 도포침 홀더(50)의 이면이 고정 베이스(51)의 기준면(F)에 흡착된다.

또한, 기준면(F)에 평행한 방향의 마그넷(M1, M2)의 위치 어긋남에 의해 생기는 마그넷(M1, M2) 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더(50)의 단면(E1, E2)이 고정 베이스(51)의 기준 단면(E3, E4)에 꽉눌리도록, 마그넷(M1, M2)이 배치된다. 구심력은, 도 4 및 도 5에서 설명한 바와 같다. 이 변경예로도, 실시의 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.

금회 개된 실시의 형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것이 아니다라고 생각하여야 할 것이다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 특허청구의 범위에 의해 나타나고, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.

본 발명에 관한 도포침 고정 방법과, 그것을 이용한 액상재료 도포 기구 및 결함 수정 장치에서는, 도포침의 기단부를 도포침 홀더에 고정하고, 제 1 및 제 2 의 기준면을 갖는 고정 베이스를 구동축의 선단부에 마련하고, 도포침 홀더 및 고정 베이스에 각각 제 1 및 제 2의 마그넷을 마련하고, 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 자기 흡인력에 의해 도포침 홀더를 제 1의 기준면에 흡착시킴과 함께, 제 1의 기준면에 평행한 방향의 제 1 및 제 2의 마그넷의 위치 어긋남에 의해 생기는 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 구심력에 의해 도포침 홀더의 단면을 제 2의 기준면에 꽉누른다. 따라서 도포침 홀더를 고정 베이스의 기준 단면에 꽉누르면서 작은 고정 나사를 이용하여 마련하고 있던 종래에 비하여, 도포침을 구동 장치의 구동축에 용이하게 재현성 좋게 부착할 수 있다.

Claims

기판상의 미세 영역에 액상재료를 도포하는 도포침을 구동 장치의 구동축에 고정하는 도포침 고정 방법으로서,

상기 도포침의 기단부를 도포침 홀더에 고정하고,

제 1 및 제 2의 기준면을 갖는 고정 베이스를 상기 구동축의 선단부에 마련하고,

상기 도포침 홀더 및 상기 고정 베이스에 각각 제 1 및 제 2의 마그넷을 마련하고,

상기 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 자기 흡인력에 의해 상기 도포침 홀더를 상기 제 1의 기준면에 흡착함과 함께, 상기 제 1의 기준면에 평행한 방향의 상기 제 1 및 제 2의 마그넷의 위치 어긋남에 의해 생기는 상기 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 구심력에 의해 상기 도포침 홀더의 단면을 상기 제 2의 기준면에 꽉누르는 것을 특징으로 하는 도포침 고정 방법.
도포침의 선단부에 부착한 액상재료를 기판상의 미세 영역에 도포하는 액상재료 도포 기구로서,

상기 도포침을 구동시키는 구동축을 갖는 구동 장치와,

상기 도포침의 기단부가 고정된 도포침 홀더와,

제 1 및 제 2의 기준면을 가지며, 상기 구동축의 선단부에 마련된 고정 베이 스와,

각각 상기 도포침 홀더 및 상기 고정 베이스에 마련된 제 1 및 제 2의 마그넷을 구비하고,

상기 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 자기 흡인력에 의해 상기 도포침 홀더를 상기 제 1의 기준면에 흡착시킴과 함께, 상기 제 1의 기준면에 평행한 방향의 상기 제 1 및 제 2의 마그넷의 위치 어긋남에 의해 생기는 상기 제 1 및 제 2의 마그넷 사이의 구심력에 의해 상기 도포침 홀더의 단면을 상기 제 2의 기준면에 꽉누르는 것을 특징으로 하는 액상재료 도포 기구.
제 2항에 있어서,

상기 고정 베이스는 또한 제 3의 기준면을 가지며,

상기 제 1 및 제 2의 마그넷은, 상기 구심력에 의해 상기 도포침 홀더의 2개의 단면을 각각 상기 제 2 및 제 3의 기준면에 꽉누르는 것을 특징으로 하는 액상재료 도포 기구.
제 2항에 있어서,

상기 도포침 홀더 및 상기 고정 베이스는 비자성재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액상재료 도포 기구.
상기 기판상의 미세 영역은, 상기 기판상에 형성된 미세 패턴의 결함부이고,

상기 액상재료는 상기 결함부를 수정하기 위한 수정액이고,

제 2항 내지 제 4항중 어느 한 방에 기재된 액상재료 도포 기구 및 상기 결함부를 관찰하기 위한 관찰용 광학계를 포함하는 수정 헤드와,

상기 기판과 상기 수정 헤드를 상대적으로 이동시켜서 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 수정 장치.